KR101078345B1 - Slit door assembly for wafer transfer equipment - Google Patents

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KR101078345B1
KR101078345B1 KR1020110044160A KR20110044160A KR101078345B1 KR 101078345 B1 KR101078345 B1 KR 101078345B1 KR 1020110044160 A KR1020110044160 A KR 1020110044160A KR 20110044160 A KR20110044160 A KR 20110044160A KR 101078345 B1 KR101078345 B1 KR 101078345B1
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slit
slit door
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lifting
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임창선
고은호
한진현
박광수
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이프로링크텍(주)
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Abstract

PURPOSE: A slit door device of a wafer transfer apparatus is provided to prevent a wafer from being contaminated due to particles by embedding two cylinders in an additional housing. CONSTITUTION: A slit is formed in a top housing(110). An actuator frame(330) is installed under the top housing. A lifting cylinder(310) is installed in the actuator frame. The lifting shaft is connected to a support frame by passing through the actuator frame and a bottom housing. A clamping cylinder horizontally pushes the bottom of the actuator frame. A clamping shaft reciprocates in the clamping cylinder.

Description

웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치{SLIT DOOR ASSEMBLY FOR WAFER TRANSFER EQUIPMENT}SLIT DOOR ASSEMBLY FOR WAFER TRANSFER EQUIPMENT}

본 발명은 웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치에 관한 것으로서, 특히 2개의 실린더 즉, 승강 실린더와 클램핑 실린더를 통하여 슬릿 도어의 승강과 클램핑을 제어하되 상기 승강 실린더와 클램핑 실린더가 상기 슬릿 도어에서 이격되어 있는 별도의 하부 하우징에 내장되도록 함으로써 실린더 구동시 야기되는 샤프트의 마모와 파티클 발생에 의한 공정에러를 방지할 수 있는 웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a slit door device of a wafer transfer equipment, and in particular to control the lifting and clamping of the slit door through two cylinders, namely the lifting cylinder and the clamping cylinder, wherein the lifting cylinder and the clamping cylinder are spaced apart from the slit door. The present invention relates to a slit door device of a wafer transfer device capable of preventing a process error caused by abrasion of a shaft and particle generation caused by being embedded in a separate lower housing.

일반적으로 웨이퍼 이송장비는 웨이퍼의 로딩 및 언로딩을 위한 슬릿 도어를 가진다. 이때, 슬릿 도어의 구동을 위하여 공압 액추에이터(actuator)가 설치되는 것이 일반적이다. Typically, wafer transfer equipment has slit doors for loading and unloading wafers. At this time, a pneumatic actuator (actuator) is generally installed to drive the slit door.

도 1 및 도 2는 종래의 웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치를 설명하기 위한 도면들이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치에서는 슬릿 도어(10)의 후면에 위치하는 지지 프레임(20)에 클램핑 조절을 위한 에어를 공급하는 4개의 에어 실린더(30)가 연결 설치되고, 상기 지지 프레임(20)의 하부에는 상하 이동을 조절하는 1개의 에어 실린더(40)가 연결 설치된다. 그리고 지지 프레임(20)에 연결되어 슬릿 도어(10)의 상하 이동을 안내하도록 2개의 가이드 샤프트(50)가 설치된다. 1 and 2 are views for explaining a slit door device of a conventional wafer transfer equipment. 1 and 2, four air cylinders 30 supplying air for clamping adjustment to the support frame 20 located at the rear of the slit door 10 in the slit door apparatus of the conventional wafer transfer equipment. Is connected and installed, one air cylinder 40 to adjust the vertical movement is installed below the support frame 20 is connected. In addition, two guide shafts 50 are installed to be connected to the support frame 20 to guide the vertical movement of the slit door 10.

상술한 종래의 슬릿 도어 장치는 5개의 실린더(30, 40)가 지지 프레임(20)에 연결되어 외부에 노출되는 구성을 취한다. 따라서 슬릿 도어(10)의 개폐에 의해 챔버 내부가 진공과 대기압 상태를 반복하는 과정에서 챔버 내의 조건에 지속적으로 영향을 받게 되는 문제점이 있다. The conventional slit door apparatus described above has a configuration in which five cylinders 30 and 40 are connected to the support frame 20 and exposed to the outside. Therefore, there is a problem in that the inside of the chamber is continuously affected by the conditions in the chamber by the opening and closing of the slit door 10 to repeat the vacuum and atmospheric conditions.

