KR101098556B1 - Robot diagnosis system, diagnosis method using the same - Google Patents

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KR101098556B1 KR1020110006071A KR20110006071A KR101098556B1 KR 101098556 B1 KR101098556 B1 KR 101098556B1 KR 1020110006071 A KR1020110006071 A KR 1020110006071A KR 20110006071 A KR20110006071 A KR 20110006071A KR 101098556 B1 KR101098556 B1 KR 101098556B1
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윤해근
서강열
박효근
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(주)해피글로벌솔루션
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Abstract

PURPOSE: A robot diagnosis system and a robot diagnosing method using the same are provided to prevent the damage of wafer and the malfunction of robot by monitoring the operation state of a robot in real time. CONSTITUTION: A robot diagnosis system comprises a capture module(30), a computation module(40) and a screen module(50). The capture module collects a command signal and a feedback signal from a driver module(20) and transmits to outside. The command signal is a pre-set reference value applied in a robot in order to activate a robot(T). The feedback signal copes with the actual motion of a robot. In order to grasp the operation state of a robot, the computation module generates the computation data about the vibration, torque, backlash and the location secession of a moving robot in response to the deviation of the command signal and feedback signal through a pre-set algorithm. The screen module displays the computation data about the vibration, torque, backlash and the location secession of a robot through the numerical values and graphic in real time.

Description

로봇 진단시스템 및 이를 이용한 로봇 진단방법 {ROBOT DIAGNOSIS SYSTEM, DIAGNOSIS METHOD USING THE SAME}Robot diagnostic system and robot diagnostic method using same {ROBOT DIAGNOSIS SYSTEM, DIAGNOSIS METHOD USING THE SAME}

본 발명은 로봇의 작동상태를 실시간으로 모니터링하여 로봇 고장의 초기 징후를 발견하고 이를 수리 또는 수정함으로써 예기치 못한 로봇의 급작스런 고장으로 인한 웨이퍼 공정 손실을 방지할 수 있게 되고 웨이퍼의 공정일정과 로봇의 정비계획을 체계적으로 세울 수 있는 로봇 진단시스템 및 이를 이용한 로봇 진단방법에 관한 기술이다.
The present invention monitors the operation status of the robot in real time, detects early signs of robot failure, and repairs or corrects them, thereby preventing wafer process loss due to sudden failure of the robot and maintaining the process schedule and maintenance of the robot. It is a technology for robot diagnosis system which can make a plan systematically and a robot diagnosis method using the same.

일반적으로 웨이퍼를 운반하기 위한 로봇은 이 로봇을 구동하기 위한 구동모터가 일체로 탑재되고 이 구동모터의 구동으로 작동되는 아암이 로봇 몸체에 하나 또는 복수 개 형성된다.In general, a robot for transporting a wafer is integrally mounted with a driving motor for driving the robot, and one or more arms are formed in the robot body to be operated by driving the driving motor.

아암의 단부에는 웨이퍼를 이송하기 위한 트레이가 구비되며, 이 트레이에 웨이퍼가 안착된 상태로 아암이 움직여 웨이퍼를 목적하는 위치까지 이송한다.At the end of the arm, a tray for transporting the wafer is provided, and the arm moves with the wafer seated on the tray to transport the wafer to a desired position.

아암은 로봇의 몸체에 대해 일정한 방향으로 회전을 하거나 로봇의 몸체에 대해 확장 또는 폴딩되면서 목적하는 위치까지 운동을 하게 된다.The arm rotates in a constant direction with respect to the body of the robot or moves to the desired position while being extended or folded with respect to the body of the robot.

그런데 웨이퍼를 이송하는 로봇은 일정시간이 지나 한계수명에 도달하거나 예기치 못한 고장이 발생할 수가 있는데, 특히 처리공정을 위한 웨이퍼를 운반하는 로봇에 있어서, 이러한 고장은 로봇의 동작불능 상태까지 진행이 되어 갑작스런 런다운(Run Down)되고 웨이퍼(Wafer)가 파손되는 물적손실의 문제점을 야기하게 된다.
However, the robot that transports the wafer may reach a limit of life after a certain time, or an unexpected failure may occur. In particular, in a robot that transports the wafer for a processing process, such a failure may suddenly progress to an inoperable state of the robot. It causes a problem of material loss that runs down and breaks the wafer.

상기의 문제점을 해결하기 위해 로봇 고장의 초기 징후를 발견하고 이를 수리 또는 수정함으로써 예기치 못한 로봇의 급작스런 고장으로 인한 웨이퍼 공정손실을 방지할 수 있도록 로봇의 작동상태를 실시간으로 모니터링하여 웨이퍼의 공정일정과 로봇의 정비계획을 체계적으로 세울 수 있는 로봇 진단시스템 및 이를 이용한 로봇 진단방법의 구현이 절실히 요구되고 있다.
In order to solve the above problems, by detecting the initial signs of the robot failure and repairing or correcting them, the operation status of the robot is monitored in real time to prevent the wafer process loss caused by the sudden failure of the robot. There is an urgent need for the implementation of a robot diagnostic system and a robot diagnostic method that can systematically establish a maintenance plan for the robot.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 로봇의 작동상태를 실시간으로 모니터링하여 로봇 고장의 초기 징후를 발견하고 이를 수리 또는 수정함으로써 예기치 못한 로봇의 급작스런 고장으로 인한 웨이퍼 공정 손실을 방지할 수 있게 되고 웨이퍼의 공정일정과 로봇의 정비계획을 체계적으로 세울 수 있는 로봇 진단시스템 및 이를 이용한 로봇 진단방법을 제공함에 있다.The present invention has been proposed in view of the above, and an object of the present invention is to monitor the operating state of a robot in real time to detect an initial sign of a robot failure and repair or correct it, thereby causing a wafer process due to an unexpected failure of the robot. The present invention provides a robot diagnostic system and a robot diagnostic method using the same, which can prevent loss and systematically establish a wafer process schedule and a robot maintenance plan.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 로봇 진단시스템은, 베이(bay)별로 설치된 각 설비들의 챔버 내에 있는 로봇의 동작을 진단하는 진단시스템에 관한 것으로, 로봇을 동작시키기 위해 로봇에 인가되는 기설정된 기준값인 명령신호와 로봇의 실제 동작에 대응하는 피드백신호를 로봇 제어기인 드라이버 모듈로부터 수집하여 외부로 전송하는 캡쳐모듈; 로봇의 동작상태를 파악하기 위해 캡쳐모듈로부터 전송된 명령신호와 피드백신호의 편차에 대하여 기설정된 알고리즘을 통해 연산데이터를 생성하는 연산모듈; 연산데이터를 기반으로 수치와 그래픽으로 실시간 디스플레이하는 스크린 모듈;을 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, the robot diagnostic system according to the present invention relates to a diagnostic system for diagnosing the operation of a robot in a chamber of each facility installed by bays, and is applied to a robot to operate the robot. A capture module configured to collect a command signal which is a set reference value and a feedback signal corresponding to an actual operation of the robot from a driver module which is a robot controller and transmit it to the outside; A calculation module for generating calculation data through a predetermined algorithm for the deviation between the command signal and the feedback signal transmitted from the capture module to determine the operation state of the robot; It is configured to include; screen module for displaying in real time numerically and graphically based on the operation data.

