KR100968189B1 - Photomask inspection system of which gripper centering is achieved automatically - Google Patents

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    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

본 발명은 그립퍼의 자동 센터링이 가능한 엘씨디용 포토마스크 검사시스템에 관한 것으로, 몸체 상면에 케이스가 마련되고 케이스 내부에는 포토마스크가 수용되며 몸체 하면에는 4개의 캐스터가 마련되어 밀면서 이동 가능한 포토마스크 대차와, 하부에는 캐스터가 부착된 바닥지지프레임이 이동 가능하게 마련되며 상기 바닥지지프레임에는 수직방향으로 스크류축이 설치되고 상기 스크류축에는 스크류축의 회전에 의하여 승강하는 아암이 결합된 이재기와, 상기 이재기의 아암에 중심축에 의하여 결합되어 승강하며 상기 중심축이 상기 케이스에 적재된 포토마스크의 중심과 일치하고 핑거의 높이가 상기 포토마스크의 높이와 일치할 경우 포토마스크를 파지할 수 있는 그립퍼로 구성하되, 상기 이재기의 바닥지지프레임에는 상기 아암 방향으로 확장되어 상기 대차 몸체의 캐스터 사이로 진입될 수 있는 도킹프레임을 형성하고, 상기 대차 몸체 하부에는 상기 도킹프레임을 상기 그립퍼의 중심축이 측방향으로 상기 포토마스크의 측방향 중심과 일치하도록 안내하는 측면가이드롤러를 마련하며, 상기 이재기의 상기 바닥지지프레임에는 상기 도킹프레임 방향으로 돌출되어 상기도킹프레임의 대차 몸체 하부로의 진입 깊이를 조절할 수 있는 정지패드를 마련하고, 상기 대차 몸체의 도킹프레임진입측 하부에는 도킹프레임의 진입 도중 상기 정지패드와의 접촉시 진행을 막는 정지판을 마련하며, 상기 그립퍼의 중심축 하단에는 그립퍼의 핑거가 포토마스크의 높이와 일치할 때 상기 스크류축 회전 정지신호를 출력하는 근접센서를 구비함을 특징으로 한다.The present invention relates to an LCD photomask inspection system capable of automatic centering of the gripper, the case is provided on the upper surface of the body, the photomask is accommodated inside the case and four casters are provided on the lower surface of the body and the movable photomask bogie, A bottom support frame having a caster attached to the lower portion of the lower support frame is movable, the bottom support frame is provided with a screw shaft in a vertical direction, and the screw shaft is coupled with a lifting arm coupled with a lifting and lowering arm by rotation of the screw shaft. It is coupled by a central axis in the ascension and the center axis and the center of the photomask loaded on the case and if the height of the finger coincides with the height of the photomask consists of a gripper for holding the photomask, Bottom support frame of the transfer machine in the arm direction A side guide which extends to form a docking frame which can be entered between the casters of the bogie body, and guides the docking frame to the bottom of the bogie body such that the center axis of the gripper is laterally coincident with the lateral center of the photomask. A roller is provided, and the bottom support frame of the transfer machine protrudes in the direction of the docking frame to provide a stop pad that can adjust the depth of entry of the docking frame to the lower portion of the trolley body. In the docking frame is provided with a stop plate that prevents the progress of contact with the stop pad during the entry of the gripper, and outputs the screw shaft rotation stop signal when the gripper's finger coincides with the height of the photomask at the lower end of the center axis of the gripper It is characterized by having a proximity sensor.

그립퍼, 포토마스크, 센터링 Grippers, Photomasks, Centering

Description

그립퍼의 자동 센터링이 가능한 엘씨디용 포토마스크 검사시스템{PHOTOMASK INSPECTION SYSTEM OF WHICH GRIPPER CENTERING IS ACHIEVED AUTOMATICALLY}PHOTOMASK INSPECTION SYSTEM OF WHICH GRIPPER CENTERING IS ACHIEVED AUTOMATICALLY}

본 발명은 그립퍼의 자동 센터링이 가능한 엘씨디용 포토마스크 검사시스템에 관한 것으로, 더 상세하게는 엘씨디(LCD:Liquid Crystal Dispaly)의 제조 공정에서 케이스(case)에 장치된 엘씨디용 포토마스크(Photo Mask)(이하, 단순히 포토마스크라고 함)를 인출하여 공정 장비나 검사 장비에 장착할 때, 그립퍼에 의하여 포토마스크의 파지를 빠르고 용이하게 할 수 있도록 그립퍼와 포토마스크간에 센터링이 자동으로 이루어지는 엘씨디용 포토마스크 검사시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an LCD photomask inspection system capable of automatic centering of a gripper, and more particularly, to a photomask (LCD) installed in a case in a manufacturing process of an LCD (Liquid Crystal Dispaly). (Hereinafter simply referred to as photomask) When drawing out and attaching to process equipment or inspection equipment, the photomask for LCD is automatically centered between the gripper and the photomask so that the gripper can quickly and easily hold the photomask. It is about an inspection system.

