KR101156564B1 - Apparatus operated by one actuator for adjusting mirror curvatures and mirror manipulating system with the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치 및 이를 구비한 거울 조정시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 단일 구동기에 의해서 원활하게 거울의 곡률을 조정할 수 있을 뿐만 아니라, 거울의 곡률 조정시에 거울 중심점의 위치가 이동되지 않도록 고정할 수 있어, 거울의 위치 조정, 각도 조정 및 곡률 조정을 포함하는 거울 조정 과정을 용이 간편하게 진행할 수 있고, 장치의 정밀도와 신뢰도를 더욱 향상시킬 수 있는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치 및 이를 구비한 거울 조정시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a mirror curvature adjusting device having a single driver and a mirror adjusting system having the same, and more particularly, it is possible to smoothly adjust the curvature of the mirror by a single driver, and also to adjust the curvature of the mirror. The position of the center point can be fixed so that it does not move, so that the mirror adjustment process including the positioning of the mirror, the angle adjustment and the curvature adjustment can be easily performed, and a single driver can further improve the precision and reliability of the device. It relates to a mirror curvature adjusting device and a mirror adjusting system having the same.
일반적으로 전자를 빛의 속도에 근접한 속도로 가속시키고 이를 전자석을 이용해 회전시켜 자외선, X선 등 넓은 에너지 영역의 고휘도의 전자기파를 얻을 수 있는 방사광가속기 등에는, 방사광을 집속하는 거울 및 이 거울의 위치, 각도 및 곡률을 조정할 수 있는 거울 조정시스템이 구비된다.In general, the mirror and the position of the mirror are focused on a radiation beam accelerator, which can accelerate electrons at a speed close to the speed of light and rotate them using electromagnets to obtain high-intensity electromagnetic waves in a wide energy range such as ultraviolet rays and X-rays. It is equipped with a mirror adjustment system that can adjust the angle and curvature.
이러한 종래의 거울 조정시스템은 거울의 위치를 조정하는 위치 조정장치, 거울의 각도를 조정하는 각도 조정장치, 및 거울의 곡률을 조정하는 곡률 조정장치로 이루어지는데, 그 중에서 거울의 곡률을 조정하는 종래의 곡률 조정장치는 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같다.This conventional mirror adjustment system is composed of a position adjusting device for adjusting the position of the mirror, an angle adjusting device for adjusting the angle of the mirror, and a curvature adjusting device for adjusting the curvature of the mirror, among which the conventional The curvature adjusting device is as shown in Figs.
종래의 곡률 조정장치는, 베이스블록(20), 베이스블록(20)에 회동 가능하게 외팔보(31)로 각각 연결되는 한 쌍의 회동블록(30), 한 쌍의 회동블록(30)에 각각 고정되어 거울(10)의 양단을 지지하는 한 쌍의 지지블록(40) 및 한 쌍의 회동블록(30)에 각각 외력을 인가하여 회동시키는 한 쌍의 구동부(50)로 구성된다.Conventional curvature adjusting device is fixed to a pair of
종래의 곡률 조정장치에 있어서, 한 쌍의 회동블록(30)은 도 3에 도시된 바와 같이, 제1ㆍ제2판스프링(51, 52)과 구동기(53)로 각각 이루어지는 한 쌍의 구동부(50)에 의해 외력이 인가됨에 따라 회동점(RP)을 중심으로 거울(10) 측으로 각각 회동되며, 인가된 외력이 해제되면 외팔보(31)의 탄성력으로 인해 원위치로 복귀된다.In the conventional curvature adjusting device, as shown in FIG. 3, the pair of
여기서, 한 쌍의 회동블록(30)이 회동되면, 이로 인해 한 쌍의 지지블록(40)이 거울(10)의 양단에 굽힘력을 인가하고, 이에 따라 거울(10)이 휘어지면서 곡률이 커지게 조정된다. 즉, 종래의 곡률 조정장치는, 한 쌍의 구동부(50)가 한 쌍의 회동블록(30)에 각각 인가하는 외력의 크기를 적절히 제어하여 거울(10)의 곡률을 원하는 수치로 조정하게 된다.Here, when the pair of
한편, 이러한 곡률 조정장치를 포함하는 종래의 거울 조정시스템을 이용한 거울 조정 과정은, 거울(10)의 위치 및 각도를 조정하여 거울(10)에 입사하는 전자기파를 거울 반사면의 중심점(MC)에 입사하도록 만드는 작업과 거울(10)의 피치각과 곡률을 조정하여 거울(10)에서 반사되는 전자기파가 집속되도록 만드는 작업으로 대별된다.On the other hand, the mirror adjustment process using a conventional mirror adjustment system including such a curvature adjustment device, by adjusting the position and angle of the
이러한 거울 조정 과정 중 거울(10)에서 반사되는 전자기파가 집속되도록 하는 작업을 종래의 거울 조정시스템을 이용하여 수행할 경우, 거울(10)의 피치각을 조정하는 구동기 및 거울(10)의 곡률을 조정하는 한 쌍의 구동부(50)에 대한 전체 세 개의 입력 변수를 조정하며 진행하여야 하므로 그 작업이 복잡하고 번거로운 단점이 있다.When the operation to focus the electromagnetic wave reflected from the
그리고 종래의 거울 조정시스템에 구비된 곡률 조정장치는, 도 3에 도시된 바와 같이, 거울(10)의 양단에 굽힘력이 인가됨에 따라 거울(10)의 중심이 하측으로 휘어지면서 곡률이 변화하므로, 거울(10)의 곡률을 조정하는 작업에서 곡률을 작게 조정하거나 크게 조정함에 따라, 전자기파가 입사되는 거울(10)의 중심점(MC) 위치가 도 3을 기준으로 상측 또는 하측으로 이동하게 된다.And the curvature adjusting device provided in the conventional mirror adjustment system, as shown in Figure 3, as the bending force is applied to both ends of the
이와 같이 종래의 곡률 조정장치를 포함하는 거울 조정시스템을 이용하여 거울을 조정할 경우에는, 거울(10)의 곡률을 조정하는 작업 중에 곡률 조정 폭이 커서 거울(10)의 중심점(MC) 위치가 크게 이동되면, 전자기파가 거울(10)의 중심점(MC)으로 입사하도록 이미 수행한 거울의 위치, 각도 조정 작업을 다시 진행해야 하는 문제점이 있다.As described above, in the case of adjusting the mirror by using a mirror adjusting system including a conventional curvature adjusting device, the curvature adjustment width is large during the operation of adjusting the curvature of the
게다가 이와 같은 거울의 위치 조정 작업, 각도 조정 작업 및 곡률 조정 작업이 거울(10)에 전자기파가 입사되게 한 후, 통과한 전자기파의 광량을 측정하거나 반사된 전자기파를 정밀 주사(scan)하면서 단계별 광량을 측정하여 그 측정값을 기반으로 위치 조정 수치, 각도 조정 수치 및 곡률 조정 수치를 각각 산출하여 반영하는 복잡한 작업임을 감안하면, 이러한 문제점은 큰 단점임을 알 수 있다.In addition, such a mirror positioning operation, an angle adjustment operation, and a curvature adjustment operation cause electromagnetic waves to enter the
한편, 종래의 곡률 조정장치는, 거울(10)의 양단을 지지하는 한 쌍의 지지블록(40)이 거울(10)과 조립체를 이룬 후 각각 한 쌍의 회동블록(30)에 그대로 고정 설치되므로, 한 쌍의 지지블록(40)과 거울(10)의 조립체의 길이가 한 쌍의 회동블록(30)의 대응하는 거리와 정확히 일치하지 않을 경우에는, 거울(10)에 의도하지 않은 굽힘 변형이 일어날 수 있으므로, 해당 굽힘 변형으로 인해 장치의 신뢰도가 저하될 수 있는 단점도 있다.On the other hand, in the conventional curvature adjusting device, since a pair of
즉, 예를 들어 한 쌍의 지지블록(40)과 거울(10)의 조립체의 길이가 한 쌍의 회동블록(30)의 대응하는 거리보다 긴 경우에는, 해당 조립체를 한 쌍의 회동블록(30)의 사이에 설치할 때에 거울(10)의 양측이 가압되면서 굽힘 변형이 일어날 수 있는 것이다.That is, for example, when the length of the assembly of the pair of
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은, 거울의 곡률을 조정하는 작업이 단일의 구동기 하나에 대한 입력 조정으로 진행될 수 있고, 거울의 곡률 조정이 구동기의 이송 변위에 비해 매우 세밀하게 진행될 수 있으며, 거울의 곡률 조정시에 거울 중심점의 위치가 이동되지 않도록 고정할 수 있을 뿐만 아니라, 거울 설치 과정에서 거울에 의도하지 않은 굽힘 변형이 일어나는 것을 방지할 수 있는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치 및 이를 구비한 거울 조정시스템을 제공하고자 한다.In order to solve the problems as described above, the present invention can adjust the curvature of the mirror can be performed as an input adjustment for a single driver, the adjustment of the mirror curvature can be carried out very finely compared to the feed displacement of the driver In addition, the mirror curvature adjuster can be fixed so that the position of the mirror center point does not move when adjusting the curvature of the mirror, and also prevents unintentional bending deformation of the mirror during the mirror installation process. And to provide a mirror adjustment system having the same.
