KR101041604B1 - A void chamber for electrol beam welding - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전자빔 용접용 진공 챔버에 관한 것으로, 대형 피용접물이 수용된 상태에서 진공상태를 유지하면서 용접을 수행하도록 일측에 개방부가 형성된 챔버 본체(1)와, 상기 챔버 본체(1)의 개방부 테두리에 밀착되어 챔버 내부가 진공이 유지될 수 있도록 폐쇄되는 개폐도어(2)를 포함하여 이루어지는 전자빔 용접용 진공 챔버에 있어서; 상기 개폐도어(2)가 챔버 본체(1)의 측방향으로 슬라이딩되면서 개폐되도록 챔버 본체(1)의 상부에 측방향으로 연장설치되며 포스트(12)에 의해 지지되는 행거 빔(10)과, 상기 행거 빔(10)을 따라 주행하는 1쌍의 구동대차(20,20')와, 상기 구동대차(20,20')에 상단이 각각 연결되고 하단은 개폐도어(2)의 좌측면 및 우측면 높이의 대체로 2/3지점(무게중심 조정점)에 연결되는 링크(30,30')와, 상기 챔버 본체(1)의 개방부 테두리에 설치되어 개폐도어(2) 내면의 테두리에 밀착되는 시일부재(40)와, 상기 개폐도어(2)의 하단부 일측단에 설치되어 상기 챔버 본체(1)의 개방부 하단 테두리에 접하는 가이드롤러(50)와, 상기 챔버 본체(1)의 일측단에 형성되어 개폐도어(2)가 닫힐 때 가이드 롤러(50)가 안착되는 가이드 슈(60)를 포함하여 이루어진다.

Figure R1020090052280

전자빔 용접, 챔버, 진공, 도어, 시일, 납차폐

The present invention relates to a vacuum chamber for electron beam welding, comprising: a chamber main body (1) having an open portion formed at one side to perform welding while maintaining a vacuum state in a state where a large welded object is received, and an open edge of the chamber main body (1) In the vacuum chamber for electron beam welding comprising an opening and closing door (2) in close contact with the inside so as to maintain a vacuum; A hanger beam 10 extending laterally and supported by a post 12 so that the opening / closing door 2 slides in a lateral direction of the chamber body 1 and is supported by a post 12; A pair of drive carts 20 and 20 'traveling along the hanger beam 10 and an upper end thereof are connected to the drive carts 20 and 20', respectively, and a lower end of the pair of drive carts 20 and 20 ', respectively, of which the height of the left and right sides of the open / close door 2 is increased. Links 30 and 30 'which are generally connected to the 2/3 point (the center of gravity adjustment point) of the seal member are installed on the edge of the opening of the chamber main body 1, and the seal member is in close contact with the edge of the inner surface of the opening and closing door (2) 40 and a guide roller 50 installed at one end of the lower end of the opening / closing door 2 and in contact with the lower edge of the opening of the chamber main body 1, and formed at one end of the chamber main body 1. It comprises a guide shoe 60 is seated on the guide roller 50 when the door 2 is closed.

Figure R1020090052280

Electron beam welding, chamber, vacuum, door, seal, lead shield

Description

전자빔 용접용 진공 챔버 {A VOID CHAMBER FOR ELECTROL BEAM WELDING}Vacuum Chamber for Electron Beam Welding {A VOID CHAMBER FOR ELECTROL BEAM WELDING}

본 발명은 전자빔 용접용 진공 챔버에 관한 것으로, 상세히는 대형의 피용접물을 진공분위기 하에서 전자빔 용접을 수행하기 위하여 챔버 내부에 전자빔 용접기가 설치되고, 챔버의 일측에 피용접물의 출입을 위한 개방부가 형성되며, 이 개방부의 테두리에는 챔버 내부가 진공이 유지될 수 있도록 측방향으로 슬라이딩되는 개폐도어가 설치되고, 이 개폐도어는 수평으로 설치된 행거 빔을 따라 주행하는 구동대차에 상단이 각각 연결된 링크로 연결되어 개폐동작이 이루어질 수 있도록 되어 있되 상기 링크가 개폐도어의 대략 2/3높이에 설치되어 개폐도어 자체의 무게중심에 의해 개폐도어가 챔버 본체에 긴밀하게 밀착될 수 있도록 되어 있으며, 상기 챔버 본체의 개방부 테두리에는 개폐도어 내면의 테두리에 밀착되는 시일부재가 설치된 것이다.The present invention relates to a vacuum chamber for electron beam welding, and in detail, an electron beam welding machine is installed inside the chamber to perform electron beam welding of a large sized object under vacuum atmosphere, and an opening part is formed at one side of the chamber for access of the object to be welded. Opening doors sliding in the lateral direction are installed at the edge of the opening to maintain vacuum in the chamber, and the opening / closing doors are connected to each other by a link connected to an upper end of a driving bogie running along a horizontally mounted hanger beam. The opening and closing operation is to be made, but the link is installed at approximately 2/3 height of the opening and closing door so that the opening and closing door can be closely adhered to the chamber body by the center of gravity of the opening and closing door itself. The opening part is provided with a sealing member in close contact with the edge of the inner surface of the opening and closing door.

