KR101001941B1 - A Device for Protecting Damage to Substrate and A Method of Protecting Damage to Substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 손상 방지 장치 및 손상 방지 방법을 개시한다.The present invention discloses a substrate damage prevention apparatus and a damage prevention method.

본 발명에 따른 기판 손상 방지 장치는 기판의 전방부를 고정하기 위한 상부 돌출부를 구비하는 홀더 부재; 및 상기 홀더 부재에 연결되는 액추에이터를 포함하고, 상기 홀더 부재는 상기 기판 상에서 인쇄 동작이 이루어지는 동안 상기 기판의 전방부를 고정하고, 상기 액추에이터는 상기 기판의 인쇄 동작이 완료되면 상기 기판의 고정 상태를 해제하도록 상기 홀더 부재를 제어하는 것을 특징으로 한다. The substrate damage prevention apparatus according to the present invention comprises a holder member having an upper protrusion for fixing the front portion of the substrate; And an actuator connected to the holder member, wherein the holder member fixes the front portion of the substrate while a printing operation is performed on the substrate, and the actuator releases the fixing state of the substrate when the printing operation of the substrate is completed. And to control the holder member.

기판, 손상 방지 장치, 더미 글래스 Board, Damage Protection Device, Dummy Glass

Description

기판 손상 방지 장치 및 손상 방지 방법{A Device for Protecting Damage to Substrate and A Method of Protecting Damage to Substrate}A Device for Protecting Damage to Substrate and A Method of Protecting Damage to Substrate}

본 발명은 인쇄 롤 장치를 구비한 인쇄 장치를 사용하여 기판 상에 패턴을 형성할 때 기판에 발생하는 손상을 방지하기 위한 기판 손상 방지 장치 및 손상 방지 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate damage preventing device and a damage preventing method for preventing damage occurring on a substrate when forming a pattern on the substrate using a printing device having a printing roll device.

좀 더 구체적으로, 본 발명은 인쇄 롤 장치를 구비한 인쇄 장치를 사용하여 기판 상에 패턴을 형성할 때 기판의 전방부를 고정하기 위한 홀더 부재를 사용하여 블랭킷 시트와 기판 간의 부착력에 의한 기판 전방부의 들림 현상을 방지함으로써 기판에 발생하는 손상을 방지하는 기판 손상 방지 장치 및 손상 방지 방법에 관한 것이다. More specifically, the present invention provides a substrate front portion by an adhesive force between the blanket sheet and the substrate using a holder member for fixing the front portion of the substrate when forming a pattern on the substrate using a printing apparatus having a printing roll apparatus. The present invention relates to a substrate damage preventing device and a damage prevention method for preventing damage caused to a substrate by preventing a lifting phenomenon.

일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 또는 액정 디스플레이 패널(LCD)과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)를 제조하기 위해서는 기판(substrate)으로 사용되는 한 장의 대형 글래스 상에 여러 개의 동일 또는 상이한 패턴들(예를 들어, 전극 회로 패턴, 컬러 필터(color filter), 블랙 매트릭스(black matrix) 또는 외장형 전자파 차단(EMI: electromagnetic interference) 필터))이 형성된다. 이러한 패턴들을 형성하기 위해 패턴 형성용 롤 인쇄 장치가 사용된다. 이하에서는 평판 디스플레이(FPD)용 글래스를 포함하여 롤 인쇄 장치의 작업대상물을 "기판"으로 통칭하기로 한다.Generally, several identical or different patterns on a single large glass used as a substrate for manufacturing a flat panel display (FPD) such as a plasma display panel (PDP) or a liquid crystal display panel (LCD) (E.g., electrode circuit patterns, color filters, black matrices or external electromagnetic interference (EMI) filters) are formed. A roll printing apparatus for pattern formation is used to form these patterns. Hereinafter, the workpiece of the roll printing apparatus including the glass for flat panel display (FPD) will be collectively referred to as "substrate".

상술한 패턴 형성용 롤 인쇄 장치는 예를 들어, 그라비아 롤(gravure roll) 및 블랭킷 롤(blacket roll)을 사용하는 그라비아 오프셋 방식의 패턴 형성용 롤 인쇄 장치, 블랭킷 롤 및 하나의 리버스 패턴 플레이트를 사용하는 리버스 오프셋 방식(reverse off-set methd))의 롤 인쇄 장치, 또는 블랭킷 롤 및 2개의 패턴 플레이트를 사용하는 플레이트-투-플레이트 인쇄 방식(Plate-to-Plate Printing Method)의 롤 인쇄 장치 등이 사용된다.The above-mentioned pattern forming roll printing apparatus uses, for example, a gravure offset-type pattern printing roll printing apparatus using a gravure roll and a blanket roll, a blanket roll, and one reverse pattern plate. Reverse off-set method, or a roll-to-plate printing method using a blanket roll and two pattern plates. Used.

도 1a는 통상적인 그라비아 오프셋 방식의 패턴 형성용 롤 인쇄 장치의 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 그라비아 오프셋 방식의 패턴 형성용 롤 인쇄 장치의 측단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.1A is a schematic cross-sectional view of a conventional gravure offset-type pattern printing roll printing apparatus, and FIG. 1B schematically illustrates a side cross-sectional view of a gravure offset-type pattern printing roll printing apparatus shown in FIG. 1A. Figure is shown.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 종래 기술에 따른 패턴 형성용 인쇄 롤 장치(100)는 예를 들어 평판 디스플레이(FPD)용 다면취 기판(190) 상에 인쇄될 패턴(미도시)의 형상이 음각된 요부(凹部: 112)를 구비하며 또한 양 측단에 제 1 및 제 2 제 1 회전축(114,114)을 구비하는 제 1 롤(110); 상기 제 1 롤(110)의 제 1 및 제 2 제 1 회전축(114,114)을 회전가능하게 지지하는 제 1 및 제 2 제 1 지지부재(116,116); 상기 제 1 롤(110)을 회전시키는 제 1 롤 회전 모터(미도시); 상기 제 1 롤(110)의 상기 요부(112) 내에 인쇄 잉크를 공급하는 잉크 공급장치(120); 상기 제 1 롤(110)이 상기 제 1 롤 회전 모터에 의해 회전하면 상기 잉크 공급장 치(120)에 의해 공급되는 잉크를 상기 요부(110) 내의 상기 음각 형상만을 남기고 제거하는 닥터 블레이드(130: doctor blade); 상기 제 1 롤(110)과 평행 관계로 접촉 및 이격 가능하게 배치되며, 그 표면 상에는 상기 제 1 롤(110)이 회전하면 상기 요부(112) 내에 형성된 상기 음각 형상의 잉크가 전사되어 양각 형상이 형성되는 블랭킷 시트(142: blanket sheet)를 구비하고 또한 양 측단에 제 1 및 제 2 제 2 회전축(144,144)을 구비하는 제 2 롤(140); 상기 제 2 롤(140)의 제 1 및 제 2 제 2 회전축(144,144)을 회전가능하게 지지하는 제 1 및 제 2 제 2 지지부재(146,146); 상기 제 1 및 제 2 제 2 지지부재(146,146)가 장착되며, 상기 제 2 롤(140)의 전진 및 후진 이동을 가능하게 하는 제 1 및 제 2 리니어 모션 가이드(148,148); 상기 제 2 롤(140)을 회전시키는 제 2 롤 회전 모터(150); 및 상기 제 2 롤(140)의 이동을 제어하기 위한 제 2 롤 액추에이터(160)를 포함한다.1A and 1B, the printing roll device 100 for pattern formation according to the prior art has a shape of a pattern (not shown) to be printed on the multi-faceted substrate 190 for a flat panel display (FPD), for example. A first roll (110) having a recessed recess (112) and having first and second first rotational axes (114, 114) at both side ends thereof; First and second first supporting members 116 and 116 rotatably supporting the first and second first rotational shafts 114 and 114 of the first roll 110; A first roll rotating motor (not shown) for rotating the first roll 110; An ink supply device (120) for supplying printing ink into the recesses (112) of the first roll (110); When the first roll 110 is rotated by the first roll rotating motor, the doctor blade 130 removes the ink supplied by the ink supply device 120, leaving only the intaglio shape in the recess 110. doctor blade); The first roll 110 is disposed to be in contact with and spaced apart in parallel with each other. When the first roll 110 rotates on the surface, the engraved ink formed in the recess 112 is transferred to form an embossed shape. A second roll 140 having a blanket sheet 142 formed thereon and having first and second second rotation shafts 144 and 144 at both side ends thereof; First and second second supporting members 146 and 146 rotatably supporting the first and second second rotating shafts 144 and 144 of the second roll 140; First and second linear motion guides (148,148) mounted with the first and second second supporting members (146,146), and enabling forward and backward movement of the second roll (140); A second roll rotating motor 150 for rotating the second roll 140; And a second roll actuator 160 for controlling the movement of the second roll 140.

제 1 롤(110)은 통상적으로 그라비아 롤(gravure roll)이 사용되고, 제 2 롤(140)은 통상적으로 블랭킷 롤(blacket roll)이 사용되며, 잉크 공급장치(120)는 통상적인 시린지(syringe) 또는 노즐형의 토출식 액공급장치가 사용된다. 또한, 패턴 형성장치는 상술한 인쇄 롤 장치(100) 이외에 인쇄 롤 장치(100) 및 평판 디스플레이(FPD)를 지지하는 스테이지(170)가 위치되는 메인 프레임(180), 및 스테이지(170)를 지지하는 스테이지 지지부재(172)를 추가로 포함하며, 다면취 기판(190) 표면 상으로의 패턴용 잉크 전사 동작이 행해진다.A gravure roll is typically used for the first roll 110, a blanket roll is typically used for the second roll 140, and the ink supply device 120 is a conventional syringe. Alternatively, a nozzle-type discharge liquid supply device is used. In addition, the pattern forming apparatus supports the main frame 180 and the stage 170 on which the stage 170 supporting the printing roll apparatus 100 and the flat panel display FFP is located, in addition to the above-described printing roll apparatus 100. A stage support member 172 is further included, and an ink transfer operation for a pattern onto the surface of the multi-faceted substrate 190 is performed.

