KR101127075B1 - Method for forming biomaterial pattern and manufacturing biosensor by using inkjet printing of self-assembly monolayer - Google Patents

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Abstract

본 발명은 바이오물질 패턴 형성방법에 관한 것으로, 본 발명에 의한 바이오물질 패턴 형성방법은, 기재 표면에 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 자기조립 단분자층 패턴을 형성하는 단계; 상기 기재 표면에 형성된 자기조립 단분자층 패턴에 바이오물질 고정화 링커를 형성하는 단계; 및 상기 바이오물질 고정화 링커에 바이오물질을 고정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a method for forming a biomaterial pattern, the method for forming a biomaterial pattern according to the present invention comprising: forming a self-assembled monolayer pattern on a surface of an substrate by using an inkjet printing method; Forming a biomaterial immobilized linker on a self-assembled monolayer pattern formed on the surface of the substrate; And fixing the biomaterial to the biomaterial immobilization linker.

본 발명에 따르면, 잉크젯 프린팅 방법으로 자기조립 단분자층 패턴을 형성함으로써 간단한 공정으로 자기조립 단분자층 패턴을 형성할 수 있어 바이오물질 패턴의 형성 공정이나 바이오센서의 제조 공정이 매우 간단하고 빠르게 이루어지는 효과가 있다.According to the present invention, the self-assembled monolayer layer pattern can be formed by a simple process by forming a self-assembled monolayer layer pattern by an inkjet printing method, and thus the biomaterial pattern forming process or the manufacturing process of the biosensor is very simple and quick.

자기조립 단분자층, 바이오센서, 바이오물질 패턴, 잉크젯 프린팅 Self-assembled monolayer, biosensor, biomaterial pattern, inkjet printing

Description

자기조립 단분자층의 잉크젯 프린팅을 이용한 바이오물질 패턴 형성방법 및 바이오센서 제조방법 {METHOD FOR FORMING BIOMATERIAL PATTERN AND MANUFACTURING BIOSENSOR BY USING INKJET PRINTING OF SELF-ASSEMBLY MONOLAYER}Biomaterial pattern formation method and biosensor manufacturing method using inkjet printing of self-assembled monolayers {METHOD FOR FORMING BIOMATERIAL PATTERN AND MANUFACTURING BIOSENSOR BY USING INKJET PRINTING OF SELF-ASSEMBLY MONOLAYER}

본 발명은 바이오물질 패턴 형성방법과 바이오센서 제조방법 및 이에 이용되는 자기조립 단분자층 형성방법에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 자기조립 단분자층을 이용한 바이오물질 패턴 형성방법과 바이오센서 제조방법 및 이에 이용되는 잉크젯 프린팅을 이용한 자기조립 단분자층 형성방법에 관한 것이다.The present invention relates to a biomaterial pattern forming method, a biosensor manufacturing method, and a method for forming a self-assembled monomolecular layer used therein, and more particularly, a method for forming a biomaterial pattern and a biosensor using a self-assembled monomolecular layer and inkjet printing used therein. It relates to a method for forming a self-assembled monolayer using.

최근 자기조립 단분자층이 기질의 표면개질, 리소그래피의 저항막, 나노전자소자 및 바이오칩 제작등의 분야에서 많은 관심을 받고 있다. 박막의 성장거동은 기질의 표면 특성에 크게 의존하는데, 자기조립 단분자층을 적용하면 특정 재료의 표면을 개질할 수 있어 박막특성을 향상시킬 수 있다. 자기조립 단분자층은 기질의 표면과 막을 이루는 분자들 사이에 직접적인 공유결합을 형성하여 튼튼한 분자막을 만들 수 있다. 그리고 기질의 모양이나 크기에 영향을 받지 않기 때문에 복잡한 모양의 기질 위에도 제조가 가능할 뿐 아니라, 넓은 면적에 적용하는 것도 가 능하다.Recently, self-assembled monolayers have received much attention in the fields of surface modification of substrates, resistive films of lithography, nanoelectronic devices and biochips. The growth behavior of the thin film is highly dependent on the surface characteristics of the substrate. The application of the self-assembled monolayer can modify the surface of a specific material, thereby improving the thin film characteristics. Self-assembled monolayers can form strong covalent bonds between the surface of the substrate and the molecules forming the membrane, creating a robust molecular membrane. And because they are not affected by the shape or size of the substrate, they can be manufactured on complex substrates and can be applied to large areas.

종래의 자기조립 단분자층의 패턴 형성에는 포토리소그래피 공정에 의한 리프트-오프(lift-off) 방법 및 마이크로 접촉 프린팅 방법 등을 이용한다. Conventional patterning of self-assembled monolayers uses a lift-off method, a micro contact printing method, or the like by a photolithography process.

리프트-오프 방법은 우선 기판 위에 감광액을 도포하고, 노광공정 및 현상공정에 의하여 패턴을 형성하고 자기조립 단분자층 용액을 패턴 표면에 코팅한다. 이후 남아있는 감광액을 제거하여 최종적으로 자기조립 단분자층 패턴을 형성한다. 이러한 리프트-오프 방법은 제작비용이 높고 공정시간이 길며, 감광액을 제거할 때 사용되는 용액에 의하여 자기조립 단분자층이 손상되는 문제가 있다.In the lift-off method, a photoresist is first applied onto a substrate, a pattern is formed by an exposure process and a developing process, and a self-assembled monolayer solution is coated on the pattern surface. Thereafter, the remaining photoresist is removed to finally form a self-assembled monolayer pattern. Such a lift-off method has a problem in that the self-assembled monolayer is damaged by a solution used when the manufacturing cost is high, the process time is long, and the photoresist is removed.

