KR100988699B1 - 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 전기모터로부터 직접 전달되는 동력을 이용하여 작동되는 사판식 피스톤 유압 펌프조립체와 선형/양로드형 유압액츄에이터 등이 일체로 형성되는 모듈화된 유압 액츄에이터 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 의한 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템은, 유압을 형성하는 펌프조립체(120)와, 유체가 유동하는 다수의 유로가 형성되는 몸체(100); 상기 몸체(100)의 일측에 구비되어, 상기 펌프조립체(120)에 회전 동력을 제공하는 모터(200); 상기 몸체(100)의 일측에 구비되며, 상기 몸체(100)에 형성된 유로의 압력을 유지하는 축압기(210); 및 상기 몸체(100)의 일측에 구비되며, 상기 몸체(100) 내부를 통해 공급되는 유압에 의해 로드(320)의 이동이 이루어지도록 하는 엑츄에이터(300)를 포함하는 구성을 가지며; 상기 모터(200)와 축압기(210) 및 엑츄에이터(300)는 상기 몸체(100)의 각 부분에 일체로 형성된다. 이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의하면, 직동력·고응답의 유압 엑츄에이터 시스템이 가능해지는 효과가 있다.
유압, 엑츄에이터, 축압기, 유압펌프

Description

모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템 {A hydraulic actuator system}
본 발명은 유압 엑츄에이터 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전기모터로부터 직접 전달되는 동력을 이용하여 양방향으로 작동되는 사판식 유압 피스톤 펌프조립체와 선형/양로드형 유압액츄에이터 등이 일체로 형성되는 모듈화된 유압 액츄에이터 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 가동에너지(전기에너지)를 기계적인 변위 또는 응력으로 변환하는 트랜듀서를 액츄에이터라 부르며, 이러한 엑츄에이터는 공기압식, 유압식, 전기식 등으로 구분되기도 한다.
그리고, 유압식 엑츄에이터 장치는 고신뢰성, 큰 힘 및 빠른 속도능력이 요구되는 적용분야에 많이 사용되어져 왔다.
예를 들어, 오늘날 항공기 시스템에는 비행 조종면 작동에 전부 유압시스템을 적용하고 있으며, 굴삭기 등의 차량분야 등 일반 산업분야에서도 널리 적용되고 있다.
그러나, 이러한 유압액츄에터 장치에는 몇 가지 문제점이 있다.
즉, 중앙공급식 유압공급장치가 필요하다. 유압펌프 및 펌프를 구동하기 위한 펌프 드라이버시스템, 유체를 저장하는 저유기 또는 축압기, 각 작동이 필요한 곳에 별도로 설치된 유압구동기와 유압유 공급배관 등이 필요하다.
이러한 종래의 유압시스템은, 설치비용, 정비성 문제, 펌프의 에너지 로스, 파이프의 누설위험, 과도한 노이즈 발생, 큰 유압시스템으로 인한 중량 및 부피 문제가 있다. 즉, 서로 개별적으로 구비된 각 부품들을 서로 배관 등으로 연결하게 되므로, 이로 인한 유동 및 마찰 손실 등이 발생하게 되고, 응답속도의 감소 등 많은 문제점들이 존재한다.
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 전기의 힘으로 동력을 생산하는 모터가 펌프조립체에 일체로 형성되어 회전 동력을 전달하며, 축압기 및 엑츄에이터 등 각 부품이 일체로 결합되는 유압 엑츄에이터 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 위치센서가 내장되어 액츄에이터에 의해 변화되는 변위의 정확한 측정이 가능하도록 하여, 정확성이 향상된 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템을 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템은, 유압을 형성하는 펌프조립체와, 유체가 유동하는 다수의 유로가 형성되는 몸체; 상기 몸체의 일측에 구비되어, 상기 펌프조립체에 회전 동력을 제공하는 모터; 상기 몸체의 일측에 구비되며, 상기 몸체에 형성된 유로의 압력을 제어하는 축압기; 및 상기 몸체의 일측에 구비되며, 상기 몸체를 통해 공급되는 유압에 의해 로드의 이동이 이루어지도록 하는 엑츄에이터를 포함하는 구성을 가지며; 상기 모터와 축압기 및 엑츄에이터는 상기 몸체의 각 부분에 일체로 형성됨을 특징으로 한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스 템에 따르면, 종래와 같은 중앙공급식 유압공급장치가 불필요하다. 즉, 본 발명에 의하면, 전기 모터에 의해 직접적으로 펌프조립체에 동력을 제공하게 되므로, 종래의 중앙공급식 유압펌프를 구동하기 위한 변속(클러치)기어시스템의 제거가 가능하며, 또한 유압배관시스템의 누설문제가 근본적으로 해소 가능하다.
