KR101173686B1 - Apparatus For Sensing Existence Or Chop of Substrates For Flat Panel Display In a Cassette - Google Patents

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Abstract

본 장치는 카세트 내의 기판 유무 및 파손 여부 검사 장치에 관한 것으로 평판 디스플레이 생산 공정에서 기존의 카세트 내의 여러 채널에 적재된 기판의 존부를 판단함에 있어서 제 1 본체부와 제 2 본체부 각각에 투광부와 수광부가 장착되고, 상기 투광부의 발광소자를 제어하는 투광제어부와 상기 투광부로부터 기판을 관통한 빛을 감지하는 수광부로부터의 신호를 처리하는 수광제어부로 구성되어 해당 채널에 대하여 제 1 본체부에서 제 2 본체부로, 제 2 본체부에서 제 1 본체부로 각각 1 회 이상의 검출을 통해서 기판의 존재 여부에 대하여 보다 정확한 판단을 수행하고, 각 본체부의 일측면의 상하 방향으로 서로 인접한 2개의 상기 투광부 사이 또는 상기 수광부 사이의 정중앙 보다 높거나 낮게 검출채널을 형성함으로써 평판 디스플레이 기판의 파손 우려가 높은 양측 가장자리를 검사하여 파손 여부에 대하여도 판단할 수도 있도록 한 카세트 내의 기판 유무 및 파손 여부 검사 장치이다. The present invention relates to an apparatus for inspecting the presence or absence of a substrate in a cassette. In the flat panel display production process, a light emitting part is disposed on each of the first body part and the second body part in determining the existence of a substrate loaded in various channels in an existing cassette. A light receiving unit is mounted and includes a light receiving control unit for controlling a light emitting element of the light transmitting unit and a light receiving control unit for processing a signal from the light receiving unit for detecting the light passing through the substrate from the light transmitting unit. 2 The main body part, from the second main body part to the first main body part, makes a more accurate determination on the existence of the substrate by detecting one or more times, and between the two light transmitting parts adjacent to each other in the vertical direction of one side of each main body part. Or by forming the detection channel higher or lower than the exact center between the light receiving units. Substrate in the presence or absence to be a fear that the hand test the high side edge also judges whether or not breakage and damage to the cassette whether the testing device.

Description

카세트 내의 평판 디스플레이용 기판 유무 및 파손 여부 검사 장치{Apparatus For Sensing Existence Or Chop of Substrates For Flat Panel Display In a Cassette}Apparatus For Sensing Existence Or Chop of Substrates For Flat Panel Display In a Cassette}

발명은 평판 디스플레이용 기판의 생산 공정 중 카세트 내의 기판 유무 및 파손 여부 검사 장치에 관한 것으로,The present invention relates to a device for inspecting the presence or absence of a substrate in a cassette during a production process of a substrate for a flat panel display.

보다 상세하게는 평판 디스플레이용 기판의 생산공정에 있어 평판 디스플레이용 기판(이하 기판)의 적재 및 이동수단인 카세트 내의 각 채널별로 기판의 적재여부 및 파손된 기판의 존재여부를 검사하는 장치로써, 생산된 기판을 다음 공정에서 이용하기 위하여 적재하여 이동하는 카세트 내에서 해당 채널별로 기판이 적재되어 있는지 또는 적재된 기판의 파손여부를 검사하여 자동화된 생산공정에 있어 불필요한 작업을 줄여 공정의 효율성을 높이고 불량률을 줄여 생산 효율을 올리고자하는 카세트내의 기판 유무 및 파손 여부 검사 장치에 관한 것이다.More specifically, in the production process of a flat panel display substrate, a device for checking whether a substrate is loaded and the presence of a damaged substrate for each channel in a cassette, which is a means of loading and moving a flat panel display substrate (hereinafter, referred to as a substrate). In order to improve the efficiency of the process by reducing unnecessary work in the automated production process by inspecting whether the board is loaded for each channel or whether the board is damaged in the cassette that is loaded and moved for use in the next process. The present invention relates to an apparatus for inspecting the presence or absence of a substrate in a cassette for reducing production efficiency.

일반적으로 TV 또는 모니터 등에 사용되는 평판 디스플레이를 제조하는 공정은 기판을 생산하고 이를 카세트 내에 여러 장의 기판을 적재한 후 다음공정으로 이동하여 소정의 작업을 시행하게 된다. 상기 공정은 통상 산업용 로봇팔이나 다른 방법을 이용하여 자동화된 공정으로 카세트 내에 기판을 적재하거나 이를 반출하게 된다.In general, a process of manufacturing a flat panel display used for a TV or a monitor produces a substrate, loads a plurality of substrates in a cassette, and moves to the next process to perform a predetermined operation. The process typically loads or unloads a substrate into a cassette in an automated process using an industrial robot arm or other method.

