KR101027970B1 - Power Anmplifier With Internal Matching Network Using Ferroelectrics - Google Patents

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Abstract

본 발명은 강유전체를 이용한 가변 커패시터를 이용하여 주변 환경에 따른 증폭기의 임피던스 변화에도 최적의 효율 및 선형성을 가질 수 있는 가변 정합회로를 포함하는 증폭기 및 그 패키지에 관한 것이다.The present invention relates to an amplifier and a package including a variable matching circuit that can have an optimum efficiency and linearity even with impedance change of an amplifier according to a surrounding environment by using a variable capacitor using a ferroelectric.

본 발명에 따른 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기는, 기판에 형성된 강유전체의 유전율을 변화시켜 커패시터의 용량값을 변화할 수 있는 가변 커패시터 및 패드와 패드 사이의 거리, 와이어의 두께, 높이 및 재질 중 적어도 어느 하나를 변동함으로써 인덕턴스 값을 조정할 수 있는 세선용접(Bond Wire) 형태로 구성된 가변 인덕터를 포함하여 구성된다.An amplifier having a variable internal matching circuit using a ferroelectric according to the present invention includes a variable capacitor and a distance between a pad and a pad, a wire thickness, and a height that can change the capacitance of the capacitor by changing the dielectric constant of the ferroelectric formed on the substrate. And a variable inductor configured in the form of a thin wire welding that can adjust an inductance value by changing at least one of materials.

본 발명은 강유전체 소재를 사용한 가변 커패시터를 적용하여 커패시터 및 증폭기 패키지의 소형화를 이룰 수 있다. 또한 외부 환경이나 온도 변화 등의 변화에 따른 증폭기의 임피던스 변화를 보정하여 증폭기의 효율성 및 선형성을 유지할 수 있는 장점이 있다.The present invention can achieve miniaturization of a capacitor and an amplifier package by applying a variable capacitor using a ferroelectric material. In addition, there is an advantage that can maintain the efficiency and linearity of the amplifier by correcting the change in the impedance of the amplifier according to changes in the external environment or temperature changes.

강유전체, Ferroelectrics, 정합회로, Matching Network, 전력증폭기, 가변 회로, Tunable Matching Network Ferroelectrics, Ferroelectrics, Matching Circuits, Matching Networks, Power Amplifiers, Variable Circuits, Tunable Matching Networks

Description

강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기 {Power Anmplifier With Internal Matching Network Using Ferroelectrics}Amplifier with Variable Internal Matching Circuit Using Ferroelectrics {Power Anmplifier With Internal Matching Network Using Ferroelectrics}

본 발명은 강유전체를 이용한 가변 커패시터를 이용하여 주변 환경에 따른 증폭기의 임피던스 변화에도 최적의 효율 및 선형성을 가질 수 있는 가변 정합회로(Tunable Matching Network)를 포함하는 증폭기에 관한 것이다.The present invention relates to an amplifier including a tunable matching network (Tunable Matching Network) that can have an optimum efficiency and linearity even in the impedance change of the amplifier according to the surrounding environment by using a variable capacitor using a ferroelectric.

현재 이동통신 및 무선통신시장에서 송신단의 전력증폭기에 대한 연구가 활발히 진행되고 있으며, 특히 최대 출력 전력에서 증폭기의 고효율, 선형성 등을 높이기 위한 도허티(Doherty) 등의 고효율 회로 설계 기법, GaN 등의 고전력용 소자 개발, Digital Pre-distortion, Feedforward 등의 선형화 기법들에 대한 연구가 지속되고 있다. Currently, researches are being actively conducted on power amplifiers of the transmitting end in the mobile communication and wireless communication markets. In particular, high-efficiency circuit design techniques such as Doherty and high power such as GaN are used to increase the efficiency and linearity of the amplifier at the maximum output power. Research on linearization techniques such as device development, digital predistortion, feedforward, etc. is ongoing.

하지만 이러한 설계 및 소자 연구에도 불구하고 무선통신 환경에서 인체, 자동차 등의 표면, 주위 온도, 증폭기의 발열 등은 전력 증폭기의 입력/출력 임피던스의 변화를 일으킬 수 있어 증폭기의 효율의 저하 또는 선형성의 저하를 발생시키 는 문제점이 있다.Despite the design and device research, however, the surface of human body, car, ambient temperature, and heat generation of the amplifier may change the input / output impedance of the power amplifier in the wireless communication environment. There is a problem that causes.

