KR101097757B1 - Nozzle carrier in coater apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 코터 장치의 노즐 캐리어에 관한 것으로, 슬릿 노즐을 운반하는 노즐 캐리어를 구비한 기판 코터 장치에 있어서, 상기 노즐 캐리어는 상기 노즐 조립체의 하부에 위치한 상태로 상기 노즐 조립체에 결합되고, 이동 방향에 수직한 방향의 단면은 상판과 하판과 이들을 연결하는 연결판으로 이루어진 'ㄷ'자 형상을 포함하되, 상기 상판과 상기 하판은 서로 마주보는 상판돌출부와 하판돌출부가 상기 연결판과 결합된 위치로부터 일측 방향으로 돌출되어, 서로 마주보는 상기 상판돌출부와 상기 하판돌출부를 연결하는 기둥재가 개재되도록 구성됨으로써, 'ㄷ'자 형상의 노즐 캐리어를 제작함에 있어서 상판과 하판의 사이를 연결판으로만 연결했던 종래와 달리, 'ㄷ'자 형상의 노즐 캐리어에 편심력이 작용하여 뒤틀리는 힘이 작용하더라도, 상판과 하판이 연결재로만 상호 연결되지 않고 연결재의 일측에 기둥재로 상호 결합되므로, 상판과 하판의 상대적인 뒤틀림 변위에 대하여 보다 견고하게 지지할 수 있으며, 조립 공정 및 보수 공정에서 노즐을 제어하는 신호선의 처리가 용이해지고, 세련되고 깔끔한 외관을 구성할 수 있도록 하는 기판 코터 장치의 노즐 캐리어를 제공한다.The present invention relates to a nozzle carrier of a substrate coater device, comprising: a substrate coater device having a nozzle carrier for carrying a slit nozzle, wherein the nozzle carrier is coupled to the nozzle assembly with the nozzle carrier positioned below the nozzle assembly and moved; The cross section of the direction perpendicular to the direction includes a 'c' shape consisting of an upper plate and a lower plate and a connecting plate connecting them, wherein the upper plate and the lower plate are coupled to the connecting plate by the upper and lower protrusions facing each other. Protruding in one direction from the side, and is configured to be interposed between the upper plate projection and the lower plate projection facing each other, by connecting the connection between the upper plate and the lower plate only in the manufacture of the 'c' shaped nozzle carrier Unlike the conventional one, even though the eccentric force acts on the 'c' shaped nozzle carrier and the twisting force acts, Since the upper plate and the lower plate are not connected to each other only by the connecting material, but are mutually coupled to one side of the connecting material by the column material, the upper plate and the lower plate can be supported more firmly against the relative distortion displacement of the upper plate and the lower plate. Provided is a nozzle carrier of a substrate coater device that facilitates processing and enables a refined and neat appearance.

기판 코터 장치, 노즐, 노즐 캐리어, 기둥재, 상판돌출부, 하판돌출부Substrate Coater Device, Nozzle, Nozzle Carrier, Column Material, Top Plate Projection, Bottom Plate Projection

Description

기판 코터 장치의 노즐 캐리어 {NOZZLE CARRIER IN COATER APPARATUS}Nozzle Carrier of Substrate Coater Device {NOZZLE CARRIER IN COATER APPARATUS}

본 발명은 기판 코터 장치의 노즐 캐리어에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 기판의 표면에 약액을 도포하기 위하여 노즐을 일정한 경로에 따라 이동시키는 노즐 캐리어의 중량을 일정하게 유지하면서도 틀어지는 힘에 대하여 견고하게 지지할 수 있게 됨에 따라 구조적 안전성이 확보된 기판 코터 장치의 노즐 캐리어에 관한 것이다.The present invention relates to a nozzle carrier of a substrate coater device. More particularly, the present invention relates to a nozzle carrier of a substrate coater device. The present invention relates to a nozzle carrier of a substrate coater device, which is structurally secured as it can be supported.

LCD 등 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리 등으로 제작된 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다. LCD의 크기가 작았던 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다. In the process of manufacturing flat panel displays, such as LCD, the coating process of apply | coating chemical liquids, such as a resist liquid, to the surface of the to-be-processed substrate made from glass etc. is accompanied. Conventionally, when the size of the LCD was small, a spin coating method was used in which the chemical was applied to the surface of the substrate by rotating the substrate while applying the chemical to the center of the substrate.

