KR101000817B1

KR101000817B1 - Digital flow meter

Info

Publication number: KR101000817B1
Application number: KR1020080113900A
Authority: KR
Inventors: 박재호; 남건우
Original assignee: 엠아이지 (주)
Priority date: 2008-11-17
Filing date: 2008-11-17
Publication date: 2010-12-14
Also published as: KR20100055015A

Abstract

본 발명은 디지털 플로우 미터에 관한 것으로, 외부의 유체 공급밸브의 개방 작동 신호 입력에 따라 유량 변동을 감지한 결과, 유량이 사용자가 설정해 놓은 특정 값 이하 또는 특정 값 이상이거나, 혹은 특정 값부터 또다른 특정 값까지 정해진 범위로 유량이 유지되지 않으면 경보를 유발하거나, 유량 변동 감지 결과를 별도의 유량 표시/기록 장치로 전달하여 표시, 기록하며, 외부의 유체 공급밸브의 닫힘 작동 신호 입력에 따라 유량 변동이 감지되면 유체 공급밸브의 고장을 알리는 경보를 유발한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a digital flow meter. As a result of detecting a change in flow rate according to an open operation signal input of an external fluid supply valve, the flow rate is equal to or less than or equal to a specific value set by a user, or from a specific value to another. If the flow rate is not maintained up to a certain value, an alarm is triggered, or the flow rate detection result is sent to a separate flow rate display / recording device for display and recording. This detection triggers an alarm indicating a failure of the fluid supply valve.

본 발명에 따르면, 사용자가 유체 흐름의 변동 상황을 즉각적으로 확인하고 대처할 수 있으며, 그 결과로 종래와 같이 플로우 미터를 사용하여 제조하는 제품이나 제조 공정 중에 발생하는 불량을 줄이거나 예방할 수 있고, 사용자가 실시간으로 혹은 필요할 때마다 유량 공급 및 유량 변동량을 용이하게 확인하거나 외부의 유체 공급밸브의 고장 상태를 즉각적으로 확인하고 대처할 수 있다.According to the present invention, the user can immediately identify and cope with the fluctuations in the fluid flow, and as a result, it is possible to reduce or prevent defects occurring during the manufacturing process or the product manufactured using the flow meter as in the prior art, and Can easily check the flow rate and flow rate fluctuations in real time or whenever needed, or immediately identify and respond to failure conditions of external fluid supply valves.

플로우 미터, 디지털 플로우 미터, 유량 변동 Flow meter, digital flow meter, flow fluctuation

Description

Digital flow meter {Digital flow meter}

본 발명은 플로우 미터에 관한 것이며, 더욱 상세히는 디지털 플로우 미터에 관한 것이다.The present invention relates to a flow meter, and more particularly to a digital flow meter.

플로우 미터는 기체나 액체 형태로 유입되어 배출되는 유체의 유량을 특정한 값으로 조절하면서 그 유량 변화를 계측하기 위한 기구이며, 주로 반도체 제조 설비에 많이 사용된다.The flow meter is a mechanism for measuring the flow rate change while adjusting the flow rate of the fluid flowing in and out of the gas or liquid form to a specific value, and is mainly used in semiconductor manufacturing equipment.

예컨대, 반도체 제조 설비 중, 웨이퍼 상에 디벨로퍼(Developer)나 DI 워터(Deionized water) 또는 시너(Thinner)를 분사하는 스피너(spinner)의 케미컬(Chemical) 공급라인에 연결되어 스피너로 공급되는 케미컬의 유량을 일정하게 유지하면서 그 유량 변화를 계측하는데 사용되거나, 반도체 상에 가공막을 형성하는 증착(deposition) 공정 중에 고온 상태로 가열된 히터 블록 등을 냉각시키는 냉각장치의 공정냉각수(PCW:Process Chilly Water) 혹은 헬륨(He)이나 질소가스(N²) 또는 HMDS(Hexamethyldisilazane), 프레온(Freon) 가스 등의 냉매 공급라인에 연결되어 냉각장치로 공급되는 냉매의 유량을 일정하게 유지하면서 그 유량 변화를 계 측하는데 사용된다.For example, in a semiconductor manufacturing facility, a flow rate of a chemical supplied to a spinner connected to a chemical supply line of a spinner spraying developer, DI water, or thinner onto a wafer Process Chilly Water (PCW) of a cooling device used to measure the change in flow rate while maintaining a constant temperature, or to cool a heater block or the like heated to a high temperature state during a deposition process of forming a process film on a semiconductor. Alternatively, it is connected to a refrigerant supply line such as helium (He), nitrogen gas (N ² ), HMDS (Hexamethyldisilazane) or Freon gas, and the flow rate of the refrigerant supplied to the cooling device is kept constant, and the flow rate change is measured. It is used to

도 1은 종래의 플로우 미터(100)를 나타낸 사시도로서, 전면이 개방된 통형으로 된 본체(110)의 내측 하부에 상기 본체(110)의 후방으로 유체 유입구(121)가 형성되어 있는 유체 유입부(120)가 장착되어 있고, 상기 본체(110)의 내측 상부에 상기 본체(110)의 후방으로 유체 배출구(131)가 형성되어 있으면서 상기 본체(110)의 전방으로 유량조절기(132)가 형성되어 있는 유체 배출부(130)가 장착되어 있으며, 상기 유체 유입부(120)와 유체 배출부(130)는 투명하면서 외면에 유량 계측용 눈금자가 형성되어 있고 내부에 유체의 흐름에 따라 부상하는 부표(141)를 포함하고 있는 원통기둥 형상의 유체관(140)에 의해 연결되어 있다.1 is a perspective view illustrating a conventional flow meter 100, and a fluid inlet part in which a fluid inlet 121 is formed at a rear side of the main body 110 at an inner lower portion of a cylindrical body 110 having a front surface open. 120 is mounted, while the fluid outlet 131 is formed at the rear of the main body 110 on the inner upper portion of the main body 110, the flow regulator 132 is formed in front of the main body 110. Is equipped with a fluid discharge unit 130, the fluid inlet 120 and the fluid discharge unit 130 is transparent, the flow rate measuring ruler is formed on the outer surface and the buoy floating in accordance with the flow of the fluid ( It is connected by the fluid tube 140 of the cylindrical columnar shape containing 141.

상기와 같은 종래의 플로우 미터(100)는 유체 공급라인 상의 유체 공급밸브(200)가 개방되면 사용자가 상기 유량조절기(132)를 조절하여 설정해 놓은 특정 값으로 유체의 흐름을 유지하며, 이때 사용자는 육안으로 상기 유체관(140)의 부표(141)가 가리키는 눈금자의 위치를 확인하여 유체의 흐름을 계측함으로써 자신이 설정한 특정 값으로 유체의 흐름이 유지되고 있는지 여부를 확인하게 된다.The conventional flow meter 100 maintains the flow of the fluid at a specific value set by the user by adjusting the flow regulator 132 when the fluid supply valve 200 on the fluid supply line is opened. By visually checking the position of the ruler indicated by the buoy 141 of the fluid pipe 140, the fluid flow is measured to determine whether the fluid flow is maintained at a specific value set by the fluid pipe 140.

