KR101037319B1 - Cell inspection device and cell inspection method - Google Patents

Cell inspection device and cell inspection method Download PDF

Info

Publication number
KR101037319B1
KR101037319B1 KR1020100079531A KR20100079531A KR101037319B1 KR 101037319 B1 KR101037319 B1 KR 101037319B1 KR 1020100079531 A KR1020100079531 A KR 1020100079531A KR 20100079531 A KR20100079531 A KR 20100079531A KR 101037319 B1 KR101037319 B1 KR 101037319B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cell
jig pallet
inspection
attached
jig
Prior art date
Application number
KR1020100079531A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
오형근
Original Assignee
주식회사 에이원마이크로
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에이원마이크로 filed Critical 주식회사 에이원마이크로
Priority to KR1020100079531A priority Critical patent/KR101037319B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101037319B1 publication Critical patent/KR101037319B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/01—Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601—Apparatus or methods therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

PURPOSE: An apparatus for inspecting cells and a method for the same are provided to efficiently use an inspecting space by forming the inspecting space in an in-line conveyer structure. CONSTITUTION: A loading unit(301) loads cells on a jig pallet. A conveyor frame transfers the cells on the jig pallet. The transferred cells are inspected by an inspecting unit(303). If the cells on the jig pallet are bad cells, a jig pallet discharging unit discharges the jig pallet with the bad cells. If the cells on the jig pallet are good cells, an unloading unit(305) unloads the good cells from the jig pallet.

Description

셀 검사 장치 및 그 방법{Cell Inspection Device and Cell Inspection Method} Cell Inspection Device and Cell Inspection Method

본 발명은 셀(Cell) 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 상세하게는 셀을 탑재한 지그 팔레트를 컨베이어(Conveyor)로 이송하여 셀(Cell)을 검사하는 인 라인(In Line) 방식의 셀 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cell inspection apparatus and method, and more particularly, an in-line cell inspection apparatus for inspecting a cell by transferring a jig pallet on which a cell is mounted to a conveyor. And to a method.

일반적으로 TFT LCD, PDP, OLED의 셀(Cell)은 배치(Batch) 방식 또는 장비별 인 라인(In Line) 방식으로 검사하고 있다.In general, cells of TFT LCDs, PDPs, and OLEDs are inspected by a batch method or an in-line method by equipment.

배치(Batch) 검사 방식은 수동으로 셀(Cell)을 로딩(Loading)하고 자동 또는 수동으로 정렬(Align) 및 콘텍(Contact)한 후 검사를 실시하고 언로딩(Unloading) 순으로 검사를 진행한다.In the batch inspection method, cells are manually loaded and automatically or manually aligned and contacted, followed by inspection and unloading.

또 다른 방식인 장비별 인 라인(In Line) 방식은 셀(Cell)을 케스트(Cast) 적재 또는 기판(Glass) 컨베이어(Conveyor)를 통해 공급하면 검사장비에 셀을 로딩(Loading)하고 자동 정렬 및 컨텍(Contact)한 후 검사를 실시하고 언로딩(Unloading) 순으로 검사를 진행한다.Another method, In Line method, is to load cells to the inspection equipment and to automatically align and load cells by supplying them through cast loading or glass conveyors. After contacting, the inspection is conducted and the inspection proceeds in the order of unloading.

그러나, 장비별 인 라인(In Line) 검사 방식에서는 자동 로딩(Loading) 및 언로딩(Unloading)을 위해서는 1개의 검사장비 주변에 로딩 및 언로딩 장치와 셀을 이송하는 물류 설비가 존재하게 된다.However, in the in-line inspection method for each equipment, there is a logistics facility for transporting a loading and unloading device and a cell around one inspection equipment for automatic loading and unloading.