종래의 일반적인 형태의 출력 정합회로의 경우에는, 회로 내부의 모든 L, C 소자 값이 고정되어 있으므로 주파수가 변화되면 그에 따라 정합회로의 재(再)설계 및 재(再)구현이 요구되는 문제점이 있다.In the conventional general type output matching circuit, since all L and C element values in the circuit are fixed, it is necessary to redesign and reimplement the matching circuit according to the frequency change. have.

이러한 문제점을 해결하기 위하여, 도 1a 및 도1b에 도시된 기존의 가변 정합회로(Tunable Matching Network)에 대한 관심 및 개발이 조금씩 증가하고 있다. 이러한 현재의 가변 정합회로는 주로 증폭기 패키지의 외부에 형성되거나, 웨이퍼(Wafer) 상태에서 강유전체나 MEMS를 일부분에만 적용하여 가변하게 만들었다.In order to solve this problem, the interest and development of the conventional tunable matching network (Tunable Matching Network) shown in Figures 1a and 1b is increasing little by little. These current variable matching circuits are mainly formed outside the amplifier package, or made variable by applying a ferroelectric or MEMS to only a portion in the wafer state.

그러나 상기 기술한 패키지의 외부에 가변 정합회로를 형성하는 경우에는 전체 증폭기의 사이즈가 커지는 단점이 있고, 웨이퍼(Wafer) 상태에서 가변소자를 적용한 경우는 특수 용도의 트랜지스터로 국한되어 정합회로나 전원 증폭기가 제작되어야 하는 단점이 있다. However, in the case of forming the variable matching circuit outside the above-described package, the size of the entire amplifier is large. In the case where the variable element is applied in the wafer state, the matching circuit or the power amplifier is limited. There are disadvantages that must be made.

전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 패키지 내부에 강유전체를 이용한 가변 커패시터 및 세선용접 형태의 인덕터 등을 이용한 가변 내부 정합회로을 제공함으로써, 증폭기 패키지를 소형화 할 수 있다. 또한 LC 공진회로 등의 기능을 패키지 내부에 추가하여 증폭기를 구성할 수 있다.In order to solve the problems described above, the present invention can provide a variable internal matching circuit using a variable capacitor using a ferroelectric, a thin wire welding type inductor, etc., thereby miniaturizing the amplifier package. In addition, the amplifier can be configured by adding a function such as an LC resonant circuit inside the package.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기는, 기판에 형성된 강유전체의 유전율을 변화시켜 커패시터의 용량값을 변화할 수 있는 가변 커패시터 및 가변 인덕터를 포함하여 구성되는 증폭기를 제공한다. 이때 상기 가변 인덕터는 패드와 패드 사이의 거리, 와이어의 두께, 높이 및 재질 중 적어도 어느 하나를 변동함으로써 인덕턴스 값을 조정할 수 있는 세선용접 형태로 구성된 것이 바람직하다.In order to achieve the above object, an amplifier having a variable internal matching circuit using a ferroelectric according to the present invention includes a variable capacitor and a variable inductor capable of changing the capacitance value of the capacitor by changing the dielectric constant of the ferroelectric formed on the substrate. It provides an amplifier configured by. At this time, the variable inductor is preferably configured in the form of a thin wire welding that can adjust the inductance value by changing at least one of the distance between the pad, the thickness of the wire, the height and the material.

본 발명의 다른 면에 따른 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기는, 입력포트와 트랜지스터를 양쪽 패드로 하여 세선용접 형태로 구성된 제 1 인덕터와, 패키지 기판 위에 증착된 강유전체 위에 도체 패턴을 적층하여 구성한 가변 커패시터와, 상기 가변 커패시터와 트랜지스터를 양쪽 패드로 하여 세선용접 형태로 구성된 제 2 인덕터와, 상기 가변 커패시터와 출력포트를 양쪽 패드로 하여 세선용접 형태로 구성된 제 3 인덕터를 포함하는 증폭기 패키지를 제공한다.According to another aspect of the present invention, an amplifier having a variable internal matching circuit using a ferroelectric includes a first inductor configured in a thin wire welding form using an input port and a transistor as both pads, and a conductor pattern stacked on a ferroelectric deposited on a package substrate. And a second capacitor configured as a thin wire welding using both the variable capacitor and the transistor as both pads, and an amplifier package including a third inductor configured as a thin wire welding using both the variable capacitor and the output port as both pads. To provide.

