KR101000996B1

KR101000996B1 - Device for gas supplying and driving method thereof

Info

Publication number: KR101000996B1
Application number: KR1020080096884A
Authority: KR
Inventors: 이진복; 김진석; 문동민; 김광섭; 이정순; 강남구; 민들레
Original assignee: 한국표준과학연구원
Priority date: 2008-10-02
Filing date: 2008-10-02
Publication date: 2010-12-13
Also published as: KR20100037674A

Abstract

본 발명은 가스 공급 장치 및 그 구동 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 구성을 간소화하고 직경이 작은 배관 내부도 용이하게 진공상태를 유지할 수 있어 불필요한 가스 낭비를 막고 소형화가 가능하며, 잔존하는 가스에 의해 공급 가스가 오염되는 것을 방지하여 가스 공급의 정확도 및 신뢰성을 높일 수 있는 가스 공급 장치 및 그 구동 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a gas supply device and a driving method thereof, and more particularly, to simplify the configuration and to easily maintain a vacuum even inside a small diameter pipe, thereby preventing unnecessary gas waste and miniaturization. The present invention relates to a gas supply device and a driving method thereof capable of preventing contamination of the supply gas to thereby increase the accuracy and reliability of the gas supply.

본 발명의 가스 공급 장치는 가스통으로 가스를 공급하는 가스 공급 장치에 있어서, 상기 가스 공급 장치는 연결부위를 제공하는 주입부가 돌출형성되되, 상기 주입부 내부와 가스가 공급되어 저장되는 공간을 선택적으로 연통하는 개폐밸브가 형성된 가스통; 가스가 저장되는 가스저장부; 상기 가스통의 하부에 구비되는 저울; 제1포트가 상기 가스저장부와 연결되는 제1배관과 연결되고, 제2포트가 상기 가스통과 연결되는 제2배관과 연결되며, 제3포트가 진공펌프가 연결되는 제3배관과 연결되는 연결수단; 상기 제1배관, 제2배관 및 제3배관에 각각 형성되는 제1밸브, 제2밸브 및 제3밸브; 상기 제2배관과 가스통의 주입부를 연결하여 상기 개폐밸브의 작동에 따라 상기 제2배관을 통해 이송된 가스가 상기 가스통 내부로 유입되도록 하거나 외부로 배출되도록 하는 가스배출수단; 을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 한다. The gas supply device of the present invention is a gas supply device for supplying a gas to the gas cylinder, the gas supply device is an injection portion for providing a connection portion protrudes, the interior of the injection portion and the gas is supplied and stored selectively A gas cylinder formed with an on / off valve communicating; A gas storage unit in which gas is stored; A scale provided under the gas cylinder; A first port is connected to the first pipe connected to the gas reservoir, the second port is connected to the second pipe connected to the gas cylinder, the third port is connected to the third pipe connected to the vacuum pump Way; A first valve, a second valve, and a third valve formed on the first pipe, the second pipe, and the third pipe, respectively; A gas discharge means for connecting the inlet of the second pipe and the gas cylinder to allow the gas transferred through the second pipe to be introduced into the gas cylinder or discharged to the outside according to the operation of the on / off valve; And the second electrode is formed.

이에 따라, 본 발명의 가스 공급 장치 및 그 구동 방법은 내부 구성을 간소화하고 가스배출수단이 형성되어 내부에 가스가 잔존하는 것을 방지함으로써 가스 공급량의 오류를 방지할 수 있고, 복수개의 혼합 기체의 제조 시에도 각각의 기체를 정량 혼합가능하여 정밀한 성분비를 갖는 혼합가스를 제조할 수 있는 장점이 있다.Accordingly, the gas supply device and the driving method thereof of the present invention can prevent the error of the gas supply amount by simplifying the internal configuration and preventing the gas remaining inside the gas discharge means is formed, the production of a plurality of mixed gas Even when the gas can be mixed quantitatively has the advantage of producing a mixed gas having a precise component ratio.

또한, 본 발명의 가스 공급 장치 및 그 구동 방법은 낭비되는 가스량을 줄일 수 있으며, 장치를 소형화하고, 사용의 편리성을 높일 수 있는 장점이 있다. In addition, the gas supply device and the driving method thereof of the present invention can reduce the amount of gas wasted, there is an advantage that can reduce the size of the device, and increase the ease of use.

가스, 공급 Gas supply

Description

Gas supply device and its driving method {DEVICE FOR GAS SUPPLYING AND DRIVING METHOD THEREOF}

가스 공급 장치는 가스공급부에 저장된 가스를 목적 실린더로 정량을 공급하도록 하는 장치로서, 필요에 따라 둘 이상의 순수가스를 혼합하는 혼합가스 제고 장치로도 활용된다.The gas supply device is a device for supplying a fixed quantity of gas stored in the gas supply unit to a target cylinder, and is also used as a mixed gas enhancing device for mixing two or more pure gases as necessary.

종래의 가스 공급 장치는 가스공급부와 목적 실린더를 연결하는 배관에 복수개의 밸브, 압력게이지 등이 형성된다.In the conventional gas supply device, a plurality of valves, pressure gauges, and the like are formed in a pipe connecting the gas supply unit and the target cylinder.

이 때, 배관 내부 기체를 배출하여 공급되는 가스량의 정확도를 높일 수 있도록 진공펌프가 구비되는 데, 상기 배관의 이음새, 밸브 등의 구성품 사이에 틈이 발생되어 이전 가스가 잔존하기 쉬우며, 특히, 압력 게이지나 압력 센서 등은 내부가 좁고 긴 형태로 형성되어 진공을 형성하기 위해서는 오랜 시간이 소요되고 완벽한 제거가 어려운 문제점이 있다.At this time, the vacuum pump is provided to increase the accuracy of the amount of gas supplied by discharging the gas inside the pipe, a gap is generated between the components of the pipe, such as a valve, it is easy to remain the previous gas, in particular, The pressure gauge or the pressure sensor is formed in a narrow and long form, it takes a long time to form a vacuum and there is a problem that it is difficult to remove completely.

내부에 가스가 잔존하는 경우에 동일한 가스를 공급한다 할지라도 정확한 양의 가스를 공급하는 것이 어려워 장치의 신뢰성을 저하시킬 수 있고, 순차적으로 다른 종류의 가스를 주입하는 경우에는 각 가스의 농도비를 정밀하게 맞추기 힘들며, 진공작업에 오랜 시간이 소요되어 제조 과정이 오래 소요되는 문제점이 있다.Even if the same gas is supplied in the case of remaining gas inside, it is difficult to supply the correct amount of gas, which may lower the reliability of the apparatus. Difficult to fit, there is a problem that takes a long time in the vacuum operation takes a long manufacturing process.

