KR101085563B1 - Apparatus for detecting inclusions of cold rolled coil using the magnetic sensor - Google Patents

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Abstract

본 발명은 냉연강판의 개재물 탐상 장치에 관한 것으로서, 상세하게는 직류전류를 이용하여 일방향의 자화방향을 가지는 자기장을 생성하고, 생성된 자기장을 이용하여 냉연강판의 피측정 영역을 자화시키는 자화부; 일정 간격으로 일렬로 이격 배열된 n개의 자기센서를 포함하고, 자화된 피측정 영역에서 누설되는 누설자속에 상응하는 제1 출력신호를 생성하는 제1 자기센서 어레이; 제1 자기센서 어레이의 자기센서와 동일한 간격으로 일렬로 이격 배열된 n개의 자기센서를 포함하고, 자화된 피측정 영역에서 누설되는 누설자속에 상응하는 제2 출력신호를 생성하되, 제1 자기센서 어레이와 평행하게 이격되어 배치되는 제2 자기센서 어레이; 제1 및 제2 출력신호의 차동값을 입력받아 자화된 피측정 영역에서 누설되는 누설자속의 세기 분포를 정량화하는 데이터 처리부를 포함하며, 제1 및 제2 자기센서 어레이는 제1 및 제2 출력신호의 차동값을 데이터 처리부로 전달하도록 연결된 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an apparatus for inspecting an inclusion of a cold rolled steel sheet, in particular, a magnetizing unit generating a magnetic field having a magnetization direction in one direction using a direct current, and magnetizing a region to be measured of the cold rolled steel sheet using the generated magnetic field; A first magnetic sensor array including n magnetic sensors spaced in a row at regular intervals, the first magnetic sensor array generating a first output signal corresponding to a leaked magnetic flux leaked from the magnetized measured region; A second output signal including n magnetic sensors spaced in a row at the same interval as the magnetic sensors of the first magnetic sensor array, and generating a second output signal corresponding to the leakage magnetic flux leaked from the magnetized measured area, wherein the first magnetic sensor A second magnetic sensor array spaced apart from and parallel to the array; And a data processor configured to receive a differential value of the first and second output signals and to quantify the distribution of the intensity of the leaked magnetic flux leaked from the magnetized measurement region, wherein the first and second magnetic sensor arrays include first and second outputs. It is characterized in that it is connected to transfer the differential value of the signal to the data processor.

Description

자기센서를 이용한 냉연강판의 개재물 탐상 장치{Apparatus for detecting inclusions of cold rolled coil using the magnetic sensor}Apparatus for detecting inclusions of cold rolled coil using the magnetic sensor}

본 발명은 자기센서를 이용한 냉연강판의 개재물 탐상 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 개재물 또는 결함의 존재로 인한 누설자속의 정보만을 효율적으로 추출할 수 있는 냉연강판의 개재물 탐상 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for detecting an inclusion of a cold rolled steel sheet using a magnetic sensor. More particularly, the present invention relates to an apparatus for detecting an inclusion of a cold rolled steel sheet that can efficiently extract only information on a leakage flux due to the presence of an inclusion or a defect.

냉연강판은 열연강판을 산으로 세척한 후, 상온에서 압연하여 두께가 고르고 표면이 매끈하고 광택이 나도록 만든 강판으로서, 표면이 고우며 치수 정확도, 편평도 및 성형성이 좋다. 따라서 자동차 내외부, 사무용 기기, 냉장고와 세탁기 등의 가전기구, 및 주방 기구 등에 넓게 사용되고 있다. 그러나, 생산과정 중 발생하는 개재물(inclusion)은 최종 제품의 기계적인 특성에 영향을 미치고, 결과적으로 제품의 불량과 직결된다. 따라서, 양질의 냉연강판을 생산하기 위해서는 제조 공정에서 발생하는 개재물의 위치,형상,크기,분포를 분석/평가하는 방법이 필요하다. Cold rolled steel sheet is a steel sheet made by washing hot rolled steel sheet with acid and then rolling at room temperature to have a uniform thickness, smooth surface and gloss, and have a good surface and good dimensional accuracy, flatness and formability. Therefore, it is widely used in home appliances, office equipment, home appliances such as refrigerators and washing machines, and kitchen appliances. However, inclusions that occur during the production process affect the mechanical properties of the final product, which in turn leads to product defects. Therefore, in order to produce high quality cold rolled steel sheets, a method of analyzing / evaluating the position, shape, size, and distribution of inclusions generated in the manufacturing process is required.

비파괴적으로 냉연강판의 개재물을 탐상하는 방식으로는 초음파 (ultrasonic) 탐상, 누설자속(magnetic leakage flux) 탐상, 및 X선 투과(X-ray transmission) 등의 방식이 있다.Non-destructive inspection of inclusions in cold rolled steel includes ultrasonic (ultraviolet) inspection, magnetic leakage flux inspection, and X-ray transmission.

초음파 탐상은 30-100MHz 정도의 높은 주파수에 의하여 직경이 100μm 이하의 홀이나 개재물을 검출할 수 있는 방식으로서, 높은 주파수 때문에 초음파의 침투 깊이가 깊지 못하다는 단점이 있다. 따라서 초음파 탐상은 개재물이 냉연강판의 깊숙한 곳에 존재하는 경우 그 개재물을 검출하지 못하므로, 냉연강판의 개재물을 검출하는데 적합하지 않다. Ultrasonic flaw detection is a method of detecting holes or inclusions having a diameter of 100 μm or less by a high frequency of about 30-100 MHz, and has a disadvantage in that the penetration depth of the ultrasonic wave is not deep due to the high frequency. Therefore, the ultrasonic flaw detection is not suitable for detecting the inclusions of the cold rolled steel sheet because the inclusion does not detect the inclusions when the inclusions are deep in the cold rolled steel sheet.

X선 투과 방식은 금속의 개재물을 검출하기 위한 유효한 방법 중 하나이지만, X선 투과 방식은 균열이나 홀(hole)과 개재물(inclusion)을 판별하기가 곤란하고, X선 투과에 이용되는 장비가 너무 크며, X선 투과 장비를 가동하는데 소요되는 경비가 높다는 문제점이 있다. X-ray transmission is one of the effective methods for detecting metal inclusions, but X-ray transmission is difficult to distinguish cracks, holes, and inclusions, and the equipment used for X-ray transmission is too high. Larger, there is a problem that the cost required to operate the X-ray transmission equipment is high.

한편 누설자속 탐상은 피측정체가 포화 자화 가까이 자화되었을 때, 개재물과 같은 비연속체(discontinuity)에 의하여 자속의 섭동(perturb)이 발생하는 원리를 이용하는 방식이다. 즉, 누설자속 탐상은 개재물에 의하여 공기 중으로 누설되는 자속을 자기센서로 검출하여 측정하는 방식으로서, 작은 개재물을 검출하기 위해서는 자기센서의 크기를 작게 해야 할 뿐만 아니라 센서의 공간분해능도 높여야 한다. 그러나 냉연강판의 개재물을 검출하기 위해서 누설자속 탐상은 냉연강판 시험편을 포화자화까지 자화시켜야 하는데, 이때 발생하는 외부 자장의 세기가 자기센서에 영향을 미쳐서 개재물 탐상 능력을 저하시키는 문제점이 있다. 따라서 냉연강판 깊숙이 존재하는 작은 개재물도 검출할 수 있으며, 공간분해능도 높은 동시에 외부 자기장의 영향에 민감하지 않은 냉연강판의 개재물 탐상 방식이 필요하다.On the other hand, leak magnetic flux inspection is a method using the principle that a perturb of magnetic flux is generated by a discontinuity such as an inclusion when the object to be measured is magnetized near saturation magnetization. That is, the leak magnetic flux inspection is a method of detecting and measuring the magnetic flux leaking into the air by the inclusions, in order to detect the small inclusions should not only reduce the size of the magnetic sensor but also increase the spatial resolution of the sensor. However, in order to detect the inclusions of the cold rolled steel sheet, the leak magnetic flux inspection has to magnetize the cold rolled steel sheet to the saturation magnetization, and there is a problem in that the strength of the external magnetic field affects the magnetic sensor and degrades the inclusion inspection ability. Therefore, it is possible to detect small inclusions deep in the cold rolled steel sheet, and to detect the inclusions of the cold rolled steel sheet having high spatial resolution and insensitive to the influence of an external magnetic field.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 개재물 또는 결함의 존재에 기인한 누설자속의 정보만을 효율적으로 추출할 수 있으며, 외부 자기장에 대한 영향을 최소화할 수 있는 냉연강판의 개재물 탐상 장치를 제공하는 데 있다.The problem to be solved by the present invention is to provide an apparatus for detecting the inclusion of cold-rolled steel sheet that can efficiently extract only the information of the leakage flux due to the presence of inclusions or defects, and can minimize the influence on the external magnetic field. .