본 발명은 전력 증폭기용 패키지 내부에 가변 정합회로를 구현할 수 있으므로, 전력 증폭기용 패키지의 크기를 소형화시킬 수 있다. 또한 유전율이 수백에 이르는 강유전체 소재를 사용한 가변 커패시터를 적용하였으므로, 커패시터 및 패키지의 소형화를 이룰 수 있다.According to the present invention, since the variable matching circuit can be implemented inside the power amplifier package, the size of the power amplifier package can be reduced. In addition, since a variable capacitor using a ferroelectric material having a dielectric constant of several hundreds is applied, the capacitor and the package can be miniaturized.

또한 본 발명에 따르면 주파수에 따라 가변할 수 있는 정합회로를 제공할 수 있으므로, 외부 환경이나 온도 변화 등의 변화에 따른 증폭기의 임피던스 변화를 보정 할 수 있으며, 이를 통하여 증폭기의 효율성 및 선형성을 유지할 수 있는 장점이 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to provide a matching circuit that can vary according to frequency, thereby correcting an impedance change of an amplifier according to a change in an external environment or a temperature change, thereby maintaining the efficiency and linearity of the amplifier. There is an advantage.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이하의 실시예는 이 기술 분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서, 여러 가지 형태로 변형될 수 있으므로 본 발명의 범위가 이하에 기술되는 실시 예에 한정되는 것은 아니다. 또한 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 등의 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴수 있다고 판단되는 경우 그러한 공지 기능 등에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments are provided to those skilled in the art to fully understand the present invention, and may be modified in various forms, and thus the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. . In describing the present invention, when it is determined that description of related known functions or the like may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, detailed descriptions of such known functions and the like will be omitted.

도 2는 본 발명에 따른 강유전체를 이용한 가변 정합회로를 포함하는 증폭기 패키지의 구체적인 일실시예를 도시하는 구성도이다.2 is a block diagram illustrating a specific embodiment of an amplifier package including a variable matching circuit using a ferroelectric according to the present invention.

증폭기 패키지의 내부는 GaN, GaAs, Si 등의 전력 소자와 본 발명에 따른 입출력 정합회로에 필요한 가변 커패시터, 인덕터 및 전송선로(Transmission Line) 등으로 구성될 수 있다.The interior of the amplifier package may be composed of a power device such as GaN, GaAs, Si, and the like variable capacitor, inductor and transmission line (Transmission Line) required for the input-output matching circuit according to the present invention.

도 2에서 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 증폭기 패키지는, 입력 포트(100)와, 상기 입력포트와 트랜지스터(220)를 양쪽 패드로 하여 세선용접(Bond Wire) 형태로 구성된 제 1 인덕터(210)와, 패키지 기판 위에 증착된 강유전체(300) 위에 도체 패턴을 적층한 가변 커패시터(240)와, 상기 가변 커패시터와 트랜지스터(220)를 양쪽 패드로 하여 세선용접(Bond Wire) 형태로 구성된 제 2 인덕터(230)와, 상기 강유전체 위에 도체 패턴을 적층하여 구성되고 일측면은 출력부와 연결된 출력포트(400) 및 상기 가변 커패시터(240)와 상기 출력포트(400)를 양쪽 패드로 하여 세선용접(Bond Wire) 형태로 구성된 제 3 인덕터(250)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 2, the amplifier package according to the present invention includes a first inductor 210 having an input port 100 and a pad having both input ports and transistors 220 as pads. ), A second inductor having a variable capacitor 240 in which a conductor pattern is stacked on the ferroelectric layer deposited on the package substrate, and a thin wire welding type using both the variable capacitor and the transistor 220 as pads. 230 and a conductor pattern formed on the ferroelectric layer, and one side of the wire is a thin wire welding using an output port 400 connected to an output part and the variable capacitor 240 and the output port 400 as both pads. And a third inductor 250 having a wire shape.

