KR101084991B1 - Arrayed waveguide grating and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 배열 도파로 회절격자소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 입력 및 출력 도파로, 입력 및 출력측 평판 도파로, 배열 도파로로 구성된 제1 배열 도파로 회절격자소자; 및 상기 제1 배열 도파로 회절격자소자의 입력 및 출력 도파로 끝단에 정렬하여 장착된 팬 아웃 소자를 이루는 배열 도파로 회절격자소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an arrayed waveguide diffraction grating element and a method of manufacturing the same, and more particularly, a first arrayed waveguide diffraction grating element comprising an input and output waveguide, an input and an output side waveguide, and an arrayed waveguide; And an arrayed waveguide diffraction grating element constituting a fan out element mounted at an end of an input and output waveguide of the first arrayed waveguide diffraction grating element and a method of manufacturing the same.

배열 도파로 회절격자소자(AWG), 배열 도파로 회절격자소자, 팬 아웃 소자(Fan-Out), 다이싱(Dicing). Arrayed Waveguide Diffraction Grating Element (AWG), Arrayed Waveguide Diffraction Grating Element, Fan-Out Element, Dicing.

Description

배열 도파로 회절격자소자 및 그 제조방법{ARRAYED WAVEGUIDE GRATING AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}Arrayed waveguide diffraction grating element and its manufacturing method {ARRAYED WAVEGUIDE GRATING AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

본 발명은 배열 도파로 회절격자소자에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 배열 도파로 회절격자소자의 모양 설계, 절단 형태, 광섬유와의 연결을 위한 팬 아웃 소자의 사용 및 정렬로 패키징 방법에 따른 광섬유 방향을 설계하는 배열 도파로 회절격자소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an arrayed waveguide diffraction grating element, and more particularly, to design the direction of the optical fiber according to the packaging method by designing the shape of the arrayed waveguide diffraction grating element, cutting shape, use of fan-out element for the connection with the optical fiber and alignment The present invention relates to an arrayed waveguide diffraction grating element and a manufacturing method thereof.

파장 다중화 통신은 하나의 광섬유에 다수의 파장(N개)을 갖는 광신호를 동시에 전송하는 통신이다. 이를 위하여 입력 및 출력단에 다수 광을 다중화하는 소자와 역다중화하는 소자가 필수적으로 사용되며, 이는 파장 다중화 통신의 핵심적인 소자이다. Wavelength multiplexing communication is a communication for simultaneously transmitting optical signals having a plurality of wavelengths (N) in one optical fiber. For this purpose, a device for multiplexing multiple lights and a demultiplexing device for input and output stages is essential, which is a key element of wavelength multiplexing communication.

현재 이러한 기능을 갖고 있는 소자는 여러 가지 방법과 기술에 의하여 제조되고 있으며, 가장 신뢰성이 우수하고, 저가이며, 집적화가 가능한 소자로서는 배열 도파로 회절격자(AWG: Arrayed Waveguide Grating)를 이용한 파장 다중화 소자가 많이 사용되고 있다.Currently, devices having such a function are manufactured by various methods and techniques, and the most reliable, low cost, and integratable devices include wavelength multiplexing devices using an arrayed waveguide grating (AWG). It is used a lot.

일반적으로 회절격자를 이용한 배열 도파로 회절격자소자를 제조하는 방법에 서 사용하는 기판(100)는 도 1에 설명한 바와 같이, 입력 도파로(110), 입력측 평판 도파로(120), 배열 도파로(130), 출력측 평판 도파로(140) 및 출력 도파로(150)를 형성하며, 입력 도파로(110)를 입력 직선부(111) 및 입력 곡선부(112)로 나뉘고, 출력 도파로(150)를 출력 직선부(151) 및 출력 곡선부(152)로 나눈다.In general, the substrate 100 used in the method of manufacturing the diffraction grating element using the diffraction grating includes the input waveguide 110, the input side waveguide 120, the array waveguide 130, and the like. An output side waveguide 140 and an output waveguide 150 are formed, and the input waveguide 110 is divided into an input straight portion 111 and an input curve portion 112, and the output waveguide 150 is output straight portion 151. And the output curve portion 152.

