KR101077289B1

KR101077289B1 - Ionizer

Info

Publication number: KR101077289B1
Application number: KR1020090101009A
Authority: KR
Inventors: 이응석; 목지수; 황준오; 이훈복
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2009-10-23
Filing date: 2009-10-23
Publication date: 2011-10-26
Also published as: KR20110044379A

Abstract

본 발명은 이오나이저에 관한 것으로, 본 발명에 따른 이오나이저는 관형으로 형성된 유전체, 메시구조로 형성되어 상기 유전체 내부에 구비된 방전전극 및 관형으로 형성되어 상기 유전체 외부에 구비되고 접지된 유도전극을 포함하는 이온발생소자, 및 상기 방전전극에 전압을 인가하는 전원 공급부를 포함하는 구성이며, 메시구조로 형성된 방전전극을 채용하여 전기 용량을 증가시킴으로써 이온화율을 향상시킬 수 있고, 전압 및 전력 소비를 낮출 수 있는 장점이 있다.The present invention relates to an ionizer, and the ionizer according to the present invention is formed in a tubular dielectric, a mesh structure, and a discharge electrode provided in the dielectric and a tubular induction electrode provided in the dielectric and grounded. And a power supply for applying a voltage to the discharge electrode, and employing a discharge electrode formed of a mesh structure to increase the capacitance, thereby improving the ionization rate, and reducing the voltage and power consumption. There is an advantage that can be lowered.

이오나이저, 메시, 관형, 유전체, 방전전극, 유도전극 Ionizer, Mesh, Tubular, Dielectric, Discharge Electrode, Induction Electrode

Description

Ionizer}

본 발명은 이오나이저에 관한 것이다.The present invention relates to an ionizer.

정전기(ESD; Electrostatic Discharge)는 두 물질이 마찰하거나 움직이는 경우에 발생하며, 그 물질이 접지된 상태라면 정전기는 대지로 방출되지만 그 물질이 절연되어 있는 상태라면 정전기가 축적되어 그 물질은 고전위로 대전된다. 고전위로 대전된 정전기는 가연성 가스, 석유류, 분진 등 폭발성 위험물을 취급하는 공장이나 설비에서 방전되어 스파크가 발생하면 화재, 폭발 등의 사고를 초래할 수 있는 문제점이 있다. 또한, 대전된 정전기가 전자 부품에 방전되면 방전 전류가 전자 부품의 낮은 저항 영역을 통과하게 되고, 이때 방전 전류는 전자 부품의 열파손(Thermal Breakdown), 기화(Vaporization of Metal) 등을 초래할 수 있는 문제점이 있다. 이외에도 정전기는 전자기기의 오작동이나 잡음에 의한 기능저하, 반도체 제조 또는 정전 도장 등에 있어서의 공정 장애 및 품질 저하, 먼지 또는 파티클(particle) 등에 의한 청정실의 오염을 초래할 수 있다.Electrostatic Discharge (ESD) occurs when two materials rub or move, and if the material is grounded, static electricity is released to the ground, but if the material is insulated, static electricity accumulates and the material is charged to a high potential. do. Static electricity charged by the high potential is discharged in a factory or facility that handles explosive dangerous goods such as flammable gas, petroleum, dust, there is a problem that can cause an accident, such as fire, explosion when sparks occur. In addition, when the charged static electricity is discharged to the electronic component, the discharge current passes through the low resistance region of the electronic component, where the discharge current may cause thermal breakdown or vaporization of the electronic component. There is a problem. In addition, static electricity may cause a malfunction of the electronic device or malfunction due to noise, process failure and quality deterioration in semiconductor manufacturing or electrostatic coating, and contamination of the clean room due to dust or particles.

이러한 정전기를 제거하기 위해서 통상 이오나이저(ionizer)를 이용하는데, 종래기술에 따른 이오나이저는 코로나(corona) 방식과 유전체 배리어 방전(DBD; Dielectric Barrier Discharge) 방식으로 나뉜다.In order to remove such static electricity, an ionizer is usually used. The ionizer according to the prior art is divided into a corona method and a dielectric barrier discharge (DBD) method.

