KR101120046B1 - Conditioner change type polishing apparatus - Google Patents

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KR101120046B1
KR101120046B1 KR1020100031464A KR20100031464A KR101120046B1 KR 101120046 B1 KR101120046 B1 KR 101120046B1 KR 1020100031464 A KR1020100031464 A KR 1020100031464A KR 20100031464 A KR20100031464 A KR 20100031464A KR 101120046 B1 KR101120046 B1 KR 101120046B1
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맹주호
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새솔다이아몬드공업 주식회사
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    • B24B53/017—Devices or means for dressing, cleaning or otherwise conditioning lapping tools

Abstract

본 발명은 컨디셔너의 교체가 용이하여 패드의 사용수명을 대폭적으로 연장할 수 있을 뿐만 아니라 연마작업의 효율성을 증대시킬 수 있는 컨디셔너 교체형 연마장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 회전 가능하게 구비된 플래튼(30)과, 이 플래튼(30)의 상면에 구비되어 피연삭물을 연마하도록 된 폴리싱패드(31)와, 상기 폴리싱패드(31)의 상부에서 회동 가능하게 구비된 스윙암(32)과, 이 스윙암(32)에 회전 가능하게 장착되어 상기 폴리싱패드(31)의 상면을 연마하도록 된 컨디셔너(33,34)를 포함하는 연마장치에 있어서; 상기 컨디셔너(33,34)는 상기 스윙암(32)에 장착되어 상기 폴리싱패드(31)의 상면을 연마하는 작업용 컨디셔너(33)와, 상기 스윙암(32) 또는 상기 플래튼(30)에 근접된 일측에 대기상태로 구비되는 대기용 컨디셔너(34)로 이루어지며; 이 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)는 직접적으로 연마작업을 행하거나 또는 대기상태로 위치되되, 연마작업과 작업대기의 위치를 상호 교체 가능하게 구비되는 컨디셔너 교체형 연마장치가 제공된다.The present invention relates to a conditioner replacement type polishing apparatus that can easily replace a conditioner, which can greatly extend the service life of the pad, and can increase the efficiency of the polishing operation.
According to the present invention, a platen 30 rotatably provided, a polishing pad 31 provided on an upper surface of the platen 30 to polish the workpiece, and an upper portion of the polishing pad 31. In the polishing apparatus comprising a swing arm 32 rotatably provided in the and the conditioner (33, 34) rotatably mounted to the swing arm 32 to polish the upper surface of the polishing pad (31) ; The conditioners 33 and 34 are attached to the swing arm 32 and work conditioner 33 for polishing the upper surface of the polishing pad 31, and close to the swing arm 32 or the platen 30. It is made of a standby conditioner 34 which is provided in the standby state on one side; The working conditioner 33 and the atmospheric conditioner 34 are provided with a conditioner replaceable polishing device which is directly polished or positioned in the standby state, and is provided so that the positions of the polishing work and the working atmosphere are interchangeable. .

Description

컨디셔너 교체형 연마장치{Conditioner change type polishing apparatus}Conditioner change type polishing apparatus

본 발명은 컨디셔너 교체형 연마장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 컨디셔너의 교체가 용이하여 패드의 사용수명을 대폭적으로 연장할 수 있을 뿐만 아니라 연마작업의 효율성을 증대시킬 수 있는 컨디셔너 교체형 연마장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a conditioner replaceable polishing device, and more particularly, to a conditioner replaceable polishing device which can easily replace a conditioner, which can greatly extend the service life of the pad, and can increase the efficiency of the polishing operation. It is about.

일반적으로 반도체 웨이퍼 등을 연마하기 위해 구비되는 연마장치는 반도체 웨이퍼를 기계적으로 마찰시킴과 동시에 연마재를 사용하여 화학적으로 연마시키도록 된 화학적-기계적(CMP: Chemical-Mechanical Planarization) 연마장치가 보편화되어 있다.In general, a polishing apparatus provided for polishing a semiconductor wafer or the like generally employs a chemical-mechanical planarization (CMP) polishing apparatus which mechanically rubs a semiconductor wafer and chemically polishes it using an abrasive. .

이러한 CMP 연마장치는 대개 상기 반도체 웨이퍼를 연마하기 위한 폴리싱패드와 이 폴리싱패드의 경화시에 이를 회복시키기 위한 다이아몬드 연마구와 같이 컨디셔너와 이 컨디셔너가 장착되는 스윙암을 포함하여 이루어지게 되는데, 이와 같은 CMP 연마장치와 종래의 컨디셔너 장착구조를 도시된 도면에 의해 설명하면 다음과 같다. Such a CMP polishing apparatus usually includes a conditioner and a swing arm to which the conditioner is mounted, such as a polishing pad for polishing the semiconductor wafer and a diamond polishing tool for recovering it upon curing of the polishing pad. A polishing apparatus and a conventional conditioner mounting structure will be described below with reference to the drawings.

