KR101121946B1 - 웨이퍼 검사용 프로버의 척 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- 웨이퍼가 장착되는 척플레이트와,열전반도체에서 공급하는 열량을 상기 척플레이트에 전달하는 열전달플레이트와,상기 웨이퍼에 대한 고온 및 저온 검사를 가능하도록 상기 척플레이트 및 웨이퍼에 대한 온도조절수단으로 상기 열전반도체가 설치되는 온도조절플레이트와,상기 열전반도체의 하면에서 발생하는 열량을 제어하는 열교환플레이트와,상기 척플레이트 및 열전달플레이트의 측면과 간격을 두면서 상기 열교환플레이트의 외곽으로부터 연결되어 있는 가이드부 및상기 가이드부의 내벽과, 상기 척플레이트 및 열전달플레이트 외벽과의 빈 공간에 채워지는 실리콘 또는 에폭시로, 미세전류의 잡음을 제거하여 웨이퍼 검사의 정확성을 높일 수 있도록 충진을 통해 상기 가이드부와 상기 척플레이트와의 공간을 분리시키는 절연재를 포함하는 웨이퍼 검사용 프로버의 척 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 온도조절플레이트는 2개 이상의 온도구역으로 구분되어 상기 열전반도체를 구역별로 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로버의 척 장치.
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