KR101085099B1

KR101085099B1 - Rotation apparatus of sample for TEM analyzation

Info

Publication number: KR101085099B1
Application number: KR1020090011454A
Authority: KR
Inventors: 진원삼
Original assignee: 에이피텍 주식회사
Priority date: 2009-02-12
Filing date: 2009-02-12
Publication date: 2011-11-21
Also published as: KR20100095667A

Abstract

본 발명은 투과전자현미경 분석시료의 회전장치에 관한 것으로서 보다 상세하게는 투과전자현미경을 사용하여 분석시료 가공시 상부에 패턴(Pattern)이 있는 경우 워터 풀 어텍터(Water fall effect) 현상 또는 커튼 현상에 의해 가공이 어려웠으나 분석시료를 회전시켜 패턴을 하부로 위치 이동시킴으로서 분석시료를 관찰하면서 용이하게 분석시료를 가공할 수 있도록 한 투과전자현미경 분석시료의 회전장치에 관한 것인바, 본 발명은 분석시료를 고정하는 부착부재(70)가 관통하는 끼움설치공(11)이 형성되고 축공(12)이 중앙부에 수직으로 관통되어 형성된 고정헤드(10)에는 플레이트(20)가 일체로 형성되며, 상기 플레이트(20)와 플레이트(20)의 사이에는 공간부(30)를 구비한 홀더바디(50)와; 상기 고정헤드(10)의 축공(12)에 일부가 끼워지고 일부는 셔틀어셈블리(100)에 끼워지는 설치되는 작동봉(60)과; 상기 끼움설치공(11)에 끼워져 설치되는 부착부재(70)를 포함하여 이루어진 것에 그 특징이 있다.The present invention relates to a rotating device of a transmission electron microscope analysis sample, and more specifically, when there is a pattern (Pattern) in the upper part when processing an analysis sample using a transmission electron microscope (Water fall effect) phenomenon or curtain phenomenon Although it was difficult to process the present invention, the present invention relates to a device for rotating a transmission electron microscope analysis sample, which allows the sample to be easily processed while observing the sample by rotating the sample by rotating the sample. The fitting installation hole 11 through which the attachment member 70 fixing the sample is formed, and the plate 20 is integrally formed in the fixed head 10 formed by vertically penetrating the shaft hole 12. A holder body 50 having a space portion 30 between the plate 20 and the plate 20; A part of which is inserted into the shaft hole 12 of the fixed head 10 and a part of which is installed to the shuttle assembly 100; It is characterized in that it comprises an attachment member 70 is inserted into the fitting installation hole (11).

Description

Rotation apparatus of sample for TEM analyzation

본 발명은 투과전자현미경 분석시료의 회전장치에 관한 것으로서 보다 상세하게는 투과전자현미경을 사용하여 분석시료 가공시 상부에 패턴(Pattern)이 있는 경우 워터 풀 어텍터(Water fall effect) 현상 또는 커튼 현상에 의해 가공이 어려웠으나 분석시료를 회전시켜 패턴을 하부로 위치 이동시킴으로서 분석시료를 관찰하면서 용이하게 분석시료를 가공할 수 있도록 한 투과전자현미경 분석시료의 회전장치에 관한 것이다.The present invention relates to a rotating device of a transmission electron microscope analysis sample, and more specifically, when there is a pattern (Pattern) in the upper part when processing an analysis sample using a transmission electron microscope (Water fall effect) phenomenon or curtain phenomenon The present invention relates to a device for rotating a transmission electron microscope analysis sample that enables processing of analytical sample while observing the analytical sample by rotating the analytical sample, thereby moving the pattern downward.

일반적으로, 투과전자현미경(Transmission Electron Microscope 이하 TEM이라 칭함)은 물질의 상(Phase) 및 성분을 분석하는 장비로써 박편(약 100㎚ 이하)의 시료를 제조하여 고정시킨 후 고전위차로 가속시킨 전자를 시료에 입사 및 투과 시켜서 물질의 상 및 성분을 얻는 것이다.In general, a transmission electron microscope (hereinafter referred to as a TEM) is a device for analyzing phases and components of a material, and is prepared by fixing a sample of a flake (about 100 nm or less) and then accelerating it with a high potential difference. It is to enter and transmit the sample to obtain the phase and component of the material.

이러한 TEM 분석은 직경이 약 10㎛ 이하인 특정 부위의 분석에 많이 이용되 고 있으며, TEM 분석을 위하여 박편으로 제조되는 시료는 수작업으로 제조될 수 없고 집속 이온 빔 시스템(Focused Ion Beam System : 이하 'FIB'라 함)을 이용하여 제조되었다.Such TEM analysis is widely used for analysis of a specific part having a diameter of about 10 μm or less, and samples prepared by flakes for TEM analysis cannot be manufactured by hand, and a focused ion beam system (FIB) is described below. ').

