KR101170786B1 - Low power large treatment area atmospheric pressure plasma generator using high frequency resonator - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A low power large area atmospheric pressure plasma generator is provided to make uniform gas supply possible. CONSTITUTION: A low power large area atmospheric pressure plasma generator comprises an electrode(100), a closed structure(101), an open structure(102), a gas induction pipe(103), a connecting member(104), and a connection hole(105), and an insulator case. The electrode is comprised of parallel plate transmission lines which are electrically connected to each other. A plurality of gas induction pipes is connected to the rear of the closed structure and uniformly supplies gas. The insulator case blocks both spaces of the electrode and is used as a path of gas.

Description

고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기{Low power large treatment area atmospheric pressure plasma generator using high frequency resonator} Low power large treatment area atmospheric pressure plasma generator using high frequency resonator

본 발명은 피부 처리와 같은 대면적 처리가 요구되는 생의학 응용을 위해 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기에 관한 것으로, 상세하게는 500~1,000MHz 대역의 고주파 저전력(10W 미만)을 사용하고, 평행 평판 전송선을 이용한 공진기를 구성하여 자가 매칭이 가능하고, 가스를 평행 평판 전송선과 평행 평판 전송선을 둘러싸고 있는 케이스를 통해 공급하고, 평행 평판 전송선의 개방된 끝 부분에서 10~40mm의 선 형태의 대면적 플라즈마가 발생하도록 구성한 것이다.The present invention relates to a low-power large-area atmospheric plasma generator using a high-frequency resonator for biomedical applications requiring large-area treatment, such as skin treatment, in detail, using a high-frequency low-power (less than 10W) in the 500 ~ 1,000MHz band, Self-matching is possible by constructing a resonator using a parallel plate transmission line, and gas is supplied through a case surrounding the parallel plate transmission line and the parallel plate transmission line, and a line of 10-40 mm at the open end of the parallel plate transmission line is used. It is configured to generate an area plasma.

세계 의료 시장은 지속적인 성장세를 보이고 있으며, 의료 시장 중 의료 장비의 비중이 가장 높은 것으로 확인되었다. 특히 고령화 사회 도래 및 삶의 질 향상에 대한 높은 욕구 등 사회적 변화는 이러한 추세를 더욱 가속화할 것으로 예상되고 있다. The global medical market continues to grow, with the highest share of medical equipment in the medical market. In particular, social changes such as the coming of an aging society and a high desire for improving the quality of life are expected to accelerate this trend.

최근 대기압 플라즈마를 이용한 살균, 지혈, 치아 미백 등 생의학 응용 분야에 대한 연구가 국내외 연구 기관에 의해 활발히 연구되고 있으며 탁월한 효과가 증명되고 있다. 다양한 대기압 플라즈마 방전 방법 중, 500~1,000MHz의 고주파를 사용하는 마이크로웨이브 플라즈마의 경우, 그 특성에 있어서 처리 대상에 열적 손상이 없고, 낮은 방전 전압으로 인해 전기적 위험성이 낮으며 전력 효율이 높고, 높은 플라즈마 성분으로 인한 그 효과의 우수성 등 저주파 플라즈마 장비에 비해서 생의학 응용을 위한 플라즈마 장비로서 높은 가능성을 가진다. Recently, researches on biomedical applications such as sterilization, hemostasis, and whitening of teeth using atmospheric pressure plasma have been actively conducted by domestic and overseas research institutes, and excellent effects have been demonstrated. Among various atmospheric plasma discharge methods, microwave plasma using high frequency of 500 ~ 1,000MHz has no thermal damage to the object in its characteristics, low electrical risk due to low discharge voltage, high power efficiency, high It has a high possibility as a plasma equipment for biomedical applications compared to low frequency plasma equipment such as the superiority of the effect due to the plasma component.

하지만, 현재 개발된 마이크로웨이브 플라즈마 장비의 경우 효과적인 전력 전달을 위해서 사용되는 매칭 박스로 인해 장비의 크기가 크고 플라즈마 방전을 위해 높은 전력을 사용해야 하는 문제점 발생 되었다. 또한, 지혈, 상처 치유, 피부 미용과 같은 분야에서 넓은 처리 면적이 요구되고 있으나, 고주파 전력을 사용할 경우 사용 전력의 파장이 매우 짧아 넓은 면적에 균일한 전기장을 만드는 것과 균일한 가스 공급이 어려워 넓은 면적의 플라즈마를 발생시키는 것이 어렵다는 문제점이 발생 되었다.However, the presently developed microwave plasma equipment has a problem in that the size of the equipment is large and high power is used for plasma discharge due to the matching box used for effective power transmission. In addition, although a large treatment area is required in areas such as hemostasis, wound healing, and skin beauty, when using high frequency power, the wavelength of the power used is very short, so that a uniform electric field is created in a large area, and a uniform gas supply is difficult, thus providing a large area. A problem arises that it is difficult to generate plasma.