연산모듈에 의한 연산데이터는 명령신호에 따른 로봇의 예상동작에 대해 피드백신호에 따른 실제 동작중인 로봇의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈의 데이터를 연산한다.The calculation data by the calculation module calculates vibration, torque, backlash, and positional deviation data of the robot in actual operation according to the feedback signal with respect to the expected operation of the robot according to the command signal.

스크린 모듈은 연산모듈에 의해 로봇의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈에 대한 연산데이터를 수치와 그래픽으로 디스플레이한다.The screen module displays numerical and graphic calculation data on vibration, torque, backlash, and positional deviation of the robot by the calculation module.

스크린 모듈에 디스플레이된 그래픽은 로봇의 현재상태가 기설정된 기준값인 명령신호와의 일치 또는 오차범위에 따라 다른 색으로 구현된다.The graphic displayed on the screen module is implemented in different colors according to the error range or the coincidence with the command signal which is the preset reference value of the robot.

로봇의 현재 동작상태를 나타내는 피드백신호와 기설정된 기준값인 명령신호와의 차이가 기설정된 오차범위를 초과하는 경우 알람이 울린다.An alarm sounds when the difference between the feedback signal indicating the robot's current operation state and the command signal, which is a preset reference value, exceeds the preset error range.

연산모듈이 복수 개로 배치되는 경우 각각의 연산모듈에 의한 각각의 연산데이터를 네트워크 회선을 통해 실시간으로 전송받아 일정한 챔버내에 설치된 복수 개의 로봇에 대한 동작상태를 실시간으로 모니터링하고 진단하는 중앙관제부를 더 포함하여 구성된다.In the case where a plurality of calculation modules are arranged, the control unit further includes a central control unit for receiving and calculating each operation data by each operation module through a network line in real time to monitor and diagnose the operation status of a plurality of robots installed in a predetermined chamber in real time. It is configured by.

중앙관제부는 네트워크 회선을 통해 각각의 연산모듈로부터 전송된 연산데이터를 기반으로 복수 개의 로봇 모두의 동작상태를 각각의 섹션으로 구획하여 모니터에 디스플레이한다.The central control unit divides the operation state of all the plurality of robots into respective sections and displays them on the monitor based on the operation data transmitted from each operation module through the network line.

중앙관제부의 모니터에 구현된 각각의 섹션 중 어느 하나를 클릭하는 하는 경우 해당하는 로봇의 동작상태를 시계열적(時系列的)으로 구획하여 수치와 그래픽으로 디스플레이한다.
When you click on any one of the sections implemented on the monitor of the central control unit, the operation state of the corresponding robot is divided in time series and displayed numerically and graphically.

본 발명에 따른 진단방법은, 베이(bay)별로 설치된 각 설비들의 챔버 내에 있는 로봇의 동작을 진단하는 진단방법에 관한 것으로, (a) 로봇을 동작시키기 위해 로봇에 인가되는 기설정된 기준값인 명령신호와 로봇의 실제 동작에 대응하는 피드백신호를 캡쳐모듈이 로봇 제어기인 드라이버 모듈로부터 수집하여 외부로 전송하는 단계; (b) 로봇의 동작상태를 파악하기 위해 캡쳐모듈로부터 전송된 명령신호와 피드백신호의 편차에 대하여 기설정된 알고리즘을 통해 연산데이터를 생성하는 단계; (c) 연산데이터를 기반으로 스크린 모듈을 통해 수치와 그래픽으로 실시간 디스플레이하는 단계;를 포함하여 구성된다.Diagnosis method according to the present invention relates to a diagnostic method for diagnosing the operation of the robot in the chamber of each facility installed for each bay (a) a command signal which is a predetermined reference value applied to the robot to operate the robot And collecting feedback signals corresponding to actual operations of the robot from the driver module, which is a robot controller, by the capture module and transmitting them to the outside; (b) generating operation data through a predetermined algorithm for the deviation between the command signal and the feedback signal transmitted from the capture module to determine the operation state of the robot; and (c) displaying in real time numerically and graphically through a screen module based on the operation data.

(b) 단계에서는, 연산모듈의 연산데이터를 기반으로 로봇의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈의 파악이 가능하도록 구성된다.In the step (b), the vibration, torque, backlash, and positional deviation of the robot can be determined based on the calculation data of the calculation module.

(c) 단계에서, 스크린 모듈은 연산모듈의 연산데이터를 기반으로 로봇의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈을 수치와 그래픽으로 디스플레이하도록 구성된다.In step (c), the screen module is configured to display the vibration, torque, backlash, and positional deviation of the robot in numerical and graphical manner based on the operational data of the operational module.

(c) 단계에서, 스크린 모듈에 디스플레이된 그래픽은 로봇의 현재상태가 기설정된 기준값인 명령신호와의 일치 또는 오차범위에 따라 다른 색으로 구현된다.In the step (c), the graphic displayed on the screen module is implemented in a different color according to an error range or a coincidence with a command signal whose current state of the robot is a preset reference value.