한 분야를 예를들어 반도체 제조 공정 중에 웨이퍼에서 특정부위를 TEM을 사용하여 관찰하고자 할 경우에는 우선, 웨이퍼의 특정부위를 샘플링하여 시편(sample)을 형성한 후, 이 시편을 분석장치로 확인하면서 특정부위의 단면의 구조라든지 표면의 형상 또는 성분조사 등을 분석한다.For example, if you want to observe a specific part of a wafer using a TEM during a semiconductor manufacturing process, first, sample the specific part of the wafer to form a sample, and then confirm the test piece with an analyzer. Analyze the structure of the cross-section of a specific part, or investigate the shape or composition of the surface.

이러한 분석을 위한 TEM 시편을 제작하기 위한 종래 기술로는 FIB(Focused Ion Beam)방법이 제안된 바 있으며, 도 8은 종래 기술에 의한 TEM 시편 제작 과정을 나타낸 도면이다.As a conventional technique for manufacturing a TEM specimen for such analysis, a FIB (Focused Ion Beam) method has been proposed, and FIG. 8 is a view illustrating a TEM specimen manufacturing process according to the prior art.

먼저 도 8에 도시된 바와 같이 웨이퍼 또는 웨이퍼 침(10) 상에서 분석하고자 하는 특정 부위(11)를 FIB(Focused Ion Beam)를 이용하여 원하는 크기로 가공하여 발췌하는 방법이 현재 주로 이용된다.First, as shown in FIG. 8, a method of extracting a specific portion 11 to be analyzed on a wafer or wafer needle 10 to a desired size using a focused ion beam (FIB) is currently mainly used.

상기와 같이 분석시료(SP)를 제조하여 분석 및 가공하고자 할 때 첨부도면 도 9에 도시된 바와 같이 분석시료(SP)의 상부에 패턴(Pattern)이 있는 경우 워터 풀 어텍터(Water fall effect) 현상 또는 커튼 현상에 의해 하부의 "A"지점에 대하여 관찰이 용이하지 않아 하부의 "A"지점을 보기 위한 투과전자현미경 분석시료 가공방법에 있어서 분석시료의 가공이 어려운 문제점이 있었다.When preparing and analyzing and processing the analytical sample SP as described above, when there is a pattern (Pattern) on the upper portion of the analytical sample SP as shown in Figure 9 attached to (Water fall effect) In the transmission electron microscope analysis sample processing method for viewing the "A" point of the lower part due to the phenomenon or curtain phenomenon is difficult to observe, there was a problem that the processing of the analysis sample is difficult.

그리하여 상기와 같은 문제점을 해소하고자 종래에는 분석시료를 고정하는 그리드 자체를 약 170도 수직축으로 회전하고 다시 작업자가 보정각도를 주어 180 도를 맞추는 미세조절단계에 의하여 분석시료를 회전시키는 방법으로 분석시료를 회전시켰다.Thus, in order to solve the above problems, conventionally, the analysis sample is rotated by about 170 degrees on the vertical axis of the grid fixing the analysis sample, and the operator rotates the analysis sample by a fine adjustment step of adjusting the angle 180 degrees by the operator. Rotated.

그러나 상기한 종래 투과전자현미경 분석시료의 회전방법은 첫째, 1단계로 그리드를 약 170도 수직축으로 회전시켜 시료부착 후 2단계로 작업자가 보정각도를 주어 180도를 맞추도록 되어 있어 기계적 회전인 1단계 회전은 용이하나 180도로 맞추는 미세조절단계가 어려워 분석시료를 180도 회전시키는데 많은 시간이 소요되는 문제점과, 둘째, 정확한 180도 회전이 이루어지지 않아 분석시료 가공의 불량율이 증가되는 원인이기도 하였다. 셋째, 분석시료를 가공하여 완전한 분석시료를 제작하는 효율성이 극감하게 되고 따라서 분석시료를 분석하는데 시간이 과다하게 소요되는 문제점이 있다.However, the conventional method of rotating the transmission electron microscope sample is to rotate the grid about 170 degrees vertically in the first step and to adjust the angle 180 degrees by the operator in the second step after attaching the sample. Step rotation is easy, but it is difficult to fine-tune the adjustment step to 180 degrees, it takes a lot of time to rotate the analysis sample 180 degrees, and second, because the accurate 180 degrees rotation is not made was also the cause of the increase in the defective rate of the sample processing. Third, the efficiency of producing a complete analytical sample by processing the analytical sample is reduced, and thus there is a problem that takes too much time to analyze the analytical sample.