도 1은 종래기술에 따른 코로나 방식 이오나이저의 단면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 코로나 방식 이오나이저(10)는 첨단형상의 방전전극(11)이 전원공급원(12)으로부터 전압을 인가받아 코로나 방전을 일으킴으로써 이온(13)을 생성한다. 생성된 이온(13)은 쿨롱의 법칙에 의해 분사되는데, 제전효율을 높이기 위해서 송풍수단(14)을 구비하여 이온(13)을 제전 대상물(16)에 더욱 효과적으로 전달할 수 있다.1 is a cross-sectional view of a corona ionizer according to the prior art. As shown in FIG. 1, in the corona ionizer 10, the tip-shaped discharge electrode 11 receives a voltage from the power supply source 12 to generate a corona discharge, thereby generating ions 13. The generated ions 13 are sprayed according to Coulomb's law, and in order to increase the efficiency of static elimination, blowers 14 may be provided to more effectively transfer the ions 13 to the static elimination object 16.

코로나 방식 이오나이저(10)는 상대적으로 먼 거리까지 이온(13)을 전달할 수 있는 장점이 있다. 하지만, 첨단형상의 방전전극(11)은 먼지 등의 퇴적이나 물리 스퍼터링에 의한 마모 등의 영향으로 인하여 이온화율이 저하되는 문제점이 있다. 또한, 방전을 유도하기 위해 구비된 유도전극(15)에는 고전압에 의한 정전흡착이 발생하고, 방전전극(11)의 물리 스퍼터링에 의한 먼지 등의 퇴적으로 오염이 진행되어 이온화율이 저하되는 문제점이 있다. 따라서, 코로나 방식 이오나이저(10)는 방전전극(11) 및 유도전극(15)에 대한 청소, 교환 등의 유지보수 작업이 요구되는 문제점이 있다.The corona ionizer 10 has an advantage of transferring ions 13 to a relatively long distance. However, the tip-shaped discharge electrode 11 has a problem in that the ionization rate is lowered due to the deposition of dust or the like and the wear caused by physical sputtering. In addition, electrostatic adsorption occurs due to high voltage on the induction electrode 15 provided to induce discharge, and contamination of the discharge electrode 11 due to physical dust sputtering, such as dust, progresses and thus the ionization rate is lowered. have. Therefore, the corona ionizer 10 has a problem in that maintenance work such as cleaning and replacing of the discharge electrode 11 and the induction electrode 15 is required.

그리고, 방전전극(11)과 유도전극(15) 사이에 일정한 절연거리를 확보해야 하므로 이온 발생을 위해 소정 크기 이상의 공간이 요구되고, 이온화율이 인가 전압에 비례하므로 고가의 대용량 전압공급원(12)이 필요하므로 이오나이저의 소형화 가 어려운 문제점이 있다.In addition, since a predetermined insulating distance must be secured between the discharge electrode 11 and the induction electrode 15, a space having a predetermined size or more is required for generating ions, and since an ionization rate is proportional to an applied voltage, an expensive large-capacity voltage source 12 Since this is necessary, miniaturization of the ionizer has a problem.

도 2은 종래기술에 따른 유전체 배리어 방전 방식 이오나이저의 단면도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 유전체 배리어 방전 방식 이오나이저(20)는 유전체(21)의 내부에 유도전극(22)이 구비되고, 유전체(21)의 외부에 방전전극(23)이 구비되어 방전전극(23)에 전원공급원(24)으로부터의 전압이 인가되면 유전체(21)의 전하 축적으로 인한 절연파괴에 의해 이온(25)을 생성한다.2 is a cross-sectional view of a dielectric barrier discharge ionizer according to the prior art. As shown in FIG. 2, the dielectric barrier discharge ionizer 20 includes an induction electrode 22 inside the dielectric 21 and a discharge electrode 23 disposed outside the dielectric 21 to discharge the dielectric barrier ionizer 20. When a voltage from the power source 24 is applied to the electrode 23, ions 25 are generated by the dielectric breakdown due to the charge accumulation of the dielectric 21.