도 1에 도시된 바와 같이, CMP 연마장치는 회전 가능하게 구비된 플래튼(10)의 상면에 반도체 웨이퍼와 같은 피연삭물을 연삭하기 위한 폴리싱패드(11)가 결합되고, 상기 플래튼(10)의 상부에는 상기 폴리싱패드(11)의 상면에서 위치이동 가능하도록 회동되는 스윙암(12)이 구비되며, 이 스윙암(12)의 단부에는 상기 폴리싱패드(11)의 연마면을 회복시키기 위한 다이아몬드 연마구와 같은 컨디셔너(13)가 회전 가능하게 결합되어 있다.As shown in FIG. 1, the CMP polishing apparatus includes a polishing pad 11 for grinding a workpiece such as a semiconductor wafer on an upper surface of a platen 10 rotatably provided, and the platen 10. The upper portion of the) is provided with a swing arm 12 which is rotated to move in position on the upper surface of the polishing pad 11, the end of the swing arm 12 for restoring the polishing surface of the polishing pad 11 A conditioner 13, such as a diamond abrasive, is rotatably coupled.

이때에, 상기 스윙암(12)에는 상기 컨디셔너(13)를 장착할 수 있는 홀더(14)가 구비되고, 상기 컨디셔너(13)는 볼트에 의해 상기 홀더(14)에 착탈 가능하도록 체결되어 상기 폴리싱패드(11)의 상면에서 자전됨과 동시에 공전되면서 상기 폴리싱패드(11)를 연마하게 되는데, 상기 폴리싱패드(11)와 컨디셔너(13)는 그 마모정도에 따라 교체하여 사용하도록 되어 있는 것이다.At this time, the swing arm 12 is provided with a holder 14 for mounting the conditioner 13, the conditioner 13 is fastened to be detachable to the holder 14 by a bolt to the polishing The polishing pad 11 is polished while being rotated at the same time as the upper surface of the pad 11, and the polishing pad 11 and the conditioner 13 are used to be replaced according to the degree of wear thereof.

여기에서, 상기 폴리싱패드(11)와 컨디셔너(13)와 같은 소모품의 교체작업은 작업의 효율성을 감안하여 그 교체작업이 동시에 이루어지는 것이 통상적인데, 종래에는 메탈 CMP공정과 같이 상기 컨디셔너(13)의 수명이 짧은 공정에서는 폴리싱패드(11)의 마모정도에 비해 상기 컨디셔너(13)의 수명이 지나치게 짧아 상기 폴리싱패드(11)를 더 사용할 수 있음에도 불구하고 상기 컨디셔너(13)의 교체시기에 따라 상기 폴리싱패드(11)를 불가피하게 교체하게 되며, 이에 의해 상기 컨디셔너(13)에 비해 대략 3~10배 정도의 비싼 고가의 폴리싱패드(11)의 소모가 많을 뿐만 아니라 이에 의해 소모품의 낭비 및 비용의 손실이 큰 문제점이 있는 것이다. Here, the replacement operation of the consumables such as the polishing pad 11 and the conditioner 13 is generally performed at the same time in consideration of the efficiency of the operation. In the process of short life, although the life of the conditioner 13 is too short compared to the degree of wear of the polishing pad 11, although the polishing pad 11 can be used further, the polishing according to the replacement time of the conditioner 13 The pad 11 is inevitably replaced, thereby consuming about 3 to 10 times more expensive polishing pad 11 than the conditioner 13, thereby reducing waste and cost of consumables. This is a big problem.

또한 종래에는 상기 스윙암(12)은 하나의 컨디셔너(13)만을 장착하도록 된 것이어서, 상기 컨디셔너(13)의 마모에 따른 교체주기가 빨라 교체작업 상의 번거로움이 따를 뿐만 아니라 이에 의해 작업 효율성이 떨어지는 단점이 있는 것이다.
In addition, in the related art, the swing arm 12 is configured to mount only one conditioner 13, so that the replacement cycle is faster due to the wear of the conditioner 13, thereby reducing the work efficiency and thereby reducing work efficiency. There is a disadvantage.

