KR101071638B1 - Blowing pipe structure of sampling carrier - Google Patents

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KR101071638B1 KR1020090046678A KR20090046678A KR101071638B1 KR 101071638 B1 KR101071638 B1 KR 101071638B1 KR 1020090046678 A KR1020090046678 A KR 1020090046678A KR 20090046678 A KR20090046678 A KR 20090046678A KR 101071638 B1 KR101071638 B1 KR 101071638B1
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Abstract

본 발명은 샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조에 관한 것으로, 본 발명은 포집된 샘플가스를 저장하는 용기본체(2)와, 상기 용기본체(2)에 구비되어 가스를 용기본체(2) 내로 유입하기 위한 유입포트(3)와, 상기 용기본체(2)에 구비되어 유입포트(3)와 동일한 방향으로 배치되며 용기본체(2) 내의 가스를 외부로 배출하기 위한 배출포트(4)와, 상기 유입포트(3)로 유입된 가스를 용기본체(2) 내부로 유도하여 용기본체(2)의 기저부로부터 확산분출되도록 하는 블로잉파이프(5)를 포함하는 샘플링캐리어에 있어서, 상기 블로잉파이프(5) 상에 일정 간격을 두고 다수의 분출공(5a)이 구비된 샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조를 제공함에 그 특징을 갖는다.The present invention relates to a blowing pipe structure of a sampling carrier, the present invention is provided with a container body (2) for storing the collected sample gas, the container body (2) is provided for introducing gas into the container body (2) An inlet port (3), a discharge port (4) provided in the container body (2) and disposed in the same direction as the inlet port (3) for discharging the gas in the container body (2) to the outside; (3) A sampling carrier comprising a blowing pipe (5) for guiding the gas introduced into the container body (2) to diffuse and eject from the base of the container body (2), on the blowing pipe (5). It is characterized by providing a blowing pipe structure of a sampling carrier provided with a plurality of blow holes 5a at regular intervals.

따라서, 본 발명은 세정가스가 블로잉파이프 및 분출공을 통해서 용기본체 내부 표면에 골고루 분사되어 불순물의 이탈을 극대화시키고, 이로 인해 소량의 세정가스 및 빠른 세정시간을 통해 세정작업이 이루어질 수 있는 것이다.Therefore, in the present invention, the cleaning gas is evenly sprayed on the inner surface of the container body through the blowing pipe and the blowing hole to maximize the release of impurities, and thus the cleaning operation can be performed through a small amount of the cleaning gas and a fast cleaning time.

샘플링캐리어, 블로잉파이프, 분출공, 혼류, 세정가스, 세정 Sampling Carrier, Blowing Pipe, Blowout Hole, Mixed Flow, Cleaning Gas, Cleaning

Description

샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조{Blowing pipe structure of sampling carrier}Blowing pipe structure of sampling carrier

본 발명은 샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 용기본체 내에 구비되어 세정가스를 분사하는 블로잉파이프 상에 다수의 분출공을 일정간격을 두고 배치함으로써, 세정가스가 용기본체 내부 표면에 골고루 분사되어 불순물의 이탈을 극대화시키고, 이로 인해 소량의 세정가스 및 빠른 세정시간을 통해 세정작업이 이루어질 수 있도록 한 샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a structure of a blowing pipe of a sampling carrier, and more particularly, by arranging a plurality of ejection holes at a predetermined interval on a blowing pipe which is provided in the container body and sprays the cleaning gas. It is related to the blowing pipe structure of the sampling carrier to be sprayed evenly to maximize the escape of impurities, thereby allowing the cleaning work through a small amount of cleaning gas and fast cleaning time.

일반적으로 반도체, 액정패널, 태양전지 패널 등의 전자기기를 제조하는 공정에는 각종 초고순도 가스를 필요로 하는데, 이에 사용되는 초고순도 가스는 불순물의 함유량이 극소량으로 제한된다.Generally, a process for manufacturing electronic devices such as semiconductors, liquid crystal panels, and solar cell panels requires various ultra high purity gases, and the ultra high purity gas used therein is limited to a very small amount of impurities.

따라서, 초고순도 가스는 순도유지를 위하여 주기적으로 불순물 검사 및 분석을 시행하게 되며, 초고순도 가스의 검사는 작업장에서 채취한 가스샘플을 별도의 검사시설로 운반하여 시행하게 되는데, 채취한 가스샘플을 운반하기 위하여 샘플링캐리어를 사용하게 된다.Therefore, the ultra high purity gas is periodically inspected and analyzed for impurities to maintain purity, and the inspection of the ultra high purity gas is carried out by transporting the gas sample collected at the workplace to a separate inspection facility. The sampling carrier is used to carry it.