상기 가변 커패시터는, 외부에서 바이어스 전압을 인가하는 경우 상기 강유전체 기판(300)의 유전율을 변화시키고 그에 따라 커패시터(230)의 용량을 변화시킬 수 있는 가변 커패시터이다.The variable capacitor is a variable capacitor capable of changing the dielectric constant of the ferroelectric substrate 300 and changing the capacitance of the capacitor 230 when an external bias voltage is applied.

이때, 상기 강유전체로 고주파 영역에서 높은 유전율과 낮은 유전손실의 특성을 가지는 BST(Barium-Strontium-titanate)를 이용하는 것이 바람직하다. In this case, it is preferable to use Barium-Strontium-titanate (BST) having high dielectric constant and low dielectric loss in the high frequency region as the ferroelectric.

이러한 상기 강유전체(예컨대 BST)를 MOCVD, Sputtering, PLD 등의 방법을 이용하여 증착할 수 있으며, 이때 산화마그네슘(MgO), 사파이어(Sapphire) 등의 기 판(Substrate) 위에 박막(Thin Film)으로 증착할 수 있다. 또한, 그린 시트(Green Sheet) 형태의 후막(Thick Film)으로 증착함으로써 상대적으로 저가인 LTCC 형태로도 구현이 가능하다. The ferroelectric (for example, BST) may be deposited using a method such as MOCVD, Sputtering, PLD, etc., in which a thin film is deposited on a substrate such as magnesium oxide (MgO) or sapphire (Sapphire). can do. In addition, it is possible to implement a relatively low-cost LTCC form by depositing a thick film in the form of a green sheet.

상기 가변 커패시터를 구현하는 방법으로는 Metal Insulator Metal(MIM) 방식과 Interdigital 방식이 있다. Metal Insulator Metal(MIM) 방식은 금속 기반 커패시터 제작 기술로서 커패시터의 가변율 및 비선형성을 증대시킬 수 있으나 공정이 까다롭고, Interdigital 방식은 제작 공정이 용이하고 선형성이 높으나 가변율이 비교적 낮은 단점을 지닌 커패시터 제작기술이다. 따라서 적용 분야에 따라 가변 커패시터의 구현을 효과적으로 달리 할 필요성이 존재한다.Methods of implementing the variable capacitor include a metal insulator metal (MIM) method and an interdigital method. Metal Insulator Metal (MIM) method is a metal-based capacitor manufacturing technology that can increase the variable rate and nonlinearity of capacitors, but it is difficult to process. Interdigital method has the disadvantage of easy manufacturing process and high linearity but low variable rate. Capacitor manufacturing technology. Therefore, there is a need to effectively vary the implementation of the variable capacitor according to the application.

상기 세선용접(Bond Wire)된 인덕터는 패드와 패드 사이의 길이, 와이어의 두께, 높이 및 재질 중 적어도 어느 하나를 변동함으로써 인덕턴스 값을 조정할 수 있는 것이 바람직하다. The inducted wired (Bond Wire) it is preferable that the inductance value can be adjusted by varying at least one of the length, the thickness, the height and the material between the pad and the pad.

도 3은 사파이어에 BST를 증착한 가변 커패시터의 실시예를 도시하는 개략도이고, 도 4는 도 3에 도시된 가변 커패시터의 특성 그래프이다.FIG. 3 is a schematic diagram showing an embodiment of a variable capacitor in which BST is deposited on sapphire, and FIG. 4 is a characteristic graph of the variable capacitor shown in FIG.

도 3에 도시된 바와 같이, 패키지 기판(Substrate) 위에 BST를 증착하고(BST Layer), 그 위에 도체 전극(Top Electrode)를 적층하여 본 발명에 따른 가변 커패시터를 실시할 수 있다.As shown in FIG. 3, a variable capacitor according to the present invention may be implemented by depositing BST on a package substrate (BST Layer) and stacking a conductor electrode (Top Electrode) thereon.

전술한 도 3에 도시된 가변 커패시터는, 도 4의 그래프와 같이, 외부 바이어스 전압을 증가시킬수록 BST의 유전율은 낮아지고 낮아진 유전율은 커패시터의 용 량값을 축소시키는 특성을 지닌다. 이렇게 커패시터의 용량을 가변시킴으로써 회로 전체의 인덕턴스를 변경시킬 수 있다. In the variable capacitor illustrated in FIG. 3, as shown in the graph of FIG. 4, as the external bias voltage is increased, the dielectric constant of BST is lowered, and the lower dielectric constant has a characteristic of reducing the capacitance of the capacitor. By varying the capacitance of the capacitor in this way, the inductance of the entire circuit can be changed.