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 컨디션너의 교체작업 없이도 다수의 컨디셔너를 연속적으로 사용할 수 있어 패드를 수명 한계에 다다를 때까지 사용 가능할 뿐만 아니라 이에 의해 패드의 낭비를 방지하여 그에 따른 비용손실을 줄일 수 있으며, 또한 다수의 컨디셔너를 용이하게 교체하여 사용할 수 있도록 구비되어 컨디셔너의 교체시간을 대폭적으로 줄여 연마작업의 효율성을 증대시킴과 동시에 교체작업에 번거로움을 최소화시킬 수 있는 컨디셔너 교체형 연마장치를 제공하는 것이다.
The present invention is to solve the above problems, the present invention can be used continuously without a conditioner replacement of a plurality of conditioners can be used until the pad reaches the end of life, thereby preventing waste of the pad Therefore, it is possible to reduce the cost loss, and also it is possible to easily replace and use a large number of conditioners, which greatly reduces the replacement time of the conditioner, thereby increasing the efficiency of polishing work and minimizing the hassle for replacement work. To provide a conditioner replaceable polishing device.

본 발명의 특징에 따르면, 회전 가능하게 구비된 플래튼(30)과, 이 플래튼(30)의 상면에 구비되어 피연삭물을 연마하도록 된 폴리싱패드(31)와, 상기 폴리싱패드(31)의 상부에서 회동 가능하게 구비된 스윙암(32)과, 이 스윙암(32)에 회전 가능하게 장착되어 상기 폴리싱패드(31)의 상면을 연마하도록 된 컨디셔너(33,34)를 포함하는 연마장치에 있어서;According to a feature of the invention, a platen 30 rotatably provided, a polishing pad 31 provided on the upper surface of the platen 30 to polish the workpiece, and the polishing pad 31 And a swing arm 32 rotatably provided at an upper portion of the swing arm 32 and a conditioner 33 and 34 rotatably mounted to the swing arm 32 to polish the upper surface of the polishing pad 31. To;

상기 컨디셔너(33,34)는 상기 스윙암(32)에 장착되어 상기 폴리싱패드(31)의 상면을 연마하는 작업용 컨디셔너(33)와, 상기 플래튼(30)에 근접된 일측에 대기상태로 구비되는 대기용 컨디셔너(34)로 이루어지며;The conditioners 33 and 34 are mounted on the swing arm 32 and provided with a working conditioner 33 for polishing an upper surface of the polishing pad 31 and a standby state on one side of the platen 30. Consisting of a standby conditioner 34;

상기 플래튼(30)에 근접된 일측에는 상기 스윙암(32)의 선단부 회동 궤적상에 위치되어 상기 대기용 컨디셔너(34)가 거치되는 준비다이(35)가 구비되고;One side close to the platen 30 is provided with a preparation die 35 positioned on the tip rotational trajectory of the swing arm 32 on which the air conditioner 34 is mounted;

상기 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)는 직접적으로 연마작업을 행하거나 또는 대기상태로 위치되되, 연마작업과 작업대기의 위치를 상호 교체 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 컨디셔너 교체형 연마장치가 제공된다.
The working conditioner 33 and the air conditioner 34 are directly polished or positioned in the standby state, the conditioner replaceable grinding, characterized in that the polishing operation and the position of the work standby is provided so as to be interchangeable An apparatus is provided.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 스윙암(32)에는 상기 컨디셔너(33,34)가 자성에 의해 착탈 가능하도록 자성체(36)가 구비되는 것을 특징으로 하는 컨디셔너 교체형 연마장치가 제공된다.
According to another feature of the invention, the swing arm 32 is provided with a conditioner replacement polishing device, characterized in that the magnetic body 36 is provided so that the conditioner (33, 34) is removable by a magnetic.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 회전 가능하게 구비된 플래튼(30)과, 이 플래튼(30)의 상면에 구비되어 피연삭물을 연마하도록 된 폴리싱패드(31)와, 상기 폴리싱패드(31)의 상부에서 회동 가능하게 구비된 스윙암(32)과, 이 스윙암(32)에 회전 가능하게 장착되어 상기 폴리싱패드(31)의 상면을 연마하도록 된 컨디셔너(33,34)를 포함하는 연마장치에 있어서;According to another feature of the invention, the platen 30 rotatably provided, a polishing pad 31 provided on the upper surface of the platen 30 to polish the workpiece, and the polishing pad ( A swing arm 32 rotatably provided at an upper portion of the 31 and a conditioner 33 and 34 rotatably mounted to the swing arm 32 to polish the upper surface of the polishing pad 31. In a polishing apparatus;

상기 컨디셔너(33,34)는 상기 스윙암(32)에 장착되어 상기 폴리싱패드(31)의 상면을 연마하는 작업용 컨디셔너(33)와, 상기 플래튼(30)에 근접된 일측에 대기상태로 구비되는 대기용 컨디셔너(34)로 이루어지며;The conditioners 33 and 34 are mounted on the swing arm 32 and provided with a working conditioner 33 for polishing an upper surface of the polishing pad 31 and a standby state on one side of the platen 30. Consisting of a standby conditioner 34;