도 1에는 종래 기술에 따른 샘플링캐리어가 도시되어 있다.1 shows a sampling carrier according to the prior art.

도 1에 도시된 바와 같이 종래의 샘플링캐리어(10)는 저장공간을 형성하는 실린더 형태의 용기본체(11)와, 상기 용기본체(11)의 일측면 구비된 유입포트(12), 상기 유입포트(11)의 반대측에 구비된 배출포트(13), 용기본체(11)의 내부압력을 표시하기 위한 압력게이지(14)를 포함하여 이루어져 있다.As shown in FIG. 1, the conventional sampling carrier 10 includes a container body 11 having a cylinder shape to form a storage space, an inlet port 12 having one side of the container body 11, and the inlet port. And a pressure gauge 14 for indicating the internal pressure of the container body 11 and the discharge port 13 provided on the other side of the container 11.

상기 유입포트(12)와 배출포트(13)는 용기본체(11)의 내부를 외부와 연통시키는 일종의 관으로써, 상기 유입포트(12)와 배출포트(13)에는 각각 개폐밸브(121, 131)가 구비되어 있다.The inflow port 12 and the discharge port 13 is a kind of pipe that communicates the inside of the container body 11 with the outside, and the inlet port 12 and the discharge port 13 open and close valves 121 and 131, respectively. Is provided.

그리고, 도면에서와 같이 상기 압력게이지(14)는 배출포트(13) 상에 구비되거나, 별도로 용기본체(11)에 장착될 수 있다. As shown in the drawing, the pressure gauge 14 may be provided on the discharge port 13 or may be separately mounted to the container body 11.

이러한 종래기술에 의하면 샘플링캐리어(10)의 유입포트(12)를 작업현장의 가스이송라인과 연결하여 일정량의 샘플가스를 포집하게 되며, 샘플가스가 포집된 샘플링캐리어(10)를 검사시설로 운반하여 검사작업을 시행하게 되는 것이다.According to this prior art, the inlet port 12 of the sampling carrier 10 is connected to a gas transfer line at a work site to collect a predetermined amount of sample gas, and the sampling carrier 10 in which the sample gas is collected is transported to an inspection facility. The inspection work will be performed.

한편, 이러한 종래의 샘플링캐리어(10)는 다양한 종류의 초고순도가스에 대해 반복적으로 사용되는 만큼, 초고순도가스 검사의 신뢰성이 유지되기 위하여서는 검사에 앞서 용기본체(11)내의 잔존가스와 기타 불순물을 제거하는 세정작업이 매우 중요한 요인으로 작용하게 된다.Meanwhile, since the conventional sampling carrier 10 is repeatedly used for various kinds of ultra high purity gases, in order to maintain the reliability of the ultra high purity gas inspection, the residual gas and other impurities in the container body 11 before the inspection are maintained. The cleaning work to remove this will be a very important factor.

상기 세정작업은 유입포트(12)를 통해 세정가스를 주입함과 동시에 배출포트(13)를 개방된 상태로 유지함으로써 세정가스와 함께 잔존가스 및 불순물이 혼류되어 배출되도록 하는 방식으로 이루어지는데, 종래기술에서는 유입포트(12)와 배 출포트(13)가 용기본체(11)의 서로 대응되는 방향에 구비되는 특성상 용기본체(11) 내에서의 세정가스의 흐름이 크게 확산되지 않고 유입포트(12)에서 곧바로 배출포트(13)측으로 이어지기 때문에 세정작업의 신뢰성 및 작업효율이 낮다는 문제점이 유발된다.The cleaning operation is performed by injecting the cleaning gas through the inlet port 12 and simultaneously maintaining the discharge port 13 in an open state so that residual gas and impurities are mixed and discharged together with the cleaning gas. In the technology, since the inlet port 12 and the outlet port 13 are provided in directions corresponding to each other of the container body 11, the flow of the cleaning gas in the container body 11 is not largely diffused, and the inlet port 12 ) Leads directly to the discharge port 13 side causes a problem of low reliability and efficiency of the cleaning operation.

즉, 유입포트(12)를 통해 유입된 세정가스가 배출포트(13) 측으로 단방향으로 유동되기 때문에 잔존가스를 휩쓸어 나가기 위한 세정가스의 혼류현상이 강하게 형성되지 않고, 용기본체(11) 등의 내면에 미세하게 점착된 기타 불순물에 대한 세정가스의 타격 또한 약하기 때문에, 만족할 만한 수준의 세정 신뢰도를 얻기 위해서는 세정작업에 많은 시간을 필요로 한다는 문제점이 있다.That is, since the cleaning gas introduced through the inflow port 12 flows in one direction to the discharge port 13 side, the mixing phenomenon of the cleaning gas to sweep away the remaining gas is not strongly formed, and the inner surface of the container body 11 or the like. Since the impact of the cleaning gas on other impurities finely adhered to is also weak, there is a problem that it takes a long time for the cleaning operation to obtain a satisfactory level of cleaning reliability.