이와 같이, 종래의 배열 도파로 회절격자소자는 입력 도파로 및 출력 도파로의 피치간격을 넓히기 위해 입력측 평판 도파로 및 출력측 평판 도파로에서 입력 및 출력 직선부와 같이 길이방향으로 형성하다 입력 및 출력 곡선부에 의해 입력측 평판 도파로 및 출력측 평판 도파로와 다른 방향으로 방향을 전환한다. As described above, the conventional arrayed waveguide diffraction grating element is formed in the lengthwise direction of the input waveguide and the output waveguide waveguide in the longitudinal direction in the input side waveguide and the output side waveguide to widen the pitch interval between the input waveguide and the output waveguide. The direction is changed in a direction different from that of the planar waveguide and the output side waveguide.

이에 따른 배열 도파로 회절격자소자는 그 형태에 상관없이 사각형 모양으로 다이싱하여 배열 도파로 회절격자소자를 형성하였다. Accordingly, the arrayed waveguide diffraction grating element was diced into a rectangular shape irrespective of its shape to form the arrayed waveguide diffraction grating element.

또한, 배열 도파로 회절격자소자와 광섬유를 연결하기 위해 입출력 도파로의 채널간 간격을 광섬유의 채널 도파로 간격인 127 내지 250㎛를 맞추기 위해 입출력 도파로의 방향을 전환하여, 입출력 도파로의 부분을 길게 늘려 확장하였다. In addition, in order to connect the arrayed waveguide diffraction grating element and the optical fiber, the direction of the input and output waveguides was extended by extending the length of the input and output waveguides in order to match the inter-channel spacing of the input and output waveguides with the channel waveguide spacing of 127 to 250 μm. .

그러나, 광섬유의 채널 도파로 간격인 127 내지 250㎛을 맞추기 위해 입출력 도파로 부분을 확장하여 공간을 많이 차지하게 되어 배열 도파로 회절격자소자의 칩 사이즈를 점점 더 크게 만들어야 했으며, 이렇게 만들어진 배열 도파로 회절격자소자의 사이즈가 40채널의 경우 30mm * 40mm이상으로 너무 커져 한 장의 웨이퍼에 많은 개수의 배열 도파로 회절격자소자를 삽입할 수 없다는 문제점이 있었으며, 한 장의 웨이퍼에 많은 배열 도파로 회절격자소자를 삽입할 수 없어 많은 비용이 발생한다는 문제점이 있었다.However, in order to match the channel waveguide spacing of the optical fiber 127 to 250㎛, the portion of the input and output waveguide is expanded to occupy a lot of space, and thus the chip size of the arrayed waveguide diffraction grating device has to be made larger and larger. In the case of 40 channels, the size of the channel is so large that it is larger than 30mm * 40mm, and there is a problem in that it is impossible to insert the diffraction grating elements with a large number of array waveguides on a single wafer. There was a problem that the cost occurs.

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 광섬유 피치 입출력을 포함하지 않은 입력 및 출력 도파로, 입력 및 출력측 평판 도파로, 배열 도파로로 구성된 제1 배열 도파로 회절격자소자와 입력 및 출력 도파로 끝단에 정렬하여 장착된 팬 아웃 소자를 분리하여 형성하는 배열도파로 회절격자 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. Therefore, the technical problem to be solved by the present invention is an input and output waveguide that does not include the optical fiber pitch input and output, the first and second waveguide waveguide grating composed of the input waveguide waveguide, the array waveguide and the input and output waveguide The present invention relates to an arrayed waveguide grating element and a method of manufacturing the same.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 배열 도파로 회절격자소자의 배열 도파로 부분을 따라 곡선으로 다이싱하고, 입출력 평판 도파로를 따라 길이방향으로 형성된 입력 도파로 및 출력 도파로를 수직으로 다이싱하는 배열 도파로 회절격자소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. In addition, the technical problem to be solved by the present invention is an arrayed waveguide for dicing the curved waveguide along the portion of the arrayed waveguide of the arrayed waveguide diffraction grating element, and vertically dicing the input waveguide and the output waveguide formed in the longitudinal direction along the input and output plate waveguide A diffraction grating element and a method of manufacturing the same.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 수직으로 다이싱된 입출력 도파로의 간격을 넓혀 주기 위해 팬 아웃 소자의 일측을 장착하고, 도파로의 간격이 확장되어 형성된 팬 아웃 소자의 타측에 광섬유를 장착하는 배열 도파로 회절격자소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.In addition, the technical problem to be solved by the present invention is to mount one side of the fan out element to widen the interval between the vertically diced input and output waveguide, and to mount the optical fiber on the other side of the fan out element formed by extending the interval of the waveguide The present invention relates to an arrayed waveguide grating element and a method of manufacturing the same.

