KR101039566B1

KR101039566B1 - 다중 유체공급장치용 로터리 유니언

Info

Publication number: KR101039566B1
Application number: KR1020030090419A
Authority: KR
Inventors: 서성범
Original assignee: 주식회사 케이씨텍
Priority date: 2003-12-11
Filing date: 2003-12-11
Publication date: 2011-06-09
Also published as: KR20050058162A

Abstract

본 발명은 다중 유체공급장치용 로터리 유니언에 관한 것으로, 그 구성은, 주변장치부로 동력을 전달할 수 있도록 회전 가능하게 지지된 중심축과, 베어링을 사이에 두고 상기 중심축의 외주에 동축상으로 배치되어 지지되고 내측으로 다수의 유체통로가 형성되며 비회전되는 유체공급관체와, 상기 중심축을 삽입 수용하고 상기 유체공급관체의 일단과 밀착되어 상기 유체공급관체를 고정시켜줌과 아울러 내측으로 상기 유체공급관체의 유체통로와 연통되는 다수의 유체통로가 형성된 고정용의 매니폴드판과, 베어링을 사이에 두고 상기 유체공급관체의 외주에 동축상으로 배치되어 그 유체공급관체 상에서 회전 가능하도록 지지되고 상기 유체공급관체의 각 유체통로와 대응되는 위치마다 외부로 통하는 통공이 각각 형성되며 상기 각 통공의 내주면을 따라 작동유체를 유통시킬 수 있는 다수의 홈이 형성된 밀봉하우징과, 상기 유체공급관체와 밀봉하우징 사이의 기밀을 유지할 수 있도록 상호 유기적으로 적층되어 삽입된 밀봉유닛을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 따라서, 비회전체 및 회전체간에 작동유체를 원활히 유통시킬 수 있음은 물론이고 장기간 사용 후에도 밀봉부재의 마모가 매우 미미하여 고도의 밀봉성을 유지할 수 있다.

다중 유체공급장치, 로터리 유니언, 유체공급관체, 벨로우즈관, 매니폴드판

Description

다중 유체공급장치용 로터리 유니언{Rotary union for multiple fluid supply apparatus}

도 1은 본 발명에 따른 다중 유체공급장치용 로터리 유니언의 전체 결합구조를 도시한 개략적인 종단면도이다.

도 2는 본 발명에 적용된 유체공급관체의 유체통로 구조를 도시한 사시도이다.

도 3은 상기 유체공급관체의 평면도이다.

도 4는 상기 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도이다.

도 5는 본 발명에 적용된 밀봉하우징의 평면도이다.

도 6은 상기 도 3의 Ⅵ-Ⅵ선 단면도이다.

도 7은 상기 도 1의 A부 확대도이다.

도 8은 본 발명에 적용된 유체공급관체와 밀봉하우징 간에 개재되는 주요 밀봉유닛을 부분 절개하여 도시한 분해사시도이다.

도 9는 본 발명에 적용된 상기 유체공급관체를 고정시켜주는 매니폴드판의 구조를 도시한 평면도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

S ; 밀봉유닛 10 ; 중심축

11 ; 유체통로 12, 40 ; 브래킷

13, 14, 15, 16 ; 베어링 17 ; 중심축 구동풀리

20 ; 유체공급관체 21 ; 순수통로

22 ; 순수회수통로 23 ; 유체통로

24 ; 통공 25 ; 내측 적층지지링

26 ; 순수순환링 26a ; 통공

27 ; 매니폴드판 28 ; 순수통로

29 ; 유체통로 30 ; 밀봉하우징

31, 32 ; 통공 33 ; 연결관

34 ; 외측 적층지지링 35 ; 패킹링

36 ; 개스킷링 37 ; 벨로우즈관

38a, 38b ; 베어링 39 ; 밀봉하우징 구동풀리

본 발명은 다중 유체공급장치용 로터리 유니언에 관한 것으로, 특히 비회전체와 회전체간의 상대운동 과정에서 이들 각 부재간에 작동유체를 유통시키고자 할 때 상기 각 부재간 접촉부위에서 작동유체가 누출되지 않고 원활히 공급될 수 있도록 고도의 기밀성을 유지할 수 있게 한 최적화된 다중 유체공급장치용 로터리 유니언에 관한 것이다.