그러나, LCD 화면의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐과 피처리 기판을 상대 이동시키면서 슬릿 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 표면에 도 포하는 방식의 코팅 방법이 사용되고 있다. However, as the size of the LCD screen increases, spin coating is rarely used, and the chemical liquid is processed from the slit nozzle while relatively moving the slit-shaped slit nozzle having a length corresponding to the width of the substrate and the substrate to be processed. The coating method of the method of apply | coating to the surface of a board | substrate is used.

즉, 도1에 도시된 바와 같이, 기판 코터 장치(1)는 기판(G)을 지지하는 스테이지(10)와, 기판(G)의 폭만큼 긴 폭으로 형성되어 도면부호 20d로 표시된 방향으로 기판(G)과 상대이동하여 기판(G)의 표면에 약액(PR)을 일정 두께로 도포하는 슬릿 노즐(20)과, 슬릿 노즐(20)에 약액(PR)을 공급하는 약액 공급부(30)와, 슬릿 노즐(20)과 약액 공급부(30)가 결합된 노즐 조립체의 하부에서 상기 슬릿 노즐(20)을 이동시키는 노즐 캐리어(40)로 구성된다. That is, as shown in Fig. 1, the substrate coater device 1 is formed with a stage 10 supporting the substrate G and a width as long as the width of the substrate G, and the substrate in the direction indicated by reference numeral 20d. A slit nozzle 20 which moves relative to (G) and applies the chemical liquid PR to the surface of the substrate G with a predetermined thickness, and a chemical liquid supply unit 30 that supplies the chemical liquid PR to the slit nozzle 20; The nozzle carrier 40 moves the slit nozzle 20 under the nozzle assembly in which the slit nozzle 20 and the chemical liquid supply part 30 are coupled.

상기 약액 공급부(30)는 약액이 채워진 버퍼(31)로부터 펌프(32)를 이용하여 약액 공급관(33)을 통해 기판(G)에 도포될 약액을 슬릿 노즐(20)에 공급한다. The chemical liquid supply unit 30 supplies the chemical liquid to be applied to the substrate G to the slit nozzle 20 through the chemical liquid supply pipe 33 by using the pump 32 from the buffer 31 filled with the chemical liquid.

상기 노즐 캐리어(40)는 슬릿 노즐(20)을 기판(G)에 대하여 도면부호 20d로 표시된 방향으로 상대 이동시키면서 슬릿 노즐(20)의 토출구로부터 토출되는 약액(PR)을 기판(G)의 표면에 도포하는 것을 보조한다. 이를 위하여, 영구 자석을 포함하는 레일(42)을 감싸는'ㄷ'자 형상의 단면으로 이루어지고, 내부에 전자석 등이 설치되어, 리니어 모터와 동일한 원리로 전자기력에 의해 노즐 캐리어(40)의 'ㄷ'자 형상의 몸체(41,41)가 이동된다.The nozzle carrier 40 carries the chemical liquid PR discharged from the discharge port of the slit nozzle 20 while moving the slit nozzle 20 relative to the substrate G in the direction indicated by reference numeral 20d. To aid in application. To this end, it is made of a 'c' shaped cross section surrounding the rail 42 including a permanent magnet, an electromagnet or the like is installed therein, 'c' of the nozzle carrier 40 by the electromagnetic force in the same principle as the linear motor 'Shaped bodies 41 and 41 are moved.

그러나, 이와 같이 구성된 노즐 캐리어(40)는 기판의 대형화 추세에 따라 대형화되어 중량이 큰 슬릿 노즐(20)과 펌프(32)등의 하중을 지지하면서 왕복 이동을 하므로, 노즐 캐리어(40)의 양측 몸체(41, 41')가 완전히 일치하는 속도로 동일하게 진행하지 못하는 경우가 종종 발생된다. 이 때, 'ㄷ'자 단면의 캐리어 몸체(41,41')는 도2에 도시된 바와 같이 뒤틀리는 힘이 작용하여 틀어지는 데, 이 틀 어지는 변형에 의해 슬릿 노즐(20)의 이동이 더욱더 부정확하게 제어되는 심각한 문제가 야기되었다. However, the nozzle carrier 40 configured as described above is enlarged in accordance with the trend of increasing the size of the substrate so that the nozzle carrier 40 reciprocates while supporting the load of the heavy slit nozzle 20, the pump 32, and the like, and therefore, both sides of the nozzle carrier 40. It is often the case that the bodies 41, 41 ′ do not progress equally at a perfectly matched speed. At this time, the carrier body (41, 41) of the cross-section 'c' is twisted by the twisting force acts as shown in Figure 2, the movement of the slit nozzle 20 is more inaccurate due to this twisting deformation A serious problem that is controlled has arisen.

