KR101072146B1

KR101072146B1 - Excimer lamp

Info

Publication number: KR101072146B1
Application number: KR1020070083819A
Authority: KR
Inventors: 신이치 엔도; 노리타카 다케조에; 마사타카 가와구치; 노부유키 히시누마
Original assignee: 우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date: 2006-08-29
Filing date: 2007-08-21
Publication date: 2011-10-10
Also published as: CN101136307A; TW200816259A; KR20080021510A; CN101136307B; TWI408722B; JP4830722B2; JP2008059807A

Abstract

(Problem) Even if a liquid crystal panel substrate, a semiconductor wafer, a magnetic disk substrate, an optical disk substrate, etc. are enlarged, it can respond suitably to the substrate processing which irradiates an ultraviolet light, performs cleaning, etching, etc., and prolongs the lifetime of a lamp. To provide the structure of the excimer lamp that can realize.

(Measures) An excimer generating gas is enclosed in a discharge container made of a dielectric material, a pair of electrodes are provided, two dielectric members are interposed between the pair of electrodes, and a high voltage is applied to the pair of electrodes. Wherein the excimer lamp discharges, wherein one of the dielectric members has a support member extending toward the other dielectric member, and the support member and the other dielectric member are in contact with each other. It is set as the excimer lamp characterized by including a shock absorbing material at the site of.

Description

Excimer lamp {EXCIMER LAMP}

본 발명은, 액정 패널 기판, 반도체 웨이퍼, 자기 디스크 기판, 광 디스크 기판 등과 같이, 유리, 반도체, 수지, 세라믹스, 금속 등이나, 그것들의 복합된 기판 표면에 자외광을 조사하여, 세정, 에칭 등을 행하는 기판 처리에 사용되는 엑시머 램프에 관한 것이다. The present invention, such as a liquid crystal panel substrate, a semiconductor wafer, a magnetic disk substrate, an optical disk substrate, and the like, is irradiated with ultraviolet light to the surface of glass, semiconductors, resins, ceramics, metals, and the like, and their composite substrates, and is cleaned and etched. It relates to an excimer lamp used for substrate processing for performing the process.

엑시머 램프로부터 조사되는 엑시머 광을 이용하여 주로 액정 기판, 반도체 표면의 세정이 행해지고 있다. 종래의 램프 구조는 유전체로 이루어지는 외관 및 유전체로 이루어지는 내관을 가진 2중 관형의 방전 용기를 구비한 구조가 일반적이다. 도 8(a)에 2중 관형 구조의 엑시머 램프의 단면도를 나타낸다. 외관(61)의 외표면측과 내관(62)의 내표면측에 각각 외부 전극(71), 내부 전극(72)을 구비하고, 엑시머 생성 가스가 방전 용기 내에 봉입되어 있고, 방전 용기의 외측으로부터 고전압을 인가함으로써, 방전 공간에 엑시머 방전을 만들어 내는 구조로 되어 있다. 외부 전극(71)은 예를 들면 철망 등의 도전성 재료로 이루어지는 망형상의 전극이며, 내부 전극(72)은 예를 들면 알루미늄판으로 이루어진다. 한 쌍의 전극 간에는 외관(61)과 내관(62)이라고 하는 2개의 유전체 부재가 개재하고 있다.Cleaning of the surface of a liquid crystal substrate and a semiconductor is mainly performed using the excimer light irradiated from an excimer lamp. The conventional lamp structure is generally a structure having a double-tubular discharge vessel having an appearance made of a dielectric and an inner tube made of a dielectric. The cross section of the excimer lamp of a double tubular structure is shown in FIG. An outer electrode 71 and an inner electrode 72 are provided on the outer surface side of the outer casing 61 and the inner surface side of the inner tube 62, respectively, and excimer-generating gas is enclosed in the discharge vessel, and from the outside of the discharge vessel. By applying a high voltage, the excimer discharge is produced in the discharge space. The external electrode 71 is a mesh-shaped electrode made of a conductive material such as a wire mesh, for example, and the internal electrode 72 is made of, for example, an aluminum plate. Between the pair of electrodes, two dielectric members, namely, the exterior 61 and the inner tube 62, are interposed.

액정 기판 등 워크의 대형화가 진행되고 있고, 해당 처리 장치는 소형의 배치처리 방식으로부터 스캔 방식, 즉, 막대 모양의 엑시머 램프 아래에 워크를 통과시키는 방식으로 바뀌어 오고 있다. 기판의 대형화에 따라 엑시머 램프 및 엑시머 램프 장치는 길어지고, 최근에는 전체 길이가 2000㎜를 넘는 요구가 나와 있다.The enlargement of workpieces, such as a liquid crystal substrate, is progressing, and the processing apparatus is changing from the small batch processing system to the scanning method, ie, the method which lets a workpiece pass under a rod-shaped excimer lamp. As the size of the substrate increases, the excimer lamp and the excimer lamp device become longer, and in recent years, there has been a demand for a total length exceeding 2000 mm.

상술한 엑시머 램프가 길어진 경우, 엑시머 생성 가스를 봉입하고, 전극 간의 갭을 유지하는 유전체 용기가 자중으로 변형하고(휨), 전극 간 거리가 불균일해져 조도 분포 특성이 악화되는 문제가 발생한다. 이 문제를 해결하기 위해, 방전 용기 내부에 지지 부재를 설치한 엑시머 램프가 알려져 있다.In the case where the above-mentioned excimer lamp is lengthened, a problem arises in that the dielectric container which encloses the excimer generating gas and maintains the gap between the electrodes deforms to its own weight (curves), and the distance between the electrodes becomes uneven and the illuminance distribution characteristics deteriorate. In order to solve this problem, the excimer lamp which has provided the support member inside the discharge container is known.

도 8(b)는 내부에 원판의 플랜지형상의 지지 부재(80)를 복수 설치한 엑시머 램프의 일례이다. 이들 지지 부재(80)는 방전 용기(60)와 같은 성분으로 구성된다. 일반적으로는 엑시머 램프의 방전 용기(60)는 자외선을 투과시키는 유전체 재료로서 실리카 유리로 구성된다. 지지 부재(80)를 방전 용기(60)와 같은 성분으로 구성하는 이유는, 내관(62)을 구성하는 실리카 유리를 변형시키거나, 내관(62)에 지지 부재(80)를 용융 접합시키거나 하여 제작하는 것이 용이하기 때문이다.Fig. 8B is an example of an excimer lamp in which a plurality of flange-like supporting members 80 are provided inside. These support members 80 are composed of the same components as the discharge vessel 60. Generally, the discharge vessel 60 of an excimer lamp consists of silica glass as a dielectric material which permeate | transmits an ultraviolet-ray. The reason why the support member 80 is composed of the same component as the discharge vessel 60 is to deform the silica glass constituting the inner tube 62 or to melt-bond the support member 80 to the inner tube 62. It is because it is easy to manufacture.