상기 스윙암(32)에는 상기 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)를 일체로 결합할 수 있도록 다수의 장착헤드(37)가 구비되고;The swing arm (32) is provided with a plurality of mounting heads (37) to integrally couple the working conditioner (33) and the air conditioner (34);

상기 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)는 직접적으로 연마작업을 행하거나 또는 대기상태로 위치되되, 연마작업과 작업대기의 위치를 상호 교체 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 컨디셔너 교체형 연마장치가 제공된다.
The working conditioner 33 and the air conditioner 34 are directly polished or positioned in the standby state, the conditioner replaceable grinding, characterized in that the polishing operation and the position of the work standby is provided so as to be interchangeable An apparatus is provided.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 장착헤드(37)에는 상기 폴리싱패드(31)의 상면에 상기 컨디셔너(33,34)를 접촉 또는 이격시키도록 승강수단(38)이 구비되는 것을 특징으로 하는 컨디셔너 교체형 연마장치가 제공된다.
According to another feature of the invention, the mounting head 37 is characterized in that the elevating means 38 is provided on the upper surface of the polishing pad 31 to contact or space the conditioner (33, 34). Conditioner replaceable polishing apparatus is provided.

이상에서와 같이 본 발명에 의하면, 연마작업 직접적으로 행하는 작업용 컨디셔너(33)와 대기상태로 위치되는 대기용 컨디셔너(34)가 구비되고, 이 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)는 위치를 상호 교체 가능하도록 구비됨으로써, 상기 작업용 컨디셔너(33)의 수명이 폴리싱패드(31)의 수명에 비해 상대적으로 짧은 공정에서도 상기 폴리싱패드(31)를 그 사용수명이 다할 때까지 사용할 수 있어 상기 폴리싱패드(31)의 낭비를 최소화함과 동시에 그에 따른 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.As described above, according to the present invention, there is provided a working conditioner 33 for performing a polishing operation directly and a standby conditioner 34 positioned in the standby state, and the working conditioner 33 and the standby conditioner 34 are positioned. By being interchangeable with each other, even in a process where the life of the working conditioner 33 is relatively short compared to the life of the polishing pad 31, the polishing pad 31 can be used until the end of its service life. Minimize the waste of the pad 31 and at the same time has the advantage of reducing the cost.

또한 다수의 컨디셔너(33,34)에 의해 연속적인 연마작업이 가능하여 상기 폴리싱패드(31)의 교체주기를 늘릴 수 있어 교체작업에 따른 작업상의 번거로움을 줄임과 동시에 그에 따른 작업 효율성을 증대시킬 수 있는 장점이 있다.In addition, the continuous polishing operation is possible by a plurality of conditioners (33, 34) to increase the replacement cycle of the polishing pad 31, thereby reducing the cumbersome work in accordance with the replacement operation and at the same time increase the work efficiency accordingly. There are advantages to it.

또한 상기 컨디셔너(33,34)를 교체함에 있어서, 상기 대기용 컨디셔너(34)가 거치되는 준비다이(35)가 별도로 구비되는 경우에는 상기 작업용 컨디셔너(33)에 의해 연마작업을 행하는 동안에 상기 준비다이(35)에 거치된 상기 대기용 컨디셔너(34)에 대한 크리닝작업을 용이하게 행할 수 있어 작업상의 편리함을 제공할 수 있는 장점이 있으며, 또한 상기 스윙암(32)에는 자성에 의해 상기 컨디셔너(33,34)를 착탈 가능하도록 자성체(36)이 구비되어 교체시간을 최소화함과 동시에 교체에 따른 작업상의 편리함을 제공할 수 있는 장점이 있다.In addition, in the replacement of the conditioners 33 and 34, when the preparation die 35 to which the atmospheric conditioner 34 is mounted is provided separately, the preparation die during the polishing operation by the working conditioner 33 is performed. There is an advantage in that the cleaning operation for the air conditioner 34 mounted on the (35) can be easily performed to provide convenience in operation, and the swing arm 32 has the conditioner 33 by magnetism. The magnetic material 36 is provided to be detachable from the 34, thereby minimizing replacement time and at the same time providing convenience in replacement.