즉, 종래의 가스 공급 장치는 공급되는 가스의 양을 정확하게 조절하기가 어려운 문제점이 있다.That is, the conventional gas supply device has a problem that it is difficult to accurately adjust the amount of gas supplied.

한편, 상기 진공형성의 어려움을 해결하기 위하여 배관의 직경 등을 증가하는 방법이 이용되고 있으나, 이는 불필요한 가스의 낭비를 유발하고, 각각의 구성품에 가스가 잔존함에 따라 발생되는 문제점이 여전히 남아 있다.On the other hand, in order to solve the difficulty of forming the vacuum, a method of increasing the diameter of the pipe, etc. is used, which causes waste of unnecessary gas, and still remains a problem caused by the gas remaining in each component.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 구성을 간소화하여 내부에 이전 가스가 잔존하는 것을 줄이고 내부 가스가 원활히 배출될 수 있는 가스배출수단이 형성되어 장치 내부를 깨끗하게 유지하며, 진공이 용이하게 형성되도록 함으로써 잔존물에 의해 가스 공급량의 오류가 발생되거나 이로 인한 신뢰성 저하를 방지할 수 있는 가스 공급 장치 및 그 구동 방법을 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the problems described above, an object of the present invention is to simplify the configuration to reduce the remaining of the previous gas in the interior gas discharge means that can be discharged smoothly inside the device is formed It is to provide a gas supply device and a method of driving the same to keep the clean, and to easily form a vacuum to prevent the error of the gas supply amount caused by the residue or the resulting degradation of reliability.

또한, 본 발명의 목적은 직경이 작은 배관을 형성한다 하더라도 용이하게 진공을 형성할 수 있어 낭비되는 가스의 양을 줄일 수 있으며, 장치를 소형화하여 생산성을 높이고, 사용의 편리성을 높일 수 있는 가스 공급 장치 및 그 구동 방법을 제공하는 것이다. In addition, an object of the present invention can easily form a vacuum even if a small diameter pipe is formed can reduce the amount of gas wasted, the gas can be reduced in size to increase the productivity, ease of use It is to provide a supply device and a driving method thereof.

또한, 상기 가스배출수단은 상기 개폐밸브가 개방되는 경우에, 상기 제2배관으로부터 유입된 가스가 상기 가스통 내부로 이동되도록 하는 제1유로; 및 상기 주입부에 삽입되는 측이 상기 제1유로의 일정 영역을 감싸도록 형성되고, 타측 단부가 외주 방향으로 돌출형성되어 상기 개폐밸브가 폐쇄되는 경우에, 상기 제1유로를 통해 유입된 가스가 배출되는 제2유로; 가 형성되고, 상기 제2유로의 돌출된 영역 단부는 배출밸브가 형성된 제4배관이 연결되는 것을 특징으로 한다.In addition, the gas discharge means may include a first flow passage for moving the gas introduced from the second pipe into the gas cylinder when the on-off valve is opened; And a side inserted into the injection part to surround a predetermined area of the first flow path, and when the other end is formed to protrude in the circumferential direction to close the open / close valve, the gas introduced through the first flow path is A second flow path discharged; Is formed, the protruding region end of the second flow path is characterized in that the fourth pipe is formed with a discharge valve is connected.

아울러, 상기 제4배관은 배출가스저장부가 더 형성되는 것을 특징으로 하고, 상기 가스배출수단은 상기 제2유로가 감싸지 않는 제1유로 내부로 공기를 공급하는 공기공급부가 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the fourth pipe is characterized in that the discharge gas storage unit is further formed, the gas discharge means is characterized in that the air supply unit for supplying air into the first passage that is not surrounded by the second passage is formed.

또, 상기 가스배출수단은 일측이 상기 주입부에 내부에 삽입되는 깊이를 조절하며 체결이 용이하도록 외주면에 방사형으로 돌출되는 밀폐플랜지가 형성되고, 상기 주입부의 외주면에 형성된 수나사와 맞물리는 암나사가 내주면에 형성되며, 체결시 상기 밀폐플랜지를 주입부 내측방향으로 압박하도록 중심을 향해 돌출되는 걸림턱이 형성된 밀폐형체결너트가 더 형성되는 것을 특징으로 하며, 상기 가스저장부는 상기 제1배관과 탈착가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다. In addition, the gas discharge means is formed with a sealing flange protruding radially on the outer circumferential surface to adjust the depth of one side is inserted into the injection portion inside the easy to fasten, and the internal thread of the female screw engaged with the male screw formed on the outer circumferential surface of the injection portion It is formed in, characterized in that the sealing fastening nut is formed with a locking projection protruding toward the center so as to press the sealing flange in the inward direction when the fastening, characterized in that the gas reservoir is removable with the first pipe It is characterized by being formed.

또한, 상기 가스 공급 장치는 복수개의 가스통으로 공급되는 가스를 분배하는 멀티분배기가 더 형성되고, 상기 가스배출수단은 상기 멀티분배기와 가스통 사이에 각각 형성되는 것을 특징으로 하고, 상기 가스 공급 장치는 상기 가스통의 중량을 측정하는 저울의 하부 또는 상기 가스저장부의 하부에 높이조절수단이 더 형성되는 것을 특징으로 한다.The gas supply device may further include a multi-distributor for distributing the gas supplied to the plurality of gas cylinders, and the gas discharge means may be formed between the multi-distributor and the gas cylinder, respectively. Characterized in that the height adjustment means is further formed on the lower portion of the balance or the lower portion of the gas storage unit for measuring the weight of the gas cylinder.

한편, 본 발명의 가스 공급 장치 구동 방법은 상술한 바와 같은 특징을 갖는 가스 공급 장치의 구동 방법에 있어서, 상기 가스 공급 장치의 작동 방법은 S110) 상기 가스 공급 장치 내부가 진공 상태가 되도록 상기 진공펌프를 작동하는 진공펌프 작동 단계; S120) 상기 제1밸브, 제2밸브, 및 배출밸브를 개방하되, 상기 제3밸브 및 가스통의 개폐밸브는 폐쇄하여 상기 가스저장부에 저장된 가스가 상기 제1배관, 연결수단, 제2배관, 상기 가스배출수단의 제1유로 및 제2유로를 순차적으로 통과하여 배출되도록 하는 가스 배출 단계; 및 S130) 상기 제3밸브를 폐쇄하고, 상기 가스통의 개폐밸브를 개방하여 상기 가스통 내부로 가스가 공급되는 가스 주입 단계; 가 포함되는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the method of driving the gas supply device of the present invention is a method of driving a gas supply device having the characteristics as described above, the operation method of the gas supply device is S110) the vacuum pump so that the inside of the gas supply device is in a vacuum state Operating a vacuum pump to operate the step; S120) Open the first valve, the second valve, and the discharge valve, the opening and closing valve of the third valve and the gas cylinder is closed so that the gas stored in the gas storage unit is the first pipe, the connecting means, the second pipe, A gas discharging step of discharging the gas through the first passage and the second passage of the gas discharge means sequentially; And a gas injection step of closing the third valve and opening and closing a valve of the gas cylinder to supply gas into the gas cylinder. Characterized in that it is included.