이 지지 부재에 의해서, 엑시머 램프가 길어져도 내관(62)이 늘어지는 일이 없어지고, 안정된 방전을 얻을 수 있어 조도 분포가 균일화하도록 되어 있다.By this supporting member, even if the excimer lamp is lengthened, the inner tube 62 is prevented from sagging, and stable discharge can be obtained and the illuminance distribution is made uniform.

(특허 문헌 1)일본국 특허공개2005-100934호 공보Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-100934

(특허 문헌 2)일본국 특허공개2006-12554호 공보Patent Document 2: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-12554

그러나, 엑시머 램프가 길어짐에 따라 내관(62)의 휨은 커지기 때문에, 지지 부재(80)는 도 8(b)와 같이 1개소 이상 설치되지만, 램프 제작 공정의 사정에 따라 지지 부재(80)와 방전 용기(60)의 사이에는 틈이 생긴다. 예를 들어 제작 순서로 설명하면, 내관(62)에 지지 부재(80)를 형성하고, 외관(61)에 내관(62)을 삽입하여 끝부를 용착하여 방전 용기(60)를 제작하지만, 이때 지지 부재(80)의 최대 지름이 외관(61)의 내경보다 작지 않으면 지지 부재(80)가 외관(61)의 내면에 닿아 버리고, 외관(61)과 내관(62)을 조합할 수 없다. 따라서 외관(61)과 지지 부재(80)와의 사이에는 적당한 틈이 있지만, 엑시머 램프의 수송시에 내관(62)이 진동하기 때문에, 지지 부재(80)와 외관(61)이 상호 접촉함으로써 서로 스치고, 외관(61)의 내면에 상처가 생겨 버린다.However, since the deflection of the inner tube 62 increases as the excimer lamp becomes longer, the support member 80 is provided at one or more locations as shown in FIG. 8 (b). A gap is formed between the discharge vessels 60. For example, in the manufacturing procedure, the support member 80 is formed in the inner tube 62, the inner tube 62 is inserted into the outer tube 61, and the end portion is welded to produce the discharge container 60. If the maximum diameter of the member 80 is not smaller than the inner diameter of the outer side 61, the support member 80 will contact the inner surface of the outer side 61, and the outer side 61 and the inner tube 62 cannot be combined. Therefore, although there is a suitable gap between the exterior 61 and the support member 80, since the inner tube 62 vibrates during the transportation of the excimer lamp, the support member 80 and the exterior 61 come into contact with each other by rubbing. The wound occurs on the inner surface of the exterior 61.

한편, 엑시머 램프는 점등에 의해서 방전 용기 내면에 자외선 왜곡이 축적해 간다. 이 자외선 왜곡의 축적이나 램프의 점등에 의한 열팽창에 의해 엑시머 램프의 외관(61)의 내면에 생긴 상처부에 응력 집중하고, 결국 파괴 강도를 넘으면 램프가 깨져 버린다는 문제가 있었다.On the other hand, in the excimer lamp, ultraviolet distortion accumulates on the inner surface of the discharge vessel by lighting. The accumulation of ultraviolet distortion and thermal expansion caused by the lighting of the lamp causes stress concentration on the wound portion formed on the inner surface of the exterior 61 of the excimer lamp, resulting in a problem that the lamp breaks when the breaking strength is exceeded.

그래서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 액정 패널 기판, 반도체 웨이퍼, 자기 디스크 기판, 광 디스크 기판 등이 대형화해도, 자외광을 조사하고, 세정, 에칭 등을 행하는 기판 처리에 적절히 대응할 수 있음과 동시에, 램프의 장기 수명화를 실현할 수 있는, 엑시머 램프의 구조를 제공하는 것이다.Therefore, the problem to be solved by the present invention is that the liquid crystal panel substrate, the semiconductor wafer, the magnetic disk substrate, the optical disk substrate and the like can be appropriately coped with substrate processing for irradiating ultraviolet light, cleaning, etching, etc. It is to provide an excimer lamp structure that can realize the long life of the lamp.

상기 과제를 해결하기 위해서, 청구항 1에 기재의 발명은, 유전체로 이루어지는 방전 용기에 엑시머 생성 가스가 봉입되고, 한 쌍의 전극이 구비되고, 상기 한 쌍의 전극 간에는 두 개의 유전체 부재가 개재하여 이루어지고, 상기 한 쌍의 전극에 고전압이 인가되어 방전하는 엑시머 램프에 있어서, 한쪽의 유전체 부재에는 다른 쪽의 유전체 부재를 향해서 연재하는 유전체로 이루어지는 지지 부재를 갖고, 상기 지지 부재와 상기 다른 쪽의 유전체 부재가 접촉하는, 상기 지지 부재 또는 다른 쪽의 유전체 부재의 부위에, 완충재를 구비한 것을 특징으로 하는 엑시머 램프로 하는 것이다.In order to solve the said subject, the invention of Claim 1 is made with the excimer generation gas enclosed in the discharge container which consists of a dielectric material, a pair of electrodes are provided, and two dielectric members are interposed between the pair of electrodes. An excimer lamp which is discharged by applying a high voltage to the pair of electrodes, wherein one dielectric member has a supporting member made of a dielectric extending toward the other dielectric member, and the supporting member and the other dielectric material. The excimer lamp is characterized in that a cushioning material is provided at a portion of the supporting member or the other dielectric member to which the member is in contact.

또, 청구항 2에 기재의 발명은, 상기 방전 용기의 끝부에 있어서 기밀로 밀봉된 내부 전극과 상기 방전 용기의 외면에 배치된 외부 전극을 구비하고, 상기 내부 전극은, 적어도 상기 외부 전극과의 사이에서 방전을 행하는 부위의 주위가 유전체로 이루어지는 내관에 의해서 덮여져서 이루어지고, 상기 내관으로부터 상기 방전 용기를 향해서 연재하는 유전체로 이루어지는 지지 부재를 갖는 것임을 특징으로 하는 청구항 1에 기재의 엑시머 램프로 하는 것이다. Moreover, the invention of Claim 2 is provided with the internal electrode sealed by airtight at the edge part of the said discharge container, and the external electrode arrange | positioned at the outer surface of the said discharge container, The said internal electrode is between at least the said external electrode. The excimer lamp according to claim 1, wherein the excimer lamp according to claim 1 has a support member made of a dielectric material which is covered by an inner tube made of a dielectric and extends from the inner tube toward the discharge vessel. .