로봇팔이나 다른 방법으로 카세트 내에 적재된 기판을 반출하거나 적재하기 앞서 카세트 내의 해당 채널에 기판이 존재하는지 여부를 먼저 확인할 필요가 있다. 그렇지 않으면 기존의 기판이 존재하는 채널임에도 불구하고 다시 기판을 적재하게 되어 해당 기판뿐만 아니라 이미 적재되어있던 기판까지 파손되어 기판의 손실과 그 파편들로 인한 공정상의 지연 및 대형 트러블이 발생하게 된다. 반대로 채널에 기판이 존재하지 않음에도 불구하고 그 채널로부터 기판을 추출한다면 공정상의 타임 로스 또는 미스매칭이 발생하게 된다. 이에 상기 카세트 내 각 채널의 기판의 존재 여부를 검사하기 위한 공정이 필요하고 그 공정에 사용하는 센서를 맵핑센서(mapping sensor)라고 하는데 이는 카세트 내의 각 채널에 대하여 기판의 존재 여부를 센싱하여 얻어진 정보를 상위 제어부에 전달하며, 상위 제어부는 상기 정보를 이용하여 각 채널에 기판을 적재 또는 추출하게 한다. Before carrying out or loading the substrate loaded in the cassette by a robotic arm or other method, it is necessary to first check whether the substrate is present in the corresponding channel in the cassette. Otherwise, even though the existing substrate is a channel, the substrate is loaded again, and not only the substrate but also the previously loaded substrate is damaged, resulting in process delays and large troubles caused by the loss of the substrate and its fragments. On the contrary, if a substrate is extracted from the channel even though there is no substrate in the channel, process time loss or mismatching occurs. Therefore, a process for checking the existence of a substrate of each channel in the cassette is required, and a sensor used in the process is called a mapping sensor, which is information obtained by sensing the presence of a substrate for each channel in the cassette. The upper controller transmits or extracts a substrate to each channel using the information.

이와 같이 전술한 맵핑센서는 평판 디스플레이 제조 공정에 있어서 매우 중요하며, 안정적인 검출능력을 갖추어야 한다.As described above, the above-described mapping sensor is very important in a flat panel display manufacturing process and must have a stable detection capability.

종래 기판의 존부를 검사하는 공정에서 이용되는 맵핑센서는 크게 2 종류의 방식이 있다.Conventionally, there are two types of mapping sensors used in the process of inspecting the presence of a substrate.

초기의 '엘리베이터 방식'은 기판을 검출하기 위한 센서가 상하로 이동하여 기판의 얇은 일측면으로 레이저를 분사하고 반대측으로 센싱하는 방식이다. 이러한 검출 방식에서는 센서를 상하로 이동하는 시간이 많이 소요되고, 진동 등에 의하여 검출에 있어 오작동의 경우가 많이 발생하였으며, 기판의 크기가 점점 커짐에 따라 적용하기가 어렵게 되어 상기 엘리베이터 방식의 검출 방식은 10여 년 전부터 새로이 신설되는 기판 생산라인에서는 거의 적용되지 못하게 되었다.Initially, the elevator method is a method in which a sensor for detecting a substrate moves up and down, spraying a laser to a thin side of the substrate, and sensing the opposite side. In this detection method, it takes a long time to move the sensor up and down, and a lot of malfunctions occur in the detection due to vibration, etc., it is difficult to apply as the size of the substrate becomes larger, the detection method of the elevator method It has been hardly applied in the new board production line that has been established for more than a decade.

상기의 문제점을 해결하기 위하여, 근래의 맵핑센서는 빗살 모양의 반사방식 센서를 이용하게 되었다. In order to solve the above problem, the recent mapping sensor has used a comb-shaped reflection type sensor.

도 1과 도 2는 종래 기판유무 검사 장치의 정면도와 측면도를 각각 나타낸 것으로 이를 참조하면, 종래의 기판 유무 검사 장치(10)는 공정 장비 내에서 이동이 가능하고 여러 기판을 검사할 수 있도록 직사각형의 타워 형태의 본체부(1)와, 상기 본체부(1)의 일측면에 돌출한 형상으로 이루어지며, 상기 본체부(1)의 상하 방향을 따라 센서의 검출범위이상의 일정거리로 이격되어 고정 배치된 복수 개의 검출부(2)와, 상기 각 검출부(2)의 상부면 끝단의 개구된 창을 통하여 신호광을 발광하고 기판에 반사되어 수광하도록 설계된 광학부(3)로 구성된다.1 and 2 show a front view and a side view of the conventional substrate presence inspection apparatus, respectively. Referring to this, the conventional substrate existence inspection apparatus 10 is movable in process equipment and is rectangular in order to inspect various substrates. The main body 1 in the form of a tower, and a shape protruding on one side of the main body 1, spaced apart by a predetermined distance beyond the detection range of the sensor in the vertical direction of the main body 1 And a plurality of detection units 2 and an optical unit 3 designed to emit signal light through the open window at the end of the upper surface of each of the detection units 2, and to be reflected and received by the substrate.

상기 본체부(1)는 각 검출부(2)로의 전원 공급 및 각 검출부(2)로부터 검출된 신호를 각 채널별로 구별하여 출력해주는 부분을 포함한다.The main body unit 1 includes a part for supplying power to each detection unit 2 and distinguishing and outputting a signal detected from each detection unit 2 for each channel.