상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치는, 거울 양단에 굽힘력을 인가 또는 해제하여 곡률을 조정하는 장치로서, 베이스블록; 상기 베이스블록에 하나 이상의 제1탄성체를 통해 각각 연결 구비되고, 외력이 인가 또는 해제됨에 따라 상기 베이스블록과 상기 제1탄성체의 연결부분을 중심으로 회동 또는 탄성 복귀하는 한 쌍의 회동블록; 상기 한 쌍의 회동블록에 각각 설치되어 상기 거울의 양단을 지지하며, 상기 한 쌍의 회동블록이 회동됨에 따라 상기 거울의 양단에 굽힘력을 인가하는 한 쌍의 지지블록; 및 일 방향으로 왕복 이송되게 구비된 이송부재, 상기 이송부재를 이송하는 단일의 구동기, 및 상기 이송부재의 양단부에 각각 구비되며 상기 구동기에 의한 상기 이송부재의 이송력을 상기 한 쌍의 회동블록에 전달하여 상기 한 쌍의 회동블록을 각각 회동시키는 한 쌍의 전달부를 포함하여 이루어진 구동부;를 포함한다.In order to solve the above problems, the apparatus for adjusting the curvature of a mirror having a single driver according to the present invention, the apparatus for adjusting the curvature by applying or releasing a bending force on both ends of the mirror, the base block; A pair of pivot blocks each connected to the base block through one or more first elastic bodies, the pivot blocks pivoting or elastically returning around the connection portion of the base block and the first elastic body when an external force is applied or released; A pair of support blocks installed at each of the pair of rotation blocks to support both ends of the mirror, and applying a bending force to both ends of the mirror as the pair of rotation blocks are rotated; And a conveying member provided to be reciprocally conveyed in one direction, a single driver for conveying the conveying member, and provided at both ends of the conveying member, and transferring the conveying force of the conveying member by the driver to the pair of rotating blocks. And a driving unit including a pair of transfer units configured to transfer and rotate the pair of rotation blocks, respectively.
상기 한 쌍의 전달부는, 상기 베이스블록에 하나 이상의 제2탄성체를 통해 각각 연결 구비되고, 상기 이송부재에 힌지로 연결되어 상기 이송부재의 이송력이 인가 또는 해제됨에 따라 상기 베이스블록과 상기 제2탄성체의 연결부분을 중심으로 회동하여 상기 회동블록에 외력을 인가하거나 탄성 복귀하는 전달블록;을 각각 포함할 수 있다.The pair of transmission parts are connected to the base block through one or more second elastic bodies, respectively, and are connected to the transfer member by a hinge so that the transfer force of the transfer member is applied or released. It may include; each of the transfer block to rotate around the connecting portion of the elastic body to apply an external force to the rotating block or elastically return.
상기 한 쌍의 전달부는, 탄성 변형으로 길이가 가변되는 탄성부재;를 각각 더 포함하며, 상기 전달블록은 상기 탄성부재를 통해 상기 이송부재에 연결 구비될 수 있다.The pair of transmission units may further include an elastic member that is variable in length by elastic deformation, and the transmission block may be connected to the transfer member through the elastic member.
상기 구동부는, 상기 이송부재의 이송방향을 따라 상기 베이스블록에 고정된 하나 이상의 가이드축, 및 상기 하나 이상의 가이드축에 각각 맞물려 왕복 이송되며 상기 이송부재에 결합된 하나 이상의 가이드체를 포함하여 상기 이송부재의 왕복 이송을 안내하는 가이드부;를 더 포함할 수 있다.The driving unit may include one or more guide shafts fixed to the base block along the transfer direction of the transfer member, and one or more guide bodies engaged with the one or more guide shafts and coupled to the transfer member, respectively. It may further include a guide portion for guiding the reciprocating conveyance of the member.
상기 전달블록과 상기 회동블록 중 어느 하나는, 상기 전달블록이 상기 회동블록에 외력을 인가하거나 탄성 복귀할 때에 상기 회동블록과의 슬라이딩 접촉을 원활하게 하고, 상기 회동블록과 상기 전달블록의 간격을 소정의 설계값에 대응되게 형성하며, 상기 전달블록 또는 상기 회동블록과의 접촉부위가 곡면인 슬라이딩 부재;를 포함할 수 있다.Any one of the transfer block and the pivot block facilitates sliding contact with the pivot block when the transfer block applies an external force or elastically returns to the pivot block, and maintains an interval between the pivot block and the transmission block. The sliding member may be formed to correspond to a predetermined design value and have a curved contact portion with the transfer block or the rotation block.
상기 전달블록과 상기 제2탄성체는, 상기 베이스블록과 일체로 형성될 수 있다.The transfer block and the second elastic body may be formed integrally with the base block.
상기 제1탄성체는, 상기 회동블록이 회동됨에 따라 상기 거울에 대한 상기 지지블록의 지지점이 곡률 변화에 의한 상기 거울의 중심점의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 이동될 수 있게 상기 회동블록을 상기 베이스블록에 연결하도록 구비될 수 있다.The first elastic body, the rotation block is rotated by the base block so that the support point of the support block with respect to the mirror can be moved in a direction opposite to the direction of movement of the center point of the mirror due to the curvature change It may be provided to connect to.
상기 제1탄성체는, 외팔보 형태로 구비되고, 상기 베이스블록의 일측에 형성된 개방구에 위치되는 상기 거울의 반사면에 대해 직각을 이루며, 상기 베이스블록과의 연결부분인 제1회동점이 정면에서 바라볼 때에 상기 거울의 반사면 상 또는 상기 거울의 반사면에 인접되게 구비될 수 있다.The first elastic body has a cantilever shape, forms a right angle with respect to a reflecting surface of the mirror located at an opening formed at one side of the base block, and faces a first pivot point, which is a connection portion with the base block, from the front. It may be provided on the reflective surface of the mirror or adjacent to the reflective surface of the mirror.
상기 회동블록과 상기 제1탄성체는, 상기 베이스블록과 일체로 형성될 수 있다.The pivot block and the first elastic body may be integrally formed with the base block.
상기 한 쌍의 지지블록 중 적어도 하나는, 상기 회동블록에 위치 조절될 수 있게 고정되는 연결블록을 통해 상기 회동블록에 설치될 수 있다.At least one of the pair of support blocks may be installed in the pivot block via a connection block fixed to be adjustable in the pivot block.
본 발명에 따른 거울 조정시스템은, 거울의 위치, 각도 및 곡률을 조정하는 시스템으로서, 바닥면에 설치된 지지대; 상기 지지대에 고정 설치되며, 상기 지지대에 대해 설치플레이트를 전후, 좌우 및 상하로 이송하고 기울기를 조정하는 위치 조정장치; 상기 설치플레이트에 고정 설치되며, 하면에 대해 상면의 회전 각도를 조정하는 각도 조정장치; 및 상기 각도 조정장치의 상면에 설치되는 베이스블록, 상기 베이스블록에 하나 이상의 제1탄성체를 통해 각각 연결 구비되고, 외력이 인가 또는 해제됨에 따라 상기 베이스블록과 상기 제1탄성체의 연결부분을 중심으로 회동 또는 탄성 복귀하는 한 쌍의 회동블록, 상기 한 쌍의 회동블록에 각각 설치되어 상기 거울의 양단을 지지하며, 상기 한 쌍의 회동블록이 회동됨에 따라 상기 거울의 양단에 굽힘력을 인가하는 한 쌍의 지지블록; 및 상기 한 쌍의 회동블록을 회동시키는 구동부를 포함하는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치;를 포함하되, 상기 구동부는, 일 방향으로 왕복 이송되게 구비된 이송부재, 상기 이송부재를 왕복 이송하는 단일의 구동기, 및 상기 이송부재의 양단부에 각각 구비되며 상기 구동기에 의한 상기 이송부재의 이송력을 상기 한 쌍의 회동블록에 전달하여 상기 한 쌍의 회동블록을 각각 회동시키는 한 쌍의 전달부를 포함하여 이루어진다.Mirror adjustment system according to the present invention, the system for adjusting the position, angle and curvature of the mirror, the support provided on the bottom surface; A position adjusting device fixed to the support and configured to transfer the installation plate to the support, forward, backward, left and right, and up and down and adjust the inclination thereof; An angle adjusting device fixed to the mounting plate and adjusting a rotation angle of the upper surface with respect to the lower surface; And a base block installed on an upper surface of the angle adjusting device, each of which is connected to the base block through at least one first elastic body, and is connected to the base block and the first elastic body as an external force is applied or released. A pair of rotating blocks that rotate or return elastically, respectively, are installed on the pair of rotating blocks to support both ends of the mirror, and as long as the pair of rotating blocks rotate, the bending force is applied to both ends of the mirror. Pair of support blocks; And a curvature adjusting device of a mirror having a single driver including a driving unit for rotating the pair of rotating blocks, wherein the driving unit includes a transfer member provided to reciprocate in one direction and reciprocally transfer the transfer member. It includes a single driver and a pair of transmission parts respectively provided at both ends of the transfer member to transfer the transfer force of the transfer member by the driver to the pair of rotating blocks to rotate the pair of rotating blocks, respectively. It is done by
상기 한 쌍의 전달부는, 상기 베이스블록에 하나 이상의 제2탄성체를 통해 각각 연결 구비되고, 상기 이송부재에 힌지로 연결되어 상기 이송부재의 이송력이 인가 또는 해제됨에 따라 상기 베이스블록과 상기 제2탄성체의 연결부분을 중심으로 회동하여 상기 회동블록에 외력을 인가하거나 탄성 복귀하는 전달블록;을 각각 포함할 수 있다.The pair of transmission parts are connected to the base block through one or more second elastic bodies, respectively, and are connected to the transfer member by a hinge so that the transfer force of the transfer member is applied or released. It may include; each of the transfer block to rotate around the connecting portion of the elastic body to apply an external force to the rotating block or elastically return.
상기 한 쌍의 전달부는, 탄성 변형으로 길이가 가변되는 탄성부재;를 각각 더 포함하며, 상기 전달블록은 상기 탄성부재를 통해 상기 이송부재에 연결 구비될 수 있다.The pair of transmission units may further include an elastic member that is variable in length by elastic deformation, and the transmission block may be connected to the transfer member through the elastic member.
상기 제1탄성체는, 상기 회동블록이 회동됨에 따라 상기 거울에 대한 상기 지지블록의 지지점이 곡률 변화에 의한 상기 거울의 중심점의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 이동될 수 있게 상기 회동블록을 상기 베이스블록에 연결하도록 구비될 수 있다.The first elastic body, the rotation block is rotated by the base block so that the support point of the support block with respect to the mirror can be moved in a direction opposite to the direction of movement of the center point of the mirror due to the curvature change It may be provided to connect to.