청구항 3에 기재의 발명은, 상기 완충재는, 질화 붕소 또는 질화 붕소를 주성분으로 하는 것임을 특징으로 하는 청구항 1 또는 청구항 2에 기재의 엑시머 램프로 하는 것이다. The invention according to claim 3 is the excimer lamp according to claim 1 or 2, wherein the buffer material is mainly composed of boron nitride or boron nitride.

청구항 4에 기재의 발명은, 상기 질화 붕소는 적어도 일부가 육방정계 결정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 청구항 3에 기재의 엑시머 램프로 하는 것이 다. In the invention according to claim 4, the boron nitride is an excimer lamp according to claim 3, wherein at least part of the boron nitride is made of hexagonal crystals.

본 발명의 청구항 1에 기재의 발명에 의하면, 유전체로 이루어지는 방전 용기에 엑시머 생성 가스가 봉입되고, 한 쌍의 전극이 구비되고, 상기 한 쌍의 전극 간에는 두 개의 유전체 부재가 개재하여 이루어지고, 상기 한 쌍의 전극에 고전압이 인가되어 방전하는 엑시머 램프에 있어서, 한쪽의 유전체 부재에는 다른 쪽의 유전체 부재를 향해서 연재하는 유전체로 이루어지는 지지 부재를 가지며, 상기 지지 부재와 상기 다른 쪽의 유전체 부재가 접촉하는, 상기 지지 부재 또는 다른 쪽의 유전체 부재의 부위에, 완충재를 구비했으므로, 엑시머 램프를 구성하는 유전체 부재끼리의 상호 접촉이 없어지므로, 유전체 부재에 상처가 생기는 일이 없고, 수명 말기까지 램프가 파손하는 일이 없다. According to the invention described in claim 1 of the present invention, an excimer-generating gas is enclosed in a discharge vessel made of a dielectric, a pair of electrodes are provided, and two dielectric members are interposed between the pair of electrodes. In an excimer lamp in which a high voltage is applied to and discharged from a pair of electrodes, one dielectric member has a support member made of a dielectric extending toward the other dielectric member, and the support member is in contact with the other dielectric member. Since the buffer member is provided at a portion of the supporting member or the other dielectric member, mutual contact between the dielectric members constituting the excimer lamp is eliminated, so that the lamp is not damaged by the end of the lifetime of the dielectric member. No damage

또, 본 발명의 청구항 2에 기재의 발명에 의하면, 방전 용기의 끝부에 있어서 기밀로 밀봉된 내부 전극과 상기 방전 용기의 외면에 배치된 외부 전극을 구비하고, 상기 내부 전극은, 적어도 상기 외부 전극과의 사이에 방전을 행하는 부위의 주위가 유전체로 이루어지는 내관에 의해서 덮여져서 이루어지고, 상기 내관으로부터 상기 방전 용기를 향해서 연재하는 유전체로 이루어지는 지지 부재를 갖는 것인 청구항 1에 기재의 엑시머 램프인 경우에는, 유전체로 이루어지는 지지 부재와 방전 용기와의 상호 접촉이 없어지므로, 방전 용기 내면에 상처가 생기는 일이 없고, 수명 말기까지 램프가 파손되는 일이 없다. Moreover, according to invention of Claim 2 of this invention, the internal electrode sealed by airtight at the edge part of a discharge container, and the external electrode arrange | positioned at the outer surface of the said discharge container are provided, The said internal electrode is at least the said external electrode. In the case of the excimer lamp according to claim 1, the periphery of the discharged part is covered with an inner tube made of a dielectric and has a support member made of a dielectric extending from the inner tube toward the discharge container. Since there is no mutual contact between the support member made of the dielectric and the discharge vessel, no damage is caused to the inner surface of the discharge vessel, and the lamp is not damaged until the end of life.

청구항 3의 발명에 의하면, 완충재가 질화 붕소 또는 질화 붕소를 주성분으 로 하는 것이므로, 완충재와 유전체 재료가 접촉해도, 유전체 부재에 상처가 생기는 일이 없고, 수명 말기까지 램프가 파손되는 일이 없는 엑시머 램프를 실현할 수 있다. According to the invention of claim 3, since the buffer material is mainly composed of boron nitride or boron nitride, excimer which does not cause damage to the dielectric member and does not damage the lamp until the end of life even when the buffer material and the dielectric material contact. The lamp can be realized.

그리고, 청구항 4에 기재의 발명에 의하면, 질화 붕소는 적어도 일부가 육방정계 결정으로 이루어지므로, 특히 윤활성, 내마모성이 뛰어난 완충재가 된다.In addition, according to the invention described in claim 4, at least a part of the boron nitride is made of hexagonal crystals, and thus, particularly, the boron nitride becomes a cushioning material excellent in lubricity and wear resistance.

우선, 엑시머 램프의 지지 부재에 질화 붕소 또는 질화 붕소를 주성분으로 하는 막을 완충재로서 구비한 실시 형태에 있어서 도면을 이용하여 설명한다. 도 1은 본 발명에 관한 엑시머 램프의 실시 형태의 일례를 나타내는 구성도이다.First, the embodiment in which the support member of the excimer lamp is provided with a film containing boron nitride or boron nitride as a main component as a buffer material will be described with reference to the drawings. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a block diagram which shows an example of embodiment of an excimer lamp which concerns on this invention.

이 엑시머 램프(10)는, 방전 용기(1)의 끝부에 있어서 기밀로 밀봉된 내부 전극(5)과 방전 용기(1)의 외면에 배치된 외부 전극(6)을 구비하고, 방전 용기(1) 내에 엑시머 생성 가스(7)를 봉입하고 있다. 내부 전극(5)은, 외부 전극(6)과의 사이에서 방전을 행하는 부위의 주위가 유전체로 이루어지는 내관(2)에 의해서 덮여 있다. 한 쌍의 전극의 내부 전극(5)과 외부 전극(6) 사이에는 방전 용기(1)와 내관(2)이라는 2개의 유전체 부재를 개재한다.This excimer lamp 10 is provided with the internal electrode 5 sealed by airtight at the edge part of the discharge container 1, and the external electrode 6 arrange | positioned at the outer surface of the discharge container 1, and the discharge container 1 The excimer generating gas 7 is enclosed in the (). The inner electrode 5 is covered with an inner tube 2 made of a dielectric material around the portion where the discharge is performed between the outer electrode 6. Between the inner electrode 5 and the outer electrode 6 of a pair of electrodes, two dielectric members, the discharge container 1 and the inner tube 2, are interposed.

