KR101154605B1 - The printed circuit board and the method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 인쇄회로기판에 대한 것으로, 인쇄회로기판의 제조 방법은 기판의 상하부에 캐비티 영역 내의 캐비티회로패턴 상기 캐비티 외부의 내부회로층을 구비하는 베이스회로기판을 형성하는 단계, 상기 캐비티회로패턴 위에 캐비티분리층을 형성하는 단계, 상기 베이스회로기판 위에 적어도 하나의 절연층 및 회로층을 형성하는 단계, 레이저의 초점거리를 상기 기판의 표면까지 도달하도록 제어하여 상기 식각저지패턴 위의 상기 절연층 및 상기 캐비티분리층을 절단하는 단계, 그리고 상기 캐비티분리층을 분리하여 절단된 상기 절연층을 제거하여 상기 캐비티를 형성하는 단계를 포함한다. 따라서, 캐비티분리층을 캐비티회로패턴 위에 형성하고, 상기 캐비티분리층까지 레이저를 이용하여 절단함으로써 상기 절연층을 분리하여 상기 캐비티 내의 절연층을 쉽게 제거할 수 있다. The present invention relates to a printed circuit board, and a method of manufacturing a printed circuit board includes: forming a base circuit board having an internal circuit layer outside the cavity, the cavity circuit pattern in the cavity area above and below the substrate, on the cavity circuit pattern; Forming a cavity separation layer, forming at least one insulating layer and a circuit layer on the base circuit board, controlling the focal length of a laser to reach the surface of the substrate, and controlling the insulating layer on the etch stop pattern; Cutting the cavity separation layer, and separating the cavity separation layer to remove the cut insulation layer to form the cavity. Therefore, by forming the cavity separation layer on the cavity circuit pattern and cutting the cavity separation layer using a laser, the insulation layer can be separated to easily remove the insulation layer in the cavity.

Description

인쇄회로기판 및 그의 제조 방법{The printed circuit board and the method for manufacturing the same}[0001] The present invention relates to a printed circuit board and a method of manufacturing the same,

본 발명은 인쇄회로기판 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a printed circuit board and a method of manufacturing the same.

인쇄회로기판(PCB; Printed Circuit Board)은 전기 절연성 기판에 구리와 같Printed Circuit Boards (PCBs) are like copper on electrically insulating substrates.

은 전도성 재료로 회로라인 패턴을 인쇄하여 형성한 것으로, 전자부품을 탑재하기 직전의 기판(Board)을 말한다. 즉, 여러 종류의 많은 전자 소자를 평판 위에 밀집 탑재하기 위해, 각 부품의 장착 위치를 확정하고, 부품을 연결하는 회로 패턴을 평판 표면에 인쇄하여 고정한 회로 기판을 의미한다. Is formed by printing a circuit line pattern with a conductive material, and refers to a board immediately before mounting an electronic component. That is, it means the circuit board which fixed the mounting position of each component, and printed and fixed the circuit pattern which connects components to the flat surface surface, in order to mount many electronic elements of various types densely on a flat plate.

이러한 인쇄회로기판은 일반적으로 단층PCB와 PCB를 다층으로 형성한 빌드업 기판(Build-up Board), 즉 다층 PCB기판이 있다.Such printed circuit boards generally include a single layer PCB and a build-up board having multiple layers of PCBs, that is, a multilayer PCB substrate.

특히 최근에는 전자제품의 경박단소화를 위하여 시스템 집적화 기술이 요구되고 있으며 대응 기술로는 매립형 인쇄회로기판(Embedded PCB)와 캐비티형 인쇄회로기판(Cavity PCB)을 제조하는 기술이 주목받고 있다. 매립형 인쇄회로기판(Embedded PCB)은 표면에 실장되는 부품을 PCB 공정 중에서 완전히 매립하여 내장 부품 주위의배선 설계 자유도가 높은 장점이 있는 반면에 내장 부품과 PCB 원자재의 호완성 및 불량 부품에 대한 재작업이 어렵고, 부품 검사 방법에 있어 제약이 발생하는 문제가 있다.In particular, in recent years, system integration technology is required to reduce the size and lightness of electronic products, and technologies for manufacturing embedded PCB and cavity PCB have been attracting attention as corresponding technologies. Embedded PCBs have the advantage that the components mounted on the surface are completely embedded during the PCB process, providing a high degree of freedom in the design of wiring around embedded components, while reworking on the incomplete and defective parts of embedded components and PCB raw materials. This is difficult, and there is a problem that constraints occur in the part inspection method.

캐비티 인쇄회로기판(Cavity PCB)의 경우 부품이 완전히 내부에 매립이 되지않고 Chip이 실장되는 방향 쪽으로 공간이 형성되는 캐비티(Cavity)에 실장 함으로 설계자유도가 낮아지는 단점은 있으나 매립형 인쇄회로기판(Embedded PCB)에서 발생하는 문제점인 부품 재작업, 부품 검사에 있어 매우 효율적인 기술적 장점이 있다. 그러나 캐비티 인쇄회로기판(Cavity PCB)의 경우는 LTCC(: Law Temperature co-fired ceramic) 기반의 몰드 공정(Mold Process)이 적용되는 기술에서 많이 적용되어 왔으나, 다중 적층(Layer-by-layer) 기술인 PCB에서는 그 적용 사례가 극히 적다.In the case of cavity PCB, the design freedom is lowered because the component is not completely embedded in the cavity and is mounted in the cavity where the space is formed in the direction in which the chip is mounted. However, the embedded PCB is embedded. There is a technical advantage that is very efficient in reworking and inspecting parts, which are problems in PCB). Cavity PCB, however, has been applied in many cases in which mold process based on law temperature co-fired ceramic (LTCC) has been applied, but it is a multilayer-by-layer technology. On the PCB, there are very few applications.