이러한 본 발명의 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치 및 이를 구비한 거울 조정시스템에 의하면, 거울의 곡률 조정을 위해 한 쌍의 회동블록을 회동시키는 구동부가 한 쌍의 전달부와 이송부재를 구비하여 단일의 구동기로 구현되게 구비됨으로써, 거울의 곡률을 조정하는 작업을 단일의 구동기 하나에 대한 입력만 조정하면서 간편하게 진행할 수 있다.According to such a mirror curvature adjusting device and a mirror adjusting system having the same according to the present invention, the driving unit for rotating a pair of rotating blocks for adjusting the curvature of the mirror is provided with a pair of transmission and transfer member By being implemented with a single driver, the operation of adjusting the curvature of the mirror can be easily performed while adjusting only the input to one single driver.
이에 따라, 전자기파의 집속을 위한 거울의 곡률 조정 작업을 포함하는 거울 조정 과정을 용이하게 수행할 수 있다.Accordingly, the mirror adjustment process including the curvature adjustment of the mirror for focusing the electromagnetic waves can be easily performed.
또한, 지지블록이 설치된 회동블록을 베이스블록에 연결하는 제1탄성체가, 거울의 곡률을 조정할 때에 거울에 대한 지지블록의 지지점이 곡률 변화에 의한 거울 중심점의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 이동될 수 있게 구비됨으로써, 거울의 곡률을 조정하더라도 곡률 변화에 의한 거울 중심점의 이동이 거울 양단에 위치한 지지점의 이동으로 상쇄되어 거울 중심점의 절대적인 변위를 최소화할 수 있다.In addition, the first elastic body connecting the rotation block provided with the support block to the base block, when the curvature of the mirror is adjusted, the support point of the support block relative to the mirror can be moved in the opposite direction to the moving direction of the mirror center point due to the change in curvature. In this case, even if the curvature of the mirror is adjusted, the movement of the mirror center point due to the curvature change is offset by the movement of the support points positioned at both ends of the mirror, thereby minimizing the absolute displacement of the mirror center point.
즉, 거울의 곡률 조정시에 거울 중심점의 위치가 이동되지 않게 고정할 수 있으므로, 거울의 곡률 조정 작업 이후에 전자기파를 거울 반사면의 중심점에 위치시키기 위한 거울의 위치 및 각도 조정 작업을 다시 수행할 필요가 없어 거울 조정 과정을 더욱 용이 간편하게 진행할 수 있다.That is, since the position of the mirror center point can be fixed so that the mirror curvature is not moved when adjusting the curvature of the mirror, the mirror position and angle adjustment work for positioning the electromagnetic wave at the center point of the mirror reflection surface again after the curvature adjustment of the mirror. There is no need to make the mirror adjustment process easier.
또한, 구동기에 의한 이송부재의 이송력이 한 쌍의 탄성부재를 통해 한 쌍의 전달블록에 각각 인가되게 구비됨으로써, 이송부재의 변위에 비해 회동블록의 회동 각도 및 이에 따른 거울의 곡률 조정을 매우 세밀하게 진행할 수 있으므로, 거울의 곡률 조정의 정밀도를 제고할 수 있다.In addition, since the conveying force of the conveying member by the driver is applied to the pair of transmission blocks through the pair of elastic members, respectively, the rotation angle of the rotating block and the curvature of the mirror according to the displacement of the conveying member are greatly adjusted. Since it can progress in fine detail, the precision of the curvature adjustment of a mirror can be improved.
뿐만 아니라, 한 쌍의 지지블록 중 적어도 하나는 회동블록에 위치가 조절될 수 있게 고정되는 연결블록을 통해 회동블록에 설치되므로, 거울 설치 과정에서 거울에 의도하지 않은 굽힘 변형이 일어나는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 장치의 신뢰도를 제고할 수 있다.In addition, at least one of the pair of support blocks is installed in the rotation block through a connection block fixed to the position of the rotation block, thereby preventing unintentional bending deformation in the mirror during the mirror installation process. Therefore, the reliability of the device can be improved.
도 1은 종래의 거울 조정시스템에 구비되는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치의 정면도,
도 2는 종래의 거울 조정시스템에 구비되는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치의 평면도,
도 3은 종래의 거울 조정시스템에 구비되는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치의 동작 상태를 보여주는 정면도,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치의 정면도,
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치의 평면도,
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치에 구비되는 베이스블록을 회동블록과 전달블록이 구비된 상태로 도시한 사시도,
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치의 동작 상태를 보여주는 정면도,
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 거울 조정시스템을 개략적으로 도시한 정면도이다.1 is a front view of a curvature adjusting device of a mirror having a single driver provided in a conventional mirror adjusting system;
2 is a plan view of a curvature adjusting device of a mirror having a single driver provided in a conventional mirror adjusting system;
3 is a front view showing an operating state of a curvature adjusting device of a mirror having a single driver provided in a conventional mirror adjusting system;
4 is a front view of a curvature adjusting device of a mirror having a single driver according to a preferred embodiment of the present invention;
5 is a plan view of a curvature adjusting device of a mirror having a single driver according to a preferred embodiment of the present invention;
Figure 6 is a perspective view showing a base block provided with a rotating block and a transfer block provided in the curvature adjusting device of the mirror having a single drive according to an embodiment of the present invention,
7 is a front view showing an operating state of a curvature adjusting device of a mirror having a single driver according to a preferred embodiment of the present invention;
8 is a front view schematically showing a mirror adjustment system according to a preferred embodiment of the present invention.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자(이하, '당업자'라 한다)가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 그 범위가 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art to which the present invention pertains (hereinafter, referred to as a person skilled in the art) may easily perform the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.
본 발명에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치 및 이를 구비한 거울 조정시스템은, 전자를 광속에 근접한 속도로 가속시키고 이를 전자석을 이용해 회전시켜 자외선, X선 등 넓은 에너지 영역의 고휘도의 전자기파를 얻을 수 있는 방사광가속기 등에 설치되어, 방사광을 집속하는 거울의 곡률을 조정하는 장치 및 이러한 장치를 포함하여 거울의 위치, 각도 및 곡률을 조정하는 시스템이다.The apparatus for adjusting the curvature of a mirror having a single driver and the mirror adjusting system having the same according to the present invention accelerate electrons at a speed close to the speed of light and rotate them using electromagnets to generate high luminance electromagnetic waves in a wide energy range such as ultraviolet rays and X-rays. Apparatus for adjusting the curvature of a mirror which is provided in a radiation beam accelerator and the like which can be obtained, and a system for adjusting the position, angle and curvature of the mirror including such a device.