본 발명은 상기와 같은 종래의 기술의 제반 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 본 발명은 500~1000MHz 대역의 고주파를 사용함으로써 고주파 플라즈마가 가지는 장점을 유지하며, 평행 평판 전송선을 이용한 공진기를 구성하여 자가 매칭을 가능하게 하고, 개방 구조의 끝의 전극 사이의 간격을 매우 좁게 유지하여 저전력으로 넓은 면적의 균일한 전기장의 생성을 가능하게 하고, 여러 개의 가스 유입관을 구비하고 전극 사이의 형태를 개량하여 균일한 가스 공급을 가능하게 하고 개방 구조의 좁은 간격 사이에서 선 형태의 대면적 플라즈마를 발생시키도록 구성한 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기를 제공하는 데 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and the present invention maintains the advantages of high-frequency plasma by using a high frequency in the 500 ~ 1000MHz band, and constitutes a resonator using a parallel plate transmission line. Matching is possible, and the spacing between the electrodes at the ends of the open structure is very narrow to enable the generation of a uniform electric field with a large area at low power, and is provided with several gas inlet pipes and improved shape between the electrodes It is an object of the present invention to provide a low-power large-area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator configured to enable uniform gas supply and to generate a large-area large area plasma in a narrow space between open structures.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 평행 평판 전송선 구조를 사용하였으며 폭에 비해 길이가 길며 납작한 두 개의 평판이 평행 평판 전송선의 두 전극을 이루며, 하나의 전극은 전력의 공급을 위해 다른 전극은 접지를 위해 사용되며, 평행 평판 전송선의 한쪽 끝을 전기적으로 연결한 폐쇄 구조와 다른 끝은 전기적으로 연결하지 않은 개방 구조로 공진기로서 동작하고, 연결된 전극으로부터 계산된 거리에 전력을 공급함으로써 자가 매칭이 가능하게 하였고 균일한 가스 공급을 위해 폐쇄 구조 부분의 2개의 이상의 구멍을 통해 가스를 공급하고, 균일한 가스 공급과 높은 전기장 생성을 위해 개방 구조 부분 근처에서 전극 사이의 구조를 개량하는 것이 가능하고 원활한 가스 공급을 위해 절연체 케이스가 전극을 감싸고, 개방 구조의 전극 틈으로 선형태의 대면적 플라즈마를 발생시키는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the present invention uses a parallel plate transmission line structure, and two flat plates having a length longer than the width form two electrodes of the parallel plate transmission line, and one electrode is used for supplying power. Used for grounding, the closed structure electrically connected to one end of the parallel plate transmission line and the other end to an open structure that is not electrically connected, act as a resonator and provide self-matching by supplying power to the calculated distance from the connected electrode. It is possible and smooth to supply gas through two or more holes in the closed structure part for uniform gas supply, and to improve the structure between the electrodes near the open structure part for uniform gas supply and high electric field generation. Insulator case surrounds the electrode for gas supply, open structure electrode As it characterized by generating a large-area plasma in a line form.

이상에서와 같이 본 발명은 평행 평판 전송선 구조를 이용하여 추가적인 정합 장치의 필요 없이 효과적인 전력 공급이 가능하고, 손에 쥐어지는 작은 크기를 가지며 낮은 전력으로 플라즈마가 생성되고, 선 형태의 대면적 플라즈마를 만듦으로써 점 형태의 플라즈마 장비에 비해 넓은 영역에 대하여 한 번에 플라즈마 효과가 있으며, 피부 처리 등 넓은 영역의 플라즈마 처리에 탁월한 효과가 제공된다.As described above, the present invention provides an effective power supply without the need for an additional matching device by using a parallel plate transmission line structure, has a small size that is easily held in hand, and generates plasma with low power. By making a plasma effect at a time over a large area compared to the point-type plasma equipment, it provides an excellent effect for plasma treatment of a large area, such as skin treatment.