전자빔 용접(Electron Beam Welding : EBW)은 고유의 우수한 용접 특성을 가지고 있어서 우주 항공산업, 원자력 산업, 반도체 장비 산업 등의 특수한 분야에서 사용되고 있으며, 점차로 산업이 다양해지고 고도화함에 따라 그 중요성이 인지되 어 응용 범위가 차츰 확대되고 있다. Electron Beam Welding (EBW) is used in special fields such as aerospace, nuclear, and semiconductor equipment industries because of its unique superior welding properties, and its importance is recognized as the industry diversifies and advances. The range of applications is gradually expanding.

1869년 물리학자인 Hittorf and Crookes가 음극선 발생을 성공한 것을 계기로 많은 과학자들이 그 응용을 도모하였다. 1948년부터 물리학자 Steigerwald는 강력한 빔 발생기를 전자현미경에 적용하고 시계부품이나 초경금형의 천공, 용해, 용접 등을 시도하였다. 그 후 산업현장에 활용할 수 있는 전자빔 용접기(Electron Beam Welder)는 1958년 독일 Stuttgart의 Carl Zeiss Company에서 개발되었다. 그들은 전자현미경으로 실험을 하던 중 전자빔의 출력을 증가시키자 시험편이 용융되어 증발하는 것을 발견하였다. 이것은 빔출력을 제어함으로써 금속의 용해, 응고가 가능하다는 결론으로 도달하여 전자빔 용접이 탄생하게 되었다. 이 때 개발된 전자빔 용접의 좁고 깊게 용입되는 장점이, 미국에서 때마침 진행하고 있던 우주 개발계획에 활용 타당성이 입증되어 Zeiss의 기술과 특허권을 도입하여 장비 생산을 활성화시켰다. 이 후 전자빔 용접은 영국, 프랑스, 일본 등지로 제작 기술이 전파되어 본격적으로 개발이 진행되었다. 이 역시 초기에는 원자력, 우주 항공, 군수산업에 이용할 목적이었으나 자동차, 정밀측정장비, 의료기기, 반도체산업 등 다른 산업 분야로 빠르게 확대되어 가고 있다.In 1869, when physicists Hittorf and Crookes succeeded in generating a cathode ray, many scientists worked on it. Since 1948, physicist Steigerwald has applied powerful beam generators to electron microscopes and attempted to drill, melt, and weld watch parts and hard molds. The Electron Beam Welder, which was then available for industrial use, was developed in 1958 by the Carl Zeiss Company in Stuttgart, Germany. While experimenting with an electron microscope, they found that the specimen melted and evaporated when the output of the electron beam was increased. This led to the conclusion that metal melting and solidification were possible by controlling the beam output, and electron beam welding was born. The narrow and deep penetration of the developed electron beam welding proved feasible for use in the space development program, which was just underway in the United States, and enabled the production of equipment by introducing Zeiss technology and patent rights. Since then, electron beam welding has been developed in earnest by spreading the manufacturing technology to England, France, Japan and others. It was also initially intended for use in the nuclear, aerospace, and military industries, but is rapidly expanding into other industries, such as the automotive, precision measuring equipment, medical devices, and semiconductor industries.

이러한 전자빔 용접기에서 전자총은 전자를 발생시키고 발생된 전자를 가속화시켜 피용접물 표면에 집속시킴으로써 고밀도의 에너지를 이용하여 피용접부위를 용접하는데, 이러한 전자총에 의한 용접은 진공상태에서만 가능하기 때문에 전자빔용접기는 진공 챔버의 내부에 설치된다.In such an electron beam welding machine, the electron gun generates electrons, accelerates the generated electrons, and concentrates them on the surface of the object to be welded, thereby welding the welded parts using high-density energy. It is installed inside the vacuum chamber.