(b) 단계 후, (b-1) 연산모듈이 복수 개로 배치되는 경우 각각의 연산모듈에 의한 각각의 연산데이터를 네트워크 회선을 통해 실시간으로 중앙관제부에 전송하며, 전송된 각각의 연산데이터를 기반으로 중앙관제부의 모니터에 각각의 로봇에 대응하는 섹션으로 구획하여 복수 개의 로봇 모두에 대한 현재상태를 실시간 디스플레이하는 단계를 더 포함하여 구성된다.After step (b), when (b-1) a plurality of calculation modules are arranged, the respective calculation data by each calculation module is transmitted to the central control unit in real time through a network line, and the respective calculation data is transmitted. Based on the monitor section of the central control unit based on the section corresponding to each robot further comprises the step of displaying in real time the current status for all the plurality of robots.

(b-1) 단계에서, 모니터에 구현된 각각의 섹션 중 어느 하나를 클릭하는 하는 경우 해당하는 로봇의 동작상태를 시계열적(時系列的)으로 구획하여 수치와 그래픽으로 디스플레이하도록 구성된다.
In step (b-1), when any one of the sections implemented in the monitor is clicked, the operation state of the corresponding robot is divided in time series and displayed numerically and graphically.

본 발명에 따른 로봇 진단시스템 및 이를 이용한 로봇 진단방법은,Robot diagnostic system and robot diagnostic method using the same,

첫째, 로봇의 동작상태를 실시간으로 모니터링하여 로봇 고장의 초기 징후인 로봇 이상 발생시 즉각적으로 조치를 취함으로써 웨이퍼의 파손 및 로봇의 추가고장을 예방할 수 있다.First, by monitoring the operating state of the robot in real time, it is possible to prevent wafer damage and additional failure of the robot by taking immediate action when a robot abnormality occurs, which is an early sign of a robot failure.

둘째, 로봇의 동작상태를 실시간으로 그리고 지속적으로 모니터링하여 웨이퍼의 생산일정과 노후한 로봇의 정비,교체계획을 체계적으로 세울 수 있게 된다.
Second, by monitoring the operation status of the robot in real time and continuously, it is possible to systematically establish the wafer production schedule and the maintenance and replacement of the aging robot.

[도 1]은 본 발명에 따른 로봇 진단시스템을 도시한 블록구성도,
[도 2]는 본 발명에 따른 로봇 진단시스템을 도시한 개략적인 구성도,
[도 3]은 본 발명의 스크린 모듈에 해당 로봇의 현재상태를 디스플레이한 일 상태도,
[도 4]는 본 발명의 다른 실시예에 따른 로봇 진단시스템을 도시한 개략적인구성도,
[도 5]는 본 발명의 중앙관리부 모니터에 각 로봇의 현재상태를 디스플레이한 일 상태도,
[도 6]은 본 발명의 중앙관리부 모니터에 해당 로봇의 현재상태를 디스플레이한 다른 일 상태도,
[도 7]은 본 발명의 중앙관리부 모니터에 해당 로봇의 현재상태를 디스플레이한 또 다른 일 상태도,
[도 8]은 본 발명에 따른 로봇 진단시스템을 통해 스크린 모듈에 로봇의 현재상태를 구현하는 흐름도,
[도 9]는 본 발명에 따른 로봇 진단시스템을 통해 중앙관리부에 로봇의 현재상태를 구현하는 흐름도이다.1 is a block diagram showing a robot diagnostic system according to the present invention;
2 is a schematic configuration diagram showing a robot diagnostic system according to the present invention;
3 is a state diagram displaying the current state of the robot on the screen module of the present invention;
4 is a schematic configuration diagram showing a robot diagnostic system according to another embodiment of the present invention;
5 is a state diagram displaying the current state of each robot on the central management unit monitor of the present invention,
6 is another state diagram displaying the current state of the robot on the central management unit monitor of the present invention,
7 is another one state display the current state of the robot on the central management unit monitor of the present invention,
8 is a flow chart for implementing the current state of the robot on the screen module through the robot diagnostic system according to the present invention;
9 is a flow chart for implementing the current state of the robot to the central management through the robot diagnostic system according to the present invention.

처리공정을 위한 웨이퍼를 운반하기 위해 일정한 챔버내에 설치된 로봇은 고장의 초기현상으로 나타나는 가장 큰 특징은 로봇을 구동하는 구동모터의 구동시와 정지시에 발생하는 진동의 크기이다.Robots installed in certain chambers to transport wafers for processing are the initial characteristics of failures. The biggest characteristic is the magnitude of the vibrations generated when the driving motors driving the robots are stopped.

이러한 구동모터의 진동으로 인한 로봇의 진동현상은 처음에 간헐적으로 나타나며, 점차적으로 증가하게 되면서 웨이퍼(Wafer)의 Load/Unload 시 로봇의 위치이탈(Out-Position) 문제를 일으키게 된다.The vibration phenomenon of the robot due to the vibration of the driving motor appears intermittently at first, and gradually increases, causing a problem of out-position of the robot during the load / unload of the wafer.

그리고, 로봇의 오랜 사용으로 인한 베어링의 마모와 윤활작용 및 점성의 변화로 인해 로봇의 토크(Torque), 즉 로봇을 구동시키는 구동모터의 토크(Torque)에 변화가 발생하게 된다. 이러한 토크 변화의 차이는 구동 시의 동작패턴에 문제를 일으키고 크게는 로봇 아암의 트레이에 안착된 웨이퍼의 슬림(Slip)을 일으키는 원인이 된다.In addition, a change in wear and lubrication and viscosity of the bearing due to long use of the robot causes a change in the torque of the robot, that is, the torque of the drive motor driving the robot. This difference in torque change causes a problem in the operation pattern during driving and largely causes a slip of the wafer seated on the tray of the robot arm.

또한, 로봇의 고장현상이 심화되거나 연계장치들의 노후화로 인해 명령신호의 소실과 누락이 발생할 수 있다. 이때 로봇 아암의 위치가 이탈하게 되고 웨이퍼의 위치이탈(Out-Position) 문제를 일으키게 된다.
In addition, the failure of the robot may be intensified or the command signals may be lost or missing due to the aging of the associated devices. At this time, the position of the robot arm is dislodged and causes an out-position problem of the wafer.