상기한 과제를 해결하기 위해 본 발명은 직류전류를 이용하여 일방향의 자화방향을 가지는 자기장을 생성하고, 생성된 자기장을 이용하여 냉연강판의 피측정 영역을 자화시키는 자화부; 일정 간격으로 일렬로 이격 배열된 n개의 자기센서를 포함하고, 자화된 피측정 영역에서 누설되는 누설자속에 상응하는 제1 출력신호를 생성하는 제1 자기센서 어레이; 제1 자기센서 어레이의 자기센서와 동일한 간격으로 일렬로 이격 배열된 n개의 자기센서를 포함하고, 자화된 피측정 영역에서 누설되는 누설자속에 상응하는 제2 출력신호를 생성하되, 제1 자기센서 어레이와 평행하게 이격되어 배치되는 제2 자기센서 어레이; 제1 및 제2 출력신호의 차동값을 입력받아 자화된 피측정 영역에서 누설되는 누설자속의 세기 분포를 정량화하는 데이터 처리부를 포함하며, 제1 및 제2 자기센서 어레이는 제1 및 제2 출력신호의 차동값을 데이터 처리부로 전달하도록 연결된 것을 특징으로 하는, 냉연강판의 개재물 탐상 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the present invention provides a magnetic field having a magnetization direction in one direction by using a direct current, and a magnetization unit for magnetizing the region to be measured of the cold rolled steel sheet using the generated magnetic field; A first magnetic sensor array including n magnetic sensors spaced in a row at regular intervals, the first magnetic sensor array generating a first output signal corresponding to a leaked magnetic flux leaked from the magnetized measured region; A second output signal including n magnetic sensors spaced in a row at the same interval as the magnetic sensors of the first magnetic sensor array, and generating a second output signal corresponding to the leakage magnetic flux leaked from the magnetized measured area, wherein the first magnetic sensor A second magnetic sensor array spaced apart from and parallel to the array; And a data processor configured to receive a differential value of the first and second output signals and to quantify the distribution of the intensity of the leaked magnetic flux leaked from the magnetized measurement region, wherein the first and second magnetic sensor arrays include first and second outputs. It is characterized in that it provides a cold rolling steel inclusion inspection device, characterized in that connected to transfer the differential value of the signal to the data processing unit.

바람직하게는, 상기 냉연강판의 개재물 탐상 장치는, 제1 및 제2 자기센서 어레이가 냉연강판의 누설자속을 스캔할 수 있도록 냉연강판 또는 자기센서 어레이 를 이송하는 이송부를 더 포함하고, 자화기는 자화방향이 냉연강판의 이송 방향과 평행한 방향으로 생성되도록 고정 배치되며, 제1 및 제2 자기센서 어레이는 생성된 자기장 내에 위치하도록 고정 배치될 수 있다.Preferably, the inclusion inspection device of the cold rolled steel sheet, the first and second magnetic sensor array further comprises a transfer unit for transporting the cold rolled steel sheet or the magnetic sensor array to scan the leakage flux of the cold rolled steel sheet, the magnetizer The direction may be fixedly arranged to be generated in a direction parallel to the transfer direction of the cold rolled steel sheet, and the first and second magnetic sensor arrays may be fixedly disposed to be located in the generated magnetic field.

본 발명에 의하면, 개재물 또는 결함의 존재에 기인한 누설자속의 정보만을 효율적으로 추출할 수 있으며, 외부 자기장의 세기에 대한 영향을 축소할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, only the information of the leakage magnetic flux due to the presence of inclusions or defects can be extracted efficiently, and the effect on the strength of the external magnetic field can be reduced.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 냉연강판의 개재물을 탐상하는 장치를 설명하는 도면이다. 1 is a view for explaining the apparatus for detecting the inclusions of the cold rolled steel sheet according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 냉연강판의 개재물 탐상 장치는 냉연강판(20)을 자화시키는 자화부(10), 제1 자기센서 어레이(31)와 제2 자기센서 어레이(32)를 포함하는 자기센서 어레이(30), 및 데이터 처리부(40)를 포함하며, 추가로 냉연강판 또는 자기센서 어레이를 이송하는 이송부(50)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, an apparatus for detecting an inclusion of a cold rolled steel sheet according to the present invention includes a magnetization unit 10, a first magnetic sensor array 31, and a second magnetic sensor array 32 that magnetize the cold rolled steel sheet 20. To include a magnetic sensor array 30, and a data processing unit 40, and may further include a transfer unit 50 for transferring a cold rolled steel sheet or a magnetic sensor array.

자화부(10)는 피측정체인 냉연강판(20)을 자화시키는 역할을 수행하며, 직류전류를 이용하여 일방향의 자화방향을 가지는 자기장을 생성한다. 자화부(10)는 냉연강판의 상부 또는 하부에 위치하도록 배치되며, 자화부(10)에서 생성된 자기장에 의해 냉연강판이 자화된다. The magnetization unit 10 serves to magnetize the cold rolled steel sheet 20, which is the object to be measured, and generates a magnetic field having a magnetization direction in one direction by using a DC current. The magnetization unit 10 is disposed to be positioned above or below the cold rolled steel sheet, and the cold rolled steel sheet is magnetized by the magnetic field generated by the magnetization unit 10.

자화된 냉연강판(20)에서, 자속(magnetic flux)은 내연강판(20)의 내부에 집중되어 통과하고, 그 자속의 일부는 누설된다. 한편, 냉연강판(20)에 균열(1)이나 불순물 또는 공기 구멍 등의 개재물(2)이 있는 경우, 냉연강판(20)의 내부를 통과하는 자속은 균열(1) 또는 개재물(2)에 의하여 섭동(perturb)되어 냉연강판(20)의 외부로 누설된다. In the magnetized cold rolled steel sheet 20, magnetic flux is concentrated through the interior of the internal steel sheet 20, and a part of the magnetic flux leaks. On the other hand, when the cold rolled steel sheet 20 has inclusions 2 such as cracks 1, impurities or air holes, the magnetic flux passing through the inside of the cold rolled steel sheet 20 is caused by the cracks 1 or inclusions 2. Perturbed and leaked to the outside of the cold rolled steel sheet 20.

자기센서 어레이(30)는 제1 자기센서 어레이(31) 및 제2 자기센서 어레이(32)를 포함하며, 제1 및 제2 자기센서 어레이(31, 32)는 냉연강판(20)에서 일정 거리만큼 리프트 오프(lift off)되어 배치된다. The magnetic sensor array 30 may include a first magnetic sensor array 31 and a second magnetic sensor array 32, and the first and second magnetic sensor arrays 31 and 32 may have a predetermined distance from the cold rolled steel sheet 20. It is arranged to lift off (lift off) by.

제1 자기센서 어레이(31)는 일렬로 배열된 n개의 자기센서를 포함하는데, 각 자기센서는 서로 일정한 간격으로 이격되어 배열된다. 각 자기센서는 자화된 냉연강판(20)의 피측정 영역에서 누설되는 누설자속을 감지하고, 그 누설자속에 상응하는 제1 출력신호를 생성한다.The first magnetic sensor array 31 includes n magnetic sensors arranged in a line, and each magnetic sensor is spaced apart from each other at regular intervals. Each magnetic sensor detects a leaked magnetic flux leaking in the region under measurement of the magnetized cold rolled steel sheet 20, and generates a first output signal corresponding to the leaked magnetic flux.

한편, 제1 자기센서 어레이(31)와 동일하게, 제2 자기센서 어레이(31)도 제1 자기센서 어레이(31)와 동일하게 일렬로 배열된 n개의 자기센서를 포함하며, 각 자기센서도 역시 서로 일정한 간격으로 이격되어 배열된다. 제2 자기센서 어레이에서(32)의 각 자기센서 사이의 배열 간격은 제1 자기센서 어레이(31)에서의 배역 간격과 동일하다. 또한, 제2 자기센서 어레이(32)와 제1 자기센서 어레이(31)는 일정한 간격을 두고 서로 평행하게 위치한다.Meanwhile, similarly to the first magnetic sensor array 31, the second magnetic sensor array 31 also includes n magnetic sensors arranged in the same line as the first magnetic sensor array 31, and each magnetic sensor also includes Also arranged to be spaced apart from each other at regular intervals. The array spacing between each magnetic sensor in the second magnetic sensor array 32 is equal to the cast spacing in the first magnetic sensor array 31. In addition, the second magnetic sensor array 32 and the first magnetic sensor array 31 are positioned in parallel with each other at regular intervals.