도 3은 도1 및 도2에 도시된 검사 장치의 사용상태도로써, 상기 종래의 기판 생산라인의 기판 유무 검사 장치(10)는 공정장비(5)의 구동부(8)상에 장착되어 기판이 적재된 카세트(4)가 상기 공정 장비(5)에 로딩되면, 상기 구동부(8)가 화살표의 방향으로 이동하여 상기의 각 검출부(2)는 카세트의 일측면을 통해 각 채널의 하단으로 진입하여 각 채널에 적재된 기판에 검출부(2)의 끝단에 위치한 광학부(3)의 센서를 이용하여 기판의 존재여부를 검사한 후 그 결과를 기판 이송 장치에 대한 제어 장치로 전송한다. 제어 장치는 상기 센서로부터 전송된 정보를 이용하여 특정 채널에 대하여 기판을 적재하거나 추출하도록 기판 이송 장치를 제어한다.3 is a state diagram using the inspection apparatus shown in FIGS. 1 and 2, wherein the substrate presence inspection apparatus 10 of the conventional substrate production line is mounted on the driving unit 8 of the process equipment 5 so that the substrate is loaded. When the cassette 4 is loaded on the process equipment 5, the driving unit 8 moves in the direction of the arrow so that each detection unit 2 enters the lower end of each channel through one side of the cassette and The substrate loaded in the channel is inspected for the presence of the substrate by using the sensor of the optical unit 3 located at the end of the detector 2, and the result is transmitted to the control device for the substrate transfer device. The control device uses the information transmitted from the sensor to control the substrate transfer device to load or extract the substrate for a particular channel.

그런데, 상기의 기판 유무 검사 장치(10)는 투과율이 높은 박형 투명 유리 성분의 기판 경우 반사형 센서의 검출 거리가 20mm를 넘기가 어렵고 기판이 적재된 카세트로 이동하기 위하여 별도의 이동수단이 있어야 하므로 전체적인 공간의 확보 및 전체적인 구조가 복잡해지며, 카세트 내부로 이동하여 검사한 후 다시 원래 위치로 복귀하는 시간이 소요되어 단위공정시간이나 이동장치에 대한 비용이 상승하는 문제점이 있었다.By the way, the substrate presence inspection apparatus 10 is a thin transparent glass substrate having a high transmittance, so it is difficult for the reflective sensor to detect a distance of more than 20 mm and a separate moving means must be provided in order to move to a cassette loaded with a substrate. Securing the overall space and the overall structure is complicated, it takes a time to move back to the original position after moving to the cassette inside, there is a problem that the unit process time or the cost for the mobile device increases.

또한 상기 방식의 검사 메카니즘은 광센서로부터 발광된 신호광이 기판에 반사되어 광센서로 다시 입사되는 광량에 의존하게 되어 정반사율이 매우 높은 종류의 기판 경우에는 검출각도가 민감하게 반응하여 진동이나 기판의 휨 등의 상황에 의하여 때로 오검출의 우려가 있고, 장기간 사용하는 경우 광학계의 열화나 주위 환경에 의해 광센서(3)의 감도가 떨어지게 되어 정확한 검출을 하지 못하게 되는 문제점이 발생하게 된다.In addition, the inspection mechanism of the above method depends on the amount of light reflected from the optical sensor to the substrate and incident back to the optical sensor. In the case of a substrate having a very high specular reflectance, the detection angle reacts sensitively to cause vibration or In some cases, there is a possibility of false detection due to warpage or the like, and in the case of long-term use, the sensitivity of the optical sensor 3 may be deteriorated due to deterioration of the optical system or the surrounding environment, resulting in a problem of inaccurate detection.

따라서, 상기의 문제점을 해결할 수 있는 고정 설치되는 투.수광 타입의 매핑센서를 이용한 종래 특허발명 제10-0892610호의 "카세트 내의 기판 유무 검사 장치"는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 공정 장비에 고정 장착되는 제 1 본체부(40), 상기 제 1 본체부로부터 방사되는 신호를 수신할 수 있는 위치에 고정 장착되는 제 2 본체부(50)로 이루어진다.Therefore, the "substrate presence inspection apparatus in the cassette" of the prior patent invention No. 10-0892610 using a fixed-to-light-receiving type mapping sensor that can solve the above problems is as shown in Figures 4 and 5, The first main body 40 is fixedly mounted to the process equipment, and the second main body 50 is fixedly mounted at a position capable of receiving a signal radiated from the first main body.

상기 제 1 본체부(40)는 카세트(70)내, 적어도 하나 이상의 각 채널(72)의 상부에 위치하도록 배치된 발광 소자들로 이루어져 기판의 검출을 위해 발광하는 투광부(42)와 상기 투광부의 발광 소자들의 동작을 제어하는 투광제어부(44)로 구성된다.The first main body 40 is composed of light emitting elements arranged to be positioned above the at least one or more channels 72 in the cassette 70 to emit light for the detection of the substrate and the light projection. The light emission controller 44 controls the operation of the negative light emitting elements.

상기 제 2 본체부(50)는 상기 투광부(42)로부터의 신호를 감지하는 적어도 하나 이상의 감지 센서들로 상기 카세트(70)의 각 채널(72)의 하부에 각각 배치된 수광부(52)와 상기 수광부(52)의 감지 센서들에 의해 감지된 신호를 이용하여 카세트의 각 채널에 기판이 존재하는지 여부를 판단하고, 판단 결과 데이터들을 외부의 기판 이송 장치의 제어 장치로 전송하는 수광제어부(54)로 구성된다.The second main body 50 may include at least one light receiving unit 52 disposed under each channel 72 of the cassette 70 by at least one or more detection sensors that detect a signal from the light transmitting unit 42. The light receiving controller 54 determines whether a substrate exists in each channel of the cassette by using signals detected by the sensing sensors of the light receiving unit 52, and transmits the result of the determination to the control device of the external substrate transfer apparatus. It consists of

도 5에 도시된 화살표 방향과 같이, 상기 발광 소자가 감지할 기판을 대각선방향으로 관통하도록 방사되며, 상기 수광부(52)의 감지 센서는 그 신호를 감지하게 된다.As shown in the arrow direction of FIG. 5, the light emitting device is radiated to penetrate the substrate to be sensed diagonally, and the detection sensor of the light receiving unit 52 detects the signal.