마이크로 접촉 프린팅 방법은 탄성중합체 도장에 자기조립 박막용 용액을 묻히고 이 탄성중합체 도장을 기판에 접촉하여 박막용 용액을 기판에 옮긴 후 선택적으로 전사하여 패터닝하는 기술이다. 이러한 마이크로 접촉 프린팅 방법은 탄성중합체 도장을 제작하기 위하여 포토리소그래피 공정, 탈기 및 경화 탈착 공정 등을 을 실시해야만 하고, 더욱이 이 포토리소그래피 공정은 노광공정, 현상공정, 세정, 검사공정 등 다수의 공정을 포함하고 있다. 따라서 마이크로 접촉 프린팅 방법은 제작비용이 높고, 제작 시간이 길며, 넓은 면적에 적용하기 어렵다는 문제가 있다.The micro-contact printing method is a technique in which a solution for a self-assembled thin film is buried in an elastomeric coating, and the elastomeric coating is brought into contact with a substrate to transfer the thin film solution to a substrate, and then selectively transferred and patterned. The micro-contact printing method must perform a photolithography process, degassing and curing desorption process, etc. in order to produce an elastomeric coating, and furthermore, the photolithography process uses a plurality of processes such as an exposure process, a developing process, a cleaning process, and an inspection process. It is included. Therefore, the micro-contact printing method has a problem of high manufacturing cost, long manufacturing time, and difficult to apply to a large area.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로, 잉크젯 프린팅 방법으로 패터닝한 자기조립 단분자층을 이용한 바이오물질 패턴 형성방법과 바이오센서 제조방법 및 이에 이용되는 잉크젯 프린팅을 이용한 자기조립 단분자층 형성방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been invented to solve the above problems, and provides a biomaterial pattern forming method and a biosensor manufacturing method using a self-assembled monolayer layer patterned by an inkjet printing method and a method for forming a self-assembled monolayer using inkjet printing used therein For the purpose of

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 바이오물질 패턴 형성방법은, 기재 표면에 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 자기조립 단분자층 패턴을 형성하는 단계; 상기 기재 표면에 형성된 자기조립 단분자층 패턴에 바이오물질 고정화 링커를 형성하는 단계; 및 상기 바이오물질 고정화 링커에 바이오물질을 고정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, a method of forming a biomaterial pattern according to the present invention includes forming a self-assembled monolayer pattern on a surface of an substrate by using an inkjet printing method; Forming a biomaterial immobilized linker on a self-assembled monolayer pattern formed on the surface of the substrate; And fixing the biomaterial to the biomaterial immobilization linker.

상기 기재와 자기조립 단분자층의 반응성 향상을 위하여 상기 자기조립 단분자층 패턴을 형성하는 단계를 실시하기 전에 기재의 표면을 개질하기위해 표면처리하는 단계를 더 포함하는 것이 좋다. 이 표면처리는 기재의 표면에 -OH 그룹을 형성하는 박막 형성 방법 또는 플라즈마 표면처리 방법을 사용할 수 있다.In order to improve the reactivity of the substrate and the self-assembled monolayer, it is preferable to further include surface treatment to modify the surface of the substrate before forming the self-assembled monolayer pattern. This surface treatment can use the thin film formation method or plasma surface treatment method which forms -OH group on the surface of a base material.

또한 본 발명에서 사용되는 기재는 실리콘웨이퍼, 유리 기판, 플라스틱 기판 또는 상기 기판 표면에 형성된 전도성 폴리머층 중에서 하나일 수 있다.In addition, the substrate used in the present invention may be one of a silicon wafer, a glass substrate, a plastic substrate or a conductive polymer layer formed on the surface of the substrate.

본 발명에서 고정되는 바이오물질은 단백질이며, 자세하게는 효소 또는 항체중의 하나인 것을 특징으로 한다.The biomaterial to be immobilized in the present invention is a protein, and in detail, is one of an enzyme or an antibody.

그리고 본 발명에서 단백질 고정화 링커는 특히 한정되지 않으나, 칼릭스아렌 유도체 또는 칼릭스크라운 유도체 등을 사용할 수 있다. 이때, 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 단백질 고정화 링커를 자기조립 단분자층 위에 선택적으로 흡착시키는 방법을 사용할 수 있으며, 자기조립 단분자층이 형성된 기재를 단백질 고정화 링커 용액에 담구는 방법으로 흡착시킬 수도 있다.In the present invention, the protein immobilization linker is not particularly limited, but may be used as a carlix arene derivative or a carrick crown derivative. In this case, a method of selectively adsorbing the protein-immobilized linker onto the self-assembled monolayer by using an inkjet printing method may be used, and the substrate on which the self-assembled monolayer is formed may be adsorbed by dipping into a protein-immobilized linker solution.

본 발명에 의한 바이오센서 제조방법은 기재 표면에 금속전극 패턴을 형성하는 단계; 상기 금속전극 패턴 사이에 전도성 폴리머 층을 형성하는 단계; 상기 전도성 폴리머 층의 위에 잉크젯 프린팅 방법으로 자기조립 단분자층을 형성하는 단계; 상기 전도성 폴리머 층 위에 형성된 자기조립 단분자층에 단백질 고정화 링커를 형성하는 단계; 상기 단백질 고정화 링커에 단백질을 고정하는 단계; 및 상기 단백질이 고정되지 않은 금속전극 패턴의 표면에 단백질 흡착 차단제를 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Biosensor manufacturing method according to the present invention comprises the steps of forming a metal electrode pattern on the surface of the substrate; Forming a conductive polymer layer between the metal electrode patterns; Forming a self-assembled monolayer on the conductive polymer layer by an inkjet printing method; Forming a protein immobilized linker on the self-assembled monolayer formed on the conductive polymer layer; Fixing the protein to the protein immobilization linker; And applying a protein adsorption blocker to the surface of the metal electrode pattern on which the protein is not fixed.

본 발명에 의해 바이오센서를 제조함에 있어서, 금속전극 패턴을 형성하는 방법은 리프트-오프(lift-off) 방법 등을 이용할 수 있다.In manufacturing the biosensor according to the present invention, a method of forming the metal electrode pattern may use a lift-off method or the like.

본 발명에서 사용되는 전도성 폴리머는 폴리아세틸렌(polyacetylene), 폴리파라페닐렌(polyparaphenylene), 폴리파라페닐렌 비닐렌(polyparaphenylene vinylene), 폴리아줄렌(polyazulene), 폴리아닐린(polyaniline), 폴리파라페닐렌 설파이드(polyparaphenylene sulfide), 폴리피롤(polypyrrole), 폴리티오펜(polythiophene), 폴리카바졸(polycarbazole), 폴리디아미노나프탈렌(polydiaminonaphthalene), 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)(poly(3,4- ethylenedioxythiophene)) 등을 선택할 수 있다.The conductive polymer used in the present invention is polyacetylene, polyparaphenylene, polyparaphenylene vinylene, polyazulene, polyaniline, polyaniline, polyparaphenylene sulfide ( polyparaphenylene sulfide, polypyrrole, polythiophene, polycarbazole, polydiaminonaphthalene, poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (poly (3,4-ethylenedioxythiophene) )) And so on.