다른 방법으로는 프로브를 회전시키는 방법으로 상기 프로브를 180도 회전시키면 프로브가 일정한 각도로 경사각을 형성하고 있기 때문에 분석시료가 경사지게 회전되며 따라서 그리드가 정위치에 셋팅되어 있다가 분석시료의 경사각과 대응되는 경사각으로 회전되면 회전된 그리드에 분석시료를 부착시키고 다시 그리드를 원위치로 회정시킨다. 이때 상기 프로브와 그리드의 각도가 서로 동일 내지는 대향되는 각도를 유지할 수 없어 작업자가 각도 보정을 해보어야 하는 문제점이 있다.Alternatively, if the probe is rotated 180 degrees, the analytical sample is rotated inclined because the probe forms an inclined angle at a predetermined angle. Therefore, the grid is set in the correct position and corresponds to the inclined angle of the analytical sample. Once rotated at an angle of inclination, the sample is attached to the rotated grid and the grid is returned to its original position. In this case, the angle between the probe and the grid cannot be maintained at the same or opposite angles, so that the operator must correct the angle.

다른 문제점으로는 정확한 각도 보정이 어려워 분석시료 가공의 불량율이 증가되는 원인이되며 따라서 분석시료를 가공하여 완전한 분석시료를 제작하는 효율성이 극감하게 되므로 분석시료를 분석하는데 시간이 과다하게 소요되는 문제점이 있다.Another problem is that accurate angle correction is difficult, which increases the defective rate of analytical sample processing. Therefore, the efficiency of producing a complete analytical sample by processing the analytical sample is greatly reduced. have.

상기한 종래 문제점을 감안하여 안출한 본 발명인 투과전자현미경 분석시료의 회전장치는The rotating device of the transmission electron microscope analysis sample of the present invention in view of the above-mentioned conventional problems

첫째, 분석시료를 누구나 손쉽고 간단하고 빠르게 180도로 회전시킬 수 있고 ,First, anyone can easily and simply rotate the sample 180 degrees,

둘째, 정확한 180도 회전이 이루져 분석시료 가공의 불량율이 현저히 절감되는 이점이 있으며, Second, there is an advantage that the defect rate of analytical sample processing is significantly reduced by making accurate 180 degree rotation,

셋째, 분석시료를 가공하여 완전한 분석시료를 제작하는 효율성이 증대되고 Third, the efficiency of producing a complete analytical sample by processing the analytical sample is increased,

넷째, 한번의 회전으로 다수개의 분석시료를 회전시킬 수도 있고 이고 따라서 분석시료를 분석하는 시간이 절감되는 이점이 있으며,Fourth, it is possible to rotate a plurality of analysis samples in one rotation, and thus there is an advantage of reducing the time for analyzing the analysis samples.

여섯째, 회전중 분석시료의 훼손과 오염을 방지하며 회전중 다른 물체와 충돌을 일으켜도 분석시료는 보호되는 등의 이점이 있는 투과전자현미경 분석시료의 회전장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Sixthly, the purpose of the present invention is to provide a rotating device of a transmission electron microscope analysis sample which has the advantage of preventing damage and contamination of the analysis sample during rotation and protecting the analysis sample even if it collides with other objects during the rotation.

상기한 본 발명의 목적은 분석시료를 고정하는 부착부재(70)가 관통하는 끼움설치공(11)이 형성되고 축공(12)이 중앙부에 수직으로 관통되어 형성된 고정헤드(10)에는 플레이트(20)가 일체로 형성되며, 상기 플레이트(20)와 플레이트(20)의 사이에는 공간부(30)를 구비한 홀더바디(50)와; 상기 고정헤드(10)의 축공(12)에 일부가 끼워지고 일부는 셔틀어셈블리(100)에 끼워지는 설치되는 작동봉(60)과; 상기 끼움설치공(11)에 끼워져 설치되는 부착부재(70)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 분석시료의 회전장치에 의하여 달성된다.An object of the present invention described above is a plate 20 in the fixing head 10 is formed through the mounting hole 11 through which the attachment member 70 for fixing the analysis sample is formed and the shaft hole 12 is vertically penetrated to the center portion. ) Is integrally formed, and a holder body 50 having a space 30 between the plate 20 and the plate 20; A part of which is inserted into the shaft hole 12 of the fixed head 10 and a part of which is installed to the shuttle assembly 100; It is achieved by a rotating device of a transmission electron microscope analysis sample, characterized in that it comprises an attachment member 70 is inserted into the fitting installation hole (11).