또한 상기 컨디셔너(33,34)를 교체함에 있어서, 상기 스윙암(32)에는 상기 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)를 일체로 장착할 수 있는 다수의 장착헤드(37)가 구비됨으로써, 상기 컨디셔너(33,34)의 교체시간을 더욱 줄임과 동시에 교체작업 상의 편리함을 제공함은 물론, 전술된 바와 같은 준비다이(35)가 구비됨에 비해 상대적으로 간단하게 구성되어 제작상의 편리함을 제공할 수 있는 장점이 있다.
In addition, in the replacement of the conditioners 33 and 34, the swing arm 32 is provided with a plurality of mounting heads 37 which can integrally mount the working conditioner 33 and the standby conditioner 34. In addition, while reducing the replacement time of the conditioner (33,34) and at the same time provide convenience in the replacement operation, as well as relatively simple configuration compared to the preparation die 35 as described above to provide a convenience in manufacturing There are advantages to it.

도 1은 종래의 연마장치 일례를 도시한 사시도
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 구성을 도시한 평면도
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 구성을 도시한 사시도
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 구성의 일부를 도시한 단면도
도 5는 본 발명의 다른 실시예를 도시한 평면도
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 구성의 일부를 도시한 단면도1 is a perspective view showing an example of a conventional polishing apparatus
2 is a plan view showing a configuration according to an embodiment of the present invention
3 is a perspective view showing a configuration according to an embodiment of the present invention
4 is a cross-sectional view showing a part of the configuration according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view showing another embodiment of the present invention
6 is a cross-sectional view showing a part of a configuration according to another embodiment of the present invention.

상술한 본 발명의 목적, 특징들 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 첨부된 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.The objects, features and advantages of the present invention described above will become more apparent from the following detailed description. Hereinafter, described with reference to the accompanying drawings as follows.

도 2 내지 도 6은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 구성을 도시한 평면도와 사시도 및 단면도를 나타낸 것이다.2 to 6 illustrate a plan view, a perspective view, and a cross-sectional view illustrating a configuration according to various embodiments of the present disclosure.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따르면, 대략적으로 원판형태로 구비된 플래튼(30)이 본체(20)에 회전 가능하게 구비되고, 이 플래튼(30)의 상면에는 소정의 두께로 형성된 원판형태의 폴리싱패드(31)가 결합되며, 상기 본체(20)의 일측에는 반도체 웨이퍼와 같은 피연삭물을 이동시키기 위한 피연삭물 이송수단(40)이 구비되어 있으며, 상기 본체(20)의 타측에는 상기 폴리싱패드(31)의 상부에서 회동 가능하게 구비된 스윙암(32)과 이 스윙암(32)의 단부에 결합되어 상기 폴리싱패드(31)의 상면을 연마하는 다이아몬드 연마구와 같은 컨디셔너(33,34)를 포함하게 된다.2 to 4, according to one embodiment of the present invention, the platen 30, which is provided in a substantially disc shape, is rotatably provided in the main body 20, and the platen 30 is provided. A polishing pad 31 of a disc shape having a predetermined thickness is coupled to an upper surface thereof, and one side of the main body 20 is provided with a workpiece conveying means 40 for moving a workpiece such as a semiconductor wafer. The other side of the main body 20 is coupled to an end of the swing arm 32 and the swing arm 32 provided to be rotatable from the upper portion of the polishing pad 31 to the upper surface of the polishing pad 31 Conditioners 33 and 34, such as diamond abrasives, to polish are included.

여기에서, 상기 피연삭물 이송수단(40)은 피연삭물을 연마하도록 상기 폴리싱패드(31) 상으로 이송하거나 또는 연마된 피연삭물을 폴리싱패드(31) 상으로부터 회피시키는 수평이동기구(41)와 이를 구동하기 위한 구동모터(42) 및 상기 피연삭물을 픽업하는 캐리어(43) 등을 포함하여 이루어지는데, 이는 통상적인 것이다.Here, the workpiece conveying means 40 is a horizontal moving mechanism 41 for transporting onto the polishing pad 31 to polish the workpiece or to avoid the polished workpiece from the polishing pad 31. ), A driving motor 42 for driving the same, a carrier 43 for picking up the workpiece, and the like, which are conventional.