또한, 상기 가스 공급 장치의 작동 방법은 S140) 상기 공기공급부를 작동하여 상기 공기공급부를 통해 공급된 공기가 상기 가스배출수단의 제1유로 및 제2유로를 통해 배출되도록 함으로써 상기 가스배출수단 내부를 청소하는 청소 단계; 가 더 포함되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the method of operating the gas supply device S140) by operating the air supply unit such that the air supplied through the air supply unit is discharged through the first flow path and the second flow path of the gas discharge means by the inside of the gas discharge means. A cleaning step of cleaning; It is characterized in that it is further included.

또, 상기 가스 공급 장치의 작동 방법은 여러 종류의 가스를 순차적으로 공 급하는 경우에 상기 진공펌프 작동 단계 내지 가스 주입 단계가 반복 수행되되, S150) 상기 진공펌프 작동 단계 이후에, 상기 제1밸브를 폐쇄하고 다른 가스가 저장된 가스저장부를 연결하는 가스저장부 재연결 단계; 가 수행되는 것을 특징으로 한다. In addition, in the method of operating the gas supply device, the vacuum pump operating step to the gas injection step are repeatedly performed in the case of sequentially supplying various kinds of gases, S150) after the vacuum pump operating step, the first valve A gas storage reconnecting step of closing the gas storage unit and connecting the gas storage unit in which another gas is stored; It is characterized in that is performed.

아울러, 상기 가스 배출 단계에서 상기 제1배관, 또는 제2배관은 가열되는 것을 특징으로 한다. In addition, in the gas discharge step, the first pipe, or the second pipe is characterized in that the heating.

이에 따라, 본 발명의 가스 공급 장치 및 그 구동 방법은 내부 구성을 간소화하고 가스배출수단이 형성되어 내부에 가스가 잔존하는 것을 방지함으로써 가스 공급량의 오류를 방지할 수 있고, 복수개의 혼합 기체의 제조시에도 각각의 기체를 정량 혼합가능하여 정밀한 성분비를 갖는 혼합가스를 제조할 수 있는 장점이 있다.Accordingly, the gas supply device and the driving method thereof of the present invention can prevent the error of the gas supply amount by simplifying the internal configuration and preventing the gas remaining inside the gas discharge means is formed, the production of a plurality of mixed gas Even when the gas can be mixed quantitatively has the advantage of producing a mixed gas having a precise component ratio.

이하, 상술한 바와 같은 특징을 가지는 본 발명의 가스 공급 장치(100) 및 그 구동 방법을 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다.Hereinafter, the gas supply apparatus 100 and the driving method thereof according to the present invention having the above-described characteristics will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 가스 공급 장치(100)를 나타낸 개략도이고, 도 2는 본 발명에 따른 가스 공급 장치(100)의 가스배출수단(160)의 사시도이며, 도 3은 상기 도 2의 AA' 단면도이고, 도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 가스 공급 장치(100)의 부분 가스 흐름도이며, 도 5는 본 발명에 따른 가스 공급 장치(100)의 다른 개략도이고, 도 6은 상기 도 5에 도시한 가스 공급 장치(100)의 부분 가스 흐름도이며, 도 7은 본 발명에 따른 가스 공급 장치(100)의 또 다른 개략도이다. 1 is a schematic view showing a gas supply device 100 according to the present invention, Figure 2 is a perspective view of the gas discharge means 160 of the gas supply device 100 according to the present invention, Figure 3 is AA of FIG. 4A and 4B are partial gas flow diagrams of the gas supply device 100 according to the present invention, FIG. 5 is another schematic diagram of the gas supply device 100 according to the present invention, and FIG. A partial gas flow diagram of the gas supply device 100 shown in FIG. 7 is another schematic diagram of the gas supply device 100 according to the present invention.

본 발명의 가스 공급 장치(100)는 상기 도 1에 도시된 바와 같이, 가스통(200), 가스저장부(110), 저울(120), 연결수단(130), 제1배관(141) 내지 제3배관(143), 제1밸브(151) 내지 제3밸브(153), 가스배출수단(160)을 포함하여 형성된다.As shown in FIG. 1, the gas supply device 100 of the present invention includes a gas cylinder 200, a gas storage unit 110, a scale 120, a connecting means 130, and a first pipe 141 to a first pipe. Three pipes 143, the first valve 151 to the third valve 153 is formed, including the gas discharge means 160.

상기 가스통(200)은 가스가 공급되는 목적 공간으로서, 상기 가스통(200)은 필요에 따라 하나의 순수 가스가 공급될 수도 있고, 순차적으로 여러 종류의 순수 가스가 공급되어 혼합 가스가 내장되도록 할 수 있다.The gas cylinder 200 is a target space for supplying gas, and the gas cylinder 200 may be supplied with one pure gas as needed, and several kinds of pure gas may be sequentially supplied to allow the mixed gas to be embedded. have.

상기 가스통(200)은 체결이 용이하도록 연결부위를 제공하는 주입부(210)가 돌출형성되고, 가스가 저장되는 공간과, 상기 주입부(210) 내부 공간을 선택적으로 연통시켜 가스가 공급되도록 하는 개폐밸브(220)가 형성된다.The gas cylinder 200 has an injection portion 210 that protrudes to provide a connection portion for easy fastening, and selectively communicates a space in which gas is stored and an internal space of the injection portion 210 to supply gas. On-off valve 220 is formed.

상기 주입부(210)는 상기 도 1에 도시된 바와 같이, 가스통(200)의 상부에 형성되는 것이 바람직하며, 상기 주입부(210)를 통한 연결구조는 아래에서 다시 설명한다.As shown in FIG. 1, the injection unit 210 is preferably formed on an upper portion of the gas cylinder 200, and a connection structure through the injection unit 210 will be described later.

상기 가스저장부(110)는 상기 가스통(200)으로 공급되는 순수 가스가 저장된 공간으로, 상기 가스저장부(110) 역시 상기 가스통(200)과 같은 주입부 및 밸브가 형성되도록 구성될 수 있다.The gas storage unit 110 is a space in which the pure gas supplied to the gas cylinder 200 is stored, and the gas storage unit 110 may also be configured such that an injection unit and a valve, such as the gas cylinder 200, are formed.