통상적으로, 종래 기술의 인쇄 롤 장치(100)를 사용하여 예를 들어 다면취 기판 상에 패턴을 오프셋 인쇄방식으로 형성하는 데에는 택타임을 줄이고 생산성을 높이기 위해 다면취 기판 전체를 한번에 인쇄하는 전면 패턴 인쇄가 행해진다. 이를 위해, 평판 디스플레이의 경우, 대면적화 및 다면취화에 대한 요구가 점차로 증가함에 따라 제 1 롤(110)(그라비아 롤)과 제 2 롤(140)(블랭킷 롤)의 사이즈가 점점 증가하는 추세이다.Typically, using the prior art printing roll device 100 to form a pattern on the multi-faceted substrate by offset printing, for example, the front pattern for printing the entire multi-sided substrate at once to reduce tack time and increase productivity. Printing is performed. To this end, in the case of flat panel displays, the size of the first roll 110 (gravure roll) and the second roll 140 (blanket roll) is gradually increasing as the demand for large area and multiple embrittlement is gradually increased. .

한편, 도 1c는 제 2 롤의 블랭킷 시트와 기판이 접촉할 때 기판의 전방부가 상부로 들어 올려지는 들림 현상이 발생하는 것을 도시한 도면이다.On the other hand, Figure 1C is a view showing that the lifting phenomenon that the front portion of the substrate is raised to the upper side when the blanket sheet of the second roll and the substrate is in contact.

도 1c를 참조하면, 종래 기술의 인쇄 롤 장치(100)에 사용되는 제 2 롤(140)의 블랭킷 시트(142)는 통상적으로 실리콘(silicon) 재질로 이루어져 있다. 이러한 실리콘 재질의 블랭킷 시트(142)는 부착력(adhesion force) 또는 흡착력(suction force)이 매우 강하다. 따라서, 제 2 롤(140)의 블랭킷 시트(142)가 인쇄 잉크를 기판(190) 표면 상에 전사하기 위해 기판(190)과 접촉하면, 블랭킷 시트(142)와 기판(190) 간의 강한 부착력으로 인하여 인쇄가 시작되는 기판(190)의 전방부(190a)가 상부로 들어 올려지는 들림 현상이 발생하게 된다. 그 결과, 기판(190)이 꺾여서 손상되거나 파손된다. 도1c에 도시된 참조부호 192는 더미 기판을 표시한다. 이러한 더미 기판(192)는 제 2 롤(140)의 블랭킷 시트(142)가 더미 기판(192) 상에서 미리 가속된 후 기판(190) 표면 상에서는 정속으로 이동하도록 함으로써 균일한 양의 인쇄 잉크가 기판(190) 상에 도포되도록 하기 위해 사용된다. 이러한 더미 글래스(192)의 사용은 선택사양으로 필수적으로 사용되어야 하는 것은 아니다. Referring to FIG. 1C, the blanket sheet 142 of the second roll 140 used in the printing roll apparatus 100 of the related art is typically made of silicon. The silicon blanket sheet 142 has a very strong adhesion force or suction force. Thus, when the blanket sheet 142 of the second roll 140 contacts the substrate 190 to transfer printing ink onto the surface of the substrate 190, a strong adhesion between the blanket sheet 142 and the substrate 190 is achieved. As a result, a lifting phenomenon occurs in which the front portion 190a of the substrate 190 at which printing starts is lifted upward. As a result, the substrate 190 is bent and damaged or broken. Reference numeral 192 shown in Fig. 1C denotes a dummy substrate. The dummy substrate 192 allows the blanket sheet 142 of the second roll 140 to be accelerated in advance on the dummy substrate 192 and then moved at a constant speed on the surface of the substrate 190 so that a uniform amount of printing ink can be obtained. 190) to be applied on. The use of such dummy glass 192 is not necessarily used as an option.

상술한 바와 같은 인쇄 동작시 발생하는 기판(190)의 들림 현상을 방지하기 위해, 통상적으로 기판(190)이 위치되는 스테이지(170)의 하부에서 진공장치(미도 시)가 사용된다. 좀 더 구체적으로, 스테이지(170)의 표면 상에는 복수의 홀(hole)이 형성되고, 이들 복수의 홀(hole)은 진공장치(예를 들어, 진공펌프)에 연결되어 있다. 기판(190)이 스테이지(170)의 표면 상에 위치되면, 진공장치가 복수의 홀을 통해 기판(190)을 스테이지(170) 표면 상에 견고하게 고정시킨다.In order to prevent the lifting of the substrate 190 generated during the printing operation as described above, a vacuum device (not shown) is typically used at the bottom of the stage 170 on which the substrate 190 is located. More specifically, a plurality of holes are formed on the surface of the stage 170, and the plurality of holes are connected to a vacuum device (eg, a vacuum pump). When the substrate 190 is positioned on the surface of the stage 170, the vacuum device firmly fixes the substrate 190 on the surface of the stage 170 through a plurality of holes.

그러나, 상술한 진공장치를 사용하여 기판(190)을 스테이지(170) 표면 상에 고정시키더라도, 기판(190)의 중간 부분은 충분한 진공 상태가 유지되므로 인쇄시 들림 현상이 방지된다. 반면에, 기판(190)의 가장자리 부분은 충분한 진공 상태가 유지되기 어렵다. 따라서, 인쇄가 시작되는 기판(190)의 전방부(190a)는 여전히 들림 현상에 취약하다.However, even if the substrate 190 is fixed on the surface of the stage 170 by using the above-described vacuum device, the middle portion of the substrate 190 is maintained in a sufficient vacuum state, so that the phenomenon of lifting during printing is prevented. On the other hand, the edge portion of the substrate 190 is difficult to maintain a sufficient vacuum. Therefore, the front portion 190a of the substrate 190 at which printing starts is still vulnerable to the lifting phenomenon.

또한, 상술한 바와 같이 기판(190)의 대면적화 및 다면취화에 따라 제 1 롤(110)(그라비아 롤) 및 제 2 롤(140)의 사이즈도 증가하여야 한다. 제 2 롤(140)의 사이즈가 증가함에 따라 제 2 롤(140)의 블랭킷 시트(142)와 기판(190) 간의 접촉 면적이 증가하여 궁극적으로 블랭킷 시트(142)와 기판(190) 간의 부착력도 증가하게 된다. 그 결과, 대면적 기판(190)의 경우 제 2 롤(140)과 기판(190) 간의 부착력이 진공장치에 의한 기판(190)의 고정력보다 커지게 되어 상술한 바와 같은 기판(190)의 손상 또는 파손이 심각한 문제로 대두되고 있다.In addition, as described above, the size of the first roll 110 (gravure roll) and the second roll 140 should also increase according to the large area and the multi-sided embrittlement of the substrate 190. As the size of the second roll 140 increases, the contact area between the blanket sheet 142 and the substrate 190 of the second roll 140 increases, and ultimately, the adhesion between the blanket sheet 142 and the substrate 190 is also increased. Will increase. As a result, in the case of the large-area substrate 190, the adhesion between the second roll 140 and the substrate 190 becomes larger than the fixing force of the substrate 190 by the vacuum apparatus, so that the damage of the substrate 190 as described above or Breakage is a serious problem.

특히, 기판의 두께가 굵은 PDP(현재 상용 PDP용 기판의 두께는 대략 1.8 내지 2.7mm임)의 경우보다 기판의 두께가 얇은 LCD(현재 상용 LCD용 기판의 두께는 대략 0.4 내지 0.8mm임)의 경우가 기판의 손상 또는 파손 문제에 더욱 더 취약하다.In particular, the thickness of the LCD (the thickness of the current commercially available LCD substrate is approximately 0.4 to 0.8mm) than that of PDP with a large thickness of the substrate (currently, the thickness of the commercially available PDP substrate is approximately 1.8 to 2.7 mm). The case is even more vulnerable to damage or breakage of the substrate.

또한, 대면적 평판디스플레이의 가격이 고가이므로, 기판의 손상 또는 파손은 생산 비용을 현저하게 증가시킨다.In addition, since the price of a large area flat panel display is expensive, damage or breakage of the substrate significantly increases the production cost.

따라서, 상술한 기판의 손상을 방지하기 위한 새로운 장치 및 방법이 요구된다.Accordingly, there is a need for a new apparatus and method for preventing damage to the substrate described above.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판이 스테이지 상에서 정렬될 때, 기판의 전방부를 고정하기 위한 홀더 부재를 사용하여 블랭킷 시트와 기판 간의 부착력에 의한 기판 전방부의 들림 현상을 방지함으로써 기판에 발생하는 손상을 방지하는 기판 손상 방지 장치 및 손상 방지 방법을 제공하기 위한 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the problems of the prior art described above, and when the substrate is aligned on the stage, a holder member for fixing the front portion of the substrate is prevented to lift the front portion of the substrate due to the adhesion between the blanket sheet and the substrate. The present invention provides a substrate damage preventing device and a damage preventing method for preventing damage occurring on a substrate.

본 발명의 제 1 특징에 따르면, 기판 손상 방지 장치에 있어서, 기판의 전방부를 고정하기 위한 상부 돌출부를 구비하는 홀더 부재; 및 상기 홀더 부재에 연결되는 액추에이터를 포함하고, 상기 홀더 부재는 상기 기판 상에서 인쇄 동작이 이루어지는 동안 상기 기판의 전방부를 고정하고, 상기 액추에이터는 상기 기판의 인쇄 동작이 완료되면 상기 기판의 고정 상태를 해제하도록 상기 홀더 부재를 제어하는 기판 손상 방지 장치를 제공하기 위한 것이다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a substrate damage preventing apparatus comprising: a holder member having an upper protrusion for fixing a front portion of a substrate; And an actuator connected to the holder member, wherein the holder member fixes the front portion of the substrate while a printing operation is performed on the substrate, and the actuator releases the fixing state of the substrate when the printing operation of the substrate is completed. It is to provide a substrate damage prevention apparatus for controlling the holder member so as to.