도 1은 본 발명에 따른 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기 전극의 측면 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기의 절연체 케이스에 대한 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기의 전극이 절연체 케이스에 결합된 상태의 구성도.
도 4는 본 발명에 따른 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기의 다른 실시예를 도시한 측면 구성도.1 is a side configuration diagram of a low power large area atmospheric plasma generator electrode using a high frequency resonator according to the present invention.
2 is a block diagram of an insulator case of a low power large-area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator according to the present invention.
3 is a block diagram of a state in which the electrode of the low-power large-area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator according to the present invention is coupled to an insulator case.
Figure 4 is a side configuration diagram showing another embodiment of a low power large area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator in accordance with the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

첨부된 도면중 도 1은 본 발명에 따른 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기 전극의 측면 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기의 절연체 케이스에 대한 구성도이며, 도 3은 본 발명에 따른 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기의 전극이 절연체 케이스에 결합된 상태의 구성도이다.1 is a side configuration diagram of a low power large area atmospheric plasma generator electrode using a high frequency resonator according to the present invention, and FIG. 2 is an insulator case of a low power large area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator according to the present invention. 3 is a diagram illustrating a state in which an electrode of a low power large-area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator according to the present invention is coupled to an insulator case.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기는 크게 전극(100), 가스 유입관(103), 연결 부재(104), 연결 구멍(105) 및 가스 공급을 위한 가스통로로 사용되는 절연체 케이스(201)로 이루어진다.As shown in Figures 1 to 3, the low-power large-area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator according to the present invention largely the electrode 100, gas inlet tube 103, connecting member 104, connecting hole 105 And an insulator case 201 used as a gas passage for gas supply.

도 1에 도시된 전극(100)은 도전성 도체로 가공한 한쪽이 전기적으로 연결 된 평행 평판 전송선이고, 전극(100)은 10~40mm 너비의 평판이며, 평행한 두 전극 중 위판은 전력 공급용으로 아래 판은 접지용으로 구성되어 있고, 한쪽 끝은 전극이 전기적으로 연결되어 폐쇄 구조(101)를 이루고 다른 끝은 연결되어 있지 않아 개방 구조(102)를 이루며, 이들이 마이크로 신호의 공진기(Resonator)로 동작한다. The electrode 100 shown in FIG. 1 is a parallel plate transmission line electrically connected to one side processed by a conductive conductor, the electrode 100 is a plate having a width of 10 to 40 mm, and the upper plate of the two parallel electrodes is used for power supply. The lower plate is configured for grounding, one end of which is electrically connected to form a closed structure 101 and the other end of which is not connected to form an open structure 102, which is a micro-signal resonator. It works.

상기 폐쇄 구조(101) 길이는 가스 유입관의 제작이 용이한 15~20mm가 적당하고, 상기 폐쇄 구조(101) 후면에 균일한 가스 공급을 위해 여러 개의 가스 유입관(103)을 구비하며, 폐쇄 구조 끝 부분에서 개방구조까지는 동작하는 고주파 파장의 1/4에 해당하는 길이이다.
이때, 개방 구조(102)에서 전극 간격은 높은 전기장을 만들기 위하여 0.5~1mm를 유지하며 공진기의 전기적 특성상 높은 전기장이 개방 구조(102)의 끝 부분에 집중된다.
상기 연결 부재(104)와의 연결을 위한 연결 구멍(105)을 구비하되, 연결 부재(104)와 연결 구멍(105)은 폐쇄 구조(101)부터 사용하는 주파수에 따라 입력 임피던스 50Ω을 만족시키는 곳에 위치되며, 5~10W의 저전력과 500~1000MHz 대역의 고주파 전력은 연결 부재(104)를 통하고 전극 위판의 연결 구멍(105)을 통해 공급된다. The length of the closed structure 101 is 15 ~ 20mm is easy to manufacture the gas inlet pipe is suitable, and is provided with a plurality of gas inlet pipe 103 for uniform gas supply on the back of the closed structure 101, From the end of the structure to the open structure, it is one-fourth the length of the operating high-frequency wavelength.
At this time, the electrode spacing in the open structure 102 maintains 0.5 ~ 1mm to make a high electric field and the high electric field is concentrated at the end of the open structure 102 due to the electrical characteristics of the resonator.
And a connection hole 105 for connecting with the connection member 104, wherein the connection member 104 and the connection hole 105 are positioned where the input impedance 50Ω is satisfied according to the frequency used from the closed structure 101. The low power of 5-10 W and the high frequency power of the 500-1000 MHz band are supplied through the connection member 104 and through the connection hole 105 of the electrode upper plate.