상기 저울(120)은 상기 가스통(200)의 하부에 구비되어 가스의 유입에 따른 중량 변화를 정밀하게 측정하는 수단으로써, 본 발명의 가스 공급 장치(100)는 상기 저울(120)의 지침을 읽어 순수 가스의 충전량을 결정하는 "중량법"이 이용된다.The scale 120 is provided in the lower portion of the gas cylinder 200 as a means for precisely measuring the change in weight according to the inflow of gas, the gas supply device 100 of the present invention read the instructions of the scale 120 A "weight method" for determining the amount of pure gas charged is used.

상기 제1배관(141) 내지 제3배관(143)은 각각 일측이 상기 가스저장부(110), 가스통(200), 진공펌프(190)가 연결되는 구성으로, 상기 제1배관(141) 내지 제3배관(143)의 타측은 연결수단(130)을 통해 상기 구성품들이 연통되도록 한다.Each of the first pipe 141 to the third pipe 143 is configured such that one side of the first pipe 141 to the third pipe 143 is connected to the gas storage unit 110, the gas cylinder 200, and the vacuum pump 190. The other side of the third pipe 143 allows the components to communicate through the connecting means 130.

상기 진공펌프(190)는 대기압조건에서 이용이 가능한 드라이펌프(Dry Pump)가 이용될 수 있으며, 이 외에도 다양하게 형성될 수 있다.The vacuum pump 190 may be a dry pump (Dry Pump) that can be used at atmospheric pressure conditions, it can be formed in various ways.

더욱 상세하게, 상기 연결수단(130)은 상기 가스저장부(110)와 연결되는 제1배관(141)과 연결되는 제1포트(131), 상기 가스통(200)과 연결되는 제2배관(142)이 연결되는 제2포트(132), 및 상기 진공펌프(190)가 연결되는 제3배관(143)이 연결되는 제3포트(133)가 형성된다.More specifically, the connecting means 130 is a first port 131 connected to the first pipe 141 connected to the gas storage unit 110, the second pipe 142 connected to the gas cylinder 200. ) Is connected to the second port 132 and a third port 133 to which the third pipe 143 to which the vacuum pump 190 is connected is formed.

상기 도 1은 상기 제1포트(131) 및 제2포트(132)가 평행하게 형성되고, 상기 제3포트(133)가 이에 수직하는 방향으로 형성된 예를 도시한 것으로, 본 발명의 가스 공급 장치(100)는 이와 같은 형태의 연결수단(130)이 형성되고, 게이지 등과 같은 별도의 구성을 삭제함으로써 각 배관과의 연결이 용이하면서도 장치 내부의 상기 진공펌프(190)에 의한 진공 형성이 용이하게 진행될 수 있어 상기 배관의 직경이 필요 이상으로 커지는 문제점을 해결할 수 있게 된다. FIG. 1 illustrates an example in which the first port 131 and the second port 132 are formed in parallel, and the third port 133 is formed in a direction perpendicular to the first port 131 and the second port 132. The connection means 130 of this type is formed, and by eliminating a separate configuration such as a gauge, it is easy to connect with each pipe, while easily forming a vacuum by the vacuum pump 190 inside the device. It can proceed to solve the problem that the diameter of the pipe becomes larger than necessary.

상기 연결수단(130)은 VCR Gasket Connector 등이 이용될 수 있으며, 단일 구성품으로 형성되어 데드 볼륨(Dead Volume) 형성을 방지하도록 한다.The connecting means 130 may be used, such as a VCR gasket connector, it is formed of a single component to prevent the formation of a dead volume (Dead Volume).

상기 가스배출수단(160)은 상기 제2배관(142)과 상기 가스통(200)의 주입부(210)를 연결하여 상기 개폐밸브(220)의 작동에 따라 상기 제2배관(142)을 통해 이송된 가스가 상기 가스통(200) 내부로 유입되도록 하거나 외부로 배출되도록 하는 수단이다.The gas discharging means 160 connects the second pipe 142 and the injection part 210 of the gas cylinder 200 to be transferred through the second pipe 142 according to the operation of the open / close valve 220. The gas may be introduced into the gas cylinder 200 or discharged to the outside.

상기 가스배출수단(160)은 상기 가스통(200)의 개폐밸브(220)의 작동에 따라 상기 가스통(200)으로 공급되기 이전에 오염 물질을 포함하는 가스가 배출되도록 하는 1차적인 목표를 가지고 있으며, 그 형태를 설명하면, 상기 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 가스배출수단(160)은 상기 개폐밸브(220)가 개방되는 경우에, 상기 제2배관(142)으로부터 유입된 가스가 상기 가스통(200) 내부로 이동되도록 하는 제1유로(161); 및 상기 주입부(210)에 삽입되는 측이 상기 제1유로(161)의 일정 영역을 감싸도록 형성되고, 타측 단부가 외부 방향으로 돌출형성되어 상기 개폐밸브(220)가 폐쇄되는 경우에, 상기 제1유로(161)를 통해 유입된 가스가 배출되는 제2유로(162); 가 형성되고, 상기 제2유로(162)의 돌출된 영역 단부는 배출밸브(154)가 형성된 제4배관(144)이 연결된다.The gas discharge means 160 has a primary goal of discharging the gas containing contaminants before being supplied to the gas cylinder 200 according to the operation of the on-off valve 220 of the gas cylinder 200. 2 and 3, the gas discharge means 160 is a gas introduced from the second pipe 142 when the on-off valve 220 is opened. A first passage 161 for moving the gas cylinder 200 into the gas cylinder 200; And the side inserted into the injection part 210 to surround a predetermined region of the first flow path 161, and the other end is formed to protrude outward so that the open / close valve 220 is closed. A second flow passage 162 through which the gas introduced through the first flow passage 161 is discharged; Is formed, and a fourth pipe 144 having a discharge valve 154 is connected to an end of the protruding region of the second flow passage 162.

이 때, 상기 제4배관(144)이 형성되는 측은 상기 제2유로(161)를 따라 도면에서 우측에서 좌측방향으로 이동되므로 가스가 원활히 배출되도록 상기 제2배관(142)이 형성된 측으로 일정각도 경사지게 형성될 수 있다. At this time, the side in which the fourth pipe 144 is formed is moved from the right side to the left side in the drawing along the second flow path 161 so that the gas is smoothly discharged at a predetermined angle to the side in which the second pipe 142 is formed. Can be formed.

도 3에서 제2유로(162)를 진하게 표시하였다.In FIG. 3, the second channel 162 is shown in bold.

상기 제1유로(161)는 상기 제2배관(142)과 가스통(200) 내부를 연결하도록 하는 구성으로, 상기 제2배관(142)으로부터 이송되는 가스가 동일 흐름을 가지고 상기 가스통(200) 내부로 공급될 수 있도록 관형태로 형성되며, 이 흐름을 도 4a에 도시하였다.The first passage 161 is configured to connect the second pipe 142 and the inside of the gas cylinder 200, and the gas transferred from the second pipe 142 has the same flow and has the same flow therein. It is formed in a tubular shape so that it can be supplied to the furnace, and this flow is shown in FIG. 4A.