본 발명의 제 2 특징에 따르면, 기판 손상 방지 장치에 있어서, 기판의 전방부를 고정하기 위한 상부 돌출부를 구비하는 홀더 부재; 상기 홀더 부재의 하부에 제공되는 복수의 푸셔(pusher); 및 상기 복수의 푸셔에 연결되는 복수의 액추에이터를 포함하고, 상기 홀더 부재는 상기 기판 상에서 인쇄 동작이 이루어지는 동안 상기 기판의 전방부를 고정하고, 상기 복수의 액추에이터는 상기 인쇄 동작이 완료되면 상기 기판의 고정 상태를 해제하도록 상기 복수의 푸셔를 제어하는 기판 손상 방지 장치를 제공하기 위한 것이다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a substrate damage preventing apparatus comprising: a holder member having an upper protrusion for fixing a front portion of a substrate; A plurality of pushers provided below the holder member; And a plurality of actuators connected to the plurality of pushers, wherein the holder member fixes the front portion of the substrate while a printing operation is performed on the substrate, and the plurality of actuators fix the substrate when the printing operation is completed. It is to provide a substrate damage prevention apparatus for controlling the plurality of pushers to release the state.

본 발명의 제 3 특징에 따르면, 기판 손상 방지 장치에 있어서, 기판의 전방부를 고정하기 위한 복수의 상부 돌출부를 구비하는 복수의 홀더 부재; 및 상기 복수의 홀더 부재에 연결되는 복수의 액추에이터를 포함하고, 상기 복수의 액추에이터는 상기 기판 상에서 인쇄 동작이 이루어지는 동안 상기 기판의 전방부를 고정하고, 상기 기판의 인쇄 동작이 완료되면 상기 기판의 고정 상태를 해제하도록 상기 복수의 홀더 부재를 제어하는 기판 손상 방지 장치를 제공하기 위한 것이다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a substrate damage preventing apparatus, comprising: a plurality of holder members having a plurality of upper protrusions for fixing a front portion of a substrate; And a plurality of actuators connected to the plurality of holder members, wherein the plurality of actuators fix the front portion of the substrate while a printing operation is performed on the substrate, and the substrate is fixed when the printing operation of the substrate is completed. It is to provide a substrate damage prevention apparatus for controlling the plurality of holder members to release the.

본 발명의 제 4 특징에 따르면, 기판 손상 방지 방법에 있어서, a) 기판 및 홀더 부재를 상대적으로 이동시켜 상기 홀더 부재에 구비된 상부 돌출부가 상기 기판의 전방부를 고정하는 단계; b) 블랭킷 시트가 상기 기판 상에 패턴 형성용 잉크를 전사하는 동안 상기 상부 돌출부가 상기 전방부의 고정 상태를 유지하는 단계; 및 c) 상기 잉크 전사가 완료되면, 상기 상부 돌출부로부터 상기 전방부의 고정 상태를 해제하는 단계를 포함하고, 상기 전방부는 상기 잉크의 전사 동작이 이루어지는 동안 상기 상부 돌출부에 의해 들림 현상이 방지되는 기판 손상 방지 방법을 제공하기 위한 것이다.According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method for preventing damage to a substrate, the method comprising: a) moving a substrate and a holder member relatively to fix an upper protrusion of the holder member to a front portion of the substrate; b) maintaining the upper protrusion of the front portion while the blanket sheet transfers the pattern forming ink onto the substrate; And c) when the ink transfer is completed, releasing the fixing state of the front portion from the upper protrusion, wherein the front portion is damaged on the substrate to prevent the lifting phenomenon by the upper protrusion during the transfer operation of the ink. It is to provide a prevention method.

본 발명의 기판 손상 방지 장치 및 손상 방지 방법을 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.The use of the substrate damage preventing device and the damage preventing method of the present invention achieves the following advantages.

1. 기판 전방부의 들림 현상이 방지된다. 그 결과, 기판의 손상 또는 파손 문제가 완전히 방지된다. 1. Lifting of the front part of the substrate is prevented. As a result, the problem of damage or breakage of the substrate is completely prevented.

2. 고가의 대면적 평판디스플레이가 손상 또는 파손이 방지되므로 생산 비용이 상당히 감소된다.2. Costly large area flat panel display is prevented from damage or breakage, which greatly reduces the production cost.

본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다. Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which like or similar reference numerals denote like elements.

이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments and drawings of the present invention.

본 발명은 기판 상에서 인쇄 동작이 이루어지는 동안 기판의 전방부가 기판 손상 방지 장치의 홀더부재에 의해 고정되는 것을 특징으로 한다.The present invention is characterized in that the front portion of the substrate is fixed by the holder member of the substrate damage prevention device during the printing operation on the substrate.

도 2a는 기판이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치의 전방에 위치된 평면도를 도시한 도면이다.FIG. 2A is a view showing a plan view in which a substrate is located in front of the apparatus for preventing damage to a substrate according to the first embodiment of the present invention.

도 2a에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치(200)는 기판(290)의 전방부(290a)를 고정하기 위한 상부 돌출부(294)를 구비하는 홀더 부재(292); 및 상기 홀더 부재(292)에 연결되는 액추에이터(296)를 포함하고, 상기 홀더 부재(292)는 상기 기판(290) 상에서 인쇄 동작이 이루어지는 동안 상기 기판(290)의 전방부(290a)를 고정하고, 상기 액추에이터(296)는 상기 인쇄 동작이 완료되면 상기 기판(290)의 고정 상태를 해제하도록 상기 홀더 부재(292)를 제어하는 것을 특징으로 한다.The substrate damage preventing apparatus 200 according to the first embodiment of the present invention illustrated in FIG. 2A includes a holder member 292 having an upper protrusion 294 for fixing the front portion 290a of the substrate 290; And an actuator 296 connected to the holder member 292, wherein the holder member 292 fixes the front portion 290a of the substrate 290 while a printing operation is performed on the substrate 290. When the printing operation is completed, the actuator 296 controls the holder member 292 to release the fixing state of the substrate 290.

도 2a에 도시된 본 발명의 제 1 실시예의 대안적인 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치(200)는 기판(290)의 전방부(290a)를 고정하기 위한 상부 돌출부(294)를 구비하는 홀더 부재(292); 상기 홀더 부재(292)의 하부에 제공되는 복수의 푸 셔(pusher)(292a,292b); 및 상기 복수의 푸셔(292a,292b)에 연결되는 복수의 액추에이터(296a,296b)를 포함하고, 상기 홀더 부재(292)는 상기 기판(290) 상에서 인쇄 동작이 이루어지는 동안 상기 기판(290)의 전방부(290a)를 고정하고, 상기 복수의 액추에이터(296a,296b)는 상기 인쇄 동작이 완료되면 상기 기판(290)의 고정 상태를 해제하도록 상기 복수의 푸셔(292a,292b)를 제어하는 것을 특징으로 한다.Substrate damage prevention apparatus 200 according to an alternative embodiment of the first embodiment of the present invention shown in Figure 2a is a holder member having an upper projection 294 for fixing the front portion (290a) of the substrate 290 292; A plurality of pushers 292a and 292b provided below the holder member 292; And a plurality of actuators 296a and 296b connected to the plurality of pushers 292a and 292b, wherein the holder member 292 is in front of the substrate 290 during a printing operation on the substrate 290. The unit 290a is fixed, and the plurality of actuators 296a and 296b control the plurality of pushers 292a and 292b to release the fixing state of the substrate 290 when the printing operation is completed. do.

이하에서는 도 2a에 도시된 본 발명의 제 1 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 설명한다.Hereinafter, a detailed configuration and operation of the apparatus for preventing damage to a substrate according to the first and alternative embodiments of the present invention shown in FIG. 2A will be described in detail.

도 2b는 기판이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치로 이동하는 것을 도시한 평면도이고, 도 2c는 기판이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치로 이동 및 정렬된 상태의 일측 단면도이며, 도 2d는 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치에서 별도로 제공되는 복수의 푸셔(pusher) 및 복수의 액추에이터에 의해 기판을 언로딩 위치로 이송하는 것을 도시한 일측 단면도이다.FIG. 2B is a plan view showing the substrate moving to the substrate damage preventing apparatus according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2C shows the substrate moved and aligned with the substrate damage preventing apparatus according to the first embodiment of the present invention. One side cross-sectional view of the state, Figure 2d is a side showing the transfer of the substrate to the unloading position by a plurality of pushers and a plurality of actuators provided separately in the substrate damage prevention apparatus according to an alternative embodiment of the present invention It is a cross section.