제1 및 제2 자기센서 어레이(31, 32)는 각각 냉연강판(20)의 외부로 누설되는 누설자속을 감지하여 그에 상응하는 값을 출력한다. 냉연강판(20)에 균열(1)이 나 개재물(2)이 존재하는 경우, 냉연강판(20)에서 누설되는 누설자속 세기가 커지거나 불규칙적으로 변동하므로, 누설자속의 세기 분포가 분석되면 냉연강판(20)에 존재하는 개재물이 탐상될 수 있다. The first and second magnetic sensor arrays 31 and 32 detect leakage magnetic flux leaking to the outside of the cold rolled steel sheet 20, respectively, and output values corresponding thereto. In the case where cracks (1) or inclusions (2) are present in the cold rolled steel sheet (20), the leakage magnetic flux leakage from the cold rolled steel sheet (20) increases or varies irregularly. Inclusions present at (20) can be inspected.

본 발명에서, 제1 자기센서 어레이(31)와 제2 자기센서 어레이(32)는 그 출력신호의 차동값을 후술할 데이터 처리부(40)로 출력하도록 연결된다.In the present invention, the first magnetic sensor array 31 and the second magnetic sensor array 32 are connected to output the differential value of the output signal to the data processor 40 to be described later.

데이터 처리부(40)는 자기센서 어레이(30)에서 제1 자기센서 어레이(31)와 제2 자기센서 어레이(32)의 출력신호의 차동값을 처리하고 분석함으로써 냉연강판에 존재하는 개재물의 존재 여부를 검출한다.The data processor 40 processes and analyzes differential values of the output signals of the first magnetic sensor array 31 and the second magnetic sensor array 32 in the magnetic sensor array 30 to determine whether the inclusions present in the cold rolled steel sheet exist. Detect.

이송부(50)는 냉연강판(20)을 직선 방향으로 이송함으로써, 자기센서 어레이(30)가 냉연강판(20)의 측정 영역 전체를 스캔할 수 있도록 한다. 이러한 이송부(50)는 냉연강판(20)이 얹혀지는 복수의 구동 롤러 및 이를 정속도로 회전시키는 구동 모터 등으로 구성되며, 냉연강판을 정속도로 직선 이송시킬 수 있는 구성이기만 하면 된다. The transfer unit 50 transfers the cold rolled steel sheet 20 in a linear direction, thereby allowing the magnetic sensor array 30 to scan the entire measurement area of the cold rolled steel sheet 20. The transfer unit 50 is composed of a plurality of driving rollers on which the cold rolled steel sheet 20 is mounted, a drive motor for rotating the same at a constant speed, and the like, as long as the cold rolled steel sheet is linearly transferred at a constant speed.

한편, 이송부(50)는 도시한 것과는 상이하게 냉연강판(20)이 아닌 자화부(10)와 센서어레이(30)를 자화방향과 평행한 방향으로 직선 이송시킬 수 있다. 이러한 실시예는 자화부(10)의 양 자극 사이에 배치된 자기센서 어레이(30)와 자화부(10)를 함께 자화방향과 수평한 방향으로 냉연강판(20) 위로 함께 이송하는 실시예이다. 자화부(10)의 자극 내에 배치된 자기센서 어레이(30)가 직선 이송됨으로써, 냉연강판을 전체적으로 스캔할 수 있다.On the other hand, the conveyer 50 may be different from the cold rolled steel sheet 20, and the magnetization unit 10 and the sensor array 30 can be linearly transferred in a direction parallel to the magnetization direction. This embodiment is an embodiment in which the magnetic sensor array 30 and the magnetization portion 10 disposed between the two magnetic poles of the magnetization portion 10 together transfers together on the cold rolled steel sheet 20 in the direction parallel to the magnetization direction. Since the magnetic sensor array 30 disposed in the magnetic pole of the magnetization unit 10 is linearly transferred, the cold rolled steel sheet may be scanned as a whole.

상술한 것처럼 이송부(50)는 냉연강판(20)이나 자기센서 어레이(자기센서 어 레이와 자화부가 함께 이송됨)를 직선 방향으로 이송할 수 있으며, 이때 이송방향은 자화부의 자화방향과 평행하거나 직교하는 방향이 될 수 있다. 자화부(10), 자기센서 어레이(31,32), 데이터 처리부(40)에 대한 기능은 후술하도록 한다.As described above, the transfer unit 50 may transfer the cold rolled steel sheet 20 or the magnetic sensor array (the magnetic sensor array and the magnetization unit are transferred together) in a linear direction, where the transfer direction is parallel or perpendicular to the magnetization direction of the magnetization unit. Can be the direction. The functions of the magnetizer 10, the magnetic sensor arrays 31 and 32, and the data processor 40 will be described later.

도 2(a)와 도 2(b)는 각각 본 발명의 실시예에 따른 냉연강판의 개재물을 탐상하는 장치를 예시하는 도면이다.2 (a) and 2 (b) are diagrams illustrating an apparatus for flaw detection of inclusions in a cold rolled steel sheet according to an embodiment of the present invention, respectively.

도시된 바와 같이 자화부(10)는 요크(yoke, 11)와 코일(12)을 포함하며, 코일로 직류 전원이 인가되어 일방향의 자화방향을 가지는 자기장을 생성한다. 생성된 자기장으로 인하여 냉연강판(20)도 역시 동일한 자화 방향으로 자화된다.As shown, the magnetization unit 10 includes a yoke 11 and a coil 12, and a DC power is applied to the coil to generate a magnetic field having a magnetization direction in one direction. Due to the generated magnetic field, the cold rolled steel sheet 20 is also magnetized in the same magnetization direction.

제1 자기센서 어레이(31)와 제2 자기센서 어레이(32)를 포함하는 자기센서 어레이(30)는 자화부(20)의 두 자극(magnetic pole) 사이에 배치되며, 냉연강판(20)과는 일정 거리 만큼 이격(lift off)되어 고정 배치된다.The magnetic sensor array 30 including the first magnetic sensor array 31 and the second magnetic sensor array 32 is disposed between two magnetic poles of the magnetization unit 20, and the cold rolled steel sheet 20. Is fixedly arranged to be lifted off by a certain distance.

도 2(b)처럼, 냉연강판(20)의 내부에 개재물(2)이 존재하는 경우 냉연강판(20)의 내부를 통과하는 자속은 균열(1) 또는 개재물(2)에 의하여 섭동(perturb)되어 냉연강판(20)의 외부로 누설된다. 개재물(2)이 없는 경우에는 일정한 양의 누설자속이 존재하지만, 개재물(2)이 존재하는 경우 자속이 더욱 많이 누설된다. 따라서, 자기센서 어레이(30)는 누설자속의 크기 변화량을 분석함으로써 냉연강판(20)의 개재물(2) 존재 여부를 검출할 수 있다. As shown in FIG. 2 (b), when the inclusions 2 are present inside the cold rolled steel sheet 20, the magnetic flux passing through the inside of the cold rolled steel sheet 20 is perturbed by the crack 1 or the inclusions 2. And leaks to the outside of the cold rolled steel sheet 20. In the absence of the inclusions 2, a certain amount of leakage magnetic flux exists, but in the presence of the inclusions 2, more magnetic fluxes leak. Therefore, the magnetic sensor array 30 may detect the presence or absence of the inclusion 2 in the cold rolled steel sheet 20 by analyzing the amount of change in the leakage magnetic flux.

도 3(a) 내지 도 3(f)는 각각 누설자속 검출에 의해 개재물을 탐상하는 원리를 설명하는 도면이다. 3 (a) to 3 (f) are diagrams for explaining the principle of flaw detection of inclusions by leak magnetic flux detection, respectively.

도 3(a)는 자화부(10)를 이용하여 냉연강판(20)의 개재물(2)을 검출할 때 발 생하는 자기장 분포를 설명하기 위한 개요도이다. FIG. 3 (a) is a schematic diagram for explaining the magnetic field distribution generated when detecting the inclusions 2 of the cold rolled steel sheet 20 using the magnetization unit 10. As shown in FIG.

자기센서 어레이(30)와 냉연강판(20)은 일정한 리프트 오프를 가지도록 이격되며, 자화부(10)로는 요크형 자화기(magentizer)가 이용되었다.The magnetic sensor array 30 and the cold rolled steel sheet 20 are spaced apart to have a constant lift-off, and a yoke type magnetizer is used as the magnetization unit 10.

자화방향을 X, 냉연강판(20)의 표면에 수직인 방향을 Z, XZ평면에 수직인 방향을 Y라고 하면, 자기센서 어레이(30)는 Z축 성분의 자기장 세기(HZ)의 크기에 비례하는 출력 신호(VH)를 출력한다. If the magnetization direction is X, the direction perpendicular to the surface of the cold-rolled steel sheet 20 is Z, and the direction perpendicular to the XZ plane is Y, the magnetic sensor array 30 has a magnitude of the magnetic field strength H Z of the Z-axis component. Outputs a proportional output signal V H.