또한 상기 스윙암(32)은 기단부에 구비된 회동수단(45)에 의해 회동되어 선단부에 결합되는 컨디셔너(33,34)가 상기 폴리싱패드(31)의 상면에 위치되거나 또는 상기 폴리싱패드(31)로부터 회피되도록 구비된 것이며, 또한 상기 컨디셔너(33,34)는 상기 폴리싱패드(31)의 상면을 연마하도록 상기 스윙암(32)의 선단부에 장착되어 직접적으로 연마작업을 행하는 작업용 컨디셔너(33)와, 상기 작업용 컨디셔너(33)에 교체 가능하도록 상기 플래튼(30)의 일측에 대기상태로 구비되는 대기용 컨디셔너(34)로 구비되며, 이 대기용 컨디셔너(34)는 상기 플래튼(30)의 일측에 위치된 준비다이(35)에 다수개가 거치되어 있다.In addition, the swing arm 32 is rotated by the rotation means 45 provided at the proximal end, and the conditioners 33 and 34 coupled to the distal end are located on the upper surface of the polishing pad 31 or the polishing pad 31. And the conditioners 33 and 34 are mounted to the front end of the swing arm 32 so as to polish the upper surface of the polishing pad 31 and directly perform the polishing operation. And a standby conditioner 34 provided at one side of the platen 30 in a standby state so that the working conditioner 33 can be replaced with the standby conditioner 34. A plurality of the mounting die 35 is located on one side.

이와 같은 구성에 의하면, 상기 스윙암(32)은 상기 작업용 컨디셔너(33)를 장착한 상태에서 상기 폴리싱패드(31)의 상면을 연마하게 되며, 상기 작업용 컨디셔너(33)의 조건(마모정도나 연마입자의 크기)에 따라 상기 준비다이(35) 측으로 회동되어 상기 대기용 컨디셔너(34)와의 교체가 이루어지게 된다. 이때에 상기 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)는 모두 동일한 연마입자로 이루어져 상기 작업용 컨디셔너(33)의 마모정도에 따라 상기 대기용 컨디셔너(34)로 대체되거나 또는 상호 다른 연마입자로 이루어진 다수개의 대기용 컨디셔너(34)로 구비되어 순차적으로 또는 교호로 교체되면서 상기 폴리싱패드(31)의 표면조도를 다양하게 형성할 수 있으며, 이를 위해 상기 준비다이(35)는 그에 거치된 다수의 대기용 컨디셔너(34)가 장착 가능하도록 정위치되도록 회전수단(도시되지 않음)에 의해 회전 가능하게 구비될 수 있다.According to this configuration, the swing arm 32 polishes the upper surface of the polishing pad 31 in the state where the working conditioner 33 is mounted, and the conditions (abrasion degree or polishing) of the working conditioner 33 are polished. Size of the particle) is rotated toward the preparation die 35, the replacement with the atmospheric conditioner 34 is made. At this time, the working conditioner 33 and the atmospheric conditioner 34 are all made of the same abrasive particles are replaced by the atmospheric conditioner 34 or made of different abrasive particles depending on the degree of wear of the working conditioner 33. It is provided with a plurality of air conditioner 34 can be formed in various ways or the surface roughness of the polishing pad 31 while being replaced alternately, for this purpose, the preparation die 35 is a plurality of air mounted thereon The conditioner 34 may be rotatably provided by rotating means (not shown) so that the conditioner 34 can be mounted in a mountable manner.

또한 상기 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)를 상호 교체함에 있어서, 그 교체작업을 용이하게 하도록 상기 스윙암(32)에는 통상적으로 스틸 재질의 바디로 이루어진 상기 컨디셔너(33,34)를 자성에 의해 착탈할 수 있도록 자성체(36)가 구비될 수 있다. 이때에, 상기 자성체(36)는 상기 컨디셔너(33,34)를 회전시키도록 상기 스윙암(32)의 선단부에 위치되는 회전모터(39)의 모터축(39a)에 커플링(46)에 의해 결합될 수 있으며, 바람직하게는, 상기 자성체(36)는 전류의 흐름 유무에 따라 자성의 생성 또는 소멸되는 통상의 전자석으로 구비되어 상기 컨디셔너(33,34)를 용이하게 착탈할 수 있도록 구비된다.In addition, in the interchange of the working conditioner 33 and the air conditioner 34, the swing arm 32 is provided with the conditioners 33 and 34, which are typically made of a steel body, to facilitate the replacement operation. The magnetic body 36 may be provided to be detachable by magnetic. At this time, the magnetic body 36 is coupled to the motor shaft 39a of the rotary motor 39 located at the tip of the swing arm 32 to rotate the conditioners 33 and 34. Preferably, the magnetic body 36 is provided with a conventional electromagnet that is generated or extinguished with or without magnetic current, so that the conditioners 33 and 34 can be easily detached.