이하, 첨부된 도 4 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치(100, 이하 줄여서 '곡률 조정장치'라 한다)의 구성 및 작용효과를 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the configuration and effect of the curvature adjusting device (100, hereinafter referred to as 'curvature adjusting device') of the mirror having a single driver according to a preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying Figures 7 to 7 Explain.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치(100)는, 베이스블록(110), 한 쌍의 회동블록(120, 120'), 한 쌍의 지지블록(130), 구동부(140) 및 변위센서(150)를 포함하여 이루어진다.Apparatus for adjusting the curvature of a mirror having a
상기 베이스블록(110)은 장치의 몸체가 되는 부재로서, 내부에 구동부(140)가 설치될 수 있도록 사각의 관 형상으로 이루어지며, 그 일측에는 거울(10)이 위치되는 개방구(111)가 형성된다.The
이 개방구(111)의 폭 방향 양측에는, 도 6에 도시된 바와 같이 한 쌍의 회동블록(120, 120')이 복수의 제1탄성체(121)를 통해 연결될 수 있도록 한 쌍의 리브(112)가 서로 마주보게 형성된다.On both sides of the
그리고 상기 베이스블록(110)의 중심부에는 후술되는 구동부(140)의 구동기(143)가 설치되는 지지부재(113)가 구비된다.In addition, a
그러나 본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 베이스블록(110)의 형상은 예시적인 것이며, 다양한 다른 형태로 구현될 수 있음은 물론이다.However, in the preferred embodiment of the present invention, the shape of the
한 쌍의 회동블록(120, 120')은 베이스블록(110)의 리브(112)에 탄성 재질의 외팔보 형태로 이루어진 제1탄성체(121)를 통해 각각 연결 구비되고, 베이스블록(110)과 제1탄성체(121)의 연결부분인 제1회동점(RP1)을 중심으로 각각 회동될 수 있게 구비된다.The pair of pivot blocks 120 and 120 'are connected to the
그리고 한 쌍의 회동블록(120, 120')은 도 4에 도시된 바와 같이, 하측으로 연장된 형상으로 구비되며, 구동부(140)로부터 외력이 그 연장된 끝 부분에 인가되게 구현된다.And the pair of rotating blocks (120, 120 ') is provided with a shape extending downward, as shown in Figure 4, it is implemented so that the external force from the
보다 구체적으로 설명하면, 한 쌍의 회동블록(120, 120')은 구동부(140)에 의해 그 연장된 끝 부분에 각각 일방향으로 외력이 인가되는데, 이 외력에 의해 제1탄성체(121)가 탄성 변형되면서 회동된다. 그리고 이렇게 인가되던 외력이 해제되면, 한 쌍의 회동블록(120, 120')은 제1탄성체(121)의 탄성 복원력에 의해 원래의 위치로 각각 복귀하게 된다.More specifically, the pair of
여기서, 상기 제1탄성체(121)는 회동블록(120, 120')이 회동됨에 따라 거울(10)에 대한 지지블록(130)의 지지점(SP)이 거울(10)의 곡률 변화에 의한 거울(10)의 중심점(MC, 이하, 거울의 중심점은 거울 반사면의 중심점으로 정의한다)의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 이동될 수 있게 회동블록(120, 120')을 베이스블록(110)에 연결한다.Here, the first
더 구체적으로 설명하면, 상기 제1탄성체(121)는 도 4에 도시된 바와 같이, 외팔보 형태로 구비되고 거울(10)의 반사면에 대해 직각을 이루도록 리브(112)의 하측에 연결됨으로써, 정면에서 바라볼 때에 제1회동점(RP1)이 거울(10)의 반사면에 인접된 전방측에 위치되게 구비된다.In more detail, as shown in FIG. 4, the first
이에 따라, 도 7에 도시된 바와 같이, 회동블록(120, 120')이 제1회동점(RP1)을 중심으로 회동되면 거울(10)에 대한 지지블록(130)의 지지점(SP)이 상측으로 이동된다. 이에 반해, 회동블록(120, 120')의 회동에 의해 거울(10)에는 굽힘력이 인가되어 거울(10)이 오목하게 곡률이 증가하게 변형되는데, 이때 거울(10)의 중심점(MC)은 지지점(SP)에 대해 하측으로 이동된다.Accordingly, as shown in FIG. 7, when the rotation blocks 120 and 120 ′ are rotated about the first rotation point RP1, the support points SP of the
그러나 이러한 거울(10)의 중심점(MC) 이동은 그 반대 방향인 지지점(SP)의 이동에 의해 상쇄되어 베이스블록(110)을 기준으로 한 거울(10) 중심점(MC)의 절대적인 변위는 거의 없게 된다.However, the movement of the center point MC of the
다시 말해, 전술된 제1탄성체(121)의 구현 형태, 이에 따른 제1회동점(RP1)의 위치로 인해, 회동블록(120, 120')을 회동시켜 거울(10)의 곡률을 조정하더라도 거울(10) 중심점(MC)의 위치는 이동되지 않고 고정될 수 있는 것이다.In other words, even if the curvature of the
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치(100)에 있어서, 상기 제1탄성체(121)는 외팔보 형태로 베이스블록(110) 및 회동블록(120, 120')과 일체로 형성되었으나, 이에 한정되지 않고 별도의 부재로 제작되어 베이스블록(110)과 회동블록(120, 120')에 각각 고정 설치되게 구현될 수 있고, 그 형태도 외팔보가 아닌 다양한 형태로 구현될 수도 있다.In the
그리고 상기 제1탄성체(121)는 한 쌍의 회동블록(120, 120') 각각에 대해 두 개씩, 전체 네 개가 구비되었으나, 그 구비 개수도 이에 한정되지는 않는다.In addition, four of the first
또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 제1탄성체(121)는 도 4에 도시된 바와 같이, 정면에서 바라볼 때에 거울(10)의 반사면에 대해 직각을 이루게 구현되었으나, 이에 한정되지 않고 거울(10)의 반사면과 이루는 각이 다른 각도로 구현되거나 거울(10)의 반사면에 대해 수평으로도 구현될 수 있으며, 이 경우에는 제1탄성체(121)의 위치가 적절하게 달라져야 할 것이다.In addition, in the preferred embodiment of the present invention, as shown in FIG. 4, the first
한편, 거울(10) 및 지지점(SP)에 대한 상기 제1회동점(RP1)의 위치는, 각 구성요소들의 배치 및 재질 등의 정보를 기초로 역학적으로 구조 해석함으로써, 지지점(SP)의 이동이 거울(10) 중심점(MC)의 이동을 상쇄하여 베이스블록(110)에 대한 거울(10) 중심점(MC)의 절대 변위가 최소화되는 위치로 결정될 수 있다.On the other hand, the position of the first pivot point RP1 relative to the
일반적인 각 구성요소들의 배치 및 재질 등의 정보를 기초로 구조 해석할 경우, 상기 제1회동점(RP1)의 위치는 상하방향에 있어서, 도 4와 같이 정면에서 바라볼 때에 거울(10)의 반사면 상으로 결정되거나 반사면에 인접되게 결정되는 경우가 많다. 다시 말해, 상기 제1회동점(RP1)의 위치는 거울(10)의 반사면에 인접되게 그 전방, 반사면 상 또는 그 후방으로 결정되는 경우가 많다.In the case of structural analysis on the basis of information such as general arrangement and material of each component, the position of the first pivot point RP1 is in the vertical direction, as shown in FIG. It is often determined on the slope or adjacent to the reflective surface. In other words, the position of the first pivot point RP1 is often determined in front of, on or behind the reflecting surface adjacent to the reflecting surface of the
또한, 상기 제1회동점(RP1)의 위치는 좌우방향에 있어서, 거울(10)의 양끝단에서 각각 1/4 지점 또는 그 지점에 인접되게 결정되는 경우가 많다.In addition, the position of the first pivot point RP1 is often determined to be adjacent to a quarter point or a point at each end of the
그러나 전술된 바와 같은 구조 해석의 결과에 따라, 베이스블록(110)에 구비되는 제1탄성체(121) 및 제1회동점(RP1)의 위치가 결정되는 것이므로, 본 발명에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치(100)는, 상술한 바의 위치와 다른 곳에 제1회동점(RP1)이 위치되게 구현될 수도 있고, 한 쌍의 제1회동점(RP1)의 위치는 곡률 조정장치(100)에 있어서 좌우 대칭적으로 결정될 수도 있으나, 그 구조 해석의 결과에 따라 좌우 비대칭적으로 결정될 수도 있다.However, according to the result of the structural analysis as described above, since the position of the first
물론, 상기 제1탄성체(121) 및 제1회동점(RP1)의 위치는 이러한 구조 해석에 의하지 않고, 실험적 방식의 경험칙에 따르는 형태 등 다른 방식으로 결정될 수도 있다.Of course, the positions of the first
한편, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치(100)는, 거울(10)을 오목해지게 그 곡률을 조정하는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 거울(10)을 볼록하게 그 곡률을 조정하게 구현될 수도 있음은 물론이다. 이 경우에는 회동블록(120, 120')에 가해지는 외력을 오목한 곡률을 조정하는 경우의 반대방향으로 인가할 수 있는 형태로 구현된다.On the other hand, the
한 쌍의 지지블록(130)은 회동블록(120, 120')에 형성된 나사홀(122)에 체결되는 나사(SW)를 통해 한 쌍의 회동블록(120, 120')에 각각 고정 설치되어 거울(10)의 양단을 지지하며, 회동블록(120, 120')이 회동됨에 따라 거울(10)의 양단에 굽힘력을 인가한다.The pair of support blocks 130 are fixed to the pair of rotation blocks 120 and 120 ', respectively, via screws SW fastened to the screw holes 122 formed in the rotation blocks 120 and 120', respectively, to provide a mirror. Supporting both ends of (10), and as the
이 한 쌍의 지지블록(130)은, 먼저 거울(10)과 조립되어 조립체를 이룬 후, 한 쌍의 회동블록(120, 120')에 설치되는데, 이 조립체를 한 쌍의 회동블록(120, 120')에 설치할 때에 거울(10)에 초기 변형이 발생하지 않도록 하기 위하여, 한 쌍의 지지블록(130) 중 적어도 하나는 도 4에 도시된 바와 같이, 회동블록(120')에 위치 조절될 수 있게 고정되는 연결블록(131)을 통해 회동블록(120')에 설치되는 것이 바람직하다.The pair of support blocks 130 are first assembled with the
더 구체적으로 설명하면, 상기 회동블록(120')은 그 외측 방향 일단에 단차부(123)가 형성되고, 이 단차부(123)에는 나사(SW)가 체결될 수 있도록 체결홀(123-1)이 수직으로 형성되는데, 연결블록(131)에는 이 나사(SW)가 관통하는 구멍으로서 거울(10)의 길이방향을 따라 형성된 장공(131-1)이 구비됨으로써, 연결블록(131)은 회동블록(120')에 위치 조절 가능하게 고정될 수 있다.More specifically, the rotation block 120 ′ has a stepped
따라서 한 쌍의 회동블록(120, 120')의 사이 거리보다 설치하고자 하는 거울(10)과 한 쌍의 지지블록(130)의 조립체 길이가 길거나 짧은 경우에는 회동블록(120')에 대한 연결블록(131)의 설치 위치를 조절함으로써, 해당 거울(10) 설치시에 거울(10)에 불필요한 굽힘 변형이 일어나는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.Therefore, when the assembly length of the
