KR101138413B1 - 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치 - Google Patents

고전압 광대역 펄스 감쇠 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 T자형 감쇠 회로를 이용한 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치에 관한 것이다. 본 발명은 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치에 있어서, 펄스 신호가 입력되는 입력부; 복수의 탄소 복합 저항기가 배열된 교체 가능한 저항부를 포함하며, 상기 저항부에 의해 설정된 감쇠값에 따라 입력된 상기 펄스 신호를 감쇠하는 T자형 감쇠 회로; 상기 감쇠회로에 의해 감쇠된 펄스 신호를 출력하는 출력부; 상기 입력부와 상기 감쇠 회로를 연결시키는 제1변환부; 및 상기 출력부와 상기 감쇠 회로를 연결시키는 제2변환부를 포함한다. 본 발명에 따르면, 복수의 탄소 복합 저항기가 배열된 교체 가능한 저항부를 모듈화함으로써, 저항부를 교체하여 감쇠 장치의 감쇠 값을 다양하게 설정할 수 있다. 또한, 동축 케이블의 표면을 단차가공하고, 외부 금속 케이스의 접합면과 내부 유전체막들의 접합면이 다른 위치에 형성되도록 함으로써, 유전체막에서의 절연 파괴 현상을 최소화 할 수 있다.

Description

고전압 광대역 펄스 감쇠 장치{HIGH VOLTAGE BROADBAND PULSE ATTENUATOR}
본 발명은 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치에 관한 것으로, 특히, T자형 감쇠 회로를 이용한 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치에 관한 것이다.
최근 수십 kV의 첨두 전압, 수 나노 초 이하의 반전압 펄스 폭, 수 kHz 이하의 펄스 반복 주파수 사양을 가진 고전압 펄스 발생기의 사용이 증가하고 있다. 따라서, 이러한 사양의 고전압 펄스 발생기의 출력 파형을 측정하기 위한 장치가 요구된다.
그러나, 종래의 고속 광대역 오실로스코프에서 제공하는 프로브(probe)로는 고전압 펄스 발생기의 출력 파형을 측정하는데 한계가 있기 때문에, 펄스 신호를 감쇠하기 위한 감쇠 장치가 요구된다. 이하, 도면을 참조하여 종래기술에 따른 저항 감쇠 장치의 구조 및 문제점에 대해 살펴보도록 한다.
도 1은 종래의 π형 저항 감쇠기를 나타낸 단면도이다.
도시된 바와 같이, 종래의 π형 저항 감쇠기(100)는 신호선 상에 직렬로 연결된 직렬 저항(R1) 1개와 직렬 저항(R1)의 양 끝단과 접지 사이에 병렬로 연결된 병렬 저항(R2,R3) 2개를 포함한다.
이와 같은 구조의 π형 저항 감쇠기(100)는 초단파(VHF) 또는 극초단파(UHF) 대역에서의 신호 감쇠기로 사용된다. 최근 제조 기술의 발달로 저항(R1,R2,R3)의 크기를 감소시키는 것이 가능해져, 극초단파(UHF) 대역보다 높은 주파수의 GHz 이상의 주파수 대역에서도 π형 저항 감쇠기(100)의 사용이 가능해지는 추세이다.
그러나, 저항(R1,R2,R3)의 크기가 작아질수록 펄스 전압의 입력 한계 또한 작아지기 때문에, 50옴(Ω) 특성이 요구되는 수십 kV 이상의 고압 펄스에서는 사용이 어려운 문제점이 있다.
도 2는 종래의 T자형 저항 감쇠기를 나타낸 단면도이다.
도시된 바와 같이, 종래의 T자형 저항 감쇠기(200)는 세라믹 재료와 금속성 피막 재료의 조합으로 만들어진 막대형 저항기(R)를 사용한 동축 구조를 갖는다. 해당 저항의 물리적 길이가 길어 GHz 대역의 주파수에서 집중형 소자로 해석이 되지 않으므로, 케이스 내부의 동축 외경의 크기를 지수적으로 감소시켜 막대형 저항의 부유 인덕턴스와 부유 캐패시턴스를 상쇄시켜 동축 임피던스와 저항 임피던스를 맞춤으로써, 저항기로 동작할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 막대형 저항기(R)는 저항의 크기가 작지 않아 고전압 펄스에 대한 절연 내압이 크므로 π형 저항 감쇠기에 비해 고압 펄스 신호를 감쇠하는데 유리하다.