이와 같은 본 발명은 투과전자현미경을 사용하여 분석시료 가공시 상부에 패턴(Pattern)이 있는 경우 워터 풀 어텍터(Water fall effect) 현상 또는 커튼 현상에 의해 가공이 어려웠으나 분석시료를 회전시켜 패턴을 하부로 위치 이동시킴으로서 분석시편을 누구나 손쉽고 간단하고 빠르게 180도로 회전시킬 수 있고 , 정확한 180도 회전이 이루져 분석시료 가공의 불량율이 현저히 절감되는 이점이 있으며, 분석시료를 가공하여 완전한 분석시료를 제작하는 효율성이 증대 및 한번의 회전으로 다수개의 분석시료를 회전시킬 수도 있고 이고 따라서 분석시료를 분석하는 시간이 절감되는 이점과 회전중 분석시료의 훼손과 오염을 방지하며 회전중 다른 물체와 충돌을 일르켜도 분석시료는 보호되는 등의 효과가 있는 유용한 발명이다.Such present invention is difficult to process by the water fall effect phenomenon or curtain phenomenon when the pattern (Pattern) at the top when processing the analytical sample using a transmission electron microscope, but by rotating the analytical sample to form a pattern Anyone can easily and simply and quickly rotate the analytical specimens by moving them to the bottom, and the accurate 180-degree rotation is achieved, which significantly reduces the defective rate of analytical samples. The analytical sample is processed to produce a complete analytical sample. The efficiency of the analysis can be increased and the number of samples can be rotated in one rotation, thus reducing the time for analyzing the samples, preventing damage and contamination of the samples during rotation, and causing collisions with other objects during rotation. Even if the analytical sample is protected, it is a useful invention with the effect of being protected.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부도면 도 1은 본 발명의 기술이 적용된 투과전자현미경 분석시료의 회전장치의 전체외형을 보여주는 사시도이며 도 2는 본 발명의 기술이 적용된 투과전자현미경 분석시료의 회전장치의 구조를 보여주는 분해사시도이고 도 3은 본 발명의 기술이 적용된 투과전자현미경의 분석시료 회전장치의 구조를 보여주는 단면도로서 이에 따르면 본 발명인 분석시료의 회전장치(1)은 분석시료(SP)를 고정하는 부착부재(70)가 관통하는 끼움설치공(11)이 형성되고 축공(12)이 중앙부에 수직으로 관통되어 형성된 고정헤드(10)에는 플레이트(20)가 일체로 형성되며 상기 플레이트(20)와 플레이트(20)의 사이에는 공간부(30)를 구비한 홀더바디(50)와 상기 고정헤드(10)의 축공(12)에 일부가 끼워지고 일부는 셔틀어셈블리(100)에 끼워지는 설치되는 작동봉(60)과 상기 끼움설치공(11)에 끼워져 설치되는 부착부재(70)를 포함하여 이루어진 구조이다.1 is a perspective view showing the overall appearance of a rotating device of a transmission electron microscope analysis sample to which the technique of the present invention is applied, and FIG. 2 is an exploded perspective view showing the structure of a rotating device of the transmission electron microscope analysis sample to which the technique of the present invention is applied. 3 is a cross-sectional view showing the structure of the analysis sample rotating apparatus of the transmission electron microscope to which the technique of the present invention is applied. According to this, the rotating apparatus 1 of the present inventors has an attachment member 70 for fixing the analysis sample SP. A plate 20 is integrally formed in the fixed head 10 formed by penetrating the fitting hole 11 and the shaft hole 12 is vertically penetrated to the center portion, and between the plate 20 and the plate 20. There is a holder body 50 having a space portion 30 and the operating rod 60 is inserted into a part of the shaft hole 12 of the fixed head 10 and a part is fitted to the shuttle assembly 100 and the Fitting A structure comprising an attachment member 70 which is inserted into the installation hole (11).

이때 상기 부착부재(70)의 일 끝단이 뾰족한 바늘 형태로 이루어진 것이 바람직하며 그 이유는 분석시료(SP)의 부착이 용이하기 위함이며, 첨부도면 도 2 내지 도 6a에 도시된 바와 같이 상기 끼움설치공(11)을 2개 이상 또는 부착부재(70)를 ⊃ 형태로 구조를 변경하여 사용할 수도 있다.At this time, one end of the attachment member 70 is preferably made in the form of a pointed needle, the reason is to facilitate the attachment of the analysis sample (SP), the fitting installation as shown in Figure 2 to 6a attached drawings It is also possible to use two or more balls 11 or to change the structure in the form of the attachment member 70.