본 발명은 이와 같은 문제들을 해결하기 위해 로봇의 작동상태를 실시간으로 모니터링하여 로봇 고장의 초기 징후를 발견하고 웨이퍼의 공정일정과 로봇의 정비계획을 체계적으로 세울 수 있게 된다.
In order to solve such problems, the present invention monitors the operation state of the robot in real time, detects early signs of robot failure, and systematically establishes a process schedule of the wafer and a maintenance plan of the robot.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 한정하지 않는 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

[도 1]은 본 발명에 따른 로봇 진단시스템을 도시한 블록구성도이고, [도 2]는 본 발명에 따른 로봇 진단시스템을 도시한 개략적인 구성도를 나타낸다.
1 is a block diagram illustrating a robot diagnosis system according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a robot diagnosis system according to the present invention.

[도 1],[도 2]를 참조하면, 본 발명에 따른 로봇 진단시스템은, 베이(bay)별로 설치된 각 설비들의 챔버 내에 있는 로봇의 동작을 진단하는 진단시스템에 관한 것으로, 로봇(T)을 동작시키기 위해 로봇(T)에 인가되는 기설정된 기준값인 명령신호와 로봇(T)의 실제 동작에 대응하는 피드백신호를 로봇(T) 제어기인 드라이버 모듈(20)로부터 수집하여 외부로 전송하는 캡쳐모듈(30); 로봇(T)의 동작상태를 파악하기 위해 캡쳐모듈(30)로부터 전송된 명령신호와 피드백신호의 편차에 대하여 기설정된 알고리즘을 통해 연산데이터를 생성하는 연산모듈(40); 연산데이터를 기반으로 수치와 그래픽으로 실시간 디스플레이하는 스크린 모듈(50);을 포함하여 구성된다.1 and 2, the robot diagnosis system according to the present invention relates to a diagnosis system for diagnosing the operation of a robot in a chamber of each facility installed for each bay, and the robot T. Capture to collect a command signal which is a predetermined reference value applied to the robot T and a feedback signal corresponding to the actual operation of the robot T to operate the robot T from the driver module 20 that is the robot T controller and transmit it to the outside. Module 30; An arithmetic module 40 for generating arithmetic data through a predetermined algorithm with respect to a deviation between a command signal and a feedback signal transmitted from the capture module 30 to grasp the operation state of the robot T; And a screen module 50 for displaying in real time numerically and graphically based on the operation data.

드라이버 모듈(20)은 로봇(T)의 구동모터(M)를 직접 제어하며, 로봇(T)을 동작시키기 위해 로봇(T)에 인가되는 기설정된 기준값인 명령신호와 로봇(T)의 실제 동작에 대응하는 피드백신호를 감지하고, 감지된 각각의 신호 데이터를 외부에 전송한다.The driver module 20 directly controls the driving motor M of the robot T, and the command signal and the actual operation of the robot T, which are predetermined reference values applied to the robot T, to operate the robot T, are controlled. Detects a feedback signal corresponding to and transmits each detected signal data to the outside.

드라이버 모듈(20)은 메인컨트롤러(10)에 의해 제어되며, 메인컨트롤러(10)는 관리자가 로봇(T)의 작동을 제어할 수 있는 입력부와, 로봇(T)의 작동여부를 확인할 수 있는 모니터부가 구비된다. 메인컨트롤러(10)는 운영체제(OS)가 탑재된 PC로 구성될 수 있다.The driver module 20 is controlled by the main controller 10. The main controller 10 includes an input unit for the administrator to control the operation of the robot T, and a monitor for checking whether the robot T is operated. Is provided. The main controller 10 may be configured as a PC on which an operating system (OS) is mounted.

캡쳐모듈(30)은 드라이버 모듈(20)로부터 명령신호와 피드백신호에 대한 신호 데이터를 수집하여 연산모듈(40)에 전송한다.The capture module 30 collects signal data about the command signal and the feedback signal from the driver module 20 and transmits the signal data to the operation module 40.

캡쳐모듈(30)에는 아날로그 신호를 전송하는 CT(Current Transformer) 또는 PT(Potential Transformer)가 탑재될 수 있으며, 드라이버 모듈(20)로부터 명령신호와 피드백신호를 연산모듈(40)에 전송하기 위한 IC모듈이 탑재된다.The capture module 30 may be equipped with a CT (Current Transformer) or PT (Potential Transformer) for transmitting an analog signal, IC for transmitting a command signal and a feedback signal from the driver module 20 to the calculation module 40 The module is mounted.

드라이버 모듈(20)에는 명령신호를 감지하는 센서와 로봇(T)의 구동모터(M)가 실제 회전하는 동작에 대응한 피드백신호를 감지하는 센서가 각각 구비된다.The driver module 20 is provided with a sensor for detecting a command signal and a sensor for detecting a feedback signal corresponding to an operation in which the driving motor M of the robot T actually rotates.

연산모듈(40)에 의한 연산데이터는 명령신호에 따른 로봇(T)의 예상동작에 대해 피드백신호에 따른 실제 동작중인 로봇(T)의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈의 데이터를 연산한다.The calculation data by the calculation module 40 calculates data of vibration, torque, backlash, and positional deviation of the robot T that is actually operating according to the feedback signal with respect to the expected operation of the robot T according to the command signal.

연산모듈(40)에는 A/D 컨버터가 구비되어 캡쳐모듈(30)로부터 입력되는 연산된 데이터를 아날로그 신호로 필터링하고, 소정의 주기로 샘플링, 홀딩한 후 디지털신호로 변환하여 처리한다.The operation module 40 is provided with an A / D converter to filter the calculated data input from the capture module 30 with an analog signal, sample and hold at predetermined intervals, and convert the data into digital signals for processing.

연산모듈(40)에 의해 변환된 디지털신호를 기반으로 피드백신호의 주파수 성분을 분석하여 명령신호를 기준으로 실제 동작한 로봇 구동모터(M)의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈을 각각 파악할 수 있게 된다.
The frequency component of the feedback signal is analyzed based on the digital signal converted by the calculation module 40 so that the vibration, torque, backlash, and positional deviation of the robot driving motor M actually operated based on the command signal can be identified. do.