그러나, T자형의 막대형 저항기(R)가 접촉되는 중심부 전극에서의 절연 확보가 어렵다는 문제점이 있다. 즉, 동축 선로의 유전체 재질에 따라 단위 길이(mm) 마다 절연 내압은 크게 다르지만, 유전체 면을 따라 절연 파괴되는 전압은 밀리미터(mm)당 수 kV 이하 수준으로 중심 전극(T)으로부터 타원형의 케이스 접지 구조물(10)까지의 거리가 가까우면 수십 kV 이상의 고압 펄스에 대해 유전체 면을 따라 절연 파괴되는 현상이 발생된다. 따라서, 수십 kV의 고전압 펄스 감쇠용으로 사용하는데에는 적절하지 못하다.
전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 종래에 수 kV/수 ns급에서 최고 60kV/2ns급 펄스를 3~20dB 수준으로 감쇠시킬 수 있는 감쇠기가 시판되었다. 그러나, 감쇠기가 고가일 뿐만 아니라, 감쇠기의 감쇠값이 고정되어 있어 다양한 감쇠 값이 요구되는 시험 환경에서는 비용 부담이 크다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 절연 파괴 현상이 최소화된 다양한 감쇠 값을 갖는 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해 제안된 본 발명은 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치에 있어서, 펄스 신호가 입력되는 입력부; 복수의 탄소 복합 저항기가 배열된 교체 가능한 저항부를 포함하며, 상기 저항부에 의해 설정된 감쇠값에 따라 입력된 상기 펄스 신호를 감쇠하는 T자형 감쇠 회로; 상기 감쇠회로에 의해 감쇠된 펄스 신호를 출력하는 출력부; 상기 입력부와 상기 감쇠 회로를 연결시키는 제1변환부; 및 상기 출력부와 상기 감쇠 회로를 연결시키는 제2변환부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 복수의 탄소 복합 저항기가 배열된 교체 가능한 저항부를 모듈화함으로써, 저항부를 교체하여 감쇠 장치의 감쇠 값을 다양하게 설정할 수 있다. 또한, 동축 케이블의 유전체 표면을 단차가공하고, 외부 금속 케이스의 접합면과 내부 유전체막들의 접합면이 다른 위치에 형성되도록 함으로써, 유전체막에서의 절연 파괴 현상을 최소화 할 수 있다. 따라서, 절연 파괴 현상이 최소화되고, 다양한 감쇠 값을 갖는 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치를 저비용으로 구현할 수 있다.
도 1은 종래의 π형 저항 감쇠기를 나타낸 단면도
도 2는 종래의 T자형 저항 감쇠기를 나타낸 단면도
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치의 단면도
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치의 절연파괴 경로를 나타내는 단면도
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 저항부의 구성을 나타내는 단면도
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치의 단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치는 펄스 신호가 입력되는 입력부, 복수의 탄소 복합 저항기가 배열된 교체 가능한 저항부를 포함하며 저항부에 의해 설정된 감쇠값에 따라 입력된 펄스 신호를 감쇠하는 T자형 감쇠 회로, 감쇠회로에 의해 감쇠된 펄스 신호를 출력하는 출력부, 입력부와 감쇠 회로를 연결시키는 제1변환부 및 출력부와 감쇠 회로를 연결시키는 제2변환부를 포함한다.
입력부는 입력 동축 케이블(310) 및 입력 동축 케이블(310)를 둘러싸는 제1유전체막(372)을 포함한다. 여기서, 입력 동축 케이블(310)는 동축 내선(coaxial in-line) 구조를 갖는다. 제1유전체막(372)은 입력 동축 케이블(310)를 둘러싸도록 형성되어 입력 동축 케이블(310)의 임피던스 특성을 유지하는 역할을 하며, 실린더형인 것이 바람직하다. 출력부 또한 입력부와 마찬가지로 출력 동축 케이블(320) 및 출력 동축 케이블(320)를 둘러싸는 제3유전체막(376)을 포함한다.
입력부와 출력부의 구체적인 구조는 이하 도 4를 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
제1변환부는 입력 동축 케이블(310)와 감쇠 회로의 저항부(330A)를 연결시키는 변환 전극(360) 및 변환 전극(360)을 둘러싸는 제4유전체막(374)을 포함한다. 또한, 제2변환부는 출력 동축 케이블(320)와 감쇠 회로의 저항부(330B)를 연결시키는 변환 전극(362)을 포함하고, 변환 전극(362)을 둘러싸는 제5유전체막(378)을 포함한다.