한편, 피용접물이 대형화 됨에 따라서 진공 챔버의 크기도 대형으로 제작하 여야 하는데, 이에 따라 진공챔버의 제작시 특히, 개폐도어와 챔버 본체와의 밀착상태를 유지할 수 있도록 챔버 본체 일측의 개방부에 개폐도어의 사면이 벌어지지 않고 맞닿도록 제작하여야 하는바, 소형 챔버인 경우에는 기술적으로 그다지 문제가 되지 않았으나 도어의 크기가 가로 세로 모두 수 미터 이상을 초과하게 될 경우에는 도어의 개폐메커니즘이 복잡해지는 것은 물론, 도어와 챔버 본체의 맞닿는 부위의 편평도를 맞추어주는 것이 실질적으로 불가능하게 되는 것은 물론, 도어가 세워진 상태에서 개폐동작을 위하여 움직이거나 도어 자체의 중량으로 인해 도어를 챔버 본체에 밀착되도록 밀폐시키는 것이 상당히 난해한 문제로 대두되었다.On the other hand, as the welded object becomes larger, the size of the vacuum chamber must also be made larger. Accordingly, when the vacuum chamber is manufactured, the opening and closing part of the chamber main body can be opened and closed to maintain close contact with the opening door and the chamber main body. The doors should be manufactured to be in contact with each other without opening, and in the case of a small chamber, it is not technically a problem. However, when the size of the door exceeds several meters in both width and width, the opening / closing mechanism of the door is complicated. Of course, it is practically impossible to match the flatness of the contact portion between the door and the chamber body, and of course, it is necessary to move the door for the opening and closing operation while the door is upright or to close the door to the chamber body due to the weight of the door itself. It was a difficult problem.

본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 전자빔 용접을 위한 대형 챔버에 있어서, 챔버 도어의 개폐구조를 개선하여 도어가 닫힐 경우 별도의 가압장치나 잠금장치를 사용하지 않더라도 도어가 챔버 본체에 밀착되어 기밀상태를 유지할 수 있도록 하고, 상기 도어가 밀착되는 챔버 본체의 테두리 부분의 제작 또한 경제적으로 제작할 수 있으며, 전자빔 용접시 발생하는 유해파가 챔버 본체와 도어를 통해 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있도록 하기 위한 납차폐 또한 경제적으로 실시할 수 있는 전자빔 용접용 진공 챔버를 제공하는 데 있다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to improve the opening and closing structure of the chamber door in a large chamber for electron beam welding, even if the door is closed without using a separate pressing device or locking device The door is in close contact with the chamber main body to maintain the airtight state, and the manufacturing of the edge portion of the chamber main body in which the door is in close contact can also be economically produced, and harmful waves generated during electron beam welding flow out through the chamber main body and the door. The lead shielding to prevent it from becoming is also to provide a vacuum chamber for electron beam welding that can be economically implemented.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 대형 피용접물이 수용된 상태에서 진공상태를 유지하면서 용접을 수행하도록 일측에 개방부가 형성된 챔버 본체와, 상기 챔버 본체의 개방부 테두리에 밀착되어 챔버 내부가 진공이 유지될 수 있도록 폐쇄되는 개폐도어를 포함하여 이루어지는 전자빔 용접용 진공 챔버에 있어서; 상기 개폐도어는 챔버 본체의 측방향으로 슬라이딩되면서 개폐되도록 챔버 본체의 상부에 측방향으로 연장설치되며 포스트에 의해 지지되는 행거 빔과, 상기 행거 빔을 따라 주행하는 1쌍의 구동대차와, 상기 구동대차에 상단이 각각 연결되고 하단은 개폐도어의 좌측면 및 우측면 높이의 대체로 2/3지점인 무게중심 조정점에 연결되 는 링크와, 상기 챔버 본체의 개방부 테두리에 설치되어 개폐도어 내면의 테두리에 밀착되는 시일부재와, 상기 개폐도어의 하단부 일측단에 설치되어 상기 챔버 본체의 개방부 하단 테두리에 접하는 가이드롤러와, 상기 챔버 본체의 일측단에 형성되어 개폐도어가 닫힐 때 가이드 롤러가 안착되는 가이드 슈를 포함하여 이루어지는 전자빔 용접용 진공 챔버를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a chamber main body having an opening formed at one side to perform welding while maintaining a vacuum state in a state where a large welded object is accommodated, and the inside of the chamber is kept in close contact with the edge of the opening of the chamber main body. In the vacuum chamber for electron beam welding comprising an opening and closing door closed to be maintained; The opening / closing door extends laterally on an upper portion of the chamber body to be opened and closed while sliding in a lateral direction of the chamber body, a hanger beam supported by a post, a pair of drive carts running along the hanger beam, and the driving The upper end is connected to the trolley and the lower end is a link connected to the center of gravity control point, which is generally 2/3 of the height of the left and right sides of the opening and closing door, and the edge of the inner side of the opening and closing door is installed at the opening edge of the chamber body. A seal member in close contact with the guide member, a guide roller installed at one end of the lower end of the open / close door, and in contact with the lower edge of the opening of the chamber body, and formed at one end of the chamber main body to seat the guide roller when the open / close door is closed. Provided is a vacuum chamber for electron beam welding comprising a guide shoe.