유전체 배리어 방전 방식 이오나이저(20)는 유전체(21)를 이용하므로 상대적으로 저전압에서 이온(25)을 생성할 수 있고, 전력소비도 적다. 또한, 대면적 방전도 가능하고, 방전전극(23)을 코팅하여 열화 및 오염을 방지할 수 있다. 하지만, 유전체 배리어 방전 방식 이오나이저(20)는 비교적 고주파의 전력을 공급하지 않으면 방전전극(23)과 유도전극(22) 사이의 임프던스가 커지기 때문에 이온화율이 저하되는 문제점이 있다. 또한, 교류 전압을 인가하여 양이온과 음이온을 교대로 생성하는 경우 고주파 고전압 전원을 인가하면 양이온과 음이온의 생성 시간간격이 매우 짧기 때문에, 생성된 이온이 다음 주기에 생성된 반대 극성의 이온과 중화되어 전기적으로 안정하게 되면 이온이 튀어나오기 어려워 결과적으로 제전효율이 저하되는 문제점이 있다. 그리고, 유전체 배리어 방전 방식 이오나이저(20)는 방전전극(23) 제작이 어렵고 초기비용이 높으며, 방전할 때 전극 표면 상태의 영향을 많이 받아 뷸균일하게 이온(25)이 생성될 수 있는 문제점이 있다.Since the dielectric barrier discharge type ionizer 20 uses the dielectric 21, the ion barrier 20 can generate ions 25 at a relatively low voltage, and consumes little power. In addition, large-area discharge is possible, and the discharge electrode 23 may be coated to prevent deterioration and contamination. However, the dielectric barrier discharge ionizer 20 has a problem that the ionization rate is lowered because the impedance between the discharge electrode 23 and the induction electrode 22 is increased when relatively high frequency power is not supplied. In addition, when alternating positive and negative ions are generated by applying an alternating voltage, when a high frequency high voltage power supply is applied, the generation time of the positive and negative ions is very short. If electrically stable, it is difficult for the ions to stick out, resulting in a decrease in the static elimination efficiency. In addition, the dielectric barrier discharge ionizer 20 has a problem in that it is difficult to manufacture the discharge electrode 23 and has a high initial cost, and ions 25 may be uniformly generated due to the influence of the surface state of the electrode when discharging. have.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 메시구조로 형성된 방전전극을 채용하여 전기 용량을 증가시킴으로써 이온화율을 향상시키는 동시에 전압 및 전력 소비를 낮출 수 있는 이오나이저를 제공하기 위한 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention is to adopt the discharge electrode formed of a mesh structure to increase the capacitance to improve the ionization rate and at the same time lower the voltage and power consumption It is to provide.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이오나이저는 관형으로 형성된 유전체, 메시구조로 형성되어 상기 유전체 내부에 구비된 방전전극 및 관형으로 형성되어 상기 유전체 외부에 구비되고 접지된 유도전극을 포함하는 이온발생소자 및 상기 방전전극에 전압을 인가하는 전원 공급부를 포함하는 구성이다.An ionizer according to a preferred embodiment of the present invention is an ion generating device including a dielectric formed in a tubular shape, a mesh structure, a discharge electrode provided in the dielectric, and an induction electrode formed in a tubular shape provided outside the dielectric and grounded. And a power supply unit applying a voltage to the discharge electrode.

여기서, 상기 유전체에 일단과 연결되어 상기 방전전극 내부에 공기압을 제공하는 압축기를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the compressor further comprises a compressor connected to one end of the dielectric to provide air pressure inside the discharge electrode.

또한, 상기 메시구조는 관형으로 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the mesh structure is characterized in that formed in a tubular shape.

또한, 상기 유전체의 타단부는 말단으로 갈수록 직경이 감소하는 것을 특징으로 한다.In addition, the other end of the dielectric is characterized in that the diameter decreases toward the end.

또한, 상기 전원 공급부는 직류 전압원이고, 상기 방전전극에 양극을 인가하는 것을 특징으로 한다.In addition, the power supply is a DC voltage source, characterized in that for applying the anode to the discharge electrode.

또한, 상기 전원 공급부는 직류 전압원이고, 상기 방전전극에 음극을 인가하 는 것을 특징으로 한다.In addition, the power supply is a DC voltage source, characterized in that for applying a cathode to the discharge electrode.

또한, 상기 전원 공급부는 교류 전압원인 것을 특징으로 한다.In addition, the power supply is characterized in that the AC voltage source.

또한, 상기 메시구조는 도전성 금속으로 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the mesh structure is characterized in that formed of a conductive metal.

또한, 상기 유전체는 유리 또는 석영으로 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the dielectric is characterized in that formed of glass or quartz.

또한, 상기 방전전극은 구리 테이프로 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the discharge electrode is characterized in that formed of a copper tape.

또한, 상기 이온발생소자는 2 이상 구비되고, 상기 전원 공급부는 각각의 상기 이온발생소자의 상기 방전전극에 병렬연결되는 것을 특징으로 한다.In addition, the ion generating device is provided with two or more, characterized in that the power supply is connected in parallel to the discharge electrode of each of the ion generating device.