또한, 상기 제2유로(162)는 길이방향으로 상기 제1유로(161)의 일부를 감싸는 형태로 형성되며, 상기 주입부(210) 내부의 상기 개폐밸브(220)에 의해 폐쇄되어 상기 제1유로(161) 내부의 흐름과 반대방향의 흐름을 갖도록 이동되고 타측 단부에 외주 방향으로 돌출되어, 상기 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 제1유로(161)를 통해 유입된 가스는 상기 개폐밸브(220)에 부딪혀 상기 제2유로(162)로 유입되어 외부로 배출된다.In addition, the second flow path 162 is formed to surround a portion of the first flow path 161 in the longitudinal direction, is closed by the on-off valve 220 inside the injection portion 210 is the first Moved to have a flow in the opposite direction to the flow in the flow path 161 and protrudes in the outer circumferential direction at the other end, as shown in FIG. 4B, the gas introduced through the first flow path 161 is the on-off valve It hits 220 and enters the second flow path 162 and is discharged to the outside.

즉, 상기 제2유로(162)가 제1유로(161)를 감싸는 부분은 2중관 구조로 형성되며, 나아가 중심이 일치하는 동심원 형태를 갖는 것이 바람직하다.That is, the portion of the second passage 162 surrounding the first passage 161 is formed in a double tube structure, and further preferably has a concentric circle shape coinciding with the center.

이 때, 상기 제2유로(162)의 단부는 가스가 배출됨을 조정하는 배출밸브(154)가 형성된 제4배관(144)이 연결되며, 상기 가스저장부(110)에 저장되어 이송된 가스가 대기로 배출되지 말아야 하는 유독성을 가진 물질일 수 있으므로 상기 제4배관(144)에는 배출가스저장부(166)가 더 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the end of the second passage 162 is connected to the fourth pipe 144, the discharge valve 154 is formed to adjust the discharge of the gas, the gas stored in the gas storage unit 110 is transferred Since it may be a toxic substance that should not be discharged to the atmosphere, it is preferable that the exhaust gas storage unit 166 is further formed in the fourth pipe 144.

또한, 상기 가스배출수단(160)은 상기 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 제2유로(162)가 감싸지 않는 제1유로(161) 내부로 공기를 공급하는 공기공급부(167)가 형성되어 상기 가스배출수단(160) 내부를 청소할 수 있도록 한다.In addition, as shown in FIG. 5, the gas discharge unit 160 includes an air supply unit 167 for supplying air into the first passage 161 which is not covered by the second passage 162. It is possible to clean the gas discharge means (160).

즉, 본 발명의 가스 공급 장치(100)는 상기 가스통(200)에 가스를 충전하기 이전에 진공을 형성한다 할지라도 내부에 남아있는 잔류 가스 또는 이물질 등의 구성이 가스 공급 과정에 포함되지 않도록 상기 가스통(200) 전단에서 이물질 등을 포함하는 가스가 배출되도록 하며, 장치의 사용 전ㆍ후에 상기 공기공급부(167)를 통해 고압의 공기를 공급함으로써 내부를 용이하게 청소할 수 있어 내구성을 높일 수 있는 장점이 있다.That is, even if the gas supply device 100 of the present invention forms a vacuum before the gas cylinder 200 is filled with gas, the gas supply device 100 does not include the residual gas or foreign matter remaining therein in the gas supply process. The gas containing foreign matters is discharged from the front of the gas cylinder 200, and the inside of the gas cylinder 200 can be easily cleaned by supplying high pressure air through the air supply unit 167 before and after using the device, thereby increasing durability. There is this.

더욱 상세하게, 본 발명의 가스 공급 장치(100)는 공급되는 가스가 맹독성 또는 흡착성 가스의 경우에는 일부 구성품의 교체과정에서 공기 중의 수분과 반응하여 내부 구성품이 손상될 수 있으므로, 상기 공기공급부(167)를 통해 구성 내부를 용이하게 청소할 수 있다.More specifically, the gas supply device 100 of the present invention, when the supplied gas is a toxic or adsorbent gas, the internal components may be damaged by reacting with moisture in the air during the replacement of some components, the air supply unit 167 ) Makes it easy to clean the interior of the component.

상기 공기공급부(167)를 이용하는 경우에, 상기 공기공급부(167)에서 공기를 공급하면 상기 제1유로(161) 및 제2유로(162)를 통해 공기가 상기 가스배출수단(160) 내부에 잔류하는 가스 또는 이물질 등과 함께 상기 제4배관(144)을 통해 배출된다. In the case of using the air supply unit 167, when air is supplied from the air supply unit 167, air remains in the gas discharge means 160 through the first channel 161 and the second channel 162. It is discharged through the fourth pipe 144 together with the gas or foreign matter.

이 때, 상기 제4배관(144)에 형성된 배출밸브(154)는 개방되고, 상기 제1밸브(151) 및 제2밸브(152)는 필요에 따라 개폐될 수 있다.At this time, the discharge valve 154 formed in the fourth pipe 144 is opened, the first valve 151 and the second valve 152 may be opened and closed as necessary.

상기 공기공급부(167)를 통해 공급되는 공기는 인체에 무해하며 외부 공기와 접촉될 때에도 반응하지 않는 공기가 이용되어야 하며, 이물질 제거 효과를 높이기 위해 가열된 공기가 공급될 수도 있다.The air supplied through the air supply unit 167 is harmless to the human body and air that does not react even when contacted with external air should be used, and heated air may be supplied to enhance the effect of removing foreign substances.

또한, 상기 공기공급부(167)는 공급되는 공기는 주입되는 공간에서 도면의 좌ㆍ우 양측으로(상기 가스저장부(110)가 형성된 측과, 상기 가스통(200)이 형성된 측)분기될 수 있으므로, 상기 가스배출수단(160) 측(도면에서 우측방향)으로의 흐름을 가질 수 있도록 일정각도 경사지게 장착되는 것이 바람직하며, 상기 공기공급부(167)에 의한 공기 주입 공정이 수행 될 때, 상기 제2밸브(152) 및 제1밸브(151)가 개방되는 경우에는 다음 가스 공급 공정을 수행하기 이전에 상기 진공펌프(190)를 작동하는 것이 바람직하다.In addition, the air supply unit 167 may be branched to the left and right sides of the drawing (the side on which the gas storage unit 110 is formed and the side on which the gas cylinder 200 is formed) in the injected space. Preferably, the gas discharge unit 160 is installed at an inclined angle so as to have a flow toward the side (the right direction in the drawing), and when the air injection process by the air supply unit 167 is performed, the second When the valve 152 and the first valve 151 are opened, it is preferable to operate the vacuum pump 190 before performing the next gas supply process.