본 발명은 또, 상기 챔버 본체의 테두리에는 시일부재가 끼워지는 시일 홈이 형성되되, 챔버 본체의 테두리 코너부는 시일 홈을 경계로 내,외부에 각각 내,외부 코너 플레이트가 볼트로 결합되어 이루어짐으로써 챔버 본체의 테두리부를 경제적으로 제작할 수 있도록 한 전자빔 용접용 진공 챔버를 제공한다.According to the present invention, a seal groove into which a seal member is fitted is formed at an edge of the chamber main body, and an inner corner and an outer corner plate of the chamber main body are coupled to each other by inner and outer corner plates. Provided is a vacuum chamber for electron beam welding, which enables to manufacture the edge of the chamber body economically.

또한, 본 발명은 상기 챔버 본체 및 개폐도어가 격자형으로 이루어진 프레임의 내측에 챔버나 도어의 내면을 형성하는 철판으로 이루어진 내면판이 부착되고, 상기 프레임의 외측에는 챔버나 도어의 외면을 형성하는 외면판이 부착되되, 이 외면판은 상기 격자형 프레임의 각 격자크기에 일치되는 복수의 단위 외면판의 조립에 의해 이루어지며, 상기 외면판은 철판 내부에 납판이 적층되는 3중구조로 이루어지고, 이 외면판을 이루는 철판과 납판은 상기 격자형 프레임에 볼트로 고정되되, 외면판 외부로 노출되는 볼트의 머리부는 납캡이 씌워지며, 상기 단위 외면판 사이에는 띠형의 납판과 이 납판을 커버하는 철판으로 마감된 전자빔 용접용 진공 챔버를 제공한다.In addition, the present invention is attached to the inner surface of the chamber body and the opening and closing doors made of iron plate forming the inner surface of the chamber or the door to the inside of the frame made of a lattice shape, the outer surface of the outer surface forming the outer surface of the chamber or door The plate is attached, the outer plate is made by assembling a plurality of unit outer plate to match the size of each lattice of the lattice frame, the outer plate is made of a triple structure in which the lead plate is laminated inside the iron plate, the outer surface The iron plate and the lead plate forming the plate are bolted to the grid frame, the head of the bolt exposed to the outside of the outer plate is covered with a lead cap, between the unit outer plate is finished with a strip-shaped lead plate and the iron plate covering the lead plate Provided is a vacuum chamber for electron beam welding.

본 발명은 개폐도어가 닫힐 때, 링크에 의해 개폐도어가 챔버 본체의 개방부 테두리에 밀착되면서 기밀상태를 유지하게 되므로 진공챔버의 진공상태유지를 용이하게 할 수 있고, 챔버 본체의 테두리 코너부 또한 조립식으로 제작할 수 있으므로 일체형으로 제작할 때와 비교하여 훨씬 경제적으로 제작할 수 있으며, 챔버 본체와 도어의 납차폐구조 또한 제작이 용이하고 성능 또한 우수하여 전자빔 용접용 대형진공 챔버를 저가로 제작할 수 있는 유용한 효과를 갖는다.According to the present invention, when the opening / closing door is closed, the opening / closing door is kept in an airtight state by being in close contact with the opening edge of the chamber body by the link, so that the vacuum state of the vacuum chamber can be easily maintained, and the corner portion of the chamber body is also As it can be manufactured as a prefabricated product, it can be manufactured more economically than when manufacturing as a one-piece. The lead shield structure of the chamber body and the door is also easy to manufacture and excellent in performance, which makes it possible to produce a large vacuum chamber for electron beam welding at low cost. Has

이하, 본 발명을 한정하지 않는 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments that do not limit the present invention will be described in detail.

도 1은 본 발명에 의한 진공챔버의 개방상태를 도시한 정면도이고, 도 2는 본 발명에 의한 진공 챔범의 개방상태를 도시한 평면도이며, 도 3은 본 발명에 의한 진공 챔버의 개방상태를 도시한 측면도이고, 도 4는 도 1의 A부 확대도이며, 도 5는 도 4의 C -C 선 단면도이고, 도 6은 도 3의 B부 확대도이다.1 is a front view showing an open state of a vacuum chamber according to the present invention, FIG. 2 is a plan view showing an open state of a vacuum chamber according to the present invention, and FIG. 3 shows an open state of a vacuum chamber according to the present invention. FIG. 4 is an enlarged view of portion A of FIG. 1, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line C-C of FIG. 4, and FIG. 6 is an enlarged view of portion B of FIG. 3.