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상기 주파수에서 공진하여 전력 효율을 극대화하며 별도의 마이크로파 매칭 장치가 필요 없고, 높은 전기장이 개방 구조(102)의 끝 부분에 집중된다. 폐쇄 구조(102) 후면에 여러 개의 가스 유입관(103)을 구비하고, 가스 유입관(103)의 지름은 1~1.5mm가 적당하다.Resonating at this frequency maximizes power efficiency and eliminates the need for a separate microwave matching device, and a high electric field is concentrated at the end of the open structure 102. It is provided with a plurality of gas inlet tube 103 on the back of the closed structure 102, the diameter of the gas inlet tube 103 is 1 ~ 1.5mm is suitable.

전극(100)의 양 옆의 공간을 막아주며 가스의 통로로 사용되는 절연체 케이스(201)를 구비하는 것을 특징으로 하고, 10slm(standard liter per minute)의 가스가 가스 유입관(103)을 통해 공급되며, 전극(100) 사이의 간격과 절연 케이스(201) 사이의 가스 통로를 통해 개방 구조(102)의 틈으로 방출되고, 개방 구조(102) 사이에 걸리는 강한 전기장으로 공급된 가스가 방전하여 10~40mm의 선 형태의 대면적 플라즈마를 생성하게 된다.It is characterized in that it comprises an insulator case 201 that blocks the space on both sides of the electrode 100 and is used as a gas passage, and 10slm (standard liter per minute) of gas is supplied through the gas inlet pipe 103. The gas is discharged into the gap of the open structure 102 through the gap between the electrodes 100 and the gas passage between the insulating case 201, and the gas supplied to the strong electric field between the open structure 102 discharges to discharge 10 It produces a large area plasma in the form of a line of ˜40 mm.

이때, 가스는 헬륨 가스, 아르곤 가스, 질소 가스, 산소 및 복합 가스(예: 헬륨 99%, 산소 1%) 중 하나인 것을 특징으로 한다.In this case, the gas is characterized in that one of helium gas, argon gas, nitrogen gas, oxygen and complex gas (eg, helium 99%, oxygen 1%).

한편, 도 4는 도 1에서 도시된 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기의 다른 실시예로서, 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하기로 한다.On the other hand, Figure 4 is another embodiment of a low-power large-area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator shown in Figure 1, the same reference numerals will be used for the same components.

도시된 바와 같이, 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기는 크게 개량형 전극(107), 가스 유입관(103), 연결 부재(104), 연결 구멍(105) 및 가스 공급을 위해 가스통로로 사용되는 절연체 케이스(201)로 이루어진다.As shown, a low power large area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator is used as a gas passage for greatly improved electrode 107, gas inlet tube 103, connecting member 104, connecting hole 105 and gas supply. Made of an insulator case 201.

이러한 개량형 전극(107)은 원활한 가스 공급과 전극의 개방 구조(102)에 전기장을 집중시키기가 용이하다. 이 개량형 전극(107)의 간격은 개방 구조(102) 영역에서 좁아지도록 이루어진다.This improved electrode 107 facilitates a smooth gas supply and concentrates the electric field on the open structure 102 of the electrode. The spacing of this improved electrode 107 is made narrower in the open structure 102 area.

이때, 개량형 전극(107)의 간격은 강하고 높은 전기장을 위해 0.5~1mm를 유지하며 그 간격은 개방 구조(102) 근처에서 좁아져 0.5mm 이하를 유지하는 것이 적당하다. 간격이 좁아지는 지점은 폐쇄 구조(101)와 개방 구조(102) 사이의 10~83mm에서 가능하다.At this time, the spacing of the improved electrode 107 is strong and maintains 0.5 to 1mm for high electric field, the spacing is narrow near the open structure 102 to maintain less than 0.5mm. The point where the gap is narrowed is possible at 10-83 mm between the closed structure 101 and the open structure 102.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다. Although the present invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments, the present invention is not limited to the above-described embodiments and has ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the spirit of the present invention. Various changes and modifications may be made by the user.