또한, 2 이상의 상기 이온발생소자는 제전영역이 중첩되도록 소정간격으로 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, two or more of the ion generating elements may be arranged at predetermined intervals such that the static elimination regions overlap.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법 으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in this specification and claims are not to be interpreted in a conventional and dictionary sense, and the inventors may appropriately define the concept of terms in order to best describe their invention. It should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention based on the principle that the present invention.

본 발명에 따르면, 메시구조로 형성된 방전전극을 채용하여 전기 용량을 증가시킴으로써 이온화율을 향상시킬 수 있고, 전압 및 전력 소비를 낮출 수 있는 장 점이 있다.According to the present invention, by employing a discharge electrode formed of a mesh structure to increase the capacitance, the ionization rate can be improved, there is an advantage that can lower the voltage and power consumption.

또한, 본 발명에 따르면, 이온발생소자가 관형으로 형성되어 먼지 등 이물질에 의한 오염을 방지할 수 있으므로 방전전극 및 접지전극에 대한 청소, 교환 등의 유지보수 비용을 절약할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, since the ion generating element is formed in a tubular shape to prevent contamination by foreign matters such as dust, there is an effect of saving maintenance costs such as cleaning and replacing the discharge electrode and the ground electrode.

또한, 본 발명에 따르면, 이온발생소자가 기본적으로 유전체 배리어 방전 방식이면서도 관형구조로 형성되어 이오나이저를 소형화할 수 있으므로 휴대용으로 제작이 가능하고 제전 대상물이 복잡한 3차원 형상이더라도 제전이 수행할 수 있는 장점이 있다. 또한, 이온발생소자를 다수 연결하여 제전 대상물이 대면적인 경우도 제전을 수행할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, since the ion generating element is basically a dielectric barrier discharge type but also has a tubular structure, which allows the ionizer to be miniaturized, it can be manufactured in a portable manner and even if the static elimination object is a complicated three-dimensional shape, the static elimination can be performed. There is an advantage. In addition, even when a large number of ion generating devices are connected to the ion generating device, there is an effect of performing static elimination.

또한, 본 발명에 따르면, 압축기(compressor)를 채용하여 제전 대상물이 원거리에 위치한 경우도 이온발생소자에서 생성된 이온을 전달할 수 있는 장점이 있다.In addition, according to the present invention, there is an advantage that can deliver the ions generated in the ion generating device even if the antistatic object is located at a long distance by using a compressor (compressor).

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요 소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, "일단", "타단", "내부", "외부" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 그리고, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략하도록 한다.The objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the preferred embodiments associated with the accompanying drawings. In the present specification, in adding reference numerals to the elements of each drawing, it should be noted that the same elements as much as possible even if displayed on the other drawings. In addition, the terms "one end", "other end", "inner", "outer" and the like are used to distinguish one component from another component, and the component is not limited by the terms. In describing the present invention, detailed descriptions of related well-known technologies that may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention will be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 이오나이저의 구성도이고, 도 4는 도 3에 도시된 이온발생소자의 구성도이다. 도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 이오나이저(1000)는 이온발생소자(100)와 전원 공급부(200)를 포함하는데, 이온발생소자(100)는 관형으로 형성된 유전체(110), 메시구조(125)로 형성되어 유전체(110) 내부에 구비된 방전전극(120) 및 관형으로 형성되어 유전체(110) 외부에 구비되고, 접지된 유도전극(130)을 포함한다. 또한, 전원 공급부(200)는 방전전극(120)에 전압을 인가하고, 이온(400)의 원거리 전달을 위해서 공기압을 제공하는 압축기(compressor; 300)를 더 구비할 수 있다.3A to 3C are schematic diagrams of an ionizer according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a schematic diagram of an ion generating device shown in FIG. 3. 3 to 4, the ionizer 1000 according to the present embodiment includes an ion generating device 100 and a power supply 200, and the ion generating device 100 has a tubular dielectric ( 110, a discharge structure 120 formed in the mesh structure 125 and provided in the dielectric 110, and formed in a tubular shape and provided outside the dielectric 110 and grounded induction electrode 130. In addition, the power supply unit 200 may further include a compressor 300 that applies a voltage to the discharge electrode 120 and provides air pressure for a long distance transfer of the ions 400.