방전 용기(1)는 전체 길이 2000㎜, 외경 18.5㎜ 두께 1㎜의 유전체인 합성 실리카 유리로 되어 있으며, 그 구성으로부터 외관이라고도 불린다. 내관(2)은 전체 길이 1900㎜, 외경 4㎜, 두께 0.8㎜의 유전체인 합성 실리카 유리로 되어 있고, 지지 부재(3)에 의해서 지지되어 있다. 지지 부재(3)의 외주에는, 완충재(4)가 형성되어 있다. 내관(2)의 내부에는 텅스텐제의 코일 형상 내부 전극(5)이 배치되어 있고, 끝부에는 몰리브덴제의 금속박체(5A, 5B)로 유지되는 것과 동시에 기밀을 유지한 채로 외부에 전기적인 도통이 되어 있다. 방전 용기(1)의 외주에는, 금속제의 망 형상 전극(6)이 배치되어 있다. 방전 용기(1)의 내부에는 엑시머 생성 가스인 크세논 가스가 약 60㎪ 봉입되어 있다. PS는 전원이며, 내부 전극(5), 외부 전극(6)에 고전압을 인가한다.The discharge container 1 is made of synthetic silica glass, which is a dielectric having a total length of 2000 mm and an outer diameter of 18.5 mm and a thickness of 1 mm, and is also called appearance from its configuration. The inner tube 2 is made of synthetic silica glass, which is a dielectric having a total length of 1900 mm, an outer diameter of 4 mm, and a thickness of 0.8 mm, and is supported by the support member 3. The shock absorbing material 4 is formed in the outer periphery of the support member 3. Inside the inner tube 2, a tungsten coil-shaped inner electrode 5 is disposed, and at the end, electrical conduction to the outside is maintained while maintaining airtightness while being held by the metal foils 5A and 5B made of molybdenum. It is. On the outer circumference of the discharge vessel 1, a metal mesh electrode 6 is arranged. About 60 Pa of xenon gas which is an excimer production gas is enclosed in the discharge container 1. PS is a power supply, and a high voltage is applied to the internal electrode 5 and the external electrode 6.

다음에 질화 붕소 또는 질화 붕소를 주성분으로 하는 막을 구비한 지지 부재(3)에 대해서 자세하게 설명한다. 도 2는 본 발명의 엑시머 램프의 지지 부재(3)의 부근의 확대도이다. 도 2(a)는 지지 부재(3)를 포함하는 영역의 방전 용기(1)의 부분 단면도이며, 도 2(b)는 도 2(a)의 A-A＇단면도를 나타낸다. 내관(2)은 외경 16㎜, 두께 1㎜의 원반 형상의 지지 부재(3)에 의해서 방전 용기(1) 내에 휨이 적어지도록 지지되어 있다. 지지 부재(3)는 방전 용기(1)와 같은 합성 실리카 유리로 되어 있고, 내관(2)의 표면에 용착되어 기계적으로 강고하게 접합되어 있다. 지지 부재(3)는 내관(2)의 휨을 적게 하고 전기적, 광학적으로 대략 중심축 상에 배치된 상태와 다름없는 정도로 수개소 배치되어 있다. 지지 부재(3)의 외주에는, 완충재(4) 즉 질화 붕소 또는 질화 붕소를 주성분으로 하는 막이 1~10㎛의 두께로 형성되어 있다.Next, the support member 3 provided with the film which has a boron nitride or a boron nitride as a main component is demonstrated in detail. 2 is an enlarged view of the vicinity of the support member 3 of the excimer lamp of the present invention. FIG. 2A is a partial cross-sectional view of the discharge vessel 1 in the region including the supporting member 3, and FIG. 2B shows a cross-sectional view along the line A-A 'of FIG. The inner tube 2 is supported by the disk-shaped support member 3 of 16 mm in outer diameter and 1 mm in thickness so that curvature may be reduced in the discharge container 1. The support member 3 is made of synthetic silica glass such as the discharge vessel 1, and is welded to the surface of the inner tube 2 to be firmly bonded mechanically. The support member 3 is arrange | positioned in several places to the extent which is less than the state arrange | positioned on the central axis electrically and optically with little curvature of the inner tube 2. On the outer periphery of the support member 3, a buffer material 4, that is, a film containing boron nitride or boron nitride as a main component, is formed to a thickness of 1 to 10 m.

다음에 완충재(4)인 질화 붕소 또는 질화 붕소를 주성분으로 하는 막을 붙이는 순서에 대해서 설명한다. 질화 붕소에는 다이아몬드 구조의 입방정계 구조와 그래파이트 구조의 육방정계 구조가 알려져 있다. 모두 딱딱하고 내열성이 높은 재료이지만, 그래파이트 구조를 갖는 육방정계의 질화 붕소는 윤활성, 내마모성이 뛰어나다.Next, the procedure for attaching a film containing boron nitride or boron nitride as the buffer material 4 as a main component will be described. Boron nitride is known as a cubic crystal structure of diamond structure and a hexagonal structure of graphite structure. Although all are hard and high heat resistant materials, the hexagonal boron nitride having a graphite structure is excellent in lubricity and wear resistance.

본 발명에 있어서는, 적어도 육방정계 결정이 포함되는 질화 붕소의 분말을 물 또는 적절한 용제에 현탁시킨다. 이 현탁액을 지지 부재(3)의 외주 부근 즉 방전 용기(1)인 외관과 접촉하는 지지 부재의 부위에 도포하고, 용제를 건조시킨다. 다음에 도포 부위를 500℃로 가열하여 막 형상으로 고착시킨다.In the present invention, the boron nitride powder containing at least hexagonal crystals is suspended in water or a suitable solvent. This suspension is applied to the vicinity of the outer circumference of the support member 3, that is, the site of the support member that is in contact with the external appearance of the discharge vessel 1, and the solvent is dried. Next, the application site is heated to 500 ° C. and fixed in a film form.

상기 설명에 있어서 질화 붕소의 분말은 순수한 육방정계 결정을 이용했지만, 질화 붕소 결정은 그 제조 조건에 의해 입방정계 결정을 포함하는 경우가 있다. 이 경우, 질화 붕소의 윤활성·내마모성을 얻을 수 있는 범위이면, 입방정계 결정이 섞여 있어도 아무런 문제는 없다. 또한 질화 붕소에 질화 규소나 질화 알루미늄을 첨가하면 질화 붕소의 윤활성, 내마모성, 내열성의 특성을 갖게 한 채로 성형체의 기계적 강도를 증가시킬 수 있다.In the above description, the boron nitride powder used pure hexagonal crystals, but the boron nitride crystals may contain cubic crystals depending on the production conditions. In this case, as long as the lubricity and wear resistance of boron nitride can be obtained, there is no problem even if cubic crystals are mixed. In addition, when silicon nitride or aluminum nitride is added to boron nitride, the mechanical strength of the molded article can be increased while the boron nitride has lubricity, wear resistance, and heat resistance properties.