더욱이, 이와 같은 캐리어 몸체(41, 41')의 틀어짐이 탄성 영역을 벗어나거나 캐리어 몸체(41, 41')를 형성하는 상판, 하판, 연결판 사이의 결합된 상대 위치가 변형되는 경우에는, 캐리어 몸체(41, 41')의 영구 변형 이후에는 기판(G)의 전 면적에 대하여 기판(G)에 대한 상대 이동이 균일하게 이루어지지 못함에 따라, 기판(G)의 표면에 도포되는 약액의 두께가 균일하지 않게 되는 심각한 문제가 야기되기도 한다. Moreover, in the case where such a twist of the carrier bodies 41 and 41 'is out of the elastic region or the combined relative position between the upper plate, the lower plate and the connecting plate forming the carrier bodies 41 and 41' is deformed, the carrier After permanent deformation of the bodies 41 and 41 ', the relative movement with respect to the substrate G with respect to the entire area of the substrate G is not uniform, so that the thickness of the chemical liquid applied to the surface of the substrate G There is also a serious problem that is not uniform.

따라서, 상기 캐리어 몸체(41, 41')가 무거운 노즐 조립체(20, 30)를 효과적으로 지지하면서, 노즐 캐리어(40)의 양측에 위치한 캐리어 몸체(41, 41')가 약간의 편차를 두고 이동하여 틀어지는 힘이 작용하더라도, 캐리어 몸체(41, 41')의 무게를 거의 증가시키지 않으면서 효과적으로 틀어지는 힘을 상쇄시키고 견딜수 있도록 할 필요성이 크게 대두되고 있다.Thus, while the carrier bodies 41 and 41 'effectively support the heavy nozzle assemblies 20 and 30, the carrier bodies 41 and 41' located on both sides of the nozzle carrier 40 move with a slight deviation. Even if the twisting force acts, there is a great need to effectively offset and withstand the twisting force with little increase in the weight of the carrier bodies 41 and 41 '.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 기판의 표면에 약액을 도포하기 위하여 노즐을 일정한 경로에 따라 이동시키는 노즐 캐리어의 중량을 일정하게 유지하면서도 틀어지는 힘에 대하여 견고하게 지지할 수 있게 됨에 따라 구조적 안전성이 확보되는 기판 코터 장치의 노즐 캐리어를 제공하는 것을 그 목적 으로 한다. In order to solve the problems described above, the present invention can be firmly supported against the distorting force while maintaining a constant weight of the nozzle carrier for moving the nozzle along a predetermined path in order to apply the chemical to the surface of the substrate. Accordingly, an object of the present invention is to provide a nozzle carrier of a substrate coater device, which ensures structural safety.

또한, 본 발명은 틀어지는 힘에 대하여 노즐 캐리어의 구조적 안정성을 확보함과 동시에, 슬릿 노즐을 제어하는 각종 신호선들의 통로를 구비함에 따라, 신호선들의 처리를 용이하게 할 뿐 만아니라, 세련된 미관을 갖도록 하는 것을 다른 목적으로 한다. In addition, the present invention ensures the structural stability of the nozzle carrier against the distorting force, and at the same time having a passage of various signal lines for controlling the slit nozzle, not only to facilitate the processing of the signal lines, but also to have a refined aesthetics For other purposes.

본 발명은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 기판을 지지하는 스테이지와, 상기 스테이지 상의 기판에 약액을 도포하는 슬릿 노즐을 상하 이동 가능하게 설치한 노즐 조립체와, 상기 슬릿 노즐이 상기 기판의 상면을 지나도록 상기 슬릿 노즐을 운반하는 노즐 캐리어를 구비한 기판 코터 장치에 있어서, 상기 노즐 캐리어는 상기 노즐 조립체의 하부에 위치한 상태로 상기 노즐 조립체에 결합되고, 이동 방향에 수직한 방향의 단면은 상판과 하판과 이들을 연결하는 연결판으로 이루어진 'ㄷ'자 형상을 포함하되, 상기 상판과 상기 하판은 서로 마주보는 상판돌출부와 하판돌출부가 상기 연결판과 결합된 위치로부터 일측 방향으로 돌출되어, 서로 마주보는 상기 상판돌출부와 상기 하판돌출부를 연결하는 기둥재가 개재된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 노즐 캐리어를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a nozzle assembly including a stage for supporting a substrate, a slit nozzle for applying a chemical solution to the substrate on the stage such that the slit nozzle is movable up and down, and the slit nozzle is an upper surface of the substrate. A substrate coater device having a nozzle carrier for transporting the slit nozzle to pass through, wherein the nozzle carrier is coupled to the nozzle assembly with the nozzle carrier positioned below the nozzle assembly, the cross section being in a direction perpendicular to the direction of movement, the top plate. And a 'c' shape consisting of a lower plate and a connecting plate connecting them, wherein the upper plate and the lower plate protrude in one direction from a position at which the upper and lower plate protrusions facing each other are coupled to the connecting plate and face each other. The pillar is characterized in that the pillar connecting the upper plate protrusion and the lower plate protrusion is interposed. Provide a nozzle carrier for the plate coater device.