따라서, 종래의 셀(Cell) 검사장치를 이용하여 생산하는 방식은 넓은 공간이 필요하고, 검사 장비별 주변 구성장비의 투자로 비용이 많이 소요된다.Therefore, the conventional production method using a cell inspection apparatus requires a large space and requires a lot of cost due to investment of peripheral components for each inspection apparatus.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은 인라인(In Line) 컨베이어(Conveyor) 방식으로 검사자의 효율적 운영과 검사 공간을 효율적으로 활용하고 초기 투자비용을 획기적으로 절감할 수 있는 셀 검사 장치 및 방법을 제공하는데 있다.An object of the present invention devised to solve the above problems is an in-line conveyor (In Line) conveyor (cell) method that can efficiently utilize the inspection and efficient inspection space and significantly reduce the initial investment costs An apparatus and method are provided.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 셀 감시장치는, 인 라인(In Line) 컨베이어(Conveyor) 방식의 셀(Cell) 검사장치에 있어서, 셀(Cell)을 지그 팔레트에 탑재하는 로딩장치와; 상기 지그 팔레트에 탑재된 셀을 이송시키는 검사공급 컨베이어 프레임과; 상기 이송된 지그 팔레트에 탑재된 셀을 검사하는 검사장치와; 상기 지그 팔레트에 탑재된 셀이 불량일 경우 셀이 탑재된 지그 팔레트를 배출하는 지그 팔레트 배출장치와; 상기 지그 팔레트에 탑재된 셀이 양품일 경우 셀이 탑재된 지그 팔레트에서 셀(Cell)만 배출하는 언로딩 장치; 및 상기 셀이 배출된 지그 팔레트를 상기 로딩장치를 통해 셀(Cell)을 탑재하는 위치로 리턴(Return)시키는 리턴 컨베이어 프레임;을 포함하는 것을 특징으로 한다.A cell monitoring apparatus of the present invention for achieving the above object, in the cell inspection apparatus of the In-line conveyor (Cell) system, the loading device for mounting the cell on the jig pallet and ; An inspection supply conveyor frame for transporting the cells mounted on the jig pallet; An inspection apparatus for inspecting cells mounted on the transferred jig pallets; A jig pallet discharge device for discharging the jig pallet on which the cell is mounted if the cell mounted on the jig pallet is defective; An unloading device for discharging only cells from the jig pallet on which the cell is mounted if the cell mounted on the jig pallet is a good product; And a return conveyor frame for returning the jig pallet from which the cell is discharged to the position where the cell is mounted through the loading device.

본 발명의 셀 검사장치에 있어서, 상기 컨베이어 프레임상의 지그 팔레트는 리니어 모터(Linear Motor) 회전자가 영구자석과 연동되어 이송하는 것을 특징으로 한다.In the cell inspection apparatus of the present invention, the jig pallet on the conveyor frame is characterized in that the linear motor (Linear Motor) rotor is transported in conjunction with the permanent magnet.

본 발명의 셀 검사장치에 있어서, 상기 리니어 모터 회전자는, 지그 팔레트에 구성하여 지그 팔레트를 자체적으로 구동시켜 이송하거나 상기 컨베이어 프레임에 설치하여 지그 팔레트를 이송하는 것을 특징으로 한다.In the cell inspection apparatus of the present invention, the linear motor rotor is characterized in that the jig pallet is configured to drive and transport the jig pallet by itself or to be installed on the conveyor frame to transfer the jig pallet.

본 발명의 셀 검사장치에 있어서, 상기 지그 팔레트는 외부에서 전원을 공급받아 셀을 검사하기 위한 회로장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the cell inspection apparatus of the present invention, the jig pallet is characterized in that it comprises a circuit device for inspecting the cell by receiving power from the outside.

본 발명의 셀 검사장치에 있어서, 상기 셀(Cell)은 상하판 기판(Glass)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판(Polarizer)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판이 부착되고 탭(TAB)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판이 부착되고 탭(TAB)이 부착되어 있는 상태 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.In the cell inspection apparatus of the present invention, the cell is in a state in which a top and bottom substrate glass is attached, in a state in which a polarizer is attached to a top and bottom substrate glass, and a top and bottom substrate glass. The polarizer is attached to the top and the tab (TAB) is attached, the polarizing plate is attached to the upper and lower substrate (Glass) is characterized in that any one of the state attached to the tab (TAB).