본 발명에서 고정되는 바이오물질은 단백질이며, 자세하게는 효소 또는 항체중의 하나인 것을 특징으로 한다.The biomaterial to be immobilized in the present invention is a protein, and in detail, is one of an enzyme or an antibody.

그리고 본 발명에서 단백질 고정화 링커는 특히 한정되지 않으나, 칼릭스아렌 유도체 또는 칼릭스크라운 유도체 등을 사용할 수 있다. 이때, 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 단백질 고정화 링커를 자기조립 단분자층 위에 선택적으로 흡착시키는 방법을 사용할 수 있으며, 자기조립 단분자층이 형성된 기재를 단백질 고정화 링커 용액에 담구는 방법으로 흡착시킬 수도 있다.In the present invention, the protein immobilization linker is not particularly limited, but may be used as a carlix arene derivative or a carrick crown derivative. In this case, a method of selectively adsorbing the protein-immobilized linker onto the self-assembled monolayer by using an inkjet printing method may be used, and the substrate on which the self-assembled monolayer is formed may be adsorbed by dipping into a protein-immobilized linker solution.

본 발명에 의한 자기조립 단분자층 패턴 형성방법은 자기조립 단분자 용액의 점도, 표면장력 또는 용해도를 조절하여 프린팅용 잉크를 준비하는 단계; 상기 잉크를 적재하고, 원하는 자기조립 단분자층 패턴의 모양과 크기에 따라 상기 잉크를 노즐을 통하여 분사하기 위해 전압 펄스를 조절하는 단계; 및 전 단계에서 조절된 바에 따라 잉크를 분사하고, 분사된 잉크 방울을 소결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 이런 단계들 이후에 노즐을 세정하는 단계를 더 포함할 수 있다.Method for forming a self-assembled monolayer layer pattern according to the present invention comprises the steps of preparing a printing ink by adjusting the viscosity, surface tension or solubility of the self-assembled monomolecular solution; Loading the ink and adjusting a voltage pulse to eject the ink through a nozzle according to the shape and size of a desired self-assembled monolayer pattern; And spraying ink according to the adjustment in the previous step, and sintering the ejected ink droplets, and further comprising cleaning the nozzle after these steps.

본 발명에서 자기조립 단분자 용액의 점도, 표면장력 또는 용해도를 조절한 것에 의해 얻어질 수 있는 바람직한 자기조립 단분자층 패턴 라인의 폭은 30 내지 500㎛이며, 자기조립 단분자층 패턴 라인 사이의 간격은 수십㎚에서 수백㎛이다.In the present invention, the width of the preferred self-assembled monolayer layer pattern line, which can be obtained by adjusting the viscosity, surface tension or solubility of the self-assembled monolayer solution, is 30 to 500 µm, and the interval between the self-assembled monolayer layer patterns line is several tens of nm. At several hundred micrometers.

본 발명에 의한 자기조립 단분자층 형성방법에 사용되는 자기조립 단분자 용액은 -NCO, -NH2, -COOH, -NO2, -COH, -COCl, -PO4 2-, -OSO3-, -SO3-, -CONH2, -(OCH2CH2)nOH, -(OCH2CH2)nOCH3, -PO3H-, -CN, -SH, -CH2I, -CH2Cl 및 -CH2Br 작용기를 포함하는 자기조립 단분자 용액 중에서 선택된 하나이다.The self-assembled monomolecular solution used in the method for forming a self-assembled monolayer according to the present invention is -NCO, -NH 2 , -COOH, -NO 2 , -COH, -COCl, -PO 4 2- , -OSO 3 -,- SO 3 -, -CONH 2, - (OCH 2 CH 2) n OH, - (OCH 2 CH 2) n OCH 3, -PO 3 H -, -CN, -SH, -CH 2 I, -CH 2 Cl And a self-assembled monomolecular solution comprising a -CH 2 Br functional group.

본 발명에 따르면, 잉크젯 프린팅 방법으로 자기조립 단분자층 패턴을 형성함으로써 간단한 공정으로 자기조립 단분자층 패턴을 형성할 수 있어 바이오물질 패턴의 형성 공정이나 바이오센서의 제조 공정이 매우 간단하고 빠르게 이루어지는 효과가 있다.According to the present invention, the self-assembled monolayer layer pattern can be formed by a simple process by forming a self-assembled monolayer layer pattern by an inkjet printing method, and thus the biomaterial pattern forming process or the manufacturing process of the biosensor is very simple and quick.

본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.The present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바이오물질 패턴 형성방법에 의해 바이오물질 패턴을 형성하는 과정을 나타내는 측단면도이다.1 is a side cross-sectional view showing a process of forming a biomaterial pattern by the biomaterial pattern forming method of the present invention.

먼저 도 1a는 기판 베이스로 사용할 기재(11)이며, 이 기재(11)는 실리콘웨이퍼, 유리 기판 및 플라스틱 기판 중에서 하나를 선택한다.First, FIG. 1A is a substrate 11 to be used as a substrate base, and the substrate 11 selects one of a silicon wafer, a glass substrate, and a plastic substrate.