종래, 6세대 이하의 소형 엘씨디 제조 공정에서, 1인 또는 2인의 작업자가 지그(jig)를 사용하여 케이스에 장치된 포토마스크를 안전하게 인출하거나 수납할 수 있었다. 그러나, 엘씨디가 7세대 및 8세대에 이르면서, 그 크기가 1220mm×1400mm 이상의 크기로 커지고, 그 무게도 80Kg 이상에 이르러, 이전처럼 1인의 작업자가 지그를 이용하여 포토마스크를 인출하거나 수납하는 것은 불가능해 졌다. 따라서 현재 이들 대형 포토마스크는 2인 1조의 작업자가 지그를 이용하여 케이스로 부터 인출하거나 케이스에 수납하고 있다. 그러나, 포토마스크 가장자리와 케이스의 내벽간의 거리가 매우 좁아(통상 39mm 내외), 이러한 2인 1조의 작업 방식으로 포토마스크를 인출하거나 수납할 경우에도 2인이 정확히 타이밍과 균형을 유지하지 않으면 포토마스크가 지그로 부터 이탈하여 바닥에 떨어지기 쉽고, 포토마스크가 기울어져 케이스 등에 접촉함으로써 포토마스크에 스크래치가 발생하기 쉽다. 즉, 대형 포토마스크는 2인 1조의 작업으로도 용이하고 안전하게 케이스로 부터 인출하거나 케이스에 수납할 수 없는 것이다. 뿐만 아니라, 포토마스크의 대형화로 제조 공정에서 포토마스크의 이면을 검사하기 위하여 포토마스크를 뒤집는 것이 매우 어려운 작업이 되어 버렸다. 2인 1조의 작업자라도 크기와 무게가 증가된 포토마스크를 뒤집는 것은 매우 어려운 일일 뿐만 아니라, 지그로 부터 포토마스크가 이탈하기 쉽고, 뒤집는 과정에서 인접한 케이스 등 물체와 접촉하여 포토마스크에 스크래치가 발생하기 쉽기 때문이다.Conventionally, in 6 or less generations of small CD manufacturing process, one or two workers can safely take out or store a photomask installed in a case using a jig. However, as LCDs reached 7th and 8th generations, their size increased to 1220mm x 1400mm or more, and their weight reached 80kg or more, so that a single worker can draw or store a photomask using a jig as before. It became impossible. Therefore, these large photomasks are currently being drawn from the case or stored in the case by a pair of workers using a jig. However, the distance between the edge of the photomask and the inner wall of the case is very narrow (typically around 39mm), so even when the photomask is taken out or stored in a pair of two people, the photomask may not be accurately balanced with the timing. It is easy to detach from the jig and fall on the floor, and the photomask is inclined to contact the case or the like so that scratches are easily generated on the photomask. That is, a large photomask can not be easily and safely withdrawn from the case or stored in the case even in a pair of two people. In addition, oversizing of photomasks has become a very difficult task for inspecting the backside of photomasks in the manufacturing process due to the enlargement of photomasks. It is very difficult to turn over a photomask with increased size and weight even for a pair of workers, and it is easy to detach the photomask from the jig, and scratches occur on the photomask in contact with an object such as an adjacent case during the flip. Because it is easy.

이처럼 포토마스크의 사이즈 및 하중이 매우 큰 경우에도 안전하게 포토마스크를 케이스 내에서 들어 올려 공정 장비에 장착하거나, 공정을 마친 포토마스크를 안전하게 케이스 내부에 적재할 수 있는 엘씨디용 포토마스크 그립퍼 및 이재기가 한국 등록특허 제10-824028호 및 제10-077437호에 개시되어 있다. 위 제10-824028호 특허에 개시된 그립퍼는 위 제10-077437호 특허에 개시된 이재기에 부착하여 사용하도록 구성되어 있다. Even when the size and load of the photomask is very large, a photomask gripper and a transfer device for an LCD that can safely lift the photomask in the case and mount it on the process equipment, or safely load the finished photomask inside the case 10-1024028 and 10-077437. The gripper disclosed in the above Patent No. 10-824028 is configured to be used by attaching to the transfer device disclosed in the Patent No. 10-077437.