참고로, 상기 유체 공급밸브(200)로는 공압밸브(Air Valve) 또는 솔레노이드밸브(Solenoid Valve)와 같은 전자밸브가 주로 사용된다.For reference, as the fluid supply valve 200, a solenoid valve such as an air valve or a solenoid valve is mainly used.

하지만, 상기와 같은 종래의 플로우 미터(100)는 유체 공급라인을 통해 유입되는 유체의 압력이 변하거나 혹은 상기 유체 공급밸브(200)의 개폐 작동이 불량하면 상기 유체관(130)을 통해 흐르는 유체의 흐름, 즉 유량이 사용자가 상기 유량조절기(132)를 조절하여 설정해 놓은 특정 값으로 일정하게 유지되지 않고 변동하는 단점이 있으며, 사용자가 이와 같은 유체 흐름의 변동 상황을 즉각적으로 확인하지 못하고 방치하는 경우, 상기 플로우 미터(100)를 사용하여 제조하는 제품이나 제조 공정 중에 불량을 초래한다.However, the conventional flow meter 100 is a fluid flowing through the fluid pipe 130 when the pressure of the fluid flowing through the fluid supply line changes or the opening and closing operation of the fluid supply valve 200 is poor. Flow, that is, the flow rate does not remain constant at a specific value set by the user adjusts the flow regulator 132, there is a disadvantage that fluctuates, the user does not immediately check the fluctuations of the fluid flow such that In this case, a defect is caused during the manufacturing process or the product manufactured using the flow meter 100.

실제로, 사용자가 상기한 반도체 제조 설비 중, 디벨로퍼(Developer) 도포 공정 중에 스피너로 공급되는 케미컬의 유량 변동 상황을 즉각적으로 확인하지 못하고 방치함에 따라서 스피너로 공급되는 케미컬의 유량이 일정하게 유지되지 않으면 웨이퍼 상에 도포되는 디벨로퍼나 DI 워터 또는 시너가 적정 유량보다 적거나 많아 져서 공정 불량이 발생한다.In fact, in the semiconductor manufacturing equipment described above, the wafer does not immediately check the flow rate fluctuations of the chemicals supplied to the spinner during the developer application process and is left unattended as the flow rate of the chemicals supplied to the spinner is not kept constant. Process defects occur because the developer, DI water or thinner applied to the phase is less or more than the proper flow rate.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 외부의 유체 공급밸브의 개방 작동 신호 입력에 따라서 유량 변동을 감지한 결과, 유량이 사용자가 설정해 놓은 특정 값 이하 또는 특정 값 이상이거나, 혹은 특정 값부터 또다른 특정 값까지 정해진 범위로 유량이 유지되지 않으면 경보를 유발하여 사용자에게 유량 변동 상황을 알리는 디지털 플로우 미터를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the conventional problems as described above, the object of the present invention is to detect the flow rate change in accordance with the open operation signal input of the external fluid supply valve, the flow rate is less than a specific value set by the user or If the flow rate is above a certain value, or from a certain value to another specified value, the flow rate is triggered to provide a digital flow meter that alerts the user of changes in flow rate.

본 발명의 다른 목적은 외부의 유체 공급밸브의 개방 작동 신호 입력에 따라서 유량 변동을 감지한 결과를 별도의 유량 표시/기록 장치로 전달하여 표시, 기록하여 사용자에게 알리는 디지털 플로우 미터를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a digital flow meter that displays, records, and informs a user of a result of detecting a change in flow rate according to an open operation signal input of an external fluid supply valve to a separate flow rate display / recording device.

본 발명의 또 다른 목적은 외부의 유체 공급밸브의 닫힘 작동 신호 입력에 따라서 유량 변동이 감지되면 경보를 유발하여 사용자에게 상기 외부의 유체 공급밸브의 고장을 알리는 디지털 플로우 미터를 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a digital flow meter for informing a user of a failure of the external fluid supply valve by causing an alarm when a flow rate change is detected according to the closing operation signal input of the external fluid supply valve.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 디지털 플로우 미터는, 전면이 개방된 통형으로 되어 있고, 좌측면과 우측면에 각각 수직 관통부가 형성되어 있는 PCB 장착 요부가 형성되어 있는 본체와; 상기 본체의 좌측면 PCB 장착 요부에 장착되고, 복수의 발광소자가 수직방향으로 일정 간격으로 배열되어 있는 발광부와 주전원 스위치, 주전원 표시등를 포함하는 제1 PCB; 상기 본체의 우측면 PCB 장착 요부에 장착되고, 상기 발광부의 복수의 발광소자에 대향하는 복수의 수광소자가 배열되어 있는 수광부와, 상기 수광부의 각각의 수광소자의 온/오프 여부에 따라 복수의 발광소자로 구성되는 유량 레벨 표시부의 온/오프를 제어하면서 외부 유체 공급라인 상의 유체 공급밸브의 개방 작동 신호 입력에 따라서 사용자가 경보 레벨 설정용 터치 스위치를 조작하여 설정한 경보 레벨에 따른 유량 변동이 특정 값이나 특정 범위를 벗어나는 즉시 유량 경보 신호를 출력하는 메인프로세서를 포함하는 제2 PCB; 상기 본체의 바닥면에 장착되어 상기 제1 PCB와 제2 PCB를 전기적으로 연결하고, 주전원 입력 단자, 밸브 작동 신호 입력 단 자, 경보 출력 단자를 포함하는 단자대; 상기 제1 PCB와 제2 PCB를 커버하여 본체에 고정하는 덮개; 상기 본체의 내측 하부에 장착되어 있고, 상기 본체의 후방으로 상기 유체 공급밸브와 연결되는 유체 유입구가 형성되어 있는 유체 유입부; 상기 본체의 내측 상부에 장착되어 있고, 상기 본체의 후방으로 유체 배출구가 형성되어 있으면서 상기 본체의 전방으로 유량조절기가 형성되어 있는 유체 배출부; 및 상기 유체 유입부와 유체 배출부를 연결하여 유체가 흐르게 하며, 투명하면서 외면에 유량 계측용 눈금자가 형성되어 있고 내부에 유체의 흐름에 따라 부상하는 부표를 포함하고 있는 원통기둥 형상의 유체관으로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the object of the present invention as described above, the digital flow meter according to the present invention, the front is an open cylindrical type, the PCB mounting recess is formed with a vertical through portion formed on each of the left side and the right side A main body; A first PCB mounted to a left PCB mounting recess of the main body, the first PCB including a light emitting unit, a main power switch, and a main power indicator light, the plurality of light emitting elements being arranged at regular intervals in a vertical direction; A light receiving unit mounted on a PCB mounting recess on the right side of the main body and having a plurality of light receiving elements arranged to oppose a plurality of light emitting elements of the light emitting unit; and a plurality of light emitting elements depending on whether the light receiving elements are turned on or off. The flow rate change according to the alarm level set by the user by operating the touch switch for setting the alarm level according to the opening operation signal input of the fluid supply valve on the external fluid supply line while controlling the on / off of the flow level display part consisting of Or a second PCB including a main processor that outputs a flow alarm signal immediately outside a specific range; A terminal block mounted on a bottom surface of the main body to electrically connect the first PCB and the second PCB, the terminal block including a main power input terminal, a valve operation signal input terminal, and an alarm output terminal; A cover to cover the first PCB and the second PCB to be fixed to the main body; A fluid inlet installed at an inner lower side of the main body and having a fluid inlet connected to the fluid supply valve to the rear of the main body; A fluid discharge part mounted on an inner upper portion of the main body, and having a fluid discharge port formed at a rear of the main body, and having a flow regulator in front of the main body; And a fluid cylinder having a cylindrical columnar shape in which a fluid flows by connecting the fluid inlet part and the fluid outlet part, and a flow rate measuring ruler is formed on the outer surface and is transparent and includes a buoy floating therein according to the flow of the fluid therein. It is characterized by.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따르면 유체의 유입 및 배출 과정 중에 유량 변동이 사용자가 설정해 놓은 특정 값이나 특정 범위를 벗어나는 즉시 경보를 유발하므로 사용자가 유체 흐름의 변동 상황을 즉각적으로 확인하고 대처할 수 있으며, 그 결과로 종래와 같이 플로우 미터를 사용하여 제조하는 제품이나 제조 공정 중에 발생하는 불량을 줄이거나 예방할 수 있다.According to the present invention as described above, as the flow rate fluctuations during the inflow and outflow of the fluid triggers an alarm immediately after a certain value or a range set by the user, the user can immediately check and cope with the fluctuation of the fluid flow. As a result, it is possible to reduce or prevent defects occurring during the manufacturing process or the product manufactured using the flow meter as in the prior art.