100 : 전극 101 : 폐쇄 구조
102 : 개방 구조 103 : 가스 유입관
104 : 연결 부재 105 : 연결 구멍
107 : 개량 전극 201 : 절연체 케이스100 electrode 101 closed structure
102: open structure 103: gas inlet pipe
104: connecting member 105: connecting hole
107: improved electrode 201: insulator case

Claims (10)

전도성 도체로 가공한 한쪽이 전기적으로 연결된 평행 평판 전송선으로 이루어지고, 평행한 두 전극 중 위판은 전력 공급용으로 아래 판은 접지용으로 이루어진 전극(100)과;
상기 전극(100)의 한쪽 끝은 전극이 전기적으로 연결되고, 다른 끝은 연결되지 않게 이루어진 폐쇄 구조(101) 및 개방 구조(102)와;
상기 폐쇄 구조(101)의 후면에 연결되어 균일한 가스 공급을 하기 위한 다수의 가스 유입관(103)과;
상기 전극(100)의 폐쇄 구조(101)로부터 사용하는 주파수에 따라 입력 임피던스 50Ω을 만족시키는 위치에 연결 부재(104)와 연결 구멍(105)을 구비한 것을 특징으로 하는 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기.An electrode 100 formed of a parallel plate transmission line electrically connected to one of the conductive conductors, the upper plate being used for power supply and the lower plate being made for grounding;
One end of the electrode 100 has a closed structure (101) and an open structure (102), the electrode is electrically connected, the other end is not connected;
A plurality of gas inlet pipes 103 connected to the rear surface of the closed structure 101 for uniform gas supply;
A low power large area using a high frequency resonator, characterized in that the connecting member 104 and the connecting hole 105 is provided at a position satisfying the input impedance of 50Ω according to the frequency used from the closed structure 101 of the electrode 100. Atmospheric plasma generator. 제1항에 있어서, 상기 전극(100)은 폐쇄 구조(101)에서 개방 구조(102)까지 공진주파수 파장의 1/4 길이로 구성된 것을 특징으로 하는 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기.The low-power large-area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator according to claim 1, wherein the electrode (100) has a quarter length of a resonant frequency wavelength from a closed structure (101) to an open structure (102). 제1항에 있어서, 상기 가스 유입관(103)은 지름이 1~1.5mm로 이루어져 10slm의 가스가 유입되고,
상기 전극(100)의 양 옆 공간을 막아주며 원활한 가스공급을 위해 절연체 케이스(201)가 전극(100)을 감싸게 되며,
상기 전극(100) 사이의 간격과 절연체 케이스(201) 사이의 가스 통로를 통해 개방 구조(102)의 틈으로 방출되고,
상기 연결 구멍(105)을 통해 마이크로파가 인가되는 것을 특징으로 하는 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기. According to claim 1, wherein the gas inlet pipe 103 is made of 1 ~ 1.5mm in diameter 10slm gas is introduced,
The insulator case 201 surrounds the electrode 100 to prevent space between both sides of the electrode 100 and provide a smooth gas supply.
Is discharged into the gap of the open structure 102 through the gap between the electrode 100 and the gas passage between the insulator case 201,
Low power large area atmospheric pressure plasma generator using a high frequency resonator, characterized in that the microwave is applied through the connection hole (105). 제3항에 있어서, 상기 가스는
헬륨 가스, 아르곤 가스, 질소 가스 또는 산소 및 복합 가스 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기.The method of claim 3, wherein the gas
A low power large area atmospheric pressure plasma generator using a high frequency resonator, characterized in that any one of helium gas, argon gas, nitrogen gas or oxygen and composite gas. 제3항에 있어서, 상기 마이크로파는,
5~10W의 저전력과 500~1,000MHz로 이루어지고, 상기 주파수에서 공진하여 전력 효율을 극대화하여 마이크로파 매칭장치가 필요 없게 되고,
개방 구조(102) 끝 부분에서 10~40mm의 선 형태의 플라즈마를 발생시키는 것을 특징으로 하는 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기.The method of claim 3, wherein the microwave,
It consists of low power of 5 ~ 10W and 500 ~ 1,000MHz, and resonates at the frequency to maximize power efficiency, eliminating the need for a microwave matching device,
Low power large-area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator, characterized in that for generating a plasma in the form of a line of 10 ~ 40mm at the end of the open structure (102). 전도성 도체로 가공한 한쪽이 전기적으로 연결된 평행 평판 전송선으로 이루어지고, 평행한 두 전극 중 위판은 전력 공급용으로 아래 판은 접지용으로 이루어진 개량 전극(107)과;
