KR101051892B1 - Guide roller for wire-saw system - Google Patents

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KR101051892B1
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KR
South Korea
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guide
wire
groove
balance member
guide roller
Prior art date
Application number
KR1020110011087A
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Korean (ko)
Inventor
장석준
박태인
조창석
조상식
김해연
곽범석
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오성엘에스티(주)
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

PURPOSE: A guide roller for a wire saw system is provided to conveniently control a balance member to the center of a rotary shaft when a main roller is rotated. CONSTITUTION: A guide roller(GR) for a wire saw system comprises guide grooves(1), balance members(3), and fixing bolts(6). The guide grooves are formed on one surface or both surfaces of the guide roller. The balance members are inserted into the guide grooves and are slid along the guide grooves. Spacing grooves(33) are formed in the balance members to form support units(3a). The fixing bolts are screwed on one support unit through the spacing grooves.

Description

와이어-쏘 시스템용 안내롤러{guide roller for wire-saw system}Guide roller for wire-saw system

본 발명은 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 관한 것으로, 좀더 자세하게는, 안내롤러의 측면에서 균형부재가 슬라이드 이동하여 고정되도록 함으로써, 안내롤러가 회전함에 따라 무게 균형을 회전축 중심으로 조정하는 것이 편리하고, 안내롤러의 동심도가 유지되도록 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 관한 것이다.The present invention relates to a guide roller for a wire-saw system, and more particularly, it is convenient to adjust the weight balance to the center of rotation axis as the guide roller rotates by allowing the balance member to slide and fix on the side of the guide roller. And a guide roller for a wire-saw system to maintain the concentricity of the guide roller.

일반적으로, 잉곳의 성장(growth) 공정이 완료된 후 웨이퍼로 제조하기 위해 잉곳을 낱장 단위로 절단하는 슬라이싱 공정이 진행된다.In general, after the growth process of the ingot is completed, a slicing process is performed in which the ingot is cut into sheets for manufacturing into a wafer.

이러한 슬라이싱 공정은 여러 가지 방식이 있는데, 그 대표적인 것은 챔버 내에서 피아노 와이어 또는 고장력 와이어를 빠른 속도로 왕복 주행시키면서 그 위에 슬러리(slurry) 용액을 분사시켜 와이어에 묻은 슬러리와 단결정 잉곳의 마찰에 의해 절단하는 와이어-쏘(Wire-Saw) 방식이다.This slicing process has a number of ways, the typical one of which is to reciprocate the piano wire or high tension wire in the chamber at high speed while spraying a slurry solution thereon, which is cut by friction between the slurry and the single crystal ingot attached to the wire. This is a wire-saw method.

와이어-쏘 방식은 잉곳을 동시에 여러 개의 웨이퍼로 절단할 수 있어 단위 시간당 생산수율을 향상시킬 수 있기 때문에 현재 널리 쓰이고 있다.The wire-saw method is now widely used because the ingot can be cut into several wafers at the same time, thereby improving the yield per unit time.

한국등록특허 제887494호에는 잉곳을 절단하는 와이어-쏘 시스템이 개시되어 있다. 한국등록특허 제887494호의 와이어-쏘 시스템은 메인롤러에 와이어가 300~400회 권취되어 있고, 메인롤러의 회전으로 인해 와이어가 고속으로 주행하게 된다. 그리고 잉곳을 고정하는 고정유닛이 하강하면서 고속 주행하는 와이어에 의해 잉곳을 절단하도록 한다. 이때, 고정유닛의 구조를 한정하고 있다.Korean Patent No. 887494 discloses a wire-saw system for cutting ingots. In the wire-saw system of Korean Patent No. 887494, the wire is wound around the main roller 300 to 400 times, and the wire travels at high speed due to the rotation of the main roller. And the fixing unit for fixing the ingot to cut the ingot by the wire running at high speed while descending. At this time, the structure of the fixed unit is limited.

이러한 메인롤러의 안정된 회전을 유지하기 위해 메인롤러의 회전에 따라 메인롤러의 무게 균형을 회전축의 중심으로 조정해야 한다.In order to maintain stable rotation of the main roller, the weight balance of the main roller should be adjusted to the center of the rotating shaft according to the rotation of the main roller.

하지만, 종래 기술에 따르면, 메인롤러의 회전시 측정되는 편차값에 따라 드릴 등으로 메인롤러를 절삭함으로써, 편차값이 발생될 때마다 절삭 작업을 수행해야 하는 번거로움이 발생하였다.However, according to the prior art, by cutting the main roller with a drill or the like according to the deviation value measured at the time of rotation of the main roller, the hassle of having to perform a cutting operation every time the deviation value is generated.

또한, 반복적인 절삭작업으로 인해 메인롤러의 강도를 저하시키고, 메인롤러의 외관을 해치는 문제점이 있었다.In addition, there is a problem that the strength of the main roller is reduced due to the repeated cutting operation, and the appearance of the main roller is damaged.

따라서 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 메인롤러의 회전시 측정되는 편차값에 따라 절삭 작업을 수행해야 하는 번거로움을 방지하고, 메인롤러가 회전함에 따라 무게 균형을 회전축 중심으로 조정하는 것이 편리하고, 메인롤러의 동심도가 유지되도록 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러를 제공함에 있다.Therefore, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, to prevent the hassle of having to perform the cutting operation according to the deviation value measured during the rotation of the main roller, the weight balance as the main roller rotates the rotation axis An object of the present invention is to provide a guide roller for a wire-saw system which is convenient to adjust to the center and maintains concentricity of the main roller.