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 지지블록(130)은 별도의 부재인 연결블록(131)을 통해 회동블록(120')에 대해 설치 위치가 조절될 수 있게 구현되었으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 지지블록(130)이 'ㄴ' 형상으로 구비되고 장공이 형성되어 회동블록(120')에 위치 조절될 수 있게 직접 설치되는 형태로 구현될 수도 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the
상기 구동부(140)는 한 쌍의 회동블록(120, 120')에 각각 외력을 인가하여 한 쌍의 회동블록(120, 120')을 서로 대칭적으로 회동시킨다. 이에 따라, 한 쌍의 지지블록(130)이 회동블록(120, 120')과 함께 회동하면서 거울(10)의 양단에 대칭적인 굽힘력을 인가하게 된다.The driving
이를 위해, 상기 구동부(140)는 이송부재(141), 가이드부(142), 단일의 구동기(143) 및 한 쌍의 전달부(144)를 포함하여 이루어질 수 있다.To this end, the driving
상기 이송부재(141)는 소정의 폭과 길이를 갖는 플레이트 형상으로 구비되며, 그 중심부에 후술되는 구동기(143)의 구동축(143-1)이 결합되어 이 구동축(143-1)이 구동기(143)에 의해 왕복 이송됨에 따라, 일 방향으로 왕복 이송되게 구비된다.The
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 이송부재(141)는 구동축(143-1)에 결합 구비되었으나, 이에 한정되지 않고 구동축(143-1)이 이송부재(141)에 단순 접촉되는 형태로 구현될 수도 있다. 이렇게 구현되더라도, 상기 이송부재(141)는 구동축(143-1)의 가압력에 의해 상승하고, 후술되는 탄성부재(144-3)의 탄성력에 의해 하강하여 복귀할 수 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the
그리고 이 경우, 상기 이송부재(141)에는 구동축(143-1)와의 접촉 부분에 구동축(143-1)의 끝단이 삽입될 수 있는 홈부가 형성됨으로써, 구동축(143-1)과 이송부재(141)가 안정적으로 접촉된 상태를 유지하도록 구현될 수 있다.In this case, the
상기 가이드부(142)는 이와 같은 이송부재(141)의 왕복 이송을 안정적으로 안내하는 역할을 한다. 이를 위해, 상기 가이드부(142)는 복수의 가이드축(142-1)과 복수의 가이드체(142-2)를 포함하여 이루어진다.The
상기 복수의 가이드축(142-1)은 축 형상으로 구비되며, 지지부재(113)에 설치된 구동기(143)를 중심으로 한 쌍의 전달부(144) 측에 서로 대칭으로 위치되고, 이송부재(141)의 이송방향을 따라 나란하게 지지부재(113)에 고정된다.The plurality of guide shafts 142-1 are provided in a shaft shape, and are symmetrically positioned on the pair of
상기 복수의 가이드체(142-2)는 복수의 가이드축(142-1)에 각각 맞물려 왕복 이송되며 이송부재(141)에 결합된다. 여기서 복수의 가이드체(142-2)는 구동기(143)에 구비된 구동축(143-1)과 이송부재(141)의 연결부분을 중심으로 이송부재(141)의 양측부에 서로 대칭으로 구비됨으로써, 이송부재(141)가 안정적으로 왕복 이송될 수 있게 한다.The plurality of guide bodies 142-2 are engaged with the plurality of guide shafts 142-1 and reciprocated to each other, and are coupled to the
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 가이드축(142-1)은 축 형상으로 구비되어 각 전달부(144) 측에 한 쌍씩 모두 네 개가 구비되고, 이에 맞물리는 가이드체(142-2)도 네 개가 구비되었으나, 그 형상 및 구비 개수가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 가이드축(142-1)은 직선 레일 형상으로 구비될 수도 있고, 가이드축(142-1)과 가이드체(142-2)는 각각 복수가 아닌 단수로 구비될 수도 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the guide shaft 142-1 is provided in a axial shape, four pairs are provided on each side of each
상기 구동기(143)는 베이스블록(110)의 중심부에 형성된 지지부재(113)에 고정 설치되고, 단일로써 하나가 구비되며 이송부재(141)와 구동축(143-1)을 통해 연결되어 이송부재(141)를 왕복 이송시킨다.The
상기 구동기(143)는 하나가 구비되더라도 이송부재(141)를 왕복 이송시킴으로써, 이 이송부재(141)에 연결된 한 쌍의 전달부(144)를 통해 한 쌍의 회동블록(120, 120')에 각각 외력을 인가할 수 있다.The
전술된 한 쌍의 전달부(144)는 구동기(143)에 의한 이송부재(141)의 이송력을 한 쌍의 회동블록(120, 120')에 각각 전달하여 한 쌍의 회동블록(120, 120')을 각각 회동시킨다.The pair of
이를 위해, 상기 한 쌍의 전달부(144)는 전달블록(144-1) 및 탄성부재(144-3)를 각각 포함하여 이루어질 수 있다.To this end, the pair of
상기 전달블록(144-1)은 도 4에 도시된 바와 같이, 베이스블록(110)에 제2탄성체(144-2)를 통해 각각 연결 구비되고, 연결체(144-4) 및 탄성부재(144-3)를 통해 이송부재(141)에 힌지(HG)로 연결되어 이송부재(141)의 이송력이 인가됨에 따라 베이스블록(110)과 제2탄성체(144-2)의 연결부분인 제2회동점(RP2)을 중심으로 회동하여 회동블록(120, 120')에 외력을 인가하거나 탄성 복귀하도록 구비된다.As shown in FIG. 4, the transfer block 144-1 is connected to the
원래 거울(10)에 곡률을 인가하기 위해서는 한 쌍의 회동블록(120, 120')에 서로 반대방향의 외력이 인가되어야 하지만, 전달블록(144-1)을 도입함으로써 전달블록(144-1)에 인가되는 동일한 방향의 외력으로 거울(10)의 곡률을 조정할 수 있게 된다. 결과적으로 단일의 구동기(143)로서 거울(10)의 곡률조정이 가능해지는 것이다. In order to apply curvature to the
여기서 상기 전달블록(144-1)은, 회동블록(120, 120')에 외력을 인가하거나 탄성 복귀할 때에 회동블록(120, 120)과의 슬라이딩 접촉을 원활하게 하고, 회동블록(120, 120')과의 간격이 소정의 설계값에 대응되게 형성되도록 슬라이딩 부재(144-5)가 구비된다.Here, the transfer block 144-1 smoothly makes sliding contact with the rotation blocks 120 and 120 when applying an external force to the rotation blocks 120 and 120 ′ or elastically returns them, and the rotation blocks 120 and 120. Sliding member 144-5 is provided to be formed so as to correspond to a predetermined design value.
이 슬라이딩 부재(144-5)는 회동블록(120, 120')의 연장된 형상의 끝 부분에 각각 접촉될 수 있도록, 접촉부위가 곡면으로 구비된다. 그리고 상기 슬라이딩 부재(144-5)는 전달블록(144-1)에 자유롭게 회전 가능하게 구비될 수도 있다.The sliding member 144-5 is provided with a contact portion with a curved surface so as to be in contact with the ends of the extended shape of the rotation blocks 120 and 120 ', respectively. The sliding member 144-5 may be provided to be freely rotatable in the transfer block 144-1.
상기 슬라이딩 부재(144-5)가 회동블록(120, 120')과의 간격을 소정의 설계값에 대응되게 형성하는 역할에 대해 보다 구체적으로 설명하면, 회동블록(120, 120'), 제1탄성체(121), 전달블록(144-1) 및 제2탄성체(144-2)는 와이어 방전가공을 통해 베이스블록(110)과 일체로 형성될 수 있는데, 이 경우 회동블록(120, 120')과 전달블록(144-1)의 간격은 설계치보다는 와이어 방전가공에 사용되는 와이어의 직경에 의존하게 되어 부정확해진다.The sliding member 144-5 will be described in more detail with respect to the role of forming the distance between the rotation block (120, 120 ') corresponding to a predetermined design value, the rotation block (120, 120'), the first The
이때, 슬라이딩 부재(144-5)의 외형을 정확히 기계 가공한 후 전달블록(144-1)에 설치하면, 이 슬라이딩 부재(144-5)에 의해 전달블록(144-1)과 회동블록(120, 120')의 사이 간격은 설계값에 대응되게 정확히 설정될 수 있다.At this time, after the exact shape of the sliding member (144-5) is machined and installed in the transmission block (144-1), the transmission block (144-1) and the rotation block 120 by the sliding member (144-5). , 120 'may be accurately set to correspond to the design value.
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 슬라이딩 부재(144-5)는 전달블록(144-1)에 설치되었으나, 전달블록(144-1)과 인접된 회동블록(120, 120')의 연장된 형상의 끝 부분에 구비될 수도 있다.In the preferred embodiment of the present invention, the sliding member 144-5 is installed in the transfer block 144-1, but is extended from the rotation blocks 120 and 120 'adjacent to the transfer block 144-1. It may be provided at the end of the shape.
그리고 본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 제2탄성체(144-2)는 외팔보 형태로 베이스블록(110) 및 전달블록(144-1)과 일체로 형성되었으나, 이에 한정되지 않고 별도의 부재로 제작되어 베이스블록(110)과 전달블록(144-1)에 각각 고정 설치되게 구현될 수도 있고, 그 형태도 외팔보로 한정되지 않고 다양하게 변형 구현될 수 있다.In the preferred embodiment of the present invention, the second elastic body 144-2 is formed integrally with the
한편, 상기 탄성부재(144-3)는 이송부재(141)가 많이 이송되더라도 전달블록(144-1)은 조금 회동되게 탄성 변형을 통해 그 길이가 가변되면서 이송부재(141)의 이송 거리를 흡수하여, 이송부재(141)의 이송 거리, 즉 이송부재(141)의 변위에 비해 전달블록(144-1)에 전달되는 힘의 크기를 크게 줄임으로써, 전달블록(144-1)이 회동되는 각도, 더 나아가 회동블록(120, 120')의 회동 각도 및 거울(10)의 곡률을 미세하게 조절할 수 있게 한다. 이에 따라 거울(10)의 곡률 조정의 정밀도를 제고할 수 있다.On the other hand, the elastic member 144-3 absorbs the conveying distance of the conveying
이를 위해, 상기 탄성부재(144-3)는 인장 스프링 등과 같이 탄성 변형으로 길이가 가변되는 요소로 구비되며, 일단은 힌지(HG)로 연결되는 연결체(144-4)를 통해 전달블록(144-1)에 설치되고, 그 타단은 이송부재(141)의 일측부에 힌지(HG)로 연결된다.To this end, the elastic member (144-3) is provided with an element that is variable in length by elastic deformation, such as a tension spring, one end of the
상기 탄성부재(144-3)는 인장 스프링과 다른 탄성을 갖는 요소로 이루어질 수 있으며, 그 개수도 복수로 구비될 수도 있다.The elastic member 144-3 may be formed of an element having a different elasticity from that of the tension spring, and a number thereof may also be provided.