[도 3]은 본 발명의 스크린 모듈에 해당 로봇의 현재상태를 디스플레이한 일 상태도를 나타낸다.3 shows a state diagram in which the current state of the robot is displayed on the screen module of the present invention.

[도 3]을 참조하면, 스크린 모듈(50)은 연산모듈(40)에 의해 로봇(T)의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈에 대한 연산데이터를 수치와 그래픽으로 디스플레이한다.Referring to FIG. 3, the screen module 50 displays calculation data about vibration, torque, backlash, and positional deviation of the robot T by a calculation module 40 in numerical and graphical manner.

로봇(T)을 구동시키는 구동모터(M)의 단위시간당 회전각도에 상응하는 기설정된 기준값인 명령신호에 대해 구동모터(M)가 실제 회전동작한 피드백신호를 분석함으로써 구동모터(M)의 진동 크기를 파악할 수 있으며, 이에 대응되는 로봇(T)의 진동으로 아암(T1)의 위치이탈을 파악할 수 있게 된다.Vibration of the drive motor M by analyzing a feedback signal in which the drive motor M actually rotates with respect to a command signal which is a predetermined reference value corresponding to a rotation angle per unit time of the drive motor M for driving the robot T. The size can be determined, and the positional deviation of the arm T1 can be detected by the vibration of the robot T corresponding thereto.

그리고 구동모터(M)의 단위시간당 회전각도에 상응하는 기설정된 기준값인 명령신호에 대해 구동모터(M)가 실제 회전동작한 피드백신호를 분석함으로써 구동모터(M)의 토크와 토크 편차를 파악할 수 있게 된다.The torque and torque deviation of the driving motor M may be determined by analyzing the feedback signal in which the driving motor M actually rotates with respect to the command signal which is a preset reference value corresponding to the rotation angle per unit time of the driving motor M. FIG. Will be.

상세하게 명령신호에 기반하여 단위시간당 구동모터(M)에 인가될 전류의 펄스와 구동모터(M)가 실제 회전동작으로 소모된 전류의 펄스를 분석함으로써 구동모터(M)의 토크를 파악할 수 있게 된다.In detail, the torque of the driving motor M can be grasped by analyzing the pulse of the current to be applied to the driving motor M per unit time and the pulse of the current consumed by the actual rotation operation based on the command signal. do.

또한 하나의 로봇(T)을 구동하는 구동모터(M)가 복수 개 배치되는 경우 각 구동모터(M)의 피스백신호를 분석함으로써 각 구동모터(M) 상호간의 토크 편차를 파악할 수 있다.In addition, when a plurality of driving motors M for driving one robot T are arranged, torque deviations between the driving motors M may be determined by analyzing pieceback signals of the driving motors M. FIG.

[도 3]에서 보는 바와 같이, 스크린 모듈(50)에 디스플레이된 그래픽은 로봇(T)의 현재상태가 기설정된 기준값인 명령신호와의 일치 또는 오차범위에 따라 다른 색으로 구현된다.As shown in FIG. 3, the graphic displayed on the screen module 50 may be implemented in a different color according to an error range or a match with a command signal whose current state of the robot T is a preset reference value.

로봇(T)의 현재상태로 양호한 경우에는 초록색으로, 점검을 요하는 경우에는 노랑색으로, 불량한 경우에는 빨강색으로 각각 구분하여 표시할 수 있다.The robot T may be displayed separately in green in good condition, yellow in case of inspection, and red in bad case.

스크린 모듈은 스크린 터치 방식 또는 노트북 형태로서 구비될 수 있고, 전용 소프트웨어에 의해 동작되며 사용자의 입력을 받을 수 있다. 이 사용자 입력값은 연산모듈(40)에서 연산에 필요한 동작의 설정값이나 오차범위에 대한 기준값 등을 의미한다.The screen module may be provided as a screen touch type or a notebook type, and may be operated by dedicated software and receive user input. The user input value refers to a setting value of an operation required for calculation in the calculation module 40 or a reference value for an error range.

[도 2],[도 3]을 참조하면, 로봇(T)의 현재 동작상태를 나타내는 피드백신호와 기설정된 기준값인 명령신호와의 차이가 기설정된 오차범위를 초과하는 경우 알람이 울린다.2 and 3, when a difference between a feedback signal indicating a current operation state of the robot T and a command signal which is a predetermined reference value exceeds a preset error range, an alarm sounds.

로봇(T)의 현재상태가 기설정된 명령신호와 피드백신호의 오차범위를 초과하는 경우 스크린 모듈(50)과 연동되는 알람부(R)가 경보를 울리게 된다.When the current state of the robot T exceeds an error range between a preset command signal and a feedback signal, the alarm unit R interlocked with the screen module 50 sounds an alarm.

[도 4]는 본 발명의 다른 실시예에 따른 로봇 진단시스템을 도시한 개략적인구성도로서, 연산모듈(40)이 복수 개로 배치되는 경우 각각의 연산모듈(40)에 의한 각각의 연산데이터를 네트워크 회선을 통해 실시간으로 전송받아 일정한 챔버내에 설치된 복수 개의 로봇(T)에 대한 동작상태를 실시간으로 모니터링하고 진단하는 중앙관제부(60)를 더 포함하여 구성된다. 네트워크 회선은 바람직하게 이더넷(ethernet), rs485, 동축회선 등이 이용된다.4 is a schematic configuration diagram illustrating a robot diagnosis system according to another exemplary embodiment of the present invention. In the case where a plurality of calculation modules 40 are arranged, the respective calculation data by each calculation module 40 is networked. Received in real time through the line is configured to further include a central control unit 60 for monitoring and diagnosing the operating state of the plurality of robots (T) installed in a certain chamber in real time. The network line is preferably Ethernet, rs485, coaxial line, or the like.

각각의 연산모듈(40)과 연계되는 로봇(T)은 아암(T1)이 하나의 핀으로 연결되어 하나의 구동모터(M)로 작동될 수 있으며, 일반적으로 웨이퍼의 이송을 위한 블레이트(T2)의 동작은 블레이드(T2)와 연결되어 있는 두 개의 아암(T1)과 이 두 개의 아암(T1)과 연결되어 있는 두 개의 구동모터(M)가 동시에 같은 방향 또는 서로 반대방향으로 움직이면서 이루어진다.Robot (T) associated with each operation module 40 is the arm (T1) is connected to one pin can be operated by one drive motor (M), generally for the transfer of the wafer (T2) ) Operation is performed while two arms T1 connected to the blade T2 and two drive motors M connected to the two arms T1 simultaneously move in the same direction or in opposite directions.

