KR101109848B1 - 전자 탐침 미소 분석기용 시편 홀더 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전자 탐침 미소 분석기용 시편 홀더 장치에 관한 것으로 사이 간격이 다른 복수의 끼움부가 형성된 홀더 베이스 플레이트부재와, 상기 홀더 베이스 플레이트부재의 끼움부에 끼워져 결합하며 마운팅 시편의 외주면을 지지하는 복수의 시편 지지대부재를 포함하여 시편의 크기에 따라 상기 복수의 시편 지지대부재를 상기 복수의 끼움부에 선택적으로 결합하여 사용할 수 있는 것이다.
본 발명은 다양한 크기의 시편을 견고히 장착시켜 시편을 정밀하고 안정적으로 분석할 수 있게 하는 효과가 있는 것이다.
또, 본 발명은 다양한 크기의 시편을 하나의 홀더로 고정시킬 수 있어 시편 분석 작업 시간을 단축시킴은 물론 다양한 크기의 홀더를 제조하는데 소요되는 비용을 절감하는 효과가 있는 것이다.

Description

전자 탐침 미소 분석기용 시편 홀더 장치{A holder apparatus for Electron Probe Micro Analyzer}

본 발명은 전자 탐침 미소 분석기용 시편 홀더 장치에 관한 것으로 더 상세하게는 다양한 크기의 시편을 안정적으로 장착 고정할 수 있도록 발명된 것이다.

일반적으로 전자 탐침 미소 분석기(EPMA;Electron Probe Micro Analyzer)는 고체 시편의 화학 조성 즉, 시편의 정량 성분을 분석할 수 있는 장치이다.

상기 전자 탐침 미소 분석기는 전자총에서 가속된 빔을 초점 조정하여 시편에 쏘여 시편을 구성하고 있는 원소들로부터 원소별로 고유한 파장을 가지는 특정 X-선이 발생되고, 이를 X-선 검출기(WDS 또는 EDS)로 측정하여 시편의 화학 조성을 분석하는 것이다.

더 상세히 설명하면, 가속된 전자빔은 시편을 구성하고 있는 원자와 충돌하여 원자의 하부 각에 있는 전자를 떼어내면 빈자리를 형성하고, 빈 자리는 보다 상부 각에 위치한 전자가 떨어지면서 채워지게 된다.

이때 두 전자 사이에 형성된 에너지에 의해 특성 X-선이 방출되며 이들의 에너지는 원자마다 다르므로 이를 이용하여 시편의 구성원소를 분석하며, 또한 이들의 상대적 세기(intensity)를 비교함으로서 각 구성 원소들의 양을 분석하는 것으로, 상기 전자 탐침 미소 분석기는 내부에서 시편을 홀딩시키는 시편 홀딩 장치가 구비된다.

본 발명의 목적은 다양한 크기의 시편을 안정적으로 견고하게 고정할 수 있는 전자 탐침 미소 분석기용 시편 홀더 장치를 제공하는 데 있다.

이러한 본 발명의 과제는 사이 간격이 다른 복수의 끼움부가 형성된 홀더 베이스 플레이트부재와;

상기 홀더 베이스 플레이트부재의 끼움부에 끼워져 결합하며 마운팅 시편의 외주면을 지지하는 복수의 시편 지지대부재를 포함한 전자 탐침 미소 분석기용 시편 홀더 장치를 제공함으로써 해결되는 것이다.

상기 복수의 끼움부는 사이 간격이 서로 다른 직경을 가지도록 상기 홀더 베이스 플레이트부재의 중심에서의 복수의 방사 선상에 일렬로 이격되게 배치되는 것을 특징으로 한다.