유전체(110)는 전하 축척에 의한 절연파괴를 통해 이온발생소자(100)를 구동 시키는 역할을 하는 것으로, 내부에 방전전극(120)이 구비되고, 외부에 유도전극(130)이 구비된다. 여기서, 유전체(110)는 관형으로 형성되므로 유전체(110)의 내부에서 생성되는 이온(400)이 분산되지 않고 집중되어 제전효율을 높일 수 있다. 한편, 유전체(110)의 형상은 특별히 한정되는 것은 아니지만 균일한 방전이 수행될 수 있도록 원통형(도 4 참조)인 것이 바람직하다. 또한, 제전 대상물(500)에 이온(400)을 더욱 효과적으로 전달하기 위해서 유전체(110)의 타단부는 말단으로 갈수록 직경이 감소하는 것이 바람직하다. 그리고, 유전체(110)는 적정수준의 유전율을 갖으며 가공이 용이한 유리 또는 석영으로 제작하는 것이 바람직하다.The dielectric 110 serves to drive the ion generating device 100 through dielectric breakdown due to charge accumulation. A discharge electrode 120 is provided inside and an induction electrode 130 is provided outside. Here, since the dielectric 110 is formed in a tubular shape, ions 400 generated inside the dielectric 110 may be concentrated without being dispersed, thereby increasing the static elimination efficiency. On the other hand, the shape of the dielectric 110 is not particularly limited, but is preferably cylindrical (see FIG. 4) so that uniform discharge can be performed. In addition, in order to more effectively transfer the ions 400 to the antistatic object 500, the other end of the dielectric 110 may preferably decrease in diameter toward the end thereof. In addition, the dielectric 110 may be made of glass or quartz having an appropriate dielectric constant and easy to process.

방전전극(120)은 전원 공급부(200)로부터 전압을 인가받아 방전함으로써 이온(400)을 생성하는 역할을 한다. 더욱 상세히 살펴보면, 방전전극(120)은 전원 공급부(200)로부터 양극을 인가받는 경우 방전전극(120)은 접지된 유도전극(130)과의 전위차에 의한 방전으로 양이온(400)을 생성한다(도 3a 참조). 반면, 전원 공급부(200)로부터 음극을 인가받은 경우 방전전극(120)은 음이온(400)을 생성한다(도 3b 참조). 또한, 전원 공급부(200)로부터 교류 전압을 인가받는 경우 방전전극(120)은 양이온(400)과 음이온(400)을 교대로 생성한다(도 3c 참조).The discharge electrode 120 receives the voltage from the power supply unit 200 and discharges the ions 400 to generate ions 400. In more detail, when the discharge electrode 120 receives the anode from the power supply unit 200, the discharge electrode 120 generates the cation 400 by the discharge due to the potential difference from the grounded induction electrode 130 (FIG. 3a). On the other hand, when the negative electrode is applied from the power supply unit 200, the discharge electrode 120 generates an anion 400 (see Fig. 3b). In addition, when an AC voltage is applied from the power supply unit 200, the discharge electrode 120 alternately generates the cation 400 and the anion 400 (see FIG. 3C).

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 방전전극(120)은 일반적으로 사용되는 판상 금속이 아닌 메시구조(125)로 형성되어 격자(126) 사이의 공기가 유전체 역할을 하므로 유전율이 높아지고 결국 전기용량이 증가하여 이온발생소자(100)의 이온화율을 높일 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 4, the discharge electrode 120 is formed of a mesh structure 125 rather than the generally used plate-like metal, so that the air between the grid 126 acts as a dielectric, the dielectric constant is high and eventually the capacitance This increase may increase the ionization rate of the ion generating device 100.

여기서, 방전전극(120)으로는 도전성을 갖는 물질이면 특별히 한정되는 것은 아니지만, 메시구조(125)로 가공하기 용이한 도전성 금속으로 제작하는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 도전성 금속 중에서도 도전성, 가공성 및 내구성이 뛰어난 철, 구리, 알루미늄, 니켈, 크롬, 이들의 합금 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 물질로 제작한다.Herein, the discharge electrode 120 is not particularly limited as long as it is a conductive material. However, the discharge electrode 120 is preferably made of a conductive metal that can be easily processed into the mesh structure 125. More preferably, the conductive metal is made of a material selected from the group consisting of iron, copper, aluminum, nickel, chromium, alloys thereof, and combinations thereof having excellent conductivity, processability and durability.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 메시구조(125)의 격자(126)는 미세한 도전성 금속선 등으로 편물제작된 경우 사각형으로 형성된다. 하지만, 메시구조(125)가 도전성 금속판에 UV레이저, YAG 레이저 또는 스파크 방전을 이용하는 방전가공 등을 수행한 미세홀 가공공정으로 제작된 경우 원형으로 형성될 수도 있다. 다만, 전술한 제작방법은 예시적인 것이고 이외의 방법으로 메시구조(125)를 제작하여도 본 발명의 보호범위에 해당함은 물론이다.On the other hand, as shown in Figure 4, the grid 126 of the mesh structure 125 is formed in a square when knitted with a fine conductive metal line or the like. However, the mesh structure 125 may be formed in a circular shape when the mesh structure 125 is manufactured by a microhole processing process in which a conductive metal plate is discharged using UV laser, YAG laser, or spark discharge. However, the above-described manufacturing method is an example, and even if the mesh structure 125 is manufactured by a method other than the protection scope of the present invention, of course.