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 셀 검사방법은, 인 라인(In Line) 컨베이어(Conveyor) 방식의 셀(Cell) 검사방법에 있어서, 로딩 장치를 통해 셀(Cell)을 지그 팔레트에 탑재하는 단계와; 상기 지그 팔레트에 탑재된 셀이 검사공급 컨베이어 프레임을 타고 이송하는 단계와; 상기 이송된 지그 팔레트에 탑재된 셀을 검사자가 검사장치를 통해 검사하는 단계와; 상기 지그 팔레트에 탑재된 셀이 불량일 경우 셀이 탑재된 지그 팔레트를 배출하는 단계와; 상기 지그 팔레트에 탑재된 셀이 양품일 경우 셀이 탑재된 지그 팔레트에서 셀만 언로딩 장치를 통해 배출하는 단계; 및 상기 셀이 배출된 지그 팔레트를 상기 로딩장치를 통해 셀(Cell)을 탑재하는 위치로 리턴 컨베이어 프레임을 타고 리턴(Return)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The cell inspection method of the present invention for achieving the above object, in the cell inspection method of the in-line conveyor (Conveyor) method, the cell (Cell) mounted on the jig pallet via a loading device Making a step; Transferring the cells mounted on the jig pallet by a test supply conveyor frame; Inspecting, by an inspector, a cell mounted on the transferred jig pallet; Discharging the jig pallet on which the cell is mounted if the cell mounted on the jig pallet is defective; Discharging only the cells from the cell-mounted jig pallet through the unloading device when the cell mounted on the jig pallet is good quality; And returning the jig pallet from which the cell is discharged, to the position where the cell is mounted through the loading device, in a return conveyor frame.

본 발명의 셀 검사방법에 있어서, 상기 셀(Cell)은 상하판 기판(Glass)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판(Polarizer)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판이 부착되고 탭(TAB)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판이 부착되고 탭(TAB)이 부착되어 있는 상태 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.In the cell inspection method of the present invention, the cell is in a state in which a top and bottom substrate glass is attached, in a state in which a polarizer is attached to the top and bottom substrate glass, and a top and bottom substrate glass. The polarizer is attached to the top and the tab (TAB) is attached, the polarizing plate is attached to the upper and lower substrate (Glass) is characterized in that any one of the state attached to the tab (TAB).

본 발명의 셀 검사방법에 있어서, 상기 검사장치는 프로브 블록(Probe Block) 셋팅용 및 검사용 현미경 장치를 통해 검사하는 것을 특징으로 한다.In the cell inspection method of the present invention, the inspection apparatus is characterized in that the inspection through the microscope device for setting the probe block (Probe Block) and inspection.

상기와 같이 본 발명은 검사장치의 수를 사용자 임의로 조절 할 수 있고 효율적으로 운영이 가능하며, 초기 투자비용을 대폭 줄일 수 있다. As described above, the present invention can arbitrarily adjust the number of inspection apparatuses and can operate efficiently, and greatly reduce the initial investment cost.

또한, 본 발명은 보수를 위한 장치의 점검 효율도 극대화 할 수 있다.In addition, the present invention can maximize the inspection efficiency of the device for maintenance.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 자가구동 팔레트 및 컨베이어(Conveyor)를 이용한 팔레트를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 지그 팔레트(Jig Pallet)에 탑재된 셀을 검사하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 인 라인(In Line) 컨베이어 방식을 이용한 TFT LCD 셀(Cell)이 탑재된 지그 팔레트 이송 검사장치를 도시한 도면이다.1A and 1B are views illustrating a pallet using a self-driven pallet and a conveyor of the present invention.
2 is a diagram for inspecting a cell mounted in a jig pallet of the present invention.
3 is a view showing a jig pallet transfer inspection apparatus equipped with a TFT LCD cell (Cell) using the In Line conveyor method of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 자가구동 팔레트(Pallet) 및 컨베이어(Conveyor)를 이용한 팔레트를 나타낸 도면이다.1A and 1B are views illustrating a pallet using a self-driving pallet and a conveyor of the present invention.