또한, 5개의 실린더(30, 40)를 통한 에어 공급시 장기간의 사용에 따른 실린더 불량(Cylinder punk)이나 손상으로 야기되는 고압의 에어 누출에 의한 돌기성 에어의 영향으로 유발된 파티클이 공정 전후 웨이퍼 상하부에 묻게 되는 문제점이 발생하며, 종래에 빈번히 사용되던 페스토 실린더(Festo Cylinder)의 경우에는 고장시 에어의 공급이 멈추지 않고 계속 진행되어 파티클에 의한 웨이퍼의 오염을 가중시키게 되는 문제점이 있다.In addition, before and after the process, the particles caused by the influence of the projection air by the high-pressure air leakage caused by the cylinder punk or damage caused by long-term use when supplying air through the five cylinders (30, 40) The problem arises that the upper and lower parts are buried, and in the case of a pesto cylinder, which is frequently used in the related art, there is a problem that the supply of air is continued without stopping when the failure occurs, thereby increasing the contamination of the wafer by the particles.

또한, 종래의 슬릿 도어 장치는 슬릿 도어(10)를 클램프(clamp)하기 위해 2개의 에어 실린더(30)가 함께 동작하고, 슬릿 도어(10)를 언클램프(unclamp)하기 위해 나머지 2개의 에어 실린더(30)가 함께 동작해야 하므로, 클램프 또는 언클램프시에 2개의 에어 실린더에 공급되는 에어의 압력변화 및 압력 차이에 의해 슬릿 도어(10)의 레벨이 틀어지는 비대칭 동작이 발생하게 되어 챔버의 완벽한 밀폐를 구현하기 어려운 문제점이 있으며, 그로 인하여 에어 실린더와 에어 공급 라인 및 슬릿 도어의 손상이 야기되기도 한다. In addition, in the conventional slit door apparatus, two air cylinders 30 work together to clamp the slit door 10 and the other two air cylinders to unclamp the slit door 10. Since the 30 must be operated together, the asymmetrical operation in which the level of the slit door 10 is distorted due to the pressure change and the pressure difference of the air supplied to the two air cylinders at the time of clamping or unclamping occurs, thereby completely sealing the chamber. There is a problem that is difficult to implement, thereby causing damage to the air cylinder and the air supply line and the slit door.

그리고 2개의 가이드 샤프트(50)는 슬릿 도어(10)의 상하 이동뿐만 아니라, 클램핑 동작시 슬릿 도어(10)의 움직임을 최소화하기 위해 슬릿 도어(10)의 외각 부분에 설치되기 때문에 외부에 노출되고 상하 이동하며 움직이는 거리가 많아서 마모되거나 산화되는 영역도 증가하게 되어 그로 인해 상하 이동시 파티클을 유발하게 되는 문제점이 있다.In addition, the two guide shafts 50 are exposed to the outside because they are installed on the outer portion of the slit door 10 to minimize the movement of the slit door 10 during the clamping operation as well as the vertical movement of the slit door 10. There is a problem that the number of moving distance to move up and down to increase the wear or oxidized area, thereby causing particles when moving up and down.

또한, 종래 슬릿 도어 장치는 에어 실린더(30, 40)에서의 에어 누출로 인한 교체 작업 진행시 모두 분리 설치되어 있는 다수의 에어 실린더(30, 40)를 일일이 점검 및 교체하여야 하였으며, 슬릿 도어의 바로 후면에 설치된 에어 실린더를 교체하기 위한 교체 시간이 많이 소요되고, 교체 시간동안 3~4개의 챔버가 모두 다운됨으로 인해 반도체 생산 효율을 감소시키게 되는 문제점이 있다.
In addition, the conventional slit door device has to check and replace a plurality of air cylinders 30 and 40, which are all separately installed during the replacement operation due to air leakage from the air cylinders 30 and 40, and the slit door It takes a long time to replace the air cylinder installed on the rear, there is a problem that reduces the semiconductor production efficiency because all three to four chambers are down during the replacement time.