또한, 반복적인 절삭 작업을 방지하고, 메인롤러의 강도가 저하되는 것을 방지하며, 메인롤러의 외관을 미려하게 할 수 있는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러를 제공함에 있다.In addition, the present invention provides a guide roller for a wire-saw system that prevents repetitive cutting operations, prevents the strength of the main roller from being lowered, and makes the appearance of the main roller beautiful.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 잉곳을 절단하기 위해 외주면에 와이어가 권취되어 회전축을 중심으로 회전되는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 있어서, 상기 안내롤러의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 함몰 형성되는 안내홈; 상기 안내홈에 삽입되어 상기 안내홈을 따라 슬라이드 이동되되, 상호 이격되는 지지부를 형성하도록 간격홈이 함몰 형성된 적어도 하나의 균형부재; 상기 간격홈을 통과하여 상호 이격된 지지부 중 어느 하나에만 나사 결합되는 고정볼트; 를 포함하고, 상기 고정볼트와 상기 균형부재의 나사 결합 상태에 따라 상기 균형부재에서 상호 이격된 지지부 사이의 간격이 줄어들거나 늘어나면서 상기 균형부재를 상기 안내홈에 고정시키는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, in the guide roller for a wire-saw system in which a wire is wound around an outer circumferential surface to cut an ingot and rotated about a rotation axis, the circumferential direction of at least one side of both sides of the guide roller. Guide grooves are formed recessed; At least one balance member inserted into the guide groove and slid along the guide groove, the gap groove being recessed to form support portions spaced apart from each other; A fixing bolt screwed to only one of the support parts spaced apart from each other through the gap groove; The wire-saw, characterized in that for fixing the balance member to the guide groove while reducing or increasing the distance between the support parts spaced apart from each other in the balance member according to the screwing state of the fixing bolt and the balance member. Achieved by a guide roller for the system.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 잉곳을 절단하기 위해 외주면에 와이어가 권취되어 회전축을 중심으로 회전되는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 있어서, 상기 안내롤러의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 함몰 형성되고, 깊이가 깊어질수록 폭이 증가하도록 양측면이 안내경사면으로 이루어지는 안내홈; 상기 안내홈에 삽입되어 상기 안내홈을 따라 슬라이드 이동되고, 양측면은 상기 안내경사면에 대응하여 지지경사면이 형성되는 적어도 하나의 균형부재; 상기 균형부재에만 나사 결합되는 고정볼트; 를 포함하고, 상기 고정볼트와 상기 균형부재의 나사 결합 상태에 따라 상기 고정볼트의 끝단부가 상기 안내홈의 바닥면에 지지되고, 상기 안내경사면과 상기 지지경사면이 맞닿아 밀착되면서 상기 균형부재를 상기 안내홈에 고정시키는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, in the guide roller for a wire-saw system in which a wire is wound around an outer circumferential surface to cut an ingot and rotated about a rotation axis, the circumferential direction of at least one side of both sides of the guide roller. A guide groove formed in a recess, the both sides of which are guide slopes so as to increase in width as the depth increases; At least one balance member inserted into the guide groove and slidably moved along the guide groove, both sides of which support slopes are formed corresponding to the guide slopes; A fixing bolt screwed to the balance member only; Includes, the end of the fixing bolt is supported on the bottom surface of the guide groove according to the screw coupling state of the fixing bolt and the balance member, the guide inclined surface and the support inclined surface is in close contact with the balance member It is achieved by a guide roller for a wire-saw system, characterized in that fixed to the guide groove.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 잉곳을 절단하기 위해 외주면에 와이어가 권취되어 회전축을 중심으로 회전되는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 있어서, 상기 안내롤러의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 함몰 형성되는 안내홈; 상기 안내홈에 삽입되고, 상기 안내홈을 따라 슬라이드 이동되는 적어도 하나의 균형부재; 상기 안내홈의 양측면과 마주보는 면에서 돌출되도록 설치되는 지지돌부와, 상기 균형부재와 상기 지지돌부 사이에서 상기 지지돌부를 탄성 지지하는 탄성부재를 포함하여 구성된 고정부재; 를 포함하고, 상기 균형부재를 상기 안내홈에 삽입하면, 상기 탄성부재의 탄성 지지력에 의해 상기 지지돌부가 상기 안내홈에 밀착되는 것에 의해 상기 안내홈에서 상기 균형부재의 이동과 고정이 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, in the guide roller for a wire-saw system in which a wire is wound around an outer circumferential surface to cut an ingot and rotated about a rotation axis, the circumferential direction of at least one side of both sides of the guide roller. Guide grooves are formed recessed; At least one balance member inserted into the guide groove and slidably moved along the guide groove; A fixing member including a support protrusion installed to protrude from both sides of the guide groove and an elastic member elastically supporting the support protrusion between the balance member and the support protrusion; Includes, when the balancing member is inserted into the guide groove, the support protrusion is in close contact with the guide groove by the elastic support force of the elastic member that the movement and fixing of the balance member in the guide groove at the same time Characterized by a guide roller for a wire-saw system.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 잉곳을 절단하기 위해 외주면에 와이어가 권취되어 회전축을 중심으로 회전되는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 있어서, 상기 안내롤러의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 돌출 형성되는 안내레일; 상기 안내레일이 삽입되는 삽입홈이 형성되고, 상기 안내레일을 따라 슬라이드 이동되는 적어도 하나의 균형부재; 상기 균형부재의 측면에만 나사 결합되는 고정볼트; 를 포함하고, 상기 고정볼트와 상기 균형부재의 나사 결합 상태에 따라 상기 고정볼트의 끝단부가 상기 안내레일의 측면에 지지되고, 상기 안내레일의 외면과 상기 삽입홈의 내면이 밀착되면서 상기 균형부재를 상기 안내레일에 고정시키는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, in the guide roller for a wire-saw system in which a wire is wound around an outer circumferential surface to cut an ingot and rotated about a rotation axis, the circumferential direction of at least one side of both sides of the guide roller. A guide rail which protrudes; At least one balance member formed with an insertion groove into which the guide rail is inserted, and which slides along the guide rail; Fixing bolt screwed only to the side of the balance member; Includes, the end of the fixing bolt is supported on the side of the guide rail according to the screw coupling state of the fixing bolt and the balance member, the outer surface of the guide rail and the inner surface of the insertion groove is in close contact with the balance member It is achieved by a guide roller for a wire-saw system, characterized in that fixed to the guide rail.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 잉곳을 절단하기 위해 외주면에 와이어가 권취되어 회전축을 중심으로 회전되는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 있어서, 상기 안내롤러의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 돌출 형성되는 안내레일; 상기 안내레일이 삽입되는 삽입홈이 형성되고, 상기 안내레일을 따라 슬라이드 이동되는 적어도 하나의 균형부재; 상기 안내레일의 양측면과 마주보는 면에서 돌출되도록 설치되는 지지돌부와, 상기 균형부재와 상기 지지돌부 사이에서 상기 지지돌부를 탄성 지지하는 탄성부재를 포함하여 구성된 고정부재; 를 포함하고, 상기 균형부재의 삽입홈에 상기 안내레일이 삽입되면, 상기 탄성부재의 탄성 지지력에 의해 상기 지지돌부가 상기 안내레일에 밀착되는 것에 의해 상기 안내레일을 따라 상기 균형부재의 이동과 고정이 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, in the guide roller for a wire-saw system in which a wire is wound around an outer circumferential surface to cut an ingot and rotated about a rotation axis, the circumferential direction of at least one side of both sides of the guide roller. A guide rail which protrudes; At least one balance member formed with an insertion groove into which the guide rail is inserted, and which slides along the guide rail; A fixing member including a support protrusion installed to protrude from both sides of the guide rail and an elastic member elastically supporting the support protrusion between the balance member and the support protrusion; Includes, when the guide rail is inserted into the insertion groove of the balance member, the support protrusion is in close contact with the guide rail by the elastic support force of the elastic member by moving and fixing the balance member along the guide rail This is achieved by a guide roller for a wire-saw system, characterized in that at the same time.

여기서, 상기 안내홈의 가장자리에 걸림부재가 결합되는 것에 의해 상기 안내홈의 입구측 가장자리를 따라 걸림턱이 형성되도록 하는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the engaging jaw is formed along the inlet side edge of the guide groove by being coupled to the edge of the guide groove.

여기서, 상기 안내홈의 가장자리에 걸림부재가 결합되는 것에 의해 상기 안내홈의 입구측 가장자리를 따라 형성되는 걸림턱과, 상기 지지돌부가 삽입되도록 상기 안내홈의 측면에 형성되는 지지홈 중 적어도 하나가 더 형성되도록 하는 것이 바람직하다.Here, at least one of the engaging jaw formed along the inlet side edge of the guide groove by the engaging member is coupled to the edge of the guide groove, and the support groove formed on the side of the guide groove so that the support protrusion is inserted It is desirable to form more.

여기서, 상기 안내레일의 측면에는 상기 지지돌부가 삽입되는 지지홈이 더 형성되도록 하는 것이 바람직하다.Here, the side of the guide rail is preferably such that the support groove is further formed is inserted into the support protrusion.

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본 발명에 따르면, 안내롤러의 회전시 측정되는 편차값에 따라 절삭 작업을 수행해야 하는 번거로움을 방지하고, 안내롤러가 회전함에 따라 무게 균형을 회전축 중심으로 조정하는 것이 편리하며, 안내롤러의 동심도가 유지되도록 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러가 제공된다.According to the present invention, it is convenient to prevent the hassle of having to perform a cutting operation according to the deviation value measured when the guide roller is rotated, and to adjust the weight balance to the center of the rotation axis as the guide roller rotates, the concentricity of the guide roller There is provided a guide roller for a wire-saw system in which is maintained.

또한, 반복적인 절삭 작업이 필요하지 않고, 반복적인 절삭 작업에 따른 유지 보수 비용을 절감할 수 있는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러가 제공된다.In addition, there is provided a guide roller for a wire-saw system that does not require a repetitive cutting operation and can reduce the maintenance cost of the repetitive cutting operation.

또한, 조작이 간편하고, 안내롤러의 강도가 저하되는 것을 방지하며, 안내롤러의 외관을 미려하게 할 수 있는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러가 제공된다.Further, there is provided a guide roller for a wire-saw system which can be easily operated, prevents the strength of the guide roller from being lowered, and can make the appearance of the guide roller beautiful.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 와이어-쏘 시스템을 나타내는 도면,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 안내롤러를 나타내는 사시도,
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따라 도 2의 "A" 부분에서 균형부재의 결합상태를 나타내는 단면도,
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따라 도 2의 "A" 부분에서 균형부재의 결합상태를 나타내는 단면도,
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따라 도 2의 "A" 부분에서 균형부재의 결합상태를 나타내는 단면도,
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따라 도 2의 "A" 부분에서 균형부재의 결합상태를 나타내는 단면도,
도 7은 본 발명의 제5실시예에 따라 도 2의 "A" 부분에서 균형부재의 결합상태를 나타내는 단면도이다.1 shows a wire-saw system according to a first embodiment of the present invention;
2 is a perspective view showing a guide roller according to a first embodiment of the present invention;
Figure 3 is a cross-sectional view showing a coupling state of the balance member in the "A" part of Figure 2 according to a first embodiment of the present invention,
Figure 4 is a cross-sectional view showing a coupling state of the balance member in the "A" part of Figure 2 according to a second embodiment of the present invention,
Figure 5 is a cross-sectional view showing a coupling state of the balance member in the "A" part of Figure 2 according to a third embodiment of the present invention,
Figure 6 is a cross-sectional view showing a coupling state of the balance member in the "A" part of Figure 2 according to a fourth embodiment of the present invention,
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a coupling state of a balance member at portion “A” of FIG. 2 according to a fifth embodiment of the present invention.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, in the various embodiments, components having the same configuration will be representatively described in the first embodiment using the same reference numerals, and in other embodiments, different configurations from the first embodiment will be described. do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a guide roller for a wire-saw system according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부 도면 도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 와이어-쏘 시스템을 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 와이어-쏘 시스템은 주행하는 와이어(W)를 통해 잉곳(I)을 절단하는 장치로써, 고정유닛(P)과, 안내롤러(GR)와, 권취롤러(WR)를 포함하고, 단선감지유닛이 더 포함된다.1 is a diagram showing a wire-saw system according to a first embodiment of the present invention. 1, the wire-saw system according to the first embodiment of the present invention is a device for cutting the ingot (I) through the running wire (W), the fixing unit (P) and the guide roller (GR) And a winding roller WR, and a disconnection detecting unit is further included.