이는, 'ㄷ'자 형상의 노즐 캐리어를 제작함에 있어서 상판과 하판의 사이를 연결판으로만 연결했던 종래와 달리, 연결판이 상판과 하판과 결합된 위치로부터 일측 방향으로 서로 마주보는 상판돌출부와 하판돌출부가 형성되고, 이들을 상호 기둥재로 연결함으로써, 'ㄷ'자 형상의 노즐 캐리어에 편심력이 작용하여 뒤틀리는 힘이 작용하더라도, 상판과 하판이 연결재로만 상호 연결되지 않고 연결재의 일측에 기둥재로 상호 결합되므로, 상판과 하판의 상대적인 뒤틀림 변위에 대하여 보다 견고하게 지지할 수 있도록 하기 위함이다. This is different from the prior art in which the upper plate and the lower plate are connected only by the connecting plate in manufacturing the 'c'-shaped nozzle carrier, and the upper plate protrusion and the lower plate facing each other in one direction from the position where the connecting plate is combined with the upper plate and the lower plate. The protrusions are formed and connected to each other by the pillars, so that even if the eccentric force acts on the 'c' shaped nozzle carrier and the twisting force is applied, the upper plate and the lower plate are not connected to each other only by the connecting material, but the pillars on one side of the connecting material. Since it is mutually coupled, it is to be able to more firmly support the relative distortion displacement of the upper plate and the lower plate.

이 때, 상기 상판돌출부와 상기 하판돌출부는 상기 연결판으로부터 바깥쪽으로 돌출되는 것이 상기 기둥재를 조립하고 신호선들을 그 사잇 공간에 정리하는 것이 용이하므로 바람직하다. 즉, 상기 다수의 상판돌출부 사이의 수직 빈 공간은 신호선이 설치된다.At this time, it is preferable that the upper plate protrusion and the lower plate protrusion protrude outward from the connecting plate because it is easy to assemble the pillar material and arrange the signal lines in the space. That is, a signal line is provided in the vertical empty space between the plurality of top plate protrusions.

그리고, 노즐 캐리어의 상판과 하판 사이의 상대 변위를 효과적으로 억제하기 위하여, 상기 상판돌출부와 상기 하판돌출부는 2개 이상 형성된다. In order to effectively suppress the relative displacement between the upper plate and the lower plate of the nozzle carrier, two or more of the upper plate protrusion and the lower plate protrusion are formed.

상기 기둥재는 판재, 절곡된 판재, 중실봉재, 중공봉재 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다. 예컨대, 단면 계수를 높이면서 철재의 사용량을 줄일 수 있도록 세워진 'ㄷ'형상의 절곡된 판재로 형성될 수도 있다.The pillar member may be formed of any one or more of a plate member, a bent plate member, a solid rod member, and a hollow rod member. For example, it may be formed of a bent plate of the '' 'erected to reduce the amount of steel used while increasing the cross-sectional coefficient.

그리고, 상기 상판돌출부와 상기 하판돌출부의 선단부를 덮는 덮개판을 추가적으로 구비하여, 상판돌출부, 하판돌출부, 기둥재 및 신호선 등이 외관상 드러나는 것을 방지하여, 지저분하지 않고 깔끔하고 세련된 디자인으로 기판 코터 장치을 구성할 수 있도록 한다. 또한, 덮개판의 안쪽에는 노즐 등을 제어하는 신호선 또는 전원선이 통과하는 데, 이들을 덮개판이 가려줌과 동시에 모아줌으로써, 기판 코터 장치의 조립 공정이나 보수 공정 중에 이들 전선의 처리를 보다 용이하게 하는 장점도 얻어진다.In addition, a cover plate covering the top end of the upper protrusion and the lower protrusion may further include a cover plate to prevent the upper protrusion, the lower protrusion, the pillar material, and the signal line from appearing on the outside, thereby constructing a substrate coater device with a clean and refined design. To help. In addition, a signal line or a power line for controlling a nozzle or the like passes through the inside of the cover plate, and the cover plate covers the cover plate and collects them together, thereby making it easier to process these wires during the assembly or repair process of the substrate coater device. Advantages are also obtained.