그 이유로는 정확한 캐비티 영역의 가공이 어렵고, PCB Process 중에 발생하는 도금, 이미지(Image), 에칭(Etching) 등의 공정에서 캐비티(Cavity) 내부 회로를 손상하는 문제가 발생해, 형성하기가 매우 어렵기 때문이다.For this reason, it is difficult to form accurate cavity area and damage the internal circuit of cavity in the process of plating, image, etching, etc. generated during PCB process, which is very difficult to form. Because.

도 1a 및 도 1b는 종래의 기술에 따른 캐비티 인쇄회로기판의 캐비티 형성공정을 개략적으로 나타낸 개념도이다.1A and 1B are conceptual views schematically illustrating a cavity forming process of a cavity printed circuit board according to the related art.

도시된 것처럼, 다중의 절연층(1, 2, 3, 4, 5)가 적층된 구조에 각 절연체의 사이에 다수의 회로패턴(1a, 1b, 2a,3a,4a, 6)이 형성되어 있는 인쇄회로기판에 전자 소자칩이 실장 될 위치인 캐비티(C)를 형성하는 공정은 매우 어려운 기술에 해당한다.As shown, a plurality of circuit patterns 1a, 1b, 2a, 3a, 4a, and 6 are formed between each insulator in a structure in which multiple insulating layers 1, 2, 3, 4, and 5 are stacked. The process of forming the cavity C, which is a position where the electronic device chip is to be mounted on the printed circuit board, is a very difficult technology.

즉, 도 1a에 도시된 것처럼, 완제품 상태의 적층이 이루어진 인쇄회로기판에서 캐비티(C)의 위치를 밀링 비트(Milling Bit; M)를 이용하여 선택적으로 가공하는 방식이 많이 이용되는데, 이러한 방식은 가공 정밀도가 ±5㎛로 관리되어야 하지만, 현실적으로는 50~100㎛ 정도로 관리되는바, 현실적으로 가공하기가 매우 어려우며, 가공 정밀성의 차이가 매우 심하게 되는바, 양산화 시 제품 신뢰도에 치명적인 문제로 작용하여 양산화의 문제점으로 나타나고 있다. That is, as shown in Figure 1a, a method for selectively processing the position of the cavity (C) using a milling bit (M) in a printed circuit board in which the laminated state of the finished product is made, a number of methods are used Machining precision should be controlled at ± 5㎛, but in reality it is managed at about 50 ~ 100㎛, it is very difficult to process in reality, and the difference in processing precision becomes very severe, which is a fatal problem for product reliability during mass production. It appears to be a problem.

또는, 도 1b 에 도시된 것처럼, 완제품의 상태에서 캐비티의 위치를 정밀하게 펀칭기(P)를 통해 정밀 펀칭(punching)함으로써 선택적으로 캐비티를 형성하는 방법이 적용될 수 있다. 그러나 이러한 방식은 C-stage의 기판을 펀칭날을 통해 펀칭하게 되므로, 캐비티 외벽의 손상이 필연적으로 발생하게 되며, 이러한 캐비티 외벽의 손상은 흡습으로 인한 CAF(Cathode Anode Filament) shot(프리프레그 내에 존재하는 글라스필라멘트가 펀칭으로 인해 벌어져서 PCB 내부의 비아(132, 142, 152)들 사이에 전기적이 쇼트가 발생하는 현상), 디라미레이션(Delamination), 캐비티 하부 면의 손상 문제가 발생하게 되며, 펀칭 지그(P)의 제작비용으로 인한 가격 상승 및 캐비티 디자인의 폭이 매우 협소해지는 문제로 이어지게 된다.Alternatively, as shown in FIG. 1B, a method of selectively forming a cavity by precisely punching the position of the cavity through the punching machine P in the state of the finished product may be applied. However, this method punches the substrate of the C-stage through the punching edge, which inevitably leads to damage of the cavity outer wall, and the damage of the cavity outer wall exists in the CAF (Cathode Anode Filament) shot (prepreg) due to moisture absorption. When the glass filament is opened by punching, electric short is generated between vias 132, 142, and 152 inside the PCB), delamination, and damage to the lower surface of the cavity may occur. Price increases due to the manufacturing cost of the jig (P) and the width of the cavity design will lead to a very narrow problem.

실시예는 새로운 구조를 가지는 인쇄회로기판 및 그의 제조 방법을 제공한다.The embodiment provides a printed circuit board having a new structure and a method of manufacturing the same.

실시예는 레이저로 캐비티를 형성하는 인쇄회로기판 및 그의 제조 방법을 제공한다.The embodiment provides a printed circuit board for forming a cavity with a laser and a method of manufacturing the same.

실시예는 캐비티를 포함하는 인쇄회로기판에 있어서, 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상부 또는 하부에 형성되며, 상기 캐비티에 의해 노출되는 캐비티회로패턴을 포함하는 회로층, 그리고 상기 캐비티를 형성하며, 상기 캐비티 외부의 상기 회로층을 매립하는 절연층을 포함하며, 상기 베이스 기판은 상기 캐비티의 가장자리를 따라 식각홈을 포함한다.In an embodiment, a printed circuit board including a cavity may include a base substrate, a circuit layer formed on or below the base substrate, and including a cavity circuit pattern exposed by the cavity, and forming the cavity. And an insulating layer filling the external circuit layer, wherein the base substrate includes an etching groove along an edge of the cavity.