이러한 가변 커패시터를 구현하는 방법은, 전술한 바와 같이, MIM (Metal Insulator Metal) 방식과 Interdigital 방식이 있다. As described above, a method of implementing such a variable capacitor includes a metal insulator metal (MIM) method and an interdigital method.

전술한 가변 커패시터, 세선용접(Bond Wire)된 인덕터, 가변 전송전로(Transmission Line)등을 통해 기본적인 정합(Matching) 구조인 PI 정합회로 또는 T 정합회로(Matching Network)를 구성할 수 있다. Through the above-described variable capacitor, a thin wire welded inductor, and a variable transmission line, a PI matching circuit or a T matching circuit, which is a basic matching structure, may be configured.

도 5는 강유전체를 이용한 내부 가변 정합회로의 등가회로에 대한 일실시예를 나타내는 블록 다이어그램이다.5 is a block diagram illustrating an embodiment of an equivalent circuit of an internal variable matching circuit using ferroelectrics.

본 실시예에 따른 정합회로는, 베이스 단은 입력 포트와 연결되고 이미터 단은 접지된 트랜지스터, 상기 트랜지스터의 컬렉터 단과 일단부가 연결된 제 1 커패시터, 상기 제 1 커패시터의 타단부와 직렬로 연결된 인덕터, 상기 인덕터의 타단부와 일단부가 직렬 연결되고 타단부는 출력 포트와 연결된 제 4 커패시터, 상기 제 1 커패시터 및 상기 인덕터와 일단부가 병렬 연결되고 타단부는 접지된 제 2 가변 커패시터 및 상기 제 4 커패시터 및 상기 인덕터와 일단부가 병렬 연결되고 타단부는 접지된 제 3 가변 커패시터로 구성된다.In the matching circuit according to the present embodiment, a base end is connected to an input port and an emitter end is a grounded transistor, a first capacitor having one end connected to a collector end of the transistor, an inductor connected in series with the other end of the first capacitor, A fourth capacitor having the other end and one end of the inductor connected in series and the other end of the inductor connected to an output port, the second variable capacitor and the fourth capacitor having one end connected in parallel with the first end of the inductor and the other end of which is grounded; The inductor and one end thereof are connected in parallel, and the other end thereof includes a third variable capacitor grounded.

도 6은 강유전체를 이용한 내부 가변 정합회로의 등가회로에 대한 제이실시 예를 나타내는 블록 다이어그램이다.6 is a block diagram illustrating a second embodiment of an equivalent circuit of an internal variable matching circuit using ferroelectrics.

본 실시예에 따른 정합회로의 구성은, 도시된 바와 같이, 베이스 단은 입력 포트과 연결되고 이미터 단은 접지된 트랜지스터, 상기 트랜지스터의 컬렉터 단과 일단부가 연결된 제 1 가변 커패시터, 상기 제 1 가변 커패시터의 타단부와 일단부가 연결되고 타단부는 출력 포트와 연결된 제 2 기뱐 커패시터 및 상기 제 1 커패시터 및 제 2 커패시터와 일단부가 연결되고 타단부는 접지된 인덕터를 포함하여 구성되며, 이때 상기 제 1 커패시터 및 제 2 커패시터와 인덕터가 티(T) 네트워크를 이루도록 구성된다.The configuration of the matching circuit according to the present embodiment, as shown, the base terminal is connected to the input port and the emitter terminal is grounded transistor, the first variable capacitor connected to the collector terminal and one end of the transistor, the first variable capacitor The second end is connected to one end and the other end is connected to the output port and the second capacitor and the first capacitor and the second capacitor and the other end is configured to include a grounded inductor, wherein the first capacitor and The second capacitor and the inductor are configured to form a tee network.

도 7은 LC 공진회로를 포함한 강유전체를 이용한 내부 가변 정합회로의 등가회로를 나타내는 블록 다이어그램이다.7 is a block diagram showing an equivalent circuit of an internal variable matching circuit using a ferroelectric including an LC resonant circuit.