또한, 유체의 유입 및 배출에 따른 유량 변동을 별도의 유량 표시/기록 장치로 전달하여 표시, 기록하므로 사용자가 실시간으로 혹은 필요할 때마다 유량 공급 및 유량 변동량을 용이하게 확인할 수 있다.In addition, since the flow rate fluctuation according to the inflow and discharge of the fluid is transmitted to a separate flow rate display / recording device, the flow rate is displayed and recorded so that the user can easily check the flow rate supply and flow rate fluctuations in real time or whenever necessary.

또한, 외부의 유체 공급밸브의 닫힘 작동 신호가 입력된 상태에서 유량 변동이 감지되면 경보를 유발하므로, 사용자가 외부의 유체 공급밸브의 고장 상태를 즉각적으로 확인하고 대처할 수 있으며, 특히 외부의 유체 공급밸브의 고장 감지 장 비 설치 비용을 절감할 수 있다.In addition, an alarm is triggered when a flow rate change is detected while a closed operation signal of an external fluid supply valve is input, so that a user can immediately identify and cope with a failure state of an external fluid supply valve. The cost of installing the fault detection device of the valve can be reduced.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 디지털 플로우 미터(100')를 나타낸 사시도이고, 도 3은 상기 디지털 플로우 미터(100')의 분해도이며, 도 4는 상기 디지털 플로우 미터(100')의 평면도이다.2 is a perspective view illustrating a digital flow meter 100 'according to the present invention, FIG. 3 is an exploded view of the digital flow meter 100', and FIG. 4 is a plan view of the digital flow meter 100 '.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본체(110')는 전면이 개방된 통형으로 되어 있고, 좌측면과 우측면에 각각 수직 관통부(110a,110a')가 형성되어 있는 PCB 장착 요부(111,111')가 형성되어 있다.2 to 4, the main body 110 ′ has a cylindrical shape with an open front surface, and PCB mounting recesses 111 and 111 ′ having vertical through portions 110 a and 110 a ′ formed on left and right sides, respectively. Is formed.

제1 PCB(112)는 상기 본체(110')의 좌측면 PCB 장착 요부(111)에 장착되고, 복수의 발광소자가 수직방향으로 일정 간격으로 배열되어 있는 발광부(112a)와 주전원 스위치(112b), 주전원 표시등(112c)를 포함한다.The first PCB 112 is mounted on the left side PCB mounting recess 111 of the main body 110 ′, and the light emitting unit 112a and the main power switch 112b in which a plurality of light emitting elements are arranged at regular intervals in the vertical direction. ), Main power indicator 112c.

제2 PCB(112')는 상기 본체(110')의 우측면 PCB 장착 요부(111')에 장착되고, 상기 발광부(112a)의 복수의 발광소자에 대향하는 복수의 수광소자가 배열되어 있는 수광부(112a')와, 상기 수광부(112a')의 각각의 수광소자의 온/오프 여부에 따라 복수의 발광소자로 구성되는 유량 레벨 표시부(112c')의 온/오프를 제어하면서 외부 유체 공급라인 상의 유체 공급밸브(200)의 개방 작동 신호 입력에 따라서 사용자가 경보 레벨 설정용 터치 스위치(112d)를 조작하여 설정한 경보 레벨에 따른 유량 변동이 특정 값이나 특정 범위를 벗어나는 즉시 유량 경보 신호를 출력하는 메인프로세서(112e)를 포함한다. 참고로, 상기 유체 공급밸브(200)로는 공압밸 브 또는 솔레노이드밸브(Solenoid Valve)와 같은 전자밸브가 주로 사용된다.The second PCB 112 ′ is mounted on the right side PCB mounting recess 111 ′ of the main body 110 ′, and the light receiving unit includes a plurality of light receiving elements arranged to face the plurality of light emitting elements of the light emitting unit 112 a. On the external fluid supply line while controlling the on / off of the flow level level display section 112c 'composed of a plurality of light emitting elements according to 112a' and the light receiving element of the light receiving portion 112a '. According to the opening operation signal input of the fluid supply valve 200, the flow rate alarm signal is output as soon as the flow rate fluctuation according to the alarm level set by the user by operating the touch switch 112d for alarm level setting is out of a specific value or a specific range. The main processor 112e is included. For reference, the fluid supply valve 200 is mainly used for the solenoid valve such as a pneumatic valve or a solenoid valve (Solenoid Valve).

상기 제2 PCB(112')는 상기 유체 공급밸브(200)의 개방 작동 시 혹은 밸브 고장 경고 시 점등하는 밸브 작동 표시등(112f)을 더 포함한다.The second PCB 112 ′ further includes a valve operation indicator 112f that lights when the fluid supply valve 200 is opened or when a valve failure warning is issued.

상기 제2 PCB(112')는 상기 메인프로세서(112e)의 내부 제어 프로그램을 변경하거나 디버깅(debuging)하는 외부 장치를 상기 메인프로세서(112e)와 직접 연결하기 위한 프로그램 통신단자(112g)를 더 포함한다.The second PCB 112 ′ further includes a program communication terminal 112g for directly connecting an external device for changing or debugging an internal control program of the main processor 112e with the main processor 112e. do.