또 질화 붕소의 현탁액에는, 칼슘, 마그네슘, 1 지르코늄 등 알칼리 토류 금속 산화물을 첨가하면 실리카 유리와의 결착성이 좋아져 막이 벗겨지기 어려워진다.Moreover, when alkaline earth metal oxides, such as calcium, magnesium, and a zirconium, are added to the suspension of boron nitride, binding property with a silica glass becomes good and a film becomes difficult to peel off.

다음에 도 1의 구성의 본 발명의 엑시머 램프와, 지지 부재는 있지만 완충재가 없는 종래의 엑시머 램프의 파괴 강도의 비교 데이터에 대해 설명한다.Next, comparative data of the breaking strengths of the excimer lamp of the present invention having the configuration shown in FIG. 1 and the conventional excimer lamp with the supporting member but without the cushioning material will be described.

실리카 유리제의 관의 내면에 생긴 상처를 계측하고, 램프의 깨짐 특성과 직접 연결시키는 것은 어렵다. 유리의 표면에는 무수한 세세한 상처가 있지만, 그 어느 것이 깨짐의 기점으로 되어 있는 지는 판단이 어렵다. 그래서 실리카 유리 표면의 상처에 대해 표면 거칠기계를 이용하여 이하와 같이 상세한 조사를 행했다. 우선, 실리카 유리제의 원관(原管) 표면의 상처의 깊이에 대해서 조사했다. 실리카 유리제의 원관이라는 것은, 램프의 방전 용기에 사용하는 실리카 유리제의 원재료관의 것을 말한다. 실리카 유리제의 원관에는 깊이 0.01㎛정도의 상처가 다수 존재하고 있었다.It is difficult to measure the wound on the inner surface of the tube made of silica glass and connect it directly with the cracking characteristic of the lamp. There are a myriad of fine scratches on the surface of the glass, but it is difficult to determine which is the starting point of the crack. Therefore, the detail of the wound | wound of the silica glass surface was performed as follows using the surface roughness machine. First, the depth of the wound on the surface of the original tube made of silica glass was investigated. The raw material tube made of silica glass refers to the raw material tube made of silica glass used for the discharge vessel of the lamp. In the original tube made of silica glass, many wounds having a depth of about 0.01 μm existed.

다음에, 종래의 엑시머 램프를 제작하고, 수송 진동 시험을 행하여 방전 용기와 지지 부재의 직접 접촉, 스침에 의해 상처를 발생시켰다. 이 상처가 발생한 방전 용기를 방전 용기 내면 상처관이라고 호칭한다. 방전 용기 내면 상처관에 생기는 상처는, 깊이가 약 1㎛ 이상, 폭이 약 100㎛ 이상이며, 실리카 유리제의 원관에 원래 나있는 상처는 깊이 0.01㎛ 정도로 큰 차이가 있는 것이 판명되었다. 또한, 본 조사에서 행한 수송 진동 시험이란 이하와 같은 것이다. Next, the conventional excimer lamp was produced, the transport vibration test was performed, and the wound was generated by direct contact and grazing of a discharge container and a support member. The discharge vessel in which this wound has occurred is called a wound tube inside the discharge vessel. The wounds generated in the inner tube of the discharge vessel had a depth of about 1 µm or more and a width of about 100 µm or more, and it was found that the original wound on the silica glass tube had a great difference of about 0.01 µm in depth. In addition, the transport vibration test performed by this investigation is as follows.

길이가 긴 엑시머 램프를 포장상자에 수용하고, 이것을 대형 진동 시험 장치에 탑재하여 이하의 조건으로 진동시켰다.The long excimer lamp was accommodated in a box, and this was mounted in a large vibration test apparatus and vibrated under the following conditions.

주파수 범위:10~150㎐Frequency range: 10 ~ 150Hz

진동 가속도:7.4m/s² Vibration Acceleration: 7.4m / s ²

스윕:20분 대 수 소인(掃引,sweep) 방식Sweep: 20 minutes vs. sweep

방향:3방향Direction: 3 directions

진동 시간:1시간Vibration time: 1 hour

또한, 진동 시험은 실제의 수송 상태를 본뜬 것이며, 실제로 수송을 행해도 된다. 본 조사에 있어서 실제의 수송을 행한 시료(육상수송 약 600㎞)와 진동 시 험 장치에 걸친 것을 비교한 결과, 실제의 수송을 행한 것과 진동 시험을 행한 것은 상처의 발생, 및 방지 효과에 대해서 동등의 결과를 얻었다.In addition, the vibration test mimics the actual state of transport, and may actually transport. As a result of comparing the actual transported sample (land transport about 600 km) and the vibration tester in this investigation, the actual transported and the vibration test were equivalent to the occurrence of the wound and the prevention effect. Result was obtained.

다음에 실리카 유리 원관과 방전 용기 내면 상처관의 기계적 강도를 압축 시험기에 탑재하여 조사했다. 우선, 실리카 유리제의 관을 전체 길이 300㎜로 컷하고, 양단을 V블록으로 지지하고, 중앙부를 V형 압축자로 하중을 건다. 이때 V형 압축자가 닿는 개소의 내면에는 큰 인장 응력이 걸린다. 방전 용기 내면 상처관의 경우에는, V형 압축자가 내면 상처의 외표면측에 배치되도록 위치 결정하고, 각각 실리카 유리가 파괴하는 하중을 계측했다.Next, the mechanical strength of the silica glass original tube and the discharge vessel inner surface wound tube was mounted and examined by a compression tester. First, a tube made of silica glass is cut to a total length of 300 mm, both ends are supported by a V block, and the center portion is loaded with a V-type compressor. At this time, a large tensile stress is applied to the inner surface of the portion where the V-type compressor is in contact. In the case of the discharge vessel inner surface wound tube, the V-type compressor was positioned so as to be disposed on the outer surface side of the inner surface wound, and the loads of silica glass breaking were measured respectively.

