KR101015488B1 - Tester - Google Patents
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Abstract
메모리 뱅크마다 또한 블록 마다 불량 셀의 수를 기억하는 불량 카운트 메모리와, 메모리 뱅크마다 시험 대상 블록 내에서 검출된 불량 셀의 수를 기억하는 불량 카운트 레지스터와, 각 메모리 뱅크로부터 시험 대상 블록 내의 일부 페이지씩을 순차적으로 독출하는 메모리 독출부와, 메모리 독출부에 의해 각 페이지로부터 독출된 데이터를 기대값과 비교한 결과에 기초하여 각 페이지 내의 불량 셀을 검출하는 검출부와, 불량 셀이 검출된 페이지를 포함한 메모리 뱅크에 대응하는 불량 카운트 레지스터의 값을 검출된 불량 셀의 수만큼 증가시키는 불량 카운트부와, 시험 대상 블록 내의 각 페이지의 불량 검출을 끝낸 메모리 뱅크에 대응해 불량 카운트 레지스터에 기억된 불량 셀의 수를 불량 카운트 메모리 중에서의 해당 메모리 뱅크의 해당 시험 대상 블록에 대응하는 기억 영역에 기입하는 기입부를 포함하는 시험 장치를 제공한다.
시험 장치, 메모리 뱅크, 불량 셀, 리페어 처리
A bad count memory for storing the number of bad cells for each memory bank and for each block, a bad count register for storing the number of bad cells detected in the test target block for each memory bank, and some pages in the test target block from each memory bank. A memory reader that sequentially reads the data, a detector that detects defective cells in each page based on a result of comparing the data read from each page by the memory reader with an expected value, and a page where the defective cells are detected. A bad count unit for increasing the value of the bad count register corresponding to the memory bank included by the number of detected bad cells, and a bad cell stored in the bad count register corresponding to the memory bank which has finished detecting the bad of each page in the block to be tested. Number of bad count memory in the corresponding test of the corresponding memory bank A test apparatus including a writing unit for writing in a storage area corresponding to an upper block is provided.
Test Units, Memory Banks, Bad Cells, Repair Processing
Description
본 발명은 시험 장치에 관한 것이다. 특히 본 발명은, 복수의 메모리 뱅크를 가지는 피시험 메모리를 시험하는 시험 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a test apparatus. In particular, the present invention relates to a test apparatus for testing a memory under test having a plurality of memory banks.
근래, 플래시 메모리의 보급이 진행되고 있다. 플래시 메모리 등의 반도체 메모리는 1비트 단위의 데이터를 기억하는 다수의 메모리 셀을 포함한 메모리 셀 어레이를 가진다. 모든 메모리 셀을 양품으로 하는 것은 제조상 곤란한 것이어서 메모리 셀 어레이에는, 일부에 불량의 메모리 셀(불량 셀)이 포함된다. 여기에서, 반도체 메모리는 불량 셀과 치환하는 것을 목적으로 한 여분 메모리 셀(여분 셀)이 미리 설치되어 수율의 향상을 도모할 수 있다.Recently, the spread of flash memory is in progress. A semiconductor memory such as a flash memory has a memory cell array including a plurality of memory cells that store one bit of data. It is difficult to manufacture all the memory cells in good condition, and the memory cell array includes defective memory cells (bad cells) in part. Here, in the semiconductor memory, extra memory cells (extra cells) for the purpose of replacing the defective cells are provided in advance, so that the yield can be improved.
불량 셀을 여분 셀에 치환하는 처리는 메모리 리페어(또는 리던던시)로 불리며, 반도체 메모리의 시험 과정에서 수행된다. 메모리 리페어에서, 우선, 시험 장치는, 불량 셀이 메모리 셀 어레이 중의 어디에 포함되어 있는지를 검출한다. 다음으로, 시험 장치는 검출한 불량 셀을 어떻게 여분 셀과 치환할지를 정하는 구제해를 산출한다. 그리고, 시험 장치는, 산출한 구제해를 반도체 메모리에 피드백한다.The process of replacing a defective cell with a spare cell is called a memory repair (or redundancy), and is performed during the test of the semiconductor memory. In the memory repair, first, the test apparatus detects where a defective cell is included in the memory cell array. Next, the test apparatus calculates a solution for determining how to replace the detected defective cell with the spare cell. The test apparatus feeds back the calculated relief solution to the semiconductor memory.
또한, 복수의 메모리 셀 어레이를 가지는 복수 뱅크 형태의 플래시 메모리가 알려져 있다. 복수 뱅크 형태의 플래시 메모리는 각각의 메모리 셀 어레이에 대응 한 복수의 입출력 버퍼를 가지며, 복수의 메모리 셀 어레이에 대해서 병행하여 독출 또는 기입이 가능해지고 있다. 따라서, 복수 뱅크 형태의 플래시 메모리는 복수 뱅크 분의 데이터(즉, 복수 페이지 분의 데이터)를 병행해 기입 및 독출을 할 수 있다. 즉, 복수 뱅크 형태의 플래시 메모리는 데이터 전송량을 크게 할 수 있으므로 독출 및 기입를 고속화할 수가 있다.In addition, a flash memory of a plurality of bank types having a plurality of memory cell arrays is known. Flash banks in the form of a plurality of banks have a plurality of input / output buffers corresponding to the respective memory cell arrays, and read or write can be performed in parallel with the plurality of memory cell arrays. Therefore, the flash memory in the form of a plurality of banks can write and read data of a plurality of banks (that is, data of a plurality of pages) in parallel. In other words, the multi-bank type flash memory can increase the data transfer amount, thereby speeding up the read and write.
[발명이 해결하려자 하는 과제][Problems to Solve Invention]
그렇지만, 시험 장치는 복수 뱅크 형태의 플래시 메모리의 시험에 있어서, 복수 뱅크 형태의 이점인 복수 페이지 분의 병렬 독출 및 기입을 이용하면서 뱅크 마다 그리고 블록마다 고속으로 불량 셀의 수를 검출하는 것은 곤란했다.However, in the test of flash memory in the form of a multi-bank, it has been difficult for the test apparatus to detect the number of defective cells at a high rate per bank and block by block while using parallel read and write for multiple pages, which is an advantage of the multi-bank form. .