또한, 실시예는 캐비티를 포함하는 인쇄회로기판에 있어서, 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상부 또는 하부에 형성되며, 상기 캐비티에 의해 노출되는 캐비티회로패턴을 포함하는 회로층, 상기 캐비티를 형성하며, 상기 캐비티 외부의 상기 회로층을 매립하는 절연층, 그리고 상기 절연층에 의해 매립되어 상기 캐비티를 둘러싸는 캐비티분리패턴을 포함한다. In addition, the embodiment of the present invention provides a printed circuit board including a cavity, a base layer, a circuit layer formed on or below the base substrate, and including a cavity circuit pattern exposed by the cavity, forming the cavity, and And an insulating layer filling the circuit layer outside the cavity, and a cavity separation pattern filled by the insulating layer and surrounding the cavity.

한편, 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법은 기판의 상하부에 캐비티 영역 내의 캐비티회로패턴 상기 캐비티 외부의 내부회로층을 구비하는 베이스회로기판을 형성하는 단계, 상기 캐비티회로패턴 위에 캐비티분리층을 형성하는 단계, 상기 베이스회로기판 위에 적어도 하나의 절연층 및 회로층을 형성하는 단계, 레이저의 초점거리를 상기 기판의 표면까지 도달하도록 제어하여 상기 식각저지패턴 위의 상기 절연층 및 상기 캐비티분리층을 절단하는 단계, 그리고 상기 캐비티분리층을 분리하여 절단된 상기 절연층을 제거하여 상기 캐비티를 형성하는 단계를 포함한다.Meanwhile, the method of manufacturing a printed circuit board according to the embodiment may include forming a base circuit board having upper and lower portions of a circuit circuit pattern in a cavity area and an internal circuit layer outside the cavity, and forming a cavity separation layer on the cavity circuit pattern. Forming at least one insulating layer and a circuit layer on the base circuit board, controlling the focal length of a laser to reach a surface of the substrate, and forming the insulating layer and the cavity separation layer on the etch stop pattern. And cutting the cavity separation layer and removing the cut insulation layer to form the cavity.

본 발명에 따르면, 캐비티분리층을 캐비티회로패턴 위에 형성하고, 상기 캐비티분리층까지 레이저를 이용하여 절단함으로써 상기 절연층을 분리하여 상기 캐비티 내의 절연층을 쉽게 제거할 수 있다. According to the present invention, the cavity separation layer is formed on the cavity circuit pattern, and the insulation layer is separated by cutting the cavity separation layer using a laser to easily remove the insulation layer in the cavity.

또한, 상기 캐비티의 경계 영역에 식각스타퍼를 형성하지 않고, 레이저의 초점 거리를 조절하여 식각 깊이를 제어함으로써 캐비티 내의 회로설계의 자유도를 높일 수 있다.In addition, the degree of freedom of circuit design in the cavity may be increased by controlling the depth of etching by adjusting the focal length of the laser without forming an etching stopper at the boundary region of the cavity.

도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 상면도이다.
도 3은 도 2의 인쇄회로기판을 Ⅰ-Ⅰ'으로 절단한 단면도이다.
도 4는 도 3의 A 영역을 확대한 확대도이다.
도 5 내지 도 15는 도 2의 인쇄회로기판을 제조하기 위한 방법을 나타내는 단면도이다.
1A and 1B are cross-sectional views of a printed circuit board according to the prior art.
2 is a top view of a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of the printed circuit board of FIG. 2.
FIG. 4 is an enlarged view illustrating region A of FIG. 3.
5 to 15 are cross-sectional views illustrating a method for manufacturing the printed circuit board of FIG. 2.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. Throughout the specification, when a part is said to "include" a certain component, it means that it can further include other components, without excluding other components unless specifically stated otherwise.

그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하고, 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.In order to clearly illustrate the present invention in the drawings, thicknesses are enlarged in order to clearly illustrate various layers and regions, and parts not related to the description are omitted, and like parts are denoted by similar reference numerals throughout the specification .

층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우 뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.Whenever a portion of a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" another portion, it includes not only the case where it is "directly on" another portion, but also the case where there is another portion in between. On the contrary, when a part is "just above" another part, there is no other part in the middle.

본 발명은 다층 인쇄회로기판에서 레이저를 이용하여 캐비티(cavity)를 형성하면서, 식각저지층 없이 레이저의 초점 거리 제어를 통해 형성함으로써 캐비티 내의 회로 설계의 자유도를 향상시킨 인쇄회로기판을 제시한다.The present invention proposes a printed circuit board which improves the degree of freedom in designing a circuit in a cavity by forming a cavity using a laser in a multilayer printed circuit board and controlling the focal length of the laser without an etch stop layer.

이하에서는 도 2 내지 도 15를 참고하여 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로 기판을 설명한다. Hereinafter, a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 15.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 상면도이고, 도 3은 도 2의 인쇄회로기판을 Ⅰ-Ⅰ'으로 절단한 단면도이며, 도 4는 도 3의 A 영역을 확대한 확대도이다.2 is a top view of a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line II ′ of the printed circuit board of FIG. 2, and FIG. 4 is an enlarged view of region A of FIG. 3. It is also.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 인쇄회로기판(100)은 다층의 회로패턴층을 포함하는 다층 인쇄회로기판으로서, 내부회로층(120)을 포함하는 베이스회로기판을 포함한다. 2 to 4, the printed circuit board 100 according to the present invention is a multilayer printed circuit board including a multilayer circuit pattern layer, and includes a base circuit board including an internal circuit layer 120.