한편, 상기 수광제어부(54)의 센싱 신호 검출 방식에는 감지 센서가 감지한 신호 레벨과 사전에 기설정된 기준 레벨을 비교하여 일정값 이상의 차이가 있는 경우에는 해당 채널에 기판이 존재하는 것으로 판단하며 그 결과 데이터들을 외부의 기판 이송 장치의 제어 장치로 전송한다.On the other hand, in the sensing signal detection method of the light receiving control unit 54, if there is a difference over a predetermined value by comparing the signal level detected by the sensing sensor with a preset reference level, it is determined that the substrate exists in the corresponding channel. The resulting data is transferred to the control device of the external substrate transfer device.

상기 발명의 또 다른 실시예로서 도 6과 도 7에 도시된 바와 같이, 제 2 본체부(90)의 수광부(92)를 구성하는 감지 센서들은 상기 투광부(82)의 발광 센서로부터의 신호를 수신할 수 있는 제 2 본체부의 일측면에 장착시키되, 카세트 내의 각 채널의 상부(92a) 및 하부(92b)에 모두 위치시킨다. 따라서, 본 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치는 카세트의 채널수와 동일한 갯수의 발광 소자들이 투광부(82)에 장착되며, 카세트의 채널수의 두배에 해당하는 갯수의 감지 센서들이 수광부(92)에 장착된다.As shown in FIG. 6 and FIG. 7 as another embodiment of the present invention, the sensing sensors constituting the light receiving unit 92 of the second main body 90 receive signals from the light emitting sensor of the light transmitting unit 82. It is mounted on one side of the second main body which can be received, and is located on both the upper side 92a and the lower side 92b of each channel in the cassette. Accordingly, in the substrate presence inspection apparatus according to the present embodiment, the same number of light emitting elements as the number of channels of the cassette are mounted in the light emitting unit 82, and the number of sensing sensors corresponding to twice the number of channels of the cassette is included in the light receiving unit 92. Is mounted on.

상기 제 2 본체부(90)의 각 채널의 상 하에 각각 설치된 감지 센서(92a, 92b)에 있어서, 당해채널에 해당하는 제 1 본체부(80)의 발광부(82)내 발광소자의 발광에 대하여, 기판을 관통하지 않는 위치에 있는 하나의 감지 센서(92a)로부터 유기되는 수광신호는 참조신호가 되며, 기판을 관통하는 위치에 놓이는 하나의 감지 센서(92b)로부터 유기되는 수광신호는 데이터신호가 된다. 상기 제 2 본체부의 수광제어부(94)는 각각의 채널로부터 유기되어 나오는 참조신호와 데이터 신호를 증폭시킨 후 두 신호의 크기를 비교하여, 두 신호의 차이가 소정의 값 이상이 되면 해당 채널에 기판이 존재하는 것으로 판단하고, 두 신호의 차이가 소정의 값 이하가 되면 해당 채널에 기판이 존재하지 않는 것으로 판단한 결과를 외부의 기판 이송 장치에 대한 제어 장치로 송신하게 된다.In the sensing sensors 92a and 92b respectively provided above and below each channel of the second main body 90, the light emitting elements of the light emitting element 82 of the first main body 80 corresponding to the corresponding channel are emitted. On the other hand, the light reception signal induced from one sensing sensor 92a at a position not penetrating the substrate becomes a reference signal, and the light reception signal induced from one sensing sensor 92b at a position penetrating the substrate is a data signal. Becomes The light receiving controller 94 of the second main body unit amplifies the reference signal and the data signal emitted from each channel and compares the magnitudes of the two signals. When the difference between the two signals is greater than or equal to a predetermined value, the substrate is connected to the corresponding channel. Is determined to exist, and when the difference between the two signals is less than or equal to a predetermined value, the result of determining that the substrate is not present in the corresponding channel is transmitted to the control device for the external substrate transfer apparatus.

그러나 상기의 발명은 주변의 다른 요인에 의하여 제 1 본체부(80)의 발광소자 또는 제 2 본체부(90)의 수광소자 중 어느 하나의 센서의 오동작이나 오검출이 있는 경우 카세트 내 해당 채널(72)상의 기판의 존재 여부에 대한 잘못된 판단으로 기판의 파손 및 공정의 지연을 가져오는 문제점이 있다.However, the above-described invention provides a method in which the corresponding channel in the cassette is malfunctioned or misdetected by a sensor of either the light emitting device of the first body part 80 or the light receiving device of the second body part 90 due to other factors around it. There is a problem in that the misjudgment of the existence of the substrate on the 72) leads to damage of the substrate and delay of the process.

또한, 도 5 또는 도 7에 도시된 바와 같이 기판(74)의 중앙부근 한 곳만을 관통하여 검사하는 종래의 기판 검출 장치는 기판의 존재 유무 검출은 가능하나, 제조공정 중 파손의 우려가 높은 기판의 양측 가장자리 파손여부는 명확한 검출이 불가하게 되어 결국, 공정의 효율을 감소시키는 문제점이 있다.In addition, as illustrated in FIG. 5 or FIG. 7, the conventional substrate detection apparatus that penetrates and inspects only one portion near the center of the substrate 74 can detect the existence of the substrate, but has a high risk of damage during the manufacturing process. Whether the edges on both sides of the edge breakage is impossible to detect clearly, there is a problem that reduces the efficiency of the process.