또한 본 발명의 다른 실시예에 의하면, 도 5와 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 컨디셔너(33,34)에 의해 상기 폴리싱패드(31)를 연마함에 있어서, 전술된 일실시예에서는 상기 작업용 컨디셔너(33)만이 상기 스윙암(32)에 장착되고, 상기 대기용 컨디셔너(34)는 상기 준비다이(35) 상에 거치된 상태로 구비된 것이나, 다른 실시예에서는 상기 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)가 일체로 상기 스윙암(32)에 장착된 상태로 구비될 수 있는데, 이를 위해 상기 스윙암(32)에는 대략적으로 방사상으로 연장 형성된 다수의 장착헤드(37)가 구비되고, 이 장착헤드(37)에 상기 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)가 각각 결합되게 된다.In addition, according to another embodiment of the present invention, as shown in Figures 5 and 6, in polishing the polishing pad 31 by the conditioners (33, 34), in the above-described embodiment the working conditioner Only 33 is mounted to the swing arm 32, and the standby conditioner 34 is provided on the preparation die 35, but in another embodiment, the working conditioner 33 and the standby For conditioner 34 may be provided integrally mounted to the swing arm 32, for this purpose the swing arm 32 is provided with a plurality of mounting heads (37) extending substantially radially, The working conditioner 33 and the standby conditioner 34 are coupled to the mounting head 37, respectively.

이때에, 장착헤드(37)는 회전수단(도시되지 않음)에 의해 상기 스윙암(32)에서 선회 가능하도록 구비되어 상기 작업용 컨디셔너가 연마작업을 행할 수 있도록 정위치되며, 또한 이 장착헤드(37)에는 상기 작업용 컨디셔너(33)가 상기 대기용 컨디셔너(34)에 비해 상대적으로 더 돌출되어 상기 폴리싱패드(31)의 상면에 접촉되도록 승강수단(38)이 구비되는 것이 바람직하며, 이 승강수단(38)은 상기 장착헤드(37)에 결합되는 실린더(49)와 이 실린더(49)의 내부에서 왕복운동되는 피스톤(50) 및 피스톤로드(51)를 포함하여 이루어질 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것이 아니라 랙피니언과 같은 기어타입 또는 캠기구 등에 의해서도 가능한 것이다. At this time, the mounting head 37 is provided so as to be pivotable on the swing arm 32 by rotating means (not shown) so that the working conditioner is in position so as to perform the polishing operation. ), The lifting conditioner (38) is preferably provided such that the working conditioner (33) protrudes relatively more than the atmospheric conditioner (34) and contacts the upper surface of the polishing pad (31). 38 may include a cylinder 49 coupled to the mounting head 37 and a piston 50 and a piston rod 51 reciprocating in the cylinder 49, but are not particularly limited thereto. It is also possible by a gear type or a cam mechanism such as a rack pinion.

이와 같은 실시예에서도 전술된 일실시예와 유사하게, 상기 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)는 모두 동일한 연마입자를 갖는 것이 구비되거나 또는 상호 다른 연마입자를 갖는 것으로 구비될 수 있을 뿐만 아니라 상기 작업용 컨디셔너(33)의 마모정도에 따라 상기 대기용 컨디셔너(34)로 대체되거나 또는 순차적으로 연마작업을 행하도록 구비될 수도 있는 것이다. In this embodiment, similar to the above-described embodiment, the working conditioner 33 and the air conditioner 34 may both be provided with the same abrasive particles or may be provided with different abrasive particles. In addition, depending on the degree of wear of the working conditioner 33 may be replaced with the atmospheric conditioner 34 or may be provided to perform the polishing operation sequentially.

이상과 같은 본 발명에 따르면, 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)가 용이하게 교체 가능하게 구비되어 상기 폴리싱패드(31)를 회복시키기 위한 연마작업을 연속적으로 행할 수 있게 되므로, 상기 폴리싱패드(31)는 사용수명이 다할 때까지 사용 가능하여 상기 폴리싱패드(31)의 낭비를 최소화함과 동시에 교체작업에 따른 지연시간을 최소화하여 작업 효율성을 극대화시킬 수 있게 된다. According to the present invention as described above, since the working conditioner 33 and the atmospheric conditioner 34 are easily replaceable, the polishing operation for restoring the polishing pad 31 can be continuously performed, and thus the polishing The pad 31 can be used until the end of its service life, thereby minimizing waste of the polishing pad 31 and minimizing delay time due to replacement work, thereby maximizing work efficiency.

이상에서 도시되지 않은 상기 회전수단은 다양한 형태의 것이 가능함은 당연한 것이며, 그 일례는 구동모터와 이 구동모터에 결합된 구동벨트로 이루어져 상기 구동모터의 회전력을 구동벨트에 전달하여 상기 준비다이(35)와 장착헤드(37)를 회전시킬 수 있는 것이다.It is obvious that the rotating means not shown above may be of various forms, and an example thereof includes a driving motor and a driving belt coupled to the driving motor to transmit the rotational force of the driving motor to the driving belt, thereby preparing the preparation die 35. ) And the mounting head 37 can be rotated.