본 발명의 한 특징에 따른 배열 도파로 회절격자소자는, 입력 및 출력 도파로, 입력 및 출력측 평판 도파로, 배열 도파로로 구성된 제1 배열 도파로 회절격자소자; 및 상기 제1 배열 도파로 회절격자소자의 입력 및 출력 도파로 끝단에 정렬하여 장착된 팬 아웃 소자;를 포함하되,
상기 입력 및 출력 도파로는 간격이 20 내지 50 마이크로미터이고, 각각 입력 및 출력측 평판 도파로 길이방향으로 이루어진 것을 특징으로 한다.An arrayed waveguide diffraction grating element according to an aspect of the present invention comprises: a first arrayed waveguide diffraction grating element comprising an input and an output waveguide, an input and an output side plate waveguide, and an arrayed waveguide; And a fan out element mounted at an end of an input and output waveguide of the first arrayed waveguide diffraction grating element.
The input and output waveguides have a spacing of 20 to 50 micrometers, and the input and output waveguides are formed in the longitudinal direction, respectively.

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상기 특징에 따른 배열 도파로 회절격자소자의 상기 팬 아웃 소자는 일측이 입력 및 출력 도파로와 일치하고, 타측은 파이버 어레와 연결된 광섬유를 정렬하여 장착된 것을 특징으로 한다.The fan-out element of the arrayed waveguide diffraction grating element according to the above characteristics is characterized in that one side is aligned with the input and output waveguide, and the other side is arranged to align the optical fiber connected to the fiber array.

본 발명의 또 다른 특징에 따른 배열 도파로 회절격자소자 제조방법은 입력 및 출력 도파로, 입력 및 출력측 평판 도파로, 배열 도파로로 구성된 제1 배열 도파로 회절격자소자를 제조하는 단계; 및 상기 제1 배열 도파로 회절격자소자의 입력 도파로 및 출력 도파로 끝단에 피치가 확장된 팬 아웃 소자를 정렬하여 장착하는 단계;를 포함하되,
상기 입력 및 출력 도파로는 간격이 20 내지 50 마이크로미터이고, 각각 입력 및 출력측 평판 도파로 길이방향으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to still another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an arrayed waveguide diffraction grating element comprising: manufacturing a first arrayed waveguide diffraction grating element including an input and an output waveguide, an input and an output side plate waveguide, and an arrayed waveguide; And arranging and mounting a fan-out device having an extended pitch at an end of an input waveguide and an output waveguide of the first arrayed waveguide diffraction grating element.
The input and output waveguides have a spacing of 20 to 50 micrometers, and the input and output waveguides are formed in the longitudinal direction, respectively.

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상기 특징에 따른 배열 도파로 회절격자소자 제조방법의 상기 제1 배열 도파로 회절격자소자와 팬 아웃 소자는 별도의 기판에 형성하여 다이싱하는 것을 특징 으로 한다.The first arrayed waveguide diffraction grating element and the fan out element of the arrayed waveguide diffraction grating device manufacturing method according to the above characteristics are formed on a separate substrate and dicing.

이러한 본 발명의 특징에 따르면, According to this aspect of the present invention,

본 발명은 배열 도파로 회절격자 소자의 배열 도파로를 따라 곡선으로 다이싱하여 형성하고, 입력측 평판 도파로 및 출력측 평판 도파로의 길이방향과 수직하게 입력 도파로 및 출력 도파로를 형성하여 피치간격이 확장된 팬 아웃 소자 각각 형성하여 장착함으로써, 종래의 생산량에 비해 5배 내지 10배 정도 증가하는 효과와 비용을 절감하는 효과가 있다.According to the present invention, a fan out element is formed by dicing a curved line along an array waveguide of an array waveguide diffraction grating element, and forms an input waveguide and an output waveguide perpendicular to the longitudinal direction of an input plate waveguide and an output plate waveguide. By forming and mounting each, there is an effect of increasing the amount of about 5 to 10 times compared to the conventional production and the effect of reducing the cost.

또한, 본 발명은 배열 도파로 회절격자소자의 입출력부의 기능을 입출력 평판도파로와 입출력을 담당하는 부분과 광섬유와 입출력을 담당하는 부분을 분리하여 형성하여 용도에 따른 기판을 효율적인 사용을 할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention is formed by separating the function of the input and output portion of the arrayed waveguide diffraction grating element by the input and output plate waveguide and the part responsible for the input and output and the optical fiber and the input and output part to effectively use the substrate according to the purpose have.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참고로 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.