또한, 메시구조(125)로 형성된 방전전극(120)은 평판형으로 형성할 수도 있지만, 방전 면적을 최대화하고 균일한 방전을 수행하기 위해서 관형으로 형성하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는, 유전체(110)의 형상에 대응하도록 원통형(도 4 참조)으로 형성한다. In addition, although the discharge electrode 120 formed of the mesh structure 125 may be formed in a flat plate shape, the discharge electrode 120 may be formed in a tubular shape in order to maximize the discharge area and to perform a uniform discharge. It is formed in a cylindrical shape (see Fig. 4) to correspond to the shape of 110.

유도전극(130)은 접지되어 전원 공급부(200)로부터 전압을 인가받는 방전전극(120)에 전위차를 형성시키는 역할을 한다. 유도전극(130)은 유전체(110)의 외부에 구비되는데, 방전전극(120)과 균일한 전위차를 형성할 수 있도록 관형으로 형성하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는, 유전체(110)의 형상에 대응하도록 원통 형(도 4 참조)으로 형성한다. 또한, 유도전극(130)으로는 금속필름 등 도전성을 갖는 물질이면 특별히 한정되는 것은 아니지만, 유전체(110)의 외주면에 가공이 용이한 구리테이프(cooper tape)를 활용하는 것이 바람직하다.The induction electrode 130 is grounded to serve to form a potential difference on the discharge electrode 120 to which a voltage is applied from the power supply unit 200. Induction electrode 130 is provided on the outside of the dielectric 110, preferably formed in a tubular shape to form a uniform potential difference with the discharge electrode 120, more preferably, in the shape of the dielectric 110 It is formed in a cylindrical shape (see Fig. 4) to correspond. In addition, the induction electrode 130 is not particularly limited as long as it is a conductive material such as a metal film, but it is preferable to use a copper tape that is easy to process on the outer circumferential surface of the dielectric 110.

전원 공급부(200)는 방전전극(120)과 유도전극(130)에 전위차가 형성되도록 방전전극(120)에 전압을 제공하는 역할을 한다. 전원 공급부(200)는 직류 전압원이고, 방전전극(120)에 양극(도 3a 참조) 또는 음극(도 3b 참조)을 제공하거나, 교류 전압을 제공할 수 있고(도 3c 참조), 이외에도 RF 전압을 제공할 수도 있다.The power supply 200 serves to provide a voltage to the discharge electrode 120 so that a potential difference is formed between the discharge electrode 120 and the induction electrode 130. The power supply 200 is a DC voltage source, and may provide an anode (see FIG. 3A) or a cathode (see FIG. 3B) or provide an alternating voltage to the discharge electrode 120 (see FIG. 3C). You can also provide

압축기(300)는 이온(400)이 제전 대상물(500)에 전달될 수 있도록 공기압를 제공하는 역할을 한다. 압축기(300)는 유전체(110)의 일단에 연결되어 이온(400)이 생성되는 방전전극(120)의 내부에 기류를 형성시켜 유전체(110)의 타단으로 이온(400)이 방출될 수 있도록 한다. 특히, 본 발명에 따른 이온발생소자(100)는 관형으로 형성되어 이온(400)이 분산되지 않고 내부에 집중되므로 압축기(300)로 공기압을 가하여 기류를 형성하면 원거리의 제전 대상물(500)까지 이온(400)을 전달할 수 있다.The compressor 300 serves to provide air pressure so that the ions 400 can be delivered to the antistatic object 500. The compressor 300 is connected to one end of the dielectric 110 to form an air flow inside the discharge electrode 120 where the ions 400 are generated so that the ions 400 can be released to the other end of the dielectric 110. . In particular, since the ion generating device 100 according to the present invention is formed in a tubular shape and the ions 400 are not dispersed and concentrated inside, the air is generated by applying air pressure to the compressor 300 to form ions up to the remotely charged object 500. 400 can be passed.