감쇠 회로는 T자형으로 배열된 복수의 저항부(330A,330B,330C) 및 복수의 저항부(330A,330B,330C)를 둘러싸는 제2유전체막(370)을 포함한다. 또한, 저항부(330A,330B,330C)를 T자형으로 연결시키기 위한 중심 전극(350)을 더 포함한다. 여기서, 저항부(330)는 원하는 설정값에 따라 교체 가능한 모듈로 구현되며, 특히, 저항부(330C)는 접지된 구조를 갖는다. 저항부(330)의 구체적인 구성은 이하 도 5a 및 도 5b에서 상세히 설명하도록 한다.
이 밖에도, 본 발명의 일 실시예에 따른 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치(300)는 입력부, 감쇠 회로, 출력부 및 제1,제2변환부를 둘러싸는 외부 금속 케이스(380)를 더 포함하고, 저항부의 전극부 접촉과 접지 형성을 위한 벌크 나사형 덮개(390)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
외부 금속 케이스(380)는 유전체막(372,374,370,376,378)을 둘러싸는 복수의 케이스(382,384)를 접합하여 형성될 수 있으며, 이러한 경우, 외부 금속 케이스(380)의 접합면과 입력부, 감쇠 회로, 출력부 및 제1,제2변환부들 간의 접합면은 서로 다른 위치에 형성되는 것이 바람직하다.
벌크 나사형 덮개(390)는 저항부(330C)와 중심 전극(350)의 연결을 제어하기 위한 것으로서, 저항부(330C)와 연결되고 외부 금속 케이스(380)와 나사선으로 결합된다. 벌크 나사형 덮개(390)를 시계 방향으로 조임으로써, 접지된 저항부(330C)와 중심 전극을 밀착시킬 수 있다.
전술한 바와 같은 구조를 갖는 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치의 동작을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 입력 동축 케이블(310)를 통해 고전압 광대역 펄스 신호가 입력된다. 입력된 고전압 펄스 신호는 변환 전극(360)를 거쳐 T자형 감쇠 회로로 전달된다. 이어서, T자형 감쇠 회로로 입력된 고전압 펄스 신호는 설정된 감쇠 값에 따라 감쇠된 후, 출력 동축 케이블(320)를 통해 출력된다. 이때, 모듈화된 저항부(330A,330B,330C)를 교체하여 감쇠 회로의 감쇠 값을 다양하게 설정할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치의 절연 파괴 경로를 나타내는 단면도이다. 본 도면에서는 입력부와 제1변환부의 단면을 확대하여 도시하였는데, 출력부와 제2변환부 또한 이와 동일한 단면을 갖게 된다.
도시된 바와 같이, 입력 동축 케이블(310)를 둘러싸는 제1유전체막(372), 변환 전극(360)을 둘러싸는 제4유전체막(374) 및 제2유전체막(370)은 차례로 접하며 하나의 막으로 형성될 수 있다.
여기서, 제1유전체막(372), 제4유전체막(374) 및 제2유전체막(370)은 수십 kV의 첨두 전압, 수 ns 이하의 펄스 폭, 수 kHz 이하의 반복 주파수 특징을 갖는 고전압 광대역 펄스 신호에 대한 내압 특성을 고려하여, 접지까지의 유전체 길이를 절연 파괴 거리 이상으로 형성시켜줌으로써, 제 1변환부에서 발생할 수 있는 절연 파괴 현상을 막을 수 있다.
변환전극(360)은 입력부 방향에서 감쇠 회로 방향으로 갈수록 두께가 두꺼워지는 고깔 형태로 형성되는 것이 바람직한데, 그 이유는 동축의 50옴 특성 임피던스를 맞추기 위함이다. 또한, 입력 및 출력부에서의 절연 파괴를 막기 위해 입력 동축 케이블(310) 및 출력 동축 케이블(320)의 유전체가 원형으로 단차 가공되어 제 1유전체막(372)과 제3유전체막(376)으로 둘러싸인 형상을 가지며, 제4유전체막(374)과 제2유전체막(370)의 접합면이 계단형의 접합면을 갖도록 형성되는 것은 절연 길이를 확보하기 위함이다.
특히, 50옴 임피던스에 정합된 특성을 가지도록, 원형 단차 가공된 입력 동축 케이블(310)의 유전체 직경과 내압 설계를 위해 형성된 고깔 모양의 제4유전체막(374)의 두께가 50옴 동축 선로를 구성하는 유전체 전체 두께가 되도록 계산한 치수로 구현하는 것이 바람직하다.