따라서 본 발명이 해결하려는 과제는 슬릿 도어의 승하강 및 클램핑에 사용되는 실린더의 개수와 그에 따른 에어 공급라인의 개수를 최소화하고 이러한 실린더를 별도의 하우징 내에 내장시킴으로써 챔버 내부의 조건에 영향을 받는 것을 최소화하고 에어 누출을 최소화하여 파티클에 의해 웨이퍼가 오염되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치를 제공하는 데 있다.
Therefore, the problem to be solved by the present invention is to be affected by the conditions inside the chamber by minimizing the number of cylinders used for lifting and clamping the slit door and thus the number of air supply lines and by embedding the cylinders in a separate housing. It is to provide a slit door device of the wafer transfer equipment that can minimize the contamination and minimize the air leakage to prevent the contamination of the wafer by the particles.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치는,  Slit door device of the wafer transfer equipment according to the present invention for achieving the above object,

슬릿이 형성되는 상부 하우징(110);An upper housing 110 in which a slit is formed;

상기 상부 하우징(110)의 밑에 설치되는 엑츄에이터 틀(330);An actuator frame (330) installed under the upper housing (110);

상기 엑츄에이터 틀(330)을 지지하도록 설치되는 하부 하우징(340);A lower housing 340 installed to support the actuator frame 330;

상기 슬릿을 개폐하도록 설치되는 슬릿 도어(100); A slit door 100 installed to open and close the slit;

상기 슬릿 도어(100)의 후면 가운데에 설치되는 지지 프레임(200); A support frame 200 installed at the rear center of the slit door 100;

상기 엑츄에이터 틀(340) 내에 설치되는 승강 실린더(310);A lifting cylinder 310 installed in the actuator frame 340;

상기 승강 실린더(310)에서 승하강 가능하면서 상기 엑츄에이터 틀(330)과 하부 하우징(340)의 위를 순차적으로 관통하여 상기 지지 프레임(200)에 연결되도록 설치되는 승강 샤프트(311);An elevating shaft 311 capable of elevating from the elevating cylinder 310 and being connected to the support frame 200 by sequentially passing through the actuator frame 330 and the lower housing 340;

상기 엑츄에이터 틀(330)의 밑부분을 수평방향으로 밀도록 설치되는 클램핑 실린더(320); 및A clamping cylinder 320 installed to push the lower portion of the actuator frame 330 in a horizontal direction; And

상기 클램핑 실린더(320)에서 왕복운동하도록 설치되는 클램핑 샤프트(321);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. And a clamping shaft 321 installed to reciprocate in the clamping cylinder 320.

상기 엑츄에이터 틀(330)과 하부 하우징(340)의 위를 순차적으로 관통하여 상기 승강 샤프트(311)를 사이에 두고 상기 지지 프레임(200)의 좌우 양쪽에 연결되도록 가이드 샤프트(400)가 설치되는 것이 바람직하고, 이 때 상기 엑튜에이터 틀(330)에는 상기 가이드 샤프트(400)가 옆으로 흔들리지 않으면서 승하강할 수 있도록 가이드 부쉬(450)가 설치되는 것이 바람직하다. The guide shaft 400 is installed so as to pass through the actuator frame 330 and the lower housing 340 sequentially and connected to the left and right sides of the support frame 200 with the lifting shaft 311 therebetween. Preferably, at this time, the actuator frame 330 is preferably provided with a guide bush 450 so that the guide shaft 400 can be moved up and down without shaking sideways.

상기 하부 하우징의 위에 상기 가이드 샤프트 및 상기 승강 샤프트가 관통하도록 형성되는 관통홀은 통과되는 가이드 샤프트 및 승강 샤프트가 유격을 가지고 옆으로 움직일 수 있도록 상기 가이드 샤프트 및 승강 샤프트보다 더 큰 것이 바람직하다.  Preferably, the through hole formed to penetrate the guide shaft and the lifting shaft on the lower housing is larger than the guide shaft and the lifting shaft so that the guide shaft and the lifting shaft passed therethrough can be moved laterally with clearance.