상기 시편 지지대부재를 견고히 고정시키는 지지대 고정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 끼움부는 상기 시편 지지대부재의 하단부가 끼워져 결합하도록 상기 홀더 베이스 플레이트부재의 상부면에 형성된 끼움 홈을 포함하며,

상기 홀더 베이스 플레이트부재에는 상기 홀더 베이스 플레이트부재의 중심에서 방사 선상에 일렬로 이격되게 형성된 상기 복수의 끼움 홈을 관통하는 볼트 체결부가 형성되며,

상기 볼트 체결부에 체결되어 상기 끼움 홈 내로 끼워진 상기 시편 지지대부재의 하단부를 가압 고정하는 고정 볼트를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 볼트 체결부에는 상기 끼움 홈을 관통한 상기 시편 지지대부재의 단부가 삽입되게 상기 복수의 끼움 홈에 대응된 복수의 지지 고정 홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 홀더 베이스 플레이트부재의 상부면에서 상기 끼움부의 사이에 배치되게 구비되며 승하강 작동하는 안착 플레이트부재와;

상기 안착 플레이트부재를 승하강 작동시키는 승하강 작동부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 안착 플레이트부재의 상부면에는 공구 삽입 홈이 형성된 것을 특징으로 한다.

본 발명은 다양한 크기의 시편을 견고히 장착시켜 시편을 정밀하고 안정적으로 분석할 수 있게 하는 효과가 있는 것이다.

또, 본 발명은 다양한 크기의 시편을 하나의 홀더로 고정시킬 수 있어 시편 분석 작업 시간을 단축시킴은 물론 다양한 크기의 홀더를 제조하는데 소요되는 비용을 절감하는 효과가 있는 것이다.

도 1은 본 발명의 분해 사시도
도 2는 본 발명의 구조를 도시한 단면도
도 3 내지 도 4는 본 발명의 다른 사용 예를 도시한 단면도

본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

시편은 전자 탐침 미소 분석기의 시편 홀딩 장치에 장착될 때 보통 사상(mapping)을 통한 성분의 분포를 확인하기 위해 수평을 유지한 상태로 장착되어야 한다.

상기한 시편의 수평 유지는 전자 탐침 미소 분석기(EPMA)의 특성상 가장 중요한 시편 전처리 요소인 것이다.

본 발명인 전자 탐침 미소 분석기용 시편 홀더 장치는 전자 탐침 미소 분석기로 분석되는 시편이 마운팅된 마운팅 시편(1)을 안정적이고 견고하게 고정시켜 정확하고 정밀한 분석이 가능하도록 하는 것이다.

상기 마운팅 시편(1)은 시편의 종류 및 크기, 분석 시험의 종류에 따라 직경이 상이하게 제조되며, 이러한 마운팅 시편(1)의 종류 및 크기는 공지로 더 상세한 설명은 생략함을 밝혀둔다.

본 발명인 전자 탐침 미소 분석기용 시편 홀더 장치의 홀더 베이스 플레이트부재(10)는 도 1 내지 도 2에서 도시한 바와 같이 하부면에 전자 탐침 미소 분석기의 스테이지(2)에 고정되는 장착 돌기(10a)가 돌출된다.

또 상기 홀더 베이스 플레이트부재(10)는 사이 간격이 다른 복수의 끼움부(11)가 형성되며, 상기 복수의 끼움부(11)는 후술될 복수의 시편 지지대부재(20)가 끼워져 장착되는 것이다.

상기 복수의 끼움부(11)는 사이 간격이 서로 다른 직경을 가지도록 상기 홀더 베이스 플레이트부재(10)의 중심에서의 복수의 방사 선상에 일렬로 이격되게 배치되어 상기 홀더 베이스 플레이트의 중앙부에서 서로 다른 직경을 가지는 다양한 크기의 마운팅 시편(1)을 안정적으로 안착시킬 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

상기 끼움부(11)에는 상기 홀더 베이스 플레이트부재(10)의 상부면에 안착되는 마운팅 시편(1)의 외주면을 지지하여 상기 마운팅 시편(1)의 위치를 고정시키는 시편 지지대부재(20)가 끼워져 결합된다.