여기기서, 본 발명은, 상기의 과제를 해결할 수 있는 시험 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 목적은 청구의 범위에 있어서의 독립 항에 기재의 특징의 조합에 의해 달성된다. 또한, 종속항은 본 발명의 한층 더 유리한 구체적인 예를 규정한다.Here, an object of this invention is to provide the test apparatus which can solve the said subject. This object is achieved by a combination of the features described in the independent claims in the claims. The dependent claims also define further advantageous specific examples of the invention.
[과제를 해결하기 위한 수단][Means for solving the problem]
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제1 형태에 의하면, 복수의 메모리 뱅크를 가지는 피시험 메모리를 시험하는 시험 장치에 있어서, 메모리 뱅크마다 그리고 블록마다 불량 셀의 수를 기억하는 불량 카운트 메모리와, 메모리 뱅크마다 시험 대상 블록 내에서 검출된 불량 셀의 수를 기억하는 불량 카운트 레지스터와, 각 메모리 뱅크로부터 시험 대상 블록 내의 일부 페이지씩을 순차적으로 독출하는 메모리 독출부와, 메모리 독출부에 의해 각 페이지로부터 독출된 데이터를 기대값과 비교한 결과에 기초하여 각 페이지내의 불량 셀을 검출하는 검출부와, 불량 셀이 검출된 페이지를 포함한 메모리 뱅크에 대응하는 불량 카운트 레지스터의 값을 검출된 불량 셀의 수만큼 증가시키는 불량 카운트부와, 시험 대상 블록 내의 각 페이지의 불량 검출을 끝낸 메모리 뱅크에 대응해 불량 카운트 레지스터에 기억된 불량 셀의 수를 불량 카운트 메모리 중에서의 해당 메모리 뱅크의 해당 시험 대상 블록에 대응하는 기억 영역에 기입하는 기입부를 포함하는 시험 장치를 제공한다.In order to solve the above problems, according to a first aspect of the present invention, there is provided a test apparatus for testing a memory under test having a plurality of memory banks, comprising: a bad count memory for storing the number of defective cells for each memory bank and for each block; Each memory bank includes a bad count register for storing the number of defective cells detected in the block to be tested, a memory reader for sequentially reading some pages in the block to be tested from each memory bank, and a memory reader. A detection unit for detecting a defective cell in each page based on a result of comparing the data read from the page with the expected value, and a value of the defective count register corresponding to the memory bank including the page in which the defective cell is detected. A defect counting unit that increases by a number and detects defects of each page in the block to be tested; A test apparatus including a writing unit for writing the number of defective cells stored in the defective count register in correspondence with the completed memory bank in a storage area corresponding to the test target block of the memory bank in the defective count memory.
본 발명의 제2 형태에 의하면, 복수의 메모리 뱅크를 가지는 피시험 메모리를 시험하는 시험 장치에 있어서, 메모리 뱅크마다 그리고 블록마다, 불량 셀의 수를 기억하는 불량 카운트 메모리와, 각 메모리 뱅크로부터 일부 페이지씩을 순차적으로 독출하는 메모리 독출부와, 메모리 독출부에 의해 각 페이지로부터 독출된 데이터를 기대값과 비교한 결과에 기초하여 각 페이지내의 불량 셀을 검출하는 검출부와, 페이지마다 순차적으로 검출된 불량 셀의 수를 계수하는 불량 카운트부와, 페이지마다 순차적으로 해당 페이지에 대응하는 메모리 뱅크 및 블록에 대해서 불량 카운트 메모리에 기억된 불량 셀의 수를 불량 카운트부에 의해 계수된 불량 셀의 수만큼 증가시킨 값으로 갱신하는 갱신부를 포함하는 시험 장치를 제공한다.According to the second aspect of the present invention, in a test apparatus for testing a memory under test having a plurality of memory banks, a defective count memory for storing the number of defective cells for each memory bank and for each block, and a part of each memory bank. A memory reader that sequentially reads the pages one by one, a detector that detects the defective cells in each page based on a result of comparing the data read from each page by the memory reader with an expected value, and sequentially detected each page The bad count unit that counts the number of bad cells, and the number of bad cells stored in the bad count memory for the memory banks and blocks corresponding to the page sequentially for each page, are as many as the bad cells counted by the bad count unit. A test apparatus including an update unit for updating to an increased value is provided.
더하여, 상기의 발명의 개요는 본 발명의 필요한 특징의 모두를 열거한 것이 아니고, 이러한 특징군의 서브 콤비네이션도 또한 발명이 될 수 있다.In addition, the above summary of the invention does not enumerate all of the necessary features of the present invention, and subcombinations of these groups of features may also be inventions.