LC 공진회로를 포함한 내부 가변 정합회로는, 베이스 단은 입력 포트과 연결되고 이미터 단은 접지된 트랜지스터, 상기 트랜지스터의 컬렉터 단과 일단부가 연결된 제 1 인덕터(L1), 상기 제 1 인덕터의 타단부와 일단부가 연결되고 타단부는 접지된 제 1 가변 커패시터(C1), 상기 트랜지스터의 컬렉터 단과 일단부가 연결된 제 2 인덕터(L2), 상기 제 2 인덕터의 타단부와 일단부가 연결된 제 3 인덕터(L3) 및 상기 제 2 인덕터 및 제 3 인덕터와 일단부가 연결되고 타단부는 접지된 제 2 가변 커패시터(C2)를 포함하여 구성된다.An internal variable matching circuit including an LC resonant circuit includes a transistor having a base end connected to an input port and an emitter end grounded, a first inductor L1 having one end connected to a collector end of the transistor, and another end and one end of the first inductor. A first variable capacitor C1 connected to the other end and grounded, a second inductor L2 having one end connected to a collector end of the transistor, a third inductor L3 having one end connected to the other end of the second inductor, and the One end of the second inductor and the third inductor is connected, and the other end includes a second variable capacitor C2 grounded.

제 1 가변 커패시터(C1)는 제 1 인덕터(L1)과 결합하여 2차 고조파에서의 임피던스를 0으로 만들어서 제거하게 되는데, 이때 온도 등의 외부 환경변화에 따라 중심 주파수가 변하게 되면 제 1 가변 커패시터(C1)의 커패시턴스도 변화시켜 변화된 2차 고조파를 제거시킬 수 있다. The first variable capacitor C1 is combined with the first inductor L1 to remove the impedance of the second harmonic to zero, and when the center frequency is changed by an external environment change such as temperature, the first variable capacitor C1 is removed. The capacitance of C1) can also be changed to eliminate the changed second harmonic.

또한, 제 2 가변 커패시터(C2)는 제 2 인덕터(L2) 및 제 3 인덕터(L3) 등과 결합하여 전력 증폭기의 최대 출력이 나올 수 있도록 임피던스 정합을 시키게 되고, 이때 제 2 가변 커패시터(C2)를 변화시킴으로써 변화된 밴드의 정합이 가능하게 된다. In addition, the second variable capacitor C2 is coupled to the second inductor L2 and the third inductor L3 to match the impedance so that the maximum output of the power amplifier can be obtained. In this case, the second variable capacitor C2 is By changing, the matching of the changed bands is possible.

세선용접(Bond Wire)를 통한 인덕터의 구현뿐만 아니라, 인덕터 및 커패시터를 이용한 공진회로 형태를 취함으로써 가변 커패시터를 변화시켜 전체 인덕턴스를 변화할 수 있는 형태로 가변 인턱터를 구현할 수도 있다.In addition to the implementation of the inductor through the thin wire (Bond Wire), by taking the form of a resonant circuit using an inductor and a capacitor, the variable inductor can be implemented in a form that can change the overall inductance by changing the variable capacitor.

이상에서 도면을 기초로 본 발명의 실시 예 등을 상세히 설명하였다. 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자는 전술한 상세한 설명 및 도면으로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예를 수행할 수 있을 것이므로, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 이하의 특허청구범위를 기초로하여 정하여지는 본 발명의 기술적 사상의 범위 및 그와 균등한 실시예를 포함하는 것은 자명할 것이다.The embodiments of the present invention have been described above in detail based on the drawings. Those skilled in the art will be able to perform various modifications and equivalent other embodiments from the foregoing detailed description and drawings, and thus the true technical protection scope of the present invention is defined based on the following claims. It will be apparent to those skilled in the art that the scope of the present invention and equivalent embodiments thereof are included.

도 1a 및 도 1b은 종래 기술에 의한 종래기술에 의한 가변 정합회로의 실시예를 나타내는 개략도.1A and 1B are schematic diagrams showing an embodiment of a variable matching circuit according to the prior art according to the prior art.

도 2는 본 발명에 따른 강유전체를 이용한 가변 정합회로를 포함하는 증폭기 패키지의 구체적인 일실시예를 도시하는 구성도.Figure 2 is a block diagram showing a specific embodiment of the amplifier package including a variable matching circuit using a ferroelectric according to the present invention.