이러한 탄성부재(144-3) 및 연결체(144-4)는 거울(10)의 곡률 조정의 정밀도나 조립 용이성을 향상시키기 위한 구성요소로서, 본 발명에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치(100)에 있어서 필수적인 구성요소는 아니다.The elastic member 144-3 and the connecting member 144-4 are components for improving the precision or ease of assembly of the curvature adjustment of the
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 한 쌍의 전달부(144)는 제2탄성체(144-2)에 의해 베이스블록(110)에 설치된 전달블록(144-1)을 포함하여 구현되었으나, 상기 전달부(144)는 이송부재(141)의 이송력에 의해 회동블록(120, 120')이 회동될 수 있도록 그 이송력을 회동블록(120, 120')에 적절히 전달할 수 있도록 구현되면 족하고, 그 구현 방식이 이에 한정되는 것은 아니다.In a preferred embodiment of the present invention, the pair of
상기 변위센서(150)는 도 4에 도시된 바와 같이, 구동기(143)의 구동축(143-1)에 연결되게 설치되어 구동축(143-1)의 변위, 곧 이송부재(141)의 변위를 측정한다.As shown in FIG. 4, the
이 같은 변위센서(150)의 측정값, 회동블록(120, 120')의 회동값 및 거울(10)의 곡률 조정값은 모두 선형 비례적인 관계에 있으므로, 이 변위센서(150)의 측정값을 확인하며 구동기(143)를 작동시킴으로써 거울(10)의 곡률을 조정할 수 있다.Since the measured values of the
이러한 변위센서(150)는 본 발명에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치에 있어서, 필수적인 구성요소는 아니며, 이를 대체할 수 있는 회동블록(120, 120')의 회동각도를 직접 측정하는 다른 센서가 구비될 수도 있다.Such a
한편, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치(100)와 같이 한 쌍의 회동블록(120, 120')에 대한 각각의 제1회동점(RP1)이 거울(10)의 중심점(MC)을 기준으로 서로 대칭으로 구비되는데, 이 경우 단일의 구동기(143)로써 거울(10)의 곡률을 조정하면 전자기파를 집속시킬 때 필요한 타원 곡률을 얻기는 어렵다.On the other hand, as the
따라서 본 발명의 바람직한 실시예의 경우, 도 5에 도시된 바와 같이, 양단에 동일한 크기의 모멘트가 인가되었을 때에 타원곡률로 변형될 수 있도록 그 폭이 변하는 거울(변폭거울)을 사용하는 것이 바람직하다.Therefore, in the preferred embodiment of the present invention, as shown in Fig. 5, it is preferable to use a mirror (width mirror) whose width is changed so that it can be transformed into an elliptic curvature when a moment of the same size is applied to both ends.
만일 균일한 폭을 갖는 일반적인 거울을 사용할 경우에는 타원곡률을 얻을 수 있도록 한 쌍의 회동블록(120, 120')에 대한 각각의 제1회동점(RP1)의 위치를 역학적인 구조 해석을 통해 비대칭적으로 구현하는 것이 바람직할 것이다.If a general mirror having a uniform width is used, the position of each first pivot point RP1 relative to the pair of pivot blocks 120 and 120 'is asymmetrical through dynamic structural analysis so as to obtain an elliptic curvature. It would be desirable to implement them as such.
이하, 도 4 및 도 7을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치(100)의 동작 및 사용 상태를 거울(10)의 곡률을 증가시키는 방향으로 그 조정 작업이 진행되는 순서를 기준으로 구체적으로 설명한다.4 and 7, the operation and use state of the
우선, 거울(10)의 곡률을 조정하기 위해서는 도 4의 상태에서, 구동부(140)의 구동기(143)를 작동시켜 구동축(143-1)에 연결된 이송부재(141)를 도 7을 기준으로 상측으로 가압한다. 그러면 이송부재(141)가 가이드축(142-1)과 가이드체(142-2)로 이루어진 가이드부(142)에 의해 안정적으로 안내되면서 상측으로 이송된다.First, in order to adjust the curvature of the
이에 따라, 이송부재(141)의 양측부에 각각 연결된 탄성부재(144-3)가 인장력을 받아 탄성 변형되면서 길이가 늘어나고, 이송부재(141)의 이송력은 그 크기가 줄어든 상태로 전달블록(144-1)에 전달되어 제2탄성체(144-2)가 탄성 변형되면서 전달블록(144-1)이 제2회동점(RP2)을 중심으로 회전한다.Accordingly, the length of the elastic members 144-3 connected to both sides of the
이렇게 이송부재(141)가 상승하고, 전달블록(144-1)은 회전하게 되면 이송부재(141)와 탄성부재(144-3)의 연결부분 및 연결체(144-4)와 탄성부재(1443)의 연결부분은 수직선상에 위치된 상태에서 그 위치가 틀어지게 되지만, 탄성부재(144-3)는 그 양단이 이송부재(141) 및 연결체(144-4)에 각각 힌지(HG)로 연결됨으로써, 이송부재(141)와 탄성부재(144-3)의 연결부분 및 연결체(144-4)와 탄성부재(1443)의 연결부분의 위치가 틀어지더라도 탄성부재(144-3)가 이송부재(141) 및 연결체(144-4)에 대해 적절히 회전하면서 상술한 바와 같은 동작이 자연스럽게 이루어질 수 있다.When the
다음, 상기 전달블록(144-1)이 제2회동점(RP2)을 중심으로 회전함에 따라 슬라이딩 부재(144-5)를 통해 회동블록(120, 120')의 연장된 끝 부분이 가압되고, 이 가압력으로 인해 제1탄성체(121)가 탄성 변형되면서 회동블록(120, 120')이 제1회동점(RP1)을 중심으로 회전한다. 그리고 이에 따라 회동블록(120, 120')에 고정 설치된 지지블록(130)도 회동된다.Next, as the transfer block 144-1 rotates about the second pivoting point RP2, the extended ends of the pivoting blocks 120 and 120 ′ are pressed through the sliding members 144-5, Due to this pressing force, the first
그 후, 지지블록(130)이 회동됨으로 인해 거울(10)의 양단에 굽힘력이 인가되면, 이로 인해 거울(10)은 오목하게 곡률이 증가된다.Thereafter, when a bending force is applied to both ends of the
여기서, 거울(10)이 오목하게 곡률이 증가하며 상대적으로 거울(10)의 양단에 비해 거울(10)의 중심점(MC)이 하측으로 이동되지만, 이는 거울(10)의 양단 지지점(SP)의 상측 이동에 의해 상쇄됨으로써, 베이스블록(110)을 기준으로 한 거울(10) 중심점(MC)의 위치는 이동되지 않고 고정된다.
Here, the curvature of the
이하, 도 8을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 거울 조정시스템을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a mirror adjusting system according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 8.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 거울 조정시스템은, 지지대(200), 위치 조정장치(300), 각도 조정장치(400) 및 상술한 바와 같은 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치(100)를 포함하여 이루어진다.Mirror adjustment system according to a preferred embodiment of the present invention, the
상기 지지대(200)는 바닥면에 설치되어 다른 구성요소들을 지지하는 역할을 한다. 상기 지지대(200)의 상면에는 소정의 두께의 차단부(210)가 챔버(213)를 형성한다.The
이렇게 차단부(210)에 의해 형성된 챔버(213)는 그 내부에 구비되는 위치 조정장치(300), 각도 조정장치(400) 및 곡률 조정장치(100)를 외부로부터 보호함과 동시에, 그 내부가 비활성 기체인 헬륨 등으로 채워지거나 진공으로 형성됨으로써, 전자기파의 대기에 의한 감쇠를 줄이고 공기에 의한 거울(10) 표면의 부식을 지연시킨다.The
그리고 상기 차단부(210)에는 전자기파가 거울(10)로 입사할 수 있도록 광입사구(211)와 거울(10)에서 반사된 전자기파가 출사할 수 있도록 광출사구(212)가 구비되며, 이러한 광입사구(211)와 광출사구(212)는 캅톤 필름이나 베릴륨 창구에 의해 형성될 수 있다.In addition, the blocking
상기 위치 조정장치(300)는 지지프레임(220)을 통해 챔버(213) 내부의 지지대(200)의 상면에 고정 설치되며, 상측에 구비된 설치플레이트(310)를 지지대(200)에 대해 전후, 좌우 및 상하로 이송한다. 또한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 거울 조정시스템에서는 위치 조정장치(300)에 구비되어 있는 세 개의 상하 조정용 구동기로써, 위치 조정장치(300)가 설치플레이트(310)의 전후 및 좌우 기울기도 조정할 수 있게 구비된다.The
따라서 상기 설치플레이트(310)의 상측에 구비되어 있는 각도 조정장치(400), 곡률 조정장치(100) 및 거울(10)은 이 위치 조정장치(300)에 의해 모두 함께 전후, 좌우 및 상하로 이송되고, 전후 및 좌우 기울기도 조정된다.Therefore, the angle adjusting device 400, the
상기 각도 조정장치(400)는 설치플레이트(310) 상에 고정 설치되며, 그 하면에 대해 상면의 회전 각도를 조정할 수 있게 구비됨으로써, 그 상면에 구비되는 곡률 조정장치(100) 및 거울(10)의 피치(pitch)각을 조정한다.The angle adjusting device 400 is fixedly installed on the mounting
상기 곡률 조정장치(100)는 전자기파를 집속할 수 있도록 거울(10)의 곡률을 조정한다. 이러한 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치(100)의 구체적인 구성 및 동작은 앞서 충분히 설명하였으므로, 이를 참조하도록 하고 거울 조정시스템을 설명함에 있어서는 더 자세한 설명을 생략하기로 한다.The
상기 거울 조정시스템에는 위치 조정장치(300), 각도 조정장치(400) 및 곡률 조정장치(100)를 구동하는 구동기기들을 제어하기 위한 전선류들을 챔버(213)의 내ㆍ외부 간에 연결 설치하기 위한 피드쓰루(feedthrough, 500)가 구비될 수도 있다.The mirror adjustment system includes a wire for controlling the driving devices for driving the
이러한 거울 조정시스템을 이용하여 거울을 조정하는 과정은 다음과 같이 이루어진다.The process of adjusting the mirror using this mirror adjustment system is performed as follows.