도 1은 본 발명의 실시 형태와 관련되는 시험 장치(10)의 구성을 피시험 메모리(500)과 함께 도시한다.1 shows a configuration of a
도 2는 피시험 메모리(500)의 구성의 일례를 나타낸다.2 shows an example of the configuration of the memory under
도 3은 피시험 메모리(500)의 메모리 뱅크(502)의 논리 구성의 일례 및 패턴 발생기(18)의 논리 구성을 나타낸다.3 shows an example of the logic configuration of the
도 4는 본 발명의 실시 형태와 관련되는 시험 장치(10)의 독출 시험의 동작 플로우를 나타낸다.4 shows an operation flow of a read test of the
도 5는 도 4에 나타낸 플로우를 실행했을 경우에 있어서의 본 실시 형태와 관련되는 시험 장치(10)의 데이터 독출 순서를 나타낸다.FIG. 5 shows a data reading procedure of the
도 6은 본 발명의 실시 형태의 제1 변형예와 관련되는 시험 장치(10)의 구성을 피시험 메모리(500)과 함께 도시한다.FIG. 6 shows the configuration of the
도 7은 피시험 메모리(500)의 메모리 뱅크(502)의 논리 구성의 일례 및 제1 변형예와 관련되는 패턴 발생기(18)의 논리 구성을 나타낸다.7 shows a logic configuration of the
도 8은 본 발명의 실시 형태의 제2 변형예와 관련되는 시험 장치(10)의 구성을 피시험 메모리(500)과 함께 도시한다.8 shows the configuration of the
도 9는 본 발명의 실시 형태의 제3 변형예와 관련되는 시험 장치(10)의 구성을 피시험 메모리(500)과 함께 도시한다.9 shows the configuration of the
[부호의 설명][Description of the code]
10 시험 장치10 test device
12 불량 카운트 메모리12 bad count memory
14 메모리 독출부14 memory reader
16 불량 셀 수 검출 회로16 bad cell count detection circuit
18 패턴 발생기18 pattern generator
20 불량 카운트 레지스터20 bad count register
22 검출부22 detector
24 불량 카운트부24 bad count
28 기입부28 entry
30 불량 셀 레지스터30 bad cell registers
32 비교기32 comparator
34 비트 가산기34 bit adder
36 멀티플렉서36 multiplexer
38 증가부38 increments
48 어드레스 변환부48 Address Conversion Section
50 실렉터50 selector
60 갱신부60 update departments
64 갱신 처리부64 update processing unit
500 피시험 메모리500 Test Memory
502 메모리 뱅크502 memory bank
512 IO 단자512 IO terminal
514 제어 단자514 control terminal
516 RY/BY 단자516 RY / BY jack
522 스테이터스 레지스터522 status registers
524 어드레스 레지스터524 address register
526 커맨드 레지스터526 command register
528 입출력 컨트롤 회로528 input and output control circuit
530 동작 로직 컨트롤러530 motion logic controller
532 제어 회로532 control circuit
540 메모리 셀 어레이540 memory cell array
542 칼럼 어드레스 디코더542 column address decoder
544 로우 어드레스 디코더544 Row Address Decoder
546 데이터 레지스터546 data registers
548 증폭기548 amplifier
이하, 발명의 실시 형태를 통해서 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 청구의 범위에 포함되는 발명을 한정하는 것이 아니고, 또한 실시 형태 중에 설명되는 특징의 조합 모두가 발명의 해결 수단에 필수적인 것으로는 한정되지 않는다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although this invention is demonstrated through embodiment of invention, the following embodiment does not limit invention contained in a claim, and all the combination of the characteristics demonstrated in embodiment is essential for the solution of this invention. Is not limited.
도 1은 본 실시 형태와 관련되는 시험 장치(10)의 구성을 피시험 메모리(500)와 함께 도시한다. 시험 장치(10)는 복수의 메모리 뱅크(502)를 가지는 피시험 메모리(500)를 시험한다. 피시험 메모리(500)는, 일례로서, 복수의 메모리 뱅크(502)를 가지는, 예를 들어, NAND 형의 플래시 메모리이어도 된다. 더욱 상세하게는, 시험 장치(10)는 피시험 메모리(500)에 포함되는 불량 셀의 수를 메모리 뱅크(502)마다 그리고 블록마다 검출한다. 검출된 블록마다의 불량 셀의 수는, 일례로서, 각 메모리 뱅크(502)에 대한 메모리 리페어를 위한 구제해의 산출 처리에 이용된다.1 shows the configuration of a
시험 장치(10)는 불량 카운트 메모리(12)와, 메모리 독출부(14)와, 불량 셀 수 검출 회로(16)와, 패턴 발생기(18)를 구비한다. 불량 카운트 메모리(12)는 메모리 뱅크(502)마다 또한 블록마다 피시험 메모리(500)에 포함되는 불량 셀의 수를 기억한다.The
메모리 독출부(14)는 각 메모리 뱅크(502)로부터 시험 대상 블록 내의 일부 페이지씩을 순차적으로 독출한다. 메모리 독출부(14)는, 일례로서, 각 메모리 뱅크(502)의 시험 대상 블록 내에 기억된 데이터를 1 페이지씩 순차적으로 독출하여도 된다. 패턴 발생기(18)는 메모리 독출부(14)에 의해 독출된 데이터의 기대값, 피시험 메모리(500) 내의 시험 대상 블록의 어드레스 및 불량 셀 수 검출 회로(16)에 대한 제어 신호를 출력한다.The
불량 셀 수 검출 회로(16)는 메모리 독출부(14)에 의해 독출된 시험 대상 블록의 데이터에 기초하여 해당 시험 대상 블록 내에 포함되는 불량 셀의 수를 검출하고 검출 결과를 불량 카운트 메모리(12)에 기입한다. 불량 셀 수 검출 회로(16)는 불량 카운트 레지스터(20)와, 검출부(22)와, 불량 카운트부(24)와, 기입부(28)를 가진다.The defective cell