이 경우 구동모터(M)는 메인모터와 보조모터로 구비되며, 로봇(T)의 동작은 메인모터와 보조모터가 같이 구동되면서 이루어진다.In this case, the driving motor (M) is provided as a main motor and an auxiliary motor, the operation of the robot (T) is made while the main motor and the auxiliary motor is driven together.

또한, 각각의 연산모듈(40)과 연계되는 로봇(T)은 아암(T1)이 다단으로 장착될 수 있으며, 각 아암(T1)에 대응하여 구동모터(M)가 각각 구비될 수 있다.
In addition, the robot T associated with each of the calculation modules 40 may have the arm T1 mounted in multiple stages, and the driving motor M may be provided corresponding to each arm T1.

[도 5]는 본 발명의 중앙관리부 모니터에 각 로봇의 현재상태를 디스플레이한 일 상태도로서, 중앙관제부(60)는 네트워크 회선을 통해 각각의 연산모듈(40)로부터 전송된 연산데이터를 기반으로 복수 개의 로봇(T) 모두의 동작상태를 각각의 섹션(N)으로 구획하여 모니터(61)에 디스플레이한다.5 is a state diagram displaying the current state of each robot on the monitor of the central management unit of the present invention, the central control unit 60 is based on the calculation data transmitted from each operation module 40 through a network line; The operation state of all the plurality of robots T is divided into sections N and displayed on the monitor 61.

각 로봇(T)에 대응하여 배치된 각각의 섹션(N)은 로봇(T)의 현재상태가 기설정된 기준값인 명령신호와의 일치 또는 오차범위에 따라 다른 색으로 구현된다. 로봇(T)의 현재상태가 양호한 경우에는 초록색으로, 점검을 요하는 경우에는 노랑색으로, 불량한 경우에는 빨강색으로 각각 구분하여 표시할 수 있다.
Each section N disposed corresponding to each robot T is implemented in a different color according to an error range or a coincidence with a command signal whose current state of the robot T is a preset reference value. If the current state of the robot T is good, it may be displayed in green, in case of inspection, in yellow, and in bad color, in red.

[도 6]은 본 발명의 중앙관리부 모니터에 해당 로봇의 현재상태를 디스플레이한 다른 일 상태도로서, 모니터(61)에 구현된 각각의 섹션(N) 중 어느 하나를 클릭하는 하는 경우 해당하는 로봇(T)의 동작상태를 시계열적(時系列的)으로 구획하여 수치와 그래픽으로 디스플레이한다.
FIG. 6 is another state diagram in which the current state of the robot is displayed on the monitor of the central management unit of the present invention, and when a user clicks on any one of the sections N implemented in the monitor 61, the corresponding robot ( The operation state of T) is divided in time series and displayed numerically and graphically.

[도 7]은 본 발명의 중앙관리부 모니터에 해당 로봇의 현재상태를 디스플레이한 또 다른 일 상태도로서, 모니터(61)에 구현된 각각의 섹션(N) 중 어느 하나를 클릭하는 하는 경우 해당하는 로봇(T)의 동작상태 데이터가 저장된 데이터베이스를 나타낸다.
7 is another state diagram in which the current state of the robot is displayed on the monitor of the central management unit of the present invention, and when a user clicks any one of the sections N implemented in the monitor 61, (T) indicates the database in which the operation state data is stored.

[도 8]은 본 발명에 따른 로봇 진단시스템을 통해 스크린 모듈에 로봇의 현재상태를 구현하는 흐름도를 나타낸다.Figure 8 shows a flow chart for implementing the current state of the robot on the screen module through the robot diagnostic system according to the present invention.

본 발명에 따른 로봇 진단방법은, 베이(bay)별로 설치된 각 설비들의 챔버 내에 있는 로봇의 동작을 진단하는 진단방법에 관한 것으로, 로봇을 제어하는 드라이브 모듈로부터 감지된 신호가 캡쳐모듈에 의해 연산모듈을 거쳐 스크린 모듈에 구현되는 과정을 [도 8]을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Robot diagnostic method according to the invention relates to a diagnostic method for diagnosing the operation of the robot in the chamber of each facility installed for each bay (bay), the signal detected from the drive module for controlling the robot by the operation module capture module The process implemented in the screen module via the following will be described in detail with reference to FIG. 8.

먼저, 메인컨트롤러는 로봇 구동모터의 구동을 위해 드라이버 모듈에 기설정된 명령신호를 전송한다(S100).First, the main controller transmits a predetermined command signal to the driver module to drive the robot driving motor (S100).

드라이버 모듈은 로봇을 동작시키는 구동모터의 단위시간당 회전각도에 상응하는 기설정된 명령신호를 감지하고, 동시에 명령신호에 기반하여 로봇 구동모터를 작동시킨다(S110).The driver module detects a predetermined command signal corresponding to a rotation angle per unit time of the driving motor for operating the robot, and simultaneously operates the robot driving motor based on the command signal (S110).

드라이버 모듈은 구동모터가 실제 회전동작한 펄스의 피스백신호를 감지한다(S120). 드라이버 모듈에는 제어기로부터 입력되는 명령신호를 감지하는 센서가 구비되고 구동모터의 실제 회전동작에 대응하는 피드백신호를 감지하는 센서가 각각 구비된다.The driver module detects a pieceback signal of a pulse in which the driving motor is actually rotated (S120). The driver module includes a sensor for detecting a command signal input from the controller, and a sensor for detecting a feedback signal corresponding to an actual rotation operation of the driving motor.

캡쳐모듈은 드라이버 모듈로부터 명령신호와 피드백신호 데이터를 수집하여 연산모듈에 전송한다(S130). 캡쳐모듈에는 아날로그 신호를 전송하는 CT(Current Transformer) 또는 PT(Potential Transformer)가 탑재될 수 있으며, 드라이버 모듈로부터 명령신호와 피드백신호를 연산모듈에 전송하기 위한 IC모듈이 탑재된다.The capture module collects the command signal and the feedback signal data from the driver module and transmits it to the operation module (S130). The capture module may be equipped with a CT (Current Transformer) or PT (Potential Transformer) for transmitting an analog signal, and an IC module for transmitting a command signal and a feedback signal from the driver module to the calculation module.