먼저, 광입사구(211)를 통해 들어오는 전자기파를 거울(10)의 중심점(MC)에 일치시키는 작업을 수행한다. 방사광은 가시광선이 아니고 이 단계의 빛줄기도 크기가 매우 작으므로 거울(10)을 통과한 전자기파를 광량 측정기로 측정하고 측정된 다수의 광량값을 분석함으로써 거울(10)의 전자기파에 대한 상대적인 위치를 알 수 있다.First, the operation of matching the electromagnetic wave incoming through the
따라서 거울(10)의 전후, 좌우 및 상하 위치와 거울(10)의 기울기를 조정할 수 있는 위치 조정장치(300), 거울(10)의 피치각을 조정하는 각도 조정장치(400) 및 전술한 광량 측정기를 조합하여 이용함으로써 거울(10)에 입사하는 전자기파를 거울(10)의 중심점(MC)에 일치시키게 된다.Therefore, the
이후, 거울(10)에서 반사되는 전자기파를 집속하는 작업을 수행하여 빛줄기의 크기를 감소시킨다. 빛줄기의 크기는 거울(10)의 곡률뿐만 아니라 거울(10)의 피치각에 대한 함수이므로, 곡률 조정장치(100)와 아울러 각도 조정장치(400)를 교대로 반복적으로 이용하며 빛줄기의 크기를 최소화시키는 거울(10)의 곡률과 피치각을 탐색함으로써 최종적으로 빛줄기의 크기를 최소화한다.Subsequently, the size of the light stem is reduced by performing the operation of focusing the electromagnetic waves reflected from the
이때, 본 발명에 따른 거울 조정시스템은, 거울(10)의 곡률을 조정하는 단일의 구동기와 거울(10)의 피치각을 조정하는 구동기에 대한 두 개의 입력 변수만을 조정하면서 거울(10)에서 반사되는 전자기파가 집속되도록 하는 작업을 진행할 수 있으므로, 세 개의 입력 변수를 조정하며 진행해야 하는 기존의 거울 조정시스템에 비해 간편 용이하게 작업을 진행할 수 있다.In this case, the mirror adjustment system according to the present invention reflects from the
또한, 본 발명에 따른 거울 조정시스템에 구비되는 곡률 조정장치(100)는, 거울(10)의 곡률을 조정하더라도 앞서 위치 조정과 각도 조정을 거친 거울(10)의 중심점(MC)의 위치가 이동하지 않고 고정되므로, 기존의 곡률 조정장치와 같이 전자기파를 거울(10)의 중심점(MC)에 입사시키기 위한 작업을 다시 수행할 필요가 없어 거울(10) 조정 과정을 상당히 단순화시킬 수 있다.In addition, in the
본 발명에 따른 거울 조정시스템의 바람직한 실시예에 있어서는 거울(10)의 반사면이 정면에서 관찰되는 수평거울용 거울 조정시스템을 설명하였으나, 거울(10)의 반사면이 평면에서 관찰되는 수직거울용 거울 조정시스템의 경우에도 앞서 설명한 방식과 유사한 방식으로 구현 가능하며, 앞서 설명한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 거울 조정시스템의 챔버(213) 내부에 수평거울용 거울 조정시스템과 함께 설치되어 사용될 수도 있다.In the preferred embodiment of the mirror adjustment system according to the present invention, a mirror adjustment system for a horizontal mirror in which the reflection surface of the
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치(100) 및 이를 구비한 거울 조정시스템에 의하면, 거울(10)의 곡률 조정을 위해 한 쌍의 회동블록(120, 120')을 회동시키는 구동부(140)가 한 쌍의 전달부(144)와 이송부재(141)를 구비하여 단일의 구동기(143)로 구현되게 구비됨으로써, 거울(10)의 곡률을 조정하는 작업을 단일의 구동기(143) 하나에 대한 입력만 조정하면서 간편하게 진행할 수 있으므로, 전자기파의 집속을 위한 거울(10) 조정 과정을 용이하게 수행할 수 있으며, 구동기(143)에 의한 이송부재(141)의 이송력이 한 쌍의 탄성부재(144-3)를 통해 한 쌍의 전달블록(144-1)에 각각 인가되게 구비됨으로써, 이송부재(141)의 이송 변위에 비해 회동블록(120, 120')의 회동 각도 및 이에 따른 거울(10)의 곡률 조정을 매우 세밀하게 진행할 수 있을 뿐만 아니라, 지지블록(130)이 설치된 회동블록(120, 120')을 베이스블록(110)에 연결하는 제1탄성체(121)가, 거울(10)의 곡률을 조정할 때에 거울(10)에 대한 지지블록(130)의 지지점(SP)이 곡률 변화에 의한 거울(10) 중심점(MC)의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 이동될 수 있게 구비됨으로써, 거울(10)의 곡률 조정시에 거울(10) 중심점(MC)의 위치를 고정할 수 있으므로, 거울(10) 조정 과정을 간편 용이하게 진행할 수 있다.As described above, according to the
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부되어 있는 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical spirit of the present invention, and such modifications and variations belong to the appended claims. will be.
＊ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ＊
100 : 곡률 조정장치 110 : 베이스블록
111 : 개방구 112 : 리브
113 : 지지부재 120, 120' : 회동블록
121 : 제1탄성체 122 : 나사홀
123 : 단차부 123-1 : 체결홀
130 : 지지블록 131 : 연결블록
131-1 : 장공 140 : 구동부
141 : 이송부재 142 : 가이드부
142-1 : 가이드축 142-2 : 가이드체
143 : 구동기 143-1 : 구동축
144 : 전달부 144-1 : 전달블록
144-2 : 제2탄성체 144-3 : 탄성부재
144-4 : 연결체 144-5 : 슬라이딩 부재
150 : 변위센서 200 : 지지대
210 : 차단부 211 : 광입사구
212 : 광출사구 213 : 챔버
220 : 지지프레임 300 : 위치 조정장치
310 : 설치플레이트 400 : 각도 조정장치
500 : 피드쓰루 10 : 거울
HG : 힌지 MC : 거울의 중심점
RP1 : 제1회동점 RP2 : 제2회동점
SP : 지지점 SW : 나사Description of the Related Art [0002]
100: curvature adjusting device 110: base block
111: opening 112: rib
113:
121: first elastic body 122: screw hole
123: step 123-1: fastening hole
130: support block 131: connection block
131-1: Long hole 140: Drive part
141: transfer member 142: guide portion
142-1: Guide shaft 142-2: Guide body
143: driver 143-1: drive shaft
144: transfer unit 144-1: transfer block
144-2: second elastic body 144-3: elastic member
144-4: Connecting body 144-5: Sliding member
150: displacement sensor 200: support
210: block 211: light inlet
212: light exit port 213: chamber
220: support frame 300: position adjusting device
310: mounting plate 400: angle adjustment device
500: feedthrough 10: mirror
HG: Hinge MC: Center of Mirror
RP1: First pivot point RP2: Second pivot point
SP: Support Point SW: Screw
Claims (14)
베이스블록;
상기 베이스블록에 하나 이상의 제1탄성체를 통해 각각 연결 구비되고, 외력이 인가 또는 해제됨에 따라 상기 베이스블록과 상기 제1탄성체의 연결부분을 중심으로 회동 또는 탄성 복귀하는 한 쌍의 회동블록;
상기 한 쌍의 회동블록에 각각 설치되어 상기 거울의 양단을 지지하며, 상기 한 쌍의 회동블록이 회동됨에 따라 상기 거울의 양단에 굽힘력을 인가하는 한 쌍의 지지블록; 및
일 방향으로 왕복 이송되게 구비된 이송부재, 상기 이송부재를 이송하는 단일의 구동기, 및 상기 이송부재의 양단부에 각각 구비되며 상기 구동기에 의한 상기 이송부재의 이송력을 상기 한 쌍의 회동블록에 전달하여 상기 한 쌍의 회동블록을 각각 회동시키는 한 쌍의 전달부를 포함하여 이루어진 구동부;
를 포함하는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치.In the device for adjusting the curvature by applying or releasing a bending force on both ends of the mirror,
Baseblocks;
A pair of pivot blocks each connected to the base block through one or more first elastic bodies, the pivot blocks pivoting or elastically returning around the connection portion of the base block and the first elastic body when an external force is applied or released;
A pair of support blocks installed at each of the pair of rotation blocks to support both ends of the mirror, and applying a bending force to both ends of the mirror as the pair of rotation blocks are rotated; And
A conveying member provided to be reciprocally conveyed in one direction, a single driver for conveying the conveying member, and provided at both ends of the conveying member, and conveying a conveying force of the conveying member by the driver to the pair of rotating blocks; A driving unit including a pair of transmission parts for rotating the pair of rotation blocks, respectively;
Curvature adjustment device of the mirror with a single driver comprising a.
상기 한 쌍의 전달부는,
상기 베이스블록에 하나 이상의 제2탄성체를 통해 각각 연결 구비되고, 상기 이송부재에 힌지로 연결되어 상기 이송부재의 이송력이 인가 또는 해제됨에 따라 상기 베이스블록과 상기 제2탄성체의 연결부분을 중심으로 회동하여 상기 회동블록에 외력을 인가하거나 탄성 복귀하는 전달블록;
을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치.The method of claim 1,
The pair of transmission unit,
The base block is connected to the base block through one or more second elastic bodies, respectively, and is connected to the transfer member by a hinge so that the base block and the second elastic body are connected to each other as the transfer force of the transfer member is applied or released. A transmission block which rotates to apply an external force or elastically return to the rotation block;
Curvature adjusting device of the mirror with a single driver, characterized in that it comprises a each.
상기 한 쌍의 전달부는,
탄성 변형으로 길이가 가변되는 탄성부재;를 각각 더 포함하며,
상기 전달블록은 상기 탄성부재를 통해 상기 이송부재에 연결되는 것을 특징으로 하는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치.The method of claim 2,
The pair of transmission unit,
It further comprises; each of the elastic member is variable in length by elastic deformation,
The transfer block is a curvature adjusting device of a mirror having a single drive, characterized in that connected to the conveying member through the elastic member.