그 결과, 실리카 유리 원관은 약 25~35kgf의 하중으로 파괴하고, 방전 용기 내면 상처관은 약 10kgf의 하중으로 파괴하는 것이 판명되었다. 또한 본 발명에 관한 형태에서 설명한 질화 붕소의 막을 완충재로서 구비한 엑시머 램프를 종래의 엑시머 램프와 같은 수송 진동 시험을 걸친바 상처의 발생은 없었다. 또한 상술과 같은 수법으로 파괴 하중을 비교 조사한 바, 약 25~35kgf이며, 실리카 유리 원관과 대략 같은 기계적 강도를 유지하고 있는 것이 판명되었다. 이상에 의해 본 발명에 관한 완충재가 상처의 발생 방지에 대해서 발군의 효과가 있는 것이 판명되었다.As a result, it turned out that a silica glass original tube is broken by the load of about 25-35 kgf, and the wound tube inner surface wound tube is destroyed by the load of about 10 kgf. In addition, the excimer lamp having the boron nitride film described in the aspect of the present invention as a buffer material was subjected to a transport vibration test similar to that of a conventional excimer lamp. Moreover, when the failure load was compared and investigated by the method similar to the above, it turned out that it is about 25-35 kgf, and maintains the same mechanical strength as a silica glass tube. As mentioned above, it turned out that the shock absorbing material which concerns on this invention has the outstanding effect on the prevention of a wound.

다음에 본 발명의 완충재를 구비한 엑시머 램프와 종래의 완충재가 없는 엑시머 램프의, 점등 시간과 파괴 강도에 대해 도 3을 이용하여 설명한다. 도 3의 가로축은 엑시머 램프의 점등 시간, 세로축은 상기 설명한 파괴 강도이다. 곡선 A는 본 발명에 관한 엑시머 램프의 점등 시간 마다의 파괴 강도 계측 결과를 플롯(○표)하고, 근사 곡선을 그린 것이다. 곡선 B는 종래의 엑시머 램프의 점등 시간 마다의 파괴 강도 계측 결과를 플롯(△표)하고, 근사 곡선을 그린 것이다. 엑시머 램프의 점등 동작에 의해서, 방전 용기를 구성하는 실리카 유리는 단파장의 방사광에 의해서 내면에 왜곡이 축적해 간다. 이 왜곡은 압축 시험기에 걸쳤을 때 내면의 인장 응력을 조장하는 작용이 있기 때문에, 점등 시간을 거듭하면 실리카 유리의 파괴 강도는 저하되어 간다.Next, the lighting time and breakdown strength of the excimer lamp with the buffer material of the present invention and the excimer lamp without the conventional buffer material will be described with reference to FIG. 3. 3 represents the lighting time of the excimer lamp, and the vertical axis represents the breaking strength described above. Curve A plots the fracture strength measurement results for each lighting time of the excimer lamp according to the present invention (○ table), and draws an approximation curve. Curve B plots the breakdown strength measurement results for each lighting time of a conventional excimer lamp (DELTA table) and draws an approximation curve. By the lighting operation | movement of an excimer lamp | ramp, distortion accumulate | stores in the inner surface by the short wavelength radiation light of the silica glass which comprises a discharge container. Since this distortion has the effect of promoting the tensile stress on the inner surface of the compression tester, the breaking strength of the silica glass decreases with repeated lighting time.

종래의 엑시머 램프의 경우에는 초기 파괴 강도로부터 점차 저하해 가고, 곡선 B의 연장선은 약 2000 시간을 넘긴 부근에서 0kgf와 크로스한다. 이것은 램프가 약간의 힘으로 파괴되는 것을 의미한다. 본 발명에 관한 엑시머 램프는, 엑시머 램프의 점등에 의해서 발생하는 내면 왜곡의 양에 대해서는, 종래의 엑시머 램프와 다르지 않다. 그 때문에 곡선 A의 기울기는 곡선 B의 기울기와 비슷하다. 그러나, 3000 시간을 넘겨도 종래의 엑시머 램프보다 높은 파괴 강도를 나타내고 있다. 이상의 해석 결과로부터 본 발명에 관한 엑시머 램프는 긴 수명으로 깨지기 어려운 램프를 실현할 수 있다.In the case of the conventional excimer lamp, it gradually falls from the initial breaking strength, and the extension line of the curve B crosses 0 kgf near about 2000 hours. This means that the lamp is destroyed with some force. The excimer lamp according to the present invention is not different from the conventional excimer lamp with respect to the amount of internal surface distortion generated by the lighting of the excimer lamp. Because of this, the slope of curve A is similar to the slope of curve B. However, even after 3000 hours, it shows higher breaking strength than the conventional excimer lamp. From the above analysis result, the excimer lamp which concerns on this invention can implement the lamp which is hard to be broken by a long lifetime.

다음에 지지 부재의 일부가 질화 붕소로 이루어지는 링인 실시 형태에 대해 도면을 이용하여 설명한다. 도 4는 본 발명의 엑시머 램프의 지지 부재 부근의 확대도이다. 도 4(a)는 지지 부재(31)를 포함하는 영역의 방전 용기(1)의 부분 단면도이며, 도 4(b)는 도 4(a)의 B-B＇단면도를 나타낸다. 방전 용기(1), 내관(2)에 대해서는 도 2의 실시 형태와 같다. 내관을 지지하는 지지 부재(31)의 외주는 단붙이 가공(butted processing)이 이루어진 2개의 부재로 이루어진다. 우선, 지지 부재(31a)가 내관에 용접된 후, 완충재(41)인 질화 붕소 링이 외주에 맞추어 장착 된다. 다음에 지지 부재(31b)를 겹쳐 내관에 용접한다. 이러한 구성으로 하면 용이하게 완충재(41)를 지지 부재(31)와 방전 용기(1)의 상호 접촉 개소에 배치할 수 있다. 또, 질화 붕소 링의 작용 효과에 있어서도 도 2의 실시 형태와 동등한 것이 확인되었다.Next, an embodiment in which a part of the supporting member is a ring made of boron nitride will be described with reference to the drawings. 4 is an enlarged view of the vicinity of the supporting member of the excimer lamp of the present invention. FIG. 4A is a partial cross-sectional view of the discharge vessel 1 in the region including the support member 31, and FIG. 4B shows a cross-sectional view taken along line B-B 'in FIG. 4A. The discharge vessel 1 and the inner tube 2 are the same as in the embodiment of FIG. 2. The outer circumference of the support member 31 for supporting the inner tube is composed of two members which are subjected to butted processing. First, after the support member 31a is welded to the inner tube, the boron nitride ring, which is the shock absorbing material 41, is attached to the outer periphery. Next, the supporting member 31b is overlapped and welded to the inner tube. With such a structure, the shock absorbing material 41 can be easily arrange | positioned at the mutual contact location of the support member 31 and the discharge container 1. Moreover, also in the effect of a boron nitride ring, it was confirmed that it is equivalent to embodiment of FIG.