도 3은 사파이어에 BST를 증착한 가변 커패시터의 실시예를 도시하는 개략도.3 is a schematic diagram showing an embodiment of a variable capacitor in which BST is deposited on sapphire.

도 4는 도 3에 도시된 가변 커패시터의 특성 그래프.4 is a characteristic graph of the variable capacitor shown in FIG.

도 5는 강유전체를 이용한 내부 가변 정합회로의 등가회로에 대한 일실시예를 나타내는 블록 다이어그램.5 is a block diagram illustrating an embodiment of an equivalent circuit of an internal variable matching circuit using ferroelectrics.

도 6은 강유전체를 이용한 내부 가변 정합회로의 등가회로에 대한 제이실시예를 나타내는 블록 다이어그램.6 is a block diagram illustrating a second embodiment of an equivalent circuit of an internal variable matching circuit using ferroelectrics.

도 7은 LC 공진회로를 포함한 강유전체를 이용한 내부 가변 정합회로의 등가회로를 나타내는 블록 다이어그램.7 is a block diagram showing an equivalent circuit of an internal variable matching circuit using a ferroelectric including an LC resonant circuit.

Claims (16)

패키지 내부에, Inside the package, 강유전체의 유전율을 변화시켜 커패시터의 용량값을 변화할 수 있는 가변 커패시터 및 가변 인덕터로 구성되는 가변 내부 정합회로Variable internal matching circuit consisting of a variable capacitor and a variable inductor that can change the capacitance of the capacitor by changing the dielectric constant of the ferroelectric 를 포함하되,Including, 상기 가변 커패시터는,The variable capacitor, 외부 바이어스 전압을 인가하면 상기 유전율이 변화하는 BST 재질의 강유전체를 패키지 기판 위에 적층한 것이고,When an external bias voltage is applied, a ferroelectric material of BST material whose dielectric constant changes is stacked on a package substrate. 상기 강유전체는,The ferroelectric is, 상기 패키지 기판 위에 MOCVD, PLD 및 Sputtering 중 어느 한 방법을 이용하여 박막으로 증착되는 방식 및 상기 패키지 기판 위에 그린 시트 형태의 후막으로 증착되는 방식 중 어느 한 방식으로 형성되고,It is formed by any one of the method of depositing a thin film on the package substrate using any one of the method of MOCVD, PLD and Sputtering and the method of depositing a thick film in the form of a green sheet on the package substrate, 상기 가변 인덕터는,The variable inductor, 패드와 패드 사이의 거리, 와이어의 두께, 높이 및 재질 중 적어도 어느 하나를 변동함으로써 인덕턴스 값을 조정할 수 있는 세선 용접 형태Fine-wire welding type that can adjust the inductance value by varying at least one of pad to pad distance, wire thickness, height and material 로 구성되는 것을 특징으로 하는 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기.An amplifier having a variable internal matching circuit using a ferroelectric, characterized in that consisting of. 삭제delete 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 강유전체는, 고주파 영역에서 높은 유전율과 낮은 유전손실 특성을 가지는 것The ferroelectric has high dielectric constant and low dielectric loss in high frequency region 을 특징으로 하는 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기.An amplifier having a variable internal matching circuit using a ferroelectric. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 패키지 기판은, MgO 기판 및 사파이어 기판 중 어느 하나인 것The package substrate is any one of an MgO substrate and a sapphire substrate 을 특징으로 하는 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기.An amplifier having a variable internal matching circuit using a ferroelectric. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 가변 커패시터는, 커패시터의 가변율 및 비선형성을 증대시키는 Metal Insulator Metal(MIM) 방식 및 선형성이 높고 제작이 용이한 Interdigital 방식 중 어느 하나로 제작된 것The variable capacitor is made of any one of a metal insulator metal (MIM) method for increasing the variable rate and nonlinearity of the capacitor and an interdigital method having high linearity and easy manufacturing. 을 특징으로 하는 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기.An amplifier having a variable internal matching circuit using a ferroelectric. 삭제delete 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 가변 내부 정합회로는, 상기 가변 커패시터 값을 변경시켜 정합회로 전체의 인덕턴스를 변경시키는 것Wherein the variable internal matching circuit, changing the value of the variable capacitor to change the inductance of the entire matching circuit. 