통상적으로, 로터리 유니언은 회전 또는 회전하지 않는 중심축 부재와 이 중심축 부재에 동축상으로 배치되어 상기 중심축 부재에 대해 상대적인 운동을 수행하는 중공관 부재간에 소정의 작동유체를 누출 없이 공급 또는 회수할 수 있도록 하기 위하여 이러한 구성을 구비한 다양한 형태의 다중 유체공급장비에 적용되는 일련의 장치를 의미한다.

다시 말해, 비회전체와 회전체간의 상대운동 과정에서 이들 각 부재간에 작동유체를 원활히 공급 또는 순환시키기 위한 상기 로터리 유니언은, 어떠한 수준의 기밀성을 유지하는 구조를 이루는 것이냐 하는 것에 따라 그 장치의 성능 및 가치가 결정된다 할 수 있다. 따라서, 현재까지도 장치의 기밀성을 더욱 향상시킬 수 있는 로터리 유니언의 구조에 관한 연구가 계속되고 있다.

그러나, 현재 사용되거나 제안되어 있는 로터리 유니언들은 몇 가지 문제점을 갖고 있다. 즉, 비회전체와 회전체간의 접촉부위에 대한 밀봉구조에 있어서 장치를 장시간 사용시 밀봉부재가 물리적인 마찰로 인하여 마모됨에 따라 그 기밀성이 점진적으로 불량해지는 문제점이 있고, 상기 밀봉부재간의 마찰열을 배출하기 위해서는 별도의 냉각순환장치를 구비하여야 하므로 장비의 소형·경량화를 구현하기 어려운 문제점이 있으며, 또한, 작동유체를 유통시키기 위한 통상의 구조로서 축의 길이방향으로 관통하여 유체통로를 형성하게 되는데 상기 유체통로를 형성하는 가공작업이 매우 어렵다는 문제점이 있는 것이다.

본 발명은 상기한 바와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은, 발생동력을 임의의 주변장치부에 전달하는 중심축을 구비한 구조에 있어서 그 외부에 결합된 비회전체와 회전체간의 상대운동 과정에서의 이들 각 부재간에 작동유체를 유통시키고자 할 때 상기 각 부재간 접촉부위에서 작동유체가 누출되지 않고 원활히 공급될 수 있도록 고도의 기밀성을 유지할 수 있게 한 최적화된 다중 유체공급장치용 로터리 유니언을 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 비회전체와 회전체간에 발생하는 마찰열을 냉각시킴과 아울러 밀봉부재간의 윤활기능을 발휘하여 마모를 현저히 완화할 수 있는 단순 구조의 냉각순환장치를 마련함으로써 소형 경량화된 고성능의 다중 유체공급장치용 로터리 유니언을 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 유체통로의 구조를 개량함으로써 가공성을 향상시킬 수 있게 한 다중 유체공급장치용 로터리 유니언을 제공함에 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 다중 유체공급장치용 로터리 유니언은, 구동원으로부터 발생한 동력을 임의의 주변장치부로 전달할 수 있도록 브래킷에 의해 회전 가능하게 지지된 중심축과, 베어링을 사이에 두고 상기 중심축의 외주에 동축상으로 배치되어 지지되고 내측으로 다수의 유체통로가 형성되며 비회전되는 유체공급관체와, 중앙에 형성된 구멍을 통해 상기 중심축을 삽입 수용하고 상기 유체공급관체의 일단과 밀착되어 상기 유체공급관체를 고정시켜줌과 아울러 내측으로 상기 유체공급관체의 유체통로와 연통되는 다수의 유체통로가 형성된 고정용의 매니폴드판과, 베어링을 사이에 두고 상기 유체공급관체의 외주에 동축상으로 배치되어 그 유체공급관체 상에서 회전 가능하도록 지지되고 상기 유체공급관 체의 각 유체통로와 대응되는 위치마다 외부로 통하는 통공이 각각 형성되며 상기 각 통공의 내주면을 따라 작동유체를 유통시킬 수 있는 다수의 홈이 형성된 밀봉하우징과, 상기 유체공급관체와 밀봉하우징 사이의 기밀을 유지할 수 있도록 상호 유기적으로 적층되어 삽입된 밀봉유닛을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 유체공급관체의 유체통로는 관체 원주를 따라 소정간격을 두고 배치하여 이들 각 지점으로부터 그 관체 길이방항을 따라 각각 관통 형성하되, 상기 각 유체통로의 단부 통공의 위치를 각각 차등적으로 형성하여서 된 것이 바람직하다.