본 발명에서 자기센서 어레이(30)를 구성하는 자기센서로는 홀센서 또는 자기저항센서가 이용될 수 있으며, 홀센서와 자기저항센서는 센서 면에 입사되는 자기장의 법선 또는 평면 방향 성분의 크기에 비례하여 전기신호가 출력된다. In the present invention, a magnetic sensor constituting the magnetic sensor array 30 may be a Hall sensor or a magnetoresistive sensor, and the Hall sensor and the magnetoresistive sensor may have a magnitude of a normal or planar component of a magnetic field incident on the sensor surface. An electrical signal is output in proportion.

도 3(b)는 냉연강판에서 외부로 누설된 누설자속의 자기장 분포를 나타내며, 도 3(c)는 냉연강판에서 개재물에 의해 누설된 누설자속의 자기장 분포를 나타내며, 도 3(d)는 냉연강판에서의 전체적인 자기장 분포를 나타내는 도면이다. Figure 3 (b) shows the magnetic field distribution of the leakage magnetic flux leaked to the outside in the cold rolled steel sheet, Figure 3 (c) shows the magnetic field distribution of the leakage magnetic flux leaked by the inclusions in the cold rolled steel sheet, Figure 3 (d) It is a figure which shows the whole magnetic field distribution in a steel plate.

냉연강판(20)이 자화부(10)에 접근하면, 자속은 강판에 집중되어 통과하고 일부는 냉연강판(20)의 외부로 누설(HZ EXT)된다. 냉연강판(20)을 통과하는 자속은 개재물(INC-1, INC-2, INC-3)에 의하여 섭동(perturb)되어 공기중으로 누설(HZ INC -1, HZ INC-2, HZ INC -3)된다. 따라서, 전체적인 자기장의 분포는 도 3(d)처럼 HZ EXT와 HZ INC -1, HZ INC-2, HZ INC -3가 중첩된 자기장의 분포를 가지게 된다. When the cold rolled steel sheet 20 approaches the magnetization portion 10, the magnetic flux is concentrated through the steel sheet and a part of the cold rolled steel sheet 20 is leaked to the outside of the cold rolled steel sheet 20 (H Z EXT ). The magnetic flux passing through the cold rolled steel sheet 20 is perturbed by inclusions (INC-1, INC-2, INC-3) and leaked into the air (H Z INC- 1 , H Z INC-2 , H Z INC). -3 ). Therefore, the overall magnetic field distribution has a distribution of magnetic fields in which H Z EXT , H Z INC -1 , H Z INC-2 , and H Z INC -3 overlap as shown in FIG. 3 (d).

전술한 바와 같이 홀센서와 같은 자기센서는 자기장의 세기에 선형적으로 비례하여 전기신호(VH)를 출력한다. 이때, 누설자속(HINC)의 크기를 크게 할수록 자기센서의 출력(VH INC)도 커진다. 개재물에 의한 누설자속(HINC)을 크게 하기 위해서는 자화력을 크게 해야 하며, 자화력이 커질수록 결과적으로 자화부(10)에 의한 누설자속(HEXT)에 따른 자기센서의 출력(VH EXT)도 커지게 된다. 따라서, 도 3(e)에서 나타낸 것처럼, 자기센서가 자화부(10)에 의하여 포화(VH CRT)되지 않기 위해서 보다 넓은 동작 범위(dynamic range)를 가져야 한다. 또한 자기센서는 개재물에 의한 누설자속을 정밀하게 검출하기 위한 높은 감도를 동시에 가져야 한다.As described above, a magnetic sensor such as a hall sensor outputs an electrical signal V H in linear proportion to the strength of the magnetic field. At this time, as the magnitude of the leakage magnetic flux H INC increases, the output V H INC of the magnetic sensor also increases. In order to increase the leakage magnetic flux (H INC ) by the inclusions, the magnetization force must be increased. As the magnetization force increases, the output of the magnetic sensor according to the leakage magnetic flux (H EXT ) by the magnetization unit 10 (V H EXT). ) Will also grow. Therefore, as shown in FIG. 3E, the magnetic sensor should have a wider dynamic range in order not to be saturated (V H CRT ) by the magnetization unit 10. In addition, the magnetic sensor must have a high sensitivity at the same time to accurately detect the leakage flux by the inclusions.

본 발명에서는 외부자장의 영향을 최소화하고, 개재물에 의한 누설자속에 의한 자기센서의 출력 신호를 최대화하는 방법을 제공한다. The present invention provides a method of minimizing the influence of an external magnetic field and maximizing the output signal of the magnetic sensor due to leakage magnetic flux by inclusions.

도 3(b)에 도시된 것처럼, 자화부(10)에 의해 일반적으로 누설되는 누설자속의 세기(HZ EXT)는 자극(magnetic pole)의 안쪽에서는 대체로 일정한 경사를 가진다. 따라서, X-방향으로의 미분값(dHZ EXT/dX)는 일정하다. As shown in FIG. 3 (b), the intensity H Z EXT of the leaked magnetic flux generally leaked by the magnetization unit 10 has a substantially constant slope inside the magnetic pole. Therefore, the derivative value dH Z EXT / dX in the X-direction is constant.

그러나 개재물에 의한 누설자속의 세기(HZ INC)의 X 방향 미분값(dHZINC/dX)은 일정하지 않으며, 개재물의 크기에 비례하여 그 값이 변화한다. 따라서, 이러한 원 리를 이용하면 외부자장의 영향을 최소화하고 개재물 존재에 의한 누설자속의 신호를 극대화시킬 수 있다. However, the differential value (dH Z I NC / dX) in the X direction of the strength of the leakage magnetic flux H Z INC due to inclusions is not constant, and the value changes in proportion to the size of the inclusion. Therefore, using this principle can minimize the influence of the external magnetic field and maximize the signal of the leakage flux due to the presence of inclusions.

한편, 자기센서 출력의 미분값(dVH/dX)은 다음의 [수학식 1]에서처럼 일반적인 누설자속에 의한 자기센서 출력의 미분(dVH EXT/dX)과 개재물에 따른 누설자속에 의한 자기센서 출력의 미분(dVH INC/dX)과의 합이다. On the other hand, the derivative value (dV H / dX) of the magnetic sensor output is the magnetic sensor due to the leakage flux according to the derivative (dV H EXT / dX) of the magnetic sensor output due to the general leakage flux and the inclusion as shown in [Equation 1] below. Sum of the derivative of the output (dV H INC / dX).

Figure 112009054507273-pat00001
Figure 112009054507273-pat00001

또한, 전술한 것처럼 자화부(10)에 의한 일반적인 누설자속에 의한 자기장의 미분(dVH EXT/dX)은 다음의 [수학식 2]처럼 자극 사이(XPOLE -1과 XPOLE -2의 사이)의 자화 유효 영역에서 거의 일정하며, 바이어스 전압의 도입에 의하여 0에 근사하게 설정될 수 있다. In addition, as described above, the derivative of the magnetic field (dV H EXT / dX) by the general leakage magnetic flux by the magnetization unit 10 is between the magnetic poles (X POLE -1 and X POLE -2 ) as shown in Equation 2 below. It is almost constant in the magnetization effective area of Nm, and can be set to be close to zero by the introduction of a bias voltage.

Figure 112009054507273-pat00002
Figure 112009054507273-pat00002

dVH/dX는 다음의 [수학식 3]처럼 인접한 출력 신호 값의 차이로부터 근사화될 수 있다. 여기에서, ΔX란 자기센서 간의 간격 또는 데이터 비교 위치의 공간적 인 거리를 의미한다. dV H / dX can be approximated from the difference of adjacent output signal values as shown in Equation 3 below. Here, ΔX means the distance between the magnetic sensors or the spatial distance of the data comparison position.

Figure 112009054507273-pat00003
Figure 112009054507273-pat00003

상기 [수학식 3]으로부터 dVH/dX를 구하기 위해서는 VH의 분포를 저장한 후 계산해야 한다. 따라서 자기센서의 출력(VH EXT)은 자화부(10)에 의한 누설자속(HEXT)의 영향으로 도 3(e)처럼 된다. In order to calculate dV H / dX from Equation 3, the distribution of V H should be stored and calculated. Accordingly, the output V H EXT of the magnetic sensor is as shown in FIG. 3E due to the influence of the leakage magnetic flux H EXT by the magnetization unit 10.