도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치(200)는 기판(290)의 전방부(290a) 쪽으로 돌출한 상부 돌출부(294)를 구비한 홀더 부재(292)를 포함한다. 홀더 부재(292)는 예를 들어 더미 글래스(292)로 구현될 수 있다. 기판(290)이 별도의 이송장치(미도시)에 의해 스테이지(270) 상으로 이송된다(도 2a의 참조부호 291a로 표시된 하향 화살표 방향 참조). 그 후, 기판(290)은 센터링 장치(미도시)에 의해 인쇄기준면(295a)에 미리 정렬된 홀더 부재(292)(참조부호 293a로 표시된 방향)로 이송된다(도 2b 참조). 기판(290)이 홀더 부재(292)에 밀착되면, 기판(290)의 전방부(29a)가 홀더 부재(292)의 상부 돌출부(294)에 의해 고정된다(도 2c 참조). 즉, 상부 돌출부(294)가 기판(290)의 전방부(29a)의 커버(cover) 기능을 갖는다. 상부 돌출부(294)의 선단부와 인쇄기준면(295a) 간의 길이(L)는 대략 1mm가 바람직하다.2A to 2C, the substrate damage preventing apparatus 200 according to the first embodiment of the present invention may include a holder member having an upper protrusion 294 protruding toward the front portion 290a of the substrate 290. 292). The holder member 292 may be implemented with, for example, a dummy glass 292. The substrate 290 is transferred onto the stage 270 by a separate transfer device (not shown) (see down arrow direction indicated by 291a in FIG. 2A). Thereafter, the substrate 290 is transferred by a centering device (not shown) to the holder member 292 (direction indicated by reference numeral 293a) previously aligned with the printing reference plane 295a (see Fig. 2B). When the substrate 290 is in close contact with the holder member 292, the front portion 29a of the substrate 290 is fixed by the upper protrusion 294 of the holder member 292 (see FIG. 2C). That is, the upper protrusion 294 has a cover function of the front portion 29a of the substrate 290. The length L between the tip of the upper protrusion 294 and the printing reference plane 295a is preferably about 1 mm.

그 후, 도 1c에 도시된 바와 같은 블랭킷 시트(142)가 기판(290) 상에 접촉하여 패턴을 형성용 잉크를 기판(290) 상에 전사한다. 이 때, 블랭킷 시트(142)가 기판(290)의 전방부(290a)를 지나 잉크 도포 방향(291)을 따라 계속 회전하더라도 기판(290)의 전방부(290a)는 홀더 부재(292)의 상부 돌출부(294)에 의해 들림 현상이 방지된다. 그 후, 기판(290) 상에 인쇄 동작(즉, 잉크 전사)이 완료되면, 홀더 부재(292)는 액추에이터(296)에 의해 기판(290)을 언로딩 위치 방향(293b)으로 밀어낸다. 이 경우, 도 2a 및 도 2b에 점선으로 도시된 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 복수의 푸셔(292a,292b) 및 복수의 액추에이터(296a,296b)는 사용되지 않는다. 즉, 도 2c에 도시된 제 1 실시예에서는, 홀더 부재(292)가 푸셔의 기능을 함께 갖는다. 그 후, 홀더 부재(292)는 액추에이터(296)에 의해 원래 위치(즉, 인쇄기준면(295a)과 정렬된 위치)로 복귀된다. 즉, 액추에이터(296)는 기판(290) 상에 잉크 전사가 완료되면 홀더 부재(292)의 전후진 동작을 제어한다. 액추에이터(296)는 예를 들어 에어 실린더(air cylinder)로 구현될 수 있다. 그 후, 언로딩 위치로 이동된 기판(290)은 이송 장치(미도시)에 의해 스테이지(270)로부터 언로딩된다(도 2a의 참조부호 291a로 표시된 상향 화살표 방향 참조).Thereafter, the blanket sheet 142 as shown in FIG. 1C contacts the substrate 290 to transfer the ink for forming a pattern onto the substrate 290. At this time, even if the blanket sheet 142 continues to rotate past the front portion 290a of the substrate 290 along the ink application direction 291, the front portion 290a of the substrate 290 is the upper portion of the holder member 292. Lifting phenomenon is prevented by the protrusion 294. Then, when the printing operation (ie ink transfer) on the substrate 290 is completed, the holder member 292 pushes the substrate 290 in the unloading position direction 293b by the actuator 296. In this case, the plurality of pushers 292a and 292b and the plurality of actuators 296a and 296b according to an alternative embodiment of the present invention shown in dashed lines in FIGS. 2A and 2B are not used. That is, in the first embodiment shown in FIG. 2C, the holder member 292 has the function of a pusher. Thereafter, the holder member 292 is returned by the actuator 296 to its original position (i.e., the position aligned with the print reference plane 295a). That is, the actuator 296 controls the forward and backward operations of the holder member 292 when the ink transfer is completed on the substrate 290. Actuator 296 may be implemented with, for example, an air cylinder. Thereafter, the substrate 290 moved to the unloading position is unloaded from the stage 270 by a transfer device (not shown) (see the up arrow direction indicated by reference numeral 291a in FIG. 2A).

한편, 도 2d에 도시된 본 발명의 대안적인 실시예에서는 기판(290) 상에 잉 크 전사가 완료된 후, 복수의 푸셔(pusher: 292a,292b)는 복수의 액추에이터(296a,296b)에 의해 기판(290)을 언로딩 위치 방향(293b)으로 밀어낸다. 즉, 도 2d의 대안적인 실시예에서는 더미 글래스(292)로 구현되는 홀더 부재(292)는 고정 상태를 유지하고, 따라서 액추에이터(296)의 사용이 불필요하다. 그 후, 복수의 푸셔(292a,292b)는 복수의 2 액추에이터(296a,296b)에 의해 원래 위치(즉, 인쇄기준면(295a)과 정렬된 위치)로 복귀된다. 즉, 복수의 액추에이터(296a,296b)는 기판(290) 상에 잉크 전사가 완료되면 복수의 푸셔(292a,292b)의 전후진 동작을 제어한다. 복수의 액추에이터(296a,296b)는 예를 들어 에어 실린더(air cylinder)로 구현될 수 있다. 그 후, 언로딩 위치로 이동된 기판(290)은 이송 장치(미도시)에 의해 스테이지(270)로부터 언로딩된다(도 2a의 참조부호 291a로 표시된 상향 화살표 방향 참조). 상술한 본 발명의 대안적인 실시예에서는, 복수의 푸셔(292a,292b) 및 복수의 액추에이터(296a,296b)가 각각 한 쌍의 제 1 및 제 2 푸셔(292a,292b) 및 한 쌍의 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)로 구현되는 것으로 예시적으로 도시 및 기술되어 되어 있지만, 당업자라면 복수의 푸셔(292a,292b) 및 복수의 액추에이터(296a,296b)로 글래스(290)의 사이즈에 따라 예를 들어 3개 이상의 푸셔 및 액추에이터가 사용될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.Meanwhile, in the alternative embodiment of the present invention shown in FIG. 2D, after ink transfer is completed on the substrate 290, the plurality of pushers 292a and 292b are formed by the plurality of actuators 296a and 296b. 290 is pushed in the unloading position direction 293b. That is, in the alternative embodiment of FIG. 2D, the holder member 292, which is implemented with the dummy glass 292, remains stationary, so that the use of the actuator 296 is unnecessary. Thereafter, the plurality of pushers 292a and 292b are returned by the plurality of two actuators 296a and 296b to their original positions (i.e., positions aligned with the print reference plane 295a). That is, the plurality of actuators 296a and 296b controls the forward and backward operations of the plurality of pushers 292a and 292b when the ink transfer is completed on the substrate 290. The plurality of actuators 296a and 296b may be implemented by, for example, air cylinders. Thereafter, the substrate 290 moved to the unloading position is unloaded from the stage 270 by a transfer device (not shown) (see the up arrow direction indicated by reference numeral 291a in FIG. 2A). In alternative embodiments of the present invention described above, the plurality of pushers 292a, 292b and the plurality of actuators 296a, 296b are each a pair of first and second pushers 292a, 292b and a pair of firsts. And second actuators 296a and 296b, which are illustrated and described by way of example, but those skilled in the art will appreciate that the plurality of pushers 292a and 292b and the plurality of actuators 296a and 296b may be used in the size of the glass 290. Thus it will be appreciated that for example three or more pushers and actuators can be used.

도 2e는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치가 기판에 정렬된 상태의 평면도이고, 도 2f는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치가 기판으로 이동 및 정렬된 상태의 일측 단면도이다.2E is a plan view of the substrate damage preventing apparatus according to the first embodiment of the present invention aligned with the substrate, and FIG. 2F is a state in which the substrate damage preventing apparatus according to the first embodiment of the present invention is moved and aligned with the substrate. One side cross section of the.

도 2a 및 도 2e 내지 도 2f를 참조하면, 기판(290)이 별도의 이송장치(미도 시)에 의해 스테이지(270) 상으로 이송된다(도 2a의 참조부호 291a로 표시된 하향 화살표 방향 참조). 그 후, 기판(290)은 센터링 장치(미도시)에 의해 인쇄기준면(295b)에 정렬된다. 그 후, 홀더 부재(292)는 액추에이터(296)에 의해 기판(290)의 전방부(290a) 방향(참조부호 293b로 표시된 방향)으로 이송된다(도 2e 및 도 2f 참조). 홀더 부재(292)가 기판(290)에 밀착되면, 기판(290)의 전방부(29a)가 홀더 부재(292)의 상부 돌출부(294)에 의해 고정된다(도 2e 및 도 2g 참조). 그 후, 도 1c에 도시된 바와 같은 블랭킷 시트(142)가 기판(290) 상에 접촉하여 패턴을 형성용 잉크를 기판(290) 상에 전사한다. 이 때, 블랭킷 시트(142)가 기판(290)의 전방부(290a)를 지나 잉크 도포 방향(291)을 따라 계속 회전하더라도 기판(290)의 전방부(290a)는 홀더 부재(292)의 상부 돌출부(294)에 의해 들림 현상이 방지된다. 그 후, 기판(290) 상에 잉크 전사가 완료되면, 홀더 부재(292)는 액추에이터(296)에 의해 다시 원래 위치로 복귀된다. 그 후, 언로딩 위치로 놓여진 기판(290)은 이송 장치(미도시)에 의해 스테이지(270)로부터 언로딩된다(도 2a의 참조부호 291a로 표시된 상향 화살표 방향 참조).2A and 2E-2F, the substrate 290 is transferred onto the stage 270 by a separate transfer device (not shown) (see down arrow direction indicated by reference numeral 291a in FIG. 2A). Thereafter, the substrate 290 is aligned with the print reference plane 295b by a centering device (not shown). Thereafter, the holder member 292 is transferred by the actuator 296 in the direction of the front portion 290a of the substrate 290 (direction indicated by reference numeral 293b) (see FIGS. 2E and 2F). When the holder member 292 is in close contact with the substrate 290, the front portion 29a of the substrate 290 is fixed by the upper protrusion 294 of the holder member 292 (see FIGS. 2E and 2G). Thereafter, the blanket sheet 142 as shown in FIG. 1C contacts the substrate 290 to transfer the ink for forming a pattern onto the substrate 290. At this time, even if the blanket sheet 142 continues to rotate past the front portion 290a of the substrate 290 along the ink application direction 291, the front portion 290a of the substrate 290 is the upper portion of the holder member 292. Lifting phenomenon is prevented by the protrusion 294. Thereafter, upon completion of the ink transfer onto the substrate 290, the holder member 292 is returned to the original position by the actuator 296. Subsequently, the substrate 290 placed in the unloading position is unloaded from the stage 270 by a transfer device (not shown) (see the up arrow direction indicated by reference numeral 291a in FIG. 2A).