상기 베이스회로기판은 베이스기판(110) 및 상기 베이스기판(110) 상하부에 형성되는 내부회로층(120)을 포함한다.The base circuit board includes a base substrate 110 and an internal circuit layer 120 formed above and below the base substrate 110.

상기 베이스기판(110)은 절연 기판으로서, 열경화성 또는 열가소성 고분자 기판, 세라믹 기판, 유-무기 복합 소재 기판, 또는 유리 섬유 함침 기판일 수 있으며, 고분자 수지를 포함하는 경우, 에폭시계 절연 수지를 포함할 수 있으며, 이와 달리 폴리 이미드계 수지를 포함할 수도 있다.The base substrate 110 may be a thermosetting or thermoplastic polymer substrate, a ceramic substrate, an organic-inorganic composite material substrate, or a glass fiber impregnated substrate, and may include an epoxy-based insulating resin as the insulating substrate. Alternatively, it may alternatively include a polyimide-based resin.

상기 베이스기판(110) 상하부에 내부회로층(120)이 형성되어 있으며, 상기 내부회로층(120)의 일부는 제1폭(d1)의 캐비티(C)가 형성된 캐비티 영역에 노출되는 캐비티회로패턴(125)을 포함한다.Internal circuit layers 120 are formed on upper and lower portions of the base substrate 110, and a part of the internal circuit layers 120 is exposed to a cavity region in which a cavity C having a first width d1 is formed. And 125.

상기 캐비티회로패턴(125)은 상기 캐비티(C)의 바닥면으로부터 연장되어 캐비티(C)를 둘러싸는 절연층에 매립되는 내부회로층(160)과 동일평면 상에서 연장된다.The cavity circuit pattern 125 extends from the bottom surface of the cavity C and extends on the same plane as the internal circuit layer 160 embedded in an insulating layer surrounding the cavity C.

이때, 상기 베이스기판(110)은 상기 캐비티(C)의 가장자리 영역을 따라 식각홈(LS: laser spot)이 형성되어 있다.At this time, the base substrate 110 is formed with an etching groove (LS: laser spot) along the edge region of the cavity (C).

상기 식각홈(LS)은 캐비티(C)를 형성하는 레이저 드릴링에 의해 형성되는 것으로 가장자리 영역을 따라 소정의 깊이로 형성된다.The etching groove LS is formed by laser drilling to form the cavity C, and is formed to a predetermined depth along the edge region.

상기 캐비티회로패턴(125) 이외의 내부회로층(120)은 제1 절연층(130)에 의해 매립되어 있으며, 상기 제1 절연층(130) 위에 복수의 절연층(140, 150)이 형성된다.The internal circuit layers 120 other than the cavity circuit pattern 125 are buried by the first insulating layer 130, and a plurality of insulating layers 140 and 150 are formed on the first insulating layer 130. .

상기 제1 절연층(130) 위에 형성되는 제2 절연층(140) 및 제3 절연층(150)은 동일한 물질로 형성되어 있는 수지 절연층일 수 있다. The second insulating layer 140 and the third insulating layer 150 formed on the first insulating layer 130 may be a resin insulating layer formed of the same material.

도 3에서는 3개의 절연층(130, 140, 150)으로 형성된 것으로 도시하였으나, 절연층의 수효는 다양하게 변형가능하며, 베이스회로기판의 상하부에 서로 다른 수효의 절연층 및 층간회로층이 형성될 수 있다.In FIG. 3, three insulating layers 130, 140, and 150 are formed, but the number of insulating layers may be variously modified, and different numbers of insulating layers and interlayer circuit layers may be formed on upper and lower portions of the base circuit board. Can be.

상기 제1 내지 제3 절연층(130, 140, 150) 사이에는 각각의 층간회로층(도시하지 않음)이 형성되어 있으며, 각각의 제1 내지 제3 절연층(130, 140, 150)에는 층간회로층을 연결하는 비아(132, 142, 152)가 형성되어 있다.Interlayer circuit layers (not shown) are formed between the first to third insulating layers 130, 140, and 150, and interlayers are formed on the first to third insulating layers 130, 140, and 150. Vias 132, 142, and 152 connecting the circuit layers are formed.

상기 복수의 절연층(130, 140, 150) 적층, 층간회로층 형성 및 비아(132, 142, 152) 형성은 일반적인 빌드업(build-up) 공정을 통하여 제조될 수 있다.The plurality of insulating layers 130, 140, and 150 may be stacked, the interlayer circuit layer may be formed, and the vias 132, 142, and 152 may be formed through a general build-up process.

도 3의 인쇄회로기판(100)에서 최상층으로 정의되어 있는 제3 절연층(150) 위에 외부회로층(154)이 형성되어 있으며, 상기 외부회로층(154)과 하부의 층간회로층을 연결하는 비아(152)가 형성되어 있다.The external circuit layer 154 is formed on the third insulating layer 150 defined as the uppermost layer in the printed circuit board 100 of FIG. 3, and connects the external circuit layer 154 and the lower interlayer circuit layer. Via 152 is formed.