또한, 상기 가스통(200)이 교체될 수 있으므로 상기 가스배출수단(160)은 상기 제2배관(142)과 상기 가스통(200)의 주입부(210)를 용이하게 연결하면서도 내부에 틈을 형성하지 않고 내부 기밀이 유지될 수 있도록 상기 가스배출수단(160)은 일측이 상기 주입부(210)에 내부에 삽입되는 깊이를 조절하며 체결이 용이하도록 외주면에 방사형으로 돌출되는 밀폐플랜지(163)가 형성되고, 상기 주입부(210)의 외주면에 형성된 수나사와 맞물리는 암나사가 내주면에 형성되며, 체결시 상기 밀폐플랜지(163)를 주입부(210) 내측방향으로 압박하도록 중심을 향해 돌출되는 걸림턱(165)이 형성된 밀폐형체결너트(164)가 더 형성되는 것이 바람직하다.In addition, since the gas cylinder 200 can be replaced, the gas discharge means 160 does not form a gap therein while easily connecting the second pipe 142 and the injection portion 210 of the gas cylinder 200. The gas discharge means 160 has a sealing flange 163 protruding radially on the outer circumferential surface of the gas discharge means 160 to adjust the depth of one side is inserted into the injection portion 210 and to facilitate fastening so that the internal airtightness can be maintained. And a female screw engaged with the male screw formed on the outer circumferential surface of the injection unit 210 is formed on the inner circumferential surface, and a locking jaw protruding toward the center so as to press the sealing flange 163 inwardly into the injection unit 210 when fastened. It is preferable that the sealed fastening nut 164 having the 165 formed therein is further formed.

본 발명의 가스 공급 장치(100)는 상기 가스배출수단(160)의 단부가 상기 주입부(210)에 일정 영역 삽입되도록 형성되고, 별도의 밀폐형체결너트(164)에 의해 상기 밀폐플랜지(163)가 상기 주입부(210)의 단부를 압착하여 상기 주입부(210) 외주와 결합되도록 함으로써 밀폐 상태를 안정적으로 유지할 수 있게 되며, 상기 가스 공급이 완료된 주입통의 교체 시에는 상기 밀폐형체결너트(164)를 해체하여 용이하게 상기 주입통을 교체할 수 있게 되는 장점이 있다. Gas supply device 100 of the present invention is formed so that the end portion of the gas discharge means 160 is inserted into a predetermined region in the injection portion 210, the hermetic flange 163 by a separate hermetic fastening nut 164. By pressing the end of the injection unit 210 to be coupled to the outer periphery of the injection unit 210 it is possible to maintain a stable state, and when the replacement of the gas supply is completed the injection fastening nut 164 There is an advantage that can be easily replaced by disassembling the injection barrel.

상기 높이조절수단(180)은 상기 가스통(200) 또는 가스저장수단의 하부(명확 하게는 상기 저울(120)의 하부)에 형성되어 높이를 조절하는 수단으로 다양한 형태로 형성될 수 있다. The height adjusting means 180 is formed in the lower portion of the gas cylinder 200 or the gas storage means (specifically, the lower portion of the scale 120) and may be formed in various forms as a means for adjusting the height.

또한, 본 발명의 가스 공급 장치(100)는 상기 도 7에 도시된 바와 같이, 복수개의 가스통(200)에 가스를 동시 공급할 수 있도록 상기 멀티분배기(170)가 더 형성될 수 있다.In addition, the gas supply device 100 of the present invention, as shown in FIG. 7, the multi-distributor 170 may be further formed to supply gas to the plurality of gas cylinders 200 at the same time.

상기 멀티분배기(170)는 상기 제2배관(142)에 형성되거나 상기 제2배관(142)과 가스배출수단(160) 사이에 형성될 수 있으며, 상기 복수개의 가스통(200) 전단에는 상기 가스배출수단(160)이 각각 형성된다.The multi-distributor 170 may be formed in the second pipe 142 or between the second pipe 142 and the gas discharge means 160, and the gas discharge in front of the plurality of gas cylinders 200. Means 160 are each formed.

또, 본 발명의 가스 공급 장치(100)는 상기 가스통(200)에 복수개의 가스가 공급되어 혼합 가스가 제조될 수 있도록 순수 가스가 저장되는 가스저장부(110)가 상기 제1배관(141)과 탈착가능하도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the gas supply device 100 of the present invention is a gas storage unit 110 for storing the pure gas so that a plurality of gases are supplied to the gas cylinder 200 to be mixed gas is the first pipe 141 It is preferably formed to be detachable with.

도면에는 도시하지 않았으나, 오염물질의 배출 및 탈착을 용이하게 하도록 상술한 바와 같은 가스배출수단(160)이 상기 가스저장부(110)에도 형성될 수도 있다. Although not shown in the drawing, the gas discharge means 160 as described above may be formed in the gas storage unit 110 to facilitate the discharge and desorption of contaminants.

도 8 내지 도 10은 본 발명에 따른 가스 공급 장치(100)의 구동 방법을 나타낸 블록도이다. 8 to 10 are block diagrams showing a method of driving the gas supply device 100 according to the present invention.

본 발명의 가스 공급 장치(100) 구동 방법은 상술한 바와 같은 가스 공급 장치(100)의 구성을 따르며, 장치가 구동된 이후의 구동 방법을 설명한다.The method of driving the gas supply device 100 of the present invention follows the configuration of the gas supply device 100 as described above, and describes the driving method after the device is driven.

본 발명의 가스 공급 장치(100) 구동 방법은 상기 도 8에 도시된 바와 같이, S110) 진공펌프(190) 작동 단계; S120) 가스 배출 단계; 및 S130) 가스 주입 단계; 를 포함하여 형성된다. As shown in FIG. 8, the method for driving the gas supply device 100 of the present invention includes the operation of the vacuum pump 190 (S110); S120) gas discharge step; And S130) gas injection step; It is formed to include.

상기 S110) 진공펌프(190) 작동 단계는 상기 진공펌프(190)를 작동하여 상기 가스 공급 장치(100) 내부를 진공 상태가 되도록 하는 단계로, 이 때, 상기 제1밸브(151) 내지 제3밸브(153)는 개방되고, 상기 가스통(200)의 개폐밸브(154) 및 가스저장부(110)의 밸브는 폐쇄된다. In operation S110, the operation of the vacuum pump 190 is performed to operate the vacuum pump 190 so that the inside of the gas supply device 100 is in a vacuum state. In this case, the first valve 151 to the third The valve 153 is open, and the valve 154 of the gas cylinder 200 and the valve of the gas storage unit 110 are closed.