도 1a에 도시한 바와 같이, 컨베이어 프레임(Conveyer Frame, 104)상의 셀 이송 및 검사용 지그 팔레트(100)는 리니어 모터(Linear Motor) 회전자(105)가 영구자석(106)과 연동되어 이송된다. 여기서, 상기 리니어 모터 회전자(105)는 지그 팔레트(100)측에 구성하여 지그 팔레트(100)를 자체적으로 구동시켜 이송한다.As shown in FIG. 1A, the jig pallet 100 for cell transport and inspection on the conveyor frame 104 is linearly rotated with a linear motor rotor 105 in conjunction with a permanent magnet 106. . Here, the linear motor rotor 105 is configured on the jig pallet 100 side to drive the jig pallet 100 by itself to be transported.

도 1b에 도시한 바와 같이, 컨베이어 프레임(104)상의 셀 이송 및 검사용 지그 팔레트(100)는 리니어 모터 회전자(105)가 영구자석(106)과 연동되어 이송된다. 여기서, 상기 리니어 모터 회전자(105)는 컨베이어 프레임(104)에 설치하여 지그 팔레트(100)를 이송한다. As shown in FIG. 1B, in the jig pallet 100 for cell transport and inspection on the conveyor frame 104, the linear motor rotor 105 is transported in association with the permanent magnet 106. Here, the linear motor rotor 105 is installed on the conveyor frame 104 to transfer the jig pallet 100.

상기 지그 팔레트(100)는 외부에서 전원을 공급받아 셀(Cell)을 구동시키는 회로장치(101)와 배터리(Battery)를 내장하여 지그 팔레트(100)가 이동중에도 셀에 전원을 공급하고 크린룸(Clean Room)을 감안하여 회로에 전원을 공급하기 위한 무접촉 제1전원공급장치(102) 및 모터를 구동시키기 위한 무접촉 제2전원공급장치(103)로 구성되어 있다. The jig pallet 100 has a circuit device 101 and a battery built therein to drive the cell by receiving power from the outside, thereby supplying power to the cell while the jig pallet 100 is moving and clean room In consideration of a room), the contactless first power supply 102 for supplying power to a circuit and the contactless second power supply 103 for driving a motor are configured.

도 1a 및 도 1b에는 도시되지 않았으나, 상기 지그 팔레트(100)에는 셀이 안착되었을 때 셀이 이탈되지 않도록 클램프(Clamp) 기능을 가지게 된다. Although not shown in FIGS. 1A and 1B, the jig pallet 100 has a clamp function to prevent the cell from being separated when the cell is seated.

또한, 상기 지그 팔레트(100)는 여러 가지 크기의 셀을 탑재할 수 있도록 셀의 받침 부분이 수동 또는 자동으로 크기를 조절 할 수 있는 장치를 포함하고, 셀의 크기를 맞추기 위해 좌측 또는 우측 그리고 상측을 줄일 수 있으며, 검사시 셀 크기별로 불필요한 광원의 차단을 위해 차단막 또는 장치가 설치되어 있다. In addition, the jig palette 100 includes a device in which the supporting portion of the cell can be manually or automatically sized to mount cells of various sizes, and the left or right side and the upper side for adjusting the size of the cell. In order to block unnecessary light sources by cell size during inspection, a blocking film or a device is installed.

그리고, 상기 지그 팔레트(100)는 셀과 프로브 블록(Probe Block)의 위치를 맞추기 위한 조정용 마이크로 메타를 포함하여 구성된다.In addition, the jig palette 100 includes an adjusting micro meta for aligning the position of the cell and the probe block.

본 발명에서는 롤러(Roller) 또는 체인(Chain) 형태(Type)의 컨베이어를 이용하여 지그 팔레트를 구동 모터로 이송할 수도 있으며, 리니어(Linear)를 이용한 자가구동용 모터로 지그 팔레트를 이송하는 방식도 가능하다. In the present invention, a roller or chain type conveyor may be used to transfer the jig pallet to the drive motor, and the method of transferring the jig pallet to the self-driving motor using linear may also be used. It is possible.