상술한 바와 같이, 도 2e 내지 도 2f에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치는 도 2a 내지 도 2c에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치와 동일한 구성을 구비한다. 또한, 도 2a 내지 도 2c와 도 2e 내지 도 2f에 각각 도시된 홀더 부재(292)는 인쇄 동작이 이루어지는 동안 기판(290)의 전방부(290a)를 고정한다는 점에서 동일한 기능을 갖는다. 그러나, 도 2a 내지 도 2c에 도시된 홀더 부재(292)는 인쇄 동작이 완료되면 기판(290)을 언로 딩 위치로 밀어낸 후 원래 위치로 복귀하는 반면, 도 2e 내지 도 2f에 도시된 홀더 부재(292)는 인쇄 동작이 완료되면 기판(290)을 언로딩 위치로 밀어내지 않고 원래 위치로 복귀한다는 점에서 그 동작이 상이하다.As described above, the substrate damage preventing apparatus according to the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 2E to 2F is the same as the substrate damage preventing apparatus according to the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 2A to 2C. It has a configuration. In addition, the holder members 292 shown in FIGS. 2A-2C and 2E-2F respectively have the same function in that the front portion 290a of the substrate 290 is fixed during the printing operation. However, the holder member 292 shown in Figs. 2A to 2C returns to the original position after pushing the substrate 290 to the unloading position when the printing operation is completed, while the holder member shown in Figs. 2E to 2F is shown. 292 differs in that the printing operation is completed in that the printing operation is completed, and the substrate 290 is returned to its original position without being pushed to the unloading position.

도 2g는 기판이 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치에 정렬된 상태의 평면도이다. 도 2g에 도시된 제 2 실시예에서는 도 2a 내지 도 2f에 도시된 제 1 실시예 및 대안적인 실시예에서 사용되는 하나의 홀더 부재(292) 대신 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)가 사용된다.Fig. 2G is a plan view of the substrate aligned with the substrate damage preventing apparatus according to the second embodiment of the present invention. In the second embodiment shown in Fig. 2G, the first and second holder members 292a and 292b are used instead of one holder member 292 used in the first and alternative embodiments shown in Figs. 2A to 2F. Is used.

도 2g를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치(200)는 기판(290)의 전방부(290a)를 고정하기 위한 제 1 및 제 2 상부 돌출부(294a,294b)를 구비하는 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b); 및 상기 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)에 연결되는 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)는 상기 기판(290) 상에서 인쇄 동작이 이루어지는 동안 상기 기판(290)의 전방부(290a)를 고정하고, 상기 기판(290)의 인쇄 동작이 완료되면 상기 기판(290)의 고정 상태를 해제하도록 상기 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)를 제어하는 것을 특징으로 한다.Referring to FIG. 2G, the apparatus 200 for preventing damage to a substrate according to the second exemplary embodiment may include first and second upper protrusions 294a and 294b for fixing the front portion 290a of the substrate 290. First and second holder members 292a and 292b provided; And first and second actuators 296a and 296b connected to the first and second holder members 292a and 292b, wherein the first and second actuators 296a and 296b are formed on the substrate 290. The front and rear portions 290a of the substrate 290 are fixed while the printing operation is performed on the first and second holders to release the fixing state of the substrate 290 when the printing operation of the substrate 290 is completed. The member 292a, 292b is controlled.

이하에서는 도 2g에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 설명한다.Hereinafter, a detailed configuration and operation of the apparatus for preventing damage to a substrate according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. 2G will be described in detail.

도 2h는 기판이 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치로 이동하여 고정된 상태의 평면도이고, 도 2i는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치가 스테이지 상부로 상승한 상태에서 기판이 정렬된 상태, 및 기판 손상 방지 장치의 홀더 부재가 기판의 전방부를 고정한 상태의 일측 단면도를 각각 도시한 도면이다.Figure 2h is a plan view of the substrate is moved and fixed to the substrate damage prevention apparatus according to a second embodiment of the present invention, Figure 2i is a state in which the substrate damage prevention apparatus according to a second embodiment of the present invention is raised to the upper stage 1 is a cross-sectional view illustrating one side of the substrate in an aligned state, and a holder member of the substrate damage preventing apparatus fixing the front portion of the substrate.

도 2g 내지 도 2i를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치(200)는 기판(290)의 전방부(290a) 쪽으로 돌출한 제 1 및 제 2 상부 돌출부(294a,294b)를 구비한 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,29b)를 포함한다. 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,29b)는 각각 예를 들어 푸셔(pusher)로 구현될 수 있다. 또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치에서는, 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b) 및 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)가 스테이지(270)의 하부에 숨겨진 상태(도 2g의 점선 부분 참조)로 위치되는 것이 바람직하다. 기판(290)이 별도의 이송장치(미도시)에 의해 스테이지(270) 상으로 이송된다(도 2g의 참조부호 291a로 표시된 하향 화살표 방향 참조). 그 후, 기판(290)은 센터링 장치(미도시)에 의해 인쇄기준면(295a)에 미리 정렬된 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)(참조부호 293a로 표시된 방향)로 이송된다(도 2h 참조). 이를 위해, 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)는 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)에 의해 미리 스테이지(270) 하부에서 상부로 상승한다(도 2i 참조). 그 후, 기판(290)이 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)에 밀착되면, 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)는 제 1 및 제 2 상부 돌출부(294a,294b)가 기판(290)의 전방부(29a)를 고정하도록 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)를 하강시킨다(도 2i 참조).2G to 2I, the substrate damage preventing apparatus 200 according to the second embodiment of the present invention may include first and second upper protrusions 294a and 294b protruding toward the front portion 290a of the substrate 290. And first and second holder members 292a and 29b. The first and second holder members 292a, 29b may each be embodied as, for example, a pusher. In addition, in the substrate damage preventing apparatus according to the second embodiment of the present invention, the first and second holder members 292a and 292b and the first and second actuators 296a and 296b are hidden under the stage 270. It is preferably located in the state (see dotted line in FIG. 2G). The substrate 290 is transferred onto the stage 270 by a separate transfer device (not shown) (see down arrow direction indicated by reference numeral 291a in FIG. 2G). Subsequently, the substrate 290 is conveyed by the centering device (not shown) to the first and second holder members 292a and 292b (direction indicated by reference numeral 293a) previously aligned with the printing reference plane 295a. 2h). To this end, the first and second holder members 292a and 292b are raised from the bottom of the stage 270 to the top by the first and second actuators 296a and 296b in advance (see FIG. 2I). Thereafter, when the substrate 290 is in close contact with the first and second holder members 292a and 292b, the first and second actuators 296a and 296b are formed by the first and second upper protrusions 294a and 294b. The first and second holder members 292a and 292b are lowered to fix the front portion 29a of 290 (see FIG. 2I).

그 후, 도 1c에 도시된 바와 같은 블랭킷 시트(142)가 기판(290) 상에 접촉하여 패턴을 형성용 잉크를 기판(290) 상에 전사한다. 이 때, 블랭킷 시트(142)가 기판(290)의 전방부(290a)를 지나 잉크 도포 방향(291)을 따라 계속 회전하더라도 기판(290)의 전방부(290a)는 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)의 제 1 및 제 2 상부 돌출부(294a,294b)에 의해 들림 현상이 방지된다. 그 후, 기판(290) 상에 잉크 전사가 완료되면, 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)는 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)에 의해 기판(290)을 언로딩 위치(도 2g에 도시된 기판(290)의 위치) 방향으로 밀어낸다. 그 후, 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)는 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)에 의해 원래 위치(즉, 인쇄기준면(295a)과 정렬된 위치)로 복귀된다. 즉, 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)는 기판(290) 상에 잉크 전사가 완료되면 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)의 전후진 동작을 제어한다. 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)는 각각 예를 들어 에어 실린더(air cylinder)로 구현될 수 있다. 그 후, 언로딩 위치로 이동된 기판(290)은 이송 장치(미도시)에 의해 스테이지(270)로부터 언로딩된다(도 2g의 참조부호 291a로 표시된 상향 화살표 방향 참조).Thereafter, the blanket sheet 142 as shown in FIG. 1C contacts the substrate 290 to transfer the ink for forming a pattern onto the substrate 290. At this time, even if the blanket sheet 142 continues to rotate past the front portion 290a of the substrate 290 along the ink application direction 291, the front portion 290a of the substrate 290 is formed of the first and second holder members. Lifting phenomenon is prevented by the first and second upper protrusions 294a and 294b of 292a and 292b. Then, when the ink transfer is completed on the substrate 290, the first and second holder members 292a and 292b unload the substrate 290 by the first and second actuators 296a and 296b. In the direction of the substrate 290 shown in FIG. 2G). Thereafter, the first and second holder members 292a, 292b are returned to their original positions (ie, aligned with the print reference plane 295a) by the first and second actuators 296a, 296b. That is, the first and second actuators 296a and 296b control the forward and backward operations of the first and second holder members 292a and 292b when the ink transfer is completed on the substrate 290. The first and second actuators 296a and 296b may each be embodied as, for example, an air cylinder. Thereafter, the substrate 290 moved to the unloading position is unloaded from the stage 270 by a transfer device (not shown) (see the up arrow direction indicated by reference numeral 291a in FIG. 2G).