상기 인쇄회로기판(100)은 상기 인쇄회로기판(100)의 최상층에서 최하층을 관통하는 전도성 쓰루홀(155)을 포함할 수 있다.The printed circuit board 100 may include a conductive through hole 155 penetrating through the lowermost layer of the uppermost layer of the printed circuit board 100.

상기 제3 절연층(150) 위에 상기 상부회로층(154)을 매립하고, 상기 쓰루홀(155)과 비아(152)를 노출하는 커버레이(160)가 적층되어 있을 수 있다.The coverlay 160 exposing the upper circuit layer 154 and exposing the through hole 155 and the via 152 may be stacked on the third insulating layer 150.

상기 커버레이(160)는 드라이 필름이나 솔더 레지스트일 수 있다.The coverlay 160 may be a dry film or a solder resist.

이때, 상기 캐비티(C) 내부를 상세히 검토하면, 제1폭(d1)을 가지는 캐비티(C)를 형성하고 있는 캐비티 영역에는 복수의 캐비티회로패턴(125)이 형성되어 있다.At this time, when the inside of the cavity C is examined in detail, a plurality of cavity circuit patterns 125 are formed in the cavity area forming the cavity C having the first width d1.

앞서 설명했듯이, 상기 캐비티회로패턴(125)을 둘러싸며, 상기 캐비티(C)의 가장자리 영역에 식각홈(LS)이 형성되어 있으며, 상기 캐비티회로패턴(125)과 제1 절연층(130)에 의해 매립되어 있는 내부회로층(120)을 연결하는 연결패턴이 형성되는 영역에는 식각홈(LS)이 형성되지 않는다.As described above, an etch groove LS is formed in the edge region of the cavity C, surrounding the cavity circuit pattern 125, and formed in the cavity circuit pattern 125 and the first insulating layer 130. An etching groove LS is not formed in a region in which a connection pattern connecting the internal circuit layer 120 buried by the internal circuit layer 120 is formed.

상기 식각홈(LS)은 레이저 드릴링에 의해 형성되는 것으로서, 상기 연결패턴은 상기 레이저 드릴링의 스타퍼(stopper)와 같은 역할을 수행한다.The etching groove LS is formed by laser drilling, and the connection pattern serves as a stopper of the laser drilling.

이와 같이, 레이저 스타퍼가 형성되어 있지 않아 상기 캐비티회로패턴(125)과 내부회로층(120)의 연결을 동일층에서 형성할 수 있어, 회로 설계의 자유도가 증가하고 회로 기판의 두께가 작아진다.As such, since the laser stopper is not formed, the cavity circuit pattern 125 and the internal circuit layer 120 can be connected in the same layer, thereby increasing the degree of freedom in circuit design and reducing the thickness of the circuit board.

이때, 상기 캐비티(C)를 둘러싸는 상기 제1 절연층(130)에는 캐비티(C)를 둘러싸며 캐비티분리층(129)의 일부가 형성되어 있다. 캐비티분리층(129)는 내부회로층(120) 및 캐비티회로패턴(125)을 형성하는 금속층보다 높은 위치의 제1 절연층(130) 내에 매립되어 있다. In this case, a portion of the cavity separation layer 129 is formed around the cavity C in the first insulating layer 130 surrounding the cavity C. The cavity isolation layer 129 is embedded in the first insulating layer 130 at a position higher than the metal layer forming the internal circuit layer 120 and the cavity circuit pattern 125.

상기 캐비티분리층(129)은 하부의 캐비티회로패턴(125)을 형성하는 금속과의 접착력이 상부의 제1 절연층(130)과의 접착력보다 약하며, 내열성을 가지는 물질로서, 바람직하게는 테이프 형태로 구성된 이형 필름의 일부일 수 있다.The cavity separation layer 129 is a material having a heat resistance that is less adhesive force with the metal forming the lower cavity circuit pattern 125 than the first insulating layer 130, and preferably in the form of a tape. It may be part of a release film composed of.

상기 캐비티분리층(129)은 에폭시, 페놀수지, 프리프레그, 폴리이미드, ABF 중 어느 하나를 이용하여 형성되는 테이프 형태의 절연층일 수 있으며, 바람직하게는 폴리이미드 테이프의 일부일 수 있다.The cavity separation layer 129 may be an insulating layer in the form of a tape formed using any one of an epoxy, a phenol resin, a prepreg, a polyimide, and ABF, and may preferably be part of a polyimide tape.

상기와 같이, 레이저 드릴링하는 캐비티(C)의 가장자리 영역에 스타퍼를 형성하지 않고, 레이저로 절연층(130, 140, 150) 및 캐비티분리층(129)을 절단하여 캐비티(C)를 형성하므로 캐비티회로패턴(125)의 설계가 자유롭다.As described above, the cavity C is formed by cutting the insulating layers 130, 140, 150 and the cavity separation layer 129 with a laser without forming a stopper in the edge region of the cavity C for laser drilling. The design of the cavity circuit pattern 125 is free.

이하에서는 도 5 내지 도 15를 참고하여 도 2의 인쇄회로기판의 제조 방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the printed circuit board of FIG. 2 will be described with reference to FIGS. 5 to 15.

먼저, 도 5와 같이, 절연성의 베이스기판(110)의 양면에 금속층(121)이 형성된 동박복합체를 준비한다.First, as shown in FIG. 5, a copper foil composite having a metal layer 121 formed on both surfaces of an insulating base substrate 110 is prepared.