본 발명은 상기 종래 기술의 제반 문제점을 해결하고자 발명한 것으로,The present invention is invented to solve the above problems of the prior art,

기판 생산 공정에서 기판의 존부 및 파손 여부의 검사에 있어 제 1 본체부와 제 2 본체부에 각각의 투광부와 수광부를 설치하고 상기 투광부와 수광부를 제어하는 투광제어부와 수광제어부를 설치하여 카세트 내 각 채널상의 기판을 제 1 본체부에서 제 2 본체부로, 제 2 본체부에서 제 1 본체부로 각각 1 회 이상 검사함으로써 보다 기판의 존재여부에 대한 검출의 정확도를 향상시킴과 동시에 기판의 중앙이 아닌 파손의 우려가 높은 기판의 양측 가장자리의 검사를 함께 수행하여 단순한 기판의 존재여부 뿐만 아니라 기판의 파손 여부에 대하여도 판단할 수 있도록 하여 기판 생산 공정에 있어서 보다 효율을 증진시킬 수 있는 카세트 내의 기판 유무 및 파손 여부 검사 장치를 제공하고자 함에 목적이 있다.In the inspection of the presence or breakage of the substrate in the substrate production process, the first and second body parts are provided with respective light transmitting parts and light receiving parts, and a light transmitting control part and a light receiving control part are provided to control the light transmitting part and the light receiving part. By inspecting the substrate on each channel from the first body portion to the second body portion and from the second body portion to the first body portion one or more times, the accuracy of detection of the presence of the substrate is improved and the center of the substrate is improved. In addition, by inspecting the edges of both sides of the substrate with high risk of damage, it is possible to judge not only the existence of the substrate but also whether the substrate is broken, thereby increasing the efficiency in the substrate production process. An object of the present invention is to provide a device for inspecting the presence or absence of damage.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 특징은 기판 생산 공정에서 카세트가 로딩되는 공정 장비에 검사 장치를 고정 장착하여 상기 카세트 내의 각 채널별로 기판이 적재되었는지 여부 및 기판의 파손 여부를 검사하는 검사 장치에 있어서,A feature of the present invention for achieving the above technical problem is a test for inspecting whether the substrate is loaded for each channel in the cassette and whether the substrate is broken by fixedly mounting an inspection apparatus to the process equipment that the cassette is loaded in the substrate production process In the apparatus,

소정의 공정장비에 일정거리 이격되어 서로 마주보며 고정 장착된 제 1 본체부와 제 2 본체부;와 제 1 본체부와 제 2 본체부 일측면에 카세트 내 각 채널의 상측 또는 하측에 장착한 하나 이상의 발광소자들로 구성된 투광부;와 상기 제 1 본체부와 제 2 본체부 일측면에 카세트 내 각 채널의 상측 또는 하측에 장착하되 상기 투광부에 대응하여 마주보며 장착되고, 상기 투광부와 반대편 측에 위치시키는 하나 이상의 감지 센서들로 구성된 수광부;와 상기 제 1 본체부와 제 2 본체부에 상기 투광부의 발광 소자들의 동작을 제어하는 투광제어부;와 상기 제 1 본체부와 제 2 본체부에 상기 수광부의 감지 센서들에 의해 감지된 신호를 처리하는 수광제어부;를 포함하되,A first body part and a second body part fixedly mounted to face each other at a predetermined distance from a predetermined process equipment; and one mounted on an upper side or a lower side of each channel in the cassette on one side of the first main body and the second main body A light emitting unit including the light emitting elements; and mounted on one side of the first main body and the second main body in an upper side or a lower side of each channel in the cassette, facing each other to face the light transmitting unit, and opposite to the light transmitting unit. A light receiving unit including one or more sensing sensors positioned at a side; and a light emission control unit controlling an operation of the light emitting elements of the light transmitting unit to the first main body and the second main body; and the first main body and the second main body. And a light receiving controller configured to process a signal sensed by the detection sensors of the light receiver.

투광부의 발광소자는 마주보는 본체부에 설치된 대응 수광부를 향하여 카세트 내 해당 채널의 기판의 가장자리 부근을 관통하여 발광하여 카세트 내의 기판 유무 및 파손 여부를 검사할 수 있도록 이루어진 것을 특징으로 한다.The light emitting device of the light transmitting unit is characterized in that it is made to check the presence and damage of the substrate in the cassette by emitting light through the vicinity of the edge of the substrate of the corresponding channel in the cassette toward the corresponding light receiving unit provided in the main body portion facing.

본 발명은 기판 생산 공정에 있어서, 기판의 다음 공정에서 활용하기 위하여 카세트 내의 각 채널에 적재된 기판의 존재 및 기판의 파손 여부를 검사하는 장치로써 채널당 제 1 본체부에서 제 2 본체부로, 제 2 본체부에서 제 1 본체부로 각각 1 회 이상의 검출을 통해서 검사의 정확도를 향상시킨다.The present invention is a device for inspecting the presence of the substrate loaded in each channel in the cassette and whether the substrate is broken in the substrate production process, from the first body portion to the second body portion per channel, the second The accuracy of the inspection is improved by detecting one or more times from the body portion to the first body portion, respectively.