본 실시예에 따른 이오나이저(1000)는 기본적으로 유전체 배리어 방전 방식을 따르면서도 종래기술과 같이 평판형상이 아닌 관형으로 형성되므로 균일한 이온(400)을 생성할 수 있고, 이물질에 의한 오염을 방지할 수 있어 유지보수 비용을 절약할 수 있으며, 소형화가 가능하다. 또한, 방전전극(120)을 메시구조(125)로 형성하여 전기 용량을 증가시킴으로써 이온화율을 향상시킬 수 있다.Since the ionizer 1000 according to the present embodiment is basically formed in a tubular shape instead of a flat plate shape as in the related art while following the dielectric barrier discharge method, it is possible to generate uniform ions 400 and prevent contamination by foreign matters. It can save the maintenance cost and can be miniaturized. In addition, the ionization rate may be improved by forming the discharge electrode 120 in the mesh structure 125 to increase the capacitance.

도 5는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 이오나이저의 구성도이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 이오나이저(2000)는 다수의 이온발생소자(100)와 방전전극(120)에 병렬연결된 전원 공급부(200)를 포함하는 구성으로, 본 실시예는 전술한 실시예와 각각의 구성요소는 동일하므로 중복되는 내용에 대한 설명은 생략하고 다수의 이온발생소자(100)의 배치 및 방전전극(120)과 전원 공급부(200)의 연결관계를 중심으로 기술하도록 한다.5 is a block diagram of an ionizer according to another preferred embodiment of the present invention. As shown in FIG. 5, the ionizer 2000 according to the present embodiment includes a plurality of ion generating elements 100 and a power supply unit 200 connected in parallel to the discharge electrode 120. Since each component is the same as the above-described embodiment, descriptions of overlapping contents will be omitted, and the arrangement of the plurality of ion generating elements 100 and the connection relationship between the discharge electrode 120 and the power supply unit 200 will be described. Please describe.

이온발생소자(100)는 생성되는 이온(400)의 양, 압축기(300)의 공기압 또는 이온(400)이 방출되는 유전체(110) 타단의 직경에 따라 제전영역(I)에 일정한 한계가 있다. 따라서, 대면적의 제전 대상물(500)을 제전하기 위해서는 다수의 이온발생소자(100)를 소정간격(G)으로 배치하여야 한다. 이때, 제전영역의 공백을 방지하기 위해서 인접한 두 이온발생소자(100)의 제전영역(I)이 중첩되도록 배치하는 것이 바람직하다. 즉, 제전 대상물(500)에는 인접한 두 이온발생소자(100)의 제전영역(I)이 서로 중첩되는 중첩영역(D)이 형성되어 공백이 없는 고품질의 제전을 수행할 수 있다.The ion generating device 100 has a certain limit in the static charge region I depending on the amount of ions 400 generated, the air pressure of the compressor 300, or the diameter of the other end of the dielectric 110 from which the ions 400 are emitted. Therefore, in order to discharge the large area static elimination object 500, a plurality of ion generating elements 100 should be disposed at a predetermined interval G. In this case, in order to prevent the space between the static elimination regions, it is preferable to arrange the static elimination regions I of two adjacent ion generating devices 100 so as to overlap each other. That is, in the antistatic object 500, an overlapping region D in which the antistatic regions I of two adjacent ion generating devices 100 overlap each other is formed to perform high quality elimination without voids.

전원 공급부(200)는 다수의 이온발생소자(100)에 구비된 방전전극(120)에 각 각 전압을 인가하는 수단이다. 여기서, 전원 공급부(200)는 이온발생소자(100)에 대응하는 수가 구비되어 각각의 방전전극(120)에 연결될 수도 있다. 하지만, 제전 대상물(500)에 대해 균일한 제전을 수행하기 위해 다수의 이온발생소자(100)가 모두 동일한 이온화율을 갖는 것이 바람직하고, 이를 위해 각각의 방전전극(120)에는 동일한 전압이 인가되어야 하므로 전원 공급부(200)를 각각의 방전전극(120)에 병렬연결하는 것이 바람직하다.The power supply unit 200 is a means for applying respective voltages to the discharge electrodes 120 provided in the plurality of ion generating devices 100. Here, the power supply unit 200 may be provided with a number corresponding to the ion generating device 100 may be connected to each discharge electrode 120. However, in order to uniformly discharge the static electricity elimination object 500, it is preferable that the plurality of ion generating devices 100 have the same ionization rate. For this purpose, the same voltage must be applied to each discharge electrode 120. Therefore, it is preferable to connect the power supply unit 200 to each discharge electrode 120 in parallel.