이에 상기와 같은 종래 샘플링캐리어(10)의 문제점을 개선하기 위하여 본 출원인에 의하여 특허출원번호 제2008-135860호(2008.12.29, 출원)로 새로운 형태의 샘플링캐리어가 출원된 바 있다.Accordingly, in order to improve the problems of the conventional sampling carrier 10 as described above, a new type of sampling carrier has been applied by the present applicant with the patent application No. 2008-135860 (Dec. 29, 2008).

즉, 상기 특허출원번호 제2008-135860호는 세정 작업시 용기본체 내부에서 세정가스와 잔존가스가 강하게 혼류를 형성하고, 포집장치의 내부표면처리에 의해 불순물의 부착을 최소화함으로써, 세정작업의 효율이 향상되도록 하는 데 그 특징이 있는 것으로써, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같은 구성을 갖는다.That is, the patent application No. 2008-135860 has a strong mixing of the cleaning gas and the remaining gas inside the container body during the cleaning operation, by minimizing the adhesion of impurities by the internal surface treatment of the collecting device, the efficiency of the cleaning operation As a feature of this improvement, it has a configuration as shown in Figs.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 출원인에 의해 출원된 샘플링캐리어(20)는 포집된 샘플가스를 저장하는 용기본체(21)와, 상기 용기본체(21)에 구비되어 가스를 용기본체(21) 내로 유입하기 위한 유입포트(22)와, 상기 유입포트(22)와 동일한 방향으로 배치되며 용기본체(21)내의 가스를 외부로 배출하기 위한 배출 포트(23)와, 용기본체(21)의 내부압력을 표시하기 위한 압력게이지(24)와, 상기 유입포트(22)를 통해 유입되는 가스를 용기본체(21) 내부로 유도하여 용기본체(21)의 기저부로부터 확산분출되도록 하는 블로잉파이프(blowing pipe)(25)를 포함하는 구성을 갖는다.As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the sampling carrier 20 filed by the present applicant is provided with a container main body 21 for storing the collected sample gas, and the container main body 21 is provided with a gas. (21) an inlet port 22 for introducing into the inlet, a discharge port 23 for discharging gas in the container body 21 to the outside and disposed in the same direction as the inlet port 22, and the container body 21 Pressure gauge 24 for indicating the internal pressure of the) and the blowing pipe to guide the gas flowing through the inlet port 22 into the container body 21 to diffuse and eject from the base of the container body 21 (blowing pipe) 25 has a configuration including.

여기서, 상기 배출포트(23)는 유입포트(22)와 동일한 방향으로 배치되어 용기본체(21) 내에 배치되며, 상기 유입포트(22)와 배출포트(23)에는 각각 개폐밸브(221)(231)가 구비되어 있다.Here, the discharge port 23 is disposed in the container body 21 in the same direction as the inlet port 22, the opening and closing valves (221, 231) in each of the inlet port 22 and the discharge port 23, respectively. ) Is provided.

따라서, 상기 유입포트(22)를 통해 용기본체(21) 내로 유입된 세정가스가 상기 블로잉파이프(25)에 의해 확산분출되어 배출포트(23) 측으로 역유동하면서 용기본체(21)의 내면을 타격함과 동시에 세정가스의 혼류형성이 효과적으로 이루어지도록 된 것이다.Therefore, the cleaning gas introduced into the container body 21 through the inlet port 22 is diffused and ejected by the blowing pipe 25 and hits the inner surface of the container body 21 while flowing back to the discharge port 23. At the same time, the mixture of the cleaning gas is effectively formed.

그런데, 상기 도 1에 도시된 종래 기술에 따른 샘플링캐리어(10)는 가스샘플링을 마친 후, 세정가스를 사용하여 세정공정을 거치는 데, 세정가스의 주입시 용기본체 내부표면에 부착되어있는 불순물의 이탈이 잘 이루어지지 않아 고순도의 샘플링을 위해서는 다량의 세정가스와 장시간의 세정공정이 요구되는 문제점이 있었다.However, the sampling carrier 10 according to the related art shown in FIG. 1 is subjected to a cleaning process using a cleaning gas after gas sampling, and injects the cleaning gas into the container body when the cleaning gas is injected. There is a problem that a large amount of cleaning gas and a long cleaning process is required for high purity sampling due to poor separation.