또한, 상기 매니폴드판에는 외부로부터 순수를 공급하고 회수할 수 있는 순수통로가 각각 형성되고, 상기 유체공급관체에는 상기 각 순수통로와 연통되는 순수통로 및 순수회수통로가 각각 형성되며, 상기 밀봉하우징에는 상기 유체공급관체의 순수통로 및 순수회수통로와 연통되는 다수의 통공이 각각 형성됨과 아울러 상기 각 통공을 통해 순수가 순환할 수 있도록 그 각 통공 간을 연통시켜주는 연결관이 상기 밀봉하우징의 외부에 결합된 것이 바람직하다.

또한, 상기 밀봉유닛은, 상기 유체공급관체의 외주에 밀착되어 적층되는 한 쌍의 내측 적층지지링과, 상기 내측 적층지지링의 사이에 개재되어 상기 유체공급관체와 밀봉하우징의 각 통공 간을 연통시켜주는 순수순환링과, 상기 순수순환링의 상하 외주면과 접촉되어 기밀을 유지하기 위한 한 쌍의 패킹링과, 상기 각 패킹링의 상하 외부에 배치되는 한 쌍의 개스킷링과, 상기 각 패킹링을 순수순환링의 상하 외주면쪽으로 각각 가압할 수 있는 가압력을 제공하기 위한 탄성가압수단으로서 상기 각 개스킷링의 상하 외부에 배치되는 한 쌍의 벨로우즈관과, 상기 밀봉하우징의 내주에 밀착되어 적층됨과 아울러 상기 개스킷링 및 벨로우즈관을 고정 및 지지해주는 한 쌍의 외측 적층지지링을 포함하여 구성하되, 상기 각 부재가 상호 결합된 채로 상기 유체공급관체와 밀봉하우징 사이의 공간부에 다수 적층되어 이루어진 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다중 유체공급장치용 로터리 유니언을 첨부 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1 내지 도 9는 본 발명에 따른 다중 유체공급장치용 로터리 유니언의 전체 및 각부 구조를 나타낸 것으로, 도 1은 본 발명 로터리 유니언의 전체 결합구조를 도시한 개략적인 종단면도, 도 2는 본 발명에 적용된 유체공급관체(20)의 유체통로(23) 구조를 도시한 사시도, 도 3은 상기 유체공급관체(20)의 평면도, 도 4는 상기 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도, 도 5는 본 발명에 적용된 밀봉하우징(30)의 평면도, 도 6은 상기 도 3의 Ⅵ-Ⅵ선 단면도, 도 7은 상기 도 1의 A부 확대도, 도 8은 상기 유체공급관체(20)와 밀봉하우징(30) 간에 개재되는 주요 밀봉유닛(S)을 부분 절개하여 도시한 분해사시도, 도 9는 상기 유체공급관체(20)를 고정시켜주는 매니폴드판(27)의 구조를 도시한 평면도를 각각 나타낸 것이다.