또한, 도 5에 도시된 전원 공급부(200)는 방전전극(120)에 양극을 인가하는 직류 전압원이지만, 이에 한정되는 것은 아니고 전술한 실시예와 같이 전원 공급부(200)는 음극을 인가하는 직류 전압원, 교류 전압원, RF 전압원을 포함할 수 있음은 물론이다.In addition, although the power supply unit 200 shown in FIG. 5 is a DC voltage source for applying a positive electrode to the discharge electrode 120, the present invention is not limited thereto, and the power supply unit 200 is a DC voltage source for applying a negative electrode as described above. Of course, it may include an AC voltage source, an RF voltage source.

본 실시예에 따른 이오나이저(2000)는 다수의 이온발생소자(100)를 제전영역(I)이 중첩되도록 소정간격(G)으로 배치하여 대면적의 제전 대상물(500)을 공백없이 제전할 수 있는 장점이 있다.The ionizer 2000 according to the present exemplary embodiment may arrange the plurality of ion generating devices 100 at predetermined intervals G so that the static charge regions I overlap with each other, thereby eliminating the large-scale static elimination object 500 without spaces. There is an advantage.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 이오나이저는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다. 본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.Although the present invention has been described in detail through specific examples, this is for describing the present invention in detail, and the ionizer according to the present invention is not limited thereto, and the general knowledge of the art within the technical spirit of the present invention is provided. It is obvious that modifications and improvements are possible by those who have them. All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be apparent from the appended claims.

도 1은 종래기술에 따른 코로나 방식 이오나이저의 단면도;1 is a cross-sectional view of a corona ionizer according to the prior art;

도 2은 종래기술에 따른 유전체 배리어 방전 방식 이오나이저의 단면도;2 is a cross-sectional view of a dielectric barrier discharge ionizer according to the prior art;

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 이오나이저의 구성도;3a to 3c is a schematic view of the ionizer according to an embodiment of the present invention;

도 4는 도 3에 도시된 이온발생소자의 구성도; 및4 is a configuration diagram of the ion generating device shown in FIG. And

도 5는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 이오나이저의 구성도이다.5 is a block diagram of an ionizer according to another preferred embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100: 이온발생소자 110: 유전체100: ion generating device 110: dielectric

120: 방전전극 125: 메시구조120: discharge electrode 125: mesh structure

126: 격자 130: 유도전극126: lattice 130: induction electrode

200: 전원 공급부 300: 압축기200: power supply unit 300: compressor

400: 이온 500: 제전 대상물400: ion 500: antistatic object

1000, 2000: 이오나이저1000, 2000: ionizer

Claims

Tubular dielectric;

A discharge electrode provided in the dielectric and formed in a tubular mesh structure so that air between the lattice increases the dielectric constant; And

An induction electrode formed in a tubular shape and provided outside the dielectric and grounded;

Ion generating device comprising a; And

A power supply unit applying a voltage to the discharge electrode;

Including,

Ion generated by the discharge electrode is characterized in that the discharge from the inside of the tubular dielectric to the outside.

The method according to claim 1,

And a compressor connected to one end of the dielectric and providing air pressure inside the discharge electrode.

delete

The method according to claim 1,

The other end of the dielectric is characterized in that the diameter decreases toward the end.

The method according to claim 1,

The power supply unit is a direct current voltage source, characterized in that for applying the anode to the discharge electrode.

The method according to claim 1,

The power supply unit is a direct current voltage source, characterized in that for applying a cathode to the discharge electrode.

The method according to claim 1,

The ionizer, characterized in that the power supply is an AC voltage source.

The method according to claim 1,

Said mesh structure is formed of a conductive metal.

The method according to claim 1,

Ionizer characterized in that the dielectric is formed of glass or quartz.

The method according to claim 1,

The ionizer, characterized in that the discharge electrode is formed of a copper tape.

The method according to claim 1,

The ion generating device is provided with two or more,

The power supply is ionizer, characterized in that connected to the discharge electrode of each of the ion generating element in parallel.

The method of claim 11,

The ionizer of claim 2, wherein the ion generating element is arranged at a predetermined interval so that the static elimination region overlaps.