고정유닛(P)은 잉곳(I)을 장착하고, 주행하는 와이어(W)를 향해 잉곳(I)을 일정한 속도로 이동시키는 것이다. 고정유닛(P)은 안내롤러(GR)의 상측에 이격 배치되고, 일정한 속도로 하강하도록 하는 것이 유리하다.The fixed unit P mounts the ingot I and moves the ingot I at a constant speed toward the running wire W. FIG. Fixing unit (P) is spaced apart on the upper side of the guide roller (GR), it is advantageous to lower at a constant speed.

안내롤러(GR)는 와이어(W)가 감겨서 지지되는 롤러로서, 적어도 두 개가 배치될 수 있으면 충분하다. 안내롤러(GR)는 적어도 하나가 별도로 마련되는 모터(미도시)의 회전력에 의해 회전되도록 설치될 수 있고, 이에 따라 와이어(W)를 고속으로 주행시킬 수 있다.The guide rollers GR are rollers on which the wires W are wound and supported, and at least two guide rollers GR are sufficient. At least one guide roller GR may be installed to be rotated by a rotational force of a motor (not shown) at least one of which is separately provided, thereby driving the wire W at high speed.

권취롤러(WR)는 안내롤러(GR)에 와이어(W)를 공급하거나 안내롤러(GR)에 감겨진 와이어(W)를 회수하기 위한 롤러이다. 권취롤러(WR)는 외주면에 와이어(W)가 권취되고, 권취된 와이어(W)를 안내롤러(GR)에 공급하기 위한 공급측의 권취롤러(WR)와, 안내롤러(GR)에 감겨진 와이어(W)를 회수하여 외주면에 와이어(W)가 권취되도록 하는 회수측의 권취롤러(WR)로 구분할 수 있다. 권취롤러(WR)는 모터(M)에 연결되어 모터(M)의 회전력에 의해 회전되도록 설치될 수 있고, 모터(M)는 후술하는 컨트롤러(C) 또는 별도로 마련되는 제어부(미도시)를 통해 제어될 수 있다.The winding roller WR is a roller for supplying the wire W to the guide roller GR or recovering the wire W wound around the guide roller GR. In the winding roller WR, the wire W is wound around the outer circumferential surface, the winding side WR on the supply side for supplying the wound wire W to the guide roller GR, and the wire wound around the guide roller GR. (W) can be divided into a winding roller (WR) on the recovery side to collect the wire (W) on the outer circumferential surface. The winding roller WR may be installed to be connected to the motor M to be rotated by the rotational force of the motor M, and the motor M may be installed through a controller C or a controller (not shown) that will be described later. Can be controlled.

단선감지유닛은 와이어(W)에 전기적으로 연결됨으로써, 와이어(W)에 사전에 설정된 설정 전압을 인가하고, 인가한 전압을 검출하여 와이어(W)의 단선 여부를 감지하도록 하는 유닛이다. 단선감지유닛은 와이어(W)에 사전에 설정된 전압을 인가하는 전원부(P)와, 전원부(P)와 권취롤러(WR)를 전기적으로 연결하는 전도체(A)와, 인가한 전압을 검출하여 와이어(W)의 단선 여부를 감지하는 컨트롤러(C)를 포함하여 구성될 수 있다.The disconnection detecting unit is electrically connected to the wire W, thereby applying a preset voltage to the wire W, and detecting the applied voltage to detect whether the wire W is disconnected. The disconnection detecting unit detects the applied voltage by supplying a power supply unit P for applying a predetermined voltage to the wire W, a conductor A electrically connecting the power supply unit P and the winding roller WR, and applying the applied voltage. It may be configured to include a controller (C) for detecting the disconnection of (W).

도면부호 B는 모터(M)와 권취롤러(WR)를 연결하기 위한 커플링으로 모터(M)와 권취롤러(WR) 사이를 절연시켜 모터(M)의 손상을 방지할 수 있다. 도면부호 N은 잉곳(I)을 절단할 때 슬러리를 분사하도록 하는 노즐이다.Reference numeral B denotes a coupling for connecting the motor M and the winding roller WR to insulate the motor M and the winding roller WR to prevent damage to the motor M. Referring to FIG. Reference numeral N denotes a nozzle for injecting a slurry when cutting the ingot I.

그러면, 공급측의 권취롤러(WR)가 모터(M)에 의해 회전함에 따라 공급측의 권취롤러(WR)에 권취된 와이어(W)는 일방향으로 풀어지고, 다수의 롤러배치구조(미도시)를 경유한 후 안내롤러(GR)에 감겨진다. 안내롤러(GR)에 감겨진 와이어(W)는 안내롤러(GR)의 회전에 따라 주행하면서 고정유닛(P)에 의해 하강하는 잉곳(I)을 절단하도록 한다. 이때, 노즐(N)을 통해 슬러리가 분사되면서 잉곳(I)의 절단이 안정되게 한다. 잉곳(I) 절단에 사용된 와이어(W)는 다시 다수의 롤러배치구조(미도시)를 경유한 후 모터(M)의 회전에 따라 회전되는 회수측 권취롤러(WR)에 감겨진다.Then, as the winding roller WR on the supply side rotates by the motor M, the wire W wound on the winding roller WR on the supply side is released in one direction and passes through a plurality of roller arrangements (not shown). It is then wound around the guide roller GR. The wire W wound around the guide roller GR cuts the ingot I descending by the fixing unit P while traveling in accordance with the rotation of the guide roller GR. At this time, the slurry is sprayed through the nozzle (N) to stabilize the cutting of the ingot (I). The wire W used to cut the ingot I is again wound on the recovery side winding roller WR rotated by the rotation of the motor M after passing through a plurality of roller arrangement structures (not shown).

여기서 전원부(P)와 컨트롤러(C)와 전도체(A)와 권취롤러(WR)와 와이어(W)가 전기적으로 연결됨으로써, 단선감지유닛은 전원부(P)를 통해 사전에 설정된 설정 전압을 인가하면, 전도체(A)와 권취롤러(WR)를 거쳐 와이어(W)에 설정 전압이 인가되고, 컨트롤러(C)에서 인가한 전압을 검출함으로써, 검출된 전압 변화를 이용하여 와이어(W)의 단선 여부를 감지할 수 있다.
Here, the power supply unit P, the controller C, the conductors A, the winding rollers WR, and the wires W are electrically connected to each other, so that the disconnection detecting unit applies a preset voltage through the power supply unit P. The set voltage is applied to the wire W via the conductor A and the winding roller WR, and by detecting the voltage applied by the controller C, the wire W is disconnected using the detected voltage change. Can be detected.

지금부터는 본 발명의 제1실시예에 따른 안내롤러에 대하여 상세하게 설명한다.The guide roller according to the first embodiment of the present invention will now be described in detail.

첨부 도면 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 안내롤러를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따라 도 2의 "A" 부분에서 균형부재의 결합상태를 나타내는 단면도이다. 도 2와 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 안내롤러(GR)는 적어도 두 개가 배치되어 와이어(W)가 감겨서 지지되는 롤러로서, 회전축(10)을 중심으로 회전되면서 와이어(W)를 고속으로 주행시킬 수 있다.2 is a perspective view showing a guide roller according to a first embodiment of the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view showing a coupling state of the balance member in the portion "A" of Figure 2 according to the first embodiment of the present invention. . 2 and 3, at least two guide rollers GR according to the first embodiment of the present invention are disposed to be supported by winding the wire W, while being rotated about the rotation shaft 10. The wire W can be driven at high speed.