도 2는 본 발명에 따른 배열 도파로 회절격자소자 제조방법의 팬 아웃 소자를 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 배열 도파로 회절격자소자 제조방법에 사용하는 제1 배열 도파로 회절격자를 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 다중 입력 도파로를 갖는 배열 도파로 회절격자소자를 나타내는 도면이고, 도 5는 본 발명에 따른 단일 입력 도파로를 갖는 배열 도파로 회절격자소자를 나타내는 도면이다.2 is a view showing a fan out device of the method for manufacturing an arrayed waveguide diffraction grating element according to the present invention, Figure 3 is a view showing a first arrayed waveguide diffraction grating used in the method of manufacturing an arrayed waveguide diffraction grating element according to the present invention. 4 is a diagram illustrating an arrayed waveguide diffraction grating element having a multiple input waveguide according to the present invention, and FIG. 5 is a diagram illustrating an arrayed waveguide diffraction grating element having a single input waveguide according to the present invention.

도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 팬 아웃 소자(210)는 입력 및 출력 도파로 끝단에 정렬하여 장착하는 소자로, 제2 기판(200)에 복수개 형성된 팬 아웃 소자(210)를 다이싱하여 사용한다. As shown in FIG. 2, the fan out device 210 according to an embodiment of the present invention is an element mounted to be aligned at an end of an input and output waveguide, and a plurality of fan out devices 210 are formed on the second substrate 200. Dicing to use.

이때, 팬 아웃 소자(210)는 20 내지 50㎛ 간격을 갖는 입력 또는 출력 도파로의 간격을 127㎛ 또는 250㎛의 간격으로 확장하여 광섬유 장착이 용이하다.At this time, the fan out element 210 extends the interval of the input or output waveguides having a spacing of 20 to 50 μm to an interval of 127 μm or 250 μm to facilitate mounting of the optical fiber.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 제1 배열 도파로 회절 격자 소자(310)는 입력 및 출력 도파로, 입력 및 출력측 평판 도파로, 배열 도파로로 구성하는 소자로 제1 기판(300)에 복수개 형성된 제1 배열 도파로 회절격자 소자(310)를 다이싱하되, 상기 입력 및 출력 도파로는 각각 입력 및 출력측 평판 도파로 길이방향으로 이루어지며, 입력 및 출력 도파로를 수직으로 다이싱하고, 배열 도파로는 곡선으로 다이싱하여 “

Figure 112011071588858-pat00001
”와 같은 반쪽도넛 모양으로 형성한다.As shown in FIG. 3, the first arrayed waveguide diffraction grating element 310 according to the embodiment of the present invention is an element consisting of an input and output waveguide, an input and output side waveguide, and an arrayed waveguide. Dicing a plurality of first arrayed waveguide grating diffraction grating elements 310 formed in the circuit, wherein the input and output waveguides are respectively formed in the longitudinal direction of the input and output side waveguides, and vertically dice the input and output waveguides, and the arrayed waveguides Dicing into a curve
Figure 112011071588858-pat00001
It's shaped like a half donut.

도 4 및 도 5에 도시한 바와 같은 배열 도파로 회절격자(400)는 팬 아웃 소자(420)를 제1 배열 도파로 회절격자소자(410)의 입력 도파로(411) 또는 출력도파로(415)의 양 끝에 장착하여 구성한다.The arrayed waveguide diffraction grating 400 as shown in FIGS. 4 and 5 has a fan out element 420 at both ends of the input waveguide 411 or the output waveguide 415 of the first arrayed waveguide diffraction grating element 410. Configure by mounting.

이와 같이 구성된 배열 도파로 회절격자 제조하는 방법은 다음과 같다.A method of manufacturing an arrayed waveguide grating configured as described above is as follows.

먼저, 제1 마스크 래티클을 준비한다. 이때, 제1 마스크 래티클은 배열 도파로 회절격자소자(400)인 입력 도파로(410), 입력측 평판 도파로(420), 배열 도파로(430), 출력측 평판 도파로(440) 및 출력 도파로(450) 패턴이 형성되어 있으며, 상기 입력 도파로(410)는 입력측 평판 도파로(420)의 길이방향으로 형성하고, 상기 출력 도파로(450)는 출력측 평판 도파로(440)의 길이방향으로 형성한다. First, a first mask reticle is prepared. In this case, the first mask reticle has an input waveguide 410, an input side waveguide 420, an array waveguide 430, an output side waveguide 440, and an output waveguide 450 having an arrayed waveguide diffraction grating element 400. The input waveguide 410 is formed in the longitudinal direction of the input side waveguide 420, and the output waveguide 450 is formed in the longitudinal direction of the output side waveguide 440.