상기 끼움설치공(11)이 2개 이상 형성시키고 끼움설치공(11)에 부착부재(70)를 설치하면 한번의 회전으로 다수개의 분석시료(SP)를 회전시킬 수도 있어 분석시료(SP)를 가공/분석하는 시간이 절감되는 이점이 있기 때문이다.If two or more fitting holes 11 are formed and the attachment member 70 is installed in the fitting hole 11, a plurality of analysis samples SP may be rotated by one rotation, thereby analyzing the analysis samples SP. This is because there is an advantage in that the time for processing / analysis is saved.

한편 상기 고정헤드(10)의 축공(12)과 중심이 직교하게 형성된 통공(15)과 상기 끼움설치공(11)과 중심이 직교하게 형성된 통공(16)에는 작동봉 및 부착부재를 고정하는 고정수단(80)을 더 설치하여 사용할 수도 있다. 상기 고정수단(80)을 설치하면 작동봉(60)과 부착부재(70)의 유동을 방지할 수 있으며, 고정수단(80)의 외주면에 나선을 형성시키고 상기 고정수단(80)이 설치되는 통공(15)(16)의 내주면 에도 나선을 형성시켜 나사결합되도록 하며 상기 고정수단(80)의 일 끝단에는 금속과 금속의 마찰을 방지하면서 고정력을 향상시킬 수 있도록 고무재 또는 실리콘재로 이루어진 충격흡수장치(90)를 설치하여 사용하는 것이 바람직하다. On the other hand, the fixing hole for fixing the operating rod and the attachment member in the through hole (15) formed in the center orthogonal to the shaft hole 12 of the fixed head 10 and the through hole (16) formed in the center perpendicular to the fitting installation hole (11) The means 80 may be further installed and used. If the fixing means 80 is installed to prevent the flow of the operating rod 60 and the attachment member 70, forming a spiral on the outer circumferential surface of the fixing means 80 and the through-hole in which the fixing means 80 is installed (15) (16) To form a spiral on the inner circumferential surface of the screw to be screwed to one end of the fixing means (80) shock absorption made of rubber or silicone material to improve the fixing force while preventing friction between metal and metal It is preferable to install and use the apparatus 90.

또한 상기 고정헤드(10)의 두께가 플레이트(20) 두께보다 두껍게 형성시켜 사용하는 것이 바람직하다. 그 이유는 본 발명의 분석시료의 회전장치(1)에 부착된 분석자료(SP)를 다른 기구물에 접속시킬 때 공간을 확보하기 위함이다.In addition, the fixing head 10 is preferably formed to be thicker than the thickness of the plate 20. The reason for this is to secure space when connecting the analysis data SP attached to the rotating device 1 of the analysis sample of the present invention to another apparatus.

첨부도면 도 5에 도시된 바와 같이 상기 작동봉(60)에 일반적으로 탄성력에 의해 유동하는 볼(61)을 더 부착 설치하여 사용할 수도 있으며 이때 상기 고정헤드(10)의 축공(12) 주변에는 볼삽입홈(13)을 형성시켜 사용하여야 한다.As shown in FIG. 5, a ball 61 which is generally flowed by the elastic force may be installed and used in the operating rod 60. In this case, the ball around the shaft hole 12 of the fixed head 10 may be used. Insert grooves 13 should be formed and used.

첨부도면 도 4에 도시된 바와 같이 상기 작동봉(60)의 단면형상이 원형, 사각형, 삼각형, 반원형 중 어느를 선택하여 사용할 수 있으며, 더불어 첨부도면 도 2와 도 6에 도시된 바와 같이 상기 부착부재(70)의 형상을 ｜형, ⊃형 중 하나로 형성시켜 사용할 수도 있다.As shown in FIG. 4, the cross-sectional shape of the operating rod 60 may be selected from a circle, a rectangle, a triangle, and a semicircle, and the attachment as shown in FIGS. 2 and 6. The shape of the member 70 can also be formed and used as ||

상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 작동을 상세히 설명하면 첨부도면 도 7에 도시된 바와 같이 본 발명의 투과전자현미경의 분석시료의 회전장치(1)는 셔틀어셈블리(100)의 상부에 부착 설치되어 분석시료(SP)를 180도 회전시키고자 할 때 사용된다. Referring to the operation of the present invention having a structure as described above in detail as shown in Figure 7 the rotary device 1 of the analysis sample of the transmission electron microscope of the present invention is attached to the upper portion of the shuttle assembly 100 is installed It is used to rotate the sample 180 degrees.