본 발명에 따른 다중 유체공급장치용 로터리 유니언은, 상기 도 1에 도시된 바와 같이, 중심축 구동풀리(17)에 동력이 전달될 때 회전 구동되어 임의의 주변장치부로 동력을 전달하는 중심축(10)과, 상기 중심축(10)에 동축상으로 배치되고 비 회전되는 유체공급관체(20)와, 상기 유체공급관체(20)가 회전되지 않도록 고정시켜줌과 아울러 작동유체를 공급하기 위한 유체통로(29)가 마련된 매니폴드판(27)과, 상기 유체공급관체(20)에 동축상으로 배치되어 외부의 주변장치 쪽으로 작동유체를 배출시켜주고 밀봉하우징 구동풀리(39)에 동력이 전달될 때 회전 구동되는 밀봉하우징(30)과, 상기 유체공급관체(20)와 밀봉하우징(30) 사이의 기밀을 유지할 수 있도록 개재되는 밀봉유닛(S)을 포함하는 구조로 이루어져 있다.

이하에서 각부의 구조를 상세히 설명하면, 먼저, 상기 중심축(10)은, 상기 도 1에 도시된 바와 같이, 내부를 관통하는 유체통로(11)가 형성되어 있고, 그 외주 양단이 베어링(13)(16)을 매개로 하여 지지용 브래킷(12)에 회전 가능하도록 각각 지지되며, 구동원으로부터 발생한 동력을 전달받아 임의의 주변장치부로 전달할 수 있도록 동력출력수단(미도시)이 구비된 구조를 이룬다. 상기 유체통로(11)로는 필요에 따라 소정의 작동유체를 공급할 수 있으며, 상기 동력출력수단으로는 기어, 벨트풀리 또는 체인스프라킷 등 통상적인 매체를 적용할 수 있다.

또한, 상기 유체공급관체(20)는, 상기 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 베어링(14)(15)을 사이에 두고 상기 중심축(10)의 외주에 동축상으로 배치되어 지지되며, 내측으로는 순수통로(21)와 순수회수통로(22) 및 다수의 유체통로(23)가 형성되어 있다.

참고적으로, 상기 도 1에서는 상기 순수통로(21)와 순수회수통로(22) 및 다수의 유체통로(23)를 중심면에 대해 종단면 처리한 것이어서 이들의 정확한 위치를 표시하기에는 표현상의 제약이 따라 개념적으로 나타낸 것이므로 주로 도 2 내지 도 4를 참조하여 그 구조를 파악하는 것이 바람직하다. 그리고, 도면 중 상기 순수통로(21)는 순수 또는 작동유체 등의 흐름을 추후 설명할 수 있도록 '원문자1', 상기 순수회수통로(22)는 '원문자2'로 각각 병기하였으며, 또한 상기 유체통로(23)는 그 순서대로 '원문자2 내지 8'로 각각 구분하여 나타내었다.

상기 순수통로(21)는 상기 매니폴드판(27)의 순수통로(28)를 통해 공급되는 순수(냉각수)가 진입할 수 있는 유로이고, 상기 순수회수통로(22)는 소정의 유로를 따라 순수가 순환된 후 다시 상기 유체공급관체(20)로 진입하여 상기 매니폴드판(27)의 다른 순수통로(28)로 회수되도록 하기 위한 유로이며, 상기 각 유체통로(23)는 상기 밀봉하우징(30)의 각 통공(32)과 연결된 각 홈마다 작동유체를 공급하기 위한 유로이다. 즉, 상기 각 유체통로(23)는 관체 원주를 따라 소정간격을 두고 배치하여 이들 각 지점으로부터 그 관체 길이방항을 따라 각각 관통 형성하되, 상기 각 유체통로(23) 단부의 통공(32)의 위치를 각각 차등적으로 형성하여서 된 것이다.