도 1b는 기재(11)의 표면에 산화막 처리를 하여 산화막(12)을 형성시킨 것이다. 이 산화막(12)은 자기조립 단분자층이 형성되기 쉽게 하려는 것이며, SiO2, HfO2, Al2O3, TiO2, Ta2O5, Nb2O5, ZrO2, BaTiO3 등의 반도체 산화막이 가능하다. 이러한 산화막(12)은 증기 증착법, 스퍼터링, 화학 기상 증착법으로 형성될 수 있다. 이때, 자기조립 단분자층의 형성을 쉽게하는 방법으로 기재의 표면을 O2/H2 플라즈 마 처리 또는 O2 처리를 할 수도 있다.FIG. 1B shows an oxide film 12 formed on the surface of the base 11. This oxide film 12 is intended to facilitate the formation of self-assembled monolayers. Semiconductor oxide films such as SiO 2 , HfO 2 , Al 2 O 3 , TiO 2 , Ta 2 O 5 , Nb 2 O 5 , ZrO 2 , BaTiO 3 , It is possible. The oxide film 12 may be formed by vapor deposition, sputtering, or chemical vapor deposition. In this case, the surface of the substrate may be subjected to O 2 / H 2 plasma treatment or O 2 treatment in a manner that facilitates formation of the self-assembled monolayer.

도 1c는 산화막(12) 위에 자기조립 단분자층(13)을 형성한 모습이다. 이 자기조립 단분자층(13)은 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 원하는 패턴의 모양으로 직접 형성된다. 따라서 특정 패턴의 형상으로 자기조립 단분자층(13)을 형성하는 공정이 매우 간단하고 빠르게 이루어질 수 있다. FIG. 1C illustrates a self-assembled monolayer 13 formed on the oxide film 12. This self-assembled monolayer 13 is formed directly into the shape of a desired pattern using an inkjet printing method. Therefore, the process of forming the self-assembled monolayer 13 in a specific pattern shape can be made very simple and fast.

잉크젯 프린팅 방법으로 자기조립 단분자층 패턴을 형성하는 방법으로서, 먼저 자기조립 단분자 용액을 이용하여 잉크를 준비한다. 이때 자기조립 단분자 용액은 -NCO, -NH2, -COOH, -NO2, -COH, -COCl, -PO4 2-, -OSO3-, -SO3-, -CONH2, -(OCH2CH2)nOH, -(OCH2CH2)nOCH3, -PO3H-, -CN, -SH, -CH2I, -CH2Cl 및 -CH2Br 작용기를 갖는 자기조립 단분자 용액에서 사용용도에 맞춰 선택할 수 있다. 그리고 잉크를 준비하는 과정에서 잉크의 점도, 표면장력 또는 용해도를 조절하는데, 이들을 조절함으로써 잉크 방울이 노즐을 통해 분사되는 간격을 조절할 수 있게 된다. As a method of forming a self-assembled monolayer layer pattern by an inkjet printing method, ink is first prepared by using a self-assembled monolayer solution. At this time, the self-assembled monomolecular solution is -NCO, -NH 2 , -COOH, -NO 2 , -COH, -COCl, -PO 4 2- , -OSO 3- , -SO 3- , -CONH 2 ,-(OCH 2 CH 2 ) n OH, — (OCH 2 CH 2 ) n OCH 3 , —PO 3 H — , —CN, —SH, —CH 2 I, —CH 2 Cl and —CH 2 Br functional group It can be selected according to the use in molecular solution. And in the process of preparing the ink to adjust the viscosity, surface tension or solubility of the ink, by adjusting them it is possible to control the interval at which the ink droplets are ejected through the nozzle.

다음으로 준비된 잉크를 잉크젯 프린팅 기계에 적재하고, 잉크방울을 분사시키는 전압 펄스를 조절한다. 잉크의 점도, 표면장력, 용해도 또는 전압 펄스를 조절하여 최종적으로 잉크 방울이 노즐을 통해 분사되는 간격이 결정된다. 이에 따라 자기조립 단분자층 패턴의 패턴 라인의 폭을 30 내지 500㎛로 조절할 수 있으며, 자기조립 단분자층 패턴 라인 사이의 간격을 수십㎚에서 수백㎛까지 조절할 수 있다.Next, the prepared ink is loaded into an inkjet printing machine, and a voltage pulse for ejecting ink droplets is adjusted. By adjusting the viscosity, surface tension, solubility or voltage pulse of the ink, the interval at which the ink droplet is ejected through the nozzle is finally determined. Accordingly, the width of the pattern line of the self-assembled monolayer layer pattern can be adjusted to 30 to 500 μm, and the distance between the lines of the self-assembled monolayer layer pattern can be adjusted from several tens of nm to several hundred μm.

전압 펄스의 조절이 끝난 잉크젯 프린팅 기계를 이용하여 원하는 패턴의 형상으로 기재 위에 잉크를 분사한 뒤 소결과정을 실시하고, 이후에 잉크를 분사한 노즐을 세정한다.After the voltage pulse is adjusted, the inkjet printing machine is sprayed with ink onto the substrate in a desired pattern shape, followed by a sintering process, and then the nozzles sprayed with ink are cleaned.

도 1d는 상기 과정을 통해 형성된 자기조립 단분자층(13)의 위에 단백질 고정화 링커(14)를 흡착시킨 모습이다. 이 단백질 고정화 링커(14)는 잉크젯 프린팅 방법으로 자기조립 단분자층(13)위에 선택적으로 흡착되거나, 자기조립 단분자층이 형성된 기재를 단백질 고정화 링커 용액에 담구는 디핑(dipping) 방법에 의해서 자기조립 단분자층(13)에 흡착된다. 단백질 고정화 링커(14)의 종류는 그 용도에 따라 선택이 가능하다.1D is a state in which the protein immobilized linker 14 is adsorbed on the self-assembled monolayer 13 formed through the above process. The protein immobilized linker 14 is selectively adsorbed onto the self-assembled monolayer 13 by inkjet printing, or the self-assembled monolayer 13 by a dipping method in which a substrate on which the self-assembled monolayer is formed is immersed in a protein immobilized linker solution. ) Is adsorbed. The kind of protein immobilization linker 14 can be selected according to the use.

도 1e는 단백질 고정화 링커(14)에 제1단백질(15)이 고정된 모습이다. 제1단백질(15)은 단백질 고정화 링커(14)가 형성된 패턴 위에 선택적으로 고정된다. 제1단백질(15)의 종류는 효소 또는 항체중의 하나인 것을 특징으로 한다.FIG. 1E shows the first protein 15 fixed to the protein immobilization linker 14. The first protein 15 is selectively immobilized on the pattern on which the protein immobilized linker 14 is formed. The first protein 15 is characterized in that it is one of an enzyme or an antibody.