따라서, 본 발명에서는 상기 [수학식 3]에서 표현한 VH(X+ΔX, Y, Z)와 VH(X, Y, Z)의 차이를 구하기 위하여, 후술할 도 3처럼 X+ΔX와 X의 위치에 각각 별도의 자기센서를 설치하고 자기센서의 출력 신호의 차동값을 획득한다. Therefore, in the present invention, in order to calculate the difference between V H (X + ΔX, Y, Z) and V H (X, Y, Z) expressed in Equation 3, X + ΔX and X as shown in FIG. Install a separate magnetic sensor at each position and obtain the differential value of the output signal of the magnetic sensor.

도 4는 본 발명에 따른 자기센서 어레이를 설명하는 도면으로서, 자기센서 어레이(30)는 제1 자기센서 어레이(31)와 제2 자기센서 어레이(32)를 포함한다. 4 is a diagram illustrating a magnetic sensor array according to the present invention, in which the magnetic sensor array 30 includes a first magnetic sensor array 31 and a second magnetic sensor array 32.

상술한 것처럼, 제1 자기센서 어레이(31)는 일렬로 배열된 n개의 자기센서(31_1~31_n)를 포함하는데, 각 자기센서(31_1~31_n)는 서로 일정한 간격(M)으로 이격되어 배열된다. 각 자기센서(31_1~31_n)는 자화된 냉연강판(20)에서 누설되는 누설자속을 각각 감지하고, 감지된 누설자속에 상응하는 제1 출력신호를 생성한다. 제1 출력신호는 각 자기센서(31_1~31_n)의 출력신호의 집합이다.As described above, the first magnetic sensor array 31 includes n magnetic sensors 31_1 to 31_n arranged in a row, and each magnetic sensor 31_1 to 31_n is spaced apart from each other at a constant interval M. . Each of the magnetic sensors 31_1 to 31_n respectively detects a leaked magnetic flux leaking from the magnetized cold rolled steel sheet 20 and generates a first output signal corresponding to the detected leaked magnetic flux. The first output signal is a set of output signals of the respective magnetic sensors 31_1 to 31_n.

한편, 제1 자기센서 어레이(31)와 동일하게, 제2 자기센서 어레이(31)도 일 렬로 배열된 n개의 자기센서(32_1~32_n)를 포함하며, 각 자기센서(32_1~32_n)도 동일한 간격(M)으로 이격 배열된다. 각 자기센서(32_1~32_n)의 배열 간격(M)은 제1 자기센서 어레이(31)의 배열 간격(M)과 동일하다. 또한, 제1 및 제2 자기센서 어레이(31, 32)는 서로 일정한 간격(L)을 두고 평행하게 배치된다. 각 자기센서(32_1~32_n)는 자화된 냉연강판(20)에서 누설되는 누설자속을 각각 감지하고, 감지된 누설자속에 상응하는 제2 출력신호를 생성한다. 제2 출력신호는 각 자기센서(32_1~32_n)의 출력신호의 집합이다. Meanwhile, similarly to the first magnetic sensor array 31, the second magnetic sensor array 31 also includes n magnetic sensors 32_1 to 32_n arranged in a row, and each magnetic sensor 32_1 to 32_n is also the same. Spaced at intervals (M). The arrangement interval M of each of the magnetic sensors 32_1 to 32_n is the same as the arrangement interval M of the first magnetic sensor array 31. In addition, the first and second magnetic sensor arrays 31 and 32 are disposed in parallel with a predetermined distance L from each other. Each of the magnetic sensors 32_1 to 32_n respectively detects a leaked magnetic flux leaking from the magnetized cold rolled steel sheet 20 and generates a second output signal corresponding to the detected leaked magnetic flux. The second output signal is a set of output signals of the magnetic sensors 32_1 to 32_n.

자기센서 어레이(31, 32)에서 각 자기센서 간의 배열 간격(M), 자기센서 어레이 간의 이격 거리(L), 및 자기센서 어레이와 냉연강판 간의 이격(lift off) 거리는 자기센서의 민감도와 특성, 공간분해능, 냉연강판의 특성, 냉연강판이나 자기센서 어레이의 이송 속도/스캔 속도에 따라 적절하게 조정될 수 있다. In the magnetic sensor arrays 31 and 32, the arrangement distance M between the magnetic sensors, the separation distance L between the magnetic sensor arrays, and the lift off distance between the magnetic sensor array and the cold rolled steel sheet may be determined by the sensitivity and characteristics of the magnetic sensors. It can be appropriately adjusted according to the spatial resolution, the characteristics of the cold rolled steel sheet, and the feed rate / scan speed of the cold rolled steel sheet or the magnetic sensor array.

본 발명에 의하면, 어레이 형태로 배치된 자기센서를 이용하여 냉연강판을 스캔함으로써 냉연강판의 개재물 탐상 속도를 높일 수 있다.According to the present invention, by scanning the cold rolled steel sheet using a magnetic sensor arranged in an array form, it is possible to increase the inclusion inspection speed of the cold rolled steel sheet.

또한, 본 발명에서 제1 자기센서 어레이(31)와 제2 자기센서 어레이(32)는 그 출력신호의 차동값을 후술할 데이터 처리부(40)로 출력하도록 연결된다.In addition, in the present invention, the first magnetic sensor array 31 and the second magnetic sensor array 32 are connected to output the differential value of the output signal to the data processor 40 which will be described later.

이를 위해 제1 및 제2 자기센서 어레이(31, 32)에서 각 자기센서(31_1~31_n, 32_1~32_n)의 제1 전원단자(a)는 제1 전원라인(VCC)에 연결되고, 제1 및 제2 자기센서 어레이(31, 32)에서 각 자기센서(31_1~31_n, 32_1~32_n)의 제2 전원단자(b)는 접지라인(GND)에 연결된다.To this end, in the first and second magnetic sensor arrays 31 and 32, the first power terminal a of each of the magnetic sensors 31_1 to 31_n and 32_1 to 32_n is connected to the first power line V CC , and In the first and second magnetic sensor arrays 31 and 32, the second power terminal b of each of the magnetic sensors 31_1 to 31_n and 32_1 to 32_n is connected to the ground line GND.

그리고, 제1 자기센서 어레이(31)에서 각 자기센서(31_1~31_n)의 제1 출력단자(c)는 데이터 처리부(40)와 연결되고, 제2 자기센서 어레이(32)에서 각 자기센서 (32_1~32_n)의 제1 출력단자(c)는 데이터 처리부와 연결되며, 제1 자기센서 어레이(31)에서 각 자기센서(31_1~31_n)의 제2 출력단자(d)는 동일한 행에 위치한 제2 자기센서 어레이(32)의 자기센서(32_1~32_n)의 제2 출력단자(d)와 각각 연결된다.The first output terminal c of each of the magnetic sensors 31_1 to 31_n in the first magnetic sensor array 31 is connected to the data processor 40, and each magnetic sensor in the second magnetic sensor array 32. The first output terminal c of 32_1 to 32_n is connected to the data processor, and the second output terminal d of each of the magnetic sensors 31_1 to 31_n in the first magnetic sensor array 31 is located in the same row. 2 are respectively connected to the second output terminals d of the magnetic sensors 32_1 to 32_n of the magnetic sensor array 32.

도 4와 같은 자기센서 어레이(30) 구조에서는 Z-방향으로 아무리 큰 자기장이 발생한다고 하더라도, 자기센서 어레이(30)에서 출력되는 출력신호는 각 자기센서 어레이(31, 32)의 이웃하는 2 개의 센서(31_n, 32_n, 여기서 n은 어레이의 행 번호를 의미함)의 출력신호 차이만이 나타난다. 따라서, 도 3(f)와 같은 결과를 기대할 수 있으며, 본 발명에 따른 자기센서 어레이(30) 구조에서 얻어진 결과는 또한 상기 [수학식 3]의 분자값을 의미한다. In the structure of the magnetic sensor array 30 as shown in FIG. 4, no matter how large a magnetic field is generated in the Z-direction, the output signals output from the magnetic sensor array 30 are separated by two neighboring signals of the magnetic sensor arrays 31 and 32. Only the output signal difference of the sensors 31_n, 32_n, where n means the row number of the array, is shown. Therefore, the result as shown in FIG. 3 (f) can be expected, and the result obtained in the structure of the magnetic sensor array 30 according to the present invention also means the molecular value of Equation 3 above.

한편 분모값인 ΔX가 증가하면, [수학식 3]의 이론값은 감소하나 실제로는 도 4의 구조에서는 ΔX로 나누지 않아도 되며, 오히려 ΔX로 나누는 과정을 거치면 오차가 발생할 수 있다. 따라서, 본 연구에서는 [수학식 3]을 수정하여 다음처럼 표현한다. On the other hand, if the denominator value ΔX increases, the theoretical value of Equation 3 decreases, but in practice, the structure of FIG. Therefore, in this study, Equation 3 is modified and expressed as follows.