또한, 상기 매니폴드판(27)은, 상기 도 1 및 도 9에 도시된 바와 같이, 중앙에 형성된 구멍을 통해 상기 중심축(10)을 삽입 수용하고, 상기 유체공급관체(20)의 일단과 밀착되어 상기 유체공급관체(20)를 고정시켜줌과 아울러, 내측으로 상기 유체공급관체(20)의 순수통로(21)와 순수회수통로(22) 및 다수의 유체통로(23)와 연통되는 한 쌍의 순수통로(28)와 다수의 유체통로(29)가 각각 형성된 구조를 이루고 있다.

또한, 상기 밀봉하우징(30)은, 상기 도 1과 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같 이, 베어링(38a)(38b)을 사이에 두고 상기 유체공급관체(20)의 외주에 동축상으로 배치되어 그 유체공급관체(20) 상에서 회전 가능하도록 지지되고, 상기 유체공급관체(20)의 각 순수통로(21)와 순수회수통로(22) 및 유체통로(23)와 대응되는 위치마다 외부로 통하는 통공(31)(32)이 각각 형성되며, 상기 각 통공(31)(32)의 내주면을 따라 작동유체를 유통시킬 수 있는 다수의 홈이 형성된 구조를 이루고 있다. 그리고, 상기 각 통공(31)쪽에는 이들의 유로를 연결하는 연결관(33)이 결합된다. 여기서, 상기 도 1에 도시된 미설명 도면부호 40은 상기 밀봉하우징(30)을 받쳐주는 브래킷이다.

이상에서 설명한 상기 매니폴드판(27)과 유체공급관체(20) 및 밀봉하우징(30)에 이르는 유체공급을 위한 유로 연결구조를 간단히 정리해보면, 상기 매니폴드판(27)에는 외부로부터 순수를 공급하고 회수할 수 있는 한 쌍의 순수통로(28)와 다수의 유체통로(29)가 각각 형성되고, 상기 유체공급관체(20)에는 상기 각 순수통로(28)와 연통되는 순수통로(21)와 순수회수통로(22) 및 다수의 유체통로(23)가 각각 형성되며, 상기 밀봉하우징(30)에는 상기 유체공급관체(20)의 순수통로(21)와 순수회수통로(22) 및 다수의 유체통로(23)와 연통되는 다수의 통공(31)(32)이 각각 형성됨과 아울러 상기 각 통공(31)(32)을 통해 순수가 순환할 수 있도록 그 각 통공(31)(32) 간을 연통시켜주는 다기관 형태의 연결관(33)이 상기 밀봉하우징(30)의 외부에 결합된 것이다.

한편, 상기 밀봉유닛(S)은, 상기 도 1과 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 유체공급관체(20)와 밀봉하우징(30) 사이의 기밀을 유지할 수 있도록 상호 유 기적으로 적층되어 삽입된 구조를 이룬다.

상기 밀봉유닛(S)은, 상기 유체공급관체(20)의 외주에 밀착되어 적층되는 한 쌍의 내측 적층지지링(25)과, 상기 내측 적층지지링(25)의 사이에 개재되어 상기 유체공급관체(20)와 밀봉하우징(30)의 각 통공(24)(32) 간을 연통시켜주는 통공(26a)이 형성된 순수순환링(26)과, 상기 순수순환링(26)의 상하 외주면과 접촉되어 기밀을 유지하기 위한 한 쌍의 패킹링(35)과, 상기 각 패킹링(35)의 상하 외부에 배치되는 한 쌍의 개스킷링(36)과, 상기 각 패킹링(25)을 순수순환링(26)의 상하 외주면쪽으로 각각 가압할 수 있는 가압력을 제공하기 위한 탄성가압수단으로서 상기 각 개스킷링(36)의 상하 외부에 배치되는 한 쌍의 벨로우즈관(37)과, 상기 밀봉하우징(30)의 내주면에 밀착되어 적층됨과 아울러 상기 개스킷링(36) 및 벨로우즈관(37)을 고정 및 지지해주는 한 쌍의 외측 적층지지링(34)의 결합으로 이루어지되, 상기 각 부재(25)(26)(34)(35)(36)(37)가 상호 결합된 채로 상기 유체공급관체(20)와 밀봉하우징(30) 사이의 공간부에 다수 적층된 상태로 이루어져 있다.