또한, 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 블로잉파이프(25)를 용기본체(21) 내부에 배치하도록 본 출원인에 의해 특허 출원된 상기 특허출원번호 제2008-135860호의 경우에는 상기 블로잉파이프(25)를 통해 용기본체(21) 내에 강한 혼류를 형성하여 세정작업이 보다 원활하게 이루어진다는 장점이 있으나, 이 또한 세정가스의 강한 혼류 형성을 유도하는 데 일정정도 한계가 있다는 문제점이 노출되었다. In addition, in the case of the patent application No. 2008-135860 filed by the applicant for arranging the blowing pipe 25 inside the container body 21 to improve the above problems, the blowing pipe 25 is used. There is an advantage that the cleaning operation is made more smoothly by forming a strong mixed flow in the container body 21 through this, but also exposed a problem that there is a certain limit to induce strong mixed flow of the cleaning gas.

이에 본 발명은 상기와 같은 본 출원인에 의해 특허 출원된 특허출원번호 제2008-135860호에 나타난 샘플링캐리어의 구조를 개선하여 보다 효과적인 세정작업이 이루어질 수 있도록 하기 위하여 발명된 것으로써, 본 발명의 목적은 용기본체 내에 구비되어 세정가스를 분사하는 블로잉파이프 상에 다수의 분출공을 일정간격을 두고 배치함으로써, 세정가스가 용기본체 내부 표면에 골고루 분사되어 불순물의 이탈을 극대화시키고, 이로 인해 소량의 세정가스 및 빠른 세정시간을 통해 세정작업이 이루어질 수 있도록 한 샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조를 제공하는 데 있다.Accordingly, the present invention was invented to improve the structure of the sampling carrier shown in the patent application No. 2008-135860, which is patented by the present applicant as described above, so that a more effective cleaning operation can be performed. By arranging a plurality of blow holes at a predetermined interval on the blowing pipe which is provided in the container body to inject the cleaning gas, the cleaning gas is evenly sprayed on the inner surface of the container body to maximize the release of impurities, thereby a small amount of cleaning It is to provide a blowing pipe structure of a sampling carrier so that cleaning can be performed through gas and fast cleaning time.

상기와 같은 목적은 달성하기 위한 본 발명은, 포집된 샘플가스를 저장하는 용기본체와, 상기 용기본체에 구비되어 가스를 용기본체 내로 유입하기 위한 유입포트와, 상기 용기본체에 구비되어 유입포트와 동일한 방향으로 배치되며 용기본체 내의 가스를 외부로 배출하기 위한 배출포트와, 상기 유입포트로 유입된 가스를 용기본체 내부로 유도하여 용기본체의 기저부로부터 확산분출되도록 하는 블로잉파이프(blowing pipe)를 포함하는 샘플링캐리어에 있어서, 상기 블로잉파이프 상에 일정 간격을 두고 다수의 분출공이 구비되는 샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조를 제 공함에 그 특징을 갖는다.The present invention for achieving the above object, the container body for storing the collected sample gas, the inlet port provided in the container body for introducing gas into the container body, and provided in the container body and the inlet port and It is disposed in the same direction and includes a discharge port for discharging the gas in the container body to the outside, and a blowing pipe to guide the gas introduced into the inlet port into the container body to diffuse and eject from the base of the container body The sampling carrier is characterized in that it provides a blowing pipe structure of a sampling carrier provided with a plurality of ejection holes at predetermined intervals on the blowing pipe.

여기서, 상기 분출공은 블로잉파이프의 원주상에 180°대향되는 위치에 지그재그 형태로 배치 형성되는 것이 바람직하다.Here, the blowing hole is preferably formed in a zigzag form at a position facing 180 ° on the circumference of the blowing pipe.

그리고, 상기 블로잉파이프와 용기본체 내부의 압력차가 5㎏f/㎠ 이상일 때, 상기 분출공에서 분사되는 세정가스가 0.5㎏f이상의 힘으로 분출되도록 상기 각 분출공의 직경은 3.6㎜이고, 분출공 간의 간격은 80~120㎜ 인 것이 바람직하다.When the pressure difference between the blowing pipe and the container body is 5 kgf / cm 2 or more, the diameters of the respective blowing holes are 3.6 mm so that the cleaning gas injected from the blowing holes is ejected with a force of 0.5 kgf or more. It is preferable that the interval between them is 80-120 mm.

또한, 상기 블로잉파이프는 용기본체 내부에서 용기본체 직경의 1:2 편심되는 지점에 배치되는 것이 바람직하다.In addition, the blowing pipe is preferably disposed at a point eccentric 1: 2 of the diameter of the container body inside the container body.