불량 카운트 레지스터(20)는 메모리 뱅크(502)마다 시험 대상 블록 내에서 검출된 불량 셀의 수를 기억한다. 불량 카운트 레지스터(20)는, 일례로서, 복수의 메모리 뱅크(502)에 일대일로 대응하는 복수의 불량 셀 레지스터(30)를 포함해도 된다. 복수의 불량 셀 레지스터(30)는 대응하는 메모리 뱅크(502) 내의 시험 대상 블록으로 검출된 불량 셀의 수를 기억한다. 복수의 불량 셀 레지스터(30)는, 예를 들어, 패턴 발생기(18)로부터의 제어 신호 등에 기초하여 시험 대상 블록 내의 불량 셀의 검출에 앞서(예를 들어, 시험 대상 블록의 1번째의 페이지의 독출 전에), 기억하는 불량 셀의 수를 초기값(예를 들어, 0)으로 리셋트해도 된다.The
검출부(22)는 메모리 독출부(14)에 의해 각 페이지로부터 독출된 데이터를 기대값과 비교한 결과에 기초하여 각 페이지 내의 불량 셀을 검출한다. 검출부(22)는, 일례로서, 비교기(32)와 비트 가산기(34)를 포함해도 된다. 비교기(32)는 메모리 독출부(14)에 의해 각 페이지로부터 독출된 독출 데이터와 패턴 발생기(18)에 의해 발생된 기대값을 비트 단위로 비교 한다. 비트 가산기(34)는 독출 데이터와 기대값이 일치하지 않았던 비트(즉, 불량의 비트)를 IO 방향으로 가산한다. 그리고, 비트 가산기(34)는 가산 결과를 해당 페이지 내의 불량 셀의 수로서 출력한다.The
불량 카운트부(24)는 불량 셀이 검출된 페이지를 포함한 메모리 뱅크(502)에 대응하는 불량 카운트 레지스터(20)의 값을 검출된 불량 셀의 수만큼 증가시킨다. 불량 카운트부(24)는, 일례로서, 멀티플렉서(36)와 복수의 메모리 뱅크(502)에 일대일로 대응한 복수의 증가부(38)을 포함해도 된다. 멀티플렉서(36)는, 예를 들 어, 패턴 발생기(18)로부터의 제어 신호 등에 기초하여 불량 셀이 검출된 페이지를 포함한 메모리 뱅크(502)에 대응하는 증가부(38)을 선택한다. 그리고, 멀티플렉서(36)는 검출부(22)에 의한 페이지 내의 불량 셀의 검출 결과를 선택한 증가부(38)에 출력한다. 멀티플렉서(36)에 의해 선택된 증가부(38)는 대응하는 불량 셀 레지스터(30)에 기억된 값을 검출부(22)에 의해 검출된 해당 페이지 내의 불량 셀의 수만큼 증가시킨다.The
기입부(28)는 시험 대상 블록 내의 각 페이지의 불량 검출을 끝낸 메모리 뱅크(502)에 대응해 불량 카운트 레지스터(20)에 기억된 불량 셀의 수를 불량 카운트 메모리(12) 중에서의 해당 메모리 뱅크(502)의 해당 시험 대상 블록에 대응하는 기억 영역에 기입한다. 기입부(28)는, 일례로서, 어드레스 변환부(48)와 실렉터(50)를 포함해도 된다.The
어드레스 변환부(48)는 불량 카운트 메모리(12) 중에서의 시험 대상 블록 내의 각 페이지의 불량 검출을 끝낸 메모리 뱅크(502)의 해당 시험 대상 블록에 대응 하는 기억영역을 지정하는 어드레스를 출력한다. 어드레스 변환부(48)는, 일례로서, 패턴 발생기(18)에 의해 출력된 피시험 메모리(500) 중의 시험 대상 블록의 어드레스를 불량 카운트 메모리(12) 중에서의 대응하는 어드레스로 변환해도 된다. 실렉터(50)는 시험 대상 블록 내의 각 페이지의 불량 검출을 끝낸 메모리 뱅크(502)에 대응하는 불량 셀 레지스터(30)을 선택한다. 그리고, 실렉터(50)는 선택한 불량 셀 레지스터(30)에 기억된 불량 셀의 수를, 어드레스 변환부(48)에 의해 지정된 불량 카운트 메모리(12) 중에서의 기억 영역에 기입한다.The
도 2는 피시험 메모리(500)의 구성의 일례를 나타낸다. 피시험 메모리(500)는, 일례로서, 복수의 메모리 뱅크(502)와, 스테이터스 레지스터(522)와, 어드레스 레지스터(524)와, 커맨드 레지스터(526)와, 입출력 컨트롤 회로(528)와, 동작 로직 컨트롤러(530)와, 제어 회로(532)를 구비한다.2 shows an example of the configuration of the memory under
복수의 메모리 뱅크(502)의 각각은 메모리 셀 어레이(540)와, 칼럼 어드레스 디코더(542)와, 로우 어드레스 디코더(544)와, 데이터 레지스터(546)와, 증폭기(548)를 가진다. 메모리 셀 어레이(540)는 데이터를 1비트 단위로 기억하는 메모리 셀의 집합이다. 칼럼 어드레스 디코더(542)는 어드레스 레지스터(524)에 격납된 어드레스에 기초하여 메모리 셀 어레이(540)의 칼럼 방향의 어드레스를 지정 한다. 로우 어드레스 디코더(544)는 어드레스 레지스터(524)에 격납된 어드레스에 기초하여 메모리 셀 어레이(540)의 로우 방향의 어드레스를 지정한다. 데이터 레지스터(546)는 메모리 셀 어레이(540)에 대해서 기입해야 할 기입 데이터 및 메모리 셀 어레이(540)로부터 독출된 독출 데이터를 IO 단자(512)에 의한 입출력 데이터 단위(예를 들어, 8비트)로 일시적으로 격납한다.Each of the plurality of
증폭기(548)는 기입 명령이 주어졌을 경우, 데이터 레지스터(546)에 격납된 기입 데이터를 메모리 셀 어레이(540) 내의 칼럼 어드레스 디코더(542) 및 로우 어드레스 디코더(544)에 의해 지정된 메모리 셀에 기입한다. 또한, 증폭기(548)는 독출 명령이 주어졌을 경우, 메모리 셀 어레이(540) 내의 칼럼 어드레스 디코더(542) 및 로우 어드레스 디코더(544)에 의해 지정된 메모리 셀로부터 데이터를 독출하여, 독출 데이터로서 데이터 레지스터(546)에 격납한다.The
스테이터스 레지스터(522)는 해당 피시험 메모리(500)의 동작 상태를 나타내는 스테이터스 정보를 격납한다. 어드레스 레지스터(524)는 기입 데이터의 기입처를 나타내는 어드레스 및 독출 데이터의 독출원을 나타내는 어드레스를 격납한다. 커맨드 레지스터(526)는 해당피시험 메모리(500)에 대한 동작을 지시하는 동작 커맨드를 격납한다.The status register 522 stores status information indicating an operating state of the memory under
입출력 컨트롤 회로(528)는 기입시에 IO 단자(512)를 통해서 외부로부터 입력한 기입 데이터를 메모리 뱅크(502)의 데이터 레지스터(546)에 격납한다. 입출력 컨트롤 회로(528)는 독출시에 메모리 뱅크(502)의 데이터 레지스터(546)로부터 독출된 독출 데이터를 IO 단자(512)를 통해서 외부에 출력한다. 입출력 컨트롤 회로(528)는 IO 단자(512)를 통해서 외부로부터 입력한 어드레스를 어드레스 레지스터(524)에 격납한다. 입출력 컨트롤 회로(528)는 IO 단자(512)를 통해서 외부로부터 입력한 동작 커맨드를 커맨드 레지스터(526)에 격납한다. 입출력 컨트롤 회로(528)는 스테이터스 레지스터(522)에 격납된 스테이터스를 IO 단자(512)를 통해서 외부에 출력한다.The input /