상기의 밀봉유닛(S)에 의한 순수 및 작동유체의 밀봉원리를 설명하면 다음과 같다. 먼저, 순수의 순환경로는 밀봉하우징(30)의 통공(31)을 통해 유체공급관체(20)쪽으로 진입하는 상태로 형성된다. 이 경우에 있어서, 상기 순수순환링(26)의 통공(26a)을 통한 순수의 진입은 상기 유체공급관체(20)의 외측면과 오링에 의해 밀봉되어 차단되고, 비회전체와 회전체간의 마찰이 발생하는 상기 순수순환링(26)의 외측면과 패킹링(35)의 접촉면 사이에 미세하게 침투하여 그 마찰면을 냉각 및 윤활시켜줌으로써 상기 패킹링(35)의 마모를 현저히 줄일 수 있게 된 다. 이때, 상기 패킹링(35)은 벨로우즈관(37)에 의해 가압된 상태에 있어 장기간 사용 후 약간의 마모가 발생하더라도 상기 벨로우즈관(37)의 가압력에 의해 순수순환링(26)의 외측면에 긴밀하게 밀착된 상태를 유지하므로 장치 내측으로 순수가 침투되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 작동유체의 순환경로는, 별도의 도면으로 도시하지는 않았으나, 상기 유체공급관체(20)의 각 유체통로(23) 및 내측 적층지지링(25)의 통공(24)을 통해 밀봉하우징(30)의 통공(32)쪽으로 배출되는 상태로 형성된다. 이러한 상기 내측 적층지지링(25)의 통공(24) 및 밀봉하우징(30)의 통공(32)을 통한 작동유체의 배출시, 상기 밀봉하우징(30)의 내측으로의 유체누출은 오링에 의해 밀봉되어 차단되고, 상기 유체공급관체(20)의 외측으로의 유체누출은 비회전체와 회전체간의 마찰이 발생하는 상기 순수순환링(26)의 외측면과 패킹링(35)의 긴밀한 밀착성에 의해 밀봉되어 차단된다. 이때의 밀봉원리는 상기 순수의 밀봉원리와 동일하다.

아울러, 본 발명에 따른 냉각순환장치부의 구성에 의하면, 순수를 순환시키지 않고 그대로 사용할 경우에는 공냉식의 냉각구조를, 또는 상기 매니폴드판(27)의 순수통로(28)를 통해 순수를 공급하는 경우에는 수냉식 냉각구조를 모두 적용할 수 있음은 물론이다.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명에 따른 다중 유체공급장치용 로터리 유니언에 의하면, 비회전식 유체공급관체의 다중 유체통로를 통해 작동유체가 유입되어 회전식 밀봉하우징의 다중 통공을 통해 소정의 회전체로 작동유체가 공급되는 구조를 이룸으로써 비회전체 및 회전체간에 작동유체를 원활히 유통시킬 수 있음은 물론이고, 냉각수(순수)를 순환시킬 수 있는 소형 경량화된 냉각순환장치를 구비함으로써 비회전체와 회전체간에 발생하는 마찰열을 냉각시킴과 아울러 장기간 사용 후에도 상기 순수의 윤활작용에 의해 밀봉부재의 마모 정도가 매우 미미하여 고도의 밀봉성을 유지할 수 있으며, 유체통로의 구조를 개량함으로써 가공성이 향상되는 등의 다양한 효과가 있다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예들을 기준하여 설명되어 있으나 이는 예시적인 것이라 할 수 있고, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예들을 생각해 낼 수 있으므로 이러한 균등한 실시예들 또한 본 발명의 특허청구범위 내에 포함되는 것으로 보아야 할 것이다.