그러나, 위 제10-824028호 및 제10-077437호 특허에 개시된 그립퍼 및 이재기는 다음과 같은 단점이 있어, 실용화되기 어렵다. However, the gripper and the transfer device disclosed in the above patents 10-824028 and 10-077437 have the following disadvantages, it is difficult to be practical.

우선, 제10-824028호 특허에 따른 그립퍼는 핑거가 포토마스크를 파지하기 위하여, 그립퍼와 포토마스크의 중심을 정확히 일치시키고, 핑거의 높이를 포토마스크의 높이와 정확히 일치시켜야 하는데, 이 그립퍼를 이용하는 위 제10-824028호에 개시된 이재기 및 포토마스크용 테이블에 의하여는 이러한 중심 맞추기(이하, 센터링(centering)이라고 함)가 매우 어렵다는 단점이 있다. 그것은 제10-824028호에 의한 이재기에 설치된 그립퍼에 의하여 센터링을 할 경우, 그립퍼와 포토마스크의 이재기 진행 방향 중심을 맞추기 위해서는 작업자가 이재기 손잡이를 잡고 이재기 전체를 이동시키면서 좌우 중심을 맞추어야 하고, 그립퍼와 포토마스크의 측방향(이재기 진행 방향과 평면적으로 직각 방향) 중심을 맞추기 위해서는 작업자가 이재기의 아암 핸들을 돌려 그립퍼의 측방향 중심이 포토마스크의 측방향 중심에 오도록 조절하여야 하기 때문이다. First, the gripper according to the Patent No. 10-824028 requires that the finger exactly grasp the center of the photomask and the height of the finger exactly matches the height of the photomask in order to hold the photomask. The above-described transfer machine and photomask table disclosed in No. 10-824028 has a disadvantage that such centering (hereinafter, referred to as centering) is very difficult. When centering by the gripper installed on the transfer machine according to No. 10-824028, in order to center the transfer direction of the gripper and the photomask, the operator must hold the transfer machine handle and move the whole transfer machine to center the left and right, and This is because the operator must turn the arm handle of the transfer machine so that the lateral center of the gripper is at the lateral center of the photomask in order to center the lateral direction (the plane perpendicular to the transfer direction of the transfer machine).

위 제10-824028호 및 제10-077437호 발명들에 따른 그립퍼 및 포토마스크는 이러한 이유로 현재까지 실용화되지 못하고 있다. 센터링 작업에 시간이 많이 소요되고 센터링 작업 자체도 어려울 경우, 포토마스크의 공정 진행을 지연시키고 생산성을 저하시키므로, 센터링 문제를 해결하지 못하면 위 제10-824028호 및 제10-077437호 발명들은 실용성이 없는 것이다. Grippers and photomasks according to the above 10-824028 and 10-077437 inventions for this reason has not been put to practical use to date. If the centering work takes a long time and the centering work itself is difficult, it delays the process of the photomask and lowers the productivity. Therefore, if the centering problem cannot be solved, the above-described inventions 10-824028 and 10-077437 are not practical. It is not there.

위 제10-824028호 및 제10-077437호 발명들은 이러한 그립퍼와 포토마스크간의 평면상에서의 중심 일치 방법이나 수단을 개시하고 있지 못할 뿐만 아니라, 케이스에 놓인 포토마스크를 파지하기 위하여 그립퍼를 하강시킬 때 그립퍼 핑거의 하강 높이를 포토마스크와 일치시키는 방법이나 수단도 개시하고 있지 않다. 위 제10-824028호 및 제10-077437호 발명들에 따르면, 그립퍼의 핑거를 포토마스크의 높이에서 멈추게 하기 위하여 육안으로 그립퍼 핑거의 하강 높이를 판단하여 포토마스크의 위치에서 그립퍼 핑거가 멈추도록 작업자가 유압모터의 정시시키는 방법을 사용하고 있으나, 이러한 방법에 의할 경우 그립퍼 핑거와 포토마스크의 높이를 한번 일치시키기 위하여 여러차례의 시행착오를 반복해야 하는 단점이 있다. 이것 역시 포토마스크의 공정 진행을 지연시키고 생산성을 저하시키는 원인이 되는 것이다. The inventions 10-824028 and 10-077437 above do not disclose a method or means of coinciding the center in the plane between the gripper and the photomask, but also when the gripper is lowered to hold the photomask placed in the case. Neither discloses a method nor means for matching the falling height of the gripper fingers with the photomask. According to the above 10-824028 and 10-077437 inventions, in order to stop the gripper finger at the height of the photomask to determine the falling height of the gripper finger with the naked eye to stop the gripper finger at the position of the photomask Although the method of timing the hydraulic motor is used, this method has a disadvantage of repeating several trials and errors in order to match the height of the gripper finger and the photomask once. This also causes a delay in the process of the photomask and lowers the productivity.