Figure 112009054507273-pat00004
Figure 112009054507273-pat00004

한편, 다이폴 모델(dipole model)에 의하면 길이 lC, 폭 wC, 깊이 dC인 개재 물로부터의 누설자속은 다음의 [수학식 5]로 표현될 수 있다.On the other hand, according to the dipole model (dipole model), the leakage magnetic flux from the inclusion having a length l C , width w C , depth d C can be expressed by the following [Equation 5].

Figure 112009054507273-pat00005
Figure 112009054507273-pat00005

또한, 자화부의 자극 간격을 wM, 자극의 길이를 lM, 자극의 높이를 dM이라 하면, 자화기에 의한 누설자속 분포는 다음의 [수학식 6]처럼 표현된다.If the magnetic pole spacing is w M , the length of the magnetic pole is l M , and the height of the magnetic pole is d M , the leakage flux distribution by the magnetizer is expressed by Equation 6 below.

Figure 112009054507273-pat00006
Figure 112009054507273-pat00006

한편, 자기센서를 홀센서로 가정하면, 홀전압은 상기 [수학식 5]와 [수학식 6]의 합에 비례한다. 따라서, [수학식 4]는 다음처럼 근사하여 표현될 수 있다.On the other hand, assuming that the magnetic sensor is a Hall sensor, the Hall voltage is proportional to the sum of Equation 5 and Equation 6. Therefore, Equation 4 may be expressed as follows.

Figure 112009054507273-pat00007
Figure 112009054507273-pat00007

여기서, k는 자기센서의 특성(예를 들어, 홀상수) 및 구동조건(예를 들면, 홀입력 전압과 증폭비)을 나타내는 비례상수이다.Here, k is a proportional constant representing the characteristics of the magnetic sensor (e.g., Hall constant) and the driving condition (e.g., Hall input voltage and amplification ratio).

본 발명에 따른 자기센서 어레이(30)는, 냉연강판(20) 또는 자기센서 어레이(30)가 이송되는 경우를 위한 것으로서, 어레이의 숫자를 더 증가시킬 필요가 없다. 또한 웨이퍼 상에서 배열된 홀센서를 도 4처럼 연결하고, 각 홀센서의 간격(M) 을 축소할수록 공간분해능이 높아진 결과를 얻을 수 있다.The magnetic sensor array 30 according to the present invention is for the case where the cold rolled steel sheet 20 or the magnetic sensor array 30 is transported, and it is not necessary to increase the number of the array further. In addition, the Hall sensors arranged on the wafer are connected as shown in FIG. 4, and as the distance M of each Hall sensor is reduced, the spatial resolution is increased.

본 발명에 따른 개재물 탐상 장치는 도 4처럼 2열의 자기센서를 평행하게 배치하고, 그 출력신호의 차동값을 증폭함으로써, [수학식 7]의 dVH/dX 분포를 얻을 수 있다. 본 발명에 따르면, 대형 자화기 사용에 의하여 외부 자기장의 세기가 결함이나 개재물의 존재에 기인한 누설자속보다 월등히 큰 경우, 증폭하기 전에 인접한 영역 간의 자기장의 세기를 검출할 수 있으므로, 외부 자기장의 세기에 대한 영향을 축소할 수 있는 효과가 있다. In the inclusion inspection device according to the present invention, as shown in FIG. 4, by arranging two magnetic sensors in parallel and amplifying the differential values of the output signals, the dV H / dX distribution of Equation 7 can be obtained. According to the present invention, when the intensity of the external magnetic field is significantly greater than the leakage magnetic flux due to the presence of defects or inclusions by using a large magnetizer, the strength of the external magnetic field can be detected before the amplification can be detected. There is an effect that can reduce the effect on.

도 5는 데이터 처리부를 설명하는 도면이다.5 is a diagram illustrating a data processing unit.

도 5를 참조하면, 데이터 처리부(40)는 필터(41)를 포함하는 증폭부(41), AD(analog to dogital) 변환부(43), 및 연산처리부(44)를 포함한다.Referring to FIG. 5, the data processor 40 includes an amplifier 41 including a filter 41, an analog to dogital (AD) converter 43, and an operation processor 44.

증폭부(41)는 상기에서 설명한 제1 출력신호 및 제2 출력신호의 차동값을 증폭하는 역할을 하며, 필터(41)는 제1 출력신호 및 제2 출력신호의 차동값을 필터링하는 역할을 한다. 필터링 및 증폭은 서로 순서가 뒤바뀌어도 무관하다. The amplifier 41 amplifies the differential values of the first output signal and the second output signal described above, and the filter 41 filters the differential values of the first output signal and the second output signal. do. Filtering and amplification can be reversed.

AD 변환부(43)는 증폭부(41)의 출력 신호를 디지털 신호로 변환하는 역할을 한다. The AD converter 43 converts the output signal of the amplifier 41 into a digital signal.

한편, 연산처리부(44)는 AD 변환부(43)의 출력 신호에 기초하여 냉연강판에서 누설되는 누설자속의 세기 분포를 정량적으로 수치화하고, 수치화한 데이터를 화상으로 출력한다. 또한, 연산처리부(44)는 냉연강판의 각 위치에서 발생되는 제1 및 제2 출력신호의 차동값의 미분값을 연산하고, 그 연산된 미분값을 수치화하고 그 수치화한 데이터를 화상으로 출력할 수 있다. 데이터 처리부(40)는 상기 수치화한 데이터를 분석함으로써 최종적으로 냉연강판에서 결함을 포함하는 개재물의 존재를 검출해낼 수 있다,On the other hand, the calculation processing section 44 quantitatively quantifies the intensity distribution of the leaked magnetic flux leaking from the cold rolled steel sheet based on the output signal of the AD converter 43, and outputs the digitized data as an image. Further, the calculation processing section 44 calculates the derivative value of the differential values of the first and second output signals generated at each position of the cold rolled steel sheet, digitizes the calculated derivative value, and outputs the digitized data as an image. Can be. The data processing unit 40 may finally detect the presence of inclusions containing defects in the cold rolled steel sheet by analyzing the digitized data.

도 6a 내지 도 6d는 자기센서 어레이와 자화방향이 이루는 각도 및 스캔 방향을 나타낸 도면이다.6A to 6D illustrate angles and scan directions formed between the magnetic sensor array and the magnetization direction.

도 6a는 자기센서 어레이(30)의 배열 방향이 스캔 방향과 수직이 되게 한 상태에서 자화방향과 수평인 방향으로 냉연강판을 스캔하는 경우를 예시하고, 도 6b는 자기센서 어레이(30)의 배열 방향이 스캔 방향과 특정 각도를 이루는 상태에서 자화방향과 수평인 방향으로 냉연강판을 스캔하는 경우를 예시하고, 도 6c는 자기센서 어레이(30)의 배열방향이 스캔 방향과 수직이 되게 한 상태에서 자화방향과 수직인 방향으로 스캔하는 경우를 예시하며, 도 6d는 자기센서 어레이(30)의 배열방향이 스캔 방향과 특정 각도를 이루는 상태에서 자화방향과 수직인 방향으로 스캔하는 경우를 각각 예시한다.FIG. 6A illustrates a case in which the cold rolled steel sheet is scanned in a direction parallel to the magnetization direction while the arrangement direction of the magnetic sensor array 30 is perpendicular to the scan direction, and FIG. 6B illustrates the arrangement of the magnetic sensor array 30. The cold rolled steel sheet is scanned in a direction parallel to the magnetization direction while the direction is at a specific angle with the scan direction, and FIG. 6C illustrates a state in which the arrangement direction of the magnetic sensor array 30 is perpendicular to the scan direction. A case of scanning in a direction perpendicular to the magnetization direction is illustrated, and FIG. 6D illustrates a case of scanning in a direction perpendicular to the magnetization direction in a state where the arrangement direction of the magnetic sensor array 30 forms a specific angle with the scan direction. .

도 6a 내지 6d에서 화살표(35)는 자기센서 어레이(30)의 배열 방향을 의미하고, 화살표(36)는 스캔 방향을 의미한다. 예를 들어, 도 6a는 자기센서 어레이(30) 또는 냉연강판(20)이 이송부에 의해 자화방향과 평행하게 이송되는 것을 나타낸다.6A to 6D, the arrow 35 indicates the arrangement direction of the magnetic sensor array 30, and the arrow 36 indicates the scan direction. For example, FIG. 6A shows that the magnetic sensor array 30 or the cold rolled steel sheet 20 is transported in parallel with the magnetization direction by the transfer unit.