다음에 외관의 내면에 질화 붕소의 막을 형성한 실시 형태에 대해서 도면을 이용하여 설명한다. 도 5는 본 발명의 엑시머 램프의 지지 부재 부근의 확대도이다. 도 5(a)는 지지 부재(3)를 포함하는 영역의 방전 용기(1)의 부분 단면도이며, 도 5(b)는 도 5(a)의 C-C＇단면도를 나타낸다. 방전 용기(1)의 내면의 지지 부재(3)와 상호 접촉하는 개소에 미리 질화 붕소의 막(42)을 도포한 것이다. 이 경우도 질화 붕소막의 작용 효과에 대해서는 도 2의 실시 형태와 동등한 것이 확인되었다.Next, the embodiment which formed the boron nitride film | membrane on the inner surface of an external appearance is demonstrated using drawing. 5 is an enlarged view of the vicinity of the supporting member of the excimer lamp of the present invention. FIG. 5A is a partial cross-sectional view of the discharge vessel 1 in the region including the supporting member 3, and FIG. 5B shows a cross-sectional view taken along line C-C 'in FIG. The film | membrane 42 of boron nitride was apply | coated previously to the location which mutually contacts with the support member 3 of the inner surface of the discharge container 1. Also in this case, the effect of the boron nitride film was confirmed to be equivalent to that of the embodiment of FIG. 2.

다음에 각형 램프의 지지 부재에 질화 붕소의 막을 완충재로서 형성한 실시 형태에 대해서 도면을 이용하여 설명한다.Next, the embodiment which formed the boron nitride film | membrane as a buffer material in the support member of a square lamp is demonstrated using drawing.

도 6은 본 발명의 엑시머 램프로서, 방전 용기에 실리카 유리제의 각형 관을 이용하여 엑시머 램프를 구성한 사례이다. 도 6(a)는 지지 부재(23)를 포함하는 영역의 각형의 방전 용기(21)의 부분 단면도이며, 도 6(b)는 도 6(a)의 D-D＇단면도를 나타낸다. 방전 용기(21)의 내부에는 지지 부재(23)가 배치되고, 지지 부재(23)와 방전 용기(21)의 접촉부에는 질화 붕소의 막이 완충재(24)로서 도포되어 있다. 방전 용기(21)의 내부에는 엑시머 생성 가스(7)가 봉입되고, 방전 용기(21)의 외면에 외부 전극(25)과 외부 전극(26)이 형성되고, 이 전극 간에 고주파 전 원(PS)이 접속되어 있다. 외부 전극(25, 26)은 망 형상으로 가공한 전극을 방전 용기(21)에 붙인 것을 예시했지만, 예를 들면, 외부 전극의 한쪽은 니켈 금속막, 외부 전극의 다른 쪽은 ITO막이거나, 그물망 형상으로 형성한 금속 증착막이나 펀칭 메탈, 익스펀드 메탈 등이 채용될 수 있다. 외부 전극(25, 26)의 사이에는 방전 용기(21)의 2개의 유전체벽이 개재한다.Fig. 6 shows an excimer lamp of the present invention in which an excimer lamp is configured by using a rectangular glass tube made of silica glass in a discharge vessel. FIG. 6A is a partial cross-sectional view of the rectangular discharge container 21 in the region including the supporting member 23, and FIG. 6B shows a cross-sectional view taken along the line D-D 'in FIG. The support member 23 is arrange | positioned inside the discharge container 21, and the film of boron nitride is apply | coated as the buffer material 24 at the contact part of the support member 23 and the discharge container 21. As shown in FIG. An excimer generating gas 7 is sealed in the discharge vessel 21, and an external electrode 25 and an external electrode 26 are formed on the outer surface of the discharge vessel 21, and a high frequency power PS is formed between the electrodes. Is connected. Although the external electrodes 25 and 26 illustrate that the electrode processed into the mesh shape was attached to the discharge container 21, For example, one of the external electrodes is a nickel metal film, the other of the external electrodes is an ITO film, or A metal deposition film, a punching metal, an expanded metal, etc. formed into a shape may be employed. Two dielectric walls of the discharge vessel 21 are interposed between the external electrodes 25 and 26.

단면 형상이 각형의 실리카 유리관은 원통관보다 내압이 낮은 특성이 있다. 이 램프는 내부에 봉입한 엑시머 생성 가스가 점등 동작에 의해서 팽창, 압축할 때(도 6(b)의 파선)에 특히 긴 변 방향으로 왜곡이 생긴다. 램프의 제작시에도 방전 용기 내의 가스를 배기할 때에 대기압이 걸리기 때문에 단면 형상에 의해서는 배기 작업시에 파괴해 버리는 일이 있다. 그래서, 24와 같은 지지 부재를 형성하여 긴 변 방향의 변형을 억제함으로써 램프의 깨짐을 억제할 수 있지만, 이 경우도 지지 부재(24)와 방전 용기(21)의 내면에서 상호 접촉이 일어나 방전 용기(21) 내면에 상처가 발생한다. 상처가 난 방전 용기(21)는 램프의 점등과 함께 내면에 왜곡이 축적하고, 파괴 하중에 이른 곳에서 램프가 깨지는 작용은, 상술한 예와 같다. Silica glass tubes having a rectangular cross-sectional shape have a lower pressure resistance than cylindrical tubes. This lamp produces distortion in a particularly long-side direction when the excimer generated gas enclosed therein is expanded and compressed by a lighting operation (broken line in Fig. 6B). Even when the lamp is manufactured, atmospheric pressure is applied when exhausting the gas in the discharge vessel, so that the cross-sectional shape may destroy it during the exhaust operation. Therefore, the cracking of the lamp can be suppressed by forming a support member such as 24 to suppress deformation in the long side direction, but in this case also, mutual contact occurs at the inner surfaces of the support member 24 and the discharge vessel 21 to discharge the vessel. (21) A wound occurs on the inner surface. In the discharge container 21 which has been damaged, distortion accumulates on the inner surface as the lamp is turned on, and the action of breaking the lamp at the place where the breaking load is reached is the same as the above-described example.

도 6의 실시 형태에 있어서, 각형 램프의 지지 부재(23)을 넣는 순서에 대해서 설명한다. 도 7은 각형 관(21)과 지지 부재(23)의 사시도이다. 지지 부재(23)는 직경 5㎜의 합성 실리카 유리제의 원주체로, 하부에 질화 붕소의 막(24)이 형성되어 있다(도면 중의 (1)). 이것을 핀셋 등을 이용하여 각형 관의 소정의 위치에 두고, 외부로부터 화염 버너(50)에 의해서 방전 용기(21)의 외주부를 용융시키고, 지지 부재(23)의 실리카 유리면과 접합·용착시킨다(도면 중의 (2)).In the embodiment of FIG. 6, the procedure of inserting the supporting member 23 of the square lamp will be described. 7 is a perspective view of the square tube 21 and the support member 23. The support member 23 is a cylindrical body made of synthetic silica glass having a diameter of 5 mm, and a boron nitride film 24 is formed in the lower portion ((1) in the drawing). This is placed in a predetermined position of the square tube using tweezers or the like, the outer periphery of the discharge vessel 21 is melted by the flame burner 50 from the outside, and bonded and welded to the silica glass surface of the support member 23 (drawings). (2)).