본 발명에 따르면, 용기본체 내에 구비되어 세정가스를 분사하는 블로잉파이프 상에 다수의 분출공을 일정간격을 두고 배치함으로써, 세정가스가 용기본체 내부 표면에 골고루 분사되어 불순물의 이탈을 극대화시키고, 이로 인해 소량의 세정가스 및 빠른 세정시간을 통해 세정작업이 이루어질 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by arranging a plurality of blow holes at a predetermined interval on the blowing pipe which is provided in the container body to inject the cleaning gas, the cleaning gas is evenly sprayed on the inner surface of the container body to maximize the escape of impurities, Due to the small amount of cleaning gas and fast cleaning time there is an effect that the cleaning operation can be made.

특히, 본 발명에 따라 블로잉파이프에 의해 세정가스가 용기본체 내부에서 강하게 분출되고, 다수의 분출공으로 인해 세정가스의 혼류상태가 강하게 형성됨으로써 잔존가스 및 이물질이 용이하게 배출되는 장점을 갖게 되어 세정작업의 효율이 향상된다는 이점이 있다. In particular, according to the present invention, the cleaning gas is strongly ejected from the inside of the container body by the blowing pipe, and the mixed gas of the cleaning gas is strongly formed due to the plurality of ejection holes, so that residual gas and foreign substances are easily discharged. The efficiency of the advantage is improved.

이하, 본 발명의 구체적인 내용을 첨부도면을 참조로 하여 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, specific details of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조 및 세정작업을 보여주는 도면이고, 도 5는 본 발명에 따른 샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조를 보여주는 도면이며, 도 6은 본 발명에 따른 샘플링캐리어에서 블로잉파이프가 용기본체 내에 편심을 두고 배치되는 상태를 보여주는 도면이다.4 is a view showing a blowing pipe structure and a cleaning operation of the sampling carrier according to the present invention, Figure 5 is a view showing a blowing pipe structure of the sampling carrier according to the present invention, Figure 6 is a blowing in the sampling carrier according to the present invention Figure is a view showing a state in which the pipe is arranged eccentrically in the container body.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 샘플링캐리어(1)는, 전술한 본 출원인에 의해 특허출원된 제2008-135860호에 개시된 샘플링캐리어를 개선한 것으로써, 종래와 마찬가지로, 포집된 샘플가스를 저장하는 용기본체(2)와, 상기 용기본체(2)에 구비되어 가스를 용기본체(2) 내로 유입하기 위한 유입포트(3)와, 상기 용기본체(2)에 구비되어 유입포트(2)와 동일 방향으로 배치된 상태에서 용기본체(2)내의 가스를 외부로 배출하기 위한 배출포트(4)를 갖추고 있으며, 상기 유입포트(3)를 통해 유입되는 가스를 용기본체(2) 내부로 유도하여 용기본체(2)의 기저부로부터 확산분출되도록 하는 블로잉파이프(blowing pipe)(5)를 갖추고 있다.As shown in Fig. 4, the sampling carrier 1 according to the present invention improves the sampling carrier disclosed in the aforementioned 2008-135860 patent filed by the present applicant, and as in the prior art, the collected sample A container body (2) for storing gas, an inlet port (3) provided in the container body (2) for introducing gas into the container body (2), and an inlet port provided in the container body (2) ( 2) is provided with a discharge port (4) for discharging the gas in the container body 2 to the outside in the same direction as the state, and the gas flowing through the inlet port (3) inside the container body (2) It is equipped with a blowing pipe (5) to guide the diffusion into the diffusion from the base of the container body (2).

이때, 상기 유입포트(3)와 배출포트(4) 상에는 가스샘플링이나 세정작업시 유입포트(3) 및 배출포트(4)를 개폐하기 위한 개폐밸브(6,7)가 구비되고, 상기 배출포트(4) 상에는 용기본체(2) 내부의 압력 상태를 확인할 수 있는 압력게이지(8)가 마련되게 된다.At this time, on the inlet port (3) and the discharge port (4) is provided with opening and closing valves (6, 7) for opening and closing the inlet port (3) and the discharge port (4) during gas sampling or cleaning operation, the discharge port On (4), a pressure gauge 8 capable of confirming the pressure state inside the container body 2 is provided.

여기서, 본 발명은 상기 블로잉파이프(5) 상에 다수의 분출공(5a)이 구비되는 것에 그 특징을 두고 있다.Here, the present invention is characterized in that a plurality of blowing holes (5a) is provided on the blowing pipe (5).

이때, 서로 근접한 상기 분출공(5a)은 블로잉파이프(5)의 원주상에 180°대향되는 위치에 지그재그 형태로 배치 형성되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the ejection holes 5a adjacent to each other are arranged in a zigzag form at a position facing 180 ° on the circumference of the blowing pipe 5.

그리고, 상기 블로잉파이프(5)에 구비된 분출공(5a)의 직경은 3.6mm가 바람직하다.In addition, the diameter of the ejection hole 5a provided in the blowing pipe 5 is preferably 3.6 mm.