안내롤러(GR)가 고속으로 회전될 때, 회전되는 안내롤러(GR)의 무게 균형을 유지해야 하므로, 안내롤러(GR)는 안내홈(1)과 균형부재(3)와 고정부재(4)를 포함한다.When the guide roller GR is rotated at a high speed, the weight of the rotating guide roller GR must be maintained, so that the guide roller GR is provided with the guide groove 1, the balancing member 3, and the fixing member 4. It includes.

안내홈(1)은 안내롤러(GR)의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 함몰 형성되는 홈으로써, 안내롤러(GR)의 일측면에서 원형으로 형성될 수 있다. 안내홈(1)은 안내롤러(GR)의 적어도 일측면에 삼각형 또는 사각형과 같은 다각형으로 형성될 수도 있다.The guide groove 1 is a recess formed along the circumferential direction on at least one side of both sides of the guide roller GR, and may be formed in a circular shape on one side of the guide roller GR. The guide groove 1 may be formed in a polygon such as a triangle or a quadrangle on at least one side of the guide roller GR.

균형부재(3)는 안내홈(1)에 삽입되어 안내홈(1)을 따라 슬라이드 이동되는 중량체로써, 안내홈(1)에 적어도 하나가 삽입될 수 있으면 충분하다. 여기서 균형부재(3)의 무게는 안내롤러(GR)가 회전될 때 측정되는 편차값에 따라 변경될 수 있으며, 그 무게를 한정하지 않는다.The balance member 3 is a weight that is inserted into the guide groove 1 and slides along the guide groove 1, and at least one of the balance members 3 may be inserted into the guide groove 1. Here, the weight of the balancing member 3 may be changed according to the deviation value measured when the guide roller GR is rotated, and the weight thereof is not limited.

고정부재(4)는 안내홈(1)에 삽입된 균형부재(3)를 안내홈(1)에 고정시킨다.The fixing member 4 fixes the balance member 3 inserted into the guide groove 1 to the guide groove 1.

특히 본 발명의 제1실시예에서 균형부재(3)는 상호 이격되는 지지부(3a)를 형성하도록 간격홈(33)이 함몰 형성되고, 고정부재(4)는 간격홈(33)을 통과하여 상호 이격된 지지부(3a) 중 어느 하나에만 나사 결합되는 고정볼트(6)로 구성된다.In particular, in the first embodiment of the present invention, the balance member 3 is recessed to form a gap groove 33 so as to form a support part 3a spaced apart from each other, and the fixing member 4 passes through the gap groove 33 to each other. It is composed of a fixed bolt (6) which is screwed to only one of the spaced support (3a).

그러면, 안내롤러(GR)의 무게 균형을 맞추기 위해 측정되는 편차값에 따라 적어도 하나의 균형부재(3)를 안내홈(1)에 삽입하여 이동시킨다. 이때, 균형부재(3)는 안내홈(1)의 깊이 방향으로도 이동이 가능하다. 고정볼트(6)가 균형부재(3)에 나사 결합되면, 상호 이격된 지지부(3a) 사이의 간격이 줄어들면서 적어도 안내홈(1)의 측면과 균형부재(3)의 측면이 밀착되어 균형부재(3)를 안내홈(1)에 고정시킬 수 있다. 이때, 안내홈(1)의 바닥면과 균형부재(3)의 바닥면이 밀착될 수도 있다. 그리고 균형부재(3)에서 고정볼트(6)의 나사 결합이 해제되면, 지지부(3a) 사이의 간격이 원상복귀되면서 균형부재(3)를 이동시킬 수 있다. 다른 예로는 고정볼트(6)가 균형부재(3)에 나사 결합되면, 상호 이격된 지지부(3a) 사이의 간격이 늘어나면서 적어도 안내홈(1)의 측면과 균형부재(3)의 측면이 밀착되어 균형부재(3)를 안내홈(1)에 고정시킬 수 있다. 이때, 안내홈(1)의 바닥면과 균형부재(3)의 바닥면이 밀착될 수도 있다. 그리고 균형부재(3)에서 고정볼트(6)의 나사 결합이 해제되면, 균형부재(3)가 원상태로 수축되어 균형부재(3)를 이동시킬 수 있다.Then, at least one balance member 3 is inserted into the guide groove 1 and moved according to the deviation value measured to balance the weight of the guide roller GR. At this time, the balance member 3 is also movable in the depth direction of the guide groove (1). When the fixing bolt 6 is screwed to the balance member 3, the distance between the support parts 3a spaced apart from each other decreases, and at least the side of the guide groove 1 and the side of the balance member 3 are in close contact with each other. (3) can be fixed to the guide groove (1). At this time, the bottom surface of the guide groove 1 and the bottom surface of the balance member 3 may be in close contact. And when the screw coupling of the fixing bolt (6) is released from the balance member (3), the gap between the support portion (3a) is returned to the original can move the balance member (3). In another example, when the fixing bolt 6 is screwed to the balance member 3, the distance between the support parts 3a spaced apart from each other increases, and at least the side of the guide groove 1 and the side of the balance member 3 closely contact each other. Can be fixed to the guide groove (1). At this time, the bottom surface of the guide groove 1 and the bottom surface of the balance member 3 may be in close contact. And when the screw coupling of the fixing bolt (6) is released from the balance member 3, the balance member 3 is contracted to its original state to move the balance member (3).

고정볼트(6)는 균형부재(3)에 나사 결합되어 균형부재(3)가 안내홈(1)에 고정되고, 균형부재(3)와의 나사 결합이 해제되면 균형부재(3)가 안내홈(1)에서 이동될 수 있으면 충분하다. 본 발명의 제1실시예에 따르면, 균형부재(3)의 탈부착을 용이하게 한다.
The fixing bolt 6 is screwed to the balancing member 3 so that the balancing member 3 is fixed to the guide groove 1, and when the screwing with the balancing member 3 is released, the balancing member 3 is guided ( It is enough that it can be moved in 1). According to the first embodiment of the present invention, the attachment and detachment of the balance member 3 is facilitated.

다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 안내롤러에 대하여 설명한다.Next, the guide roller according to the second embodiment of the present invention will be described.

첨부 도면 도 4는 본 발명의 제2실시예에 따라 도 2의 "A" 부분에서 균형부재의 결합상태를 나타내는 단면도로써, 도 4의 (a)는 균형부재(3)가 이동 가능한 상태일 때를 나타내고, 도 4의 (b)는 균형부재(3)가 안내홈(1)에 고정된 상태를 나타낸다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 안내롤러(GR)는 적어도 두 개가 배치되어 와이어(W)가 감겨서 지지되는 롤러로서, 회전축(10)을 중심으로 회전되면서 와이어(W)를 고속으로 주행시킬 수 있다.FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a coupling state of a balance member at a portion “A” of FIG. 2 according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 4A illustrates a state in which the balance member 3 is movable. 4 (b) shows a state in which the balancing member 3 is fixed to the guide groove 1. Referring to FIG. 4, at least two guide rollers GR according to the second embodiment of the present invention are disposed to be supported by winding the wires W, and the wires W are rotated about the rotating shaft 10. ) Can be run at high speed.

안내롤러(GR)가 고속으로 회전될 때, 회전되는 안내롤러(GR)의 무게 균형을 유지해야 하므로, 안내롤러(GR)는 안내홈(1)과 균형부재(3)와 고정부재(4)를 포함한다.When the guide roller GR is rotated at a high speed, the weight of the rotating guide roller GR must be maintained, so that the guide roller GR is provided with the guide groove 1, the balancing member 3, and the fixing member 4. It includes.

안내홈(1)은 안내롤러(GR)의 양측면 중 적어도 일측면에 원주 방향을 따라 함몰 형성되는 홈으로써, 안내롤러(GR)의 일측면에서 원형으로 형성될 수 있다. 안내홈(1)은 안내롤러(GR)의 적어도 일측면에 삼각형 또는 사각형과 같은 다각형으로 형성될 수도 있다.The guide groove 1 is a groove formed in at least one side of both sides of the guide roller GR along the circumferential direction, and may be formed in a circular shape on one side of the guide roller GR. The guide groove 1 may be formed in a polygon such as a triangle or a quadrangle on at least one side of the guide roller GR.