상기 승강 실린더(310)와 클램핑 실린더(320)는 공압에 의해 동작하고, 서로는 상호 연동되도록 설치되는 것이 바람직하다.  The lifting cylinder 310 and the clamping cylinder 320 is operated by pneumatic pressure, it is preferable to be installed to interlock with each other.

본 발명에 의하면, 슬릿 도어의 승하강 및 클램핑에 사용되는 실린더의 개수와 그에 따른 에어 공급라인의 개수가 적기 때문에 이러한 실린더를 별도의 하우징 내에 내장시킴으로써 챔버 내부의 조건에 영향을 받는 것을 최소화하고 에어 누출을 최소화하여 파티클에 의해 웨이퍼가 오염되는 것을 방지할 수 있게 된다.
According to the present invention, since the number of cylinders used for raising and lowering and clamping the slit door and the number of air supply lines accordingly are small, by embedding such cylinders in a separate housing to minimize the influence of the conditions inside the chamber and By minimizing leakage, particles can be prevented from being contaminated by the wafer.

도 1 및 도 2는 종래의 웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치를 설명하기 위한 도면들;
도 3은 본 발명에 따른 슬릿 도어를 설명하기 위한 정면도;
도 4는 도 3의 배면도;
도 5는 도 3의 좌측면도;
도 6 내지 도 9는 본 발명에 따른 슬릿 도어장치의 구동을 설명하기 위한 도면들이다. 1 and 2 are views for explaining a slit door device of a conventional wafer transfer equipment;
3 is a front view for explaining a slit door according to the present invention;
4 is a rear view of FIG. 3;
5 is a left side view of FIG. 3;
6 to 9 are views for explaining the driving of the slit door apparatus according to the present invention.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments are merely provided to understand the contents of the present invention, and those skilled in the art will be able to make many modifications within the technical scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as being limited to these embodiments.

도 3은 본 발명에 따른 슬릿 도어를 설명하기 위한 정면도이고, 도 4는 도 3의 배면도이며, 도 5는 도 3의 좌측면도이다. 도 3 내지 도 5를 참조하면, 상부 하우징(110)에 슬릿이 형성되어 있으며 슬릿 도어(100)는 상기 슬릿을 개폐하도록 설치된다. 상부 하우징(110)의 밑에는 사각틀 형상을 하는 엑츄에이터 틀(330)이 설치되며, 엑츄에이터 틀(330)은 하부 하우징(340)에 의해 지지된다. 하부 하우징(340)은 엑츄에이터 틀(330)의 둘레를 감싸도록 설치된다. 3 is a front view illustrating the slit door according to the present invention, FIG. 4 is a rear view of FIG. 3, and FIG. 5 is a left side view of FIG. 3. 3 to 5, slits are formed in the upper housing 110, and the slit door 100 is installed to open and close the slits. An actuator frame 330 having a rectangular frame shape is installed under the upper housing 110, and the actuator frame 330 is supported by the lower housing 340. The lower housing 340 is installed to surround the actuator frame 330.

슬릿 도어(100)의 후면 가운데에는 지지 프레임(200)이 설치된다. 엑츄에이터 틀(330) 내에는 승강 실린더(310)가 고정 설치되며 승강 실린더(310)에는 승하강 가능하도록 승강 샤프트(311)가 설치된다. 승강 샤프트(311)는 엑츄에이터 틀(330)과 하부 하우징(340)의 위를 순차적으로 관통하여 지지 프레임(200)에 연결된다. The support frame 200 is installed in the center of the rear of the slit door 100. An elevating cylinder 310 is fixedly installed in the actuator frame 330, and an elevating shaft 311 is installed in the elevating cylinder 310 to enable elevating. The lifting shaft 311 passes through the actuator frame 330 and the lower housing 340 sequentially and is connected to the support frame 200.