상기 덮개판이 상판과 하판의 상대 변위를 억제하는 데 기여할 수 있도록 상기 상판돌출부와 상기 하판돌출부와 상기 기둥재에 각각 결합되는 것이 효과적이다.It is effective that the cover plate is coupled to the top plate protrusion, the bottom plate protrusion and the pillar material, respectively, to contribute to suppressing the relative displacement of the top plate and the bottom plate.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 'ㄷ'자 형상의 노즐 캐리어를 제작함에 있어서 상판과 하판의 사이를 연결판으로만 연결했던 종래와 달리, 연결판이 상판과 하판과 결합된 위치로부터 일측 방향으로 서로 마주보는 상판돌출부와 하판돌출부가 형성되고, 이들을 상호 기둥재로 연결함으로써, 'ㄷ'자 형상의 노즐 캐리어에 편심력이 작용하여 뒤틀리는 힘이 작용하더라도, 상판과 하판이 연결재로만 상호 연결되지 않고 연결재의 일측에 기둥재로 상호 결합되므로, 상판과 하판의 상대적인 뒤틀림 변위에 대하여 보다 견고하게 지지할 수 있는 유리한 효과가 얻어진다. As described above, the present invention, unlike the prior art that only the connection between the upper plate and the lower plate in the manufacture of the 'c' shaped nozzle carrier by the connecting plate, the connecting plate in one direction from the position where the upper plate and the lower plate is coupled The upper and lower projections facing each other are formed and connected to each other by pillars, so that even if an eccentric force acts on the 'C'-shaped nozzle carrier and the twisting force is applied, the upper and lower plates are not connected to each other only by the connecting material. Since it is mutually coupled to one side of the connecting member in the column material, an advantageous effect that can be more firmly supported against the relative distortion displacement of the upper plate and the lower plate is obtained.

또한, 본 발명은, 상판돌출부와 하판돌출부가 각각 복수로 형성되는 경우에는, 상판돌출부와 하판돌출부를 연결하는 기둥재 사이의 빈 공간이 형성되므로, 이 빈 공간에 노즐이나 펌프를 제어하는 신호선, 전원을 공급하는 전원 공급선이 위치할 수 있게 되므로, 이들 전선이 외부에 드러나지 않아 깔끔한 외관을 구현할 수 있으며, 기판 코터 장치를 조립하거나 유지 보수하는 과정에서 이들 전선을 용이하게 처리할 수 있는 장점이 얻어진다.In addition, in the present invention, when a plurality of upper projections and lower projections are respectively formed, an empty space is formed between the pillars connecting the upper projection and the lower projection, and thus the signal line for controlling the nozzle or the pump in the empty space; Since the power supply line for supplying power can be located, these wires are not exposed to the outside, so that a neat appearance can be realized, and the advantages of easily handling these wires during the assembly or maintenance of the board coater device are obtained. Lose.

무엇보다도, 본 발명은 연결판이 상판과 하판의 끝단에 위치하지 않고 상판과 하판의 끝단으로부터 약간 내측에 위치하도록 하여, 상판돌출부와 하판돌출부를 형성하므로, 가벼운 기둥재의 무게만 증가시켜 노즐 캐리어의 비틀림 변형에 대한 저항력을 매우 크게 향상시킬 수 있는 유리한 효과가 있다.Above all, in the present invention, the connecting plate is not located at the end of the upper plate and the lower plate, but is located slightly inward from the ends of the upper plate and the lower plate, so that the upper plate protrusion and the lower plate protrusion are formed, thereby increasing the weight of the light pillar and only twisting the nozzle carrier. There is an advantageous effect that can greatly improve the resistance to deformation.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치(100)의 노즐 캐리어(140)를 상술한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, the nozzle carrier 140 of the substrate coater apparatus 100 according to the exemplary embodiment will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail to avoid obscuring the subject matter of the present invention.

도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 캐리어를 구비한 기판 코터 장치의 구성을 도시한 정면도, 도4는 도3의 노즐 캐리어와 노즐 조립체가 결합된 형상을 도시한 사시도, 도5는 도4의 노즐 캐리어의 구성을 도시한 사시도이다.Figure 3 is a front view showing the configuration of a substrate coater device having a nozzle carrier according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a perspective view showing the shape of the nozzle carrier and the nozzle assembly of Figure 3, Figure 5 4 is a perspective view showing the configuration of the nozzle carrier of FIG.