이때, 배열 도파로(430)를 포함한 제1 배열 도파로 회절격자소자(400)는 광위상을 정확히 맞추는 공정오차가 0.1㎛이하의 기술로 정밀함을 요한다. In this case, the first arrayed waveguide diffraction grating element 400 including the arrayed waveguide 430 requires a process error of accurately matching the optical phase to be 0.1 μm or less.

또한, 상기 제1 마스크 래티클(300)의 입력 도파로(410)는 또 다른 입력 도파로와 맞물려 연결하고, 상기 출력 도파로(450)는 또 다른 출력 도파로와 맞물려 연결하여 위아래로 형성된 “

Figure 112009018140737-pat00002
”와 같은 물결모양으로 복수개의 제1 배열 도파로 회절격자소자(400)를 형성할 수 있으며, 단일 제1 배열 도파로 회절격자소자는 "
Figure 112009018140737-pat00003
”와 같은 반쪽도넛 모양으로 배열에 따라 제1 마스크 래티클에 형성되는 모양은 상이할 수 있으므로 “
Figure 112009018140737-pat00004
”와 같은 물결모양으로 한정하지 아니한다. In addition, the input waveguide 410 of the first mask reticle 300 meshes with another input waveguide, and the output waveguide 450 meshes with another output waveguide and is formed up and down.
Figure 112009018140737-pat00002
And a plurality of first arrayed waveguide diffraction grating elements 400 may be formed in a wave shape such as
Figure 112009018140737-pat00003
Half donut shape, such as ", the shape formed on the first mask reticle may vary depending on the arrangement,
Figure 112009018140737-pat00004
It is not limited to the wave shape like “.

상기와 같이 형성된 제1 배열 도파로 회절격자소자(400)는 도 1과 같이 나타내는 종래의 배열 도파로 회절격자소자에 비해 5배 내지 10배 많은 배열 도파로 회절격자소자(400)를 형성할 수 있는 효과가 있다. The first arrayed waveguide diffraction grating element 400 formed as described above has an effect of forming an arrayed waveguide diffraction grating element 400 5 to 10 times more than the conventional arrayed waveguide diffraction grating element shown in FIG. 1. have.

이어서, 제2 마스크 래티클을 준비한다. 여기서, 제2 마스크 래티클은 도파로의 피치 간격을 넓혀주는 팬 아웃 소자(420) 패턴을 형성한다. 이때, 팬 아웃 소자(420)의 일측은 입출력 도파로(411) 및 출력도파로(415)와 연결되도록 도파로 간격인 20 내지 50㎛간격을 유지하고 점점 확장하여 타측은 파이버 어레이(430)와 연결된 광섬유(431)와 연결되도록 채널 간격이 127 내지 250㎛ 간격을 유지한다. Next, a second mask reticle is prepared. Here, the second mask reticle forms a fan out element 420 pattern that widens the pitch interval of the waveguide. At this time, one side of the fan out element 420 maintains the 20 to 50 ㎛ intervals of the waveguide spacing so as to be connected to the input and output waveguide 411 and the output waveguide 415, the other side is gradually expanded to the optical fiber connected to the fiber array 430 ( The channel spacing is maintained between 127 and 250 μm so as to be connected to 431.

이어서, 상기 제1 마스크 래티클의 제1 배열 도파로 회절격자소자(410) 패턴 및 제2 마스크 래티클의 팬 아웃 소자(420) 패턴을 각각의 기판에 형성한다. Subsequently, a first arrayed waveguide diffraction grating element 410 pattern of the first mask reticle and a fan out element 420 pattern of the second mask reticle are formed on each substrate.

이때, 제1 배열 도파로 회절격자소자(410) 패턴을 형성하는 기판를 제1 기판(300)라 칭하고, 팬 아웃 소자(420) 패턴을 형성하는 기판을 제2 기판(200)라 칭한다. 여기서, 상기 제1 기판(300) 및 제2 기판(200)을 기재하지 않아 도2 및 도 3의 제1 기판(300) 및 제2 기판(200)을 도시하여 도2 및 도 3을 참조한다. In this case, a substrate on which the first arrayed waveguide diffraction grating element 410 pattern is formed is called a first substrate 300, and a substrate on which the fan out element 420 pattern is formed is called a second substrate 200. Here, since the first substrate 300 and the second substrate 200 are not described, the first substrate 300 and the second substrate 200 of FIGS. 2 and 3 will be described with reference to FIGS. 2 and 3. .