동작 로직 컨트롤러(530)는 제어 단자(514)를 통해서 외부로부터 입력한 각 제어 커맨드를 입출력 컨트롤 회로(528) 및 제어 회로(532)에 공급한다. 제어 회로(532)는 동작 커맨드 및 제어 커맨드에 따라 기입 명령 및 독출 명령 등을 출력함으로써 복수의 메모리 뱅크(502)의 각각의 동작을 제어한다. 또한, 제어 회로(532)는 해당 피시험 메모리(500)가 레디(ready) 상태 또는 비지(busy) 상태를 나타내는 RY/BY 신호를, RY/BY 단자(516)를 통해서 외부에 출력한다.The
이상과 같은 피시험 메모리(500)는 독출시에 리드 커맨드 및 어드레스가 외부로부터 IO 단자(512)를 통해서 주어진다. 그리고, 피시험 메모리(500)는 주어진 어드레스에 기억하고 있는 데이터를 페이지 단위로 IO 단자(512)를 통해서 외부에 출력한다. 더하여, 동일한 메모리 뱅크(502) 내의 2개의 페이지에 기록된 데이터를 독출해야 할 리드 커맨드가 주어졌을 경우, 피시험 메모리(500)는 앞의 페이지의 데이터를 출력하고 소정의 독출 마진 시간(예를 들어, 25μ초 정도)을 경과한 후에 다음 페이지의 데이터를 출력한다. 그러나, 피시험 메모리(500)는 다른 메모리 뱅크(502) 내의 2개의 페이지에 기록된 데이터를 독출해야 할 리드 커맨드가 주어졌을 경우, 피시험 메모리(500)는 앞의 페이지의 데이터를 출력하고 소정의 독출 마진 기간을 경과하기 전에 다음 페이지의 데이터를 출력할 수 있다.In the memory under
또한, 피시험 메모리(500)는 기입시에 라이트 커맨드, 기입 데이터 및 어드레스가 외부로부터 IO 단자(512)를 통해서 주어진다. 그리고, 피시험 메모리(500)는 주어진 어드레스에 대해서 페이지 단위로 기입 데이터를 기입한다. 더하여, 동일한 메모리 뱅크(502)내의 2개의 페이지에 대해서 데이터를 기입해야 할 라이트 커맨드가 주어졌을 경우, 피시험 메모리(500)는 앞의 페이지의 데이터를 입력 해 소정의 기입 마진 기간(예를 들어, 100μ초 정도)을 경과한 후에 다음 페이지의 데이터를 입력한다. 그러나, 피시험 메모리(500)는 다른 메모리 뱅크(502)의 2개의 페이지에 대해서 데이터를 기입해야 할 라이트 커맨드가 주어졌을 경우, 피시험 메모리(500)는 앞의 페이지의 데이터를 입력하고 소정의 기입 마진 기간(예를 들어, 100μ초 정도)을 경과하기 전에, 다음의 페이지의 데이터를 입력할 수 있다.In addition, the memory under
도 3은 피시험 메모리(500)의 메모리 뱅크(502)의 논리 구성 및 패턴 발생기(18)의 논리 구성의 일례를 나타낸다. 피시험 메모리(500)가 가지는 복수의 메모리 뱅크(502)의 각각은 복수의 페이지를 가지는 복수의 블록을 구비한다.3 shows an example of the logic configuration of the
복수의 블록의 각각은 고유의 블록 번호가 부여될 수 있다. 메모리 뱅크(502)는, 일례로서, 블록 0 ~ 블록 2047의 블록 번호가 부여된 2048개의 블록을 구비하여도 된다. 더하여, 복수의 메모리 뱅크(502)는 동일한 블록 번호가 부여된 복수의 블록을 구비하여도 되고 서로 다른 블록 번호가 부여된 복수의 블록을 구비하여도 된다. 예를 들어, 제1 메모리 뱅크(502-1)는 짝수의 블록 번호가 부여된 복수의 블록을 구비하고, 제2 메모리 뱅크(502-2)는 홀수의 블록 번호가 부여된 복수의 블록을 구비하여도 된다.Each of the plurality of blocks may be assigned a unique block number. As an example, the
페이지는 데이터의 기입 및 독출 단위이다. 복수의 페이지의 각각은 블록 내에서의 위치를 나타내는 페이지 번호가 부여될 수 있다. 복수의 블록의 각각은, 일례로서, 페이지 0 ~ 페이지 63을 부여할 수 있는 64개의 페이지를 가져도 된다.A page is a unit of writing and reading data. Each of the plurality of pages may be given a page number indicating a position in the block. Each of the plurality of blocks may have 64 pages to which
또한, 페이지는 각각이 복수의 칼럼을 포함한다. 페이지 내에서의 칼럼 수는 모든 페이지에 동일하다. 복수의 칼럼은 각각을 특정하는 칼럼 번호를 부여할 수 있다. 칼럼 번호는 모든 블록의 모든 페이지에 걸쳐 공통된다. 복수의 페이지의 각각은, 일례로서, 칼럼 0 ~ 칼럼 2047을 부여할 수 있는 2048개의 칼럼을 포함해도 된다.In addition, each page includes a plurality of columns. The number of columns in a page is the same for all pages. A plurality of columns can be given column numbers that specify each. Column numbers are common across all pages of every block. Each of the plurality of pages may include, for example, 2048 columns to which
하나의 페이지 내의 하나의 칼럼은 소정 수 비트의 기억 셀을 포함한다. 하나의 칼럼에 포함되는 복수의 기억 셀은 복수의 IO 단자(512)의 각각에 일대일로 대응한다. 하나의 페이지 내의 하나의 칼럼은, 일례로서, 8개의 기억 셀을 포함해도 된다.One column in one page contains a predetermined number of memory cells. The plurality of memory cells included in one column correspond one-to-one to each of the plurality of
더욱이 피시험 메모리(500)의 메모리 뱅크(502)는 복수의 리페어용 블록과 복수의 리페어용 칼럼을 구비한다. 리페어용 블록은 불량 셀을 포함한 블록에 대신해 이용된다. 리페어용 블록은 블록과 실질적으로 동일한 구성으로 이루어져 있어 메모리 리페어에 의해 임의의 하나의 블록과 치환될 수 있다.Furthermore, the
리페어용 칼럼은 불량 셀을 포함한 칼럼에 대신해 이용된다. 리페어용 칼럼은 모든 블록의 모든 페이지에 대해 동일 위치의 칼럼에 대응 하는 메모리 셀을 포함한 구성으로 이루어지고 있다. 리페어용 칼럼은 메모리 리페어에 의해 모든 블록의 모든 페이지에 대해 동일 위치의 하나의 칼럼과 일괄해 치환될 수 있다.The repair column is used in place of the column containing the defective cell. The repair column is configured to include memory cells corresponding to columns of the same position for all pages of all blocks. The repair column can be replaced by a memory repairer in a batch with one column at the same position for every page of every block.