도3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 캐리어(140)를 구비한 기판 코터 장치(100)는 기판(G)을 지지하는 기판 스테이지(110)와, 기판 스테이지(110)의 상측의 기판(G) 표면에 약액(PR)을 일정 두께로 도포하는 슬릿 노즐(121)을 고정하는 노즐 조립체(120)와, 슬릿 노즐(121)에 약액(PR)을 공급하도록 노즐 조립체(120)에 설치된 약액 공급부(130)와, 노즐 조립체(120)의 하부에 결합되어 노즐 조립체(120)를 기판(G)에 대하여 상대 이동시키는 노즐 캐리어(140)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 3, the substrate coater apparatus 100 including the nozzle carrier 140 according to the exemplary embodiment may include a substrate stage 110 supporting the substrate G, and a substrate stage 110. A nozzle assembly 120 for fixing the slit nozzle 121 for applying the chemical liquid PR to a surface of the substrate G on the upper side of the substrate G, and a nozzle assembly for supplying the chemical liquid PR to the slit nozzle 121. And a nozzle carrier 140 coupled to the lower portion of the nozzle assembly 120 to move the nozzle assembly 120 relative to the substrate G.

상기 기판 스테이지(110)는 기판(G)을 그 상면에 밀착 고정한 상태로 유지시 킨다. 그리고, 기판 스테이지(110)의 하측에는 지면으로부터 기판 스테이지(110)가 정밀한 수평 상태를 유지하도록 고정 조절 다이(110a)가 위치하며, 조절 다이(110a)의 양측에는 지지대(111)가 구비되어 노즐 캐리어(140)의 이동 경로인 레일(미도시)을 설치하는 공간으로 활용된다.The substrate stage 110 maintains the substrate G in close contact with the upper surface thereof. In addition, a fixed adjustment die 110a is positioned below the substrate stage 110 to maintain the precise horizontal state of the substrate stage 110 from the ground, and supports 111 are provided at both sides of the adjustment die 110a to provide a nozzle. It is utilized as a space for installing a rail (not shown) which is a moving path of the carrier 140.

상기 노즐 조립체(120)는 약액 공급부(130)를 통해 공급받은 약액(PR)을 스테이지(110)의 상면에 고정된 기판(G) 상에 일정한 두께로 도포하는 슬릿 노즐(121)과, 슬릿 노즐(121)을 상하로 이동 구동하는 구동 모터(122)와, 슬릿 노즐(121)을 고정하도록 수평 방향으로 연장 형성된 노즐 고정 몸체(123)로 구성된다.The nozzle assembly 120 includes a slit nozzle 121 for applying a chemical liquid PR supplied through the chemical liquid supply unit 130 to a substrate G fixed to an upper surface of the stage 110 to a predetermined thickness, and a slit nozzle. And a nozzle fixing body 123 extending in the horizontal direction so as to fix the slit nozzle 121.

상기 약액 공급부(130)는 약액이 채워진 버퍼로부터 펌프(131)를 이용하여 약액 공급관(131)을 통해 기판(G)에 도포될 약액을 슬릿 노즐(121)에 공급한다. The chemical liquid supply unit 130 supplies the chemical liquid to be applied to the substrate G to the slit nozzle 121 through the chemical liquid supply pipe 131 by using the pump 131 from the buffer filled with the chemical liquid.

상기 노즐 캐리어(140)는 도5에 도시된 바와 같이 노즐 조립체(120)와 결합하도록 다수의 결합공이 형성된 상판(141)과, 레일을 감싸도록 상판(141)으로부터 하방으로 이격된 하판(142)과, 상판(141)과 하판(142)의 끝단으로부터 소정의 깊이(d)만큼 내측으로 이동된 상태로 상판(141)과 하판(142)에 각각 결합된 연결판(143)과, 연결판(143)에 대하여 바깥쪽으로 돌출된 2개의 상판돌출부(141a)와 하판돌출부(142a)의 사이를 연결하는 기둥재(144)와, 상판(141)과 하판(142)과 기둥재(144)의 바깥쪽 선단면(66)에 결합되는 덮개판(145)으로 구성된다. 이를 위해, 이들 선단면(66)에는 덮개판(145)의 고정을 위한 다수의 볼트공이 형성된다.As shown in FIG. 5, the nozzle carrier 140 has a top plate 141 having a plurality of coupling holes formed therein to be coupled to the nozzle assembly 120, and a bottom plate 142 spaced downward from the top plate 141 to surround the rail. And a connecting plate 143 coupled to the upper plate 141 and the lower plate 142 in a state in which the upper plate 141 and the lower plate 142 are moved inwardly by a predetermined depth d, and a connecting plate ( 143 and the upper plate 141 and the lower plate 142 and the outside of the pillar 144 that connects between the two upper projection 141a and the lower projection 142a protruding outward with respect to 143 The cover plate 145 is coupled to the front end surface 66. For this purpose, a plurality of bolt holes for fixing the cover plate 145 is formed in these front end surfaces (66).