상기 S120) 가스 배출 단계는 진공펌프(190) 작동 단계 완료 후, 상기 제3밸브(153)를 폐쇄하고, 상기 가스저장부(110)의 밸브, 제1밸브(151), 및 제2밸브(152)를 개방하여 가스가 이송되도록 하되, 상기 가스통(200)의 개폐밸브(220)는 폐쇄하고, 상기 배출밸브(154)가 개방되어 이송된 가스가 제4배관(144)을 통해 외부로 배출되도록 하는 단계이다.In the gas discharging step, after the operation of the vacuum pump 190 is completed, the third valve 153 is closed, and the valve, the first valve 151, and the second valve of the gas storage unit 110 are closed. 152 is opened to allow gas to be conveyed, the on / off valve 220 of the gas cylinder 200 is closed, and the discharge valve 154 is opened so that the conveyed gas is discharged to the outside through the fourth pipe 144. This is to make sure.

이 때, 상기 가스가 이송되는 제1배관(141) 및 제2배관(142)은 외부에서 가열되어 내부 가스가 승온되어 가스에 의한 이물질 제거 효과를 높이도록 할 수 있다.At this time, the first pipe 141 and the second pipe 142 to which the gas is transferred may be heated from the outside to increase the temperature of the internal gas to increase the effect of removing foreign substances by the gas.

본 발명의 가스 공급 장치(100)는 상기 제1배관(141)과 제2배관(142)이 외부로 노출되므로, 별도의 장치를 통해 외부에서 가열하는 것이 용이하며, 상기 가열수단은 일체로 형성될 수도 있다.In the gas supply device 100 of the present invention, since the first pipe 141 and the second pipe 142 are exposed to the outside, it is easy to heat the outside through a separate device, and the heating means is integrally formed. May be

상기 S130) 가스 주입 단계는 상기 가스 배출 단계를 통해 내부에 다른 이물질 없이 주입하고자 하는 가스만 존재하여, 상기 제3밸브(153), 및 배출밸브(154)를 폐쇄하고, 상기 제1밸브(151), 제2밸브(152), 및 상기 가스통(200)의 개폐밸 브(220)를 개방하여 상기 가스통(200) 내부로 가스가 충전되도록 하는 단계이다. The step S130 of gas injection may include only a gas to be injected without other foreign matter therein through the gas discharge step, thereby closing the third valve 153 and the discharge valve 154, and the first valve 151. ), The second valve 152, and the opening and closing valve 220 of the gas cylinder 200 to open the gas is filled into the gas cylinder 200.

또한, 본 발명의 가스 공급 장치 작동 방법은 상기 도 9에 도시된 바와 같이, S140) 청소 단계; 가 더 포함될 수 있다.In addition, the gas supply device operating method of the present invention, as shown in Figure 9, S140) cleaning step; May be further included.

상기 S140) 청소 단계는 상기 공기공급부(167)를 작동하여 상기 공기공급부(167)를 통해 공급된 공기가 상기 가스배출수단(160)의 제1유로(161) 및 제2유로(162)를 통해 배출되도록 함으로써 상기 가스배출수단(160) 내부를 청소하는 단계이다.In the cleaning step S140, the air supplied through the air supply unit 167 operates the air supply unit 167 through the first channel 161 and the second channel 162 of the gas discharge unit 160. It is a step of cleaning the inside of the gas discharge means 160 by being discharged.

상기 도 9에서 상기 청소 단계가 진공펌프(190) 작동 단계 이전에 수행된 예를 도시한 것으로서, 상기 공기공급부(167)에 의해 공급되어 잔존하는 공기는 1차로 상기 진공펌프(190)에 의해 배출되며, 2차로 공급 가스에 의해 혼합되어 배출된다.9 illustrates an example in which the cleaning step is performed before the operation of the vacuum pump 190, and the remaining air supplied by the air supply unit 167 is first discharged by the vacuum pump 190. Secondly, the mixture is discharged by the supply gas.

또한, 본 발명의 가스 공급 장치(100) 구동 방법은 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 가스통(200)에 순수 가스가 저장된 가스저장부(110)를 교체하여 순차적으로 다른 가스가 주입함으로써 혼합 가스를 제조할 수 있도록, S150) 가스저장부(110) 재연결 단계가 더 수행될 수 있다. In addition, the method of driving the gas supply device 100 of the present invention, as shown in Figure 10, by replacing the gas storage unit 110, the pure gas is stored in the gas cylinder 200 by sequentially injecting other gases mixed gas In order to manufacture the S150, the gas storage unit 110 may be further reconnected.

상기 S150) 가스저장부(110) 재연결 단계는 여러 종류의 가스를 순차적으로 공급하는 경우에 상기 진공펌프(190) 작동 단계 내지 가스 주입 단계가 반복 수행되되, 상기 진공펌프(190) 작동 단계 이후에, 상기 제1밸브(151)를 폐쇄하고 다른 가스가 저장된 가스저장부(110)를 연결하도록 한다.In the re-connecting of the gas storage unit 110, the operation of the vacuum pump 190 and the gas injection step are repeatedly performed when the various types of gases are sequentially supplied, after the operation of the vacuum pump 190. In order to close the first valve 151 and to connect the gas storage unit 110 in which another gas is stored.

또한, 상기 도 10은 상기 청소 단계가 상기 가스 주입 단계 이후에 수행된 예를 도시한 것으로서, 다른 가스저장부(110)의 연결을 위해 장치 내부와 외부 공기가 접촉될 때, 구성품이 부식되는 것을 방지할 수 있도록 청소 및 진공 작업이 수행되도록 할 수 있다. In addition, FIG. 10 illustrates an example in which the cleaning step is performed after the gas injection step. When the inside of the device and the outside air contact each other for connection of another gas storage unit 110, the component is corroded. Cleaning and vacuuming operations can be performed to prevent this.

이는, 이전 주입 가스가 맹독이며 흡착성 물질일 경우에 내부 이물질을 용이하게 제거하기 위한 것으로, 주입되는 가스의 특성에 따라 전체 공정에서 상기 청소 단계가 여러 번 수행되어도 무방하다.This is to easily remove internal foreign matters when the previous injection gas is poisonous and is an adsorbent material, and the cleaning step may be performed several times in the entire process according to the characteristics of the gas to be injected.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다. The present invention is not limited to the above-described embodiments, and the scope of application is not limited, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims.

도 1은 본 발명에 따른 가스 공급 장치를 나타낸 개략도.1 is a schematic view showing a gas supply device according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 가스 공급 장치의 가스배출수단의 사시도.Figure 2 is a perspective view of the gas discharge means of the gas supply device according to the present invention.