연산모듈은 명령신호에 따른 로봇의 예상동작에 대해 실제 동작중인 로봇의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈을 파악할 수 있도록 명령신호와 구동모터의 실제 회전동작에 대한 피드백신호의 편차를 기설정된 알고리즘을 통해 연산한다(S140).The algorithm calculates the deviation of the command signal and the feedback signal with respect to the actual rotational motion of the driving motor to identify the vibration, torque, backlash, and positional deviation of the robot in operation. Compute through (S140).

스크린 모듈은 연산모듈의 연산데이터를 기반으로 로봇의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈을 수치와 그래픽으로 디스플레이한다(S150).The screen module displays the vibration, torque, backlash, and positional deviation of the robot in numerical and graphic manners based on the calculation data of the calculation module (S150).

단계 S150에서, 스크린 모듈에 디스플레이된 그래픽은 로봇의 현재상태가 기설정된 기준값인 명령신호와의 일치 또는 오차범위에 따라 다른 색으로 구현된다. 로봇의 현재상태가 양호한 경우에는 초록색으로, 점검을 요하는 경우에는 노랑색으로, 불량한 경우에는 빨강색으로 각각 구분하여 표시할 수 있다.
In operation S150, the graphic displayed on the screen module may be implemented in a different color according to an error range or a match with a command signal whose current state of the robot is a preset reference value. If the robot's current status is good, it can be displayed in green, in case of inspection, in yellow, and in bad color, in red.

[도 9]는 본 발명에 따른 로봇 진단시스템을 통해 중앙관리부에 로봇의 현재상태를 구현하는 흐름도를 나타낸다.9 is a flow chart for implementing the current state of the robot to the central management unit through the robot diagnostic system according to the present invention.

로봇을 제어하는 드라이브 모듈로부터 감지된 신호가 캡쳐모듈에 의해 연산모듈을 거쳐 중앙관제부의 모니터에 구현되는 과정을 [도 9]를 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.The process of the signal detected from the drive module for controlling the robot is implemented in the monitor of the central control unit via the calculation module by the capture module will be described in detail with reference to FIG.

각각의 연산모듈에 의해 연산된 연산데이터는 네트워크 회선을 통해 중앙관제부에 전송된다(S141).Operation data calculated by each operation module is transmitted to the central control unit through the network line (S141).

중앙관제부는 연산모듈로부터 전송된 데이터를 기반으로 복수 개의 로봇 모두의 현재 동작상태를 각각의 섹션으로 구획하여 모니터에 실시간으로 디스플레이한다(S142).The central control unit divides the current operation state of all the plurality of robots into respective sections based on the data transmitted from the operation module, and displays them in real time on the monitor (S142).

중앙관제부의 모니터에 구현된 각각의 섹션 중 어느 하나를 클릭하는 경우 해당하는 로봇의 현재 동작상태를 시계열적으로 구획하여 수치와 그래픽으로 디스플레이한다(S143).
When any one of the sections implemented on the monitor of the central control unit is clicked, the current operation state of the corresponding robot is divided in time series and displayed numerically and graphically (S143).

이상에서 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
Although the present invention has been described in more detail with reference to the examples, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas falling within the scope of the same shall be construed as falling within the scope of the present invention.

10 : 메인 컨트롤러 20 : 드라이버 모듈
30 : 캡쳐모듈 40 : 연산모듈
50 : 스크린 모듈 60 : 중앙관제부
61 : 모니터 T : 로봇
T1 : 아암 T2 : 트레이
M : 구동모터 R : 알람부
N : 섹션 W : 웨이퍼10: main controller 20: driver module
30: capture module 40: calculation module
50: screen module 60: central control unit
61: monitor T: robot
T1: Arm T2: Tray
M: Drive motor R: Alarm part
N: Section W: Wafer

Claims (14)