이는 상기 블로잉파이프(5)와 용기본체(2) 내부의 압력차가 5kgf/㎠이상 일때, 상기 분출공(5a)에서 나오는 세정가스가 0.5kgf 이상의 힘으로 분출될 경우, 용기본체(2) 내부표면의 불순물을 효과적으로 이탈시킬 수 있도록 하기 위함이다.This means that when the pressure difference between the blowing pipe 5 and the container body 2 is 5 kgf / cm 2 or more, when the cleaning gas emitted from the jet hole 5a is ejected with a force of 0.5 kgf or more, the inner surface of the container body 2 This is to effectively remove the impurities in the.

특히, 이때 상기 각 분출공(5a)의 간격은 80~120mm 정도가 바람직하나, 가장 적절하게는 100㎜ 정도하는 것이 바람직하다.In particular, at this time, the interval of each of the blowing holes (5a) is preferably about 80 ~ 120mm, most preferably about 100mm.

예를 들어, 상기 분출공의 간격을 80mm 미만으로 배치할 경우에는 분출공(5a)에서 0.5kgf의 힘으로 분출되어 나오는 세정가스가 근접 거리에서 분출되는 관계로 서로 상쇄되어 효과적이지 못하며, 상기 분출공의 간격이 120mm이상으로 너무 멀 경우, 세정가스의 분출하는 힘이 용기본체 내부 표면에 미치지 못하여 바람직하지 못하게 되는 것이다.For example, when the spacing of the ejection holes is less than 80 mm, the cleaning gases ejected with a force of 0.5 kgf from the ejection holes 5a are canceled at a close distance, so that they are canceled with each other and are not effective. If the spacing of the balls is too far above 120 mm, the blowing force of the cleaning gas does not reach the inner surface of the container body, which is undesirable.

또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 블로잉파이프(5)는 용기본체(2) 내부의 직경에 대해서 1:2 비율로 편심되는 지점에 배치되는 것이 바람직하다.In addition, as shown in Figure 6, the blowing pipe 5 is preferably disposed at a point eccentric to the ratio of 1: 2 with respect to the diameter of the inside of the container body (2).

이는 블로잉파이프(5)에 마련된 분출공(5a)과 용기본체(2) 내부 표면 간의 거리를 근접시킴으로써, 이 근접 부위에서의 분출공(5a)에서 분출되는 세정가스가 용기본체(2) 내부 표면의 불순물 이탈을 보다 용이하게 이끌어 낼 수 있기 때문이다.This makes the distance between the blowing hole 5a provided in the blowing pipe 5 and the inner surface of the container main body 2 close, so that the cleaning gas ejected from the blowing hole 5a at the proximal portion of the inner surface of the container main body 2 is closed. This is because it is possible to more easily lead to the removal of impurities.

즉, 도 4에 도시된 바와 같이 분출공(5a)에서 분출된 세정가스의 혼류(혹은와류)에 의한 회전력이 형성되어 용기본체(2) 측면의 불순물을 함께 이탈시키는 장 점이 있는 것이다. That is, as shown in FIG. 4, the rotational force is formed by the mixing (or vortex) of the cleaning gas ejected from the ejection hole 5a, thereby leaving impurities on the side of the container body 2 together.

한편, 본 발명에 있어서는, 잔존가스 및 이물질이 접하는 구성요소 즉, 용기본체(11) 및 유입포트(12), 배출포트(13), 블로잉파이프(5) 등이 스테인레스 계열(SUS304, SUS304L, SUS316, SUS316L 등)의 재질로 이루어지며, 그 내면이 전해연마 처리된다.On the other hand, in the present invention, the components in contact with the remaining gas and foreign matter, that is, the container body 11 and the inlet port 12, the discharge port 13, the blowing pipe 5 and the like are stainless series (SUS304, SUS304L, SUS316) , SUS316L, etc.), and its inner surface is electropolished.

상기 전해연마는 금속의 양극 용해현상을 이용하여 표면을 연마하는 방법으로서, 연마할 금속제품을 양극으로하고, 불용성인 금속전극을 음극으로 하여 연마욕속에서 직류전해하여 금속제품의 표면을 미세하게 용해시키는 연마방법이다.The electropolishing is a method of polishing a surface by using a dissolution of an anode of a metal. The surface of a metal product is finely dissolved by direct current electrolysis in a polishing bath using a metal product to be polished as an anode and an insoluble metal electrode as a cathode. Polishing method.