균형부재(3)는 안내홈(1)에 삽입되어 안내홈(1)을 따라 슬라이드 이동되는 중량체로써, 안내홈(1)에 적어도 하나가 삽입될 수 있으면 충분하다. 여기서 균형부재(3)의 무게는 안내롤러(GR)가 회전될 때 측정되는 편차값에 따라 변경될 수 있으며, 그 무게를 한정하지 않는다.The balance member 3 is a weight that is inserted into the guide groove 1 and slides along the guide groove 1, and at least one of the balance members 3 may be inserted into the guide groove 1. Here, the weight of the balancing member 3 may be changed according to the deviation value measured when the guide roller GR is rotated, and the weight thereof is not limited.

고정부재(4)는 안내홈(1)에 삽입된 균형부재(3)를 안내홈(1)에 고정시킨다.The fixing member 4 fixes the balance member 3 inserted into the guide groove 1 to the guide groove 1.

특히, 본 발명의 제2실시예에 따른 안내롤러(GR)에서 안내홈(1)은 깊이가 깊어질수록 폭이 증가하도록 양측면이 안내경사면(12)으로 이루어진다. 또한, 균형부재(3)의 양측면은 안내경사면(12)에 대응하여 지지경사면(31)이 형성된다. 또한, 고정부재(4)는 균형부재(3)에만 나사 결합되는 고정볼트(6)로 구성된다.Particularly, in the guide roller GR according to the second embodiment of the present invention, the guide groove 1 has both side surfaces formed of guide slopes 12 so as to increase in width as the depth increases. In addition, both side surfaces of the balancing member 3 are formed with support slopes 31 corresponding to the guide slopes 12. In addition, the fixing member 4 is composed of a fixing bolt 6 which is screwed only to the balance member (3).

그러면, 안내롤러(GR)의 무게 균형을 맞추기 위해 측정되는 편차값에 따라 적어도 하나의 균형부재(3)를 도 4의 (a) 상태에서 이동시키고, 고정볼트(6)가 균형부재(3)에 나사 결합되면, 도 4의 (b)와 같이 고정볼트(6)의 끝단부가 안내홈(1)의 바닥면에 지지되고, 안내경사면(12)과 지지경사면(31)이 맞닿아 밀착되면서 균형부재(3)를 안내홈(1)에 고정시킬 수 있다. 그리고 균형부재(3)에서 고정볼트(6)의 나사 결합이 해제되면 도 4의 (a)와 같이 안내경사면(12)과 지지경사면(31)이 이격되어 안내홈(1)을 따라 균형부재(3)를 이동시킬 수 있다.Then, at least one balance member 3 is moved in the state (a) of FIG. 4 according to the deviation value measured in order to balance the weight of the guide roller GR, and the fixing bolt 6 moves to the balance member 3. When screwed in, the end of the fixing bolt 6 is supported on the bottom surface of the guide groove 1, as shown in Figure 4 (b), the guide inclined surface 12 and the support inclined surface 31 is in close contact with the balance The member 3 can be fixed to the guide groove 1. When the screw coupling of the fixing bolt 6 is released from the balancing member 3, the guide inclined surface 12 and the support inclined surface 31 are spaced apart from each other as shown in FIG. 3) can be moved.

고정볼트(6)는 균형부재(3)에 나사 결합되어 균형부재(3)가 안내홈(1)에 고정되고, 균형부재(3)와의 나사 결합이 해제되면 균형부재(3)가 안내홈(1)에서 이동될 수 있으면 충분하다. 본 발명의 제2실시예에 따르면, 균형부재(3)를 안내홈(1)에 안정되게 고정시킬 수 있다.
The fixing bolt 6 is screwed to the balancing member 3 so that the balancing member 3 is fixed to the guide groove 1, and when the screwing with the balancing member 3 is released, the balancing member 3 is guided ( It is enough that it can be moved in 1). According to the second embodiment of the present invention, the balancing member 3 can be stably fixed to the guide groove 1.

다음으로 본 발명의 제3실시예에 따른 안내롤러에 대하여 설명한다.Next, the guide roller according to the third embodiment of the present invention will be described.

첨부 도면 도 5는 본 발명의 제3실시예에 따라 도 2의 "A" 부분에서 균형부재의 결합상태를 나타내는 단면도로써, 도 5의 (a)는 균형부재(3)가 안내홈(1)에서 분리된 상태를 나타내고, 도 5의 (b)는 균형부재(3)가 안내홈(1)에 결합된 상태를 나타낸다.Figure 5 is a cross-sectional view showing a coupling state of the balance member in the portion "A" of Figure 2 according to a third embodiment of the present invention, Figure 5 (a) is a balance member 3 is a guide groove (1) 5 shows a state in which the balance member 3 is coupled to the guide groove 1.

도 5를 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 안내롤러(GR)는 적어도 두 개가 배치되어 와이어(W)가 감겨서 지지되는 롤러로서, 회전축(10)을 중심으로 회전되면서 와이어(W)를 고속으로 주행시킬 수 있다.Referring to FIG. 5, at least two guide rollers GR according to the third embodiment of the present invention are disposed to be supported by winding the wires W, and the wires W are rotated about the rotating shaft 10. ) Can be run at high speed.

안내롤러(GR)가 고속으로 회전될 때, 회전되는 안내롤러(GR)의 무게 균형을 유지해야 하므로, 안내롤러(GR)는 안내홈(1)과 균형부재(3)와 고정부재(4)를 포함한다.When the guide roller GR is rotated at a high speed, the weight of the rotating guide roller GR must be maintained, so that the guide roller GR is provided with the guide groove 1, the balancing member 3, and the fixing member 4. It includes.

안내홈(1)은 안내롤러(GR)의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 함몰 형성되는 홈으로써, 안내롤러(GR)의 일측면에서 원형으로 형성될 수 있다. 안내홈(1)은 안내롤러(GR)의 적어도 일측면에 삼각형 또는 사각형과 같은 다각형으로 형성될 수도 있다.The guide groove 1 is a recess formed along the circumferential direction on at least one side of both sides of the guide roller GR, and may be formed in a circular shape on one side of the guide roller GR. The guide groove 1 may be formed in a polygon such as a triangle or a quadrangle on at least one side of the guide roller GR.

균형부재(3)는 안내홈(1)에 삽입되어 안내홈(1)을 따라 슬라이드 이동되는 중량체로써, 안내홈(1)에 적어도 하나가 삽입될 수 있으면 충분하다. 여기서 균형부재(3)의 무게는 안내롤러(GR)가 회전될 때 측정되는 편차값에 따라 변경될 수 있으며, 그 무게를 한정하지 않는다.The balance member 3 is a weight that is inserted into the guide groove 1 and slides along the guide groove 1, and at least one of the balance members 3 may be inserted into the guide groove 1. Here, the weight of the balancing member 3 may be changed according to the deviation value measured when the guide roller GR is rotated, and the weight thereof is not limited.

고정부재(4)는 안내홈(1)에 삽입된 균형부재(3)를 안내홈(1)에 고정시킨다.The fixing member 4 fixes the balance member 3 inserted into the guide groove 1 to the guide groove 1.

특히, 본 발명의 제3실시예에 따른 안내롤러(GR)에서 안내홈(1)은 입구측 가장자리를 따라 걸림턱(51)이 형성된다. 걸림턱(51)은 걸림부재(5)가 안내홈(1)의 가장자리에 결합됨으로서 형성될 수 있다. 본 발명의 제3실시예에 따른 걸림턱(51)은 본 발명의 제1실시예에 따른 안내홈(1)의 입구측 가장자리를 따라 형성될 수 있다. 또한, 고정부재(4)는 안내홈(1)의 양측면과 마주보는 면에서 돌출되도록 설치되는 지지돌부(8)와, 균형부재(3)와 지지돌부(8) 사이에 설치되어 지지돌부(8)를 탄성 지지하는 탄성부재(9)를 포함하여 구성된다. 또한, 안내홈(1)은 측면에 지지돌부(8)가 삽입되는 지지홈(11)이 더 형성될 수 있다.In particular, the guide groove 1 in the guide roller GR according to the third embodiment of the present invention is formed with a locking step 51 along the inlet side edge. The locking jaw 51 may be formed by engaging the locking member 5 with the edge of the guide groove 1. The locking jaw 51 according to the third embodiment of the present invention may be formed along the inlet side edge of the guide groove 1 according to the first embodiment of the present invention. In addition, the fixing member 4 is provided between the support protrusions 8 and protruding from the surface facing the both sides of the guide groove 1, and is provided between the balance member 3 and the support protrusions 8 and the support protrusions 8 It is configured to include an elastic member 9 for elastically supporting. In addition, the guide groove 1 may be further formed with a support groove 11 is inserted into the support protrusion 8 on the side.