상기 금속층(121)은 구리를 포함하는 동박일 수 있으나, 이와 달리 알루미늄, 금, 은 등을 포함하는 합금일 수 있다.The metal layer 121 may be a copper foil including copper, but may be an alloy including aluminum, gold, silver, and the like.

다음으로, 도 5와 같이, 베이스기판(110)의 양면의 금속층(121)을 패터닝하여 내부회로층(120)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 5, the internal circuit layer 120 is formed by patterning the metal layers 121 on both sides of the base substrate 110.

상기 내부회로층(120) 중 일부는 캐비티(C)에 노출될 캐비티회로패턴(125)로서, 상기 캐비티(C) 이외의 영역에 형성되어 있는 내부회로층(120)과 동일 금속층을 식각하여 연결되도록 형성된다.A part of the internal circuit layer 120 is a cavity circuit pattern 125 to be exposed to the cavity C, and is formed by etching the same metal layer as the internal circuit layer 120 formed in a region other than the cavity C. It is formed to be.

다음으로, 도 6과 같이 베이스기판(110)의 양면으로 형성되는 내부회로층(120)을 포함하는 구조를 베이스회로기판이라 정의한다.Next, the structure including the internal circuit layer 120 formed on both sides of the base substrate 110 as shown in Figure 6 is defined as a base circuit board.

다음으로, 도 7과 같이, 상기 캐비티 영역에 솔더레지스트(PSR; 127)을 인쇄하고, 캐비티 영역의 솔더레지스트(127)을 노광하여 상기 캐비티 영역 내의 캐비티회로패턴(125)의 사이에 도 8과 같이, 솔더레지스트패턴(126)이 형성된 구조를 형성한다. Next, as shown in FIG. 7, a solder resist (PSR) 127 is printed in the cavity region, and the solder resist 127 of the cavity region is exposed to expose the cavity circuit pattern 125 in the cavity region. Likewise, a structure in which the solder resist pattern 126 is formed is formed.

이후, 도 9와 같이 상기 캐비티회로패턴(125)의 표면을 산화 처리하여 표면처리층(128)을 형성하는 공정이 추가될 수 있다. Thereafter, a process of forming a surface treatment layer 128 by oxidizing the surface of the cavity circuit pattern 125 may be added as shown in FIG. 9.

상기 표면처리층(128)은 산화 처리하여 형성하는 외에 Cu, Ni, Pd, Au, Sn, Ag, Co 중 어느 하나 또는 이들의 이원, 삼원 합금을 이용하여 단층 또는 다층으로 도금처리를 수행하여 형성하는 것도 가능하다.The surface treatment layer 128 may be formed by performing a plating treatment in a single layer or a multilayer using any one of Cu, Ni, Pd, Au, Sn, Ag, Co, or a binary or ternary alloy thereof. It is also possible.

다음으로, 도 10과 같이, 상기 캐비티 영역에 접착력이 약한 내열성 캐비티분리층(129)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 10, a heat resistant cavity separation layer 129 having weak adhesion in the cavity region is formed.

상기 캐비티분리층(129)은 상기 캐비티 영역보다 넓은 폭을 갖도록 형성되며, 상기 캐비티 영역을 모두 덮으며 형성된다.The cavity separation layer 129 is formed to have a wider width than the cavity area, and covers the cavity area.

상기 캐비티분리층(129)은 뒤에 레이저 드릴로 캐비티 영역을 가공할 때, 절연층(130)과 함께 절단되어 절단된 절연층(130)을 드러내는 분리층으로서 기능한다.The cavity separation layer 129 serves as a separation layer exposing the cut and cut insulation layer 130 together with the insulation layer 130 when the cavity region is later processed by a laser drill.

상기 캐비티분리층(129)은 접착력이 약한 내열성 재질로 형성될 수 있으며, 특히 바람직하게는 공정의 편의를 위해 테이프형태로 구성되어 탈부착이 용이하도록 함이 바람직하다. 예를 들어 에폭시, 페놀수지, 프리프레그, 폴리이미드, ABF 중 어느 하나를 이용하여 형성되는 절연층으로 형성할 수 있으며, 바람직하게는 PI(폴리이미드) 테이프를 부착하는 방식으로 캐비티분리층(129)을 간단하게 형성할 수 있다.The cavity separation layer 129 may be formed of a heat-resistant material having a weak adhesive force, and particularly preferably, in the form of a tape for the convenience of the process, to facilitate detachment and detachment. For example, it may be formed of an insulating layer formed using any one of epoxy, phenol resin, prepreg, polyimide, and ABF, and preferably, the cavity separation layer 129 by attaching a PI (polyimide) tape. ) Can be easily formed.

다음으로, 도 11 및 도 12와 같이 베이스기판(110)의 상부 또는 하부에 적어도 1 이상의 절연층(130)과 금속층(135)을 적층하고, 패터닝하여 층간회로층을 순차 형성한다.Next, as shown in FIGS. 11 and 12, at least one insulating layer 130 and a metal layer 135 are stacked and patterned on the upper or lower portion of the base substrate 110 to sequentially form an interlayer circuit layer.

도 11 및 도 12의 공정을 반복하면서, 상기 절연층(130)의 일부를 개방하여 하부 층간회로층을 노출하고, 도금 등에 의해 비아(132, 142, 152)를 형성하여 도 13의 다층회로기판을 형성한다.Repeating the process of FIGS. 11 and 12, a portion of the insulating layer 130 is opened to expose the lower interlayer circuit layer, and vias 132, 142, and 152 are formed by plating to form the multilayer circuit board of FIG. 13. To form.