상기 전해연마에 의하면, 금속표면에 치밀한 금속산화물 피막(부동태)이 형성되고 금속표면의 주성분(Cr, Ni,Fe성분)의 조성변화로 인하여 내식성이 향상되며, 기계연마에 비해 평활한 금속표면을 형성하게 됨으로써 광택이 뛰어나고 가공표면에 미세요철이 형성되지 않기 때문에 미세불순물의 흡착이 방지된다.According to the electropolishing, a dense metal oxide film (floating state) is formed on the metal surface, and the corrosion resistance is improved due to the change of the composition of the main components (Cr, Ni, Fe components) of the metal surface, and the metal surface is smoother than the mechanical polishing. By forming, it is excellent in gloss and fine irregularities are not formed on the processed surface, thereby preventing the adsorption of fine impurities.

이와 같은 본 발명에 따른 샘플링캐리어의 세정작업에 대해 설명하면 다음과 같다.Referring to the cleaning operation of the sampling carrier according to the present invention as follows.

우선, 세정작업은 세정가스를 용기본체(2)에 주입하는 이른바 주입단계와, 용기본체(2)에 주입된 세정가스와, 잔존가스 및 이물질을 배출하는 배출단계로 이루어진다고 볼 수 있는데, 세정가스 주입단계에서는 유입포트(3)의 개폐밸브(6)를 개방하고, 상기 배출포트(4)의 개폐밸브(7)를 차단한 상태에서 유입포트(3)를 통해 용기본체(2)내의 압력이 일정수준이 될 때까지 세정가스를 주입하게 된다.First, the cleaning operation is composed of a so-called injection step of injecting the cleaning gas into the container body 2, and a discharge step of discharging the cleaning gas injected into the container body 2, the remaining gas and foreign matter, In the gas injection step, the opening and closing valve 6 of the inlet port 3 is opened, and the pressure in the container body 2 through the inlet port 3 in the state of shutting off the opening and closing valve 7 of the outlet port 4. The cleaning gas is injected until this level is reached.

상기 유입포트(3)를 통해 주입된 세정가스는 블로잉파이프(5) 및 분출공(5a) 를 통해 일정구간만큼 용기본체(2)의 내부로 유동한 다음 분출되며, 분출된 세정가스는 용기본체(2)의 내부 표면에 강하게 충돌한 다음, 크게 혼류를 일으키면서 배출포트(4)의 배치구조로 인해 용기본체(2)의 내면을 타고 역방향으로 유동하게 된다.The cleaning gas injected through the inlet port 3 flows into the inside of the container body 2 for a predetermined period through the blowing pipe 5 and the blowing hole 5a, and then is ejected. After colliding strongly with the inner surface of (2), large flow is caused to flow, and due to the arrangement of the discharge port 4 flows in the reverse direction on the inner surface of the container body (2).

특히, 상기 다수의 분출공을 통해서 용기본체(21)의 측면을 향해서 세정가스가 강하게 분출됨에 따라 보다 강한 혼류가 형성되어 용기본체 내부 표면에 점착된 수분과 같은 불순물을 분리하게 된다.In particular, as the cleaning gas is strongly ejected toward the side of the container body 21 through the plurality of ejection holes, a stronger mixture is formed to separate impurities such as moisture adhering to the inner surface of the container body.

이처럼, 상기와 같은 블로잉파이프(5) 및 분출공(5a) 구조를 통해 세정가스의 역유동 과정에서 용기본체(2)의 내부에 고여있던 잔존가스 및 이물질이 세정가스에 의해 휩쓸림과 동시에 용기본체(2)의 내면에 점착되어 있는 미세 이물질에 대해서도 강한충격이 가해짐으로써 점착된 이물질을 용기본체(2) 내면으로부터 분리하게 된다.As such, the remaining gas and foreign matter accumulated in the interior of the container body 2 during the reverse flow of the cleaning gas through the blowing pipe 5 and the blowing hole 5a as described above are swept away by the cleaning gas and at the same time the container. A strong impact is also applied to the fine foreign matter adhered to the inner surface of the main body 2 to separate the adhered foreign matter from the inner surface of the container body 2.

이어서, 진행되는 배출단계에서는 상기 유입포트(3)의 개폐밸브(6)를 차단하고, 상기 배출포트(4)의 개폐밸브(7)를 개방하여 세정가스 및 잔존가스, 이물질이 배출포트(4)를 통해 외부로 배출되도록 하며, 배출이 완료된 후에 배출포트(4)의 개폐밸브(7)를 차단하여 세정작업을 마치게 된다.Subsequently, in the discharging step, the opening / closing valve 6 of the inflow port 3 is blocked, and the opening / closing valve 7 of the discharge port 4 is opened to remove the cleaning gas, remaining gas, and foreign matter from the discharge port 4. It is to be discharged to the outside through), and after the discharge is completed to shut off the opening and closing valve (7) of the discharge port (4) to complete the cleaning operation.