또한 기판의 존재여부를 판단하기 위하여 기판의 중앙이 아닌 통상 기판의 파손 우려가 높은 부분인 기판의 양측 가장자리를 검사함으로써 기판의 파손 여부도 함께 판단할 수 있도록 하여 생산 공정의 효율을 증진시키는 효과가 있다.In addition, by inspecting the edges of both sides of the substrate, which are parts of the board, which are usually at the center of the board, in order to determine the existence of the board, it is possible to judge whether the board is broken or not, thereby improving the efficiency of the production process. have.

도 1은 종래 빗살형 반사식 기판 유무 검사 장치의 정면도,
도 2는 종래 빗살형 반사식 기판 유무 검사 장치의 단면도,
도 3은 종래 공정 장비에 로딩 된 기판 유무 검사 장치의 동작과정 도시도,
도 4는 종래 기판 유무 검사 장치 사시도,
도 5는 종래 기판 유무 검사 장치가 공정 장비에 장착된 상태의 도시도,
도 6은 종래 기판 유무 검사 장치의 다른 실시예 사시도,
도 7은 종래 기판 유무 검사 장치의 사용 상태도,
도 8은 종래 기판 유무 검사 장치의 검출지점 위치도,
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 기판 유무 및 파손 검사 장치의 사시도,
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 기판 유무 및 파손 검출지점 위치도.1 is a front view of a conventional comb-type reflective substrate presence inspection device,
2 is a cross-sectional view of a conventional comb-type reflective substrate presence inspection device,
3 is a view showing the operation of the substrate presence inspection apparatus loaded in the conventional process equipment,
4 is a perspective view of a conventional substrate presence inspection apparatus,
5 is a view showing a state in which a conventional substrate presence inspection apparatus is mounted on the process equipment,
6 is a perspective view of another embodiment of a conventional substrate presence inspection apparatus;
7 is a state diagram used in the conventional substrate presence inspection apparatus,
8 is a detection point position diagram of a conventional substrate presence inspection apparatus;
9 is a perspective view of the substrate presence and damage inspection apparatus according to an embodiment of the present invention,
10 is a view showing a substrate presence and damage detection point position according to an embodiment of the present invention.

이하, 예시도면을 참조하여 본 발명에 따른 카세트 내의 기판 존부 및 파손 여부 검사 장치의 일실시예에 대한 구성 및 작용을 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the exemplary drawings will be described in detail the configuration and operation of the embodiment of the substrate zone and damage inspection apparatus in the cassette according to the present invention.

본 발명의 핵심은 기판 생산 공정에 있어 카세트가 로딩되는 공정 장비에 장착되어 제 1 본체부와 제 2 본체부 각각에 내포된 투광부 및 수광부의 센서를 부착하여 각각 기판을 검사함으로써 보다 정확하게 기판의 유무를 검출하고 나아가 기판의 가장자리를 검사하여 그 파손여부를 판단할 수 있는 카세트 내의 기판 유무 및 파손 여부 검사 장치라는 점이다.The core of the present invention is attached to the process equipment loaded with the cassette in the substrate production process by attaching the sensor of the light transmitting portion and the light receiving portion embedded in each of the first body portion and the second body portion and inspect the substrate, respectively, It is a device for inspecting the presence or absence of a substrate in a cassette capable of detecting the presence of a substrate and further inspecting the edge of the substrate to determine whether the substrate is damaged.

본 발명의 실시예에 따른 카세트 내의 기판 유무 및 파손 여부 검사 장치는 도 9와 도 10에 도시된 바와 같이 상기 공정 장비에 고정 장착되는 제 1 본체부(110), 상기 제1 본체부(110)로부터 방사되는 신호를 수신할 수 있는 상기 공정 장비의 제 1 본체부(110)와 대향되는 소정의 위치에 고정 장착되는 제 2 본체부(120)와 각 본체부에 장착되어 발광하는 투광부(130)와 상기 투광부(130)로부터 전달된 빛을 수신하는 각 본체부에 장착된 수광부(140)와 상기 투광부(130)의 발광소자를 제어하는 투광제어부(170) 그리고 상기 수광부(140)로부터 전달된 신호를 처리하는 수광제어부(180)로 이루어진다.In the cassette according to an embodiment of the present invention, the apparatus for inspecting the presence or absence of a substrate includes a first main body 110 and a first main body 110 fixedly mounted to the process equipment as shown in FIGS. 9 and 10. A second main body 120 fixedly mounted at a predetermined position facing the first main body 110 of the process equipment capable of receiving a signal emitted from the light emitting unit 130 mounted on each main body and emitting light; ) And a light receiving unit 140 mounted on each main body unit for receiving the light transmitted from the light transmitting unit 130, a light transmitting control unit 170 controlling the light emitting element of the light transmitting unit 130, and the light receiving unit 140. It consists of a light receiving control unit 180 for processing the transmitted signal.

상기 제 1 본체부(110)와 제 2 본체부(120)의 일측면에 위치한 투광부(130)는 적어도 하나 이상의 발광 소자들로 이루어지며, 상기 투광부(130)에 근접하여 위치한 수광부(140)는 상기 투광부(130)로부터의 발광된 신호를 감지하는 적어도 하나 이상의 감지 센서들로 구성됨으로써 카세트 내의 해당 채널에 기판이 적재되었는지 여부를 검사한다.The light transmitting part 130 disposed on one side of the first main body 110 and the second main body 120 is made of at least one light emitting element, and the light receiving part 140 is located close to the light transmitting part 130. ) Is composed of at least one or more detection sensors for detecting the light emitted from the light emitting unit 130 to check whether the substrate is loaded in the corresponding channel in the cassette.