이때, 상기 다층회로기판의 최상부에서 최하부까지 관통하는 전도성 쓰루홀 (155)을 형성할 수 있으며, 내부회로층(120) 및 다른 회로층과 전기적으로 도통 되는 비아(132, 142, 152)을 형성하는 일반적인 적층공정(Build-up process)이 수행될 수 있다. In this case, a conductive through hole 155 penetrating from the top to the bottom of the multilayer circuit board may be formed, and the vias 132, 142, and 152 electrically connected to the internal circuit layer 120 and other circuit layers may be formed. A general build-up process may be performed.

최외면의 절연층인 제3 절연층(150) 위의 외부회로층(154)을 형성하면, 제3 절연층(150) 위에 솔더 레지스트 등을 이용하여 커버레이(160)를 형성한다.When the external circuit layer 154 is formed on the third insulating layer 150, which is the outermost insulating layer, the coverlay 160 is formed on the third insulating layer 150 by using a solder resist or the like.

상기 커버레이(160)는 외부회로층(154)을 매립하고, 최외면의 비아(152) 및 쓰루홀(155)을 노출하도록 형성된다.The coverlay 160 fills the external circuit layer 154 and is formed to expose the outermost via 152 and the through hole 155.

다음으로, 도 13의 다층회로기판의 캐비티 영역에 캐비티(C)를 형성한다.Next, the cavity C is formed in the cavity region of the multilayer circuit board of FIG. 13.

상기 캐비티(C)를 형성하는 공정은 도 14와 같이 레이저 드릴(200)을 이용하여 캐비티(C)가 가공될 위치를 어라인하고, 레이저 드릴(200)의 초점 거리를 제어하여 상기 레이저 드릴(200)에 의해 베이스 기판(110)의 표면에 소정 깊이의 식각홈(LS)이 형성될 정도로 조절한다.In the process of forming the cavity C, as shown in FIG. 14, the position where the cavity C is to be processed is arranged using the laser drill 200, and the focal length of the laser drill 200 is controlled to control the laser drill ( 200, the etching groove LS having a predetermined depth is formed on the surface of the base substrate 110.

이러한 레이저 드릴링은 최외면으로부터 베이스기판(110)의 표면까지 진행된다.Such laser drilling proceeds from the outermost surface to the surface of the base substrate 110.

다음으로, 도 15와 같이, 레이저 드릴(200)에 의해 분리된 캐비티 영역의 절연층(130, 140, 150)을 드러내면, 상기 캐비티분리층(129)의 낮은 접착력에 의해 캐비티 영역의 절연층(130, 140, 150)이 용이하게 제거된다.Next, as shown in FIG. 15, when the insulating layers 130, 140, and 150 of the cavity region separated by the laser drill 200 are exposed, the insulating layer of the cavity region may be formed due to the low adhesive force of the cavity separation layer 129. 130, 140, 150 are easily removed.

이와 같이, 레이저 드릴(200)의 초점 거리를 제어하여 설정된 캐비티(C)의 깊이만큼 절단이 진행되도록 함으로써 별도의 금속 스타퍼 없이 캐비티(C)를 형성할 수 있다.As such, the cavity C may be formed without a separate metal stopper by controlling the focal length of the laser drill 200 to allow the cutting to proceed as much as the depth of the set cavity C.

따라서, 도 15의 캐비티(C)가 형성되며, 캐비티회로패턴(125)이 노출되어 캐비티(C) 내에 상기 캐비티회로패턴(125)과 전기적으로 연결되는 수동소자 또는 능동소자가 실장될 수 있다.Accordingly, the cavity C of FIG. 15 is formed, and the passive circuit or the active device electrically connected to the cavity circuit pattern 125 may be mounted in the cavity C by exposing the cavity circuit pattern 125.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.

인쇄회로기판 100
베이스 기판 110
내부회로층 120
캐비티 C
레이저 드릴 200
Printed Circuit Board 100
Base Board 110
Internal circuit layer 120
Cavity C
Laser drill 200

Claims (17)