또한, 팬 아웃 소자(420)는 제1 배열 도파로 회절격자 소자(410)와 도파로 코어의 굴절률 및 코어의 사이즈가 거의 같은 것을 사용하여 광결합시 광손실을 최소가 되도록 한다. In addition, the fan out element 420 minimizes optical loss during optical coupling using the first arrayed waveguide diffraction grating element 410 and the waveguide core having substantially the same refractive index and core size.

여기서, 제1 기판(300)의 제1배열 도파로 회절격자소자(410) 패턴 및 제2 기판(200)의 팬 아웃 소자(420) 패턴을 갖는 광도파로 소자는 통상의 광도파로 제조방법과 동일하며, 광도파로 제조공정은 당업자라면 쉽게 알 수 있는 사항으로 상세하게 설명하지 아니한다. Here, the optical waveguide device having the first arrayed waveguide diffraction grating element 410 pattern of the first substrate 300 and the fan out device 420 pattern of the second substrate 200 is the same as the conventional optical waveguide manufacturing method The optical waveguide manufacturing process is easily understood by those skilled in the art and will not be described in detail.

이어서, 상기 제1 기판(300)에 형성된 제1 배열 도파로 회절격자소자(410) 중 하나의 제1 배열 도파로 회절격자소자(410)만 추출하도록 배열 도파로(413) 부분을 따라 곡선으로 다이싱(Dicing)하고, 입력 도파로(411)과 출력 도파로(415)을 수직으로 다이싱(Dicing)하며, 제2 기판(200)에 형성된 팬 아웃 소자(420) 패턴을 다이싱(Dicing)한다. Subsequently, dicing the curve along the portion of the arrayed waveguide 413 so as to extract only one of the first arrayed waveguide diffraction grating elements 410 of the first arrayed waveguide diffraction grating elements 410 formed on the first substrate 300. Dicing), dicing the input waveguide 411 and the output waveguide 415 vertically, and dicing the fan out element 420 pattern formed on the second substrate 200.

다시 말하자면, 제1 기판(300)에 형성된 제1 배열 도파로 회절격자소자(410)는 도 3에 도시한 다이싱 라인(Dicing Ling, 320)을 따라 다이싱하여 제1 배열 도 파로 회절격자소자(410)를 추출한다. In other words, the first arrayed waveguide diffraction grating element 410 formed on the first substrate 300 may be diced along the dicing line 320 shown in FIG. 410 is extracted.

이때, 제1 기판(300)에 형성되어 추출한 하나의 제1 배열 도파로 회절격자소자(410)는 배열 도파로(413) 부분을 곡선으로 다이싱하고 입력 도파로(411) 및 출력 도파로(415)를 수직으로 다이싱하여 그 형태는 입력 도파로(411), 입력측 평판도파로(412), 배열 도파로(413), 출력측 평판 도파로(414) 및 출력 도파로(415)를 포함하는 “

Figure 112009018140737-pat00005
”와 같은 반쪽도넛 모양으로 형성한다. In this case, the first arrayed waveguide diffraction grating element 410 formed and extracted on the first substrate 300 dicing a portion of the arrayed waveguide 413 into a curved line, and the input waveguide 411 and the output waveguide 415 are perpendicular to each other. And the shape includes an input waveguide 411, an input side waveguide 412, an array waveguide 413, an output side waveguide 414, and an output waveguide 415.
Figure 112009018140737-pat00005
It's shaped like a half donut.

마지막으로, 상기 입력 도파로(411) 및 출력 도파로(415)에 팬 아웃 소자(Fan-Out, 420)을 정렬하여 장착한다. Finally, fan-out elements 420 are aligned and mounted to the input waveguide 411 and the output waveguide 415.

이때, 팬 아웃 소자(420)의 일측은 입력 도파로(411) 또는 출력 도파로(415)와 일치하고, 타측은 파이버 어레이(430)와 연결된 광섬유(431)를 정렬하여 장착하며, 상기 팬 아웃 소자(420)에 장착되는 입력 도파로(410) 및 출력 도파로(450) 와 광섬유(431)의 장착 순서와 상관없이 동일한 효과를 갖는다. At this time, one side of the fan out element 420 matches the input waveguide 411 or the output waveguide 415, and the other side aligns and mounts the optical fiber 431 connected to the fiber array 430, and the fan out element ( Regardless of the mounting order of the input waveguide 410 and the output waveguide 450 and the optical fiber 431 mounted on the 420, the same effects are obtained.