상기 제2 PCB(112')는 유량 변동에 따른 사용자의 경보 레벨 설정과 하기의 단자대(113)에 포함되는 밸브 작동 신호 입력 단자, 경보 출력 단자, 유량 출력 단자와 상기 메인프로세서(112e) 간의 입출력 연결을 설정하는 기능을 가지는 딥(DIP) 스위치(112h)를 더 포함한다. 본 발명에 따른 실시예에서 사용되는 상기 딥 스위치(112h)는 DSW-1, DSW-2, DSW-3, DSW-4, DSW-5, DSW-6의 온/오프 스위치를 구비한 것으로, DSW1-1은 경보 레벨 설정용 스위치이고, DSW1-2는 여유 입출력 연결 설정을 위한 예비 스위치이며, DSW1-3와 DSW-4는 단자대(113)의 밸브 작동 신호 신호 입력 연결 설정을 위한 스위치이고, DSW1-5와 DSW1-6은 경보 출력 혹은 유량 출력 연결 설정을 위한 스위치이다.The second PCB 112 ′ is configured to set an alarm level of a user according to a flow rate change and an input / output between a valve operation signal input terminal, an alarm output terminal, a flow rate output terminal, and the main processor 112e included in the terminal block 113 below. It further includes a dip (DIP) switch 112h having a function of establishing a connection. The dip switch 112h used in the embodiment according to the present invention includes an on / off switch of DSW-1, DSW-2, DSW-3, DSW-4, DSW-5, DSW-6, and DSW1. -1 is a switch for setting the alarm level, DSW1-2 is a spare switch for setting the redundant input and output connection, DSW1-3 and DSW-4 is a switch for setting the valve operation signal signal input connection of the terminal block 113, DSW1 -5 and DSW1-6 are switches for setting alarm output or flow output connections.

상기 메인프로세서(112e)는 상기 유량 경보 신호를 출력하여 상기 단자대(113)의 경보 출력 단자를 통해 외부로 전달하거나 유량 레벨 표시부(112c')를 온시킨다.The main processor 112e outputs the flow rate alarm signal and transmits it to the outside through the alarm output terminal of the terminal block 113, or turns on the flow level indicator 112c ′.

상기 메인프로세서(112e)는 상기 단자대(113)의 밸브 작동 신호 입력 단자를 통해 외부 유체 공급라인 상의 유체 공급밸브(200)의 개방 작동 신호가 입력됨에 따라서 상기 유체관(140')을 통해 흐르는 유량 변동을 상기 발광부(112a)와 수광부(112a')의 작동을 통해 감지하고, 그 감지 결과에 대응하는 유량을 상기 단자대(113)의 유량 출력 단자를 통해 외부의 유량 표시/기록 장치로 전달하여 해당 유량을 표시, 기록한다.The main processor 112e flows through the fluid pipe 140 'as the open operation signal of the fluid supply valve 200 on the external fluid supply line is input through the valve operation signal input terminal of the terminal block 113. The change is detected through the operation of the light emitting unit 112a and the light receiving unit 112a ', and the flow rate corresponding to the detection result is transmitted to an external flow rate display / recording device through the flow rate output terminal of the terminal block 113. Display and record the flow rate.

상기 메인프로세서(112e)는 상기 단자대(113)의 밸브 작동 신호 입력 단자를 통해 외부 유체 공급라인 상의 유체 공급밸브(200)의 닫힘 작동 신호가 입력됨에 따라서 상기 유체관(140')을 통해 흐르는 유량 변동을 상기 발광부(112a)와 수광부(112a')의 작동을 통해 감지하고, 유량 변동이 감지되면 밸브 경보 신호를 출력하여 상기 단자대(113)의 경보 출력 단자를 통해 외부로 전달하거나 상기 밸브 작동 표시등(112f)을 온시킨다.The main processor 112e flows through the fluid pipe 140 'as the closing operation signal of the fluid supply valve 200 on the external fluid supply line is input through the valve operation signal input terminal of the terminal block 113. The change is detected through the operation of the light emitting unit 112a and the light receiving unit 112a ', and when the flow rate is detected, a valve alarm signal is output and transmitted to the outside through the alarm output terminal of the terminal block 113 or the valve is operated. The indicator 112f is turned on.

상기 발광부(112a)와 수광부(112a')는 상기 본체(110')의 좌우측면에 형성된 수직 관통부(110a,110a')를 통해 발광 및 수광 작동하는 포토 커플러로 구현하는 것이 바람직하며, 상기 발광부(112a)와 수광부(112a') 사이에 위치하고 하기의 유체관(140') 내부에서 승강하는 부표(141')의 움직임에 따른 유량 변동을 감지한다.The light emitting unit 112a and the light receiving unit 112a 'may be implemented as photo couplers that emit and receive light through vertical through parts 110a and 110a' formed on left and right sides of the main body 110 '. The flow rate is detected according to the movement of the buoy 141 'which is positioned between the light emitting unit 112a and the light receiving unit 112a' and is elevated in the fluid pipe 140 'below.

단자대(113)는 상기 본체(110')의 바닥면에 장착되어 상기 제1 PCB(112)와 제2 PCB(112')를 전기적으로 연결하고, 주전원 입력 단자, 밸브 작동 신호 입력 단자, 경보 출력 단자, 유량 출력 단자를 포함한다.The terminal block 113 is mounted on the bottom surface of the main body 110 'to electrically connect the first PCB 112 and the second PCB 112', and includes a main power input terminal, a valve operation signal input terminal, and an alarm output. Terminal, flow rate output terminal.

덮개(114)는 상기 제1 PCB(112)와 제2 PCB(112')를 커버하여 본체(110')에 고정한다.The cover 114 covers the first PCB 112 and the second PCB 112 'and fixes it to the main body 110'.

유체 유입부(120')는 상기 본체(110')의 내측 하부에 장착되어 있고, 상기 본체(110')의 후방으로 상기 유체 공급밸브(200)와 연결되는 유체 유입구(121')가 형성되어 있다.The fluid inlet 120 ′ is mounted at an inner lower portion of the main body 110 ′, and a fluid inlet 121 ′ connected to the fluid supply valve 200 is formed to the rear of the main body 110 ′. have.

유체 배출부(130')는 상기 본체(110')의 내측 상부에 장착되어 있고, 상기 본체(110')의 후방으로 유체 배출구(131')가 형성되어 있으면서 상기 본체(110')의 전방으로 유량조절기(132')가 형성되어 있다.The fluid discharge part 130 ′ is mounted on the inner upper portion of the main body 110 ′, and the fluid discharge port 131 ′ is formed to the rear of the main body 110 ′ and forward of the main body 110 ′. The flow regulator 132 'is formed.

유체관(140')은 원통기둥 형상으로, 상기 유체 유입부(120')와 유체 배출부(130')를 연결하여 유체가 흐르게 하며, 투명하면서 외면에 유량 계측용 눈금자가 형성되어 있고 내부에 유체의 흐름에 따라 부상하는 부표(141')를 포함하고 있다.The fluid pipe 140 'is cylindrical in shape, and connects the fluid inlet 120' and the fluid outlet 130 'to allow fluid to flow therethrough, and is transparent and has an external flow rate measuring ruler formed therein. It contains a buoy 141 'which floats as the fluid flows.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 디지털 플로우 미터(100')는 다음과 같이 작동한다.The digital flow meter 100 'according to the present invention configured as described above operates as follows.