도 2는 본 발명의 지그 팔레트(Jig Pallet)에 탑재된 셀을 검사하는 도면을 나타낸 것이다.FIG. 2 shows a diagram of inspecting a cell mounted in a jig pallet of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 백라이트 프레임(203)내에 셀(Cell)을 탑재한 지그 팔레트(202)가 컨베이어 프레임(204)을 타고 이송하여 검사자(500) 구간에 도착하면, 프로브 블록(Probe Block) 셋팅용 및 검사용 현미경 장치(200)를 통해 셀을 검사한다. 여기서, 상기 백라이트 프레임(203)내에는 검사용 백라이트 라이트 전후진 장치(201)를 포함한다.As shown in FIG. 2, when the jig pallet 202 mounted with the cell in the backlight frame 203 is transported by the conveyor frame 204 and arrives at the inspector 500 section, a probe block is provided. ) The cell is inspected through the microscope device 200 for setting and inspection. In this case, the backlight frame 203 includes a back light forward and backward device 201 for inspection.

도 3은 본 발명은 인 라인(In Line) 컨베이어 방식을 이용한 TFT LCD 셀(Cell)이 탑재된 지그 팔레트 이송 검사장치를 도시한 도면이다.3 is a view illustrating a jig pallet transfer inspection apparatus equipped with a TFT LCD cell using an in-line conveyor method.

도 3에 도시된 바와 같이, 컨베이어를 이용한 지그 팔레트 이송 검사장치는, 셀 공급장치(300)에 적재되어 있는 TFT LCD 셀(Cell)을 로딩장치(301)를 통해 지그 팔레트에 탑재시켜 검사 공급 컨베이어 레임(302)을 타고 이송하게 된다.As shown in FIG. 3, the jig pallet transfer inspection apparatus using a conveyor includes a TFT LCD cell loaded in the cell supply apparatus 300 mounted on a jig pallet through a loading apparatus 301 to supply an inspection supply conveyor. The ride is carried on the frame 302.

이송된 지그 팔레트에 탑재된 셀은 검사장치(303)를 통해 검사자가 검사를 하게 된다. 이때, 상기 검사장치(303)는 백라이트 장치 및 현미경을 포함하고, 상기 검사장치(303)의 배치는 사용자의 요구에 따라 검사장치 수와 방식은 변동될 수 있다.The cell mounted on the transferred jig pallet is inspected by the inspector through the inspecting device 303. In this case, the inspection apparatus 303 may include a backlight device and a microscope, and the number and manner of the inspection apparatus may be changed according to a user's request.

지그 팔레트에 탑재된 셀(Cell)이 불량일 경우에는 불량 지그 팔레트 배출장치(304)를 통해 셀이 탑재된 지그 팔레트를 배출하고, 지그 팔레트에 탑재된 셀이 양품일 경우에는 언로딩 장치(305)를 통해 셀 배출장치(306)에서 셀(Cell)만 배출시키며, 셀이 배출된 지그 팔레트는 리턴 컨베이어 프레임(307)을 타고 상기 로딩장치(301)를 통해 TFT LCD 셀(Cell)을 탑재시키기 위한 위치로 리턴(Return)된다.When the cell mounted on the jig pallet is defective, the jig pallet on which the cell is mounted is discharged through the defective jig pallet discharge device 304, and the unloading device 305 when the cell mounted on the jig pallet is good quality. Only the cell is discharged from the cell discharging device 306, and the jig pallet from which the cell is discharged is mounted on the return conveyor frame 307 to mount the TFT LCD cell through the loading device 301. Is returned to the desired location.

본 발명에서 TFT LCD 셀(Cell)은, 상하판 기판(Glass)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광 판(Polarizer)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판 위에 편광판이 부착되고 탭(TAB)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판 위에 편광판이 부착되고 탭(TAB)이 부착되어 있는 상태에서 PCB가 부착되어 있는 상태 중 어느 하나로 정의한다. 여기서, 상기 상하판 기판(Glass)은 TFT 기판과 칼라필터 기판 사이에 액정을 봉입한 상태의 기판이다. In the present invention, in the TFT LCD cell, the upper and lower substrate glass is attached, the polarizer is attached to the upper and lower substrate glass, and the polarizing plate is attached and the tab is attached to the upper and lower substrate. It is defined as either the state in which (TAB) is attached, the state in which the PCB is attached in the state in which the polarizing plate is attached on the upper and lower substrates and the tab (TAB) is attached. Here, the upper and lower substrate substrates (Glass) is a substrate in a state where the liquid crystal is sealed between the TFT substrate and the color filter substrate.