도 1f는 제1단백질(15) 패턴이 형성된 이외의 부분에 단백질 흡착 차단제(16)를 도포한 모습이다. 이는 제1단백질(15)이 형성된 부분이 아닌 다른 곳에 단백질이 흡착되는 것을 막기 위한 것이다.FIG. 1F shows the protein adsorption blocker 16 applied to portions other than the first protein 15 pattern. This is to prevent the protein from being adsorbed to other than the portion where the first protein 15 is formed.

도 1g는 제1단백질(15)에 제2단백질(17)이 흡착된 모습을 보이는 모습이다. 제2단백질(17)은 제1단백질(15)에 특이적으로 결합하는 단백질이며, 효소 또는 항원 등일 수 있다.1G is a view showing a state in which the second protein 17 is adsorbed to the first protein 15. The second protein 17 is a protein that specifically binds to the first protein 15, and may be an enzyme or an antigen.

도 2는 본 발명의 바이오센서 제조방법에 의해 바이오센서를 제조하는 과정을 나타내는 측단면도이다.Figure 2 is a side cross-sectional view showing a process of manufacturing a biosensor by the biosensor manufacturing method of the present invention.

도 2a는 기판 베이스로 사용할 기재(21)이며, 이 기재(21)는 실리콘웨이퍼, 유리 기판 및 플라스틱 기판 중에서 하나를 선택한다.FIG. 2A is a substrate 21 to be used as a substrate base, and the substrate 21 selects one of a silicon wafer, a glass substrate, and a plastic substrate.

도 2b는 리프트-오프 방법으로 기재(21)위에 금속전극 패턴을 형성하기 위해 감광막을 코팅한 뒤, 노광공정을 통해 감광막 패턴(22)을 형성한 모습이다.FIG. 2B is a view in which the photosensitive film is coated to form a metal electrode pattern on the substrate 21 by a lift-off method, and then the photosensitive film pattern 22 is formed through an exposure process.

도 2c는 감광막 패턴(22)이 형성된 기재(21)에 금속 전극(23)을 증착한 모습이고, 도 2d는 감광막 패턴(22)을 제거하여 금속 전극(23)의 패턴을 형성한 모습이다.FIG. 2C is a view of depositing the metal electrode 23 on the substrate 21 on which the photoresist pattern 22 is formed. FIG. 2D is a view of forming the pattern of the metal electrode 23 by removing the photoresist pattern 22.

도 2e는 금속 전극(23)의 패턴 간격 사이에 전도성 폴리머 층(24)을 형성한 모습이다. 전도성 폴리머 층(24)은 생체 물질의 반응을 전기적인 신호로 변환하는 것이며, 리프트-오프 방법 또는 잉크젯 프린팅 방법으로 형성된다. 전도성 폴리머 재료로는 폴리아세틸렌(polyacetylene), 폴리파라페닐렌(polyparaphenylene), 폴리파라페닐렌 비닐렌(polyparaphenylene vinylene), 폴리아줄렌(polyazulene), 폴리아닐린(polyaniline), 폴리파라페닐렌 설파이드(polyparaphenylene sulfide), 폴리피롤(polypyrrole), 폴리티오펜(polythiophene), 폴리카바졸(polycarbazole), 폴리디아미노나프탈렌(polydiaminonaphthalene), 및 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)(poly(3,4-ethylenedioxythiophene)) 등을 사용할 수 있다.2E shows the conductive polymer layer 24 formed between the pattern gaps of the metal electrodes 23. The conductive polymer layer 24 converts the response of the biological material into an electrical signal and is formed by a lift-off method or an inkjet printing method. Conductive polymer materials include polyacetylene, polyparaphenylene, polyparaphenylene vinylene, polyazulene, polyaniline, polyparaphenylene sulfide , Polypyrrole, polythiophene, polycarbazole, polydiaminonaphthalene, and poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (poly (3,4-ethylenedioxythiophene)) Etc. can be used.

도 2f는 전도성 폴리머 층(24)의 위에 자기조립 단분자층(25)을 형성한 모습이다. 이 자기조립 단분자층(25)은 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 원하는 패턴의 모양으로 직접 형성된다. 따라서 특정 패턴의 형상으로 자기조립 단분자층(25)을 형성하는 공정이 매우 간단하고 빠르게 이루어질 수 있다. 잉크젯 프린팅 방법으 로 자기조립 단분자층 패턴을 형성하는 방법은 앞에서 설명한 것과 같다.2F shows a self-assembled monolayer 25 formed on the conductive polymer layer 24. This self-assembled monolayer 25 is formed directly into the shape of a desired pattern using an inkjet printing method. Therefore, the process of forming the self-assembled monolayer 25 in a specific pattern shape can be made very simple and fast. The method of forming the self-assembled monolayer pattern by the inkjet printing method is as described above.

도 2g는 자기조립 단분자층(25)의 위에 단백질 고정화 링커(26)를 흡착시킨 모습이다. 이 단백질 고정화 링커(14)는 잉크젯 프린팅 방법으로 자기조립 단분자층(13)위에 선택적으로 흡착되거나, 자기조립 단분자층이 형성된 기재를 단백질 고정화 링커 용액에 담구는 디핑(dipping) 방법에 의해서 자기조립 단분자층(13)에 흡착된다. 단백질 고정화 링커(26)의 종류는 그 용도에 따라 선택이 가능하다.2G shows a state in which the protein immobilized linker 26 is adsorbed on the self-assembled monolayer 25. The protein immobilized linker 14 is selectively adsorbed onto the self-assembled monolayer 13 by inkjet printing, or the self-assembled monolayer 13 by a dipping method in which a substrate on which the self-assembled monolayer is formed is immersed in a protein immobilized linker solution. ) Is adsorbed. The kind of protein immobilization linker 26 can be selected according to the use.

도 2h는 단백질 고정화 링커(26)에 항체(27)가 고정된 모습이다. 2H shows the antibody 27 fixed to the protein immobilization linker 26.