그러면, 안내롤러(GR)의 무게 균형을 맞추기 위해 측정되는 편차값에 따라 도 5의 (a)와 같이 안내홈(1)에서 균형부재(3)가 분리된 상태에서 적어도 하나의 균형부재(3)를 안내홈(1)에 삽입하면, 도 5의 (b)와 같이 균형부재(3)가 걸림턱(51)에 지지되어 안내홈(1)에서 슬라이드 이동될 수 있다. 또한, 균형부재(3)를 안내홈(1)에 삽입하면, 도 5의 (b)와 같이 지지돌부(8)가 지지홈(11)에 삽입되어 균형부재(3)는 안내홈(1)에서 슬라이드 이동될 수 있다. 균형부재(3)가 이동되고 나면, 탄성부재(9)가 지지돌부(8)를 탄성 지지함에 따라 지지돌부(8)가 지지홈(11)에 밀착 고정될 수 있다.Then, at least one balance member 3 in a state in which the balance member 3 is separated from the guide groove 1 as shown in FIG. 5A according to the deviation value measured to balance the weight of the guide roller GR. ) Is inserted into the guide groove 1, as shown in (b) of FIG. 5, the balance member 3 is supported by the locking jaw 51 and can be slidably moved from the guide groove 1. In addition, when the balance member 3 is inserted into the guide groove 1, the support protrusion 8 is inserted into the support groove 11 as shown in FIG. In the slide can be moved. After the balance member 3 is moved, as the elastic member 9 elastically supports the support protrusion 8, the support protrusion 8 may be tightly fixed to the support groove 11.

본 발명의 제3실시예에 따르면 균형부재(3)의 탈부착을 용이하게 하고, 균형부재(3)의 이동과 고정이 동시에 이루어지도록 할 수 있다.
According to the third embodiment of the present invention, the balance member 3 can be easily attached and detached, and the balance member 3 can be moved and fixed at the same time.

다음으로 본 발명의 제4실시예에 따른 안내롤러에 대하여 설명한다.Next, the guide roller according to the fourth embodiment of the present invention will be described.

첨부 도면 도 6은 본 발명의 제4실시예에 따라 도 2의 "A" 부분에서 균형부재의 결합상태를 나타내는 단면도로써, 도 6의 (a)는 균형부재(3)가 안내레일(2)에서 분리된 상태를 나타내고, 도 6의 (b)는 균형부재(3)가 안내레일(2)에 결합된 상태를 나타낸다. 도 6을 참조하면, 본 발명의 제4실시예에 따른 안내롤러(GR)는 적어도 두 개가 배치되어 와이어(W)가 감겨서 지지되는 롤러로서, 회전축(10)을 중심으로 회전되면서 와이어(W)를 고속으로 주행시킬 수 있다.FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a coupling state of a balancing member at a portion “A” of FIG. 2 according to a fourth embodiment of the present invention. FIG. 6 (a) shows that the balancing member 3 has a guide rail 2. 6 shows a state in which the balance member 3 is coupled to the guide rail 2. Referring to FIG. 6, at least two guide rollers GR according to the fourth embodiment of the present invention are disposed to be supported by winding the wires W, and the wires W are rotated about the rotating shaft 10. ) Can be run at high speed.

안내롤러(GR)가 고속으로 회전될 때, 회전되는 안내롤러(GR)의 무게 균형을 유지해야 하므로, 안내롤러(GR)는 안내레일(2)과 균형부재(3)와 고정부재(4)를 포함한다.When the guide roller GR is rotated at high speed, the weight of the guide roller GR to be rotated must be maintained, so the guide roller GR is provided with the guide rail 2, the balancing member 3 and the fixing member 4. It includes.

안내레일(2)은 안내롤러(GR)의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 돌출 형성되는 레일로써, 안내롤러(GR)의 일측면에서 원형으로 형성될 수 있다. 안내레일(2)은 안내롤러(GR)의 적어도 일측면에서 삼각형 또는 사각형과 같은 다각형으로 형성될 수도 있다.The guide rail 2 is a rail which protrudes along the circumferential direction from at least one side of both sides of the guide roller GR, and may be formed in a circular shape on one side of the guide roller GR. The guide rail 2 may be formed in a polygon such as a triangle or a quadrangle on at least one side of the guide roller GR.

균형부재(3)는 안내레일(2)이 삽입되는 삽입홈(32)이 형성된 중량체로써, 적어도 하나가 안내레일(2)을 따라 슬라이드 이동될 수 있으면 충분하다. 여기서 균형부재(3)의 무게는 안내롤러(GR)가 회전될 때 측정되는 편차값에 따라 변경될 수 있으며, 그 무게를 한정하지 않는다.The balance member 3 is a weight body in which the insertion groove 32 into which the guide rail 2 is inserted is formed, and at least one of the balance members 3 can be slidably moved along the guide rail 2. Here, the weight of the balancing member 3 may be changed according to the deviation value measured when the guide roller GR is rotated, and the weight thereof is not limited.

고정부재(4)는 안내홈(1)에 삽입된 균형부재(3)를 안내홈(1)에 고정시킨다.The fixing member 4 fixes the balance member 3 inserted into the guide groove 1 to the guide groove 1.

특히, 본 발명의 제4실시예에 따른 안내롤러(GR)에서 고정부재(4)는 균형부재(3)의 측면에만 나사 결합되는 고정볼트(6)로 구성된다.In particular, the fixing member (4) in the guide roller (GR) according to the fourth embodiment of the present invention is composed of a fixing bolt (6) which is screwed only to the side of the balance member (3).

그러면, 안내롤러(GR)의 무게 균형을 맞추기 위해 측정되는 편차값에 따라 Then, according to the deviation value measured to balance the weight of the guide roller GR.

도 6의 (a)와 같이 안내레일(2)에서 균형부재(3)가 분리된 상태에서 안내레일(2)이 균형부재(3)의 삽입홈(32)에 삽입되도록 하면 균형부재(3)는 안내레일(2)을 따라 슬라이드 이동될 수 있다. 안내레일(2)을 따라 균형부재(3)를 이동시킨 다음, 도 6의 (b)와 같이 고정볼트(6)가 균형부재(3)에 나사 결합되면, 고정볼트(6)가 안내레일(2)의 일측면을 지지하고, 안내레일(2)의 외면과 삽입홈(32)의 내면이 밀착되면서 균형부재(3)를 안내레일(2)에 고정시킬 수 있다. 그리고 균형부재(3)에서 고정볼트(6)의 나사 결합이 해제되면, 균형부재(3)가 안내레일(2)을 따라 이동될 수 있다. 또한, 도 6의 (a)와 같이 안내레일(2)에서 균형부재(3)를 분리할 수 있다.When the guide rail 2 is inserted into the insertion groove 32 of the balance member 3 in the state where the balance member 3 is separated from the guide rail 2 as shown in FIG. The slide can be moved along the guide rail (2). After the balance member 3 is moved along the guide rail 2, the fixing bolt 6 is screwed to the balance member 3 as shown in FIG. 6B, and the fixing bolt 6 is guide rail ( Supporting one side of 2), while the outer surface of the guide rail 2 and the inner surface of the insertion groove 32 can be in close contact with the balance member (3) can be fixed to the guide rail (2). When the screw coupling of the fixing bolt 6 is released from the balance member 3, the balance member 3 may be moved along the guide rail 2. In addition, the balance member 3 can be separated from the guide rail 2 as shown in FIG.

고정볼트(6)는 균형부재(3)와 나사 결합되면 균형부재(3)가 안내레일(2)에 고정되고, 균형부재(3)와의 나사 결합이 해제되면 균형부재(3)가 안내레일(2)에서 이동되거나 분리될 수 있으면 충분하다. 본 발명의 제4실시예에 따르면 균형부재(3)의 탈부착을 용이하게 할 수 있다.
When the fixing bolt 6 is screwed with the balance member 3, the balance member 3 is fixed to the guide rail 2, and when the screw coupling with the balance member 3 is released, the balance member 3 is guide rail ( It is sufficient if it can be moved or separated in 2). According to the fourth embodiment of the present invention, the attachment and detachment of the balance member 3 can be facilitated.

다음으로 본 발명의 제5실시예에 따른 안내롤러에 대하여 설명한다.Next, the guide roller according to the fifth embodiment of the present invention will be described.