도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명은 대형 피용접물이 수용되어 진공상태를 유지하면서 전자빔 용접기에 의해 용접을 수행할 수 있도록 일측에 개방부(1a)가 형성된 챔버 본체(1)와, 상기 챔버 본체(1)의 개방부(1a)의 테두리(1b)에 밀착되어 챔버 내부가 진공이 유지될 수 있도록 폐쇄되는 개폐도어(2)를 포함하여 이루어지는 전자빔 용접용 진공 챔버에 있어서; 상기 개폐도어(2)가 챔버 본체(1) 의 측방향으로 슬라이딩되면서 개폐되도록 챔버 본체(1)의 상부에 측방향으로 연장설치되며 포스트(12)에 의해 지지되는 행거 빔(10)과, 상기 행거 빔(10)을 따라 주행하는 1쌍의 구동대차(20,20')와, 상기 구동대차(20,20')에 상단이 각각 연결되고 하단은 개폐도어(2)의 좌측면 및 우측면 높이의 대체로 2/3지점에 연결되는 링크(30,30')와, 상기 챔버 본체(1)의 개방부(1a)의 테두리(1b)에 설치되어 개폐도어(2) 내면에 밀착되는 시일부재(40)와, 상기 개폐도어(2)의 하단부 일측단에 설치되어 상기 챔버 본체(1)의 개방부(1a)의 하단 테두리에 접하는 가이드롤러(50)와, 상기 챔버 본체(1)의 일측단에 형성되어 개폐도어(2)가 닫힐 때 가이드 롤러(50)가 안착되는 가이드 슈(60)를 포함하여 이루어져 있다.As shown in Figures 1 to 6 the present invention is a chamber body (1) formed with an opening (1a) on one side so that a large welded object is accommodated and can be welded by an electron beam welder while maintaining a vacuum state, In the vacuum chamber for electron beam welding comprises an opening and closing door (2) in close contact with the edge (1b) of the opening (1a) of the chamber body (1) to close the chamber to maintain the vacuum; A hanger beam 10 extending laterally and supported by a post 12 so that the opening / closing door 2 slides in a lateral direction of the chamber body 1 and is supported by a post 12; A pair of drive carts 20 and 20 'traveling along the hanger beam 10 and an upper end thereof are connected to the drive carts 20 and 20', respectively, and a lower end of the pair of drive carts 20 and 20 ', respectively, of which the height of the left and right sides of the open / close door 2 is increased. Link members 30 and 30 'connected to generally two-thirds of the seal member and a seal member installed on the edge 1b of the opening portion 1a of the chamber body 1 to be in close contact with the inner surface of the opening / closing door 2 ( 40, a guide roller 50 provided at one end of the lower end of the opening / closing door 2 and in contact with the lower edge of the opening part 1a of the chamber main body 1, and one side end of the chamber main body 1; It is formed to include a guide shoe 60, which is mounted on the guide roller 50 when the opening and closing door 2 is closed.

본 발명에서 상기 챔버 본체(1)의 테두리(1b)에는 시일부재(40)가 끼워지는 시일 홈(1c)이 형성되되, 챔버 본체(1)의 테두리(1b) 코너부는 시일 홈(1c)을 경계로 내,외부에 각각 내,외부 코너 플레이트(P1,P2)가 챔버 본체(1)의 테두리(1b)에 볼트(D)로 결합되어 있어, 종래 이 시일홈(1c)을 갖는 테두리(1b)의 코너부를 일체형으로 제작할 때와 비교하면 제작이 용이할 뿐만 아니라 제작단가 또한 훨씬 저렴하게 제작할 수 있는 것이다.In the present invention, a seal groove 1c in which the seal member 40 is fitted is formed in the edge 1b of the chamber body 1, and the corner portion of the edge 1b of the chamber body 1 forms the seal groove 1c. The inner and outer corner plates P1 and P2 are coupled to the edge 1b of the chamber body 1 with bolts D, respectively, and thus the edge 1b having the seal groove 1c. Compared to the case of manufacturing the corner portion of the unit as an integral, not only the production is easy but also the manufacturing cost can be manufactured much cheaper.

본 발명에서 상기 링크(30,30')는 그 길이와 하단부 고정위치를 전후로 조절할 수 있도록 되어 있는데, 먼저 링크(30,30')의 길이조절은 링크(30,30')의 하단부에 설치된 턴버클 타입의 길이조절볼트(32)를 조여주거나 풀어주는 것에 의해 링 크(30,30')의 상하 길이를 어느 정도의 범위 내에서 조절할 수 있도록 되어 있고, 링크(30,30') 하단부의 고정위치 즉, 링크 하단부가 고정된 도어(2)의 측면에서 앞뒤쪽으로의 위치이동은 도어(2)의 측면에 고정된 고정블록(34) 내측에 좌우로 슬라이드 가능하게 이동블록(36)이 설치되고, 이 이동블록(36)의 측면에는 위치조절볼트(38)를 조여주거나 풀어주는 것에 의해 링크(30,30') 하단부의 고정위치를 도어 측면에서 전후로 조절할 수 있는 것이다.In the present invention, the link 30, 30 'is to be able to adjust the length and the lower end fixed position back and forth, first, the length adjustment of the link 30, 30' is a turnbuckle installed at the lower end of the link (30, 30 ') The upper and lower lengths of the links 30 and 30 'can be adjusted within a certain range by tightening or releasing the length adjusting bolt 32 of the type, and the fixed position of the lower end of the link 30 and 30'. That is, the position movement from the side of the door 2 fixed to the lower end of the link to the front and rear moving block 36 is installed to be slidable left and right inside the fixed block 34 fixed to the side of the door 2, The side of the moving block 36 is to adjust the fixing position of the lower end of the link (30, 30 ') by tightening or releasing the position adjustment bolt 38 to the front and rear from the side of the door.