엑츄에이터 틀(330)과 하부 하우징(340)의 위를 순차적으로 관통하여 승강 샤프트(311)를 사이에 두고 지지 프레임(200)의 좌우 양쪽에 연결되도록 가이드 샤프트(400)가 설치된다. 가이드 샤프트(400)를 좌우 양쪽에 설치하는 것은 비틀림을 방지하기 위한 것이다. 엑튜에이터 틀(330)에는 가이드 샤프트(400)가 옆으로 흔들리지 않으면서 승하강할 수 있도록 가이드 부쉬(450)가 부착 설치된다. The guide shaft 400 is installed to sequentially pass through the actuator frame 330 and the lower housing 340 to be connected to both the left and right sides of the support frame 200 with the lifting shaft 311 therebetween. Installing the guide shaft 400 on both the left and right sides is for preventing twist. The actuator frame 330 is attached to the guide bush 450 so that the guide shaft 400 can move up and down without shaking sideways.

클램핑 실린더(320)는 엑츄에이터 틀(330)의 밑부분을 수평방향으로 밀도록 설치되며, 클램핑 샤프트(321)는 클램핑 실린더(320)에서 왕복운동하도록 설치된다.  The clamping cylinder 320 is installed to push the lower portion of the actuator frame 330 in the horizontal direction, the clamping shaft 321 is installed to reciprocate in the clamping cylinder (320).

도 6 내지 도 9는 본 발명에 따른 슬릿 도어장치의 구동을 설명하기 위한 도면들이다. 구체적으로, 슬릿 도어(100)의 승하강은 승강 실린더(310)에서 움직이는 승강 샤프트(311)를 통해서 이루어진다. 이 때 승강 실린더(310)는 하부 하우징(340) 내에 내장된 상태로 있는다. 6 to 9 are views for explaining the driving of the slit door apparatus according to the present invention. Specifically, the lifting and lowering of the slit door 100 is made through the lifting shaft 311 moving in the lifting cylinder 310. At this time, the lifting cylinder 310 remains in the lower housing 340.

슬릿 도어(100)의 클램핑은 클램핑 실린더(320)에서 움직이는 클램핑 샤프트(321)를 통해서 이루어진다. 클램핑 실린더(320)는 엑츄에이터 틀(330)의 밑부분을 수평방향으로 밀도록 하부 하우징(340)에 설치된다. 따라서 클램핑 샤프트(321)가 클램핑 실린더(320)에서 밀려 나오면 엑츄에이터 틀(330) 전체가 기울어지게 되면서 슬릿 도어(100)가 비스듬히 기울어지게 되고 따라서 슬릿을 치밀하게 밀봉하는 클램핑이 이루어진다. 이 때 가이드 샤프트(400)도 역시 가이드 부쉬(450)에 의해 엑츄에이터 틀(330)에 연결된 상태이므로 엑츄에이터 틀(330)과 함께 기울어지게 된다. Clamping of the slit door 100 is made through a clamping shaft 321 moving in the clamping cylinder 320. The clamping cylinder 320 is installed in the lower housing 340 to push the lower portion of the actuator frame 330 in the horizontal direction. Therefore, when the clamping shaft 321 is pushed out of the clamping cylinder 320, the entire actuator frame 330 is inclined and the slit door 100 is inclined obliquely, thus clamping tightly sealing the slit. At this time, since the guide shaft 400 is also connected to the actuator frame 330 by the guide bush 450, the guide shaft 400 is inclined together with the actuator frame 330.

승강 실린더(310)와 클램핑 실린더(320)는 공압에 의해 서로 상호 연동되도록 동작하는 것이 바람직하다. 클램핑 과정에서 엑츄에이터 틀(330)은 기울어지지만 하부 하우징(340)은 기울어지지 않을 것이므로, 승강 샤프트(311)와 가이드 샤프트(400)가 기울어지는 데에 하부 하우징(340)이 방해물로 작용할 수 있다. 따라서 이를 방지하기 위하여 승강 샤프트(311)와 가이드 샤프트(400)가 관통하는 하부 하우징(340)의 관통홀(345)은 유격을 가지도록 이들 보다 더 크도록 하는 것이 바람직하다. The lifting cylinder 310 and the clamping cylinder 320 are preferably operated to interlock with each other by pneumatic pressure. Since the actuator frame 330 is inclined in the clamping process but the lower housing 340 is not inclined, the lower housing 340 may act as an obstacle for the lifting shaft 311 and the guide shaft 400 to be inclined. Therefore, in order to prevent this, it is preferable that the through hole 345 of the lower housing 340 through which the elevating shaft 311 and the guide shaft 400 pass is larger than these so as to have a clearance.