상기 투광부(130)는 카세트 내의 각 채널(150)의 상부 또는 하부에 선택적으로 위치시키고, 상기 수광부(140)는 카세트 내의 각 채널(150)의 하부 또는 상부에 위치시키는 것이 바람직하다. The light transmitting unit 130 may be selectively positioned above or below each channel 150 in the cassette, and the light receiving unit 140 may be positioned below or above each channel 150 in the cassette.

상기 투광제어부(170)는 상기 투광부(130)의 발광 소자들을 동시에 또는 순차적으로 동작하도록 스위치를 이용하여 제어한다.The light emission controller 170 controls the light emitting devices of the light projector 130 using a switch to simultaneously or sequentially operate the light emitting devices.

상기 수광제어부(180)는 상기 수광부(140)의 감지 센서들에 의해 감지된 신호를 적정한 수준의 전기적 신호 레벨로 증폭하는 증폭부와 상기 증폭부에 의해 증폭된 데이터 신호와 미리 설정된 각 기판에 대한 참조신호를 비교하여 그 결과에 따라 카세트 내 각 채널상에 적재된 기판이 존재하는지 여부를 판단하는 신호 비교부 그리고 상기 신호 비교부의 판단 결과들을 외부의 기판 이송 장치의 제어 장치로 유선 또는 무선으로 전송하는 전송부로 구성되어 상기 수광부(140)의 감지된 신호를 처리한다.The light receiving controller 180 includes an amplifier for amplifying a signal sensed by the sensing sensors of the light receiver 140 to an electric signal level of an appropriate level, a data signal amplified by the amplifier and a preset substrate for each substrate. A signal comparison unit for comparing a reference signal and determining whether there is a substrate loaded on each channel in the cassette and transmitting the determination results of the signal comparison unit to a control device of an external substrate transfer device by wire or wirelessly. The transmitter is configured to process the sensed signal of the light receiver 140.

모든 채널상의 평판 디스플레이 기판의 존재 여부를 판단함에 있어 상기 투광제어부(170)는 상기 투광부(130)의 발광 소자들의 동작을 상하방향으로 순차적으로 작동시키고, 각 발광 소자에 대응되는 상기 수광부(140)의 감지 센서들이 카세트 내 각 채널의 기판을 통과하는 신호들을 순차적으로 감지하거나 상기 각 수광부(140)별로 별도의 고유번호를 설정한 후 상기 투광제어부(170)는 투광부(130)의 발광 소자들을 동시에 발광시킨 후 각 발광 소자에 대응되는 각 수광부(140)의 감지 센서들이 카세트 내 각 채널의 기판을 통과하는 신호들을 동시에 감지하여 각 채널 별로 고유번호로 구분함으로써 평판 디스플레이 유기기판의 존재 여부를 검사하게 된다. In determining whether the flat panel display substrate is present on all channels, the light emission controller 170 sequentially operates the light emitting devices of the light emitter 130 in the vertical direction, and receives the light receiver 140 corresponding to each light emitting device. After detecting the signals passing through the substrate of each channel in the cassette sequentially or by setting a unique number for each light receiving unit 140, the light emission control unit 170 is a light emitting device of the light emitting unit 130 Emit light at the same time and the detection sensors of each light receiving unit 140 corresponding to each light emitting device simultaneously detect signals passing through the substrate of each channel in the cassette and distinguish the existence of the flat panel display organic substrate by dividing them by a unique number for each channel. Will be examined.

도 10에 도시된바와 같이 기판을 적재 및 이동하기 위한 카세트 내에 존재하는 채널(150)은 기판(160)을 지지하기 위한 것으로써 카세트의 일측면의 상하 방향으로 각 본체부의 두 발광소자들(또는 수광소자들) 사이의 정중앙 보다 높거나 낮게 위치하도록 각 본체부의 두 발광소자들(또는 수광소자들)을 부착시킴으로서 평판 디스플레이 기판(160)의 정중앙이 아닌 기판의 특정 가장자리를 투과할 수 있도록 함으로써 파손의 우려가 높은 기판(160)의 양측 가장자리를 검사하여 기판(160)의 존재 여부뿐만 아니라 기판(160)의 파손이 있는지를 판단할 수 있다. As shown in FIG. 10, the channel 150 existing in the cassette for loading and moving the substrate is used to support the substrate 160. By attaching two light emitting elements (or light receiving elements) of each body part to be located above or below the center of light receiving elements, the damage is caused by passing through a specific edge of the substrate rather than the center of the flat panel display substrate 160. By inspecting both edges of the substrate 160 having high concern, it is possible to determine whether the substrate 160 is damaged as well as the presence of the substrate 160.

기판(160)의 존재 및 파손 여부의 판단은 카세트 내 임의의 채널에서, 제 1 본체부에서 발광하고 제 2 본체부에서 검출한 검출결과와 제 2 본체부에서 발광하고 제 1 본체부에서 검출한 검출결과가 서로 동일하게 검출 또는 불검출의 상태이면 기판(160)이 존재 또는 부존재하는 것이고, 검출 결과가 어느 한쪽만 검출되거나 검출되지 않는 경우에는 기판이 파손 상태로 존재하는 것이다. Determination of the presence and damage of the substrate 160 is performed by detecting the light emitted from the first body part and detected by the second body part and the light emitted by the second body part and detected by the first body part in any channel in the cassette. If the detection results are the same as detected or not detected, the substrate 160 is present or absent. If only one of the detection results is detected or not detected, the substrate is present in a broken state.