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 엑시머 램프는 상기 질화 붕소의 막에 의해서 실리카 유리끼리의 상호 접촉이 없어지므로, 방전 용기의 내면에 상처가 생기는 일이 없다. 수명 말기까지 램프가 파손하는 일이 없는 엑시머 램프를 실현할 수 있다.As described above, the excimer lamp according to the present invention eliminates mutual contact between the silica glasses by the film of boron nitride, so that the inner surface of the discharge vessel is not damaged. The excimer lamp which does not damage a lamp by the end of life can be implement | achieved.

이와 같이, 본 발명에 의하면, 지지 부재를 가지며 방전 용기와 지지 부재가 서로 스치는 엑시머 램프는 그 형태를 불문하고 확실히 수명 특성을 개선할 수 있다.Thus, according to this invention, the excimer lamp which has a support member and the discharge container and a support member rub each other can reliably improve a lifetime characteristic, regardless of the form.

이상, 본 발 발명의 실시 형태에 관한 엑시머 램프에 대해서 상세하게 설명했지만, 본원 발명은 여기에 기재의 실시 형태에 한정되지 않고, 유전체로 이루어지는 방전 용기에 엑시머 생성 가스가 봉입되고, 한 쌍의 전극이 구비되고, 한 쌍의 전극 간에 2개의 유전체 부재가 개재하여 이루어지는 엑시머 램프에 적용되는 것이며, 방전 용기 형상이나 전극 배치 등 적당 변경이 가능한 것은 말할 것도 없다.As mentioned above, although the excimer lamp which concerns on embodiment of this invention was demonstrated in detail, this invention is not limited to embodiment of this description here, Excimer generation gas is enclosed in the discharge container which consists of a dielectric, and a pair of electrode Is applied to an excimer lamp having two dielectric members interposed between a pair of electrodes.

도 1은 본 발명에 관한 엑시머 램프의 실시 형태의 일례를 나타내는 구성도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The block diagram which shows an example of embodiment of an excimer lamp which concerns on this invention.

도 2는 본 발명의 엑시머 램프의 지지 부재 부근의 확대도이며, 도 2(a)는 지지 부재를 포함하는 영역의 방전 용기의 부분 단면도이며, 도 2(b)는 도 2(a)의 A-A＇ 단면도.Fig. 2 is an enlarged view of the vicinity of the support member of the excimer lamp of the present invention, Fig. 2 (a) is a partial sectional view of the discharge vessel in the region including the support member, and Fig. 2 (b) is AA of Fig. 2 (a). ' Cross-section.

도 3은 본 발명과 종래품의 점등 시간과 파괴 강도의 추이를 나타내는 도면.3 is a view showing a transition between lighting time and breaking strength of the present invention and a conventional product.

도 4는 본 발명의 엑시머 램프의 지지 부재 부근의 확대도이며, 도 4(a)는 지지 부재를 포함하는 영역의 방전 용기의 부분 단면도이며, 도 4(b)는 도 4(a)의 B-B＇ 단면도.Fig. 4 is an enlarged view of the vicinity of the support member of the excimer lamp of the present invention, Fig. 4 (a) is a partial sectional view of the discharge vessel in the region including the support member, and Fig. 4 (b) is BB of Fig. 4 (a). ' Cross-section.

도 5는 본 발명의 엑시머 램프의 지지 부재 부근의 확대도이며, 도 5(a)는 지지 부재를 포함하는 영역의 방전 용기의 부분 단면도이며, 도 5(b)는 도 5(a)의 C-C＇ 단면도.Fig. 5 is an enlarged view of the vicinity of the support member of the excimer lamp of the present invention, Fig. 5 (a) is a partial sectional view of the discharge vessel in the region including the support member, and Fig. 5 (b) is CC of Fig. 5 (a). ' Cross-section.

도 6은 본 발명의 엑시머 램프로서 방전 용기에 실리카 유리제의 각형 관을 이용하여 엑시머 램프를 구성한 사례를 나타내며, 도 6(a)는 지지 부재를 포함하는 영역의 각형의 방전 용기의 부분 단면도이며, 도 6(b)는 도 6(a)의 D-D＇단면도.Fig. 6 shows an example in which an excimer lamp is constructed by using a silica glass square tube in a discharge container as the excimer lamp of the present invention, and Fig. 6 (a) is a partial sectional view of a rectangular discharge container in a region including a supporting member, (B) is DD 'cross section figure of (a).

도 7은 도 6의 실시 형태에 있어서, 방전 용기에 지지 부재를 넣고, 조립하는 순서를 나타내는 도면.FIG. 7 is a view showing a procedure of putting a supporting member into a discharge container and assembling in the embodiment of FIG. 6. FIG.

도 8은 종래의 엑시머 램프의 단면도.8 is a cross-sectional view of a conventional excimer lamp.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1, 61 방전 용기(외관) 2, 62 내관1, 61 discharge vessel (exterior) 2, 62 inner tube

3, 23, 31, 80 지지 부재 4, 24, 41, 42 완충재3, 23, 31, 80 support member 4, 24, 41, 42 cushioning material

5, 72 내부 전극 5A, 5B 금속박체5, 72 Internal electrode 5A, 5B Metallic foil

6, 71, 25, 26 외부 전극 7 엑시머 생성 가스6, 71, 25, 26 external electrode 7 excimer generated gas

10 엑시머 램프 21, 60 방전 용기10 excimer lamps 21, 60 discharge vessel

PS 전원PS power

Claims

An excimer gas is contained in a discharge vessel made of a dielectric, a pair of electrodes are provided, and two dielectric members are interposed between the pair of electrodes, and an excimer is discharged by applying a high voltage to the pair of electrodes. In the lamp,

One dielectric member has a supporting member made of a dielectric extending toward the other dielectric member,

The buffer member is provided in the site | part of the said support member or the other dielectric member with which the said support member and the said other dielectric member contact,

The buffer material, excimer lamp, characterized in that containing boron nitride or boron nitride.

The site | part of Claim 1 provided with the internal electrode sealed by airtight at the edge part of the said discharge container, and the external electrode arrange | positioned at the outer surface of the said discharge container, The said internal electrode is a site | part which discharges at least with the said external electrode. And a supporting member made of a dielectric which is covered by an inner tube made of a dielectric material and extends from the inner tube toward the discharge vessel.

The excimer lamp of claim 1, wherein at least a portion of the boron nitride is formed of hexagonal crystals.

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