도 2j은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치가 기판으로 이동하여 기판을 고정한 상태의 평면도이고, 도 2k는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치가 스테이지 상부로 상승한 상태에서 기판 방향으로 이동한 후 기판과 정렬된 상태 및 기판 손상 방지 장치의 홀더 부재가 기판의 전방부를 고정한 상태의 일측 단면도를 도시한 도면이다.FIG. 2J is a plan view of a substrate damage prevention apparatus according to a second embodiment of the present invention moving to a substrate to fix the substrate, and FIG. It is a figure which shows one side sectional drawing of the state aligned with a board | substrate after moving to the board | substrate in the state, and the state in which the holder member of the board | substrate damage prevention apparatus fixed the front part of a board | substrate.

도 2g 및 도 2j 내지 도 2k를 참조하면, 기판(290)이 별도의 이송장치(미도시)에 의해 스테이지(270) 상으로 이송된다(도 2g의 참조부호 291a로 표시된 하향 화살표 방향 참조). 그 후, 기판(290)은 센터링 장치(미도시)에 의해 인쇄기준면(295b)에 정렬된다. 그 후, 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)는 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)에 의해 스테이지(270) 하부에서 상부로 상승한 후 기판(290) 방향으로 이송된다(도 2k 참조). 이 경우, 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)는 기판(290)이 인쇄기준면(295b)에 정렬되기 전에 또는 기판(290)이 인쇄기준면(295b)에 정렬되는 동안 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)를 미리 스테이지(270) 하부에서 상부로 상승시킬 수 있다. 그 후, 기판(290)이 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)에 밀착되면, 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)는 제 1 및 제 2 상부 돌출부(294a,294b)가 기판(290)의 전방부(29a)를 고정하도록 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)를 하강시킨다(도 2k 참조).2G and 2J-2K, the substrate 290 is transferred onto the stage 270 by a separate transfer device (not shown) (see the down arrow direction indicated by reference numeral 291a in FIG. 2G). Thereafter, the substrate 290 is aligned with the print reference plane 295b by a centering device (not shown). Thereafter, the first and second holder members 292a and 292b are moved upward from the bottom of the stage 270 by the first and second actuators 296a and 296b and then transferred in the direction of the substrate 290 (FIG. 2K). Reference). In this case, the first and second actuators 296a and 296b may be formed by the first and second holders before the substrate 290 is aligned with the printing reference plane 295b or while the substrate 290 is aligned with the printing reference plane 295b. The members 292a and 292b may be previously raised from the lower part of the stage 270 to the upper part. Thereafter, when the substrate 290 is in close contact with the first and second holder members 292a and 292b, the first and second actuators 296a and 296b are formed by the first and second upper protrusions 294a and 294b. The first and second holder members 292a and 292b are lowered to fix the front portion 29a of 290 (see FIG. 2K).

그 후, 도 1c에 도시된 바와 같은 블랭킷 시트(142)가 기판(290) 상에 접촉하여 패턴을 형성용 잉크를 기판(290) 상에 전사한다. 이 때, 블랭킷 시트(142)가 기판(290)의 전방부(290a)를 지나 잉크 도포 방향(291)을 따라 계속 회전하더라도 기판(290)의 전방부(290a)는 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)의 제 1 및 제 2 상부 돌출부(294a,294b)에 의해 들림 현상이 방지된다. 그 후, 기판(290) 상에 잉크 전사가 완료되면, 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)는 제 1 및 제 2 액추에이터(296a,296b)에 의해 원래 위치(즉, 도 2g에 도시된 인쇄기준면(295a)과 정렬된 위치)로 복귀된다. 그 후, 언로딩 위치로 이동된 기판(290)은 이송 장치(미도시)에 의해 스테이지(270)로부터 언로딩된다(도 2g의 참조부호 291a로 표시된 상향 화살표 방향 참조).Thereafter, the blanket sheet 142 as shown in FIG. 1C contacts the substrate 290 to transfer the ink for forming a pattern onto the substrate 290. At this time, even if the blanket sheet 142 continues to rotate past the front portion 290a of the substrate 290 along the ink application direction 291, the front portion 290a of the substrate 290 is formed of the first and second holder members. Lifting phenomenon is prevented by the first and second upper protrusions 294a and 294b of 292a and 292b. Then, when the ink transfer on the substrate 290 is completed, the first and second holder members 292a and 292b are moved to their original positions by the first and second actuators 296a and 296b (ie, shown in FIG. 2G). To the printed reference plane 295a). Thereafter, the substrate 290 moved to the unloading position is unloaded from the stage 270 by a transfer device (not shown) (see the up arrow direction indicated by reference numeral 291a in FIG. 2G).

상술한 도 2g 내지 도 2k에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에서는 2개의 홀더 부재(292a,292b) 및 2개의 액추에이터(296a,296b)가 사용되는 것으로 예시적으로 도시 및 기술되어 있지만, 당업자라면 기판(290)의 사이즈에 따라 예를 들어 3개 이상의 홀더 부재 및 액추에이터가 사용될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.In the second embodiment of the present invention shown in FIGS. 2G-2K described above, two holder members 292a, 292b and two actuators 296a, 296b are exemplarily shown and described as being used. It will be appreciated that, depending on the size of the substrate 290, for example, three or more holder members and actuators may be used.

도 3은 도 2g 내지 도 2k에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치의 대안적인 실시예를 도시한 도면이다. 도 3의 대안적인 실시예에서는 설명의 편의상 하나의 홀더 부재 및 하나의 액추에이터만을 도시하고 있다는 점에 유의하여야 한다.3 is a view showing an alternative embodiment of the substrate damage prevention apparatus according to the second embodiment of the present invention shown in Figures 2g to 2k. It should be noted that the alternative embodiment of FIG. 3 shows only one holder member and one actuator for convenience of description.

도 3을 참조하면, 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치(200)는 기판(390)의 전방부(390a)를 고정하기 위한 제 1 및 제 2 상부 돌출부(394a,394b)를 구비하는 제 1 및 제 2 홀더 부재(394a,394b); 상기 제 1 및 제 2 홀더 부재(394a,394b)를 회동가능하게 지지하는 제 1 및 제 2 지지 부재(392a,392b); 및 상기 제 1 및 제 2 홀더 부재(394a,394b) 및 상기 제 1 및 제 2 지지 부재(392a,392b)에 각각 연결되는 제 1 및 제 2 액추에이터(396a,396b)를 포함한다. 제 1 및 제 2 홀더 부재(394a,394b)는 제 1 및 제 2 피봇(394a,394b)에 의해 제 1 및 제 2 지지 부재(392a,392b)에 회동 가능하게 고정된다. 제 1 및 제 2 액추에이터(396a,396b)는 제 1 및 제 2 연결부재(397a,397b)를 이용하여 제 1 및 제 2 지지 부재(392a,392b)의 상하 이동 및 전후진 동작을 제어한다. 또한, 제 1 및 제 2 액추에이터(396a,396b)는 제 3 및 제 4 연결부재(397c,397d)를 이용하여 제 1 및 제 2 홀더 부재(394a,394b)의 회동 동작을 제어한다. 즉, 제 1 및 제 2 액추에이터(396a,396b)는 인쇄 동작이 이루어지는 동안 기판(290)을 고정하고 인쇄 동작이 완료되면 상기 기판(290)의 고정 상태를 해제하도록 제 1 및 제 2 홀더 부재(394a,394b)를 회동 방식으로 제어한다.Referring to FIG. 3, the substrate damage preventing apparatus 200 according to an alternative embodiment of the present invention may include first and second upper protrusions 394a and 394b for fixing the front portion 390a of the substrate 390. First and second holder members 394a and 394b provided; First and second support members 392a and 392b rotatably supporting the first and second holder members 394a and 394b; And first and second actuators 396a and 396b connected to the first and second holder members 394a and 394b and the first and second support members 392a and 392b, respectively. The first and second holder members 394a and 394b are rotatably fixed to the first and second support members 392a and 392b by the first and second pivots 394a and 394b. The first and second actuators 396a and 396b control the vertical movement and the forward and backward operations of the first and second support members 392a and 392b using the first and second connection members 397a and 397b. In addition, the first and second actuators 396a and 396b control the rotation of the first and second holder members 394a and 394b using the third and fourth connection members 397c and 397d. That is, the first and second actuators 396a and 396b may fix the substrate 290 during the printing operation and release the fixing state of the substrate 290 when the printing operation is completed. 394a and 394b are controlled in a rotational manner.

도 4는 본 발명의 기판 손상 방지 방법의 플로우차트이다.4 is a flowchart of the substrate damage prevention method of the present invention.