여기서, 상판(141)과 하판(142)은 연결판(143)에 대하여 소정 거리(d)만큼 외측으로 전부 돌출될 수도 있지만, 도5에 도시된 바와 같이, 도면부호 77로 표시된 빈 공간이 형성되도록, 상판돌출부(141a)와 하판돌출부(142a)는 복수로 돌출되는 것이 바람직하다. 이에 의해, 기둥재(144)의 양측에 생성된 빈 공간(77)에는, 노즐 캐리어(140)의 상측에 위치한 펌프(131), 각종 전자 밸브 등을 제어하고 전원을 공급하는 각종 신호선, 전원선 등이 통과한다. 그리고 덮개판(145)으로 이 빈 공간(77)을 가리면 이들 전선들이 외부로부터 은폐되므로, 세련되고 깔끔한 외관을 갖게 된다. Here, although the upper plate 141 and the lower plate 142 may all protrude outwardly by a predetermined distance d with respect to the connecting plate 143, as shown in FIG. 5, an empty space denoted by reference numeral 77 is formed. Preferably, the upper plate protrusion 141a and the lower plate protrusion 142a protrude in plural. As a result, various signal lines and power lines for controlling the pump 131 located above the nozzle carrier 140, various solenoid valves, and the like and supplying power to the empty space 77 generated on both sides of the pillar member 144. The back passes. When the empty space 77 is covered by the cover plate 145, the electric wires are concealed from the outside, thereby providing a refined and neat appearance.

한편, 전선들을 통과하는 공간(77)을 노즐 캐리어(140)에 형성하여 둠으로써, 기판 코터 장치(100)를 제작하거나 유지 보수하는 과정에서 전선의 주변을 손질할 경우에 전선을 한쪽에 쉽게 위치시킬 수 있으므로, 이들 작업을 보다 용이하게 할 수 있다. On the other hand, by forming a space 77 passing through the wires in the nozzle carrier 140, the wires are easily positioned on one side when the periphery of the wires is trimmed in the process of manufacturing or maintaining the substrate coater device 100. Since this can be done, these operations can be made easier.

상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치(100)의 노즐 캐리어(140)는, 연결판(143)이 상판(141)과 하판(142)과 결합된 위치로부터 일측 방향으로 소정의 깊이(d)만큼 들여진 상태에서 상판(141) 및 하판(142)과 결합되고, 이에 의해 형성되는 상판돌출부(141a)와 하판돌출부(142b)를 기둥재(144)로 상호 연결함으로써, 기판 코팅 공정 중에 'ㄷ'자 형상의 노즐 캐리어(140)에 뒤틀리는 힘이 작용하더라도, 상판(141)과 하판(142)이 연결재(143)로만 상호 연결되지 않고 연결재(143)의 일측에 절곡판재, 판재, 중실봉재, 중공봉재 등의 기둥재(144)로 상호 결합되므로, 지지재(144)의 중량만 부가되었음에도 상판(141)과 하판(142)의 상대적인 뒤틀림 변위에 대하여 견고하게 지지할 수 있는 능력이 크게 향상되는 유리한 효과가 얻어진다. The nozzle carrier 140 of the substrate coater device 100 according to the exemplary embodiment of the present invention configured as described above is predetermined in one direction from a position where the connecting plate 143 is coupled with the upper plate 141 and the lower plate 142. The substrate coating is coupled to the upper plate 141 and the lower plate 142 in the indented state by the depth d of the upper plate 141a and the lower plate 142b by the pillar material 144. Although the twisting force acts on the 'c'-shaped nozzle carrier 140 during the process, the upper plate 141 and the lower plate 142 are not connected to each other only by the connecting member 143, but bent plate and plate on one side of the connecting member 143 Since it is coupled to the pillar member 144, such as solid rod, hollow rod, etc., the ability to firmly support the relative twisting displacement of the upper plate 141 and the lower plate 142 even though only the weight of the support material 144 is added. This advantageous effect of greatly improving is obtained.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구 범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다. In the above, the preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, but the scope of the present invention is not limited to these specific embodiments, and may be appropriately changed within the scope described in the claims.