Claims

구동원으로부터 발생한 동력을 임의의 주변장치부로 전달할 수 있도록 브래킷에 의해 회전 가능하게 지지된 중심축;

베어링을 사이에 두고 상기 중심축의 외주에 동축상으로 배치되어 지지되고 내측으로 다수의 유체통로가 형성되며 비회전되는 유체공급관체;

중앙에 형성된 구멍을 통해 상기 중심축을 삽입 수용하고 상기 유체공급관체의 일단과 밀착되어 상기 유체공급관체를 고정시켜줌과 아울러 내측으로 상기 유체공급관체의 유체통로와 연통되는 다수의 유체통로가 형성된 고정용의 매니폴드판;

베어링을 사이에 두고 상기 유체공급관체의 외주에 동축상으로 배치되어 그 유체공급관체 상에서 회전 가능하도록 지지되고 상기 유체공급관체의 각 유체통로와 대응되는 위치마다 외부로 통하는 통공이 각각 형성되며 상기 각 통공의 내주면을 따라 작동유체를 유통시킬 수 있는 다수의 홈이 형성된 밀봉하우징; 및

상기 유체공급관체와 밀봉하우징 사이의 기밀을 유지할 수 있도록 상호 유기적으로 적층되어 삽입된 밀봉유닛;을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 다중 유체공급장치용 로터리 유니언.
제 1 항에 있어서,

상기 유체공급관체의 유체통로는 관체 원주를 따라 소정간격을 두고 배치하 여 이들 각 지점으로부터 그 관체 길이방항을 따라 각각 관통 형성하되, 상기 각 유체통로의 단부 통공의 위치를 각각 차등적으로 형성하여서 된 것을 특징으로 하는 다중 유체공급장치용 로터리 유니언.
제 1 항에 있어서,

상기 매니폴드판에는 외부로부터 순수를 공급하고 회수할 수 있는 순수통로가 각각 형성되고, 상기 유체공급관체에는 상기 각 순수통로와 연통되는 순수통로 및 순수회수통로가 각각 형성되며, 상기 밀봉하우징에는 상기 유체공급관체의 순수통로 및 순수회수통로와 연통되는 다수의 통공이 각각 형성됨과 아울러 상기 각 통공을 통해 순수가 순환할 수 있도록 그 각 통공 간을 연통시켜주는 연결관이 상기 밀봉하우징의 외부에 결합된 것을 특징으로 하는 다중 유체공급장치용 로터리 유니언.
제 1 항에 있어서,

상기 밀봉유닛은, 상기 유체공급관체의 외주에 밀착되어 적층되는 한 쌍의 내측 적층지지링과, 상기 내측 적층지지링의 사이에 개재되어 상기 유체공급관체와 밀봉하우징의 각 통공 간을 연통시켜주는 순수순환링과, 상기 순수순환링의 상하 외주면과 접촉되어 기밀을 유지하기 위한 한 쌍의 패킹링과, 상기 각 패킹링의 상하 외부에 배치되는 한 쌍의 개스킷링과, 상기 각 패킹링을 순수순환링의 상하 외주면쪽으로 각각 가압할 수 있는 가압력을 제공하기 위한 탄성가압수단으로서 상기 각 개스킷링의 상하 외부에 배치되는 한 쌍의 벨로우즈관과, 상기 밀봉하우징의 내주에 밀착되어 적층됨과 아울러 상기 개스킷링 및 벨로우즈관을 고정 및 지지해주는 한 쌍의 외측 적층지지링을 포함하여 구성하되, 상기 내측 적층지지링, 상기 순수순환링, 상기 패킹링, 상기 개스킷링, 상기 벨로우즈관, 상기 외측 적층지지링이 상호 결합된 채로 상기 유체공급관체와 밀봉하우징 사이의 공간부에 다수 적층되어 이루어진 것을 특징으로 하는 다중 유체공급장치용 로터리 유니언.