불량 카운트 메모리(12)는 피시험 메모리(500)가 가지는 복수의 메모리 뱅크(502)마다 그리고 복수의 블록마다 분할된 복수의 기억 영역이 설치되고 있다. 불량 카운트 메모리(12)의 복수의 기억 영역의 각각은 대응하는 메모리 뱅크(502)의 대응하는 블록에 포함되는 불량 셀의 수를 격납한다. 따라서, 해당 시험 장치(10)가 피시험 메모리(500)의 모든 블록에 대해서 시험이 완료했을 경우, 불량 카운트 메모리(12)는 복수의 메모리 뱅크(502)마다 그리고 블록마다 그리고 불량 셀의 수를 기억한다.The
도 4는 본 실시 형태와 관련되는 시험 장치(10)의 독출 시험의 동작 플로우를 나타낸다. 우선, 시험 장치(10)는 복수의 메모리 뱅크(502)의 각각에서 블록을 순차적으로 1개씩 선택한다. 시험 장치(10)는 복수의 메모리 뱅크(502)의 각각에 서 선택한 블록을 시험 대상 블록으로서 이하의 단계 S1002로부터 단계 S1010의 처리를 실행한다(S1001, S1011). 다음으로, 불량 카운트 레지스터(20)는 메모리 뱅크(502)마다 기억하고 있는 불량 셀의 수의 각각을 초기값(예를 들어, 0)으로 리셋트 한다(S1002).4 shows an operation flow of a read test of the
다음으로, 시험 장치(10)는 시험 대상 블록 내의 페이지를 1개씩 순차적으로 선택하고 선택한 페이지에 대해 이하의 단계 S1004로부터 단계 S1008의 처리를 실행한다(S1003, S1009). 시험 장치(10)는, 일례로서, 시험 대상 블록 내의 페이지 0으로부터 오름차순으로 1씩 페이지를 선택해도 된다.Next, the
다음으로, 시험 장치(10)는 메모리 뱅크(502)를 1개씩 순차적으로 선택하고, 선택한 메모리 뱅크(502)에 대해 이하의 단계 S1005 및 단계 S1007의 처리를 실행한다(S1004, S1008). 처음에는, 메모리 독출부(14)는 선택된 메모리 뱅크(502)에서의 단계 S1001에서 선택된 시험 대상 블록 내의 단계 S1003에서 선택된 페이지에 기입되어 있는 데이터를 독출한다(S1005). 계속하여, 검출부(22)는 단계 S1005에서 독출한 데이터와 기대값을 비교하고, 비교 결과에 기초하여 해당 페이지 내의 불량 셀을 검출한다(S1006). 계속하여, 불량 카운트부(24)는 불량 카운트 레지스터(20) 내에서의 선택된 메모리 뱅크(502)에 대한 기억 영역의 값을 검출부(22)가 검출한 불량 셀의 수만큼 증가 시킨다(S1007). 시험 장치(10)는 모든 메모리 뱅크(502)에 대하여 단계 S1005로부터 단계 S1007의 처리의 실행을 마친 경우, 처리를 단계 S1009로 이동시킨다(S1008).Next, the
시험 장치(10)는 각 메모리 뱅크(502)의 시험 대상 블록 내의 모든 페이지에 대해, 단계 S1004로부터 단계 S1008의 처리의 실행을 마쳤을 경우, 처리를 단계 S1010으로 이동시킨다. 다음으로, 기입부(28)는 불량 카운트 레지스터(20)에 기억 된 복수의 메모리 뱅크(502)의 불량 셀의 수의 각각을 불량 카운트 메모리(12) 중에서의 대응하는 메모리 뱅크(502)의 시험 대상 블록에 대응하는 기억 영역에 기입한다(S1010). 그리고, 시험 장치(10)는 모든 블록에 대하여 이상의 단계 S1002로부터 단계 S1010까지의 처리의 실행을 마치면, 해당 독출 시험을 종료한다(S1011).The
도 5는 도 4에 나타낸 플로우를 실행했을 경우에서의 본 실시 형태와 관련되는 시험 장치(10)의 데이터 독출 순서를 나타낸다. 도 4에 나타낸 플로우에 의해 데이터를 독출함으로써 시험 장치(10)는 페이지마다 메모리 뱅크(502)를 바꾸어 데이터를 독출할 수 있다. 예를 들어, 피시험 메모리(500)가 제1 메모리 뱅크(502-1) 및 제2 메모리 뱅크(502-2)를 가지는 경우, 시험 장치(10)는 제1 메모리 뱅크(502-1)의 페이지 0 → 제2 메모리 뱅크(502-2)의 페이지 0 → 제1 메모리 뱅크(502-1)의 페이지 1 → 제2 메모리 뱅크(502-2)의 페이지 1 → … → 제1 메모리 뱅크(502-1)의 페이지 63 → 제2 메모리 뱅크(502-2)의 페이지 63 이라는 순서로 피시험 메모리(500)로부터 데이터를 독출할 수 있다. 이에 의해, 시험 장치(10)에 의하면 복수의 메모리 뱅크(502)로부터 병행해 데이터를 독출할 수 있으므로 불량 셀의 검출 기간을 짧게 할 수가 있다.FIG. 5 shows a data reading procedure of the
더욱이, 시험 장치(10)는 메모리 뱅크(502)마다 시험 대상 블록 내에서 검출된 불량 셀의 수를 기억하는 불량 카운트 레지스터(20)을 구비한다. 예를 들어, 불량 카운트 레지스터(20)는 제1 메모리 뱅크(502-1)에 대응하는 제1 불량 셀 레지 스터(30-1)와 제2 메모리 뱅크(502-2)에 대응하는 제2 불량 셀 레지스터(30-2)를 포함한다. 이에 의해, 시험 장치(10)에 의하면 복수의 메모리 뱅크(502)로부터 병행해 데이터를 독출하여도 복수의 메모리 뱅크(502)로부터 검출된 불량 셀을 별개에 기억할 수 있다. 이상과 같이 시험 장치(10)에 의하면, 복수 뱅크 형태의 피시험 메모리(500)로부터 뱅크마다 그리고 블록마다 고속으로 불량 셀의 수를 검출할 수 있다.Further, the