상술한 종래 엘씨디용 포토마스크 그립퍼 및 이재기가 갖는 단점을 해결하고자 안출된 본 발명은 그립퍼와 포토마스크의 이재기 진행 방향 중심 및 측방향 중심을 자동으로 일치시킬 수 있는 엘씨디용 포토마스크 검사시스템을 제공하는 데 있다.The present invention devised to solve the drawbacks of the conventional photomask gripper and transfer machine for the above-described LCD to provide a photomask inspection system for the LCD that can automatically match the center of the transfer direction and the lateral center of the gripper and photomask There is.

본 발명의 다른 목적은 케이스에 수납된 포토마스크의 높이와 그립퍼의 핑거의 높 이를 자동으로 일치시켜 그립퍼에 의하여 포토마스크를 신속하게 파지할 수 있는 엘씨디용 포토마스크 검사시스템을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a photomask inspection system for an LCD that can quickly hold the photomask by the gripper by automatically matching the height of the photomask accommodated in the case and the height of the finger of the gripper.

상술한 본 발명의 목적은 엘씨디용 포토마스크 검사시스템을, 몸체 상면에 케이스가 마련되고 케이스 내부에는 포토마스크가 수용되며 몸체 하면에는 4개의 캐스터가 마련되어 밀면서 이동 가능한 포토마스크 대차와, 하부에는 캐스터가 부착된 바닥지지프레임이 이동 가능하게 마련되며 상기 바닥지지프레임에는 수직방향으로 스크류축이 설치되고 상기 스크류축에는 스크류축의 회전에 의하여 승강하는 아암이 결합된 이재기와, 상기 이재기의 아암에 중심축에 의하여 결합되어 승강하며 상기 중심축이 상기 케이스에 적재된 포토마스크의 중심과 일치하고 핑거의 높이가 상기 포토마스크의 높이와 일치할 경우 포토마스크를 파지할 수 있는 그립퍼로 구성하되, 상기 이재기의 바닥지지프레임에는 상기 아암 방향으로 확장되어 상기 대차 몸체의 캐스터 사이로 진입될 수 있는 도킹프레임을 형성하고, 상기 대차 몸체 하부에는 상기 도킹프레임을 상기 그립퍼의 중심축이 측방향으로 상기 포토마스크의 측방향 중심과 일치하도록 안내하는 측면가이드롤러를 마련하며, 상기 이재기의 상기 바닥지지프레임에는 상기 도킹프레임 방향으로 돌출되어 상기도킹프레임의 대차 몸체 하부로의 진입 깊이를 조절할 수 있는 정지패드를 마련하고, 상기 대차 몸체의 도킹프레임진입측 하부에는 도킹프레임의 진입 도중 상기 정지패드와의 접촉시 진행을 막는 정지판을 마련하며, 상기 그립퍼의 중심축 하단에는 그립퍼의 핑거가 포 토마스크의 높이와 일치할 때 상기 스크류축 회전 정지신호를 출력하는 근접센서가 부착함으로써 달성할 수 있다.An object of the present invention described above is a photomask inspection system for the LCD, the case is provided on the upper body and the photomask is accommodated inside the case and four casters are provided on the lower surface of the body to move and push the photomask bogie and the lower caster An attached bottom support frame is provided to be movable and the bottom support frame is provided with a screw shaft in a vertical direction, and the screw shaft is coupled to a transfer arm coupled with a lifting and lowering arm by rotation of the screw shaft, and the arm of the transfer machine has a central axis. Composed by a lift and the center axis is coincident with the center of the photomask loaded on the case and if the height of the finger coincides with the height of the photomask comprises a gripper that can hold the photomask, the bottom of the transfer machine The support frame extends in the arm direction so that the bogie body Forming a docking frame that can enter between the stud, and the lower side of the bogie body is provided with a side guide roller for guiding the docking frame so that the center axis of the gripper in the lateral direction and the lateral center of the photomask, The bottom support frame of the transfer machine is provided with a stop pad protruding in the direction of the docking frame to adjust the depth of entry into the lower portion of the bogie body of the docking frame, the lower portion of the bogie body in the docking frame entrance side of the docking frame during the entry Providing a stop plate to prevent the progress of the contact with the stop pad, and the proximity sensor for outputting the screw shaft rotation stop signal when the gripper's finger coincides with the height of the photomask is attached to the lower end of the gripper central axis Can be achieved.