한편, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 실용신안등록청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함을 이해할 수 있을 것이다.On the other hand, although the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto, and the technical spirit of the present invention and those described below will be described by those skilled in the art to which the present invention pertains. It will be understood that various modifications and variations are possible within the scope of equivalent utility model registration claims.

도 1은 종래 기술에 따른 샘플링캐리어의 일 실시예 및 세정작업을 나타낸 단면예시도,1 is a cross-sectional view showing an example of a sampling carrier and a cleaning operation according to the prior art;

도 2는 종래 본 출원인에 의해 특허 출원된 샘플링캐리어의 구조를 나타낸 단면도,2 is a cross-sectional view showing the structure of a sampling carrier conventionally patented by the present applicant;

도 3은 종래 본 출원인에 의해 특허 출원된 샘플링캐리어의 세정작업을 나타낸 단면예시도,3 is a cross-sectional view illustrating a cleaning operation of a sampling carrier conventionally patented by the present applicant;

도 4는 본 발명에 따른 샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조 및 세정작업을 보여주는 도면,4 is a view showing a blowing pipe structure and a cleaning operation of a sampling carrier according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조를 보여주는 도면,5 is a view showing a blowing pipe structure of a sampling carrier according to the present invention;

도 6은 본 발명에 따른 샘플링캐리어에서 블로잉파이프가 용기본체 내에 편심을 두고 배치되는 상태를 보여주는 도면.Figure 6 is a view showing a state in which the blowing pipe is disposed eccentrically in the container body in the sampling carrier according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 샘플링캐리어 2 : 용기본체1 Sampling Carrier 2 Container Body

3 : 유입포트 4 : 배출포트3: inlet port 4: outlet port

5 : 블로잉파이프 5a : 분출공5: Blowing Pipe 5a: Blowing Hole

6,7 : 개폐밸브 8 : 압력게이지6,7: On-off valve 8: Pressure gauge

Claims (4)

포집된 샘플가스를 저장하는 용기본체(2)와, 상기 용기본체(2)에 구비되어 가스를 용기본체(2) 내로 유입하기 위한 유입포트(3)와, 상기 용기본체(2)에 구비되어 유입포트(3)와 동일한 방향으로 배치되며 용기본체(2) 내의 가스를 외부로 배출하기 위한 배출포트(4)와, 상기 유입포트(3)로 유입된 가스를 용기본체(2) 내부로 유도하여 용기본체(2)의 기저부로부터 확산분출되도록 일정 간격을 두고 다수의 분출공(5a)이 구비된 블로잉파이프(5;blowing pipe)를 포함하는 샘플링캐리어에 있어서,It is provided in the container body (2) for storing the collected sample gas, the inlet port (3) provided in the container body (2) for introducing gas into the container body (2), and the container body (2) The discharge port 4 is disposed in the same direction as the inflow port 3 and discharges the gas in the container body 2 to the outside, and the gas introduced into the inlet port 3 is introduced into the container body 2. In the sampling carrier comprising a blowing pipe (5) having a plurality of ejection holes (5a) at regular intervals so as to diffuse and eject from the base of the container body 2, 상기 분출공(5a)은 각 분출공(5a)에서 분사되는 세정가스가 상호 간섭없이 동일한 분출압으로 분출되도록 블로잉파이프(5)의 원주상에 180°대향되는 위치에 지그재그 형태로 배치 형성되고, 상기 블로잉파이프(5)는 용기본체(2) 내부에서 용기본체(2) 직경의 1:2 편심되는 지점에 배치되는 것을 특징으로 하는 샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조.The blowing hole 5a is formed in a zigzag form at a position facing 180 ° on the circumference of the blowing pipe 5 so that the cleaning gas injected from each blowing hole 5a is ejected at the same blowing pressure without mutual interference, The blowing pipe (5) is a blowing pipe structure of the sampling carrier, characterized in that disposed in the container body (2) at a point eccentric 1: 2 of the diameter of the container body (2). 삭제delete 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 블로잉파이프(5)와 용기본체(2) 내부의 압력차가 5㎏f/㎠ 이상일 때, 상기 분출공(5a)에서 분사되는 세정가스가 0.5㎏f이상의 힘으로 분출되도록 각 분출공(5a)의 직경은 3.6㎜이고, 분출공(5a) 간의 간격은 80~120㎜ 인 것을 특징으로 하는 샘플링캐리어의 블로잉파이프 구조.When the pressure difference between the blowing pipe 5 and the inside of the container body 2 is 5 kgf / cm 2 or more, each blowing hole 5a so that the cleaning gas injected from the blowing hole 5a is ejected with a force of 0.5 kgf or more. The blowing pipe structure of the sampling carrier, characterized in that the diameter of 3.6mm, the spacing between the ejection holes (5a) is 80 ~ 120mm. 삭제delete
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