상기 개량 전극(107)의 한쪽 끝은 전극이 전기적으로 연결되고, 다른 끝은 연결되지 않게 이루어진 폐쇄 구조(101) 및 개방 구조(102)와;
상기 폐쇄 구조(101)의 후면에 연결되어 균일한 가스 공급을 하기 위한 다수의 가스 유입관(103)과;
상기 개량 전극(107)의 폐쇄 구조(101)로부터 사용하는 주파수에 따라 입력 임피던스 50Ω을 만족시키는 위치에 연결 부재(104)와 연결 구멍(105)을 구비한 것을 특징으로 하는 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기.An improved electrode 107 made of a parallel plate transmission line electrically connected to one of the conductive conductors, the upper plate of which the two parallel electrodes are for power supply, and the lower plate for grounding;
One end of the improved electrode (107) and the closed structure 101 and the open structure 102, the electrode is electrically connected, the other end is not connected;
A plurality of gas inlet pipes 103 connected to the rear surface of the closed structure 101 for uniform gas supply;
Low power band using a high frequency resonator, characterized in that the connecting member 104 and the connecting hole 105 is provided at a position satisfying the input impedance 50Ω according to the frequency used from the closed structure 101 of the improved electrode 107. Area atmospheric plasma generator. 제6항에 있어서,
상기 개량 전극(107)은 간격을 0.5~1mm 유지하고,
상기 개방 구조(102) 근처에서 좁아져 0.1~0.5mm를 유지하며,
상기 개량 전극(107)의 간격이 좁아지는 지점은 폐쇄 구조(101)와 개방 구조(102) 사이의 10~83mm인 것을 특징으로 하는 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기.The method of claim 6,
The improved electrode 107 is maintained at a distance of 0.5 ~ 1mm,
Narrow near the open structure 102 to maintain 0.1 ~ 0.5mm,
A low power large area atmospheric pressure plasma generator using a high frequency resonator, characterized in that the narrowing point of the improved electrode 107 is 10 ~ 83mm between the closed structure 101 and the open structure (102). 제6항에 있어서, 상기 가스 유입관(103)은 지름이 1~1.5mm로 이루어져 10 slm의 가스가 유입되고,
개량 전극(107)의 양 옆 공간을 막아주며 가스의 통로로 사용되는 절연체 케이스(201)를 구비하고,
전극 사이의 간격과 케이스 사이의 가스 통로를 통해 개방 구조(102)의 틈으로 방출되고,
상기 연결 구멍(105)을 통해 마이크로파가 인가되는 것을 특징으로 하는 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기. According to claim 6, The gas inlet pipe 103 is made of a diameter of 1 ~ 1.5mm 10 slm of gas is introduced,
It is provided with an insulator case 201 that blocks the spaces on both sides of the improvement electrode 107 and is used as a gas passage.
Through the gap between the electrodes and the gas passage between the case and into the gap of the open structure 102,
Low power large area atmospheric pressure plasma generator using a high frequency resonator, characterized in that the microwave is applied through the connection hole (105). 제8항에 있어서, 상기 가스는
헬륨 가스, 아르곤 가스, 질소 가스 또는 산소 및 복합가스 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기.The method of claim 8, wherein the gas
A low power large-area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator, characterized in that any one of helium gas, argon gas, nitrogen gas or oxygen and composite gas. 제8항에 있어서, 상기 마이크로파는
5~10W의 저전력과 500~1,000MHz로 이루어지고, 상기 주파수에서 공진하여 전력 효율을 극대화하여 마이크로파 매칭장치가 필요 없게 되고,
개방 구조(102) 끝 부분에서 10~40mm의 선 형태의 플라즈마를 발생시키는 것을 특징으로 하는 고주파 공진기를 이용한 저전력 대면적 대기압 플라즈마 발생기.
The method of claim 8, wherein the microwave
It consists of low power of 5 ~ 10W and 500 ~ 1,000MHz, and resonates at the frequency to maximize power efficiency, eliminating the need for a microwave matching device,
Low power large-area atmospheric plasma generator using a high frequency resonator, characterized in that for generating a plasma in the form of a line of 10 ~ 40mm at the end of the open structure (102).
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