이와 같이, 본 발명에 의하면, 계속 작동되어야 하는 중앙공급식 시스템과 비교하여 전력소모가 최소화될 수 있어, 에너지 절감, 노이즈의 감소, 고효율 및 유지비용 절감에 효과가 있다.
그리고, 본 발명에 의하면, 독립적인 폐회로로 구성되어 중력의 영향을 전혀 받지 않는 시스템으로 이루어지며, 설치방향에 어떤 제한요소도 없다.
또한, 본 발명은 자체적으로 축압기를 일체로 포함하고 있어, 유로내의 케비테이션의 위험이 없으므로 시스템의 위험성이 해소된다. 즉, 본 발명은 외부의 유로 없이 몸체 내부에 최단거리로 유로가 형성되어 완전 밀폐형으로 이루어져 있으므로, 유체의 공급 및 복귀 유로가 최소로 형성되어 응답성이 향상되고, 케비테이션이 방지되는 장점이 있다.
뿐만 아니라, 본 발명에서는, 유압 액츄에이터가 선형/양로드형으로 이루어져 내부의 공간은 분할판을 중심으로 좌우로 서로 대칭되도록 형성된다. 즉, 분할판 좌우면이 서로 대칭적으로 설계되어 있으므로, 유체의 압력면이 동일하게 된다. 따라서, 액츄에이터의 제어 정밀성이 향상되는 이점이 있다.
이하 본 발명에 의한 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템의 구 성을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에는 본 발명에 의한 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템의 부분 정단면도가 도시되어 있으며, 도 2에는 도 1에 도시된 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템의 우측면도가 도시되어 있다. 그리고, 도 3에는 본 발명에 의한 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템의 회로구성도가 개략적으로 도시되어 있다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템은, 몸체(100)와, 모터(200) 그리고 축압기(210) 및 엑츄에이터(300) 등으로 구성된다.
보다 구체적으로는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 모터(200)와 축압기(210)는, 상기 몸체(100)와 좌우에 서로 마주보도록 설치되며, 상기 엑츄에이터(300)는 상기 몸체(100)의 하측에 형성된다. 그리고, 이러한 모터(200)와 축압기(210) 및 엑츄에이터(300)는 상기 몸체(100)의 각 부분에 일체로 형성되어 모듈화되어 있다.
또한, 상기 몸체(100)의 일측에는, 아래에서 설명할 제1토출/복귀유로(130) 및 제2토출/복귀유로(132)의 개폐를 제어하는 블럭밸브(110)가 더 구비된다. 즉, 상기 몸체(100)의 후면에는 후방으로 돌출된 블럭밸브(110)가 더 구비되며, 이러한 블럭밸브(110)는 솔레노이드 밸브로 이루어지고, 외관 구성은 도 2에 보다 상세히 도시되어 있다.
상기 몸체(100) 내부에는, 유압을 형성하는 펌프조립체(120)가 구비되는 한 편, 유체가 유동하는 다수의 유로가 형성된다.
상기 펌프조립체(120)는, 도시된 바와 같이 상기 몸체(100) 내부에 내장되며, 전기 모터(200)로부터 직접적으로 전달되는 동력을 이용하여 양방향으로 작동되는 사판식 유압 피스톤 펌프이다.
보가 구체적으로 살펴보면, 상기 펌프조립체(120)는, 상기 모터(200)로부터 전달되는 동력에 의해 회전하는 회전축(122)과, 상기 회전축(122)의 회전에 따라 회전하는 사판(124)과, 상기 사판(124)의 회전에 따라 유동하는 복수의 피스톤(126) 등으로 이루어진다.
상기 회전축(122)은 상기 모터(200)의 모터축과 연결되어 회전한다. 즉, 상기 모터(200)는 전기모터로 이루어지며, 이러한 모터(200)의 회전력은 모터축을 통해 외부로 전달되는데, 상기 회전축(122)은 상기 모터축과 직접적으로 연결되어 회전하게 된다.
상기 사판(124)은 도시된 바와 같이 소정 각도로 경사지게 형성되며, 이러한 사판(124)의 우측(도 1에서)으로 복수의 피스톤(126)이 연결된다.
상기 모터(200)는, 도시된 바와 같이 상기 몸체(100)의 좌측(도 1에서)에 일체로 고정 장착되어, 상기 펌프조립체(120)에 회전 동력을 제공하게 된다.
상기 몸체(100) 내부에는 유체가 유동 가능한 다수의 유로가 형성된다.
보다 구체적으로 살펴보면, 상기 펌프조립체(120)와 엑츄에이터(300) 사이에는 서로 유체가 유동하도록 안내하는 제1토출/복귀유로(130) 및 제2토출/복귀유로(132)가 각각 형성되고, 상기 제1토출/복귀유로(130)와 제2토출/복귀유로(132) 사이에는 릴리프유로(140)가 연결된다. 또한, 상기 축압기(210)와 제1토출/복귀유로(130) 및 제2토출/복귀유로(132)가 서로 연결되도록 하는 조절유로(142,144) 그리고, 상기 펌프조립체(120)와 축압기(210) 사이를 연결하는 펌프연결유로(146) 등이 형성된다.
상기 제1토출/복귀유로(130)는, 상기 엑츄에이터(300) 내부로 유압유가 공급되도록 안내하는 것으로, 이러한 제1토출/복귀유로(130)는 상기 펌프조립체(120)로부터 상기 블럭밸브(110)를 거쳐 상기 엑츄에이터(300)와 연결된다.(도 3 참조)
상기 제2토출/복귀유로(132)는, 상기 제1토출/복귀유로(130)와 대칭되는 기능을 하는 것이다. 즉, 상기 엑츄에이터(300)로부터 배출되는 유체를 안내하는 통로로, 상기 블럭밸브(110) 등을 거쳐 상기 펌프조립체(120)와 연통되도록 형성된다.
그리고, 상기 제1토출/복귀유로(130)와 제2토출/복귀유로(132)는, 상기 몸체(100) 내부에 서로 대칭적으로 형성되며, 최단거리를 가지도록 유로가 형성된다.
상기 릴리프유로(140)는 도시(도 3 참조)된 바와 같이, 상기 제1토출/복귀유로(130)와 제2토출/복귀유로(132) 사이를 가로지르도록 연결된다. 따라서, 이러한 릴리프유로(140)에 의해 상기 제1토출/복귀유로(130)와 제2토출/복귀유로(132)가 서로 연통되며, 여기에는 한 쌍의 릴리프밸브(150,152)가 설치된다.
상기 한 쌍의 릴리프밸브(150,152)는, 서로 대칭되도록 설치되어 상기 펌프조립체(120)의 과부하를 방지하는 기능을 한다. 보다 구체적으로 살펴보면, 상기 릴리프유로(140)에는 제1릴리프밸브(150)와 제2릴리프밸브(152)로 이루어진다.
상기 제1릴리프밸브(150)는 상기 제1토출/복귀유로(130)의 유압이 허용치보다 초과할 때에 제1토출/복귀유로(130)의 유압유를 상기 축압기(210)로 바이패스시킴으로써, 펌프에 과부하가 발생되는 것을 방지하게 된다.
그리고, 상기 제2릴리프밸브(152)는 상기 제2토출/복귀유로(132)의 유압이 허용치보다 초과할 때에 제2토출/복귀유로(132)의 유압유를 상기 축압기(210)로 바이패스시킴으로써, 펌프에 과부하가 발생되는 것을 방지하게 된다.
상기 릴리프유로(140)와 축압기(210) 사이에는 릴리프연결유로(160)가 더 구비되어, 상기 릴리프유로(140)를 통하여 유동하는 유체를 상기 축압기(210)로 안내하게 된다. 즉, 상기 제1토출/복귀유로(130)나 제2토출/복귀유로(132)의 유압이 허용치를 초과할 경우, 상기 릴리프밸브(150,152)를 통과하여 바이패스된 유체는 상기 릴리프연결유로(160)를 통해 상기 축압기(210)로 유입되고, 그런 다음, 상기 조절유로(142,144)를 통해 반대편 유로로도 유입된다.
상기 조절유로(142,144)는 도시된 바와 같이, 상기 축압기(210)와 제1토출/복귀유로(130) 사이를 연결하는 인출조절유로(142)와, 상기 축압기(210)와 제2토출/복귀유로(132) 사이를 연결하는 복귀조절유로(144)로 이루어진다.
그리고, 상기 인출조절유로(142)와 복귀조절유로(144)에는 체크밸브(C)가 서로 대칭되게 구비된다. 따라서, 상기 축압기(210)로부터 상기 제1토출/복귀유로(130)나 제2토출/복귀유로(132)로는 유체의 이동이 가능하나, 상기 제1토출/복귀유로(130)나 제2토출/복귀유로(132)로부터는 상기 축압기(210)로 유체가 이동되지 않게 된다.
상기 펌프연결유로(146)는 상기 펌프조립체(120)의 유체가 상기 축압기(210)로 유입되도록 안내하는 통로가 된다. 즉, 상기 펌프연결유로(146)에는 체크밸브(C)가 구비되고, 이러한 체크밸브(C)에 의해 상기 축압기(210)로부터 펌프조립체(120)로의 유체 이동은 차단되고, 상기 펌프조립체(120)로부터 드레인(drain) 유체가 상기 펌프연결유로(146)를 통해 상기 축압기(210)로 유입된다.
상기 축압기(210)는, 상기 몸체(100)에 형성된 유로의 압력을 유지 및 캐비테이션을 방지하는 기능을 한다. 즉, 상기 축압기(210)는 상기 펌프조립체(120)로부터 공급되는 유체를 저장하여 두고, 필요시 상기 제1토출/복귀유로(130)나 제2토출/복귀유로(132)로 유체를 제공하게 된다.
상기 엑츄에이터(300)는, 상기 몸체(100)의 하측에 구비되며, 상기 몸체(100)를 통해 공급되는 유압에 의해 로드(320)의 이동이 이루어지도록 하는 것이다.
보다 구체적으로 살펴보면, 외관을 형성하는 케이스(310)와, 상기 케이스(310)의 길이방향으로 유동하는 로드(320)와, 상기 케이스(310) 내부에 형성되는 공간을 좌우로 구획하는 분할판(322)과, 상기 로드(320)의 유동거리를 측정하는 변위센서(340) 등으로 이루어진다.
상기 케이스(310)의 내부에는 소정의 공간(330,332)이 형성된다. 즉, 케이스(310) 내부에는 유체가 충진되는 공간(330,332)이 형성되는데, 이는 도 1에 도시된 바와 같이, 좌측공간(330)과 우측공간(332)으로 구획된다.
보다 상세하게 살펴보면, 상기 로드(320)는 좌우(도 1에서)로 길게 형성되 어, 좌우로 길게 형성된 엑츄에이터(300)의 길이방향을 따라 엑츄에이터(300) 내부에 좌우 유동이 가능하도록 설치되며, 이러한 로드(320)의 우측단(도 1에서)은 상기 엑츄에이터(300)의 우측으로 돌출되어져 있다.
상기 분할판(322)은 원통 형상의 로드(320) 외측으로 돌출된 것으로, 로드(320)와 일체로 형성된다. 따라서, 이러한 분할판(322)의 좌우에는 도시된 바와 같이 좌측공간(330)과 우측공간(332)이 각각 형성되어, 유체가 충진되도록 한다.
그리고, 이러한 분할판(322)의 좌측면과 우측면(도 1에서)은 서로 대칭되는 형상으로 이루어지며 동일한 면적을 가지도록 형성된다. 따라서, 상기 엑츄에이터(300) 내부의 좌측공간(330)과 우측공간(332)의 유체가 상기 분할판(322)과 접하는 면적이 동일하므로, 엑츄에이터(300)이 제어가 보다 용이하게 된다.
또한, 상기 분할판(322) 좌우의 좌측공간(330)과 우측공간(332)은, 상기 제1토출/복귀유로(130) 와 제2토출/복귀유로(132)에 각각 연통된다. 따라서, 상기 제1토출/복귀유로(130)를 통해 상기 펌프조립체(120)의 유압유가 상기 좌측공간(330)으로 공급되면, 상기 우측공간(332)의 유체는 상기 제2토출/복귀유로(132)를 통해 상기 펌프조립체(120)로 복귀한다.
상기 변위센서(340)는, 상기 로드(320)의 내측에 설치되며, 상기 로드(320)의 유동거리(도 1에서는 좌우 이동거리)를 측정하여 제어부(도시되지 않음)로 전달하게 된다. 따라서, 제어부는 이러한 변위센서(340)의 측정값을 외부로 디스플레이하는 한편, 변위센서(340)의 측정값에 따라 타 부품의 자동 조작을 제어하게 된다.
이하 상기와 같은 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템의 작용을 도 3을 중심으로 살펴본다.
먼저 상기 모터(200)의 회전방향에 따라 상기 펌프조립체(120)에서의 유체 이동 통로가 변화된다. 즉, 예를 들어, 상기 모터(200)가 시계방향으로 회전하는 경우에 상기 펌프조립체(120)의 유체가 상기 제1토출/복귀유로(130)를 따라 상기 엑츄에이터(300)로 공급되면(실선 화살표 참조), 반대로 상기 모터(200)가 반시계방향으로 회전하게 경우에는 상기 펌프조립체(120)의 유체가 상기 제2토출/복귀유로(132)를 따라 상기 엑츄에이터(300)로 공급된다.(점선 화살표 참조)
이하에서는 상기 제1토출/복귀유로(130)를 통해 유체가 상기 엑츄에이터(300)로 공급되고, 상기 제2토출/복귀유로(132)를 통해 상기 펌프조립체(120)로 되돌아오는 경우를 먼저 예로 들어 설명한다.(실선 화살표 기준)
상기 펌프조립체(120)가 회전함에 따라 유체는 상기 제1토출/복귀유로(130)를 따라 상기 엑츄에이터(300)로 공급된다.
또한, 이 경우 상기 제1토출/복귀유로(130)를 따라 공급되는 유체의 압력이 허용치를 초과하는 경우에는 상기 제1릴리프밸브(150)가 개방되고, 상기 제1토출/복귀유로(130)를 유동하는 유체는 상기 릴리프유로(140)와 릴리프연결유로(160)를 차례로 통과하여 상기 축압기(210)로 유입되고, 축압기(210)로 유입된 유체는 다시 상대적으로 유압이 낮은 상기 제2토출/복귀유로(132)로 유입된다. 이와 같이 제1토출/복귀유로(130)의 유압유가 바이패스됨으로써 펌프조립체(120)의 과부하가 방지된다.
그리고, 상기 제1토출/복귀유로(130)를 통해 공급되는 유체는 상기 엑츄에이 터(300)의 좌측공간(330)으로 유입된다. 따라서, 상기 로드(320)는 이러한 고압의 유체 압력에 밀려 우측(도 1에서)으로 이동하게 된다.
이때 상기 변위센서(340)는 상기 로드(320)이 이동거리를 측정하여 외부로 디스플레이하는 한편, 제어부(도시되지 않음)로 전달하게 된다.
한편, 상기 로드(320)가 우측으로 이동함에 따라 상기 우측공간(332)에 충진되어 있던 유체는, 상기 제2토출/복귀유로(132)를 통해 상기 펌프조립체(120)로 되돌아오게 된다.(실선 화살표 참조)
다음으로, 상기 모터(200)가 반대방향으로 회전하는 경우에는 상기 펌프조립체(120)의 유압유가 상기 제2토출/복귀유로(132)를 통해 상기 엑츄에이터(300)의 우측공간(332)으로 공급되고, 따라서 상기 로드(320)가 좌측(도 1에서)으로 이동하여 복귀하게 된다.
물론, 이때에는 상기 좌측공간(330)의 유체는 상기 제1토출/복귀유로(130)를 통해 상기 펌프조립체(120)로 복귀하게 된다.
이러한 본 발명의 범위는 상기에서 예시한 실시예에 한정되지 않고, 상기와 같은 기술범위 안에서 당 업계의 통상의 기술자에게 있어서는 본 발명을 기초로 하는 다른 많은 변형이 가능할 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템의 바람직한 실시예의 구성을 보인 부분 정단면도.
도 2는 도 1에 도시된 본 발명 실시예의 우측면도.
도 3은 본 발명에 의한 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템의 바람직한 실시예의 회로구성도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100. 몸체 110. 블럭밸브
120. 펌프조립체 130. 제1토출/복귀유로
132. 제2토출/복귀유로 200. 모터
210. 축압기 300. 엑츄에이터
340. 변위센서

Claims (8)

  1. 유압을 형성하는 사판식 유압 피스톤 펌프조립체(120)와, 유체가 유동하는 다수의 유로가 형성되는 몸체(100);
    상기 몸체(100)의 일측에 구비되어, 상기 펌프조립체(120)에 회전 동력을 제공하는 모터(200);
    상기 몸체(100)의 일측에 구비되며, 상기 몸체(100)에 형성된 유로의 압력을 유지하는 축압기(210); 및
    상기 몸체(100)의 일측에 구비되며, 상기 몸체(100) 내부를 통해 공급되는 유압에 의해 로드(320)의 이동이 이루어지도록 하는 엑츄에이터(300)를 포함하는 구성을 가지며;
    상기 모터(200)와 축압기(210) 및 엑츄에이터(300)는 상기 몸체(100)의 각 부분에 일체로 형성되고;
    상기 몸체(100) 내부에 형성되는 유로는,
    상기 펌프조립체(120)와 엑츄에이터(300) 사이에 서로 유체가 유동하도록 안내하며, 상기 몸체(100) 내부에 대칭적으로 형성되는 제1토출/복귀유로(130) 및 제2토출/복귀유로(132)와;
    상기 제1토출/복귀유로(130)와 제2토출/복귀유로(132) 사이를 연결하며, 한 쌍의 릴리프밸브(150,152)가 설치되는 릴리프유로(140)와;
    상기 축압기(210)와 제1토출/복귀유로(130) 및 제2토출/복귀유로(132)가 서로 연결되도록 하는 조절유로(142,144)와;
    상기 펌프조립체(120)와 축압기(210) 사이를 연결하는 펌프연결유로(146);를 포함하는 것을 특징으로 하는 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 몸체(100)의 일측에는,
    상기 제1토출/복귀유로(130) 및 제2토출/복귀유로(132)의 개폐를 제어하는 블럭밸브(110)가 더 구비됨을 특징으로 하는 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 엑츄에이터(300)는,
    외관을 형성하며, 내부에는 유체가 충진되는 공간(330,332)이 형성되는 케이스(310)와;
    상기 케이스(310)의 일측으로 일부가 돌출되며, 케이스(310)의 길이방향으로 유동하는 로드(320)와;
    상기 로드(320)와 일체로 형성되며, 유체가 충진되는 공간(330,332)을 좌우로 구획하는 분할판(322)과;
    상기 로드(320)의 일측에 구비되어, 상기 로드(320)의 유동거리를 측정하는 변위센서(340)를 포함하는 구성을 가지며;
    상기 분할판(322)의 좌우면은, 서로 동일한 면적을 가지며 대칭적인 형상으로 이루어짐을 특징으로 하는 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 분할판(322) 좌우의 공간(330,332)은,
    상기 제1토출/복귀유로(130) 및 제2토출/복귀유로(132)와 각각 연통됨을 특징으로 하는 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 릴리프유로(140)에 구비되는 한 쌍의 릴리프밸브(150,152)는 서로 대칭되도록 설치되어, 상기 펌프조립체(120)의 과부하를 방지하며;
    상기 릴리프유로(140)와 축압기(210) 사이에는 릴리프연결유로(160)가 구비되어, 상기 릴리프유로(140)를 통하여 유동하는 유체를 상기 축압기(210)로 안내하는 것을 특징으로 하는 모듈화된 직동력 고응답 유압 엑츄에이터 시스템.
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