도 2i는 항체(27)가 형성된 이외의 부분에 단백질 흡착 차단제(28)를 도포한 모습이다. 이는 항체(27)가 형성된 부분이 아닌 다른 곳에 항원이 흡착되는 것을 막기 위한 것이다. 이와 같은 과정을 거쳐 제조된 바이오센서에 항원이 포함된 용액 또는 혈액을 주입하면, 항체(27)에 항원이 결합하게 된다.FIG. 2I is a view in which the protein adsorption blocker 28 is applied to a portion other than the antibody 27 is formed. This is to prevent the antigen from being adsorbed to other than the portion where the antibody 27 is formed. When the solution or blood containing the antigen is injected into the biosensor manufactured through the above process, the antigen is bound to the antibody 27.

도 2j는 항체(27)에 항원(29)이 결합된 모습이다. 용액 또는 혈액 중의 항원(29)이 바이오센서의 항체(27)에 결합하면, 전도성 폴리머 층(24)은 산화 및 환원반응에 의해서 저항률이 변한다. 이러한 전도성의 변화를 측정하여 용액이나 혈액 속 항원(29)의 농도를 측정할 수 있다.2J shows the antigen 29 bound to the antibody 27. When the antigen 29 in solution or blood binds to the antibody 27 of the biosensor, the conductive polymer layer 24 changes its resistivity by oxidation and reduction. By measuring this change in conductivity, the concentration of antigen 29 in solution or blood can be measured.

도 3은 본 발명의 바이오물질 패턴 형성방법에 의한 실시예에 따른 바이오물질 패턴의 구조를 나타내는 측단면도이다.3 is a side cross-sectional view showing the structure of a biomaterial pattern according to an embodiment of the method for forming a biomaterial pattern of the present invention.

기재는 플라스틱 기판(31)을 이용하였으며, 자기조립 단분자층을 형성하기 위한 -OH 그룹을 표면에 생성하기 위하여 표면에 HfO2 박막(32)을 100㎚ 증착하였 다. As a substrate, a plastic substrate 31 was used, and 100 nm of HfO 2 thin film 32 was deposited on the surface to form -OH groups for forming the self-assembled monolayer.

그 다음 HfO2 박막(32) 위에 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 자기조립 단분자 층(33)의 패턴을 형성하였다. 이때 사용한 자기조립 단분자 용액은 실란 기반의 자기조립 단분자 용액 중에서 다른 분자들이 표면에 흡착되기 위한 프라이머 분자로 이용되는 (3-아미노프로필)트리메톡시실란((3-aminopropyl)trimethoxysilane, (CH3O)3SiCH2CH2CH2NH2)을 사용하였다. (3-아미노프로필)트리메톡시실란 처리가 된 기질에서는 소수성의 기질 특성을 친수성의 기질 특성으로 바꾸며, 이는 실제 물에 대한 접촉각 측정으로 알 수 있다. 실제 사용된 기질의 접촉각이 74.109°에서 13.72°로 변화하여 친수성의 특성을 보였다. 그리고 (3-아미노프로필)트리메톡시실란 자기조립 단분자층의 위쪽으로 배열되어있는 아민기는 효소, 항원 등의 다른 분자 및 세포의 고정화를 용이하게 한다. 잉크젯 프린팅 방법을 위한 잉크는 2.15㎖의 (3-아미노프로필)트리메톡시실란 용액과 15㎖의 에틸 알콜 용액을 혼합하여 제조하였다. 이렇게 점도, 표면장력 및 용해도를 조절한 잉크를 30㎛의 노즐로 분사하여 수십㎛ 사이즈의 패턴을 형성하였다. Subsequently, a pattern of the self-assembled monolayer 32 was formed on the HfO 2 thin film 32 using an inkjet printing method. The self-assembled monomolecular solution used here is a (3-aminopropyl) trimethoxysilane, (CH, which is used as a primer molecule for adsorption of other molecules on the surface of the silane-based self-assembled monomolecular solution. 3 O) 3 SiCH 2 CH 2 CH 2 NH 2 ) was used. In (3-aminopropyl) trimethoxysilane-treated substrates, hydrophobic substrate properties are converted to hydrophilic substrate properties, which can be seen by measuring the contact angle with respect to water. The contact angle of the substrate actually used was changed from 74.109 ° to 13.72 ° to show hydrophilicity. And the amine group arranged above the (3-aminopropyl) trimethoxysilane self-assembled monolayer facilitates immobilization of other molecules and cells such as enzymes, antigens and the like. Ink for the inkjet printing method was prepared by mixing 2.15 mL of (3-aminopropyl) trimethoxysilane solution and 15 mL of ethyl alcohol solution. Thus, the ink which adjusted the viscosity, surface tension, and solubility was sprayed with the nozzle of 30 micrometers, and the pattern of several tens of micrometers size was formed.

이후, 3시간 정도 실온에서 보관한 뒤, 플라스틱 기판(31)의 표면을 알콜로 헹구고 건조시켰다. 그리고 플라스틱 기판(31)을 오븐에서 120℃로 30분동안 굽고, 톨루엔:에탄올=1:1 용액에서 초음파 처리 후 에탄올에서 세정하였다. 여기까지의 화학적 반응 결과를 살펴보면, HfO2 박막(32) 표면의 -OH 그룹과 (3-아미노프로필)트리메톡시실란의 Si 헤드 그룹이 결합되고, CH2가 골격을 형성하며, NH2 꼬리 그룹이 표면에서 아민 그룹을 형성하고 있다. Then, after storing at room temperature for about 3 hours, the surface of the plastic substrate 31 was rinsed with alcohol and dried. The plastic substrate 31 was then baked in an oven at 120 ° C. for 30 minutes, sonicated in a toluene: ethanol = 1: 1 solution, and then washed in ethanol. As a result of the chemical reactions so far, -OH group on the surface of HfO 2 thin film 32 and Si head group of (3-aminopropyl) trimethoxysilane are bonded, CH 2 forms a skeleton, and NH 2 tail The group forms an amine group at the surface.

상기의 방법으로 형성된 자기조립 단분자층(33) 패턴에 단백질 고정화 링커인 칼릭스 크라운 유도체(calixcrown derivatives)를 잉크젯 프린팅 방법이나 디핑 방법으로 형성시킨 뒤, 12시간 내지 24시간 후에 알콜로 헹구고 건조시킴으로써 단백질 연결체 패턴(34)을 형성하였다. The protein-fixed linker, Calixcrown derivatives, was formed on the pattern of the self-assembled monolayer 33 formed by the above method by inkjet printing or dipping, followed by rinsing with alcohol and drying after 12 to 24 hours. A sieve pattern 34 was formed.