상기 디지털 플로우 미터(100')는 종래의 플로우 미터(100)와 마찬가지로 유체 공급라인 상의 유체 공급밸브(200)가 개방되면 사용자가 상기 유량조절기(132')를 조절하여 설정해 놓은 특정 값으로 유체의 흐름을 유지하면서 필요한 적소에 유체를 공급한다. 예컨대, 반도체 제조 설비 중, 디벨로퍼 도포 공정에 사용되는 스피너에 연결되어 케미컬을 공급하거나, 증착(deposition) 공정 중에 냉매 공급라인에 연결되어 공정냉각수(PCW) 혹은 헬륨(He)이나 질소가스 또는 HMDS, 프레온(Freon) 가스 등의 냉매를 공급한다.Like the conventional flow meter 100, the digital flow meter 100 ′ opens the fluid supply valve 200 on the fluid supply line to a specific value set by the user by adjusting the flow regulator 132 ′. Provide fluid in the right place while maintaining flow. For example, in a semiconductor manufacturing facility, it is connected to a spinner used in a developer application process to supply a chemical, or connected to a refrigerant supply line during a deposition process, such as process cooling water (PCW) or helium (He), nitrogen gas or HMDS, Refrigerant, such as Freon gas, is supplied.

상기와 같이 적소에 공급되는 유체의 유량 변동 상황을 즉각적으로 확인하고 이에 대처하고자 하는 경우, 사용자는 상기 디지털 플로우 미터(100')를 유체 공급 라인 상에 설치하기 전이나 설치 후에 상기 주전원 스위치(112b) 혹은 상기 딥 스위치(112h)와 터치 스위치(112d)를 이용하여 자신이 원하는 유량 경보 레벨을 설정하여, 예컨대 유량이 특정 값 이하 또는 특정 값 이상이거나, 혹은 특정 값부터 또다른 특정 값까지 정해진 범위로 유량이 유지되지 않으면 경보를 유발하게 할 수 있다.In order to immediately check and cope with the flow rate fluctuation of the fluid supplied to the place as described above, the user may install the digital flow meter 100 'on the fluid supply line before or after the main power switch 112b. Or by setting the desired flow alarm level using the dip switch 112h and the touch switch 112d, for example, the flow rate is below a certain value or above a certain value, or a range specified from a specific value to another specific value. If a low flow rate is not maintained, an alarm can be triggered.

이하에서는 상기 메인프로세서(112e)가 상기 주전원 스위치(112b) 혹은 상기 딥(DIP) 스위치(112h)와 터치 스위치(112d)의 작동과 연계하여 사용자가 원하는 유량 경보 레벨을 설정하는 과정을 구체적으로 예시한다.Hereinafter, a process in which the main processor 112e sets a flow alarm level desired by a user in connection with the operation of the main power switch 112b or the dip (DIP) switch 112h and the touch switch 112d will be described in detail. do.

먼저, 상기 메인프로세서(112e)가 상기 주전원 스위치(112b)와 터치 스위치(112d)의 작동과 연계하여 사용자가 원하는 유량 경보 레벨을 설정하는 과정을 설명하면 다음과 같다.First, the process of setting the desired flow rate alarm level by the user in association with the operation of the main power switch 112b and the touch switch 112d will be described below.

최초에, 사용자는 상기 주전원 스위치(112b)를 오프한 후, 상기 터치 스위치(112d)를 손가락을 누른 다음, 상기 주전원 스위치(112b)를 온한다.Initially, after turning off the main power switch 112b, the user presses a finger on the touch switch 112d, and then turns on the main power switch 112b.

이때, 사용자가 미리 설정된 특정 시간(예컨대, 약 2초 정도) 동안 상기 터치 스위치(112d)를 누르고 있으면, 상기 메인프로세서(112e)는 상기 유량 레벨 표시부(112c')의 모든 발광소자(예컨대, 녹색 LED)와 적색 LED로 된 상기 밸브 작동 표시등(112f)을 특정 시간(예컨대, 약 2초 정도) 동안 전부 온시킨다.At this time, when the user presses the touch switch 112d for a predetermined time period (for example, about 2 seconds), the main processor 112e may turn on all the light emitting elements (eg, green) of the flow level display part 112c '. LED) and the red LED indicate valve actuation indicator 112f for a specific time (e.g., about 2 seconds).

이와 같이 모든 LED가 온하고 있는 동안에 사용자가 상기 터치 스위치(112d)를 누른 손가락을 치우지 않으면 상기 메인프로세서(112e)는 경보 레벨 설정 작동을 중단하고 유량 감지 작동을 개시하며, 모든 LED가 온하고 있는 동안에 사용자가 상기 터치 스위치(112d)를 누른 손가락을 치우면 상기 메인프로세서(112e)는 경보 레벨 설정 작동을 개시한다.In this way, if the user does not remove the finger pressing the touch switch 112d while all the LEDs are on, the main processor 112e stops the alarm level setting operation and starts the flow sensing operation, and all the LEDs are on. If the user presses the touch switch 112d while removing a finger, the main processor 112e starts an alarm level setting operation.

경보 레벨 설정 작동 개시 직후, 상기 메인프로세서(112e)는 상기 유량 레벨 표시부(112c') 중 이전에 설정되어 있던 경보 레벨에 대응하는 녹색 LED를 온시킨다. 예컨대, 이전 경보 레벨이 도 4의 L1∼L17 중 L10이었다면 L10에 해당하는 녹색 LED를 온시킨다.Immediately after the start of the alarm level setting operation, the main processor 112e turns on the green LED corresponding to the alarm level previously set in the flow level indicator 112c '. For example, if the previous alarm level was L10 of L1 to L17 of FIG. 4, the green LED corresponding to L10 is turned on.

이 상태에서, 사용자가 상기 터치 스위치(112d)를 손가락으로 한 번씩 누를 때마다 상기 메인프로세서(112e)는 상기 유량 레벨 표시부(112c')의 경보 레벨을 한단계씩 상승시키며, 도 4의 L17 레벨에 도달하면 다시 도 4의 L1 레벨부터 경보 레벨을 한단계씩 상승시킨다.In this state, every time the user presses the touch switch 112d with a finger, the main processor 112e raises the alarm level of the flow level display part 112c 'step by step, and at the L17 level of FIG. When it reaches, the alarm level is increased by one step from the L1 level of FIG. 4 again.

만약, 사용자가 특정 경보 레벨을 설정하고 상기 주전원 스위치(112b)를 다시 오프한 후 또 다시 온시키면 상기 메인프로세서(112e)는 경보 레벨 설정 작동을 완료하고, 이후부터 유량 감지 작동을 개시한다.If the user sets a specific alarm level, turns off the main power switch 112b again, and then turns it on again, the main processor 112e completes the alarm level setting operation, and then starts the flow sensing operation.

예컨대, 이전 경보 레벨이 상기한 L10인 상태에서 사용자가 상기 터치 스위치(112d)를 손가락으로 세번 누르면 상기 메인프로세서(112e)는 L13에 해당하는 녹색 LED를 온시키며, 이에 따라 L13 레벨이 새롭게 설정되는 유량 경보 레벨이 된다. For example, when the user presses the touch switch 112d three times with his finger in the state where the previous alarm level is L10, the main processor 112e turns on the green LED corresponding to L13, and thus the L13 level is newly set. The flow alarm level is reached.