본 발명은 종래와 달리 단 2개의 실린더 즉, 승강 실린더(310)와 클램핑 실린더(320)를 통해서 슬릿 도어(100)의 개폐 작용이 이루어지므로 실린더의 개수가 대폭 감소되어 실린더의 고장 및 교체시간을 크게 줄일 수 있으며, 에어의 누출에 의한 실린더 불량도 크게 줄일 수 있게 된다.Unlike the related art, since the opening and closing action of the slit door 100 is performed through only two cylinders, that is, the lifting cylinder 310 and the clamping cylinder 320, the number of cylinders is greatly reduced, thereby reducing the failure and replacement time of the cylinder. It can be greatly reduced, and the cylinder failure caused by the air leakage can be greatly reduced.

또한 승강 실린더(310)는 슬릿 도어(100)에서 떨어져 있는 별도의 하부 하우징(340) 내에 설치되므로, 승강 실린더(310)에 공급되는 에어 공급라인도 하부 하우징(340) 내부에 위치하게 되어 에어의 누출과 그로 인한 파티클의 발생을 최소화할 수 있게 된다. 그리고 승강 샤프트(311)는 하강시에 하부 하우징(340) 내로 들어가므로 진공과 대기압의 반복적 변화에 노출되는 부분이 현저하게 감소되어 부식 및 산화되는 정도 또한 현저히 감소된다. 결국 본 발명에 의할 경우 종래에 비해 상당한 부분이 하부 하우징(340)에 수납되어 외부에 노출되지 않기 때문에 외부 환경에 의한 부식 및 산화를 방지할 수 있게 된다.In addition, since the lifting cylinder 310 is installed in a separate lower housing 340 separated from the slit door 100, the air supply line supplied to the lifting cylinder 310 is also located inside the lower housing 340, thereby providing Leakage and resulting particles can be minimized. In addition, since the lifting shaft 311 enters the lower housing 340 at the time of the lowering, the portion exposed to repeated changes in vacuum and atmospheric pressure is significantly reduced, and the degree of corrosion and oxidation is also significantly reduced. As a result, according to the present invention, since a substantial portion of the present invention is stored in the lower housing 340 and is not exposed to the outside, corrosion and oxidation by the external environment can be prevented.

이하에서 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치의 작용을 설명한다. 먼저 승강 샤프트(311)가 아래로 내려가 있어 개방되어 있는 슬릿을 통해 웨이퍼를 챔버 내부로 이동시킨 후 에어를 공급하여 승강 샤프트(311)를 상승시킨다. 그러면 가이드 샤프트(400)도 함께 상승하면서 슬릿 도어(100)가 닫히게 된다.Hereinafter, the operation of the slit door device of the wafer transfer equipment according to the present invention. First, the lifting shaft 311 is lowered to move the wafer into the chamber through the slit open, and then the air is supplied to raise the lifting shaft 311. Then the slit door 100 is closed while the guide shaft 400 also rises together.

다음에, 클램핑 실린더(320)에 에어를 공급하여 슬릿 도어(100)를 슬릿쪽으로 이동시켜 밀폐시키면 클램핑시킨다. 이때, 하나의 클램핑 실린더(320)에 의해 슬릿 도어의 클램핑이 이루어짐으로써 클램핑시 가해지는 압력이 일정하게 되므로, 복수의 에어 공급라인을 통하여 공급되는 에어에 의할 경우 보다 클램핑을 안정적으로 조절할 수 있게 된다.Next, when the air is supplied to the clamping cylinder 320 to move the slit door 100 to the slit to seal it, it is clamped. At this time, the clamping of the slit door is made by one clamping cylinder 320, so that the pressure applied during clamping is constant, so that the clamping can be stably adjusted more than by air supplied through a plurality of air supply lines. do.