상기한 링크(30,30')의 길이 및 하단부의 고정위치 조절은 도어(2)가 자중에 의해 챔버 본체(1) 일측의 개방부(1a)에 밀착되면서 닫히도록 하기 위한 중요한 요소로서, 먼저 링크(30,30') 하단부의 위치는 위에서 설명한 바와 같이 무게중심 조정이 용이한 도어(2) 높이의 대략 2/3지점에 위치하도록 할 경우, 도어(2)의 상단부에서부터 하단부까지 균일한 압박력으로 챔버 본체(1) 일측의 개방부(1a)의 테두리(1b)에 접촉할 수 있도록 해주게 되며, 링크 하단부의 위치를 앞뒤로 조절하는 것에 의해, 상기한 압박력을 보다 미세하게 조절할 수 있게 되는 것이다.The fixed position adjustment of the length and the lower end of the link (30, 30 ') is an important element for closing the door (2) close to the opening (1a) on one side of the chamber body 1 by its own weight, first, As described above, the lower end of the link 30, 30 'is positioned at approximately 2/3 of the height of the door 2, which is easy to adjust the center of gravity, as described above. It is to be able to contact the edge (1b) of the opening portion (1a) of one side of the chamber body (1), by adjusting the position of the link lower end back and forth, it is possible to finely adjust the above-mentioned pressing force.

이와 같은 링크의 길이 및 링크 하단부의 고정위치 조절은 도어의 크기와 두께 및 중량 그리고 챔버 본체의 개방부와 도어 내면의 편평도에 따라서 개별적으로 조절함으로써 이상적인 밀착이 이루어질 수 있도록 세팅할 수 있게 되는 것이다.The adjustment of the length of the link and the fixing position of the lower end of the link can be set to achieve an ideal close contact by individually adjusting according to the size, thickness and weight of the door and the flatness of the opening of the chamber body and the inner surface of the door.

또한, 본 발명에서 상기 개폐도어(2) 내면의 테두리 두께 또한 도어의 상단에서부터 하단까지 동일하게 설계하여 제작할 경우, 도어가 세워진 상태에서 챔버 본체와 밀착 되는 관계로 실제로는 도어의 휨 등에 의해 도어의 상하단부가 동일하 게 밀착되지 않으므로, 챔버 본체와 도어를 제작한 후 이를 맞대어가면서 도어의 상단부에서부터 하단부까지의 살두께를 챔버 본체와 도어 사이의 간격에 맞게 붙여주는 방법을 사용하여 제작하였다.In addition, in the present invention, when the edge thickness of the inner surface of the opening / closing door 2 is also designed and manufactured from the upper end to the lower end of the door in the same manner, the door is in close contact with the chamber body in the upright state. Since the upper and lower ends are not in close contact with each other, the chamber body and the door were fabricated using a method of attaching the flesh thickness from the upper end to the lower end of the door in accordance with the gap between the chamber body and the door.

한편, 상기 챔버 본체(1) 및 개폐도어(2)는 도 7에 도시된 바와 같이 격자형으로 이루어진 H-빔 형태의 프레임(70) 내측에 챔버나 도어의 내면을 형성하는 철판으로 이루어진 내면판(80)이 부착되고, 상기 프레임(70)의 외측에는 챔버나 도어의 외면을 형성하는 외면판(90)이 부착되되, 이 외면판(90)은 상기 격자형 프레임의 각 격자크기에 일치되는 복수의 단위 외면판의 조립에 의해 이루어지며, 상기 외면판(90)은 앞,뒤의 철판(91,92) 내부에 납판(93)이 적층되는 3중구조로 이루어지고, 이 외면판(90)을 이루는 철판(91,92)과 납판(93)은 상기 격자형 프레임(70)에 볼트(94)로 고정되되, 외면판(90) 외부로 노출되는 볼트(94)의 머리부(94a)에는 납캡(95)이 씌워지며, 상기 단위 외면판(90) 사이에는 띠형의 납판(96)과 이 납판(96)을 커버하는 철판(97)으로 마감되어 있으며, 상기 마감용 철판(97)은 용접에 의해 외면판(90)의 철판(91)에 고정된다.On the other hand, the chamber body 1 and the opening and closing door 2 is an inner surface plate made of an iron plate to form the inner surface of the chamber or door inside the frame 70 of the H-beam form made of a lattice shape as shown in FIG. 80 is attached to the outside of the frame 70 is attached to the outer plate 90 to form the outer surface of the chamber or door, the outer plate 90 is matched to each grid size of the grid frame It is made by assembling a plurality of unit outer face plate, the outer face plate 90 is made of a triple structure in which the lead plate 93 is laminated inside the front and rear iron plate (91,92), the outer face plate 90 The iron plates 91 and 92 and the lead plate 93 are fixed to the lattice-shaped frame 70 with bolts 94, and the heads 94a of the bolts 94 are exposed to the outside of the outer plate 90. Lead cap 95 is covered, and between the unit outer plate 90 is closed with a strip-shaped lead plate 96 and the iron plate 97 to cover the lead plate 96, The finishing iron plate 97 is fixed to the iron plate 91 of the outer plate 90 by welding.