본 발명은 로딩 및 언로딩 장치가 각각 1개소로 하여 검사용 지그 팔레트가 이동하여 검사자 앞에 정지하면 검사를 하는 방식으로 구성하여, 검사장치의 수를 사용자 임의로 조절 할 수 있어 장치 크기를 조정할 수 있으며, 검사장치별로 로딩 및 언로딩 장치가 불필요하여 투자비용을 대폭 줄일 수 있다. The present invention is configured in such a way that the inspection and jig palette for inspection and moving to stop in front of the inspector with one loading and unloading device each, so that the number of inspection apparatuses can be arbitrarily adjusted by the user and the device size can be adjusted. As a result, the loading and unloading devices are not required for each inspection device, thereby significantly reducing the investment cost.

또한, 본 발명은 인라인(In Line) 컨베이어 방식이므로 검사자의 수를 임의로 조정할 수 있다. 기존의 셀 검사장치는 검사자가 없거나 장치의 고장이 발생하면 전체적인 라인(Line)의 정지로 이어지게 되는데, 본 발명의 검사장치는 여러명의 검사자 중 1명이 빠지게 되더라도, 다른 검사자 앞으로 검사용 지그 팔레트가 이동하게 됨으로서 효율적인 운영을 할 수 있으며, 검사용 지그 팔레트가 고장이 나게 되면, 라인(Line) 밖으로 이동하여 수리를 할 수 있어, 기존의 장비 고장으로 라인(Line)이 정지하는 것에 비하여, 검사장치의 활용 효율을 극대화 할 수 있다. In addition, since the present invention is an in-line conveyor method, the number of inspectors can be arbitrarily adjusted. Existing cell inspection device does not have an inspector or a failure of the device leads to the stop of the entire line, the inspection device of the present invention, even if one of the multiple inspectors are missing, the jig pallet for inspection is moved in front of the other inspector By doing so, it can be operated efficiently and when the inspection jig pallet breaks, it can be moved out of the line for repair, and the line can be stopped due to the existing equipment failure. The utilization efficiency can be maximized.

또한, 본 발명은 검사용 지그 팔레트가 고장이 발생하더라도 다른 검사용 지그 팔레트가 컨베이어상에 존재하게 되고, 보수를 위한 장치의 점검 효율도 극대화 할 수 있다는 장점을 가지고 있다. In addition, the present invention has the advantage that even if the inspection jig pallet failure occurs other inspection jig pallet is present on the conveyor, it is also possible to maximize the inspection efficiency of the device for maintenance.

본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.Although the present invention has been described by means of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and is intended by those skilled in the art to which the present invention pertains, as well as the following claims. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalents.

100 : 지그 팔레트 101 : 회로장치
104 : 컨베이어 프레임 300 : 셀 공급장치
301 : 로딩장치 303 : 검사장치
305 : 언로딩장치 500 : 검사자 100: jig pallet 101: circuit device
104: conveyor frame 300: cell feeder
301: loading device 303: inspection device
305: unloading device 500: inspector

Claims (8)