상기 회전방법은 첨부도면 도 7에 도시된 바와 같이 뾰족한 끝단을 형성한 프로브(200)를 이용하여 분석시료(SP)를 발췌한 후 상기 발췌된 분석시료(SP)를 프로브(200)와 유사하게 뾰족한 끝단을 구비하여 바늘 형태로 이루어진 본 발명의 요 부인 부착부재(70)로 분석시료(SP)를 위치 이동시킨다.The rotating method extracts analytical sample SP using a probe 200 having a pointed end as shown in FIG. 7, and then extracts the analytical sample SP similarly to the probe 200. The sample having a pointed end to move the analysis sample (SP) to the urine attachment member 70 of the present invention in the form of a needle.

상기 부착부재(70)는 고정헤드(10)의 끼움설치공(11)에 일부분이 관통되게 끼워 설치되면서 통공(16)에 나사 결합된 고정수단(80)이 가압되면 충격흡수수단(90)이 압착되면서 흔들림 및 빠짐을 방지하게 된다. 따라서 분석시료(SP)가 프로브(200)에서 일 끝단이 뾰족한 바늘 형태의 구조를 갖는 부착부재(70)로 이동되면 스테이지에 고정 설치된 셔틀어셈블리(100)에서 홀더바디(50)를 분리한다. The attachment member 70 is installed through a part of the fitting installation hole 11 of the fixing head 10 while the fixing means 80 screwed to the through hole 16 is pressed, the shock absorbing means 90 is Compression is prevented from shaking and falling out. Therefore, when the analysis sample SP is moved from the probe 200 to the attachment member 70 having a pointed needle-shaped structure, the holder body 50 is separated from the shuttle assembly 100 fixed to the stage.

상기 셔틀어셈블리(100)에서 홀더바디(50)를 분리시키는 방법은 셔틀어셈블리(100)의 고정공에 삽입된 작동봉(60)을 고정하는 고정수단의 고정력을 해지시키면 작동봉(60)을 용이하게 고정공으로부터 분리할 수 있게 된다.The method of separating the holder body 50 from the shuttle assembly 100 facilitates the operating rod 60 by releasing the fixing force of the fixing means for fixing the operating rod 60 inserted into the fixing hole of the shuttle assembly 100. It can be separated from the fixing hole.

셔틀어셈블리(100)로부터 홀더바디(50)가 분리되면 작업자는 홀더바디(50)를 180도 회전시켜 상부면을 하부로 이동시킨다. 다시말하여 홀더바디(50)를 뒤집어 고정헤드(10)의 하부에 수직으로 돌출되게 설치되어 있던 작동봉(60)이 상부로 이동되어 고정헤드(10)의 상부에 수직으로 직립되게 형성된다.When the holder body 50 is separated from the shuttle assembly 100, the operator rotates the holder body 50 by 180 degrees to move the upper surface downward. In other words, the operating rod 60, which is installed to protrude vertically to the lower part of the fixed head 10 by inverting the holder body 50, is moved upward and is formed to be perpendicular to the top of the fixed head 10 vertically.

상기에서와 같이 홀더바디(50)가 뒤집혀 180도 회전되면 통공(16)에 나사결합된 고정수단(80)의 고정력을 해지시키고 축공(12)에 삽입되어 있는 작동봉(60)을 가압하면 상부에 수직으로 직립되어 있던 작동봉(60)이 하부로 이동되면서 축공(12)으로부터 하방으로 돌출되게 되는데 상기 돌출된 작동봉(60)을 다시 셔틀어셈블리(100)에 결합 고정하면 홀더바디(50)가 셔틀어셈블리(100)에 고정되게 되면서 분석시료(SP)가 홀더바디(50)의 180도 회전과 동시에 같이 뒤집어져 180도 회전하게 되는 것이다.As described above, when the holder body 50 is turned upside down and rotated 180 degrees, the fixing force of the fixing means 80 screwed to the through hole 16 is released, and when the operating rod 60 inserted into the shaft hole 12 is pressed, The operating rod 60, which was vertically upright, moves downward and protrudes downward from the shaft hole 12. When the protruding operating rod 60 is fixed to the shuttle assembly 100, the holder body 50 is fixed thereto. While being fixed to the shuttle assembly 100, the analysis sample (SP) is to be rotated 180 degrees inverted at the same time as the holder body 50 rotates 180 degrees.