베이(bay)별로 설치된 각 설비들의 챔버 내에 있는 각각의 로봇 동작을 진단하는 진단시스템에 관한 것으로,
상기 로봇(T)을 동작시키기 위해 상기 로봇(T)에 인가되는 기설정된 기준값인 명령신호와 상기 로봇(T)의 실제 동작에 대응하는 피드백신호를 상기 로봇(T) 제어기인 드라이버 모듈(20)로부터 수집하여 외부로 전송하는 캡쳐모듈(30);
상기 로봇(T)의 동작상태를 파악하기 위해 상기 캡쳐모듈(30)로부터 전송된 상기 명령신호와 상기 피드백신호의 편차에 대하여 기설정된 알고리즘을 통해 실제 동작중인 상기 로봇(T)의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈에 관한 연산데이터를 생성하는 연산모듈(40);
상기 연산모듈(40)에 의해 생성된 상기 로봇(T)의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈에 관한 상기 연산데이터를 수치와 그래픽으로 실시간 디스플레이하는 스크린 모듈(50);
을 포함하는 로봇 진단시스템.The present invention relates to a diagnosis system for diagnosing each robot operation in a chamber of each facility installed by bays.
The driver module 20, which is a robot T controller, outputs a command signal which is a predetermined reference value applied to the robot T and a feedback signal corresponding to an actual operation of the robot T to operate the robot T. A capture module 30 for collecting from and transmitting to the outside;
In order to determine the operating state of the robot T, the vibration, torque, and the like of the robot T in actual operation through a preset algorithm for the deviation between the command signal and the feedback signal transmitted from the capture module 30. A calculation module 40 for generating calculation data relating to a backlash and a positional deviation;
A screen module (50) for real-time display of the calculation data relating to vibration, torque, backlash, and positional deviation of the robot (T) generated by the calculation module (40) in numerical and graphic form;
Robot diagnostic system comprising a. 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 스크린 모듈(50)에 디스플레이된 상기 그래픽은 상기 로봇(T)의 현재상태가 기설정된 기준값인 상기 명령신호와의 일치 또는 오차범위에 따라 다른 색으로 구현되는 것을 특징으로 하는 로봇 진단시스템.The method according to claim 1,
The graphic displayed on the screen module (50) is a robot diagnostic system, characterized in that the current state of the robot (T) is implemented in a different color according to the coincidence or the error range of the command signal which is a predetermined reference value. 청구항 4에 있어서,
상기 로봇(T)의 현재 동작상태를 나타내는 상기 피드백신호와 기설정된 기준값인 상기 명령신호와의 차이가 기설정된 오차범위를 초과하는 경우 알람이 울리는 것을 특징으로 하는 로봇 진단시스템.The method of claim 4,
And a alarm occurs when a difference between the feedback signal indicating the current operation state of the robot T and the command signal, which is a predetermined reference value, exceeds a preset error range. 청구항 1, 4, 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 연산모듈(40)이 복수 개로 배치되는 경우 각각의 상기 연산모듈(40)에 의한 각각의 상기 연산데이터를 네트워크 회선을 통해 실시간으로 전송받아 일정한 챔버내에 설치된 복수 개의 상기 로봇(T)에 대한 동작상태를 실시간으로 모니터링하고 진단하는 중앙관제부(60)를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 로봇 진단시스템.The method according to any one of claims 1, 4, 5,
When the calculation module 40 is arranged in plural, the operation of the plurality of robots T installed in a predetermined chamber by receiving each calculation data by the calculation module 40 in real time through a network line. Robot diagnosis system, characterized in that further comprises a central control unit for monitoring and diagnosing the status in real time (60). 청구항 6에 있어서,
상기 중앙관제부(60)는 상기 네트워크 회선을 통해 각각의 상기 연산모듈(40)로부터 전송된 상기 연산데이터를 기반으로 복수 개의 상기 로봇(T) 모두의 동작상태를 각각의 섹션(N)으로 구획하여 모니터(61)에 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 로봇 진단시스템.The method of claim 6,
The central control unit 60 divides the operation state of all the plurality of robots T into respective sections N based on the operation data transmitted from each operation module 40 through the network line. Robot diagnostic system, characterized in that to display on the monitor (61). 청구항 7에 있어서,
상기 모니터(61)에 구현된 각각의 상기 섹션(N) 중 어느 하나를 클릭하는 하는 경우 해당하는 상기 로봇(T)의 동작상태를 시계열적(時系列的)으로 구획하여 수치와 그래픽으로 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 로봇 진단시스템.The method according to claim 7,
When any one of the sections N implemented in the monitor 61 is clicked, the operation state of the corresponding robot T is divided in time series and displayed numerically and graphically. Robot diagnostic system, characterized in that. 베이(bay)별로 설치된 각 설비들의 챔버 내에 있는 로봇의 동작을 진단하는 진단방법에 관한 것으로,
(a) 상기 로봇을 동작시키기 위해 상기 로봇에 인가되는 기설정된 기준값인 명령신호와 상기 로봇의 실제 동작에 대응하는 피드백신호를 캡쳐모듈이 상기 로봇 제어기인 드라이버 모듈로부터 수집하여 외부로 전송하는 단계;
(b) 상기 로봇의 동작상태를 파악하기 위해 상기 캡쳐모듈로부터 전송된 상기 명령신호와 상기 피드백신호의 편차에 대하여 기설정된 알고리즘을 통해 실제 동작중인 상기 로봇의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈에 관한 연산데이터를 생성하는 단계;
(c) 상기 생성된 상기 로봇의 진동, 토크, 백래쉬, 위치이탈에 관한 상기 연산데이터를 수치와 그래픽으로 실시간 디스플레이하는 단계;
를 포함하는 로봇 진단방법.The present invention relates to a diagnostic method for diagnosing the operation of a robot in a chamber of each facility installed by bays.
(a) collecting a command signal which is a predetermined reference value applied to the robot and a feedback signal corresponding to the actual operation of the robot to operate the robot from a driver module which is a robot controller and collects the feedback signal to the outside;
(b) Regarding vibration, torque, backlash, and positional deviation of the robot in operation through a predetermined algorithm for the deviation between the command signal and the feedback signal transmitted from the capture module to determine the operation state of the robot. Generating operation data;
(c) real-time display of the calculation data on the generated vibration, torque, backlash, and positional deviation of the robot in numerical and graphical manner;
Robot diagnostic method comprising a. 삭제delete 삭제delete 청구항 9에 있어서,
상기 (c) 단계에서 상기 디스플레이된 그래픽은 상기 로봇의 현재상태가 기설정된 기준값인 상기 명령신호와의 일치 또는 오차범위에 따라 다른 색으로 구현되는 것을 특징으로 하는 로봇 진단방법.The method according to claim 9,
The displayed graphics in the step (c) is a robot diagnostic method, characterized in that the current state of the robot is implemented in a different color according to the match or error range of the command signal which is a predetermined reference value. 청구항 9에 있어서,
상기 (b) 단계 후,
(b-1) 상기 연산데이터가 복수 개로 생성되는 경우, 각각의 연산데이터를 네트워크 회선을 통해 실시간으로 중앙관제부에 전송하며, 상기 전송된 각각의 연산데이터를 기반으로 상기 중앙관제부의 모니터에 각각의 상기 로봇에 대응하는 섹션으로 구획하여 복수 개의 상기 로봇 모두에 대한 현재상태를 실시간 디스플레이하는 단계;를 더 포함하여 구성된 로봇 진단방법.The method according to claim 9,
After step (b),
(b-1) When a plurality of operation data are generated, each operation data is transmitted to the central control unit in real time through a network line, and each of the operation data is transmitted to the monitor of the central control unit based on the transmitted operation data. And dividing into sections corresponding to the robots of the robot to display a current state of all of the plurality of robots in real time. 청구항 13에 있어서,
상기 (b-1) 단계에서, 상기 모니터에 구현된 각각의 상기 섹션 중 어느 하나를 클릭하는 하는 경우 해당하는 상기 로봇의 동작상태를 시계열적(時系列的)으로 구획하여 수치와 그래픽으로 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 로봇 진단방법.The method according to claim 13,
In the step (b-1), when any one of the sections implemented in the monitor is clicked, the operation state of the corresponding robot is divided in time series and displayed numerically and graphically. Robot diagnostic method, characterized in that.
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