또한, 도 5와 같이, 단일 입력 도파로를 갖는 경우도 마찬가지로 단일 피치를 갖는 팬 아웃 소자를 이용하여 장착할 수 있다. In addition, as shown in FIG. 5, a single input waveguide can also be mounted using a fan out element having a single pitch.

이때, 입력 도파로(411) 및 출력 도파로(415)에 팬 아웃 소자(420)을 효율적으로 정렬하여 장착하기 위해 정렬용 도파로를 더 포함하여 형성한다. In this case, an alignment waveguide is further included in the input waveguide 411 and the output waveguide 415 so as to efficiently align and mount the fan out element 420.

상기와 같은 방법으로 형성된 배열 도파로 회절격자소자(400)는 다음과 같다. The arrayed waveguide diffraction grating element 400 formed by the above method is as follows.

본 발명의 실시 예에 따른 배열 도파로 회절격자소자(400)는 도 4에 도시한 바와 같이, 입력 도파로(411), 입력측 평판 도파로(412), 배열 도파로(413), 출력측 평판 도파로(414) 및 출력 도파로(415)를 “

Figure 112009018140737-pat00006
”와 같은 반쪽도넛 모양으로 다이싱하여 제1 배열 도파로 회절격자소자(410)를 형성한다.As shown in FIG. 4, the arrayed waveguide diffraction grating element 400 according to an exemplary embodiment of the present invention includes an input waveguide 411, an input side waveguide 412, an array waveguide 413, an output side waveguide 414, and the like. Output waveguide 415
Figure 112009018140737-pat00006
Dice into a half donut shape to form a first arrayed waveguide diffraction grating element 410.

이때, 입력 도파로(411) 및 출력 도파로(415)를 다이싱하는 다이싱 라인(320)과 직각을 이루도록 한다. In this case, the input waveguide 411 and the output waveguide 415 are perpendicular to the dicing line 320 for dicing.

상기 입력 도파로(411) 및 출력 도파로(415)일단 끝에 팬 아웃 소자(420) 일측을 각각 정렬하여 장착하여 형성하고, 팬 아웃 소자(420) 타측은 파이버 어레이(430)와 연결된 광섬유(431)를 정렬하여 연결하며, 이때, 입력 도파로(411)에 장착된 팬 아웃 소자(420)의 도파로는 적어도 하나 이상 형성한다. One end of the input waveguide 411 and the output waveguide 415 are formed by aligning one end of the fan out element 420, respectively, and the other end of the fan out element 420 forms an optical fiber 431 connected to the fiber array 430. In this case, at least one waveguide of the fan out element 420 mounted on the input waveguide 411 is formed.

이때, 팬 아웃 소자(420)은 20 내지 50㎛ 간격을 갖는 도파로의 간격을 127㎛ 또는 250㎛의 간격으로 확장하여 광섬유(431) 장착이 용이하다. In this case, the fan out element 420 may easily mount the optical fiber 431 by extending the interval of the waveguide having the interval of 20 to 50 µm to the interval of 127 µm or 250 µm.

상기 입출력 도파로(411,415)과 팬 아웃 소자(420)의 일측의 정렬을 용이하게 하고 광섬유(431)와 팬 아웃 소자(420)의 타측의 정렬을 용이하게 하기 위해 정렬용 도파로(미도시)를 이용할 수 있으며, 정렬용 도파로(미도시)는 입출력 도파로(411, 415)와 팬 아웃 소자(420), 팬 아웃 소자(420)와 광섬유(431)상호 정렬의 효율성 및 편리성을 증진 시킬 수 있다. An alignment waveguide (not shown) may be used to facilitate alignment of one side of the input / output waveguides 411 and 415 and the fan out element 420 and to facilitate alignment of the other side of the optical fiber 431 and the fan out element 420. In addition, the alignment waveguide (not shown) may enhance the efficiency and convenience of the input and output waveguides 411 and 415 and the fan out element 420, the fan out element 420 and the optical fiber 431.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가 능함은 물론이다. 따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 청구범위뿐만 아니라, 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As described above, in the detailed description of the present invention has been described with respect to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications without departing from the scope of the present invention Of course this is possible. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined by the equivalents as well as the claims to be described later.

도 1은 종래의 배열 도파로 회절격자소자 제조방법에 사용하는 기판을 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing a substrate used in a conventional method for manufacturing an arrayed waveguide diffraction grating element.