캐비티를 포함하는 인쇄회로기판에 있어서,
베이스 기판,
상기 베이스 기판 상부 또는 하부에 형성되며, 상기 캐비티에 의해 노출되는 캐비티회로패턴을 포함하는 베이스회로층, 그리고
상기 캐비티를 형성하며, 상기 캐비티 외부의 상기 베이스회로층을 매립하는 절연층을 포함하며,
상기 베이스 기판은 상기 캐비티의 가장자리를 따라 식각홈을 포함하는 인쇄회로기판.
In a printed circuit board comprising a cavity,
Base substrate,
A base circuit layer formed on or below the base substrate, the base circuit layer including a cavity circuit pattern exposed by the cavity; and
An insulation layer forming the cavity and filling the base circuit layer outside the cavity;
The base substrate is a printed circuit board including an etching groove along the edge of the cavity.
제1항에 있어서,
상기 절연층에 의해 매립되어 상기 캐비티를 둘러싸는 캐비티분리층을 더 포함하는 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
And a cavity separation layer filled by the insulating layer and surrounding the cavity.
제1항에 있어서,
상기 절연층은 적어도 하나의 절연막으로 형성되는 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
The insulating layer is a printed circuit board formed of at least one insulating film.
제1항에 있어서,
상기 절연층은 상기 베이스 기판의 상부 및 하부에 형성되는 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
The insulating layer is formed on top and bottom of the base substrate.
제1항에 있어서,
상기 식각홈은 상기 캐비티를 형성하는 레이저 드릴에 의해 형성되는 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
The etching groove is a printed circuit board formed by a laser drill to form the cavity.
제2항에 있어서,
상기 캐비티분리층은 폴리이미드 테이프의 일부인 인쇄회로기판.
The method of claim 2,
The cavity separation layer is part of a polyimide tape.
제1항에 있어서,
상기 캐비티회로패턴 사이에 솔더레지스트패턴이 형성되어 있는 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
A printed circuit board having a solder resist pattern formed between the cavity circuit pattern.
기판의 상하부에 캐비티 영역 내의 캐비티회로패턴 상기 캐비티 외부의 내부회로층을 구비하는 베이스회로기판을 형성하는 단계,
상기 캐비티회로패턴 위에 캐비티분리층을 형성하는 단계,
상기 베이스회로기판 위에 적어도 하나의 절연층 및 회로층을 형성하는 단계,
레이저의 초점거리를 상기 베이스회로기판의 표면까지 도달하도록 제어하여 상기 캐비티회로패턴 위의 상기 절연층 및 상기 캐비티분리층을 절단하는 단계, 그리고
상기 캐비티분리층을 분리하여 절단된 상기 절연층을 제거하여 상기 캐비티를 형성하는 단계
를 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.
Forming a base circuit board on the upper and lower sides of the substrate, the base circuit board having an internal circuit layer outside the cavity;
Forming a cavity separation layer on the cavity circuit pattern;
Forming at least one insulating layer and a circuit layer on the base circuit board,
Cutting the insulating layer and the cavity separation layer on the cavity circuit pattern by controlling the focal length of the laser to reach the surface of the base circuit board; and
Separating the cavity separation layer to remove the cut insulation layer to form the cavity
And a step of forming the printed circuit board.
제8항에 있어서,
상기 베이스회로기판을 형성하는 단계는,
베이스 기판의 양면에 상기 캐비티회로패턴 및 상기 내부회로층을 패터닝하는 단계, 그리고
상기 캐비티회로패턴 사이에 솔더레지스트패턴을 형성하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.
The method of claim 8,
Forming the base circuit board,
Patterning the cavity circuit pattern and the internal circuit layer on both sides of a base substrate, and
Forming a solder resist pattern between the cavity circuit pattern.
제8항에 있어서,
상기 캐비티회로패턴의 상부에 산화층을 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄히로기판의 제조방법.
The method of claim 8,
And forming an oxide layer on the cavity circuit pattern.
제8항에 있어서,
상기 적어도 하나의 절연층 및 회로층을 형성하는 단계는,
상기 베이스회로기판 상에 적어도 하나의 상기 절연층과 회로층을 순차 형성하고, 내부회로층과 상기 회로층을 전기적으로 도통 되는 비아를 형성하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.
The method of claim 8,
Forming the at least one insulating layer and the circuit layer,
And sequentially forming at least one insulating layer and a circuit layer on the base circuit board, and forming vias electrically connecting the internal circuit layer and the circuit layer.
제8항에 있어서,
상기 절연층 절단 단계는,
상기 레이저의 초점 거리를 제어하여 상기 베이스 기판의 표면에 식각홈이 형성되도록 레이저를 조사하는 인쇄회로기판의 제조 방법.
The method of claim 8,
The insulating layer cutting step,
And controlling the focal length of the laser to irradiate the laser to form an etching groove on the surface of the base substrate.
제8항에 있어서,
상기 캐비티분리층을 형성하는 단계는,
절연성의 테이프를 상기 캐비티회로패턴 위에 부착하는 인쇄회로기판의 제조방법.
The method of claim 8,
Forming the cavity separation layer,
A method of manufacturing a printed circuit board, wherein an insulating tape is attached onto the cavity circuit pattern.
제8항에 있어서,
상기 캐비티분리층을 형성하는 단계는,
상기 캐비티보다 큰 폭을 갖도록 상기 캐비티분리층을 부착하는 인쇄회로기판의 제조 방법.
The method of claim 8,
Forming the cavity separation layer,
And attaching the cavity separation layer to have a width greater than that of the cavity.
캐비티를 포함하는 인쇄회로기판에 있어서,
베이스 기판,
상기 베이스 기판 상부 또는 하부에 형성되며, 상기 캐비티에 의해 노출되는 캐비티회로패턴을 포함하는 회로층,
상기 캐비티를 형성하며, 상기 캐비티 외부의 상기 회로층을 매립하는 절연층, 그리고
상기 절연층에 의해 매립되어 상기 캐비티를 둘러싸는 캐비티분리층을 포함하는 인쇄회로기판.
In a printed circuit board comprising a cavity,
Base substrate,
A circuit layer formed on or below the base substrate and including a cavity circuit pattern exposed by the cavity;
An insulation layer forming the cavity and filling the circuit layer outside the cavity; and
A printed circuit board comprising a cavity separation layer buried by the insulating layer surrounding the cavity.
제15항에 있어서,
상기 캐비티분리층은 폴리이미드 테이프의 일부인 인쇄회로기판.
16. The method of claim 15,
The cavity separation layer is part of a polyimide tape.
제15항에 있어서,
상기 절연층 내에서 상기 캐비티분리층은 상기 회로층보다 높게 형성되어 있는 인쇄회로기판.
16. The method of claim 15,
The cavity separation layer is formed higher than the circuit layer in the insulating layer.
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