인 라인(In Line) 컨베이어(Conveyor) 방식의 셀(Cell) 검사장치에 있어서,
셀(Cell)을 지그 팔레트에 탑재하는 로딩장치와;
상기 지그 팔레트에 탑재된 셀을 이송시키는 검사공급 컨베이어 프레임과;
상기 이송된 지그 팔레트에 탑재된 셀을 검사하는 검사장치와;
상기 지그 팔레트에 탑재된 셀이 불량일 경우 셀이 탑재된 지그 팔레트를 배출하는 지그 팔레트 배출장치와;
상기 지그 팔레트에 탑재된 셀이 양품일 경우 셀이 탑재된 지그 팔레트에서 셀(Cell)만 배출하는 언로딩 장치; 및
상기 셀이 배출된 지그 팔레트를 상기 로딩장치를 통해 셀(Cell)을 탑재하는 위치로 리턴(Return)시키는 리턴 컨베이어 프레임;을 포함하는 것을 특징으로 하는 인 라인 셀 검사장치.In line conveyor (Cell) inspection device,
A loading device for mounting a cell on a jig pallet;
An inspection supply conveyor frame for transporting the cells mounted on the jig pallet;
An inspection apparatus for inspecting cells mounted on the transferred jig pallets;
A jig pallet discharge device for discharging the jig pallet on which the cell is mounted if the cell mounted on the jig pallet is defective;
An unloading device for discharging only cells from the jig pallet on which the cell is mounted if the cell mounted on the jig pallet is a good product; And
And a return conveyor frame for returning the jig pallet from which the cell is discharged to the position where the cell is mounted through the loading device. 제1항에 있어서,
상기 컨베이어 프레임상의 지그 팔레트는 리니어 모터(Linear Motor) 회전자가 영구자석과 연동되어 이송하는 것을 특징으로 하는 인 라인 셀 검사장치.The method of claim 1,
The jig pallet on the conveyor frame is an in-line cell inspection apparatus, characterized in that the linear motor rotor is transported in conjunction with the permanent magnet. 제2항에 있어서,
상기 리니어 모터 회전자는, 지그 팔레트에 구성하여 지그 팔레트를 자체적으로 구동시켜 이송하거나 상기 컨베이어 프레임에 설치하여 지그 팔레트를 이송하는 것을 특징으로 하는 인 라인 셀 검사장치.The method of claim 2,
The linear motor rotor is configured on a jig pallet, the jig pallet is driven by itself and transported, or installed on the conveyor frame, in-line cell inspection apparatus, characterized in that for conveying the jig pallet. 제1항에 있어서,
상기 지그 팔레트는 외부에서 전원을 공급받아 셀을 검사하기 위한 회로장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 인 라인 셀 검사장치.The method of claim 1,
The jig palette is an in-line cell inspection device, characterized in that it comprises a circuit device for inspecting the cell by receiving power from the outside. 제1항에 있어서,
상기 셀(Cell)은 상하판 기판(Glass)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판(Polarizer)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판이 부착되고 탭(TAB)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판이 부착되고 탭(TAB)이 부착되어 있는 상태 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 인 라인 셀 검사장치.The method of claim 1,
The cell is in a state in which a top and bottom substrate glass is attached, a state in which a polarizer is attached to a top and bottom substrate glass, a polarizer is attached to a top and bottom substrate glass, and a tab TAB. In-line cell inspection apparatus, characterized in that any one of the attached state, the state in which the polarizing plate is attached on the upper and lower plate substrate (Glass) and the tab (TAB) is attached. 인 라인(In Line) 컨베이어(Conveyor) 방식의 셀(Cell) 검사방법에 있어서,
로딩 장치를 통해 셀(Cell)을 지그 팔레트에 탑재하는 단계와;
상기 지그 팔레트에 탑재된 셀이 검사공급 컨베이어 프레임을 타고 이송하는 단계와;
상기 이송된 지그 팔레트에 탑재된 셀을 검사자가 검사장치를 통해 검사하는 단계와;
상기 지그 팔레트에 탑재된 셀이 불량일 경우 셀이 탑재된 지그 팔레트를 배출하는 단계와;
상기 지그 팔레트에 탑재된 셀이 양품일 경우 셀이 탑재된 지그 팔레트에서 셀만 언로딩 장치를 통해 배출하는 단계; 및
상기 셀이 배출된 지그 팔레트를 상기 로딩장치를 통해 셀(Cell)을 탑재하는 위치로 리턴 컨베이어 프레임을 타고 리턴(Return)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인 라인 셀 검사방법.In line conveyor method (Cell) inspection method,
Mounting the cell on a jig pallet via a loading device;
Transferring the cells mounted on the jig pallet by a test supply conveyor frame;
Inspecting, by an inspector, a cell mounted on the transferred jig pallet;
Discharging the jig pallet on which the cell is mounted if the cell mounted on the jig pallet is defective;
Discharging only the cells from the cell-mounted jig pallet through the unloading device when the cell mounted on the jig pallet is good quality; And
And returning the jig pallet from which the cell is discharged through a return conveyor frame to a position where the cell is mounted through the loading apparatus. 제6항에 있어서,
상기 셀(Cell)은 상하판 기판(Glass)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판(Polarizer)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판이 부착되고 탭(TAB)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판이 부착되고 탭(TAB)이 부착되어 있는 상태 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 인 라인 셀 검사방법.The method of claim 6,
The cell is in a state in which a top and bottom substrate glass is attached, a state in which a polarizer is attached to a top and bottom substrate glass, a polarizer is attached to a top and bottom substrate glass, and a tab TAB. And a state in which the polarizing plate is attached to the upper and lower plate substrates and the tab (TAB) is attached to the in-line cell inspection method. 제6항에 있어서,
상기 검사장치는 프로브 블록(Probe Block) 셋팅용 및 검사용 현미경 장치를 통해 검사하는 것을 특징으로 하는 인 라인 셀 검사방법.The method of claim 6,
The inspection device is an in-line cell inspection method characterized in that the inspection through the probe block (Probe Block) setting and inspection microscope device.
KR1020100079531A 2010-08-17 2010-08-17 Cell inspection device and cell inspection method KR101037319B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100079531A KR101037319B1 (en) 2010-08-17 2010-08-17 Cell inspection device and cell inspection method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100079531A KR101037319B1 (en) 2010-08-17 2010-08-17 Cell inspection device and cell inspection method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101037319B1 true KR101037319B1 (en) 2011-05-26