본 명세서에는 본 발명에 따른 카세트 내의 기판 유무 및 파손 여부 검사 장치의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 본 발명은 특허청구범위 및 첨부도면의 범위 내에서 다양하게 변형되어 실시될 수 있으며, 이것 또한 본 발명의 권리범위에 속한다.In the present specification, a preferred embodiment of the apparatus for inspecting the presence or absence of a substrate in a cassette according to the present invention has been described, but the present invention is not limited thereto. The invention may be practiced in various ways within the scope of the claims and the accompanying drawings, which also belong to the scope of the invention.

110 제 1 본체부 120 제 2 본체부
130 투광부 140 수광부
150 채널 160 기판
170 투광제어부 180 수광제어부110 First main body 120 Second main body
130 Floodlight 140 Receiver
150 channel 160 boards
170 Flood control unit 180 Receiver

Claims (5)

평판 디스플레이용 기판의 생산 공정에 있어 카세트 내의 기판의 유무 및 파손 여부를 검사하는 장치에 있어서,
소정의 공정장비에 일정거리 이격되어 서로 마주보며 고정 장착된 제 1 본체부와 제 2 본체부;
상기 제 1 본체부와 제 2 본체부 일측면에 카세트 내 각 채널의 상측 또는 하측에 장착한 하나 이상의 발광소자들로 이루어지되, 상기 제1 본체부의 발광소자는 마주보는 상기 제2 본체부에 설치된 대응 수광부를 향하여 카세트 내 해당 채널의 기판의 가장자리 부근을 관통하여 발광하도록 이루어지고, 상기 제2 본체부의 발광소자는 마주보는 제1 본체부에 설치된 대응 수광부를 향하여 카세트 내 해당 채널의 기판의 가장자리 부근을 관통하여 발광하도록 이루어진 발광소자들 로 구성된 투광부;
상기 제 1 본체부와 제 2 본체부 일측면에 카세트 내 각 채널의 상측 또는 하측에 장착하되 상기 투광부에 대응하여 마주보며 장착되고, 상기 투광부와 반대편 측에 위치시키는 하나 이상의 감지 센서들로 구성된 수광부;
상기 제 1 본체부와 제 2 본체부에 상기 투광부의 발광 소자들의 동작을 제어하는 투광제어부;
상기 제 1 본체부와 제 2 본체부에 상기 수광부의 감지 센서들에 의해 감지된 신호를 처리하는 수광제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 내의 기판 유무 및 파손 여부 검사장치.
In the production process of a substrate for a flat panel display, an apparatus for inspecting the presence or absence of a substrate in the cassette,
A first main body part and a second main body part fixedly mounted to face each other at a predetermined distance from a predetermined process equipment;
One or more light emitting elements mounted on one side of the first body portion and the second body portion on the upper side or the lower side of each channel in the cassette, wherein the light emitting elements of the first body portion are installed in the second body portion facing each other. And emit light through the vicinity of the edge of the substrate of the corresponding channel in the cassette toward the corresponding light-receiving portion, wherein the light emitting element of the second body portion is near the edge of the substrate of the corresponding channel in the cassette toward the corresponding light-receiving portion provided in the opposing first body portion. a transparent portion made up of light emitting elements configured to emit light through the;
One or more detection sensors mounted on one side of the first body portion and the second body portion on the upper side or the lower side of each channel in the cassette and facing each other to face the light emitting portion, and positioned opposite to the light transmitting portion. A configured light receiving unit;
A light emission control unit configured to control operations of the light emitting elements of the light transmitting unit to the first main body and the second main body;
And a light receiving controller processing the signal sensed by the detection sensors of the light receiving unit in the first main body and the second main body.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
수광부 각각에 고유번호를 부여한 후 투광제어부는 상기 투광부의 발광소자들을 동시에 또는 순차적으로 작동시키고, 각 발광 소자에 대응되는 수광부의 감지센서는 기판을 통과하는 신호들을 동시에 또는 순차적으로 감지하는 것을 특징으로 하는 카세트 내의 기판 유무 및 파손 여부 검사 장치.The method of claim 1,
After assigning a unique number to each of the light receiving units, the light emission control unit operates the light emitting elements simultaneously or sequentially, and the detection sensor corresponding to each light emitting element simultaneously or sequentially detects signals passing through the substrate. Apparatus for inspecting the presence or absence of a substrate in the cassette. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서
카세트 내 임의의 채널에서, 제 1 본체부에서 발광하고 제 2 본체부에서 검출한 검출결과와 제 2 본체부에서 발광하고 제 1 본체부에서 검출한 검출결과가 서로 동일하게 불검출이 상태이면 기판이 존재하지 않는 것이고, 동일하게 검출 상태이면 기판이 존재하는 것이고, 어느 한쪽만 검출되거나 검출되지 않으면 기판의 파손 상태인 것을 판단하는 것을 특징으로 하는 카세트 내의 기판 유무 및 파손 여부 검사 장치.The method of claim 1 or 3
In any channel in the cassette, if the detection result emitted from the first main body part and detected by the second main body part and the detection result detected from the second main body part and detected from the first main body part are equally undetected, the substrate The apparatus for inspecting the presence or absence of a substrate in a cassette, characterized in that the substrate is present if it is not present and the detection state is the same. 삭제delete
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1148057A (en) 1997-08-05 1999-02-23 Daihen Corp Detecting device board thin
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