이어서, 슬릿 도어(100)를 조절하여 슬릿을 완전히 밀폐시킨 상태에서 챔버 내부를 진공으로 바꾸고 웨이퍼 상에 공정을 진행한다. 공정이 완료된 후에는 챔버 내부를 대기압으로 바꾸고 클램핑 실린더(320)에 에어를 공급하여 슬릿 도어(100)를 언클램핑 시킨다. Subsequently, the slit door 100 is adjusted to change the inside of the chamber into a vacuum in a state where the slit is completely sealed, and the process is performed on the wafer. After the process is completed, the inside of the chamber is changed to atmospheric pressure and air is supplied to the clamping cylinder 320 to unclamp the slit door 100.

그리고 승강실린더(310)에 에어를 공급하여 승강 샤프트(311)와 함께 가이드 샤프트(400)를 하강시켜 슬릿 도어(100)가 하강되도록 함으로써 슬릿을 개방시킨다. Then, the air is supplied to the lifting cylinder 310 to lower the guide shaft 400 together with the lifting shaft 311 so that the slit door 100 is lowered to open the slit.

본 발명에 의하면, 실린더의 개수를 간소화하여 상하 이동을 위한 승강실린더와 클램핑 조절을 위한 클램핑 실린더의 2개로 구성하고, 각 실린더에 연결된 에어 공급라인의 개수도 줄임으로써, 잦은 고장에 의한 설비 정지로 인한 로스를 최소화 할 수 있게 된다.According to the present invention, by simplifying the number of cylinders consisting of two lifting cylinders for up and down movement and clamping cylinders for clamping adjustment, by reducing the number of air supply lines connected to each cylinder, it is possible to stop the equipment due to frequent failures It is possible to minimize the loss caused.

그에 따라, 평균무고장시간(MTBF : Mean Time Before Failure)을 5개의 실린더와 그에 에어를 공급하는 다수의 에어 공급라인으로 구성되었던 종래 슬릿 도어 장치에서의 43,800분에서 109,500분으로 연장시킬 수 있게 되어 반도체 제조 장비의 정지로 인한 손실을 최소화할 수 있게 된다.Accordingly, it is possible to extend the mean time before failure (MTBF) from 43,800 minutes to 109,500 minutes in a conventional slit door device consisting of five cylinders and a number of air supply lines for supplying air thereto. It is possible to minimize the loss due to the stop of manufacturing equipment.

또한, 슬릿 도어에서 이격된 별도의 하우징에 승강실린더와 클램핑 실린더 및 그에 에어를 공급하는 공급라인을 설치함으로써, 고장시 슬릿 도어 장치를 전체 분해하지 않고 통합 액추에이터나 실린더만을 교체할 수 있게 되어 교체시간을 줄이고, 그에 따라 클리닝간 평균 시간(MTBC : Mean Time Between Cleaning)을 종래 슬릿 도어 장치에서 소요되던 240분에서 150분으로 크게 줄일 수 있게 된다.In addition, by installing a lifting cylinder, a clamping cylinder, and a supply line for supplying air to the housing separated from the slit door, only an integrated actuator or cylinder can be replaced without disassembling the slit door device in the event of a failure. Accordingly, the mean time between cleaning (MTBC) can be greatly reduced from 240 minutes to 150 minutes, which is required in the conventional slit door apparatus.

이와 같이, 상기 승강실린더와 클램핑 실린더로 이루어진 통합 액추에이터를 별도의 하우징에 통합 설치함으로써 외부로 노출되는 영역을 최소화하여 진공과 대기압 조건의 반복적 변화에 영향 받는 것을 최소화하고, 슬릿 도어를 상하 이동 및 클램핑하기 위한 실린더의 개수와 에어 공급라인의 개수도 감소시켜 고장을 방지하고 파티클의 발생을 최소화할 수 있게 된다.As such, by integrally installing the integrated actuator consisting of the lifting cylinder and the clamping cylinder in a separate housing, the area exposed to the outside is minimized to minimize the influence of repeated changes in the vacuum and atmospheric pressure conditions, and the slit door is moved up and down and clamped. In order to reduce the number of cylinders and the number of air supply line to prevent the failure and to minimize the generation of particles.