도 3은 상기 도 2의 AA' 단면도.3 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 2.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 가스 공급 장치의 부분 가스 흐름도.4a and 4b show a partial gas flow of a gas supply device according to the invention;

도 5는 본 발명에 따른 가스 공급 장치의 다른 개략도.5 is another schematic view of a gas supply apparatus according to the present invention;

도 6은 상기 도 5에 도시한 가스 공급 장치의 부분 가스 흐름도.FIG. 6 is a partial gas flow chart of the gas supply device shown in FIG. 5; FIG.

도 7은 본 발명에 따른 가스 공급 장치의 또 다른 개략도.7 is another schematic view of a gas supply apparatus according to the present invention.

도 8 내지 도 10은 본 발명에 따른 가스 공급 장치의 구동 방법을 나타낸 블록도.8 to 10 are block diagrams showing a method of driving a gas supply device according to the present invention.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS

100 : 가스 공급 장치100: gas supply device

110 : 가스저장부110: gas storage unit

120 : 저울120: scales

130 : 연결수단 131 내지 133 : 제1포트 내지 제3포트130: connecting means 131 to 133: first port to third port

141 내지 144 : 제1배관 내지 제4배관141 to 144: first to fourth pipes

151 내지 153 : 제1밸브 내지 제3밸브 151 to 153: first valve to third valve

154 : 배출밸브154: discharge valve

160 : 가스배출수단 161, 162 : 제1유로, 제2유로160: gas discharge means 161, 162: the first euro, the second euro

163 : 밀폐플랜지 164 : 너트163: sealing flange 164: nut

165 : 걸림턱 166 : 배출가스저장부165: locking step 166: exhaust gas storage unit

167 : 공기공급부167: air supply

170 : 멀티분배기170: multi-distributor

180 : 높이조절수단180: height adjustment means

190 : 진공펌프190: vacuum pump

200 : 가스통 210 : 주입부200: gas cylinder 210: injection portion

220 : 개폐밸브220: closing valve

S110 ~ S150 : 본 발명에 따른 가스 공급 장치의 구동 방법 각 단계S110 ~ S150: each step of the driving method of the gas supply device according to the present invention

Claims

In the gas supply device 100 for supplying gas to the gas cylinder 200,

The gas supply device 100

A gas cylinder 200 in which an injection part 210 providing a connection part is formed to protrude, and an opening and closing valve 220 is formed to selectively communicate a space in which gas is supplied and stored in the injection part 210;

A gas storage unit 110 in which gas is stored;

A scale 120 provided below the gas cylinder 200;

The first port 131 is connected to the first pipe 141 connected to the gas storage unit 110, and the second port 132 is connected to the second pipe 142 connected to the gas cylinder 200. A third port 133 is connected to the third pipe 143 to which the vacuum pump 190 is connected;

A first valve 151, a second valve 152, and a third valve 153 formed in the first pipe 141, the second pipe 142, and the third pipe 143, respectively;

The gas transferred through the second pipe 142 according to the operation of the on-off valve 220 by connecting the second pipe 142 and the injection part 210 of the gas cylinder 200 is inside the gas cylinder 200. Gas discharge means 160 to be introduced into or discharged to the outside; Gas supply device characterized in that it is formed to include.

The method of claim 1,

The gas discharge means 160 is

A first flow passage 161 which allows the gas introduced from the second pipe 142 to move into the gas cylinder 200 when the on-off valve 220 is opened; And the side inserted into the injection part 210 to surround a predetermined region of the first flow path 161, and the other end is formed to protrude in the circumferential direction so that the open / close valve 220 is closed. A second flow passage 162 through which the gas introduced through the first flow passage 161 is discharged; Is formed,

The protruding region end of the second passage 162 is connected to a fourth pipe 144 having a discharge valve 154 is connected to the gas supply device.

The method of claim 2,

The fourth pipe 144 is a gas supply device, characterized in that the exhaust gas storage unit 166 is further formed.

The method of claim 3,

The gas discharging means 160 is a gas supply device characterized in that the air supply unit 167 for supplying air into the first passage (161) that is not surrounded by the second passage (162) is formed.

The method of claim 2,

The gas discharge means 160 is formed with a sealing flange 163 protruding radially on the outer circumferential surface to adjust the depth of one side is inserted into the injection portion 210 and to facilitate fastening,

A female thread engaged with the male screw formed on the outer circumferential surface of the injection portion 210 is formed on the inner circumferential surface, and a locking jaw 165 protruding toward the center to press the sealing flange 163 inwardly into the injection portion 210 when fastened. The gas supply device, characterized in that the formed sealing fastening nut (164) is further formed.

The method of claim 2,

The gas storage unit 110 is characterized in that the gas supply device is formed so as to be removable from the first pipe (141).

The method of claim 2,

The gas supply device 100 is further formed with a multi-distributor 170 for distributing the gas supplied to the plurality of gas cylinders 200, the gas discharge means 160 is the multi-distributor 170 and the gas cylinder 200 Gas supply apparatus, characterized in that formed between each.

The method of claim 1,

The gas supply device 100 is characterized in that the height adjusting means 180 is further formed on the lower portion of the scale 120 or the lower portion of the gas storage unit 110 for measuring the weight of the gas cylinder 200 Feeding device.

In the method of operating the gas supply device according to claim 4,

The operation method of the gas supply device

S110) operating the vacuum pump 190 to operate the vacuum pump 190 such that the inside of the gas supply device 100 is in a vacuum state;

S120 opens the first valve 151, the second valve 152, and the discharge valve 154, the closing valve 220 of the third valve 153 and the gas cylinder 200 is closed to the gas Gas stored in the storage unit 110 is the first pipe 141, the connecting means 130, the second pipe 142, the first flow path 161 and the second flow path 162 of the gas discharge means 160 Gas discharge step of sequentially passing through); And

S130) a gas injection step of closing the third valve 153 and opening the on / off valve 220 of the gas cylinder 200 to supply gas into the gas cylinder 200; Method of operating a gas supply device characterized in that it is included.

10. The method of claim 9,

The operation method of the gas supply device

S140) by operating the air supply unit 167 so that the air supplied through the air supply unit 167 is discharged through the first passage 161 and the second passage 162 of the gas discharge means 160; A cleaning step of cleaning the inside of the gas discharge means 160; Method of operating a gas supply device characterized in that it further comprises.

The method of claim 10,

The operation method of the gas supply device

In the case of sequentially supplying various types of gases, the operation of the vacuum pump 190 and the gas injection step are repeatedly performed.

S150) after the operation of the vacuum pump 190, reconnecting the gas storage unit 110 for closing the first valve 151 and connecting the gas storage unit 110, the other gas is stored; The method of operating a gas supply device characterized in that is performed.

10. The method of claim 9,

The method of operating a gas supply device, characterized in that the first pipe (141), or the second pipe (142) is heated in the gas discharge step.