상기 구동부는,
상기 이송부재의 이송방향을 따라 상기 베이스블록에 고정된 하나 이상의 가이드축, 및 상기 하나 이상의 가이드축에 각각 맞물려 왕복 이송되며 상기 이송부재에 결합된 하나 이상의 가이드체를 포함하여 상기 이송부재의 왕복 이송을 안내하는 가이드부;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The driving unit includes:
Reciprocating transfer of the transfer member including at least one guide shaft fixed to the base block along the transfer direction of the transfer member, and at least one guide body engaged with the at least one guide shaft and coupled to the transfer member Guide portion to guide the;
Curvature adjusting device of the mirror with a single driver, characterized in that it further comprises.
상기 전달블록과 상기 회동블록 중 어느 하나는,
상기 전달블록이 상기 회동블록에 외력을 인가하거나 탄성 복귀할 때에 상기 회동블록과의 슬라이딩 접촉을 원활하게 하고, 상기 회동블록과 상기 전달블록의 간격을 소정의 설계값에 대응되게 형성하며, 상기 전달블록 또는 상기 회동블록과의 접촉부위가 곡면인 슬라이딩 부재;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치.The method of claim 2,
One of the transfer block and the rotation block,
When the transmission block applies an external force or elastically returned to the rotation block, the sliding contact with the rotation block is smooth, and the gap between the rotation block and the transmission block is formed to correspond to a predetermined design value, and the transmission is performed. A sliding member whose contact portion with the block or the rotation block is curved;
Curvature adjusting device of the mirror with a single driver, comprising a.
상기 전달블록과 상기 제2탄성체는,
상기 베이스블록과 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치.The method of claim 2,
The transfer block and the second elastic body,
Curvature adjusting apparatus of the mirror having a single driver, characterized in that formed integrally with the base block.
상기 제1탄성체는,
상기 회동블록이 회동됨에 따라 상기 거울에 대한 상기 지지블록의 지지점이 곡률 변화에 의한 상기 거울의 중심점의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 이동될 수 있게 상기 회동블록을 상기 베이스블록에 연결하는 것을 특징으로 하는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The first elastic body,
As the pivot block is rotated, the pivot block connects the pivot block to the base block so that the support point of the support block with respect to the mirror can be moved in a direction opposite to the direction of movement of the center point of the mirror due to a change in curvature. Adjusting the curvature of the mirror with a single drive.
상기 제1탄성체는,
외팔보 형태로 구비되고, 상기 베이스블록의 일측에 형성된 개방구에 위치되는 상기 거울의 반사면에 대해 직각을 이루며, 상기 베이스블록과의 연결부분인 제1회동점이 정면에서 바라볼 때에 상기 거울의 반사면 상 또는 상기 거울의 반사면에 인접되게 구비되는 것을 특징으로 하는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The first elastic body,
It is provided in a cantilever shape, forms a right angle with respect to the reflecting surface of the mirror located in the opening formed in one side of the base block, the half of the mirror when the first pivot point, which is a connecting portion with the base block, when viewed from the front Curvature adjusting device of a mirror having a single driver, characterized in that provided on the slope or adjacent to the mirror reflecting surface.
상기 회동블록과 상기 제1탄성체는,
상기 베이스블록과 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The pivot block and the first elastic body,
Curvature adjusting apparatus of the mirror having a single driver, characterized in that formed integrally with the base block.
상기 한 쌍의 지지블록 중 적어도 하나는,
상기 회동블록에 위치 조절될 수 있게 고정되는 연결블록을 통해 상기 회동블록에 설치되는 것을 특징으로 하는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
At least one of the pair of support blocks,
Curvature adjusting device of the mirror having a single drive, characterized in that installed in the rotating block through a connecting block fixed to be adjustable in the rotating block.
바닥면에 설치된 지지대;
상기 지지대에 고정 설치되며, 상기 지지대에 대해 설치플레이트를 전후, 좌우 및 상하로 이송하고 기울기를 조정하는 위치 조정장치;
상기 설치플레이트에 고정 설치되며, 하면에 대해 상면의 회전 각도를 조정하는 각도 조정장치; 및
상기 각도 조정장치의 상면에 설치되는 베이스블록, 상기 베이스블록에 하나 이상의 제1탄성체를 통해 각각 연결 구비되고, 외력이 인가 또는 해제됨에 따라 상기 베이스블록과 상기 제1탄성체의 연결부분을 중심으로 회동 또는 탄성 복귀하는 한 쌍의 회동블록, 상기 한 쌍의 회동블록에 각각 설치되어 상기 거울의 양단을 지지하며, 상기 한 쌍의 회동블록이 회동됨에 따라 상기 거울의 양단에 굽힘력을 인가하는 한 쌍의 지지블록; 및 상기 한 쌍의 회동블록을 회동시키는 구동부를 포함하는 단일 구동기를 가진 거울의 곡률 조정장치;를 포함하되,
상기 구동부는, 일 방향으로 왕복 이송되게 구비된 이송부재, 상기 이송부재를 왕복 이송하는 단일의 구동기, 및 상기 이송부재의 양단부에 각각 구비되며 상기 구동기에 의한 상기 이송부재의 이송력을 상기 한 쌍의 회동블록에 전달하여 상기 한 쌍의 회동블록을 각각 회동시키는 한 쌍의 전달부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 거울 조정시스템.In a system for adjusting the position, angle and curvature of a mirror,
Supports installed on the floor;
A position adjusting device fixed to the support and configured to transfer the installation plate to the support, forward, backward, left and right, and up and down and adjust the inclination thereof;
An angle adjusting device fixed to the mounting plate and adjusting a rotation angle of the upper surface with respect to the lower surface; And
The base block is installed on the upper surface of the angle adjusting device, the base block is connected to each other through one or more first elastic body, and rotates around the connecting portion of the base block and the first elastic body as an external force is applied or released. Or a pair of revolving blocks that are elastically returned, respectively, installed on the pair of rotating blocks to support both ends of the mirror, and a pair of applying bending forces to both ends of the mirror as the pair of rotating blocks are rotated. Support block; And a curvature adjusting device of the mirror having a single driver including a driving unit for rotating the pair of rotating blocks.
The driving unit is provided with a transfer member provided to reciprocate in one direction, a single driver for reciprocating the transfer member, and both ends of the transfer member, the pair of the transfer force of the transfer member by the driver And a pair of transfer parts configured to transmit the rotating blocks to the rotating blocks to rotate the pair of rotating blocks, respectively.
상기 한 쌍의 전달부는,
상기 베이스블록에 하나 이상의 제2탄성체를 통해 각각 연결 구비되고, 상기 이송부재에 힌지로 연결되어 상기 이송부재의 이송력이 인가 또는 해제됨에 따라 상기 베이스블록과 상기 제2탄성체의 연결부분을 중심으로 회동하여 상기 회동블록에 외력을 인가하거나 탄성 복귀하는 전달블록;
을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 거울 조정시스템.The method of claim 11,
The pair of transmission unit,
The base block is connected to the base block through one or more second elastic bodies, respectively, and is connected to the transfer member by a hinge so that the base block and the second elastic body are connected to each other as the transfer force of the transfer member is applied or released. A transmission block which rotates to apply an external force or elastically return to the rotation block;
Mirror adjustment system comprising a respectively.
상기 한 쌍의 전달부는,
탄성 변형으로 길이가 가변되는 탄성부재;를 각각 더 포함하며,
상기 전달블록은 상기 탄성부재를 통해 상기 이송부재에 연결되는 것을 특징으로 하는 거울 조정시스템.The method of claim 12,
The pair of transmission unit,
It further comprises; each of the elastic member is variable in length by elastic deformation,
And the transfer block is connected to the transfer member through the elastic member.
상기 제1탄성체는,
상기 회동블록이 회동됨에 따라 상기 거울에 대한 상기 지지블록의 지지점이 곡률 변화에 의한 상기 거울의 중심점의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 이동될 수 있게 상기 회동블록을 상기 베이스블록에 연결하는 것을 특징으로 하는 거울 조정시스템.14. The method according to any one of claims 11 to 13,
The first elastic body,
As the pivot block is rotated, the pivot block connects the pivot block to the base block so that the support point of the support block with respect to the mirror can be moved in a direction opposite to the direction of movement of the center point of the mirror due to a change in curvature. Mirror adjustment system.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020110039126A KR101156564B1 (en) | 2011-04-26 | 2011-04-26 | Apparatus operated by one actuator for adjusting mirror curvatures and mirror manipulating system with the same |
| PCT/KR2012/001350 WO2012121499A2 (en) | 2011-03-08 | 2012-02-22 | Device for adjusting curvature of mirror, and mirror adjustment system comprising same |
| EP12755269.3A EP2685461B1 (en) | 2011-03-08 | 2012-02-22 | Device for adjusting curvature of mirror, and mirror adjustment system comprising same |
| JP2013557638A JP6018592B2 (en) | 2011-03-08 | 2012-02-22 | Mirror curvature adjusting device and mirror adjusting system provided with the same |
| US14/008,570 US9435999B2 (en) | 2011-03-08 | 2012-02-22 | Device for adjusting curvature of mirror while avoiding movement of central point of mirror, and mirror adjustment system comprising same |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020110039126A KR101156564B1 (en) | 2011-04-26 | 2011-04-26 | Apparatus operated by one actuator for adjusting mirror curvatures and mirror manipulating system with the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=46688989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101156564B1 (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07294699A (en) * | 1995-05-29 | 1995-11-10 | Hitachi Ltd | Total reflective mirror device |
| JPH11162807A (en) | 1997-11-25 | 1999-06-18 | Nec Corp | Method and device for magnification correcting of x-ray aligner |
| KR20030063660A (en) * | 2002-01-23 | 2003-07-31 | 에이엔지 주식회사 | Linear Moving Apparatus in Vacuum System |
-
2011
- 2011-04-26 KR KR1020110039126A patent/KR101156564B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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