도 4를 도 1c 및 도 2a 내지 도 2k와 함께 참조하면, 본 발명에 따른 기판 손상 방지 방법(400)은 a) 기판(290) 및 홀더 부재(292)를 상대적으로 이동시켜 상기 홀더 부재(292)에 구비된 상부 돌출부(294)가 상기 기판(290)의 전방부(290a)를 고정하는 단계(410); b) 블랭킷 시트(142)가 상기 기판(290) 상에 패턴 형성용 잉크를 전사하는 동안 상기 상부 돌출부(294)가 상기 전방부(290a)의 고정 상태를 유지하는 단계(420); 및 c) 상기 잉크 전사가 완료되면, 상기 상부 돌출부(294)로부터 상기 전방부(290a)의 고정 상태를 해제하는 단계(430)를 포함하고, 상기 전방부(290a)는 상기 잉크의 전사 동작이 이루어지는 동안 상기 상부 돌출부(294)에 의해 들림 현상이 방지되는 것을 특징으로 한다.Referring to FIG. 4 along with FIGS. 1C and 2A to 2K, a method 400 of preventing damage to a substrate according to the present invention includes a) relatively moving the substrate 290 and the holder member 292 to the holder member 292. Fixing the front portion 290a of the substrate 290 by the upper protrusion 294 provided in the upper surface of the substrate 290; b) maintaining (420) the upper protrusion (294) of the front portion (290a) while the blanket sheet (142) transfers the pattern forming ink onto the substrate (290); And c) when the ink transfer is completed, 430 releasing the fixing state of the front portion 290a from the upper protrusion 294, wherein the front portion 290a is configured to transfer the ink. It is characterized in that the lifting phenomenon is prevented by the upper protrusion 294 during the operation.

상술한 본 발명에 따른 기판 손상 방지 방법(400)의 단계 a)에서, 기판(290) 및 홀더 부재(292)의 상대적인 이동은 1) 홀더 부재(292)가 인쇄기준면(도 2a 및 도 2h의 경우 참조부호 295a)에 미리 정렬된 경우 센터링 장치(미도시)를 이용하여 기판(290)을 홀더 부재(292)의 방향으로 이동하거나 또는 2) 기판(290)이 인쇄기준면(도 2a 및 도 2g의 경우 참조부호 295b)에 미리 정렬된 경우 액추에이터(296)를 이용하여 홀더 부재(292)를 기판(290)의 방향으로 이동하는 것을 지칭한다. 즉, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판(290) 및 홀더 부재(292)의 상대적인 이동은 홀더 부재(292)와 기판(290)이 동시에 서로를 향하여 이동하는 경우는 포함되지 않는다.In step a) of the substrate damage prevention method 400 according to the present invention described above, the relative movement of the substrate 290 and the holder member 292 is 1) the holder member 292 of the printing reference plane (Figs. 2A and 2H) The substrate 290 in the direction of the holder member 292 using a centering device (not shown), or 2) the substrate 290 is printed reference plane (FIGS. 2A and 2G). In the case of pre-aligned with reference numeral 295b refers to the movement of the holder member 292 in the direction of the substrate 290 using the actuator 296. That is, the relative movement of the substrate 290 and the holder member 292 according to the first embodiment of the present invention is not included when the holder member 292 and the substrate 290 move toward each other at the same time.

도 4에 도시된 본 발명에 따른 기판 손상 방지 방법(400)에서는 도 2a 내지 도 2f에 도시된 본 발명의 제 1 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 기판(290) 및 홀더 부재(292)를 사용하는 기판 손상 방지 장치를 예시적으로 기술하고 있다. 그러나, 당업자라면 본 발명의 기판 손상 방지 방법(400)이 도 2g 내지 도 2k에 도시된 본 발명의 제 2 실시예 기판(290) 및 제 1 및 제 2 홀더 부재(292a,292b)를 사용하는 기판 손상 방지 장치(200)와 도 3에 도시된 대안적인 실시예에 따른 기판(390) 및 제 1 및 제 2 홀더 부재(394c,394d)를 사용하는 기판 손상 방지 장치(300)에도 동일하게 적용될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.In the substrate damage prevention method 400 according to the present invention shown in FIG. 4, the substrate 290 and the holder member 292 according to the first and alternative embodiments of the present invention shown in FIGS. 2A to 2F are replaced. The substrate damage prevention apparatus to be used is exemplarily described. However, those skilled in the art will appreciate that the substrate damage prevention method 400 of the present invention uses the second embodiment substrate 290 and the first and second holder members 292a and 292b of the present invention shown in Figs. 2G-2K. The same applies to the substrate damage preventing apparatus 200 and the substrate damage preventing apparatus 300 using the substrate 390 and the first and second holder members 394c and 394d according to the alternative embodiment shown in FIG. 3. I can understand enough.

상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 손상 방지 장치 및 손상 방지 방법을 사용하면, 기판(290)의 전방부(290a)의 들림 현상이 방지되어 기판(290)의 손상 또는 파괴를 방지할 수 있다. As described above, when the substrate damage preventing device and the damage preventing method of the present invention are used, the lifting phenomenon of the front portion 290a of the substrate 290 may be prevented, thereby preventing damage or destruction of the substrate 290.

상술한 본 발명의 기판 손상 방지 장치 및 손상 방지 방법은 그라비아 오프셋 방식의 패턴 형성용 롤 인쇄 장치를 사용한 기판의 인쇄 동작의 경우를 예시적으로 설명하고 있지만, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 기판 손상 방지 장치 및 손상 방지 방법은 리버스 오프셋 방식의 롤 인쇄 장치, 또는 플레이트-투-플레이트 인쇄 방식의 롤 인쇄 장치 등을 사용하는 기판의 인쇄 동작의 경우에도 동일하게 적용될 수 있다는 것은 자명하다.The substrate damage preventing device and the damage preventing method of the present invention described above exemplarily illustrate the case of the printing operation of the substrate using the gravure offset type pattern printing roll printing device, but the present invention is not limited thereto. That is, the substrate damage preventing apparatus and the damage preventing method of the present invention can be equally applied to the printing operation of a substrate using a reverse offset roll printing apparatus or a plate-to-plate printing roll printing apparatus. It is self-evident.

다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.Various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims. It is not. Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be defined only in accordance with the following claims and their equivalents.

도 1a는 통상적인 그라비아 오프셋 방식의 패턴 형성용 롤 인쇄 장치의 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.Fig. 1A is a schematic cross-sectional view of a conventional roll gravure offset printing apparatus for pattern formation.

도 1b는 도 1a에 도시된 그라비아 오프셋 방식의 패턴 형성용 롤 인쇄 장치의 측단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 1B is a schematic side cross-sectional view of the roll printing apparatus for forming a pattern of a gravure offset method shown in FIG. 1A.

도 1c는 제 2 롤의 블랭킷 시트와 기판이 접촉할 때 기판의 전방부가 상부로 들어 올려지는 들림 현상이 발생하는 것을 도시한 도면이다.FIG. 1C is a view showing that a lifting phenomenon occurs in which the front portion of the substrate is lifted upward when the blanket sheet of the second roll contacts the substrate.

도 2a는 기판이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치의 전방에 위치된 평면도를 도시한 도면이다.FIG. 2A is a view showing a plan view in which a substrate is located in front of the apparatus for preventing damage to a substrate according to the first embodiment of the present invention.

도 2b는 기판이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치로 이동하는 것을 도시한 평면도이다.FIG. 2B is a plan view showing that the substrate moves to the substrate damage preventing apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도 2c는 기판이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치로 이동 및 정렬된 상태의 일측 단면도이다.FIG. 2C is a side cross-sectional view of the substrate being moved and aligned with the substrate damage preventing apparatus according to the first embodiment of the present invention. FIG.

도 2d는 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치에서 별도로 제공되는 복수의 푸셔(pusher) 및 복수의 액추에이터에 의해 기판을 언로딩 위치로 이송하는 것을 도시한 일측 단면도이다.FIG. 2D is a cross-sectional side view illustrating the transfer of a substrate to an unloading position by a plurality of pushers and a plurality of actuators provided separately in a substrate damage preventing apparatus according to an alternative embodiment of the present invention.

도 2e는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치가 기판에 정렬된 상태의 평면도이다.2E is a plan view of the substrate damage preventing apparatus according to the first embodiment of the present invention aligned with the substrate.

도 2f는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치가 기판으로 이동 및 정렬된 상태의 일측 단면도이다. 2F is a cross-sectional side view of the substrate damage preventing apparatus according to the first embodiment of the present invention being moved and aligned with the substrate.

도 2g는 기판이 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치에 정렬된 상태의 평면도이다. Fig. 2G is a plan view of the substrate aligned with the substrate damage preventing apparatus according to the second embodiment of the present invention.

도 2h는 기판이 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치로 이동하여 고정된 상태의 평면도이다.2H is a plan view of the substrate in a fixed state by moving to a substrate damage preventing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 2i는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치가 스테이지 상부로 상승한 상태에서 기판이 정렬된 상태, 및 기판 손상 방지 장치의 홀더 부재가 기판의 전방부를 고정한 상태의 일측 단면도를 각각 도시한 도면이다.2I is a cross-sectional view of one side of a state in which the substrates are aligned while the substrate damage prevention apparatus according to the second embodiment of the present invention is raised above the stage, and the holder member of the substrate damage prevention apparatus fixes the front portion of the substrate, respectively. One drawing.

도 2j은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치가 기판으로 이동하여 기판을 고정한 상태의 평면도이다.2J is a plan view of a substrate damage preventing apparatus according to a second embodiment of the present invention, moving to a substrate to fix the substrate.

도 2k는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치가 스테이지 상부로 상승한 상태에서 기판 방향으로 이동한 후 기판과 정렬된 상태 및 기판 손상 방지 장치의 홀더 부재가 기판의 전방부를 고정한 상태의 일측 단면도를 도시한 도면이다.2K illustrates a state in which the substrate damage preventing apparatus according to the second embodiment of the present invention is aligned with the substrate after moving in the direction of the substrate in a state where the substrate damage preventing apparatus is raised above the stage, and the holder member of the substrate damage preventing apparatus fixes the front portion of the substrate. It is a figure which shows one side cross section.

도 3은 도 2g 내지 도 2k에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 손상 방지 장치의 대안적인 실시예를 도시한 도면이다.3 is a view showing an alternative embodiment of the substrate damage prevention apparatus according to the second embodiment of the present invention shown in Figures 2g to 2k.