도 1은 본 발명에 의한 진공챔버의 개방상태를 도시한 정면도,1 is a front view showing an open state of a vacuum chamber according to the present invention;

도 2는 본 발명에 의한 진공 챔범의 개방상태를 도시한 평면도,2 is a plan view showing an open state of the vacuum chamber according to the present invention;

도 3은 본 발명에 의한 진공 챔버의 측면도,3 is a side view of a vacuum chamber according to the present invention;

도 4는 도 1의 A부 확대도,4 is an enlarged view of a portion A of FIG. 1;

도 5는 도 4의 C - C선 단단면도,5 is a cross-sectional view taken along the line C-C of FIG.

도 6은 도 3의 B부 확대도,6 is an enlarged view of a portion B of FIG. 3;

도 7은 챔버 본체 및 도어의 내부구조를 도시한 단면도이다.7 is a cross-sectional view showing the internal structure of the chamber body and the door.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS

1 : 챔버 본체 1a : 개방부1 chamber main body 1a opening part

1b : 테두리 2 : 개폐도어1b: border 2: opening and closing door

10 : 행거 빔 20,20' : 구동대차10: hanger beam 20,20 ': driving bogie

30,30' : 링크 40 : 시일부재30,30 ': Link 40: Seal member

50 : 가이드롤러 60 : 가이드 슈50: guide roller 60: guide shoe

70 : 프레임 80 : 내면판70: frame 80: inner plate

90 : 외면판 91,92 : 철판90: outer plate 91,92: iron plate

93 : 납판 94 : 볼트93: lead plate 94: bolt

94a : 머리부 95 : 납캡94a: head 95: lead cap

96 : 납판 97 : 철판96: lead plate 97: iron plate

Claims (4)