상기의 방법으로 형성된 단백질 연결체 패턴(34)에 항체(35)를 고정하였으며, 항체(35)는 전립선 암의 바이오마커인 PSA(prostate sepcific antibody)를 사용하였다. PSA와 인산완충식염수(phosphate buffered saline)를 섞은 용액에 단백질 연결체 패턴(34)이 형성된 시편을 넣고, 25℃의 온도에서 1시간동안 처리한 뒤에 인신완충식염수와 트윈 20(tween 20,상품명)을 섞은 용액으로 세정하였다. 칼리스 크라운 유도체 위쪽의 크라운 그룹과 항체의 아민 그룹이 호스트-게스트 상호작용(host-guest interaction)에 의하여 결합된다.The antibody 35 was fixed to the protein connector pattern 34 formed by the above method, and the antibody 35 was a prostate sepcific antibody (PSA) which is a biomarker of prostate cancer. Into a solution containing PSA and phosphate buffered saline, a sample in which the protein linkage pattern 34 was formed was placed. After treatment at 25 ° C. for 1 hour, human buffered saline and Tween 20 were used. Washed with a mixed solution. The crown group above the Kalis crown derivative and the amine group of the antibody are bound by host-guest interaction.

항체(35) 패턴이 형성된 기판의 항체(35) 패턴 이외의 부분에 항원 또는 다른 단백질이 흡착되는 것을 막기 위해서 수용성 표준 단백질로 알려진 소 혈청 알부민(BSA, bovine serum albumin) 용액에 실온에서 1시간 동안 담갔다. 이후에 인산완충식염수와 트윈 20 혼합 용액으로 세정하고 최종적으로 인산완충식염수로 세정하여, 항체(35) 패턴이 형성되지 않은 부분과 단백질의 비특이적(non-specific) 반응을 제거하였다.To prevent the adsorption of antigens or other proteins to the portions other than the antibody 35 pattern of the substrate on which the antibody 35 pattern is formed, for 1 hour at room temperature in a bovine serum albumin (BSA) solution known as a water-soluble standard protein. Soaked. Subsequently, the mixture was washed with phosphate buffered saline and Tween 20 mixed solution and finally with phosphate buffered saline to remove non-specific reactions of proteins and portions in which the antibody 35 pattern was not formed.

이상의 방법의 항체(35) 패턴이 형성된 기판 위에, PSA 항원과 염색 분자(Cy3)가 결합된 항원-Cy3 결합체(170)가 포함된 용액을 흘려주었다. 그 결과 항 체(35) 패턴이 형성된 부분에만 항원-Cy3 결합체(170)가 결합되었음을 다초점현미경을 이용하여 형광으로 확인하였다.On the substrate on which the antibody 35 pattern of the above method was formed, the solution containing the antigen-Cy3 conjugate 170 in which the PSA antigen and the staining molecule (Cy3) were bound was flowed. As a result, it was confirmed by fluorescence using a multifocal microscope that the antigen-Cy3 conjugate 170 is bound only to the portion where the antibody 35 pattern is formed.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대해서 도시하고 설명하였다. 그러나 본 발명은 상술한 실시예에만 국한되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어남이 없이 얼마든지 다양하게 변경 실시할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위는 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 첨부된 특허청구범위에 의해 정해지는 것으로 해석되어야 할 것이다.In the above, the present invention has been shown and described with respect to certain preferred embodiments. However, the present invention is not limited only to the above-described embodiment, and those skilled in the art to which the present invention pertains can make various changes without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the specific embodiments, but should be construed as defined by the appended claims.

도 1은 본 발명의 바이오물질 패턴 형성방법에 의해 바이오물질 패턴을 형성하는 과정을 나타내는 측단면도Figure 1 is a side cross-sectional view showing a process of forming a biomaterial pattern by the biomaterial pattern forming method of the present invention

도 2는 본 발명의 바이오센서 제조방법에 의해 바이오센서를 제조하는 과정을 나타내는 측단면도Figure 2 is a side cross-sectional view showing a process of manufacturing a biosensor by the biosensor manufacturing method of the present invention.

도 3은 본 발명의 바이오물질 패턴 형성방법에 의한 실시예에 따른 바이오물질 패턴의 구조를 나타내는 측단면도Figure 3 is a side cross-sectional view showing the structure of the biomaterial pattern according to an embodiment of the method for forming a biomaterial pattern of the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >Description of the Related Art

11,21 : 기재 12 : 산화막11,21 Base material 12 Oxide film

13,25 : 자기조립 단분자층 14,26 : 단백질 고정화 링커13,25: self-assembled monolayer 14,26: protein immobilized linker

15 : 제1단백질 16,28 : 단백질 흡착 차단제15: first protein 16,28: protein adsorption blocker

17 : 제2단백질 23 : 금속 전극17: second protein 23: metal electrode

24 : 전도성 폴리머 층 27 : 항체24 conductive polymer layer 27 antibody

29 : 항원29: antigen

Claims (21)