을 특징으로 하는 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기.An amplifier having a variable internal matching circuit using a ferroelectric. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가변 정합회로는, 2개의 가변 커패시터 및 상기 2개의 가변 커패시터를 양쪽 패드로 하여 직렬연결된 인덕터를 포함하는 PI 네트워크로 구성된 것The variable matching circuit includes a PI network including two variable capacitors and an inductor connected in series with the two variable capacitors as pads. 을 특징으로 하는 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기.An amplifier having a variable internal matching circuit using a ferroelectric. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가변 정합회로는, 2개의 직렬연결된 가변 커패시터 및 상기 2개의 가변 커패시터와 병렬연결된 인덕터를 포함하는 T 네트워크로 구성된 것The variable matching circuit includes a T network including two series connected variable capacitors and an inductor connected in parallel with the two variable capacitors. 을 특징으로 하는 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기.An amplifier having a variable internal matching circuit using a ferroelectric. 제1항에 기재된 가변 내부 정합회로; 및A variable internal matching circuit according to claim 1; And 가변 커패시터와 가변 인덕터를 직렬연결하여 구성된 LC 공진회로;An LC resonant circuit configured by connecting a variable capacitor and a variable inductor in series; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로 및 LC 공진회로를 구비한 증폭기.An amplifier having a variable internal matching circuit and LC resonant circuit using a ferroelectric comprising a. 패키지 내부에,Inside the package, 입력포트(100)와 트랜지스터(220)를 양쪽 패드로 하여 세선용접 형태로 구성된 제 1 인덕터(210)와,A first inductor 210 having a thin wire welding form using the input port 100 and the transistor 220 as both pads, 패키지 기판 위에 증착된 강유전체(300) 위에 도체 패턴을 적층하여 구성한 가변 커패시터(240)와,A variable capacitor 240 formed by stacking a conductor pattern on the ferroelectric 300 deposited on the package substrate, 상기 가변 커패시터와 트랜지스터(220)를 양쪽 패드로 하여 세선용접 형태로 구성된 제 2 인덕터(230)와,A second inductor 230 having a thin wire welding form using both the variable capacitor and the transistor 220 as pads; 상기 가변 커패시터(240)와 출력포트(400)를 양쪽 패드로 하여 세선용접 형태로 구성된 제 3 인덕터(250)Third inductor 250 configured in a thin wire welding form using the variable capacitor 240 and the output port 400 as both pads. 를 포함하고,Including, 상기 가변 커패시터는,The variable capacitor, 외부 바이어스 전압을 인가하면 유전율이 변화하는 BST 재질의 강유전체를 패키지 기판 위에 적층한 것이고,When an external bias voltage is applied, a ferroelectric material of BST material whose dielectric constant changes is stacked on a package substrate. 상기 강유전체는,The ferroelectric is, 상기 패키지 기판 위에 MOCVD, PLD 및 Sputtering 중 어느 한 방법을 이용하여 박막으로 증착되는 방식 및 상기 패키지 기판 위에 그린 시트 형태의 후막으로 증착되는 방식 중 어느 한 방식으로 형성되고,It is formed by any one of the method of depositing a thin film on the package substrate using any one of the method of MOCVD, PLD and Sputtering and the method of depositing a thick film in the form of a green sheet on the package substrate, 상기 제1 내지 제3 인덕터 각각은,Each of the first to third inductors, 패드와 패드 사이의 거리, 와이어의 두께, 높이 및 재질 중 적어도 어느 하나를 변동함으로써 인덕턴스 값을 조정할 수 있는 상기 세선용접 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기 패키지.Amplifier package having a variable internal matching circuit using a ferroelectric, characterized in that the thin wire welding form that can adjust the inductance value by varying at least one of the distance between the pad, the thickness of the pad, the height and the material . 삭제delete 제14항에 있어서, 상기 강유전체는,The method of claim 14, wherein the ferroelectric, 고주파 영역에서 높은 유전율과 낮은 유전손실 특성을 가지는 것Having high permittivity and low dielectric loss in high frequency region 을 특징으로 하는 강유전체를 이용한 가변 내부 정합회로를 구비한 증폭기 패키지.An amplifier package having a variable internal matching circuit using a ferroelectric.
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