상기 분석시료(SP)가 180도 회전되면 홀더바디(50)의 부착부재(70)에 부착된 분석시료(SP)를 프로브(200)로 다시 이동시켜면 처음 각도에서 180도 회전된 분석시료(SP)가 다시 프로브에 부착되게 되므로 180도 회전된 분석시료(SP)를 그로브에 부착하여 분석시료를 관찰하면서 용이하게 가공할 수 있도록 한다.When the analysis sample SP is rotated 180 degrees, moving the analysis sample SP attached to the attachment member 70 of the holder body 50 to the probe 200 again, the analysis sample SP rotated 180 degrees from the initial angle. ) Is attached to the probe again so that the analysis sample (SP) rotated 180 degrees to the groove to be easily processed while observing the analysis sample.

따라서 분석시료(SP)를 누구나 손쉽고 간단하고 빠르게 180도로 회전시킬 수 있고 , 정확한 180도 회전이 이루져 분석시료(SP) 가공의 불량율이 현저히 절감되는 이점을 얻을 수 있게 된다. Therefore, anyone can easily and simply and quickly rotate the analysis sample (SP) 180 degrees, it is possible to obtain an advantage that the accurate 180-degree rotation is achieved to significantly reduce the defective rate of the analysis sample (SP) processing.

한편 첨부도면 도 4에 도시된 바와 같이 상기 작동봉(60)의 단면형상이 원형, 사각형, 삼각형, 반원형 중 어느를 선택하여 사용할 수 있으며, 더불어 첨부도면 도 2와 도 6에 도시된 바와 같이 상기 부착부재(70)의 형상을 ｜형, ⊃형 중 하나로 형성시켜 사용할 수도 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 4, the cross-sectional shape of the operating rod 60 may be selected from a circle, a rectangle, a triangle, and a semi-circle, and as shown in FIGS. 2 and 6. The shape of the attachment member 70 can also be used by forming one of ||

고정헤드(10)에 끼움삽입공(11)을 다수개 형성시키고 끼움삽입공(11)에 부착부재(70)를 설치하거나 첨부도면 도 6에 도시된 바와 같이 부착부재(70)의 구조를 변경하면 한번의 회전으로 다수개의 분석시료(SP)를 회전시킬 수도 있고 따라서 분석시료(SP)를 가공/분석하는 시간이 절감되는 이점이 있으며, 부착부재(70)가 플레이트(20) 사이의 공간부(30)에 설치됨으로 회전중 분석시료(SP)의 훼손과 오염을 방지하며 회전중 다른 물체와 충돌을 일르켜도 분석시료는 보호되는 등의 이점이 있다.Form a plurality of insertion holes 11 in the fixed head 10 and install the attachment member 70 in the insertion hole 11 or change the structure of the attachment member 70 as shown in the accompanying drawings. In this case, a plurality of analysis samples SP may be rotated by one rotation, and thus, time for processing / analyzing the analysis samples SP may be reduced, and the attachment member 70 may have a space portion between the plates 20. It is installed in the (30) to prevent damage and contamination of the analysis sample (SP) during rotation, even if the collision with other objects during the rotation has the advantage that the analysis sample is protected.

또한 상기 고정헤드(10)의 두께가 플레이트(20) 두께보다 두껍게 형성시켜 사용하는 것이 바람직하다. 그 이유는 본 발명의 분석시료의 회전장치(1)에 부착된 분석자료(SP)를 다른 기구물에 접속시킬 때 공간을 확보하기 위함이다.In addition, the fixed head 10 is preferably formed to be thicker than the thickness of the plate 20. The reason for this is to secure space when connecting the analysis data SP attached to the rotating device 1 of the analysis sample of the present invention to another apparatus.

첨부도면 도 5에 도시된 바와 같이 상기 작동봉(60)에 볼(61)을 설치하여 사용할 수도 있으며 상기 고정헤드(10)의 축공(12) 주변에는 볼삽입홈(13)을 형성시켜 사용할 수도 있다. 상기 작동봉(60)의 볼(61)과 볼삽입홈(13)은 작동봉(60)이 축공(12)에서 이탈되는 것을 방지하는 효과가 있다. As shown in FIG. 5, a ball 61 may be installed and used in the operating rod 60, and a ball insertion groove 13 may be formed around the shaft hole 12 of the fixed head 10. have. The ball 61 and the ball insertion groove 13 of the operating rod 60 has the effect of preventing the operating rod 60 is separated from the shaft hole 12.