상기 시편 지지대부재(20)는 상기 마운팅 시편(1)의 외주면을 가압하여 상기 마운팅 시편(1)의 위치를 견고히 고정시키는 것이다.

상기 시편 지지대부재(20)는 상기 마운팅 시편(1)의 외주면에 대응되는 원호 형상으로 형성되어 상기 마운팅 시편(1)의 외주면에 밀착 가압하여 상기 마운팅 시편(1)을 더 견고히 고정시킬 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

또 본 발명은 상기 시편 지지대부재(20)를 견고히 고정시키는 지지대 고정부재(30)를 더 포함하는 것이 바람직하다.

상기 끼움부(11)는 상기 시편 지지대부재(20)의 하단부가 끼워져 결합하도록 상기 홀더 베이스 플레이트부재(10)의 상부면에 형성된 끼움 홈을 포함한다.

그리고 상기 홀더 베이스 플레이트부재(10)에는 상기 홀더 베이스 플레이트부재(10)의 중심에서 방사 선상에 일렬로 이격되게 형성된 상기 복수의 끼움 홈을 관통하는 볼트 체결부(12)가 형성되며, 상기 지지대 고정부재(30)는 상기 볼트 체결부(12)에 체결되어 상기 끼움 홈 내로 끼워진 상기 시편 지지대부재(20)의 하단부를 가압 고정하는 고정 볼트(31)를 사용하는 것을 일 예로 한다.

상기 고정 볼트(31)는 볼트 체결로 간단히 상기 끼움 홈 내에 끼워진 상기 시편 지지대부재(20)의 단부를 가압하여 상기 시편 지지대부재(20)의 위치를 견고히 고정하고, 상기 시편 지지대부재(20)가 마운팅 시편(1)의 외주면을 밀착 가압하도록 하는 것이다.

또 상기 볼트 체결부(12)에는 상기 끼움 홈을 관통한 상기 시편 지지대부재(20)의 단부가 삽입되게 상기 복수의 끼움 홈에 대응된 복수의 지지 고정 홈(13)이 형성되는 것이 바람직하다.

상기 시편 지지대부재(20)는 단부가 상기 끼움 홈을 관통하여 상기 볼트 체결부(12)로 체결된 상기 고정 볼트(31)의 단부로 가압되어 위치가 고정되는데 이 때 상기 고정 볼트(31)의 가압력에 의해 단부가 변형되거나 기울어져 위치될 수 있는 것이다.

상기 시편 지지대부재(20)는 단부가 상기 지지 고정 홈(13)에 삽입된 상태에서 상기 고정 볼트(31)에 의해 가압 고정되므로 수직된 위치로 장착 고정됨으로써 상기 마운팅 시편(1)의 외주면을 가압하여 상기 마운팅 시편(1)을 안정적이고 더 견고하게 고정시킬 수 있는 것이다.

본 발명은 도 3에서 도시한 바와 같이 마운팅 시편(1)의 직경에 따라 상기 시편 지지대부재(20)를 상기 복수의 끼움부(11) 즉, 끼움 홈에 선택적으로 결합시킨 후 상기 볼트 체결부(12)에 고정 볼트(31)를 체결함으로써 상기 마운팅 시편(1)의 외주면을 상기 시편 지지대부재(20)로 가압 고정하여 상기 마운팅 시편(1)의 위치를 견고히 고정시키는 것이다.

그리고 본 발명은 하기와 같이 사용되어 상기 마운팅 시편(1)을 홀딩한 후 전자 탐침 미소 분석기의 스테이지(2) 상에 장착되는 것이다.

즉, 본 발명은 상기 시편 지지대부재(20)를 상기 복수의 끼움부(11)에 선택적으로 결합시킴으로써 다양한 직경의 마운팅 시편(1)을 장착 고정시킬 수 있는 것이다.