또한 설명되지 않은 부호는 도 4에서 설명되지 않은 부호는 상기 회전모터(39)의 모터축(39a)에 결합되는 부싱(47) 및 이 부싱(47)의 하단에 위치되어 상기 컨디셔너(33,34)를 장착하도록 된 홀더(48)를 나타낸 것이다.In addition, reference numerals not described in FIG. 4 denote bushings 47 coupled to the motor shaft 39a of the rotary motor 39 and located at the lower end of the bushings 47 and the conditioners 33 and 34. ) Shows a holder 48 to be mounted.

또한 도 6에서 설명되지 않은 부호는 상기 장착헤드(37)에 구비되는 구체적인 구성으로, 상기 승강수단(38)의 피스톤로드(51)에 결합되어 승강되는 케이스(53)와 이 케이스(53)의 내부에 구비되어 상기 컨디셔너(33,34)를 회전시키는 회전모터(39)를 나타낸 것이며, 또한 상기 회전모터(39)에는 모터축(39a)에 커플링(46)에 의해 결합된 연결로드(52)가 구비되고, 이 연결로드(52)의 하단에는 상기 컨디셔너(33,34)를 장착하기 위한 홀더(48)를 나타낸 것인데, 상기 연결로드(52)는 일실시예서와 같이 자성체(36)로 구비될 수 있는 것이다.
In addition, reference numerals not described in FIG. 6 refer to a specific configuration provided in the mounting head 37, and are coupled to the piston rod 51 of the elevating means 38 to elevate the case 53 and the case 53. Is shown therein is a rotary motor 39 for rotating the conditioner (33, 34), and the rotation motor 39, the connecting rod 52 coupled to the motor shaft (39a) by the coupling 46 ) Is provided, the lower end of the connecting rod 52 is shown a holder 48 for mounting the conditioners (33, 34), the connecting rod 52 to the magnetic body 36 as in one embodiment It can be provided.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다. The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

Claims (4)

삭제delete 삭제delete 회전 가능하게 구비된 플래튼(30)과, 이 플래튼(30)의 상면에 구비되어 피연삭물을 연마하도록 된 폴리싱패드(31)와, 상기 폴리싱패드(31)의 상부에서 회동 가능하게 구비된 스윙암(32)과, 이 스윙암(32)에 회전 가능하게 장착되어 상기 폴리싱패드(31)의 상면을 연마하도록 된 컨디셔너(33,34)를 포함하는 연마장치에 있어서;
상기 컨디셔너(33,34)는 상기 스윙암(32)에 장착되어 상기 폴리싱패드(31)의 상면을 연마하는 작업용 컨디셔너(33)와, 상기 플래튼(30)에 근접된 일측에 대기상태로 구비되는 대기용 컨디셔너(34)로 이루어지며;
상기 스윙암(32)에는 상기 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)를 일체로 결합할 수 있도록 된 장착헤드(37)가 선회 가능하게 구비되고;
상기 작업용 컨디셔너(33)와 대기용 컨디셔너(34)는 상기 장착헤드(37)에 의해 선회되어 연마작업과 작업대기의 위치를 상호 교체 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 컨디셔너 교체형 연마장치.
A platen 30 rotatably provided, a polishing pad 31 provided on the upper surface of the platen 30 to polish the workpiece, and rotatably provided on an upper portion of the polishing pad 31. A polishing apparatus comprising a swing arm (32) and a conditioner (33, 34) rotatably mounted to the swing arm (32) to polish an upper surface of the polishing pad (31);
The conditioners 33 and 34 are mounted on the swing arm 32 and provided with a working conditioner 33 for polishing an upper surface of the polishing pad 31 and a standby state on one side of the platen 30. Consisting of a standby conditioner 34;
The swing arm (32) is rotatably provided with a mounting head (37) capable of integrally coupling the working conditioner (33) and the atmospheric conditioner (34);
The working conditioner (33) and the air conditioner (34) is pivoted by the mounting head (37), the conditioner replacement polishing device, characterized in that the position of the polishing operation and the work standby is provided interchangeably.
제3항에 있어서, 상기 장착헤드(37)에는 상기 폴리싱패드(31)의 상면에 상기 컨디셔너(33,34)를 접촉 또는 이격시키도록 승강수단(38)이 구비되는 것을 특징으로 하는 컨디셔너 교체형 연마장치.  4. The conditioner replaceable type according to claim 3, wherein the mounting head (37) is provided with elevating means (38) to contact or space the conditioners (33, 34) on the upper surface of the polishing pad (31). Polishing device.
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