이상에서 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 부착부재에 모터를 설치하여 부모터의 구동력에 의해 부착부재를 회전시켜 사용할 수 있듯 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러가지 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다.The present invention has been described above with reference to a preferred embodiment, which is merely an example and is not intended to limit the present invention. The present invention may be used by rotating the attachment member by a driving force of a parent by installing a motor in the attachment member. Those skilled in the art will appreciate that various modifications and applications not illustrated above are possible without departing from the essential characteristics of the present invention.

도 1은 본 발명의 기술이 적용된 투과전자현미경 분석시료의 회전장치의 전체외형을 보여주는 사시도.1 is a perspective view showing the overall appearance of a rotating device of a transmission electron microscope analysis sample to which the technique of the present invention is applied.

도 2는 본 발명의 기술이 적용된 투과전자현미경 분석시료의 회전장치의 구조를 보여주는 분해사시도.Figure 2 is an exploded perspective view showing the structure of a rotating device of a transmission electron microscope analysis sample to which the technique of the present invention is applied.

도 3a는 도 1의 A-A선 단면도이며 도 3b는 B-B선 단면도이다.3A is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 1, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line B-B.

도 4a 내지 도 4c는 작동봉의 다른 실시예를 보여주는 사시도.4a to 4c are perspective views showing another embodiment of the operating rod.

도 도 5는 본 발명의 요부인 작동봉과 축공의 다른 결합구조를 보여주는 사시도.Figure 5 is a perspective view showing another coupling structure of the operating rod and the shaft hole which is the main part of the present invention.

도 6a는 내지 도 6b는 본 발명의 요부인 부착부재의 다른 실시예를 보여주는 사시도.Figure 6a to Figure 6b is a perspective view showing another embodiment of the attachment member which is the main part of the present invention.

도 7은 본 발명의 작동을 보여주는 예시도.7 is an exemplary view showing the operation of the present invention.

도 8은 일반적으로 웨이퍼에서 분석시료를 제작하는 과정을 보여주는 예시도.8 is an exemplary view showing a process of manufacturing an analytical sample on a wafer in general.

도 9는 종래 분석시료의 상부에 패턴이 형성되어 있을 때 나타나는 워터 풀 어텍터(Water fall effect)을 보여주는 도면.9 is a view showing a water fall effect (Water fall effect) that appears when a pattern is formed on top of a conventional analytical sample.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※[Description of Reference Numerals]

1 : 분석시료의 회전장치1: Rotating device for analysis sample

10 : 고정헤드 11 : 끼움설치공10: fixed head 11: fitting installation hole

12 : 축공 20 : 플레이트12: shaft hole 20: plate

30 : 공간부 50 : 홀더바디30: space part 50: holder body

60 : 작동봉 70 : 부착부재60: operating rod 70: attachment member

80 : 고정수단 90 : 충격흡수장치80: fixing means 90: shock absorbing device

Claims

A fitting installation hole 11 through which the attachment member 70 for fixing the analysis sample is formed is formed, and the plate 20 is integrally formed in the fixed head 10 formed by vertically penetrating the shaft hole 12. A holder body 50 having a space portion 30 between the plate 20 and the plate 20;

A part of which is inserted into the shaft hole 12 of the fixed head 10 and a part of which is installed to the shuttle assembly 100;

Rotating device of a transmission electron microscope analysis sample, characterized in that it comprises an attachment member 70 is inserted into the fitting installation hole (11).

The apparatus of claim 1, wherein one end of the attachment member (70) has a pointed needle shape.

The apparatus of claim 1, wherein two or more fitting holes (11) are formed.

The method of claim 1, wherein the through hole 15 is formed perpendicular to the shaft hole 12 and the center of the fixing head 10 is characterized in that the fixing means 80 for fixing the operating rod 60 is further installed. Rotating device for transmission electron microscope sample.

The apparatus of claim 1, wherein the operating rod (60) is moved up and down in the shaft hole (12).

2. The transmission electron microscope analysis of claim 1, wherein a fixing hole (80) is formed to fix the attachment member (70) by forming a through hole (16) perpendicular to the fitting hole (11). Rotating device of the sample.

The apparatus of claim 1, wherein the fixing head (10) has a thickness greater than that of the plate (20).

The apparatus of claim 1, wherein a ball (61) is further attached to the operating rod (60).

The apparatus of claim 1, wherein a ball insertion groove (13) is provided around the shaft hole (12) of the fixed head (10).

The device of claim 1, wherein the cross section of the operating rod (60) is any one selected from a circle, a rectangle, a triangle, and a semicircle.

The apparatus of claim 1, wherein the attachment member (70) has a shape of || or a type | mold.

The apparatus of claim 4, wherein the fixing means (80) is further provided with an impact absorbing means (90).