100: 슬릿 도어
110: 상부 하우징
200: 지지 프레임
310: 승강 실린더
311: 승강 샤프트
320: 클램핑 실린더
321: 클램핑 샤프트
330: 엑츄에이터 틀
340: 하부 하우징
400: 가이드 샤프트
450: 가이드 부쉬100: slit door
110: upper housing
200: support frame
310: lifting cylinder
311: lifting shaft
320: clamping cylinder
321: clamping shaft
330: actuator frame
340: lower housing
400: guide shaft
450: guide bush

Claims (4)

웨이퍼의 이송통로인 슬릿을 개폐하는 슬릿 도어 장치에 있어서,
슬릿이 형성되는 상부 하우징(110);
상기 상부 하우징(110)의 밑에 설치되는 엑츄에이터 틀(330);
상기 엑츄에이터 틀(330)을 지지하도록 설치되는 하부 하우징(340);
상기 슬릿을 개폐하도록 설치되는 슬릿 도어(100);
상기 슬릿 도어(100)의 후면 가운데에 설치되는 지지 프레임(200);
상기 엑츄에이터 틀(340) 내에 설치되는 승강 실린더(310);
상기 승강 실린더(310)에서 승하강 가능하면서 상기 엑츄에이터 틀(330)과 하부 하우징(340)의 위를 순차적으로 관통하여 상기 지지 프레임(200)에 연결되도록 설치되는 승강 샤프트(311);
상기 엑츄에이터 틀(330)의 밑부분을 수평방향으로 밀도록 설치되는 클램핑 실린더(320); 및
상기 클램핑 실린더(320)에서 왕복운동하도록 설치되는 클램핑 샤프트(321);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치. In the slit door device for opening and closing the slit, which is the transfer passage of the wafer,
An upper housing 110 in which a slit is formed;
An actuator frame (330) installed under the upper housing (110);
A lower housing 340 installed to support the actuator frame 330;
A slit door 100 installed to open and close the slit;
A support frame 200 installed at the rear center of the slit door 100;
A lifting cylinder 310 installed in the actuator frame 340;
An elevating shaft 311 capable of elevating from the elevating cylinder 310 and being connected to the support frame 200 by sequentially passing through the actuator frame 330 and the lower housing 340;
A clamping cylinder 320 installed to push the lower portion of the actuator frame 330 in a horizontal direction; And
And a clamping shaft (321) installed to reciprocate in the clamping cylinder (320). 제1항에 있어서, 상기 엑츄에이터 틀(330)과 하부 하우징(340)의 위를 순차적으로 관통하여 상기 승강 샤프트(311)를 사이에 두고 상기 지지 프레임(200)의 좌우 양쪽에 연결되도록 가이드 샤프트(400)가 설치되고, 상기 엑츄에이터 틀(330)에는 상기 가이드 샤프트(400)가 옆으로 흔들리지 않으면서 승하강할 수 있도록 가이드 부쉬(450)가 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치. The guide shaft of claim 1, wherein the guide shaft (330) passes through the actuator frame (330) and the lower housing (340) sequentially and is connected to both left and right sides of the support frame (200) with the lifting shaft (311) therebetween. 400 is installed, the actuator frame 330 is a slit door device of the wafer transfer equipment, characterized in that the guide bush 450 is installed so that the guide shaft 400 can move up and down without shaking sideways. 제2항에 있어서, 상기 하부 하우징의 위에 상기 가이드 샤프트 및 상기 승강 샤프트가 관통하도록 형성되는 관통홀은 통과되는 가이드 샤프트 및 승강 샤프트가 유격을 가지고 옆으로 움직일 수 있도록 상기 가이드 샤프트 및 승강 샤프트보다 더 큰 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치. According to claim 2, wherein the through hole formed to penetrate the guide shaft and the lifting shaft on the lower housing is more than the guide shaft and the lifting shaft so that the guide shaft and the lifting shaft passed through the play with the play Slit door device of the wafer transfer equipment, characterized in that large. 제1항에 있어서, 상기 승강 실린더(310)와 클램핑 실린더(320)는 공압에 의해 동작하고, 서로는 상호 연동되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장비의 슬릿 도어 장치. The slit door apparatus of claim 1, wherein the lifting cylinder (310) and the clamping cylinder (320) operate by pneumatic pressure, and are installed to interlock with each other.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100932119B1 (en) 2009-03-06 2009-12-16 (주)선린 Slit-door valve of semiconductor manufacturing equipment

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