대형 피용접물이 수용된 상태에서 진공상태를 유지하면서 용접을 수행하도록 일측에 개방부가 형성된 챔버 본체(1)와, 상기 챔버 본체(1)의 개방부 테두리에 밀착되어 챔버 내부가 진공이 유지될 수 있도록 폐쇄되는 개폐도어(2)를 포함하며, 상기 개폐도어(2)는 챔버 본체(1)의 측방향으로 슬라이딩되면서 개폐되도록 챔버 본체(1)의 상부에 측방향으로 연장설치되며 포스트(12)에 의해 지지되는 행거 빔(10)과, 상기 행거 빔(10)을 따라 주행하는 1쌍의 구동대차(20,20')와, 상기 구동대차(20,20')에 상단이 각각 연결되고 하단은 개폐도어(2)의 좌측면 및 우측면 높이의 대체로 2/3지점에 연결되는 링크(30,30')와, 상기 챔버 본체(1)의 개방부 테두리에 설치되어 개폐도어(2) 내면의 테두리에 밀착되는 시일부재(40)와, 상기 개폐도어(2)의 하단부 일측단에 설치되어 상기 챔버 본체(1)의 개방부 하단 테두리에 접하는 가이드롤러(50)와,; 상기 챔버 본체(1)의 일측단에 형성되어 개폐도어(2)가 닫힐 때 가이드 롤러(50)가 안착되는 가이드 슈(60)를 포함하여 이루어지는 전자빔 용접용 진공 챔버에 있어서;A chamber main body 1 having an opening portion formed at one side to perform welding while maintaining a vacuum state in a state where a large to-be-welded object is accommodated, and a close contact with an edge of the opening portion of the chamber main body 1 to maintain a vacuum inside the chamber. It includes an opening and closing door (2) which is closed, the opening and closing door (2) extends laterally on the upper portion of the chamber body (1) to open and close while sliding in the lateral direction of the chamber body (1) and to the post (12) An upper end is connected to the hanger beam 10 supported by the pair, a pair of drive carts 20 and 20 'that travel along the hanger beam 10, and the drive carts 20 and 20', respectively. Links 30 and 30 'connected to two-thirds of the heights of the left and right sides of the opening and closing doors 2 and the edges of the inner surface of the opening and closing doors 2 are installed at the opening edges of the chamber body 1, respectively. It is installed at one end of the lower end of the sealing member 40 and the opening and closing door 2 in close contact with the A guide roller 50 in contact with the lower edge of the opening of the chamber body 1; In the vacuum chamber for electron beam welding formed on one side end of the chamber body (1) comprising a guide shoe (60) is seated on the guide roller (50) when the opening and closing door (2) is closed; 상기 챔버 본체(1)의 테두리(1b)에는 시일부재(40)가 끼워지는 시일 홈(1c)이 형성되되, 챔버 본체(1)의 테두리(1b) 코너부는 시일 홈(1c)을 경계로 내,외부에 각각 내,외부 코너 플레이트(P1,P2)가 챔버 본체(1)의 테두리(1b)에 볼트(C)로 결합된 것을 특징으로 하는 전자빔 용접용 진공 챔버.A seal groove 1c into which the seal member 40 is fitted is formed in the edge 1b of the chamber body 1, and the corner portion of the edge 1b of the chamber body 1 extends around the seal groove 1c. , The outer and inner corner plates (P1, P2) are respectively coupled to the outer edge of the chamber body (1) with a bolt (C) vacuum chamber for electron beam welding, characterized in that. 삭제delete 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 링크(30,30')는 이 링크(30,30')의 하단부에 설치된 길이조절볼트(32)를 조여주거나 풀어주는 것에 의해 링크(30,30')의 상하 길이를 조절할 수 있도록 되어 있고, 상기 링크(30,30') 하단부의 고정위치는 도어(2)의 측면에 고정된 고정블록(34) 내측에 좌우로 슬라이드 가능하게 이동블록(36)이 설치되고, 이 이동블록(36)의 측면에는 위치조절볼트(38)를 조여주거나 풀어주는 것에 의해 조절할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 전자빔 용접용 진공 챔버.The links 30 and 30 'can adjust the vertical length of the links 30 and 30' by tightening or releasing the length adjusting bolts 32 installed at the lower ends of the links 30 and 30 '. The fixed position of the lower ends of the links 30 and 30 'is provided with a movable block 36 which is slidable from side to side inside the fixed block 34 fixed to the side of the door 2 and the movable block 36. The side of the vacuum chamber for electron beam welding, characterized in that it can be adjusted by tightening or loosening the positioning bolt (38). 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 챔버 본체(1) 및 개폐도어(2)는 격자형으로 이루어진 프레임(70) 내측에 챔버나 도어의 내면을 형성하는 철판으로 이루어진 내면판(80)이 부착되고, 상기 프레임(70)의 외측에는 챔버나 도어의 외면을 형성하는 외면판(90)이 부착되되, 상기 외면판(90)은 상기 격자형 프레임의 각 격자크기에 일치되는 복수의 단위 외면판의 조립에 의해 이루어지며, 상기 외면판(90)은 앞,뒤의 철판(91,92) 내부에 납판(93)이 적층되는 3중구조로 이루어지고, 상기 외면판(90)을 이루는 철판(91,92)과 납판(93)은 상기 격자형 프레임(70)에 볼트(94)로 고정되되 외면판(90) 외부로 노출되는 볼트(94)의 머리부(94a)는 납캡(95)이 씌워지며, 상기 단위 외면판(90) 사이에는 띠형의 납판(96)과 이 납판(96)을 커버하는 철판(97)으로 마감되고, 상기 마감용 철판(97)은 용접에 의해 외면판(90)의 철판(91)에 고정된 것을 특징으로 하는 전자빔 용접용 진공 챔버.The chamber body 1 and the opening / closing door 2 are attached to an inner surface plate 80 made of an iron plate forming an inner surface of a chamber or a door inside a frame 70 having a lattice shape, and an outer side of the frame 70. The outer plate 90 is formed to the outer surface of the chamber or the door is attached, the outer plate 90 is made by assembling a plurality of unit outer plate corresponding to the grid size of the grid frame, the outer surface The plate 90 has a triple structure in which lead plates 93 are stacked inside the front and rear iron plates 91 and 92, and the iron plates 91 and 92 and the lead plates 93 forming the outer plate 90 are The head portion 94a of the bolt 94 fixed to the grid frame 70 with the bolt 94 and exposed to the outside of the outer plate 90 is covered with a lead cap 95, and the unit outer plate 90 Between the band-shaped lead plate 96 and the iron plate 97 covering the lead plate 96 is finished, the finishing iron plate 97 is welded iron of the outer plate 90 Electron beam welding for the vacuum chamber, characterized in that the fixed (91).
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