더하여, 시험 장치(10)는 페이지마다 메모리 뱅크(502)를 바꾸어 데이터를 독출하는 것에 대신해, 일부의 페이지마다(복수 페이지마다)에 메모리 뱅크(502)를 바꾸어 데이터를 독출하여도 된다. 무엇보다도, 피시험 메모리(500)가 플래시 메모리인 경우, 시험 장치(10)는 1 페이지마다 메모리 뱅크(502)를 바꾸어 데이터를 독출함으로써 검출 기간을 더욱 짧게 할 수 있다.In addition, instead of reading the data by changing the
도 6은 본 실시 형태의 제1 변형예와 관련되는 시험 장치(10)의 구성을 피시험 메모리(500)와 함께 도시한다. 도 7은 피시험 메모리(500)의 메모리 뱅크(502)의 논리 구성의 일례 및 제1 변형예와 관련되는 패턴 발생기(18)의 논리 구성을 나타낸다. 본 변형예와 관련되는 시험 장치(10)는 도 1에 나타낸 동일 부호의 부재와 실질적으로 동일한 구성 및 기능을 채용하므로, 이하 상이점을 제외하고는 설명을 생략한다.FIG. 6: shows the structure of the
본 변형예와 관련되는 불량 카운트 메모리(12)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 메모리 뱅크(502)에서의 IO 단자(512)마다, 메모리 뱅크(502)마다 또한 블록마다 불량 셀의 수를 기억한다. 또한, 본 변형예와 관련되는 시험 장치(10)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 1개의 불량 셀 수 검출 회로(16)에 대신해, 각각이 피시험 메모리(500)의 IO 단자(512)에 대응한 복수의 불량 셀 수 검출 회로(16)를 구비한다. 시험 장치(10)는, 일례로서, 제1 불량 셀 수 검출 회로(16-1) ~ 제8 불량 셀 수 검출 회로(16-8)를 구비하여도 된다.As shown in FIG. 7, the
복수의 불량 셀 수 검출 회로(16)의 각각이 가지는 검출부(22)는 메모리 독출부(14)가 피시험 메모리(500)으로부터 독출한 데이터 가운데 대응하는 IO 단자(512)로부터 출력된 1비트 분의 데이터를 입력한다. 검출부(22)는 대응하는 IO 단자(512)로부터 출력된 1비트 분의 데이터와 대응하는 IO 단자(512)로부터 출력 되어야 하는 기대값을 비교한다. 그리고, 검출부(22)는 비교 결과에 기초하여 각 페이지 내의 불량 셀을 검출한다.The
또한, 복수의 불량 셀 수 검출 회로(16)의 각각이 가지는 기입부(28)는 시험 대상 블록 내의 각 페이지의 불량 검출을 끝낸 메모리 뱅크(502)에 대응해 불량 카운트 레지스터(20)에 기억된 불량 셀의 수를 불량 카운트 메모리(12) 중에서의 소정의 기억 영역에 기입한다. 이 경우에, 각 기입부(28)는 대응하는 IO 단자(512)에 대응하는 기억 영역에 그리고 해당 메모리 뱅크(502)의 해당 시험 대상 블록에 대응하는 기억 영역에 기입한다.In addition, the
이러한 본 변형예와 관련되는 시험 장치(10)에 의하면, 복수의 메모리 뱅크(502)의 각각으로부터 검출된 불량 셀을 IO 단자(512)마다 그리고 블록마다 별개에 검출할 수가 있다. 따라서, 본 변형예와 관련되는 시험 장치(10)에 의해 산출된 블록마다의 불량 셀의 수는, IO 단자마다 리페어용 블록을 가지는 피시험 메모 리(500)에 대한 메모리 리페어에서의 구제해의 산출에 이용할 수가 있다.According to the
도 8은 본 실시 형태의 제2 변형예와 관련되는 시험 장치(10)의 구성을 피시험 메모리(500)와 함께 도시한다. 본 변형예와 관련되는 시험 장치(10)는 도 1에 나타낸 동일 부호의 부재와 실질적으로 동일한 구성 및 기능을 채용하므로, 이하 상이점을 제외하고는 설명을 생략한다.8 shows the configuration of the
본 변형예와 관련되는 불량 셀 수 검출 회로(16)는 불량 카운트 레지스터(20) 및 기입부(28)에 대신해 갱신부(60)를 구비한다. 본 변형예와 관련되는 불량 카운트부(24)는 페이지마다 순차적으로 검출부(22)에 의해 검출된 불량 셀의 수를 계수한다.The defective cell
갱신부(60)는 어드레스 변환부(48)과 갱신 처리부(64)를 포함한다. 갱신 처리부(64)는 페이지마다 순차적으로 해당 페이지에 대응하는 메모리 뱅크(502) 및 블록에 대하서 불량 카운트 메모리(12)에 기억된 불량 셀의 수를 불량 카운트부(24)에 의해 계수된 불량 셀의 수만큼 증가시킨 값으로 갱신한다. 이에 의해, 시험 장치(10)에 의하면 불량 카운트 메모리(12) 내에서의 기억 영역을 이용하고 불량 셀의 수를 계수할 수 있다.The