도1은 종래의 기판 코터 장치의 구성을 도시한 사시도 1 is a perspective view showing the configuration of a conventional substrate coater apparatus

도2는 도1의 노즐 캐리어의 뒤틀린 형상을 도시한 개략도FIG. 2 is a schematic diagram showing the warped shape of the nozzle carrier of FIG.

도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 캐리어를 구비한 기판 코터 장치의 구성을 도시한 정면도3 is a front view showing the configuration of a substrate coater apparatus having a nozzle carrier according to an embodiment of the present invention;

도4는 도3의 노즐 캐리어와 노즐 조립체가 결합된 형상을 도시한 사시도4 is a perspective view illustrating a shape in which the nozzle carrier and the nozzle assembly of FIG. 3 are combined;

도5는 도4의 노즐 캐리어의 구성을 도시한 사시도Fig. 5 is a perspective view showing the configuration of the nozzle carrier of Fig. 4

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ** ** Description of symbols for the main parts of the drawing **

100: 기판 코터 장치 110: 스테이지100: substrate coater device 110: stage

121: 슬릿 노즐 120: 노즐 조립체121: slit nozzle 120: nozzle assembly

130: 약액 공급부 140: 노즐 캐리어130: chemical liquid supply unit 140: nozzle carrier

141: 상판 141a: 상판돌출부141: top plate 141a: top plate protrusion

142: 하판 142a: 하판돌출부142: lower plate 142a: lower plate protrusion

143: 연결판 144: 기둥재143: connecting plate 144: pillar

145: 덮개판145: cover plate

Claims (7)

기판을 지지하는 스테이지와, 상기 스테이지 상의 기판에 약액을 도포하는 슬릿 노즐을 고정하는 노즐 조립체와, 상기 슬릿 노즐이 상기 기판의 상면을 지나도록 상기 슬릿 노즐을 운반하는 노즐 캐리어를 구비한 기판 코터 장치에 있어서, A substrate coater device having a stage for supporting a substrate, a nozzle assembly for fixing a slit nozzle for applying a chemical to the substrate on the stage, and a nozzle carrier for transporting the slit nozzle such that the slit nozzle passes over an upper surface of the substrate. To 상기 노즐 캐리어는 상기 노즐 조립체의 하부에 위치한 상태로 상기 노즐 조립체에 결합되고, 이동 방향에 수직한 방향의 단면은 상판과 하판과 이들을 연결하는 연결판으로 이루어진 'ㄷ'자 형상을 포함하되, 상기 상판과 상기 하판은 서로 마주보는 상판돌출부와 하판돌출부가 상기 연결판과 결합된 위치로부터 바깥 방향으로 돌출되어, 서로 마주보는 상기 상판돌출부와 상기 하판돌출부를 연결하는 기둥재가 개재된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 노즐 캐리어.The nozzle carrier is coupled to the nozzle assembly in a state positioned below the nozzle assembly, the cross section of the direction perpendicular to the moving direction includes a 'c' shape consisting of the upper plate and the lower plate and the connecting plate connecting them, The upper plate and the lower plate is characterized in that the upper projection and the lower projection facing each other projecting outward from the position combined with the connecting plate, the substrate is characterized in that the interposed pillars connecting the upper projection and the lower projection facing each other Nozzle carrier of the coater device. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 상판돌출부와 상기 하판돌출부는 2개 이상 형성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 노즐 캐리어.The nozzle carrier of the substrate coater apparatus, characterized in that two or more of the upper projection and the lower projection. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 기둥재의 양측에 생성되는 빈 공간에는 신호선이 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 노즐 캐리어.The nozzle carrier of the substrate coater device, characterized in that the signal line is provided in the empty spaces generated on both sides of the pillar material. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기둥재는 판재, 중실봉재, 중공봉재, 절곡된 판재 중 어느 하나 이상으로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 노즐 캐리어.The pillar member is a nozzle carrier of the substrate coater device, characterized in that formed of any one or more of a plate material, solid bar material, hollow bar material, bent plate material. 제 1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 상판돌출부와 상기 하판돌출부의 선단부를 덮는 덮개판을 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 노즐 캐리어.The nozzle carrier of the substrate coater apparatus, characterized in that it further comprises a cover plate for covering the top end of the upper projection and the lower projection. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 덮개판은 상기 상판돌출부와 상기 하판돌출부와 상기 기둥재에 각각 결합된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 노즐 캐리어.The cover plate is a nozzle carrier of the substrate coater apparatus, characterized in that coupled to the upper plate projection, the lower plate projection and the pillar material, respectively. 삭제delete
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