이때, 사용자가 상기 터치 스위치(112d)를 손가락으로 눌러 경보 레벨을 설정하는 방식을 달리하면 특정 값부터 또다른 특정 값까지 정해진 범위로 경보 레벨을 설정할 수 있다.In this case, if the user sets the alarm level by pressing the touch switch 112d with a finger, the alarm level may be set in a predetermined range from a specific value to another specific value.

예컨대, 상기한 L10인 상태에서 사용자가 상기 터치 스위치(112d)를 손가락으로 세번 눌러 L13을 선택한 후 일정 시간(예컨대, 약 2초 이상) 동안 손가락을 치우지 않고 있다가 상기 일정 시간이 지난 후 손가락을 치우고, 또다시 상기 터치 스위치(112d)를 손가락으로 세번 눌러 L16을 선택한 후 일정 시간(예컨대, 약 2초 이상) 동안 손가락을 치우지 않고 있다가 상기 일정 시간이 지난 후 손가락을 치운 후에 상기 주전원 스위치(112b)를 다시 오프한 후 또 다시 온시키면 도 4의 L13∼L16 사이의 범위로 경보 레벨을 설정할 수 있으며, 그 방식은 상기 메인프로세서(112e)의 유량 경보 레벨 작동 방식을 다르게 변경함으로써 당업자 수준으로 다양하게 구현할 수 있다.For example, in the state of L10, the user presses the touch switch 112d three times with a finger to select L13 and then does not remove the finger for a predetermined time (for example, about 2 seconds or more), and then removes the finger after the predetermined time elapses. The user presses the touch switch 112d three times with the finger, selects L16, and then does not remove the finger for a predetermined time (for example, about 2 seconds or more) and then removes the finger after the predetermined time. If the alarm level is set in the range between L13 and L16 of FIG. 4 by turning off and on again of 112b), the method may be changed to a level of ordinary skill in the art by changing the operation of the flow alarm level of the main processor 112e differently. Various implementations are possible.

이와 같이 특정 값으로 설정된 유량 경보 레벨을 기준으로 상기 메인프로세서(112e)는 유량 감시 작동을 개시한 이후 유량이 특정 값 이하 또는 특정 값 이상으로 변동되거나, 혹은 특정 값부터 또다른 특정 값까지 정해진 범위를 벗어나면 즉시 유량 경보 신호를 출력한다. 이때, 상기 메인프로세서(112e)는 상기 단자대(113)의 밸브 작동 신호 입력 단자를 통해 외부 유체 공급라인 상의 유체 공급밸브(200)의 개방 작동 신호가 입력되면 상기 밸브 작동 표시등(112f)을 온시킨 상태에서 상기 발광부(112a)와 수광부(112a')의 작동을 통해 상기 유체관(140')을 통해 흐르는 유량 변동을 감지한다.Based on the flow rate alarm level set to a specific value, the main processor 112e starts the flow rate monitoring operation, and then the flow rate changes below a certain value or above a certain value, or is determined from a specific value to another specific value. Immediately output the flow alarm signal. At this time, the main processor 112e turns on the valve operation indicator 112f when the opening operation signal of the fluid supply valve 200 on the external fluid supply line is input through the valve operation signal input terminal of the terminal block 113. In this state, the flow rate of the fluid flowing through the fluid pipe 140 'is detected through the operation of the light emitting unit 112a and the light receiving unit 112a'.

예컨대, 상기 메인프로세서(112e)는 상기와 같이 설정된 L13 레벨 이하 또는 이상으로 유량이 변동되면 유량 경보 신호를 출력하여 상기 단자대(113)의 경보 출력 단자를 통해 외부로 전달하거나 유량 레벨 표시부(112c')의 모든 LED를 온시킴 으로써 사용자에게 잘못된 유량 변동 상황을 알려준다.For example, when the flow rate changes below or above the L13 level set as described above, the main processor 112e outputs a flow rate alarm signal and transmits it to the outside through the alarm output terminal of the terminal block 113, or the flow level display unit 112c '. By turning on all LEDs, the user is notified of the wrong flow fluctuations.

따라서, 사용자는 유체 흐름의 변동 상황을 즉각적으로 확인하고 이에 대처할 수 있으며, 그 결과로 종래와 같이 플로우 미터(100)를 사용하여 제조하는 제품이나 제조 공정 중에 발생하는 불량을 줄이거나 예방할 수 있다.Therefore, the user can immediately check and cope with the fluctuation of the fluid flow, and as a result, it is possible to reduce or prevent defects occurring during the manufacturing process or the product manufactured using the flow meter 100 as in the prior art.

다음으로, 상기 메인프로세서(112e)가 상기 딥(DIP) 스위치(112h)와 상기 주전원 스위치(112b) 및 터치 스위치(112d)의 작동과 연계하여 사용자가 원하는 유량 경보 레벨을 설정하는 과정을 설명하면 다음과 같다.Next, the main processor 112e will be described in the process of setting the user's desired flow rate alarm level in connection with the operation of the dip (DIP) switch 112h, the main power switch 112b and the touch switch 112d As follows.

최초에, 사용자는 상기 딥(DIP) 스위치(112h)의 DSW-1을 온하고, 연이어서 상기 주전원 스위치(112b)를 오프한 후 다시 온한다.Initially, the user turns on the DSW-1 of the dip (DIP) switch 112h, and subsequently turns off the main power switch 112b and then on again.

이때, 상기 메인프로세서(112e)는 경보 레벨 설정 작동을 개시하여 상기 유량 레벨 표시부(112c')의 모든 발광소자(예컨대, 녹색 LED)와 적색 LED로 된 상기 밸브 작동 표시등(112f)을 특정 횟수(예컨대, 6회 정도)만큼 점멸시킨 후, 상기 유량 레벨 표시부(112c') 중 이전에 설정되어 있던 경보 레벨에 대응하는 녹색 LED를 온시킨다. 예컨대, 이전 경보 레벨이 도 4의 L1∼L17 중 L10이었다면 L10에 해당하는 녹색 LED를 온시킨다.At this time, the main processor 112e starts an alarm level setting operation so that all the light emitting elements (eg, green LEDs) and the valve operation indicators 112f of the red LEDs of the flow level level display unit 112c 'are specified a certain number of times. After blinking by (e.g., about six times), the green LED corresponding to the alarm level previously set in the flow rate level display section 112c 'is turned on. For example, if the previous alarm level was L10 of L1 to L17 of FIG. 4, the green LED corresponding to L10 is turned on.

만약, 사용자가 특정 경보 레벨을 설정하고 상기 딥(DIP) 스위치(112h)를 오 프한 다음, 상기 주전원 스위치(112b)를 다시 오프한 후 또 다시 온시키면 상기 메인프로세서(112e)는 경보 레벨 설정 작동을 완료하고, 이후부터 유량 감지 작동을 개시한다.If the user sets a specific alarm level, turns off the dip (DIP) switch 112h, turns off the main power switch 112b again, and then turns it on again, the main processor 112e operates the alarm level setting operation. After that, the flow sensing operation is started.