차동 증폭된 자기센서 어레이(30)의 출력은 AD변환부(43)에 의해 저장되고, 영상화 및 냉연강판의 해석에 이용된다. 한편, XYZ 좌표계와 구별하기 위하여 별도의 좌표계 xyz를 도입한다. 냉연강판의 평면에 수직인 Z-방향은 z-방향과 동일하나, H-scan, V-scan, G-scan에서 각각의 스캔 방향이 x-방향이 된다. 따라서, H- scan에서 x-방향은 X-방향을 의미하며, V-scan 및 G-scan에서 x-방향은 Y-방향을 의미한다. [수학식 4]는 다음처럼 수정될 수 있다. The output of the differentially amplified magnetic sensor array 30 is stored by the AD converter 43 and used for imaging and analysis of the cold rolled steel sheet. On the other hand, a separate coordinate system xyz is introduced to distinguish it from the XYZ coordinate system. The Z-direction perpendicular to the plane of the cold rolled steel sheet is the same as the z-direction, but in the H-scan, V-scan, and G-scan, the respective scan directions are the x-direction. Thus, the x-direction in the H-scan means the X-direction, and the x-direction in the V-scan and G-scan means the Y-direction. Equation 4 can be modified as follows.

Figure 112009054507273-pat00008
Figure 112009054507273-pat00008

Figure 112009054507273-pat00009
Figure 112009054507273-pat00009

Figure 112009054507273-pat00010
Figure 112009054507273-pat00010

본 발명에 따르면, 자기센서 어레이(30)의 출력신호 자체가 dV/dx를 의미하므로, 개재물 또는 결함의 존재에 기인한 누설자속의 정보만을 효율적으로 추출할 수 있다. 또한 자기센서 어레이(30)의 출력신호를 스캔 방향으로 다시 미분함으로써 센서 간 바이어스 전압의 오차를 줄일 수 있으며, 이를 다음의 수학식 처럼 d2VH/dx2로 표현한다.According to the present invention, since the output signal itself of the magnetic sensor array 30 means dV / dx, it is possible to efficiently extract only the information of the leakage magnetic flux due to the presence of inclusions or defects. In addition, by differentiating the output signal of the magnetic sensor array 30 again in the scan direction, it is possible to reduce the error of the bias voltage between the sensors, which is expressed as d 2 V H / dx 2 as shown in the following equation.

Figure 112009054507273-pat00011
Figure 112009054507273-pat00011

Figure 112009054507273-pat00012
Figure 112009054507273-pat00012

본 발명에서 자기센서 어레이(30)를 스캔 방향과 특정 각도를 이루도록 기울이고 GH-scan하게 되면, 공간분해능은 센서 간 간격에 의지하기 때문에 향상되지만 측정영역은 더 좁아진다.In the present invention, when the magnetic sensor array 30 is tilted to form a specific angle with the scan direction and GH-scan, the spatial resolution is improved because it depends on the distance between the sensors, but the measurement area is narrower.

한편, 데이터 처리부(40)의 연산처리부(44)는 미분한 값인 d2VH/dx2 영상의 픽셀을 일정 면적으로 다음의 [수학식 13]처럼 적분할 수 있다. On the other hand, the calculation processing unit 44 of the data processing unit 40 may integrate the pixels of the d 2 V H / dx 2 image, which is a derivative value, into a predetermined area as shown in Equation 13 below.

Figure 112009054507273-pat00013
Figure 112009054507273-pat00013

[수학식 13]은 이동 평균과 같은 저대역 통과 필터의 효과를 가지며, 잡음 제거 효과를 소프트웨어적으로 구현할 수 있다. 결과적으로 개재물에 관한 정보만을 추출할 수 있다. Equation (13) has the effect of a low pass filter such as a moving average, and can implement a noise canceling effect in software. As a result, only information about inclusions can be extracted.

이상에서는 도면에 도시된 구체적인 실시예를 참고하여 본 발명을 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하므로, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 기술을 가진 자라면 이로부터 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명의 보호 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 해석되어야 하고, 그와 동등 및 균등한 범위 내에 있는 모든 기술적 사상은 본 발명의 보호 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention. Accordingly, the scope of protection of the present invention should be construed in accordance with the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents and equivalents thereof should be construed as being covered by the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 냉연강판의 개재물을 탐상하는 장치를 설명하는 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 illustrates an apparatus for flaw detection of inclusions in a cold rolled steel sheet according to an embodiment of the present invention.

도 2(a)와 도 2(b)는 각각 본 발명의 실시예에 따른 냉연강판의 개재물을 탐상하는 장치를 예시하는 도면.2 (a) and 2 (b) each illustrate an apparatus for flaw detection of inclusions in a cold rolled steel sheet according to an embodiment of the present invention.

도 3(a) 내지 도 3(f)는 각각 누설자속 검출에 의해 개재물을 탐상하는 원리를 설명하는 도면.3 (a) to 3 (f) are diagrams for explaining the principle of flaw detection of inclusions by leak magnetic flux detection, respectively.

도 4는 본 발명에 따른 자기센서 어레이를 설명하는 도면.4 illustrates a magnetic sensor array in accordance with the present invention.

도 5는 데이터 처리부를 설명하는 도면.5 is a diagram illustrating a data processing unit.

도 6a 내지 도 6d는 자기센서 어레이와 자화방향이 이루는 각도 및 스캔 방향을 나타낸 도면.6a to 6d are views illustrating angles and scan directions formed between the magnetic sensor array and the magnetization direction;

Claims (8)