실리콘웨이퍼, 유리 기판, 플라스틱 기판 및 상기 기판 표면에 형성된 전도성 폴리머층 중에서 선택된 하나의 기재 표면에 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 자기조립 단분자층 패턴을 직접 형성하는 단계;Directly forming a self-assembled monolayer layer pattern on the surface of one substrate selected from a silicon wafer, a glass substrate, a plastic substrate, and a conductive polymer layer formed on the surface of the substrate by using an inkjet printing method; 상기 기재 표면에 형성된 자기조립 단분자층 패턴에 바이오물질 고정화 링커Biomaterial immobilized linker on the self-assembled monolayer pattern formed on the surface of the substrate 인 칼릭스아렌 유도체 또는 칼릭스크라운 유도체를 형성하는 단계; 및 Forming a phosphorus calixarene derivative or a calyx crown derivative; And 상기 바이오물질 고정화 링커에 바이오물질을 고정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오물질 패턴 형성방법.Biomaterial pattern forming method comprising the step of fixing the biomaterial to the biomaterial immobilization linker. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 자기조립 단분자층 패턴을 형성하는 단계를 실시하기 전에 상기 기재와 자기조립 단분자층의 반응성 향상을 위하여 기재의 표면을 개질하기 위해 표면처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오물질 패턴 형성방법.And performing surface treatment to modify the surface of the substrate to improve the reactivity of the substrate and the self-assembled monolayer before performing the step of forming the self-assembled monolayer pattern. 제2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 표면처리하는 단계가 상기 기재의 표면에 -OH 그룹을 형성하는 박막 형성 방법인 것을 특징으로 하는 바이오물질 패턴 형성방법.And the surface treatment is a thin film forming method of forming a -OH group on the surface of the substrate. 제2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 표면처리하는 단계가 상기 기재의 표면에 -OH 그룹을 형성하는 산소 플 라즈마 표면처리 방법인 것을 특징으로 하는 바이오물질 패턴 형성방법Wherein the surface treatment is an oxygen plasma surface treatment method for forming an -OH group on the surface of the substrate. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 바이오물질이 단백질인 것을 특징으로 하는 바이오물질 패턴 형성방법.Biomaterial pattern forming method, characterized in that the biomaterial is a protein. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 단백질이 효소 또는 항체 중에 하나인 것을 특징으로 하는 바이오물질 패턴 형성방법.Bio-material pattern formation method, characterized in that the protein is one of enzymes or antibodies. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 바이오물질 고정화 링커를 형성하는 단계에서 바이오물질 고정화 링커를 형성하는 방법이 잉크젯 프린팅을 이용하여 자기조립 단분자층 위에 선택적으로 흡착시키는 방법인 것을 특징으로 하는 바이오물질 패턴 형성방법.The method of forming a biomaterial immobilized linker in the step of forming the biomaterial immobilized linker is a method of selectively adsorbing onto the self-assembled monolayer by using inkjet printing. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 바이오물질 고정화 링커를 형성하는 단계에서 바이오물질 고정화 링커를 형성하는 방법이 자기조립 단분자층이 형성된 기재를 바이오물질 고정화 링커 용액에 담구는 방법인 것을 특징으로 하는 바이오물질 패턴 형성방법.The method of forming the biomaterial immobilized linker in the step of forming the biomaterial immobilized linker is a method of forming a biomaterial immobilized linker solution in which the substrate on which the self-assembled monolayer is formed is immersed in the biomaterial immobilized linker solution. 기재 표면에 금속전극 패턴을 형성하는 단계;Forming a metal electrode pattern on the surface of the substrate; 상기 금속전극 패턴 사이에 전도성 폴리머 층을 형성하는 단계;Forming a conductive polymer layer between the metal electrode patterns; 상기 전도성 폴리머 층의 위에 잉크젯 프린팅 방법으로 자기조립 단분자층을 직접 형성하는 단계;Directly forming a self-assembled monolayer on the conductive polymer layer by ink jet printing; 상기 전도성 폴리머 층 위에 형성된 자기조립 단분자층에 바이오물질 고정화 링커인 칼릭스아렌 유도체 또는 칼릭스크라운 유도체를 형성하는 단계; Forming a biox immobilized linker, a calix arene derivative or a calyx crown derivative on the self-assembled monolayer formed on the conductive polymer layer; 상기 바이오물질 고정화 링커에 바이오물질을 고정하는 단계; 및Fixing a biomaterial to the biomaterial immobilization linker; And 상기 바이오물질이 고정되지 않은 금속전극 패턴의 표면에 단백질 흡착 차단제를 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오센서 제조방법.And applying a protein adsorption blocker to the surface of the metal electrode pattern in which the biomaterial is not fixed. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 전도성 폴리머 층을 형성하는 단계에서 사용되는 전도성 폴리머가 폴리아세틸렌(polyacetylene), 폴리파라페닐렌(polyparaphenylene), 폴리파라페닐렌 비닐렌(polyparaphenylene vinylene), 폴리아줄렌(polyazulene), 폴리아닐린(polyaniline), 폴리파라페닐렌 설파이드(polyparaphenylene sulfide), 폴리피롤(polypyrrole), 폴리티오펜(polythiophene), 폴리카바졸(polycarbazole), 폴리디아미노나프탈렌(polydiaminonaphthalene), 및 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)(poly(3,4-ethylenedioxythiophene)) 로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 바이오센서 제조방법.The conductive polymer used in the forming of the conductive polymer layer may be polyacetylene, polyparaphenylene, polyparaphenylene vinylene, polyazulene, polyaniline, Polyparaphenylene sulfide, polypyrrole, polythiophene, polycarbazole, polydiaminonaphthalene, and poly (3,4-ethylenedioxythiophene) ( A method for producing a biosensor, characterized in that any one selected from the group consisting of poly (3,4-ethylenedioxythiophene)). 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 바이오물질이 단백질인 것을 특징으로 하는 바이오센서 제조방법.Biosensor manufacturing method characterized in that the biomaterial is a protein. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 단백질이 효소 또는 항체 중에 하나인 것을 특징으로 하는 바이오센서 제조방법.Biosensor manufacturing method characterized in that the protein is one of enzymes or antibodies. 삭제delete 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 바이오물질 고정화 링커를 형성하는 단계에서 바이오물질 고정화 링커를 형성하는 방법이 잉크젯 프린팅을 이용하여 자기조립 단분자층 위에 선택적으로 흡착시키는 방법인 것을 특징으로 하는 바이오센서 제조방법.The method of forming the biomaterial-immobilized linker in the step of forming the biomaterial-immobilized linker is a method of selectively adsorbing on the self-assembled monolayer by using inkjet printing. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 바이오물질 고정화 링커를 형성하는 단계에서 바이오물질 고정화 링커를 형성하는 방법이 자기조립 단분자층이 형성된 기재를 바이오물질 고정화 링커 용액에 담구는 방법인 것을 특징으로 하는 바이오센서 제조방법.The method of forming the biomaterial immobilized linker in the step of forming the biomaterial immobilized linker is a method of manufacturing a biosensor immobilized linker solution by immersing the substrate on which the self-assembled monolayer is formed. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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