예컨대, 상기한 L10인 상태에서 사용자가 상기 터치 스위치(112d)를 손가락으로 세번 눌러 L13을 선택한 후 일정 시간(예컨대, 약 2초 이상) 동안 손가락을 치우지 않고 있다가 상기 일정 시간이 지난 후 손가락을 치우고, 또다시 상기 터치 스위치(112d)를 손가락으로 세번 눌러 L16을 선택한 후 일정 시간(예컨대, 약 2초 이상) 동안 손가락을 치우지 않고 있다가 상기 일정 시간이 지난 후 손가락을 치운 후에 상기 딥(DIP) 스위치(112h)의 DSW-1을 오프한 다음, 상기 주전원 스위치(112b)를 다시 오프한 후 또 다시 온시키면 도 4의 L13∼L16 사이의 범위로 경보 레벨을 설정할 수 있으며, 그 방식은 상기 메인프로세서(112e)의 유량 경보 레벨 작동 방식을 다르게 변경함으로써 당업자 수준으로 다양하게 구현할 수 있다.For example, in the state of L10, the user presses the touch switch 112d three times with a finger to select L13 and then does not remove the finger for a predetermined time (for example, about 2 seconds or more), and then removes the finger after the predetermined time elapses. And then press the touch switch 112d three times with a finger to select L16 and then do not remove the finger for a predetermined time (for example, about 2 seconds or more), and then remove the finger after the predetermined time, and then the dip (DIP) ), After turning off the DSW-1 of the switch 112h, and then turning the main power switch 112b off and on again, the alarm level can be set within the range of L13 to L16 of FIG. 4. By varying the operation of the flow rate alarm level of the main processor (112e) can be variously implemented to those skilled in the art.

이와 같이 특정 값으로 설정된 유량 경보 레벨을 기준으로 상기 메인프로세 서(112e)는 유량 감시 작동을 개시한 이후 유량이 특정 값 이하 또는 특정 값 이상으로 변동되거나, 혹은 특정 값부터 또다른 특정 값까지 정해진 범위를 벗어나면 즉시 유량 경보 신호를 출력한다. 이때, 상기 메인프로세서(112e)는 상기 단자대(113)의 밸브 작동 신호 입력 단자를 통해 외부 유체 공급라인 상의 유체 공급밸브(200)의 개방 작동 신호가 입력되면 상기 밸브 작동 표시등(112f)을 온시킨 상태에서 상기 발광부(112a)와 수광부(112a')의 작동을 통해 상기 유체관(140')을 통해 흐르는 유량 변동을 감지한다.Based on the flow rate alarm level set to a specific value, the main processor 112e changes the flow rate below a certain value or above a certain value after the flow rate monitoring operation is started, or from a specific value to another specific value. If it is out of the specified range, it immediately outputs a flow alarm signal. At this time, the main processor 112e turns on the valve operation indicator 112f when the opening operation signal of the fluid supply valve 200 on the external fluid supply line is input through the valve operation signal input terminal of the terminal block 113. In this state, the flow rate of the fluid flowing through the fluid pipe 140 'is detected through the operation of the light emitting unit 112a and the light receiving unit 112a'.

예컨대, 상기 메인프로세서(112e)는 상기와 같이 설정된 L13 레벨 이하 또는 이상으로 유량이 변동되면 유량 경보 신호를 출력하여 상기 단자대(113)의 경보 출력 단자를 통해 외부로 전달하거나 유량 레벨 표시부(112c')의 모든 LED를 온시킴으로써 사용자에게 잘못된 유량 변동 상황을 알려준다.For example, when the flow rate changes below or above the L13 level set as described above, the main processor 112e outputs a flow rate alarm signal and transmits it to the outside through the alarm output terminal of the terminal block 113, or the flow level display unit 112c '. By turning on all of the LEDs, the user is informed of incorrect flow fluctuations.

상기 메인프로세서(112e)는 상기 단자대(113)의 밸브 작동 신호 입력 단자를 통해 외부 유체 공급라인 상의 유체 공급밸브(200)의 개방 작동 신호가 입력되면, 상기 유체관(140')을 통해 흐르는 유량 변동을 상기 발광부(112a)와 수광부(112a')의 작동을 통해 감지한다.The main processor (112e) is a flow rate flowing through the fluid pipe 140 ', when the open operation signal of the fluid supply valve 200 on the external fluid supply line is input through the valve operation signal input terminal of the terminal block 113; The change is sensed through the operation of the light emitting unit 112a and the light receiving unit 112a '.

한편, 상기 메인프로세서(112e)는 상기 단자대(113)의 밸브 작동 신호 입력 단자를 통해 외부 유체 공급라인 상의 유체 공급밸브(200)의 개방 작동 신호가 입 력됨에 따라 상기 발광부(112a)와 수광부(112a')의 작동을 통해 상기 유체관(140')을 통해 흐르는 유량 변동을 감지하는 동안, 그 감지 결과에 대응하는 유량을 상기 단자대(113)의 유량 출력 단자를 통해 외부의 유량 표시/기록 장치(예컨대, LED나 LCD 등의 표시 기능을 포함하는 데이터 기록 장치, 혹은 사용자 PC나 관리자 PC 등)로 전달하여 해당 유량을 표시, 기록한다.On the other hand, the main processor (112e) through the valve operation signal input terminal of the terminal block 113 as the open operation signal of the fluid supply valve 200 on the external fluid supply line is input, the light emitting portion (112a) and the light receiving portion While detecting flow rate fluctuation flowing through the fluid pipe 140 'through the operation of 112a', the flow rate corresponding to the sensing result is displayed / recorded through the flow rate output terminal of the terminal block 113. The data is transferred to an apparatus (eg, a data recording apparatus including a display function such as an LED or an LCD, or a user PC or an administrator PC) to display and record the flow rate.

이에 따라서, 사용자는 실시간으로 혹은 필요할 때마다 유량 공급 및 유량 변동량을 용이하게 확인할 수 있다.Accordingly, the user can easily check the flow rate supply and the flow rate variation in real time or whenever necessary.

다른 한편, 상기 메인프로세서(112e)는 상기 단자대(113)의 밸브 작동 신호 입력 단자를 통해 외부 유체 공급라인 상의 유체 공급밸브(200)의 닫힘 작동 신호가 입력되면 상기 유체관(140')을 통해 흐르는 유량 변동을 상기 발광부(112a)와 수광부(112a')의 작동을 통해 감지한다.On the other hand, the main processor (112e) through the fluid pipe (140 ') when the closing operation signal of the fluid supply valve 200 on the external fluid supply line through the valve operation signal input terminal of the terminal block 113 is input. The flow rate fluctuation is sensed through the operation of the light emitting unit 112a and the light receiving unit 112a '.

이때 만약, 유량 변동이 감지되면 밸브 경보 신호를 출력하여 상기 단자대(113)의 경보 출력 단자를 통해 외부로 전달하거나 상기 제2 PCB(112')의 밸브 작동 표시등(112f)을 점멸시킴으로써 상기 유체 공급밸브(200)의 고장 상태를 사용자에게 알린다.At this time, if a flow rate change is detected, a valve alarm signal is output and transmitted to the outside through the alarm output terminal of the terminal block 113, or the valve operation indicator 112f of the second PCB 112 'is flashed to allow the fluid to flow. Notify the user of the failure status of the supply valve 200.

이에 따라서, 사용자는 상기 유체 공급밸브(200)의 고장 상태를 즉각적으로 확인하고 이에 대처할 수 있으며, 특히 본 발명에 따른 디지털 플로우 미터(100')를 사용하면 상기 유체 공급밸브(200)의 고장 감지 장비를 별도로 설치할 필요가 없으므로 상기 유체 공급밸브(200)의 고장 감지 장비 설치 비용을 절감할 수 있다.Accordingly, the user can immediately check the failure state of the fluid supply valve 200 and cope with it. In particular, when the digital flow meter 100 ′ according to the present invention is used, a failure of the fluid supply valve 200 can be detected. Since it is not necessary to install the equipment separately, it is possible to reduce the cost of installing the failure detection equipment of the fluid supply valve 200.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 디지털 플로우 미터는 상기한 실시예에 한 정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있는 범위까지 그 기술적 정신이 있다.The digital flow meter according to the present invention described above is not limited to the above embodiments, and those skilled in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims below The technical spirit is to the extent that anyone can make various changes.

도 1은 종래의 플로우 미터를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a conventional flow meter.

도 2는 본 발명에 따른 디지털 플로우 미터를 나타낸 사시도.2 is a perspective view of a digital flow meter according to the present invention;

도 3은 도 2에 나타낸 본 발명에 따른 디지털 플로우 미터의 분해도.3 is an exploded view of a digital flow meter according to the invention shown in FIG. 2;

도 4는 도 2에 나타낸 본 발명에 따른 디지털 플로우 미터의 평면도.4 is a plan view of the digital flow meter according to the invention shown in FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100,100': 플로우 미터 110,110': 본체100,100 ': Flow meter 110,110': Main unit

110a,110a': 수직 관통부 111,111': PCB 장착 요부110a, 110a ': Vertical through part 111,111': PCB mounting recess

112: 제1 PCB 112': 제2 PCB112: first PCB 112 ': second PCB

112a: 발광부 112a': 수광부112a: light emitting portion 112a ': light receiving portion

112b: 주전원 스위치 112c: 주전원 표시등112b: main power switch 112c: main power indicator

112c': 유량 레벨 표시부 112d: 터치 스위치112c ': flow level indicator 112d: touch switch

112e: 메인프로세서 112f: 밸브 작동 표시등112e: Main processor 112f: Valve operation indicator

112g: 프로그램 통신단자 112h: 딥(DIP) 스위치112g: Program communication terminal 112h: DIP switch

113: 단자대 114: 덮개113: terminal block 114: cover

120,120': 유체 유입부 121,121': 유체 유입구120,120 ': fluid inlet 121,121': fluid inlet

130,130': 유체 배출부 131,131': 유체 배출구130,130 ': fluid outlet 131,131': fluid outlet

132,132': 유량조절기 140,140': 유체관132,132 ': Flow regulator 140,140': Fluid line

141,141': 부표 200: 유체 공급밸브141,141 ': buoy 200: fluid supply valve

Claims

A main body 110 'having an open front surface and having PCB mounting recesses 111 and 111' having vertical through portions 110a and 110a 'formed on left and right sides thereof, respectively;

A first PCB mounted to the left PCB mounting recess 111 of the main body 110 ′, the first PCB including a light emitting unit 112a and a main power switch 112b in which a plurality of light emitting elements are arranged at regular intervals in a vertical direction; (112);

A light receiving portion 112a 'mounted on a PCB mounting recess 111' on the right side of the main body 110 'and arranged with a plurality of light receiving elements facing a plurality of light emitting elements of the light emitting portion 112a; Opening of the fluid supply valve 200 on the external fluid supply line while controlling the on / off of the flow level display part 112c 'composed of a plurality of light emitting elements according to whether each light receiving element of 112a' is on or off. A main processor 112e for outputting a flow alarm signal as soon as the flow rate fluctuation according to the alarm level set by the user by operating the touch switch 112d for alarm level setting according to the operation signal input is out of a specific value or a specific range; Second PCB 112 ';

A terminal block mounted on a bottom surface of the main body 110 'to electrically connect the first PCB 112 and the second PCB 112' and include a main power input terminal, a valve operation signal input terminal, and an alarm output terminal; (113);

A cover 114 which covers the first PCB 112 and the second PCB 112 'and fixes it to the main body 110';

A fluid inlet 120 ′ mounted at an inner lower portion of the main body 110 ′ and having a fluid inlet 121 ′ connected to the fluid supply valve 200 behind the main body 110 ′. ;

It is mounted on the inner upper portion of the main body 110 ', while the fluid outlet 131' is formed to the rear of the main body 110 ', the flow regulator 132' is formed in front of the main body 110 '. Fluid outlet 130 '; and

The fluid inlet 120 ′ and the fluid outlet 130 ′ are connected to allow fluid to flow, and a buoy 141 ′ which is transparent and has a flow rate measuring ruler formed on the outer surface and floats according to the flow of the fluid therein. Cylindrical column-shaped fluid pipe including a 140 ';

Digital flow meter, characterized in that consisting of.

The dip (DIP) of claim 1, wherein the second PCB 112 ′ has a function of setting an alarm level of a user according to a flow rate and setting an input / output connection between the terminal block 113 and the main processor 112e. And a switch (112h).

The digital signal processor of claim 1, wherein the main processor 112e outputs the flow rate alarm signal and transmits the flow rate alarm signal to the outside through the alarm output terminal of the terminal block 113, or turns on the flow level display part 112c '. Flow meter.

According to claim 1, The main processor (112e) through the valve operation signal input terminal of the terminal block 113 in response to the opening operation signal of the fluid supply valve 200 on the external fluid supply line is input to the fluid pipe 140 The flow rate flowing through ') is sensed through the operation of the light emitting unit 112a and the light receiving unit 112a', and the flow rate corresponding to the detection result is externally provided through the flow rate output terminal formed in the terminal block 113. Digital flow meter, characterized in that for transmitting to the flow rate display / recording device of the flow rate display.

The fluid pipe 140 of claim 1, wherein the main processor 112e receives the closing operation signal of the fluid supply valve 200 on the external fluid supply line through the valve operation signal input terminal of the terminal block 113. The flow rate flowing through ') is sensed through the operation of the light emitting unit 112a and the light receiving unit 112a', and when a flow rate change is detected, a valve alarm signal is output to the outside through the alarm output terminal of the terminal block 113. Or turn on the valve actuation indicator (112f) further formed on the second PCB (112 ').

The program communication terminal of claim 1, wherein the second PCB 112 ′ is configured to directly connect an external device for changing or debugging an internal control program of the main processor 112e to the main processor 112e. Digital flow meter further comprises (112g).