입력 동축 케이블(310)는 케이블 내심 및 케이블 내심을 둘러싸는 유전체막을 포함하며, 케이블 내심의 끝단과 변환전극(360)은 나사선에 의해 결합된다. 또한, 변환 전극(360)은 전송 선로의 50옴 특성 임피던스를 유지하기 위해 입력부에서 감쇠 회로 방향으로 갈수록 직경이 증가하는 형태를 갖는 것이 바람직하다. 특히, 변환 전극(360)은 임피던스가 서서히 변하도록 변환 전극(360)의 외주 표면이 지수적으로 경사진 형상을 갖는 것이 바람직하다.
물론, 입력으로 들어오는 수십 kV의 전압 펄스는 입력 동축 케이블(310)과 변환 전극(360)의 접합면에서 화살표 방향으로 유전체막(372,374,370)의 면을 따라 접지 방향으로 흘러 절연 파괴 현상이 나타날 가능성이 있지만, 본 발명에 따르면, 입력 동축 케이블(310)의 유전체막이 원형 단차가공되고, 제4유전체막(374)와 제2유전체막(370)의 접합면 또한 단차를 가진 형상으로 함으로써 절연 길이를 충분히 확보하게 되고 이를 통해 절연 파괴 현상을 막을 수 있다.
특히, 입력되는 펄스에 대한 유전체막(372,374,370)의 평면 내압 길이를 계산하여 유전체막(372,374,370)의 길이 치수를 결정함으로서 절연 파괴 현상을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 외부 금속 케이스(380)가 복수의 케이스(382,384)를 연결하여 구성될 수 있는데, 이러한 경우, 유전체막(372,374,370)의 접합면과 외부 금속 케이스(380)의 접합면을 다른 위치에 형성함으로써, 유전체막(372,374,370)의 접합면에서의 절연 파괴 현상을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 저항부의 구성을 나타내는 단면도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 저항부(330)는 복수의 탄소 복합 저항기(Carbon Composit Resistor;CCR;332) 및 복수의 탄소 복합 저항기(332)의 내부 전극을 절연시키기 위해 복수의 탄소 복합 저항기(332)를 둘러싸는 절연막(334)을 포함한다.
저항부(500) 내에 배열된 복수의 탄소 복합 저항기(332)는 저항부(500)에 걸리는 전압과 전류를 분산시키며, 이를 통해, 탄소 복합 저항기(332) 양단의 전위 차가 탄소 복합 저항기(332)의 동작 한계 전압 이내의 값을 갖도록 한다. 따라서, 탄소 복합 저항기(332)의 동작 한계 전압이 작더라도, 복수의 탄소 복합 저항기(332)를 배열시킴으로써 저항부(500)를 구성할 수 있다.
절연막(334)은 절연 특성이 우수한 테프론 시트 또는 튜브일 수 있다.
여기서, 탄소 복합 저항기(332)는 리드 인덕턴스를 최소화하도록 최단 이격 거리로 배열시키는 것이 바람직하다. 또한, 저항부(330)의 양 끝단에는 중심 전극(350) 또는 변환 전극(360)과 저항부(300)를 전기적으로 접촉시키기 위한 금속판 전극(336)이 더 포함되는 것이 바람직하다.
또한, 저항부(300)는 내부의 복수의 탄소 복합 저항기(332)의 개수 또는 배열을 변경하여 상이한 저항값을 갖는 다양한 모듈로 제작될 수 있다. 즉, 동일한 크기를 갖되 저항값이 상이한 다양한 모듈로 저항부(300)를 제작함으로써, 원하는 감쇠값에 따라 감쇠 장치의 저항부(300)를 교체하여 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치의 감쇠값을 다양하게 설정할 수 있다.
이와 같이, 저비용의 탄소 복합 저항기(332)를 이용함으로써, 감쇠값 변경이 가능한 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치를 구현할 수 있다. 따라서, 수 kV에서 수십 kV 까지 다양한 첨두 전압 펄스 신호를 시험해야 하는 응용 분야에 적용할 경우, 상당한 비용 절감 효과를 얻을 수 있다.
물론, 탄소 복합 저항기는 특성상 전압 및 온도가 높아질수록 저항 값이 감소하는 특징을 가지며, 고에너지 광대역 펄스 감쇠 동작에 있어 정확한 임피던스로 동작하기 어렵다는 단점이 있다. 그러나, 상승 시간이 매우 빠르고, 펄스 반복 속도(PRF: Pulse Reprtion Rate)가 수 백 Hz 이하이면서, 듀티 비가 수십만분의 일 이하의 수 J 이하급 에너지를 갖는 펄스를 측정하는 경우에는, 온도 상승에 따른 저항 변화율이 무시될 수 있을 정도로 작다. 또한, 본 발명에 따르면, 큰 인가 전압에 따른 저항값 변화가 유발되지 않도록 탄소 복합 저항기의 배열을 변경하는 것이 가능하므로, 본 발명의 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치는 해당 펄스 내압 및 전류 한계 값에서 동작이 가능하다.