도 4는 본 발명에 따른 기판 손상 방지 방법의 플로우차트이다. 4 is a flowchart of a substrate damage prevention method according to the present invention.

Claims (14)

기판 손상 방지 장치에 있어서,In the substrate damage prevention device, 기판의 전방부를 고정하기 위한 상부 돌출부를 구비하는 홀더 부재; 및A holder member having an upper protrusion for fixing the front portion of the substrate; And 상기 홀더 부재에 연결되는 액추에이터를 포함하고,An actuator connected to the holder member, 상기 홀더 부재는 상기 기판 상에서 인쇄 동작이 이루어지는 동안 상기 기판의 전방부를 고정하고, 상기 액추에이터는 상기 인쇄 동작이 완료되면 상기 기판의 고정 상태를 해제하도록 상기 홀더 부재를 제어하는The holder member fixes the front portion of the substrate while a printing operation is performed on the substrate, and the actuator controls the holder member to release the fixing state of the substrate when the printing operation is completed. 기판 손상 방지 장치.Substrate damage prevention device. 제 1항에 있어서, 상기 상부 돌출부의 길이(L)는 1mm인 기판 손상 방지 장치. The apparatus of claim 1, wherein a length L of the upper protrusion is 1 mm. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 홀더 부재는 더미 글래스로 구현되고,The holder member is implemented as a dummy glass, 상기 액추에이터는 에어 실린더(air cylinder)로 구현되는 The actuator is implemented by an air cylinder 기판 손상 방지 장치. Substrate damage prevention device. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 홀더 부재가 인쇄기준면에 미리 정렬되는 경우, 상기 기판이 상기 홀더 부재 방향으로 이송되어 상기 전방부가 상기 상부 돌출부에 의해 고정되고,When the holder member is aligned in advance with the printing reference plane, the substrate is transferred in the direction of the holder member so that the front part is fixed by the upper protrusion, 상기 인쇄 동작이 완료되면, 상기 홀더 부재는 상기 액추에이터에 의해 상기 기판을 언로딩 위치 방향으로 밀어낸 후 원래 위치로 복귀되는 When the printing operation is completed, the holder member is pushed back to the unloading position direction by the actuator to return to the original position. 기판 손상 방지 장치. Substrate damage prevention device. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 기판이 인쇄기준면에 미리 정렬되는 경우, 상기 홀더 부재가 상기 액추에이터에 의해 상기 기판 방향으로 이송되어 상기 전방부가 상기 상부 돌출부에 의해 고정되고,When the substrate is aligned in advance with the printing reference plane, the holder member is transferred in the direction of the substrate by the actuator so that the front portion is fixed by the upper protrusion, 상기 인쇄 동작이 완료되면, 상기 홀더 부재는 상기 액추에이터에 의해 원래 위치로 복귀되는When the printing operation is completed, the holder member is returned to its original position by the actuator. 기판 손상 방지 장치. Substrate damage prevention device. 기판 손상 방지 장치에 있어서,In the substrate damage prevention device, 기판의 전방부를 고정하기 위한 상부 돌출부를 구비하는 홀더 부재;A holder member having an upper protrusion for fixing the front portion of the substrate; 상기 홀더 부재의 하부에 제공되는 복수의 푸셔(pusher); 및 A plurality of pushers provided below the holder member; And 상기 복수의 푸셔에 연결되는 복수의 액추에이터A plurality of actuators connected to the plurality of pushers 를 포함하고, Including, 상기 홀더 부재는 상기 기판 상에서 인쇄 동작이 이루어지는 동안 상기 기판의 전방부를 고정하고, 상기 복수의 액추에이터는 상기 인쇄 동작이 완료되면 상기 기판의 고정 상태를 해제하도록 상기 복수의 푸셔를 제어하는 The holder member fixes the front portion of the substrate while the printing operation is performed on the substrate, and the plurality of actuators control the plurality of pushers to release the fixing state of the substrate when the printing operation is completed. 기판 손상 방지 장치. Substrate damage prevention device. 기판 손상 방지 장치에 있어서,In the substrate damage prevention device, 기판의 전방부를 고정하기 위한 복수의 상부 돌출부를 구비하는 복수의 홀더 부재; 및A plurality of holder members having a plurality of upper protrusions for fixing the front portion of the substrate; And 상기 복수의 홀더 부재에 연결되는 복수의 액추에이터를 포함하고, A plurality of actuators connected to the plurality of holder members, 상기 복수의 액추에이터는 상기 기판 상에서 인쇄 동작이 이루어지는 동안 상기 기판의 전방부를 고정하고, 상기 기판의 인쇄 동작이 완료되면 상기 기판의 고정 상태를 해제하도록 상기 복수의 홀더 부재를 제어하는The plurality of actuators may control the plurality of holder members to fix the front portion of the substrate during the printing operation on the substrate, and to release the fixing state of the substrate when the printing operation of the substrate is completed. 기판 손상 방지 장치.Substrate damage prevention device. 제 7항에 있어서, 상기 복수의 상부 돌출부의 길이(L)는 각각 1mm인 기판 손상 방지 장치. The apparatus of claim 7, wherein each of the plurality of upper protrusions has a length L of 1 mm. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 복수의 홀더 부재는 각각 푸셔(pusher)로 구현되고, The plurality of holder members are each implemented as a pusher (pusher), 상기 복수의 액추에이터는 각각 에어 실린더(air cylinder)로 구현되는 The plurality of actuators are each implemented with an air cylinder 기판 손상 방지 장치. Substrate damage prevention device. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 기판 손상 방지 장치는 상기 복수의 홀더 부재를 회동가능하게 지지하는 복수의 지지 부재를 추가로 포함하고,The substrate damage preventing apparatus further includes a plurality of support members rotatably supporting the plurality of holder members, 상기 복수의 홀더 부재 및 상기 복수의 지지 부재는 각각 상기 복수의 액추에이터에 연결되며,The plurality of holder members and the plurality of support members are each connected to the plurality of actuators, 상기복수의 액추에이터는 상기 복수의 지지 부재의 상하 이동 및 전후진 동작을 제어하고 또한 상기 복수의 액추에이터의 고정 동작 및 해제 동작을 회동 방식으로 제어하는The plurality of actuators control the vertical movement and the forward and backward operations of the plurality of support members, and the rotational control of the fixing operation and the release operation of the plurality of actuators. 기판 손상 방지 장치.Substrate damage prevention device. 제 7항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 7 to 10, 상기 복수의 홀더 부재가 인쇄기준면에 미리 정렬되는 경우, 상기 기판이 상기 복수의 홀더 부재 방향으로 이송되어 상기 전방부가 상기 복수의 상부 돌출부에 의해 고정되고,When the plurality of holder members are aligned in advance with the printing reference plane, the substrate is transferred in the direction of the plurality of holder members so that the front part is fixed by the plurality of upper protrusions, 상기 인쇄 동작이 완료되면, 상기 복수의 홀더 부재는 상기 복수의 액추에이터에 의해 상기 기판을 언로딩 위치 방향으로 밀어낸 후 원래 위치로 복귀되는 When the printing operation is completed, the plurality of holder members are pushed back to the unloading position direction by the plurality of actuators and then returned to their original positions. 기판 손상 방지 장치. Substrate damage prevention device. 제 7항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 7 to 10, 상기 기판이 인쇄기준면에 미리 정렬되는 경우, 상기 복수의 홀더 부재가 상 기 복수의 액추에이터에 의해 상기 기판 방향으로 이송되어 상기 전방부가 상기 복수의 상부 돌출부에 의해 고정되고,When the substrate is aligned in advance with the printing reference plane, the plurality of holder members are transferred in the direction of the substrate by the plurality of actuators so that the front portion is fixed by the plurality of upper protrusions, 상기 인쇄 동작이 완료되면, 상기 복수의 홀더 부재는 상기 복수의 액추에이터에 의해 원래 위치로 복귀되는When the printing operation is completed, the plurality of holder members are returned to their original positions by the plurality of actuators. 기판 손상 방지 장치. Substrate damage prevention device. 기판 손상 방지 방법에 있어서,In the substrate damage prevention method, a) 기판 및 홀더 부재를 상대적으로 이동시켜 상기 홀더 부재에 구비된 상부 돌출부가 상기 기판의 전방부를 고정하는 단계;a) moving the substrate and the holder member relatively to fix the front portion of the substrate to an upper protrusion provided on the holder member; b) 블랭킷 시트가 상기 기판 상에 패턴 형성용 잉크를 전사하는 동안 상기 상부 돌출부가 상기 전방부의 고정 상태를 유지하는 단계; 및b) maintaining the upper protrusion of the front portion while the blanket sheet transfers the pattern forming ink onto the substrate; And c) 상기 잉크 전사가 완료되면, 상기 상부 돌출부로부터 상기 전방부의 고정 상태를 해제하는 단계c) when the ink transfer is completed, releasing the fixing of the front portion from the upper protrusion 를 포함하고,Including, 상기 전방부는 상기 잉크의 전사 동작이 이루어지는 동안 상기 상부 돌출부에 의해 들림 현상이 방지되는 The front portion is prevented from being lifted by the upper protrusion during the transfer operation of the ink. 기판 손상 방지 방법.How to avoid substrate damage. 제 13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 기판 및 상기 홀더 부재의 상대적인 이동은 상기 홀더 부재가 인쇄기준 면에 미리 정렬된 경우 상기 기판을 상기 홀더 부재의 방향으로 이동하거나 또는 상기 기판이 인쇄기준면에 미리 정렬된 경우 상기 홀더 부재를 상기 기판의 방향으로 이동하여 이루어지는The relative movement of the substrate and the holder member is such that the substrate is moved in the direction of the holder member when the holder member is pre-aligned with the printing reference plane or the holder member is moved when the substrate is pre-aligned with the printing reference plane. Is made by moving in the direction of 기판 손상 방지 방법. How to avoid substrate damage.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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