첨부 도면 도 7은 본 발명의 제5실시예에 따라 도 2의 "A" 부분에서 균형부재의 결합상태를 나타내는 단면도로써, 도 7의 (a)는 균형부재(3)가 안내레일(2)에서 분리된 상태를 나타내고, 도 7의 (b)는 균형부재(3)가 안내레일(2)에 결합된 상태를 나타낸다. 도 7을 참조하면, 본 발명의 제5실시예에 따른 안내롤러(GR)는 적어도 두 개가 배치되어 와이어(W)가 감겨서 지지되는 롤러로서, 회전축(10)을 중심으로 회전되면서 와이어(W)를 고속으로 주행시킬 수 있다.Figure 7 is a cross-sectional view showing a coupling state of the balance member in the portion "A" of Figure 2 according to a fifth embodiment of the present invention, Figure 7 (a) is a balance member 3 is a guide rail (2) In Fig. 7 (b) shows a state in which the balance member 3 is coupled to the guide rail (2). Referring to FIG. 7, at least two guide rollers GR according to a fifth embodiment of the present invention are disposed to be supported by winding the wires W, and the wires W are rotated about the rotating shaft 10. ) Can be run at high speed.

안내롤러(GR)가 고속으로 회전될 때, 회전되는 안내롤러(GR)의 무게 균형을 유지해야 하므로, 안내롤러(GR)는 안내레일(2)과 균형부재(3)와 고정부재(4)를 포함한다.When the guide roller GR is rotated at high speed, the weight of the guide roller GR to be rotated must be maintained, so the guide roller GR is provided with the guide rail 2, the balancing member 3 and the fixing member 4. It includes.

안내레일(2)은 안내롤러(GR)의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 돌출 형성되는 레일로써, 안내롤러(GR)의 원형으로 형성될 수 있다. 안내레일(2)0은 안내롤러(GR)의 적어도 일측면에 삼각형 또는 사각형과 같은 다각형으로 형성될 수도 있다.The guide rail 2 is a rail which protrudes along the circumferential direction from at least one side of both side surfaces of the guide roller GR, and may be formed in a circular shape of the guide roller GR. The guide rail 2 may be formed in a polygon such as a triangle or a quadrangle on at least one side of the guide roller GR.

균형부재(3)는 안내레일(2)이 삽입되는 삽입홈(32)이 형성된 중량체로써, 적어도 하나가 안내레일(2)을 따라 슬라이드 이동될 수 있으면 충분하다. 여기서 균형부재(3)의 무게는 안내롤러(GR)가 회전될 때 측정되는 편차값에 따라 변경될 수 있으며, 그 무게를 한정하지 않는다.The balance member 3 is a weight body in which the insertion groove 32 into which the guide rail 2 is inserted is formed, and at least one of the balance members 3 can be slidably moved along the guide rail 2. Here, the weight of the balancing member 3 may be changed according to the deviation value measured when the guide roller GR is rotated, and the weight thereof is not limited.

고정부재(4)는 안내홈(1)에 삽입된 균형부재(3)를 안내홈(1)에 고정시킨다.The fixing member 4 fixes the balance member 3 inserted into the guide groove 1 to the guide groove 1.

특히, 본 발명의 제5실시예에 따른 안내롤러(GR)에서 고정부재(4)는 상기 안내레일(2)의 양측면과 마주보는 면에서 돌출되도록 설치되는 지지돌부(8)와, 균형부재(3)와 지지돌부(8) 사이에 설치되어 지지돌부(8)를 탄성 지지하는 탄성부재(9)를 포함하여 구성된다. 또한, 안내레일(2)은 측면에 지지돌부(8)가 삽입되는 지지홈(11)이 더 형성될 수 있다.In particular, in the guide roller (GR) according to the fifth embodiment of the present invention, the fixing member (4) and the support member (8) which is installed to protrude from the surface facing both sides of the guide rail (2), and the balance member ( It is configured to include an elastic member 9 is installed between the 3) and the support protrusion 8 to elastically support the support protrusion (8). In addition, the guide rail 2 may be further formed with a support groove 11 is inserted into the support protrusion 8 on the side.

그러면, 안내롤러(GR)의 무게 균형을 맞추기 위해 측정되는 편차값에 따라 도 7의 (a)와 같이 안내레일(2)에서 균형부재(3)가 분리된 상태에서 적어도 하나의 균형부재(3) 삽입홈(32)에 안내레일이 삽입되도록 하면, 도 7의 (b)와 같이 지지돌부(8)가 지지홈(11)에 삽입되어 균형부재(3)가 안내레일(2)을 따라 슬라이드 이동될 수 있다. 균형부재(3)가 이동되고 나면 탄성부재(9)가 지지돌부(8)를 탄성 지지함에 따라 지지돌부(8)가 지지홈(11)에 밀착 고정될 수 있다.Then, at least one balance member 3 in a state in which the balance member 3 is separated from the guide rail 2 as shown in FIG. 7A according to the deviation value measured to balance the weight of the guide roller GR. When the guide rail is inserted into the insertion groove 32, the support protrusion 8 is inserted into the support groove 11 as shown in (b) of FIG. 7 so that the balance member 3 slides along the guide rail 2. Can be moved. After the balance member 3 is moved, the support protrusion 8 may be tightly fixed to the support groove 11 as the elastic member 9 elastically supports the support protrusion 8.

본 발명의 제5실시예에 따르면 균형부재(3)의 탈부착을 용이하게 하고, 균형부재(3)의 이동과 고정이 동시에 이루어지도록 할 수 있다.
According to the fifth embodiment of the present invention, the balance member 3 can be easily attached or detached, and the balance member 3 can be moved and fixed at the same time.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims described herein to various extents that can be modified.

F: 고정유닛 GR: 안내롤러 WR: 권취롤러
M: 모터 P: 전원부 C: 컨트롤러
W: 와이어 I: 잉곳 B: 커플링
10: 회전축 1: 안내홈 11: 지지홈
12: 안내경사면 2: 안내레일 5: 걸림부재
51: 걸림턱 3: 균형부재 31: 지지경사면
32: 삽입홈 3a: 지지부 33: 간격홈
4: 고정부재 6: 고정볼트 8: 지지돌부
9: 탄성부재F: Fixed unit GR: Guide roller WR: Winding roller
M: Motor P: Power Supply C: Controller
W: Wire I: Ingot B: Coupling
10: rotating shaft 1: guide groove 11: support groove
12: guide slope 2: guide rail 5: locking member
51: engaging jaw 3: balancing member 31: support slope
32: insertion groove 3a: support portion 33: gap groove
4: fixing member 6: fixing bolt 8: supporting protrusion
9: elastic member

Claims (11)