한편, 본 발명은 상기 홀더 베이스 플레이트부재(10)의 상부면에서 상기 끼움부(11)의 사이에 배치되게 구비되며 승하강 작동하는 안착 플레이트부재(40)와;

상기 안착 플레이트부재(40)를 승하강 작동시키는 승하강 작동부재(50)를 더 포함하는 것이 바람직하다.

상기 안착 플레이트부재(40)는 상기 홀더 베이스 플레이트부재(10)의 중앙부에서 상부면과 평면을 형성하도록 배치되며 상기 승하강 작동부재(50)에 의해 승하강 작동되어 홀딩하려는 마운팅 시편(1)의 높이에 따라 높이 조절이 가능한 것이다.

상기 승하강 작동부재(50)는 상기 안착 플레이트부재(40)의 하단부에 돌출되며 상기 홀더 베이스 플레이트부재(10)에 나사결합된 승하강 작동 볼트(51)를 포함하며, 상기 안착 플레이트부재(40)의 상부면에는 공구 삽입 홈(41)이 형성되는 것이 바람직하다.

상기 안착 플레이트부재(40)는 상기 공구 삽입 홈(41)에 공구를 삽입하여 회전시킴으로써 그 회전 방향에 따라 상기 승하강 작동 볼트(51)가 상, 하 이동하면서 그 높이가 조절되는 것이다.

본 발명은 상기한 바와 같이 직경 및 높이가 다른 다양한 크기의 마운팅 시편(1)을 용이하게 장착 고정, 즉, 홀딩시킬 수 있는 것이다.

본 발명은 상기한 실시 예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지에 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있으며 이는 본 발명의 구성에 포함됨을 밝혀둔다.

10 : 홀더 베이스 플레이트부재 11 : 끼움부
12 : 볼트 체결부 13 : 지지 고정 홈
20 : 시편 지지대부재 30 : 지지대 고정부재
40 : 안착 플레이트부재 50 : 승하강 작동부재

Claims (7)

1. 사이 간격이 다른 복수의 끼움부가 형성된 홀더 베이스 플레이트부재와;
   상기 홀더 베이스 플레이트부재의 끼움부에 끼워져 결합하며 마운팅 시편의 외주면을 지지하는 복수의 시편 지지대부재를 포함하며,
   상기 끼움부는 상기 시편 지지대부재의 하단부가 끼워져 결합하도록 상기 홀더 베이스 플레이트부재의 상부면에 형성된 끼움 홈이며,
   상기 끼움홈은 사이 간격이 서로 다른 직경을 가지도록 상기 홀더 베이스 플레이트부재의 중심에서의 복수의 방사 선상에 일렬로 이격되게 배치되며,
   상기 홀더 베이스 플레이트부재에는 상기 홀더 베이스 플레이트부재의 중심에서 방사 선상에 일렬로 이격되게 형성된 상기 끼움 홈을 관통하는 볼트 체결부가 형성되며,
   상기 볼트 체결부에 체결되어 상기 끼움 홈 내로 끼워진 상기 시편 지지대부재의 하단부를 가압 고정하는 고정 볼트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 탐침 미소 분석기용 시편 홀더 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 볼트 체결부에는 상기 끼움 홈을 관통한 상기 시편 지지대부재의 단부가 삽입되게 상기 복수의 끼움 홈에 대응된 복수의 지지 고정 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 전자 탐침 미소 분석기용 시편 홀더 장치.
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 홀더 베이스 플레이트부재의 상부면에서 상기 끼움부의 사이에 배치되게 구비되며 승하강 작동하는 안착 플레이트부재와;
   상기 안착 플레이트부재를 승하강 작동시키는 승하강 작동부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 탐침 미소 분석기용 시편 홀더 장치.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 안착 플레이트부재의 상부면에는 공구 삽입 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 전자 탐침 미소 분석기용 시편 홀더 장치.

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