압연된 냉연강판의 개재물을 연속적으로 탐상하기 위한 개재물 탐상 장치로서,An inclusion inspection device for continuously inspecting inclusions in a rolled cold rolled steel sheet, 직류전류를 이용하여 일방향의 자화방향을 가지는 자기장을 생성하고, 상기 생성된 자기장을 이용하여 냉연강판의 피측정 영역을 자화시키는 자화부;A magnetization unit generating a magnetic field having a magnetization direction in one direction by using a DC current, and magnetizing a region to be measured of the cold rolled steel sheet using the generated magnetic field; 일정 간격으로 일렬로 이격 배열된 n개의 자기센서를 포함하고, 상기 자화된 피측정 영역에서 누설되는 누설자속에 상응하는 제1 출력신호를 생성하는 제1 자기센서 어레이;A first magnetic sensor array including n magnetic sensors spaced in a row at regular intervals, the first magnetic sensor array generating a first output signal corresponding to a leaked magnetic flux leaking from the magnetized measured region; 상기 제1 자기센서 어레이의 자기센서와 동일한 간격으로 일렬로 이격 배열된 n개의 자기센서를 포함하고, 상기 자화된 피측정 영역에서 누설되는 누설자속에 상응하는 제2 출력신호를 생성하되, 상기 제1 자기센서 어레이와 평행하게 이격되어 배치되는 제2 자기센서 어레이;A second output signal including n magnetic sensors spaced apart in a row at the same interval as the magnetic sensors of the first magnetic sensor array, and generating a second output signal corresponding to the leakage magnetic flux leaking from the magnetized measured region; A second magnetic sensor array spaced apart from and parallel to the first magnetic sensor array; 상기 제1 및 제2 자기센서 어레이가 냉연강판의 누설자속을 스캔할 수 있도록, 상기 자화부 또는 상기 제1 및 제2 자기센서 어레이를 상기 자화부의 자화방향과 평행한 방향으로 이송시키는 이송부; 및 A transfer unit configured to transfer the magnetization unit or the first and second magnetic sensor arrays in a direction parallel to the magnetization direction of the magnetization unit so that the first and second magnetic sensor arrays scan the leakage magnetic flux of the cold rolled steel sheet; And 상기 제1 및 제2 출력신호의 차동값을 입력받아 상기 자화된 피측정 영역에서 누설되는 누설자속의 세기 분포를 정량화하는 데이터 처리부를 포함하고,A data processor configured to receive the differential values of the first and second output signals and to quantify the intensity distribution of the leakage magnetic flux leaking from the magnetized measurement region; 상기 제1 및 제2 자기센서 어레이는, 배열 방향이 상기 자화부의 자화방향과 경사진 각도를 이루도록 배열되고, 상기 제1 및 제2 출력신호의 차동값을 상기 데이터 처리부로 전달하도록 연결된 것을 특징으로 하는, 냉연강판의 개재물 탐상 장치.The first and second magnetic sensor arrays are arranged such that an array direction is inclined with the magnetization direction of the magnetization part, and is connected to transfer the differential values of the first and second output signals to the data processor. Inclusion flaw detection apparatus of cold rolled steel sheet to do. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1 및 제2 자기센서 어레이에서 각 자기센서의 제1 전원단자는 제1 전원라인에 연결되고, In the first and second magnetic sensor array, the first power terminal of each magnetic sensor is connected to a first power line, 상기 제1 및 제2 자기센서 어레이에서 각 자기센서의 제2 전원단자는 접지라인에 연결되고, In the first and second magnetic sensor array, the second power terminal of each magnetic sensor is connected to a ground line, 상기 제1 자기센서 어레이에서 각 자기센서의 제1 출력단자는 데이터 처리부와 연결되고, The first output terminal of each magnetic sensor in the first magnetic sensor array is connected to the data processor, 상기 제2 자기센서 어레이에서 각 자기센서의 제1 출력단자는 데이터 처리부와 연결되며, The first output terminal of each magnetic sensor in the second magnetic sensor array is connected to the data processor, 상기 제1 자기센서 어레이의 각 자기센서의 제2 출력단자는 동일한 행에 위치한 상기 제2 자기센서 어레이의 자기센서의 제2 출력단자와 각각 연결되는 것을 특징으로 하는, 냉연강판의 개재물 탐상 장치.And a second output terminal of each of the magnetic sensors of the first magnetic sensor array is connected to a second output terminal of the magnetic sensors of the second magnetic sensor array positioned in the same row, respectively. 제1항에 있어서, 상기 데이터 처리부는The method of claim 1, wherein the data processing unit 상기 제1 및 제2 출력신호의 차동값을 필터링 및 증폭하는 증폭부;An amplifier for filtering and amplifying differential values of the first and second output signals; 상기 증폭부의 출력 신호를 디지털 신호로 변환하는 AD(analog to dogital) 변환부; 및An analog to dogital (AD) converter for converting the output signal of the amplifier into a digital signal; And 상기 AD 변환부의 출력 신호에 기초하여 상기 냉연강판에서 누설되는 누설자속의 세기 분포를 정량적으로 수치화하고, 수치화한 데이터를 화상으로 출력하는 연산처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 냉연강판의 개재물 탐상 장치.And an arithmetic processing unit which quantitatively quantifies the intensity distribution of the leakage magnetic flux leaking from the cold rolled steel sheet based on the output signal of the AD converter, and outputs the digitized data as an image. . 제3항에 있어서, 상기 연산처리부는The method of claim 3, wherein the operation processing unit 상기 냉연강판의 각 위치에서 발생되는 상기 제1 및 제2 출력신호의 차동값의 미분값을 연산하고, 그 연산된 미분값을 수치화하는 것을 특징으로 하는, 냉연강판의 개재물 탐상 장치.The differential detection value of the differential value of the said 1st and 2nd output signal generate | occur | produced in each position of the said cold rolled steel sheet, Computing the derivative value of the cold rolled steel sheet, It characterized by the above-mentioned. 압연된 냉연강판의 개재물을 연속적으로 탐상하기 위한 개재물 탐상 장치로서,An inclusion inspection device for continuously inspecting inclusions in a rolled cold rolled steel sheet, 직류전류를 이용하여 일방향의 자화방향을 가지는 자기장을 생성하고, 상기 생성된 자기장을 이용하여 냉연강판의 피측정 영역을 자화시키는 자화부;A magnetization unit generating a magnetic field having a magnetization direction in one direction by using a DC current, and magnetizing a region to be measured of the cold rolled steel sheet using the generated magnetic field; 일정 간격으로 일렬로 이격 배열된 n개의 자기센서를 포함하고, 상기 자화된 피측정 영역에서 누설되는 누설자속에 상응하는 제1 출력신호를 생성하는 제1 자기센서 어레이;A first magnetic sensor array including n magnetic sensors spaced in a row at regular intervals, the first magnetic sensor array generating a first output signal corresponding to a leaked magnetic flux leaking from the magnetized measured region; 상기 제1 자기센서 어레이의 자기센서와 동일한 간격으로 일렬로 이격 배열된 n개의 자기센서를 포함하고, 상기 자화된 피측정 영역에서 누설되는 누설자속에 상응하는 제2 출력신호를 생성하되, 상기 제1 자기센서 어레이와 평행하게 이격되어 배치되는 제2 자기센서 어레이;A second output signal including n magnetic sensors spaced apart in a row at the same interval as the magnetic sensors of the first magnetic sensor array, and generating a second output signal corresponding to the leakage magnetic flux leaking from the magnetized measured region; A second magnetic sensor array spaced apart from and parallel to the first magnetic sensor array; 상기 제1 및 제2 자기센서 어레이가 냉연강판의 누설자속을 스캔할 수 있도록, 상기 자화부 또는 상기 제1 및 제2 자기센서 어레이를 상기 자화부의 자화방향과 수직인 방향으로 이송시키는 이송부; 및 A transfer unit configured to transfer the magnetization unit or the first and second magnetic sensor arrays in a direction perpendicular to the magnetization direction of the magnetization unit so that the first and second magnetic sensor arrays scan the leakage magnetic flux of the cold rolled steel sheet; And 상기 제1 및 제2 출력신호의 차동값을 입력받아 상기 자화된 피측정 영역에서 누설되는 누설자속의 세기 분포를 정량화하는 데이터 처리부를 포함하고,A data processor configured to receive the differential values of the first and second output signals and to quantify the intensity distribution of the leakage magnetic flux leaking from the magnetized measurement region; 상기 제1 및 제2 자기센서 어레이는, 배열 방향이 상기 자화부의 자화방향과 경사진 각도를 이루도록 배치되고, 상기 제1 및 제2 출력신호의 차동값을 상기 데이터 처리부로 전달하도록 연결된 것을 특징으로 하는, 냉연강판의 개재물 탐상 장치.The first and second magnetic sensor arrays are arranged such that an array direction is inclined with the magnetization direction of the magnetization part, and is connected to transfer the differential values of the first and second output signals to the data processor. Inclusion flaw detection apparatus of cold rolled steel sheet to do. 제5항에 있어서, The method of claim 5, 상기 제1 및 제2 자기센서 어레이에서 각 자기센서의 제1 전원단자는 제1 전원라인에 연결되고, In the first and second magnetic sensor array, the first power terminal of each magnetic sensor is connected to a first power line, 상기 제1 및 제2 자기센서 어레이에서 각 자기센서의 제2 전원단자는 접지라인에 연결되고, In the first and second magnetic sensor array, the second power terminal of each magnetic sensor is connected to a ground line, 상기 제1 자기센서 어레이에서 각 자기센서의 제1 출력단자는 데이터 처리부와 연결되고, The first output terminal of each magnetic sensor in the first magnetic sensor array is connected to the data processor, 상기 제2 자기센서 어레이에서 각 자기센서의 제1 출력단자는 데이터 처리부와 연결되며, The first output terminal of each magnetic sensor in the second magnetic sensor array is connected to the data processor, 상기 제1 자기센서 어레이의 각 자기센서의 제2 출력단자는 동일한 행에 위치한 상기 제2 자기센서 어레이의 자기센서의 제2 출력단자와 각각 연결되는 것을 특징으로 하는, 냉연강판의 개재물 탐상 장치.And a second output terminal of each of the magnetic sensors of the first magnetic sensor array is connected to a second output terminal of the magnetic sensors of the second magnetic sensor array positioned in the same row, respectively. 제5항에 있어서, 상기 데이터 처리부는The method of claim 5, wherein the data processing unit 상기 제1 및 제2 출력신호의 차동값을 필터링 및 증폭하는 증폭부;An amplifier for filtering and amplifying differential values of the first and second output signals; 상기 증폭부의 출력 신호를 디지털 신호로 변환하는 AD(analog to dogital) 변환부; 및An analog to dogital (AD) converter for converting the output signal of the amplifier into a digital signal; And 상기 AD 변환부의 출력 신호에 기초하여 상기 냉연강판에서 누설되는 누설자속의 세기 분포를 정량적으로 수치화하고, 수치화한 데이터를 화상으로 출력하는 연산처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 냉연강판의 개재물 탐상 장치.And an arithmetic processing unit which quantitatively quantifies the intensity distribution of the leakage magnetic flux leaking from the cold rolled steel sheet based on the output signal of the AD converter, and outputs the digitized data as an image. . 제7항에 있어서, 상기 연산처리부는The method of claim 7, wherein the operation processing unit 상기 냉연강판의 각 위치에서 발생되는 상기 제1 및 제2 출력신호의 차동값의 미분값을 연산하고, 그 연산된 미분값을 수치화하는 것을 특징으로 하는, 냉연강판의 개재물 탐상 장치.The differential detection value of the differential value of the said 1st and 2nd output signal generate | occur | produced in each position of the said cold rolled steel sheet, Computing the derivative value of the cold rolled steel sheet, It characterized by the above-mentioned.
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