잉곳을 절단하기 위해 외주면에 와이어가 권취되어 회전축을 중심으로 회전되는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 있어서,
상기 안내롤러의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 함몰 형성되는 안내홈;
상기 안내홈에 삽입되어 상기 안내홈을 따라 슬라이드 이동되되, 상호 이격되는 지지부를 형성하도록 간격홈이 함몰 형성된 적어도 하나의 균형부재;
상기 간격홈을 통과하여 상호 이격된 지지부 중 어느 하나에만 나사 결합되는 고정볼트; 를 포함하고,
상기 고정볼트와 상기 균형부재의 나사 결합 상태에 따라 상기 균형부재에서 상호 이격된 지지부 사이의 간격이 줄어들거나 늘어나면서 상기 균형부재를 상기 안내홈에 고정시키는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러.In the guide roller for a wire-saw system in which a wire is wound around an outer circumferential surface to rotate an ingot,
Guide grooves are formed along the circumferential direction on at least one side of both sides of the guide roller;
At least one balance member inserted into the guide groove and slid along the guide groove, the gap groove being recessed to form support portions spaced apart from each other;
A fixing bolt screwed to only one of the support parts spaced apart from each other through the gap groove; Including,
Guide roller for the wire-saw system, characterized in that the fixing member is fixed to the guide groove while reducing or increasing the distance between the support parts spaced apart from each other in the balance member according to the screw coupling state of the fixing bolt and the balance member. . 잉곳을 절단하기 위해 외주면에 와이어가 권취되어 회전축을 중심으로 회전되는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 있어서,
상기 안내롤러의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 함몰 형성되고, 깊이가 깊어질수록 폭이 증가하도록 양측면이 안내경사면으로 이루어지는 안내홈;
상기 안내홈에 삽입되어 상기 안내홈을 따라 슬라이드 이동되고, 양측면은 상기 안내경사면에 대응하여 지지경사면이 형성되는 적어도 하나의 균형부재;
상기 균형부재에만 나사 결합되는 고정볼트; 를 포함하고,
상기 고정볼트와 상기 균형부재의 나사 결합 상태에 따라 상기 고정볼트의 끝단부가 상기 안내홈의 바닥면에 지지되고, 상기 안내경사면과 상기 지지경사면이 맞닿아 밀착되면서 상기 균형부재를 상기 안내홈에 고정시키는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러.In the guide roller for a wire-saw system in which a wire is wound around an outer circumferential surface to rotate an ingot,
A guide groove formed in at least one of both side surfaces of the guide roller along the circumferential direction, the guide groove being formed on both side surfaces of the guide inclined surface so as to increase in width as the depth increases;
At least one balance member inserted into the guide groove and slidably moved along the guide groove, both sides of which support slopes are formed corresponding to the guide slopes;
A fixing bolt screwed to the balance member only; Including,
The end of the fixing bolt is supported on the bottom surface of the guide groove according to the screwing state of the fixing bolt and the balance member, and the guide inclined surface and the support inclined surface are brought into close contact with each other to fix the balance member to the guide groove. Guide roller for wire-saw system, characterized in that. 잉곳을 절단하기 위해 외주면에 와이어가 권취되어 회전축을 중심으로 회전되는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 있어서,
상기 안내롤러의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 함몰 형성되는 안내홈;
상기 안내홈에 삽입되고, 상기 안내홈을 따라 슬라이드 이동되는 적어도 하나의 균형부재;
상기 안내홈의 양측면과 마주보는 면에서 돌출되도록 설치되는 지지돌부와, 상기 균형부재와 상기 지지돌부 사이에서 상기 지지돌부를 탄성 지지하는 탄성부재를 포함하여 구성된 고정부재; 를 포함하고,
상기 균형부재를 상기 안내홈에 삽입하면, 상기 탄성부재의 탄성 지지력에 의해 상기 지지돌부가 상기 안내홈에 밀착되는 것에 의해 상기 안내홈에서 상기 균형부재의 이동과 고정이 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러.In the guide roller for a wire-saw system in which a wire is wound around an outer circumferential surface to rotate an ingot,
Guide grooves are formed along the circumferential direction on at least one side of both sides of the guide roller;
At least one balance member inserted into the guide groove and slidably moved along the guide groove;
A fixing member including a support protrusion installed to protrude from both sides of the guide groove and an elastic member elastically supporting the support protrusion between the balance member and the support protrusion; Including,
When the balancing member is inserted into the guide groove, the support protrusion is in close contact with the guide groove by the elastic support force of the elastic member, characterized in that the movement and fixing of the balance member at the guide groove at the same time Guide rollers for saw systems. 잉곳을 절단하기 위해 외주면에 와이어가 권취되어 회전축을 중심으로 회전되는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 있어서,
상기 안내롤러의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 돌출 형성되는 안내레일;
상기 안내레일이 삽입되는 삽입홈이 형성되고, 상기 안내레일을 따라 슬라이드 이동되는 적어도 하나의 균형부재;
상기 균형부재의 측면에만 나사 결합되는 고정볼트; 를 포함하고,
상기 고정볼트와 상기 균형부재의 나사 결합 상태에 따라 상기 고정볼트의 끝단부가 상기 안내레일의 측면에 지지되고, 상기 안내레일의 외면과 상기 삽입홈의 내면이 밀착되면서 상기 균형부재를 상기 안내레일에 고정시키는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러.In the guide roller for a wire-saw system in which a wire is wound around an outer circumferential surface to rotate an ingot,
Guide rails protruding in a circumferential direction on at least one side of both side surfaces of the guide roller;
At least one balance member formed with an insertion groove into which the guide rail is inserted, and which slides along the guide rail;
Fixing bolt screwed only to the side of the balance member; Including,
The end of the fixing bolt is supported on the side of the guide rail according to the screwing state of the fixing bolt and the balance member, and the outer surface of the guide rail and the inner surface of the insertion groove are in close contact with the balance member to the guide rail. Guide roller for wire-saw system, characterized in that for fixing. 잉곳을 절단하기 위해 외주면에 와이어가 권취되어 회전축을 중심으로 회전되는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러에 있어서,
상기 안내롤러의 양측면 중 적어도 일측면에서 원주 방향을 따라 돌출 형성되는 안내레일;
상기 안내레일이 삽입되는 삽입홈이 형성되고, 상기 안내레일을 따라 슬라이드 이동되는 적어도 하나의 균형부재;
상기 안내레일의 양측면과 마주보는 면에서 돌출되도록 설치되는 지지돌부와, 상기 균형부재와 상기 지지돌부 사이에서 상기 지지돌부를 탄성 지지하는 탄성부재를 포함하여 구성된 고정부재; 를 포함하고,
상기 균형부재의 삽입홈에 상기 안내레일이 삽입되면, 상기 탄성부재의 탄성 지지력에 의해 상기 지지돌부가 상기 안내레일에 밀착되는 것에 의해 상기 안내레일을 따라 상기 균형부재의 이동과 고정이 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러.In the guide roller for a wire-saw system in which a wire is wound around an outer circumferential surface to rotate an ingot,
Guide rails protruding in a circumferential direction on at least one side of both side surfaces of the guide roller;
At least one balance member formed with an insertion groove into which the guide rail is inserted, and which slides along the guide rail;
A fixing member including a support protrusion installed to protrude from both sides of the guide rail and an elastic member elastically supporting the support protrusion between the balance member and the support protrusion; Including,
When the guide rail is inserted into the insertion groove of the balance member, the support protrusion is brought into close contact with the guide rail by the elastic support force of the elastic member to simultaneously move and fix the balance member along the guide rail. Guide rollers for wire-saw systems. 제1항에 있어서,
상기 안내홈의 가장자리에 걸림부재가 결합되는 것에 의해 상기 안내홈의 입구측 가장자리를 따라 걸림턱이 형성되는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러.The method of claim 1,
Guide roller for the wire-saw system, characterized in that the engaging jaw is formed along the inlet side edge of the guide groove by the engaging member is coupled to the edge of the guide groove. 제3항에 있어서,
상기 안내홈의 가장자리에 걸림부재가 결합되는 것에 의해 상기 안내홈의 입구측 가장자리를 따라 형성되는 걸림턱과, 상기 지지돌부가 삽입되도록 상기 안내홈의 측면에 형성되는 지지홈 중 적어도 하나가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러.The method of claim 3,
At least one of a locking jaw formed along the inlet side edge of the guide groove by the engaging member is coupled to the edge of the guide groove, and a support groove formed on the side of the guide groove so that the support protrusion is inserted. Guide roller for a wire-saw system, characterized in that the. 제5항에 있어서,
상기 안내레일의 측면에는 상기 지지돌부가 삽입되는 지지홈이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 와이어-쏘 시스템용 안내롤러.The method of claim 5,
Guide roller for the wire-saw system, characterized in that the side of the guide rail is further formed with a support groove into which the support protrusion is inserted. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109834848B (en) * 2019-03-22 2024-02-06 台州职业技术学院 Wire saw cutting machine and wire saw rotation control method

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06226621A (en) * 1993-02-03 1994-08-16 Hitachi Seiko Ltd Balancing device for grinding wheel
JPH0811128A (en) * 1994-07-04 1996-01-16 Tokyo Seimitsu Co Ltd Preventive structure of rotary vibration of wire reel
JPH1158208A (en) * 1997-08-25 1999-03-02 Mitsubishi Materials Shilicon Corp Bobbin for wire saw
JPH11179645A (en) * 1997-12-15 1999-07-06 Mitsubishi Materials Silicon Corp Groove roller for wire saw

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007012153A1 (en) * 2007-03-12 2008-09-18 Eco Schulte Gmbh & Co. Kg Guide rail for door closing or door drive system, is formed by c-profile or slotted hollow profile where hollow profile is mounted at edge, wall or door with its longitudinal opening or longitudinal slot opposite to longitudinal side
CN201264321Y (en) * 2008-10-14 2009-07-01 浙江华友电子有限公司 Guide pulley for multi-wire saw

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06226621A (en) * 1993-02-03 1994-08-16 Hitachi Seiko Ltd Balancing device for grinding wheel
JPH0811128A (en) * 1994-07-04 1996-01-16 Tokyo Seimitsu Co Ltd Preventive structure of rotary vibration of wire reel
JPH1158208A (en) * 1997-08-25 1999-03-02 Mitsubishi Materials Shilicon Corp Bobbin for wire saw
JPH11179645A (en) * 1997-12-15 1999-07-06 Mitsubishi Materials Silicon Corp Groove roller for wire saw

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