Family

ID=44366662

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100079531A KR101037319B1 (en) 2010-08-17 2010-08-17 Cell inspection device and cell inspection method

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101037319B1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100352384B1 (en) 1999-11-19 2002-09-11 주식회사 디이엔티 Inspecting System for Liquid Crystal Display
KR20060115523A (en) * 2005-05-06 2006-11-09 엘지전자 주식회사 Inspection system
JP2007139763A (en) 2005-11-18 2007-06-07 Paikomu Corp Inspection system for display panel

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100352384B1 (en) 1999-11-19 2002-09-11 주식회사 디이엔티 Inspecting System for Liquid Crystal Display
KR20060115523A (en) * 2005-05-06 2006-11-09 엘지전자 주식회사 Inspection system
JP2007139763A (en) 2005-11-18 2007-06-07 Paikomu Corp Inspection system for display panel

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100740010B1 (en) Inspecting system of flat panel display
TW200634357A (en) Apparatus and method for inspecting polarizing film
CN101169528B (en) Liquid crystal display screen on-line manufacture process and its apparatus
KR20100006418A (en) System and method for attaching polarizer to glass
KR20120110666A (en) Apparatus and method for manufacturing display device of in-line type
KR101037319B1 (en) Cell inspection device and cell inspection method
KR101149055B1 (en) Aging apparatus for organic light emitting display panel
KR100622410B1 (en) Tft-lcd module assembly assembling apparatus and tft-lcd module assembly assembling method using the same
KR20120004248A (en) Aging apparatus for organic light emitting display panel
KR100665729B1 (en) A automatic testing device for LCD panel
JP5144241B2 (en) Manufacturing method and inspection system of liquid crystal display device
CN109916597B (en) Optical detection device and optical detection method
KR100967933B1 (en) System and method for attaching polarizer to glass
KR101435750B1 (en) Automatic vision testing device for reducing lcd panel movement and checking time
KR101169915B1 (en) System for testing liquid crystal display module and method for testing crystal display module using the same
KR20110064987A (en) Substrate transferring apparatus, substrate inspecting apparatus using the same
KR100871365B1 (en) Automatic aging apparatus for back light lamp of lcd
KR101017626B1 (en) Alignment stage for lcd tester
KR20120127036A (en) Cell aging
KR20180132410A (en) A unloader device of smt equipment that can adjust sensor position according to pcb board type
CN202244640U (en) Glass substrate placing device
KR20100065950A (en) System for taking out defective lamp
JP7219172B2 (en) inspection system
KR101016749B1 (en) System for inspecting objects received in a cassette
KR20070120763A (en) Apparatus for substrate treatment

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140512

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee