KR100996505B1 - Method of fabricating the color filter substrate for Liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
본 발명의 목적은, 흰색 컬러필터층을 추가로 형성함에 있어 공정을 감소하고 재료비를 절감할 수 있는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조방법을 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a color filter substrate for a liquid crystal display device which can reduce a process and reduce material costs in further forming a white color filter layer.
본 발명은, 적, 녹, 청, 흰색 서브 화소에 각각 대응하여 제 1, 2, 3, 4 개구부를 갖는 블랙매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 제 1, 2, 3 개구부에 적, 녹, 청색 컬러필터층 각각을 형성하는 단계와; 상기 적, 녹, 청색 각각의 컬러필터층과 상기 제 4 개구부 상에 오버코트 수지를 도포하여 흰색 서브 화소를 포함한 그 표면이 평탄한 오버코트층을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 방법을 제공한다.The present invention includes forming a black matrix having first, second, third, and fourth openings corresponding to red, green, blue, and white sub-pixels, respectively; Forming each of the red, green, and blue color filter layers in the first, second, and third openings; A method of manufacturing a color filter substrate for a liquid crystal display device comprising applying an overcoat resin on each of the red, green, and blue color filter layers and the fourth opening to form an overcoat layer having a flat surface including a white sub-pixel. To provide.
본 발명은, 별도의 흰색 컬러필터층을 형성하지 않고, 오버코트층으로 흰색 컬러필터층을 구성함으로써, 흰색 컬러필터층을 형성하기 위한 마스크 공정수를 절감할 수 있고, 그에 따른 재료비를 절감할 수 있는 효과가 있다.
According to the present invention, by forming a white color filter layer as an overcoat layer without forming a separate white color filter layer, the number of mask processes for forming a white color filter layer can be reduced, and thus the material cost can be reduced. have.
Description
도 1은 일반적인 액정표시장치를 개략적으로 나타낸 도면.1 is a view schematically showing a general liquid crystal display device.
도 2는 적, 녹, 청색 서브 화소를 가지는 액정표시장치용 컬러필터 기판을 도시한 단면도.2 is a cross-sectional view showing a color filter substrate for a liquid crystal display device having red, green, and blue sub pixels.
도 3은 종래의 적, 녹, 청, 흰색 서브 화소를 가지는 액정표시장치용 기판을 도시한 단면도.3 is a cross-sectional view of a conventional liquid crystal display substrate having red, green, blue, and white sub-pixels.
도 4a 내지 4g 종래의 액정표시장치용 컬러필터 기판을 제조하는 방법을 도시한 제조 공정 단면도.4A to 4G are cross-sectional views of a manufacturing process showing a method of manufacturing a conventional color filter substrate for a liquid crystal display.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판을 도시한 단면도.5 is a cross-sectional view showing a color filter substrate for a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention;
도 6a 내지 6g 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판을 제조하는 방법을 도시한 제조 공정 단면도.6A to 6G are cross-sectional views of a manufacturing process showing a method of manufacturing a color filter substrate for a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판을 형성에 사용되는 닥터 블레이드를 슬릿 코팅 장치의 일부 단면도.7 is a partial cross-sectional view of a slit coating apparatus for a doctor blade used to form a color filter substrate for a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
도 8a 내지 8g는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판을 제조하는 방법을 도시한 제조 공정 단면도.
8A to 8G are cross-sectional views of a manufacturing process showing a method of manufacturing a color filter substrate for a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명><Brief description of the main parts of the drawing>
410 : 기판 420 : 블랙매트릭스410: substrate 420: black matrix
425 : 개구부 430 : 컬러필터층425: opening 430: color filter layer
440 : 오버코트층 470 : 슬릿 바440: overcoat layer 470: slit bar
475 : 닥터 블레이드
475: Doctor Blade
본 발명은 액정표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof.
일반적으로, 액정표시장치는 액정분자의 광학적 이방성과 복굴절 특성을 이용하여 화상을 표현하는 것으로, 전계가 인가되면 액정의 배열이 달라지고 달라진 액정의 배열 방향에 따라 빛이 투과되는 특성 또한 달라진다. 일반적으로, 액정표시장치는 전계 생성 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 두 전극이 형성되어 있는 면이 마주 대하도록 배치하고 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직이게 함으로써, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치이다.In general, a liquid crystal display device displays an image by using optical anisotropy and birefringence characteristics of liquid crystal molecules. When an electric field is applied, the alignment of liquid crystals is changed, and the characteristics of light transmission vary according to the arrangement direction of the changed liquid crystals. In general, a liquid crystal display device is formed by arranging two substrates on which electric field generating electrodes are formed so that the surfaces on which the two electrodes are formed face each other, injecting a liquid crystal material between the two substrates, and then applying a voltage to the two electrodes. By moving the liquid crystal molecules by the electric field is a device that represents the image by the transmittance of light that varies accordingly.
도 1은 일반적인 액정표시장치를 개략적으로 나타낸 도면이다. 1 is a view schematically showing a general liquid crystal display device.
도시한 바와 같이, 일반적인 컬러 액정표시장치(11)는 적(Red), 녹(Green), 청(Blue)색의 컬러필터층(8)과 컬러필터(8)층 사이에 구성된 블랙매트릭스(6) 및 컬러필터(8)의 상부에 증착된 공통전극(18)이 형성된 상부기판(5)과, 화소영역(P)이 정의되고 화소영역(P)에는 화소전극(17)과 스위칭소자(T)가 구성되며, 화소영역(P)의 주변으로 어레이배선이 형성된 하부기판(22)을 포함하며, 상부기판(5)과 하부기판(22) 사이에는 액정(14)이 충진되어 있다.As shown in the drawing, a general color liquid
하부기판(22)은 어레이 기판(array substrate)이라고도 하며, 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(T)가 매트릭스형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터(T)를 교차하여 지나가는 게이트 배선(13)과 데이터 배선(15)이 형성된다. 이때, 화소영역(P)은 게이트배선(13)과 데이터배선(15)이 교차하여 정의되는 영역이며, 화소영역(P)상에는 전술한 바와 같이 투명한 화소전극(17)이 형성된다.The
화소전극(17)은 ITO(indium-tin-oxide)와 같이 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명 도전성금속을 사용한다. 화소전극(17)과 병렬로 연결된 스토리지 커패시터(CST)가 게이트 배선(13)의 상부에 구성되며, 스토리지 커패시터(CST)의 제 1 전극으로 게이트 배선(13)의 일부를 사용하고, 제 2 전극으로 소스 및 드레인 전극과 동일층 동일물질로 형성된 아일랜드 형상의 소스/드레인 금속층(30)을 사용한다.The
여기서, 소스/드레인 금속층(30)은 화소전극(17)과 접촉되어 화소전극의 신호를 받도록 구성된다. Here, the source /
전술한 바와 같은 액정표시장치는 적, 녹, 청색 각각을 표시하기 위한 적, 녹, 청 의 서브화소가 하나의 화소를 이루어 색을 표시하게 된다. In the liquid crystal display device as described above, red, green, and blue sub-pixels for displaying red, green, and blue, respectively, form one pixel to display colors.
도 2는 적, 녹, 청의 서브 화소를 가지는 액정표시장치용 컬러필터 기판을 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a color filter substrate for a liquid crystal display device having red, green, and blue sub-pixels.
도시한 바와 같이, 종래의 액정표시장치용 컬러필터 기판은, 기판(110) 상에 적, 녹, 청의 서브 화소와 각각 대응되는 제 1, 2, 3 개구부(125a, 125b, 125c)를 가지는 블랙 매트릭스(120)와, 개구부(125) 각각에 적, 녹, 청색 컬러필터층(130a, 130b, 130c)과, 컬러필터층(130) 상에 오버코트층(140)이 형성되어 있다. As shown, a conventional color filter substrate for a liquid crystal display device has a first, second, and
적, 녹, 청색 컬러필터층(130a, 130b, 130c)은 각각 적, 녹, 청색을 표시하게 되고, 컬러필터층(130) 상에 형성된 오버코트층(140)은 액정표시장치용 기판을 평탄화하게 된다. The red, green, and blue
한편, 적, 녹, 청의 서브 화소에 흰색을 표시하는 흰색 서브 화소를 추가로 구성함으로써, 휘도를 높일 수 있는 쿼드(quad) 방식 액정표시장치가 사용된다.On the other hand, a quad type liquid crystal display device capable of increasing luminance by additionally configuring white subpixels displaying white in red, green, and blue subpixels is used.
도 3은 적, 녹, 청, 흰색의 서브 화소를 가지는 종래의 액정표시장치용 컬러필터 기판을 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing a conventional color filter substrate for a liquid crystal display device having red, green, blue, and white sub-pixels.
도시한 바와 같이, 종래의 액정표시장치용 컬러필터 기판에는 흰색 서브 화소가 추가로 구성됨으로써, 흰색 서브 화소를 구동하기 위한 흰색 컬러필터층(230d)이 추가로 형성되어 있다. As shown in the drawing, a white sub pixel is additionally formed on a conventional color filter substrate for a liquid crystal display, and a white
이하, 종래의 액정표시장치용 컬러필터 기판을 형성하는 방법에 대해 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a method of forming a conventional color filter substrate for a liquid crystal display device will be described with reference to the drawings.
도 4a 내지 4g는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판을 형성하 는 방법을 도시한 단면도이다. 4A through 4G are cross-sectional views illustrating a method of forming a color filter substrate for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
먼저, 도 4a에 도시한 바와 같이, 기판(210) 상에 광차단성 물질을 도포하고 마스크 공정으로 패터닝(patterning)하여 상에 제 1, 2, 3, 4 개구부(225a, 225b, 225c, 225d)를 갖는 블랙매트릭스(220)를 형성한다. 이때, 상기 광차단성 물질은 블랙 수지 또는 크롬산화물 중에서 선택되는 것이 바람직하다. 상기 제 1, 2, 3, 4 개구부(225a, 225b, 225c, 225d)는 적, 녹, 청, 흰색 서브 화소 각각에 대응되도록 형성하며, 상기 블랙 매트릭스(220)는 어레이 기판의 게이트 및 데이터 배선 등과 같은 액정표시장치 내의 금속 패턴에 대응되도록 형성된다. First, as shown in FIG. 4A, first, second, third, and
다음, 도 4b에 도시한 바와 같이, 적색 포토레지스트(229)를 기판 전면에 도포한다. 이때 상기 적색 포토레지스트(229)는 광감성 물질로 빛을 받으면 광반을하여 빛이 조사된 부분 또는 빛이 조사되지 않은 부분이 현상 시 제거된다. Next, as shown in Fig. 4B, a
다음, 도 4c에 도시한 바와 같이, 적색의 포토레지스트를 마스크 공정을 통해 패터닝하여, 제 1 개구부(225a)에 적색 컬러필터층(230a)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 4C, a red photoresist is patterned through a mask process to form a red
다음, 도 4d에 도시한 바와 같이, 녹색의 포토레지스트를 도포하고 마스크 공정을 통해 패터닝하여, 제 2 개구부(225b)에 녹색 컬러필터층(230b)을 형성한다. 이때, 상기 녹색 컬러필터층(230b)은 적색 컬러필터층(230a)을 형성하는 공정과 동일한 공정으로 진행된다. Next, as shown in FIG. 4D, a green photoresist is applied and patterned through a mask process to form a green
다음, 도 4f에 도시한 바와 같이, 동일한 방법으로 청색 포토레지스트를 기판 전면에 도포하고 마스크 공정을 통해 패터닝하여, 제 3 개구부(225c)에 청색 컬러필터층(230c)을 형성한다.
Next, as shown in FIG. 4F, a blue photoresist is applied to the entire surface of the substrate in the same manner and patterned through a mask process to form a blue
다음, 도 4e에 도시한 바와 같이, 흰색의 포토레지스트 더욱 정확히는 색을 나타내는 안료가 제거된 포토 바인더 레지스트를 도포하고 마스크 공정을 통해 패터닝하여, 제 4 개구부(225d)에 화이트 컬러필터층(230d)을 형성한다. 상기 흰색 컬러필터층(230c) 또한 적, 녹, 청색 컬러필터층(230a, 230b, 230c)을 형성하는 공정과 동일한 공정으로 진행된다. Next, as shown in FIG. 4E, a white photoresist, more accurately, a photo binder resist in which color pigments have been removed, is applied and patterned through a mask process to form a white
다음으로, 도 4g에 도시한 바와 같이, 오버코트층을 (240)을 상기 적, 녹, 청, 흰색 컬러필터층(230) 상에 형성한다. 상기 오버코트층(240)은 컬러필터층을 보호하며, 단차를 가지며 형성된 컬러필터층을 평탄화하기 위해 형성하게 된다. Next, as shown in FIG. 4G, an
전술한 바와 같은 공정을 통해, 화이트 컬러필터층이 추가로 구성된 종래의 액정표시장치용 기판을 형성할 수 있다. 그런데, 화이트 컬러필터층을 추가로 구성함에 따라 화이트 컬러필터층을 형성하기 위한 마스크 공정이 증가하게 되고, 그에 따른 재료비가 상승하게 되는 문제가 발생하게 된다.
Through the above-described process, it is possible to form a conventional liquid crystal display substrate having a white color filter layer. However, as the white color filter layer is further configured, a mask process for forming the white color filter layer is increased, and thus a material cost increases.
전술한 바와 같은 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 흰색 컬러필터층을 추가로 형성함에 있어 공정을 감소하고 재료비를 절감할 수 있는 액정표시장치 및 그 제조방법을 제공함에 있다.
An object of the present invention for solving the above problems is to provide a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same that can reduce the process and reduce the material cost in the further formation of the white color filter layer.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 적, 녹, 청, 흰색 네 개의 서브 화소가 하나의 화소를 이루는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 방법으로서, 상기 적, 녹, 청, 흰색 서브 화소에 각각 대응하여 제 1, 2, 3, 4 개구부를 갖는 블랙매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 제 1, 2, 3 개구부에 적, 녹, 청색 컬러필터층 각각을 형성하는 단계와; 상기 적, 녹, 청색 각각의 컬러필터층과 상기 제 4 개구부 상에 오버코트 수지를 도포하며 표면 평탄화 수단을 통해 도포되는 상기 오버코트 수지를 평탄화함으로써 흰색 서브 화소를 포함하여 그 표면이 평탄한 오버코트층을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a manufacturing method of a color filter substrate for a liquid crystal display device in which four sub-pixels of red, green, blue, and white form one pixel, and the red, green, blue, and white Forming a black matrix having first, second, third, and fourth openings corresponding to the sub-pixels, respectively; Forming each of the red, green, and blue color filter layers in the first, second, and third openings; An overcoat resin is applied on the red, green, and blue color filter layers and the fourth openings, and the overcoat resin applied through surface planarization means is flattened to form an overcoat layer having a flat surface including white sub-pixels. It provides a method of manufacturing a color filter substrate for a liquid crystal display device comprising the step.
본 발명에 따른 상기 적, 녹, 청색 컬러필터층 각각을 형성하는 단계는, (a)기판 상에 적색 포토레지스트 각각을 도포하는 단계와; (b)상기 도포된 적색 포토레지스트를 노광하는 단계와; (c)노광된 상기 적색 포토레지스트를 현상하여 적색 컬러필터층을 형성하는 단계와; 상기 (a)내지 (c)단계를 적색 포토레지스트 대신 녹색과 청색 포토레지스트로 대치하여 순차적으로 반복함으로 녹색 및 청색 컬러필터층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 오버코트층은 닥터 블레이드를 구비한 슬릿 코팅 장치에 의해 형성되는 것이 특징으로 한다. Forming each of the red, green, and blue color filter layers according to the present invention comprises the steps of: (a) applying each of the red photoresist on a substrate; (b) exposing the applied red photoresist; (c) developing the exposed red photoresist to form a red color filter layer; Replacing the steps (a) to (c) with green and blue photoresist instead of red photoresist, and sequentially forming the green and blue color filter layers, wherein the overcoat layer is a slit coating having a doctor blade. It is characterized by being formed by the device.
또한, 상기 적, 녹, 청색 각각의 컬러필터층과 상기 제 4 개구부 상에 오버코트 수지를 도포하여 표면 평탄화 수단을 통해 도포되는 상기 오버코트 수지를 평탄화함으로써 흰색 서브 화소를 포함하여 그 표면이 평탄한 오버코트층을 형성하는 단계는 상기 적, 녹, 청색 각각의 컬러필터층이 구비된 기판을 상기 표면 평탄화 수단인 닥터 블레이드를 구비한 슬릿 코팅 장치의 스테이지 위에 위치시키는 단계와; 상기 기판이 위치한 스테이지 위로 슬릿 바와 블레이드를 일정간격 이격하여 위치시키는 단계와; 상기 스테이지를 일정 속도로 직선 운동시키며, 슬릿 바를 통해 오버코트 수지를 도포하며, 상기 블레이드로 상기 도포된 기판상의 상기 오버코트 수지를 밀어냄으로써 일정 두께의 오버코트층과 제 4 개구부 내에 상기 오버코트 수지를 채움으로써 흰색 서브 화소를 완성하는 단계를 포함하는데, 상기 오버코트층의 두께는 2㎛ 내지 12㎛로 형성될 수 있으며, 상기 오버코트 수지는 아크릴 계열 또는 색을 나타내는 안료가 제거된 바인더 포토레지스트인 것이 바람직하다. In addition, an overcoat resin is applied to each of the red, green, and blue color filter layers and the fourth opening to planarize the overcoat resin applied through a surface planarization means, thereby including an overcoat layer having a flat surface including a white sub-pixel. The forming step includes the steps of: placing a substrate having the red, green, and blue color filter layers on a stage of a slit coating apparatus having a doctor blade as the surface planarization means; Positioning a slit bar and a blade at a predetermined interval on a stage on which the substrate is located; Linearly move the stage at a constant speed, apply an overcoat resin through a slit bar, and push the overcoat resin on the applied substrate with the blade to fill the overcoat resin in a fourth thickness opening with the overcoat layer of a predetermined thickness. Comprising a step of completing the sub-pixel, wherein the thickness of the overcoat layer may be formed to 2㎛ to 12㎛, the overcoat resin is preferably a binder photoresist from which the pigments showing acrylic or color is removed.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
<제 1 실시예><First Embodiment>
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치용 기판을 도시한 단면도이다. 5 is a cross-sectional view illustrating a substrate for a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치는 흰색 서브 화소에 대해, 별도의 흰색 컬러필터층 형성하지 않고, 제 1, 2 오버코트층으로 흰색 컬러필터층을 구성하게 된다. 따라서, 컬러필터층이 형성된 기판면을 평탄화 할 수 있게 되고, 동시에 제조 공정수를 감소시킬 수 있게 된다. The liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention configures the white color filter layer with the first and second overcoat layers without forming a separate white color filter layer for the white sub-pixels. Therefore, the substrate surface on which the color filter layer is formed can be planarized, and at the same time, the number of manufacturing steps can be reduced.
도시한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판에는, 기판(310) 상에 개구부(325)를 가지는 블랙 매트릭스(320)와, 개구부(325) 각각에 대응되는 적, 녹, 청색 컬러필터층(330a, 330b, 330c)과, 상기 컬러필터층(330) 상에 제 1, 2 오버코트층(340, 350)이 형성되어 있다. As shown, the color filter substrate for a liquid crystal display according to the first embodiment of the present invention includes a
상기 블랙 매트릭스(320)는 광차단성 물질인 블랙수지 또는 크롬산화물로 혀성되는 것이 바람직하며, 도시하지 않았지만 상기 컬러필터 기판에 대응하여 합착되는 어레이 기판 상의 게이트 및 데이터 배선, 박막트랜지스터 등과 같은 금속 패턴에 대 응하여 형성된다. 액정표시장치에 형성된 금속 패턴에 대응되는 액정층은 원하는 바에 따라 구동되지 않게 되어 빛샘을 발생시키게 됨으로, 그와 같은 빛샘을 방지하기 위해 광차단성 물질로 이루어진 블랙 매트릭스(320)가 금속 패턴에 대응되어 형성된다. The
상기 블랙 매트릭스(320)에는 적, 녹, 청, 흰색 서브 화소 각각에 대응하는 제 1, 2, 3, 4 개구부(325a, 325b, 325c, 325d)가 형성되어 있다. First, second, third, and
상기 적, 녹, 청 컬러필터층(330a, 330b, 330c) 각각은 적, 녹, 청색을 표시하기 위한 광감성 물질로 이루어지는데, 적, 녹, 청색 서브 화소 각각에 대응하여 형성되는데, 적, 녹, 청 서브 화소 각각에 대응되는 제 1, 2, 3 개구부(325a, 325b, 325c) 각각에 형성된다. Each of the red, green, and blue
상기 제 1, 2 오버코트층(340, 350)은 컬러필터층(330)이 형성된 액정표시장치용 기판을 평탄화하기 위한 평탄화막으로서 기능하게 되는데, 투명한 유기 물질, 예를 들면 아크릴(acryl) 계열의 물질로 이루어진다. 그리고, 제 4 개구부(325d)에 형성된 제 1, 2 오버코트층(340, 350)은 흰색 컬러필터층으로 기능하게 된다. The first and second overcoat layers 340 and 350 function as a planarization layer for planarizing the substrate for the liquid crystal display device on which the
제 1 오버코트층(340)은 컬러필터층(330) 상에 형성되고 제 4 개구부(325d)를 채우게 된다. 여기서, 제 4 개구부(325d)를 채우는 제 1 오버코트층(340)은 컬러필터층(330) 상에 위치하는 제 1 오버코트층(340)에 비해 기판(310) 면을 기준으로 낮은 높이, 즉 요입된 형상을 가지게 되는데, 이는 통상적으로 오버코트층의 형성은 스핀 코팅 장치에 의해 이루어지며, 이때, 단차가 심하게 형성되는 부분 도면에 있어서 제 4 개구부(325d)에는 별도의 흰색 컬러필터층이 형성되지 않음으로 써 단차가 심하게 발생하므로 상기 제 1 오버코트층(340)은 평탄화되지 못하고 상기 4 개구부에서 요입된 구조를 가지게 된다. 이때, 상기 제 1 오버코트층에 있어서는 단차가 많이 줄어들게 된다. The
다음, 제 2 오버코트층(350)은 제 1 오버코트층(340) 상에 형성되며, 전체적으로 액정표시장치용 컬러필터 기판을 평탄하게 한다. 즉, 상기 제 2 오버코트층(350)은, 제 1 오버코트층(340)의 요입된 부분, 즉 제 4 개구부(325d)에 대응되는 제 1 오버코트층(340)의 요입된 부분을 균일하게 채우게 됨으로써 액정표시장치용 컬러필터 기판을 평탄화하게 된다.Next, the
도 6a 내지 6g는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판을 형성하는 방법을 도시한 단면도이다.6A to 6G are cross-sectional views illustrating a method of forming a color filter substrate for a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.
먼저, 도 6a에 도시한 바와 같이, 기판(310) 상에 광차단성 물질 예를들면 블랙수지 또는 크롬산화물 중에 선택되는 하나를 도포하고, 마스크 공정을 진행하여 패터닝(patterning)함으로써 제 1, 2, 3, 4 개구부(325a, 325b, 325c, 325d)를 갖는 블랙매트릭스(320)를 형성한다. 상기, 제 1, 2, 3, 4 개구부(325a, 325b, 325c, 325d)는 적, 녹, 청, 흰색 서브 화소 각각에 대응되도록 형성하며, 이때, 상기 블랙 매트릭스(320)는 액정표시장치를 구성 시 상기 블랙매트릭스(320)를 포함하는 컬러필터 기판에 대응하여 합착되는 어레이 기판 상의 게이트 및 데이터 배선 등과 같은 액정표시장치 내의 금속 패턴에 대응되도록 형성된다. First, as shown in FIG. 6A, a light blocking material such as black resin or chromium oxide is coated on the
다음, 도 6b에 도시한 바와 같이, 상기 블랙매트릭스(320)가 형성된 기판(310) 전면에 감광성 물질인 적색의 포토레지스트(329)를 도포한다.
Next, as shown in FIG. 6B, a
다음, 도 6c에 도시한 바와 같이, 상기 적색 포토레지스트를 노광, 현상공정을 포함하는 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써, 제 1 개구부(325a)에 적색 컬러필터층(330a)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 6C, the red
다음, 도 6d에 도시한 바와 같이, 녹색의 포토레지스트를 도포하고 마스크 공정을 통해 패터닝하여, 제 2 개구부(325b)에 녹색 컬러필터층(330b)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 6D, a green photoresist is applied and patterned through a mask process to form a green
다음, 6e에 도시한 바와 같이, 청색의 포토레지스트를 도포하고 마스크 공정을 통해 패터닝하여, 제 3 개구부(325c)에 청색 컬러필터층(330c)을 형성한다. 청색 컬러필터층(330c) 또한 상기 적, 녹색 컬러필터층(330a, 330b)을 형성하는 공정과 동일한 공정으로 진행된다. Next, as shown in 6e, a blue photoresist is applied and patterned through a mask process to form a blue
다음으로, 6f에 도시한 바와 같이, 제 1 오버코트층(340)을 형성한다. 제 1 오버코트층(340)은 컬러필터층(330) 상에 형성되며, 제 4 개구부(325d)를 채우게 된다. 제 4 개구부(325d)에는 별도의 흰색 컬러필터층이 형성되지 않음으로써, 제 4 개구부(325d)에 형성된 제 1 오버코트층(340)은 컬러필터층(330) 상에 형성된 제 1 오버코트층(340)에 비해 기판(310) 면을 기준으로 낮은 높이를 가지게 된다. Next, as shown to 6f, the
다음으로, 도 6g에 도시한 바와 같이, 제 1 오버코트층(340) 상에 제 2 오버코트층(350)을 형성한다. 제 2 오버코트층(350)은, 제 1 평탄화증(340)의 요입된 부분, 즉 제 4 개구부(325d)에 대응되는 제 1 오버코트층(340)의 요입된 부분을 균일하게 채우게 됨으로써 액정표시장치용 기판을 평탄화하게 된다.Next, as shown in FIG. 6G, a
상기 제 1 실시예에서는 오버코트층의 표면을 평탄하게 형성하기 위해 2번의 오버코트층(340, 350)을 형성하게 되는데, 이때, 제 1 오버코트층(340) 위로 형성되는 제 2 오버코트층(350)의 두께가 충분히 두꺼워야 한다. 실험상으로는 12㎛이상의 두께로 형성 시, 2000?? 이내로 평탄한 면을 형성하게 된다. In the first embodiment, two
하지만, 오버코트층(340, 350)의 두께가 두꺼워지면 후속 공정 중 액정배향을 위한 러빙공정 진행 시 문제가 발생할 수 있다. 또한, 2번의 코팅을 진행하므로 제조 공정 시간이 증가하는 문제가 발생한다.However, when the thickness of the overcoat layers 340 and 350 becomes thick, a problem may occur during the rubbing process for liquid crystal alignment during the subsequent process. In addition, since the coating is performed twice, a problem occurs that the manufacturing process time increases.
상기 제 1 실시예의 문제를 해결하는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 방법에 대해 제 2 실시예로써 설명한다.
A method of manufacturing a color filter substrate for a liquid crystal display device that solves the problem of the first embodiment will be described as a second embodiment.
<제 2 실시예>≪ Embodiment 2 >
본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치는 흰색 서브 화소에 대해, 별도의 흰색 컬러필터층 형성하지 않고, 닥터 블레이드를 구비한 슬릿방식의 코팅 장치를 이용하여 한 번의 코팅 공정에 의해 하나의 오버코트층과 흰색 서브 화소를 동시에 제조할 수 있는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 방법을 제공하며, 이에 의해 공정수를 감소시킬 수 있게 된다. The liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention does not form a separate white color filter layer for a white sub pixel, but uses one overcoat by one coating process using a slit-type coating apparatus having a doctor blade. A method of manufacturing a color filter substrate for a liquid crystal display device capable of simultaneously manufacturing a layer and a white sub pixel is provided, thereby reducing the number of processes.
이하, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판을 형성하는 방법에 대해 도면을 참조하여 설명한다. Hereinafter, a method of forming a color filter substrate for a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 이용되는 슬릿 코팅 장치의 상기 슬릿과 닥터 블레이드(doctor blade) 및 스테이지의 단면을 도시한 것이다. Fig. 7 shows a cross section of the slit, doctor blade and stage of the slit coating apparatus used in the second embodiment of the present invention.
슬릿 코팅 장치는 기판(410)을 올려놓을 수 있는 스테이지(480) 위에 긴 축모양의 슬릿 바(470)가 위치하고 있으며, 상기 슬릿 바(470)에서 일정간격 이격하여 닥터 블레이드(doctor blade, 475)가 위치하고 있다. 상기 슬릿 바(470)는 그 자체가 노즐을 형성하여 상기 슬릿 바(470)로 공급되는 점도를 갖는 액상물질을 일정량 도포시키는 것이 특징이다. In the slit coating apparatus, a long shaft-shaped
상기 스테이지(480) 위에 놓여진 기판(410)으로부터 상부로 일정간격 이격한 위치에 상기 노즐인 슬릿 바(470)가 위치하고, 상기 슬릿 바(470)를 통해 액상물질을 일정량 도포하게 되며, 이때, 상기 스테이지(480)가 일정 속도로 이동하게 되어 기판(410)에 일정량의 액상물질이 도포된다. 이때, 상기 슬릿 바(470)에서 일정간격 이격하여 위치한 닥터 블레이드(475)가 상기 도포되는 어느 정도의 점도를 갖는 액상물질 예를들면 포토레지스트의 표면과 접촉하여 한쪽 방향으로 상기 포토레지스트를 밀어내며 일정한 두께를 갖는 포토레지스트층을 형성함과 동시에 상기 포토레지스트층 표면을 평탄화한다. The nozzle slit
도 8a 내지 8f는 전술한 슬릿 코팅 장치를 이용한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판을 형성하는 방법을 도시한 단면도이다. 8A to 8F are cross-sectional views illustrating a method of forming a color filter substrate for a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention using the aforementioned slit coating apparatus.
먼저, 도 8a에 도시한 바와 같이, 기판(410) 상에 광차단성 물질 예를들면 블랙수지 또는 크롬산화물을 도포 또는 증착하고 마스크 공정을 진행하여 패터닝(patterning)함으로써 기판(410) 상에 제 1, 2, 3, 4 개구부(425a, 425b, 425c, 425d)를 갖는 블랙매트릭스(420)를 형성한다. 제 1, 2, 3, 4 개구부(425a, 425b, 425c, 425d)는 적, 녹, 청, 흰색 서브 화소 각각에 대응되도록 형성한다. 이때, 상기 블랙 매트릭스(420)는 도시하지 않았지만, 컬러필터 기판과 합착되어 액정패널을 형성하는 어레이 기판 상의 게이트 및 데이터 배선 등과 같은 금속 패턴 에 대응되도록 형성된다. First, as shown in FIG. 8A, a first material on the
다음, 제 1 실시예에서 설명한 바와 동일한 공정을 진행하여, 도 8b 내지 8e에 도시한 바와 같이, 상기 블랙매트릭스(420)가 형성된 기판(410) 전면에 적(429), 녹(미도시), 청색(미도시)의 포토레지스트를 각각 도포하고, 노광, 현상의 마스크 공정을 진행하여, 상기 제 1, 2, 3 개구부(424a, 425b, 425c)에 적, 녹, 청색 컬러필터층(430a, 430b, 430c)을 순차적으로 형성한다. Next, the same process as described in the first embodiment is performed, and as shown in FIGS. 8B to 8E, red 429, rust (not shown), and the like are formed on the entire surface of the
다음, 8f와 8g에 도시한 바와 같이, 상기 적, 녹, 청색 컬러필터층(430a, 430b, 430c)이 형성된 기판(410) 위로 도 7에서 설명한 슬릿 코팅장치를 이용하여 오버코트층을 형성하는 물질인 무색의 아크릴(acryl) 또는 염료가 제거된 무색의 바인더 레지스트(binder resist) 등의 오버코트 수지를 상기 컬러필터층(430) 위로 도포하여 오버코트층(440)을 형성한다. 이때, 상기 슬릿 코팅 장치의 슬릿 바(470)를 통해 일정량의 오버코트 수지가 상기 기판(410) 위로 도포되며, 상기 슬릿 바(470) 후측에 위치한 닥터 블레이드(475)가 상기 도포된 오버코트 수지를 상기 기판(410) 이동방향의 반대방향으로 밀어내며 그 표면을 평탄하게 하며, 블랙 매트릭스(420) 사이의 적, 녹, 청색 컬러필터층(430a, 430b, 430c)이 형성되지 않은 상기 제 4 개구부(425d)에 상기 닥터 블레이드(475)를 통해 밀어내지는 오버코트 수지가 채워지게 됨으로써 흰색 컬러필터층(430d)을 형성한다. 상기 흰색 컬러필터층은 명칭을 흰색 컬러필터층이라 했지만, 실제는 투명한 무색이다. 이때, 상기 닥터 블레이드(475)가 밀어내는 오버코트 수지 량이 상기 4 개구부(425d)를 충분히 채울 수 있는 량이 되도록 슬릿 바(470)를 통해 도포되는 오버코트 수지 량을 적적히 조 절하는 것이 바람직하다. 통상적으로 스핀 코팅 장치(미도시)에 의해 형성되는 오버코트층의 두께는 대략 1.2㎛ 내지 2㎛가 되지만, 본 발명의 제 2 실시예에 의한 오버코트층은 블레이드와 기판과의 접촉 오차를 반영하여 2㎛ 내지 12㎛ 이내의 두께를 갖도록 하는 것이 바람직하다. 이때, 슬릿 바(470)를 통해 도포되는 오버코트 수지의 양은 상기 오버코트층(440) 하부의 적, 녹, 청색 컬러필터층(430a, 430b, 430c)이 상기 오버코트층(440)과 동일한 두께를 갖는다는 가정 하에서, 형성할 두께보다 최소한 25%이상의 두께를 형성할 수 있는 양을 도포하는 것이 바람직하다. 예들들어, 컬러필터층의 두께가 대략 2㎛이고, 상기 컬러필터층 위로 2㎛ 두께의 오버코트층을 형성하기 위해서는 최소한 2.5㎛의 두께를 형성할 수 있는 정도의 도포량이 되어야 한다. Next, as shown in 8f and 8g, the red, green, and blue
다음, 전술한 바와 같이, 블레이드(475)를 구비한 슬릿 코팅 장치에 의해 오버코트층(440)은 컬러필터층(430) 상에 형성되며, 제 4 개구부(425d)를 채우게 된다. 따라서, 흰색의 컬러필트층과 그 표면이 평탄하며, 두께 또한 두껍지 않은 오버코트층(440)을 동시에 형성할 수 있다. Next, as described above, the overcoat layer 440 is formed on the
전술한 바와 같은 공정을 진행하게 되면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판이 형성된다. When the above process is performed, the color filter substrate for the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention is formed.
전술한 바와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판은, 별도의 흰색 컬러필터층을 형성하지 않고, 한번의 오버코트 수지의 도포에 의해 흰색 서브 화소와 평탄한 면을 갖는 오버코트층을 동시에 형성할 수 있게 된다. 따라서, 흰색 컬러필터층을 형성하기 위한 마스크 공정을 삭제할 수 있고, 그에 따 른 재료비를 절감할 수 있다.
As described above, the color filter substrate for a liquid crystal display according to the second embodiment of the present invention does not form a separate white color filter layer, and has an overcoat having a white sub-pixel and a flat surface by applying one overcoat resin. The layers can be formed simultaneously. Therefore, the mask process for forming the white color filter layer can be eliminated, and thus the material cost can be reduced.
전술한 바와 같이, 본 발명은, 별도의 흰색 컬러필터층을 형성하지 않고, 닥터 블레이드를 구비한 슬릿 코팅 장치를 이용하여 한번의 도포공정을 통해 형성되는 오버코트층으로 흰색 컬러필터층을 구성함으로써, 흰색 컬러필터층을 형성하기 위한 마스크 공정수를 삭제 할 수 있고, 그에 따른 재료비를 절감할 수 있는 효과가 있다. As described above, the present invention, without forming a separate white color filter layer, by forming a white color filter layer with an overcoat layer formed through one application process using a slit coating apparatus provided with a doctor blade, a white color The number of mask processes for forming the filter layer can be eliminated, and thus the material cost can be reduced.
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