도 2는 본 발명에 따른 배열 도파로 회절격자소자 제조방법의 팬 아웃 소자를 나타내는 도면이다. 2 is a view showing a fan out device of the method for manufacturing an arrayed waveguide diffraction grating device according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 배열 도파로 회절격자소자 제조방법에 사용하는 제1 배열 도파로 회절격자를 나타내는 도면이다. 3 is a view showing a first arrayed waveguide diffraction grating used in the method for manufacturing an arrayed waveguide diffraction grating element according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 다중 입력 도파로를 갖는 배열 도파로 회절격자소자를 나타내는 도면이다. 4 is a diagram illustrating an arrayed waveguide diffraction grating element having multiple input waveguides according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 단일 입력 도파로를 갖는 배열 도파로 회절격자소자를 나타내는 도면이다. 5 is a diagram showing an arrayed waveguide diffraction grating element having a single input waveguide according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

200 : 제2 기판 210, 420 : 팬 아웃(Fan-out)소자200: second substrate 210, 420: fan-out device

300 : 제1 기판 300: first substrate

310, 410 : 제1 배열 도파로 회절격자소자310, 410: first array waveguide diffraction grating element

320 : 다이싱 라인(Dicing Line) 400 : 배열 도파로 회절격자소자320: dicing line 400: arrayed waveguide diffraction grating element

411 : 입력 도파로 412 : 입력측 평판 도파로411: input waveguide 412: input side waveguide

413 : 배열 도파로 414 : 출력측 평판 도파로413: array waveguide 414: output waveguide

415 : 출력 도파로 430 : 파이버 어레이 415: output waveguide 430: fiber array

431 : 광섬유431 optical fiber

Claims (8)

배열 도파로 회절격자소자에 있어서,In an arrayed waveguide grating element, 입력 및 출력 도파로, 입력 및 출력측 평판 도파로, 배열 도파로로 구성된 제1 배열 도파로 회절격자소자; 및A first arrayed waveguide grating element comprising an input and output waveguide, an input and output side waveguide, and an arrayed waveguide; And 상기 제1 배열 도파로 회절격자소자의 입력 및 출력 도파로 끝단에 정렬하여 장착된 팬 아웃 소자;를 포함하되,And a fan out element mounted at an end of an input and output waveguide of the first arrayed waveguide diffraction grating element. 상기 입력 및 출력 도파로는 간격이 20 내지 50 마이크로미터이고, 각각 입력 및 출력측 평판 도파로 길이방향으로 이루어진 것을 특징으로 하는 배열 도파로 회절격자소자.And the input and output waveguides have a spacing of 20 to 50 micrometers, and the input and output waveguides each have a longitudinal waveguide direction. 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 팬 아웃 소자는 일측이 입력 및 출력 도파로와 일치하고, 타측은 파이버 어레이와 연결된 광섬유를 정렬하여 장착된 것을 특징으로 하는 배열 도파로 회절격자소자.The fan-out device is an arrayed waveguide diffraction grating device, characterized in that one side is matched with the input and output waveguide, the other side is mounted to align the optical fiber connected to the fiber array. 배열 도파로 회절격자소자 제조방법에 있어서,In the method of manufacturing an arrayed waveguide diffraction grating element, 입력 및 출력 도파로, 입력 및 출력측 평판 도파로, 배열 도파로로 구성된 제1 배열 도파로 회절격자소자를 제조하는 단계; 및Manufacturing a first arrayed waveguide diffraction grating element comprising an input and output waveguide, an input and output side waveguide, and an arrayed waveguide; And 상기 제1 배열 도파로 회절격자소자의 입력 도파로 및 출력 도파로 끝단에 피치가 확장된 팬 아웃 소자를 정렬하여 장착하는 단계;를 포함하되,And arranging and mounting a fan-out device having an extended pitch at an end of an input waveguide and an output waveguide of the first arrayed waveguide diffraction grating element. 상기 입력 및 출력 도파로는 간격이 20 내지 50 마이크로미터이고, 각각 입력 및 출력측 평판 도파로 길이방향으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 배열 도파로 회절격자소자 제조방법.And the input and output waveguides have a spacing of 20 to 50 micrometers, and are formed in the longitudinal direction of the input and output side waveguides, respectively. 삭제delete 삭제delete 제 5항에 있어서 The method of claim 5 상기 제1 배열 도파로 회절격자소자와 팬 아웃 소자는 별도의 기판에 형성하여 다이싱하는 것을 특징으로 하는 배열 도파로 회절격자소자 제조방법.And the first arrayed waveguide diffraction grating element and the fan out element are formed on a separate substrate and diced.
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