더하여, 불량 카운트부(24)는, 일례로서, 불량 셀의 수를 계수하는 대상 페이지에 대응하는 메모리 뱅크(502) 및 블록에 대해서 불량 카운트 메모리(12)에 기억된 불량 셀의 수를 독출하고 독출한 불량 셀의 수를 초기값으로서 불량 셀의 수를 계수해도 된다. 이 경우, 갱신부(60) 내의 갱신 처리부(64)는 대상 페이지에 대해 계수된 불량 셀의 수를 불량 카운트 메모리(12)에 덮어쓴다.In addition, the
또한, 불량 카운트부(24)는 초기값을 0으로서 대상 페이지의 불량 셀의 수를 계수해도 된다. 이 경우, 갱신부(60)의 갱신 처리부(64)는 대상 페이지에 대응하는 메모리 뱅크(502) 및 블록에 대해서 기억된 불량 셀의 수를 불량 카운트 메모리(12)로부터 독출하고 불량 카운트부(24)에 의해 계수된 불량 셀의 수를 더하여 불량 카운트 메모리(12)에 기입하여 되돌린다.In addition, the
도 9는 본 실시 형태의 제3 변형예와 관련되는 시험 장치(10)의 구성을 피시험 메모리(500)과 함께 도시한다. 본 변형예와 관련되는 시험 장치(10)은 도 8에 나타낸 동일 부호의 부재와 실질적으로 동일한 구성 및 기능을 채용하므로, 이하 상이점을 제외하고는 설명을 생략한다.9 shows the configuration of the
본 변형예와 관련되는 불량 셀 수 검출 회로(16)는 검출부(22)와, 제1 불량 카운트부(24-1)와, 제2 불량 카운트부(24-2)와, 갱신부(60)를 가진다. 제1 불량 카운트부(24-1) 및 제2 불량 카운트부(24-2)는 페이지마다 서로 교대로 검출부(22)에 의해 검출된 불량 셀의 수를 계수한다.The defective cell
갱신부(60)의 갱신 처리부(64)는 제1 불량 카운트부(24-1)에 의해 이미 불량 셀의 수의 계수를 마친 페이지에 대해, 해당 페이지에 대응하는 메모리 뱅크(502) 및 블록에 대해서 불량 카운트 메모리(12)에 기억된 불량 셀의 수를 제1 불량 카운트부(24-1)에 의해 해당 페이지에 대해 계수된 불량 셀의 수만큼 증가시킨 값으로 갱신 하는 갱신 처리를 실시한다. 더욱이, 제2 불량 카운트부(24-2)는 갱신부(60)의 갱신 처리부(64)에 의한 제1 불량 카운트부(24-1)에 의해 계수 된 불량 셀의 수의 갱신 처리와 병행하여 다음 페이지에 대해서 검출된 불량 셀의 수를 계수한다.The
또한, 마찬가지로, 갱신부(60)의 갱신 처리부(64)는 제2 불량 카운트부(24-2)에 의해 이미 불량 셀의 수의 계수를 마친 페이지에 대해, 해당 페이지에 대응하는 메모리 뱅크(502) 및 블록에 대해서 불량 카운트 메모리(12)에 기억된 불량 셀의 수를, 제2 불량 카운트부(24-2)에 의해 해당 페이지에 대해 계수된 불량 셀의 수만큼 증가시킨 값으로 갱신하는 갱신 처리를 실시한다. 더욱이, 제1 불량 카운트부(24-1)는 갱신부(60)의 갱신 처리부(64)에 의한 제2 불량 카운트부(24-2)에 의해 계수된 불량 셀의 수의 갱신 처리 와 병행하여 다음 페이지에 대해서 검출된 불량 셀의 수를 계수한다.Similarly, the
이러한 본 변형예와 관련되는 불량 셀 수 검출 회로(16)에 의하면, 갱신부(60)에 의한 갱신 처리에 소정 이상의 시간이 비용이나 되는 경우이어도, 피시험 메모리(500)로부터 연속하여 데이터를 독출할 수가 있다. 이에 의해, 본 변형예와 관련되는 시험 장치(10)에 의하면, 복수 뱅크 형태의 피시험 메모리(500)로부터 뱅크마다 그리고 블록마다 고속으로 불량 셀의 수를 검출할 수가 있다.According to the defective cell
이상, 본 발명을 실시의 형태를 이용해 설명했지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시 형태에 기재의 범위에는 한정되지 않는다. 상기 실시의 형태에 다양한 변경 또는 개량을 더하는 것이 가능하다는 것이 당업자에게 명백하다. 그와 같은 변경 또는 개량을 더한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있는 것이 청구의 범위의 기재로부터 명백하다.As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range of description in the said embodiment. It is apparent to those skilled in the art that various changes or improvements can be added to the above embodiments. It is evident from the description of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.
Claims (5)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2007/054573 WO2008107996A1 (en) | 2007-03-08 | 2007-03-08 | Tester |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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