또한, 본 도면에서 제시한 탄소 복합 저항기(332)의 배열 방식 및 개수는 설명의 편의를 위해 제공된 일 예에 불과하며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 탄소 복합 저항기(332)의 배열 방식 및 개수는 설정하고자하는 감쇠 값에 따라 다양하게 조절될 수 있다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님에 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 점위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 알 수 있을 것이다.
300: 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치 310: 입력 동축 케이블
320: 출력 동축 케이블 330: 저항부
332: 탄소 복합 저항기 334: 절연막
336: 금속판 전극 350: 중심 전극
360,362: 변환 전극 370,372,374: 유전체막
380: 외부 금속 케이스 390: 벌크 나사형 덮개

Claims (14)

  1. 펄스 신호가 입력되는 입력부;
    복수의 탄소 복합 저항기가 배열된 교체 가능한 복수의 저항부를 포함하며, 상기 복수의 저항부에 의해 설정된 감쇠값에 따라 입력된 상기 펄스 신호를 감쇠하는 T자형 감쇠 회로;
    상기 감쇠회로에 의해 감쇠된 펄스 신호를 출력하는 출력부;
    상기 입력부와 상기 감쇠 회로를 연결시키는 제1변환부; 및
    상기 출력부와 상기 감쇠 회로를 연결시키는 제2변환부
    를 포함하고,
    상기 감쇠 회로는 상기 복수의 저항부에 포함된 상기 탄소 복합 저항기의 개수 및 배열에 따라 상기 감쇠값이 설정되는
    고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 펄스 신호는 고전압 나노초 펄스 신호인
    고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 저항부는 상기 탄소 복합 저항기의 한계 내압 및 전류 특성에 따라 상기 저항부에 내에 포함된 상기 탄소 복합 저항기의 개수 및 배열 형상이 결정되는
    고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 저항부는, 동일한 크기를 갖되 저항값이 상이한 다양한 모듈로 제작되어 설정하고자하는 감쇠값에 따라 교체되는
    고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 감쇠회로는 상기 복수의 저항부를 T자형으로 연결시키는 중심 전극을 더 포함하는
    고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 저항부 중 일부는 접지되고,
    접지된 상기 저항부와 상기 중심 전극 간의 연결을 제어하는 덮개
    를 더 포함하는 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 입력부는 입력 동축 케이블 및 상기 입력 동축 케이블를 둘러싸는 제1유전체막을 포함하고,
    상기 감쇠 회로는 상기 저항부를 둘러싸는 제2유전체막을 더 포함하고,
    상기 출력부는 출력 동축 케이블 및 상기 출력 동축 케이블를 둘러싸는 제3유전체막을 포함하고,
    제1변환부는 상기 입력 동축 케이블와 상기 저항부를 연결시키는 변환 전극 및 상기 변환 전극을 둘러싸는 제4유전체막을 포함하고,
    상기 제2변환부는 상기 저항부와 상기 출력 동축 케이블를 연결시키는 변환 전극 및 상기 변환 전극을 둘러싸는 제5유전체막을 포함하는
    고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 입력부, 상기 감쇠 회로, 상기 출력부 및 상기 제1,제2변환부를 둘러싸는 금속 케이스
    를 더 포함하는 고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 외부 금속 케이스의 접합면과 상기 제1,제2,제3,제4 및 제5 유전체막들 간의 접합면은 서로 다른 위치에 형성되는
    고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 제2유전체막과 상기 제4유전체막의 접합면 및 상기 제2유전체막과 상기 제5유전체막의 접합면은 단차 형상을 갖는
    고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 입력 동축 케이블 및 상기 출력 동축 케이블는 동축 내선(coaxial in-line) 구조를 갖는
    고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 입력 동축 케이블 및 상기 출력 동축 케이블은 케이블 내심 및 상기 케이블 내심을 둘러싸며 표면이 원형 단차 가공된 유전체막을 포함하는
    고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  13. 제7항에 있어서,
    상기 변환 전극은,
    상기 입,출력 동축 케이블로부터 상기 감쇠 회로 방향으로 지수적으로 증가하는 외주면 기울기를 갖는
    고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 저항부는 상기 저항부의 양 끝단에 구비되어 상기 저항부를 상기 중심 전극 및 상기 변환 전극과 연결시키는 금속판 전극을 더 포함하는
    고전압 광대역 펄스 감쇠 장치.
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