상술한 본 발명의 구성에 의하면, 이재기에 설치된 엘씨디용 포토마스크 그립퍼의 중심과 대차의 케이스에 적치된 포토마스크의 중심을 이재기 진행 방향과 측방향 (이재기 진행 방향과 평면적으로 직각 방향)에서 정확하고 신속하게 일치시킬 수 있고, 대차의 케이스에 수납된 포토마스크의 높이와 그립퍼의 핑거의 높이를 자동으로 일치시킬 수 있으므로, 포토마스크 검사 공정을 신속하고 효율적으로 진행시킬 수 있는 효과가 있다.According to the configuration of the present invention described above, the center of the photomask gripper for the LCD mounted on the transfer machine and the center of the photomask placed on the case of the trolley are accurate in the transfer direction and in the lateral direction (direction perpendicular to the transfer direction in plane). It can be quickly matched, and the height of the photomask accommodated in the case of the trolley and the height of the finger of the gripper can be automatically matched, so that the photomask inspection process can be advanced quickly and efficiently.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 그립퍼의 자동 센터링이 가능한 엘씨디용 포토마스크 검사시스템의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the photomask inspection system for the LCD capable of automatic centering of the gripper according to the present invention.

도 1a는 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 검사시스템의 이재기를 부분 단면하여 도시한 정면도이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 이재기의 평면도이다.Figure 1a is a front view showing a cross-sectional view of the transfer device of the LCD photomask inspection system according to the present invention, Figure 1b is a plan view of the transfer device shown in Figure 1a.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 검사시스템은 그립퍼(37)를 매달 수 있는 아암(21a, 21b)를 수평 방향으로 길게 형성하고, 이 아 암(21a, 21b)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 수단으로, 볼너트(11)와, 상기 볼너트(11)에 나사체결되는 스크류축(9)과, 상기 스크류축(9)을 회전시키기 위한 유압모터(7)를 구비한다. 상기 유압모터(7)에는 풀리(31)가 연결되고, 상기 스크류축(9) 하단에도 풀리(29)가 연결되며, 이들 풀리(31, 29)에는 벨트(33)가 체결된다. 따라서, 상기 유압모터(7)가 회전하면, 상기 스크류축(9)가 회전하고, 유압모터(7)의 회전 방향을 바꾸면, 상기 스크류축(9)의 회전 방향도 바뀌게 된다. 상기 볼너트(11)에는 가동블록(13)이 결합되고, 상기 가동블록(13)에는 아암(21a, 21b)이 결합되어 함께 이동한다. 도 1b에 도시된 바와 같이 상기 스크류축(9)은 측방향으로 넓게 확장된 ∩ 형 아암지지프레임(5)의 중심부에 설치되며, 상기 가동블록(13)은 상기 아암지지프레임(5) 내부에서 상기 볼너트(11)와 함께 승강한다. 상기 아암(21a, 21b)은 1쌍의 막대 형상을 가지며, 상기 가동블록(13)으로 부터 돌출되게 부착된다. 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 1쌍의 아암(21a, 21b)에는 아암(21a, 21b)를 가로 질러 그립퍼 회전축(25)이 회전 가능하게 설치되고, 상기 회전축(25)을 회전시킬 수 있는 감속모터(23)가 설치된다. 또한, 상기 회전축(25)의 중심부(25)에는 도 3a 및 도 3b에 도시된 그립퍼(37)의 중심축(43)이 연결된다.1A and 1B, the photomask inspection system for an LCD according to the present invention forms arms 21a and 21b that can hold the gripper 37 in a horizontal direction, and the arms 21a and 21b. Is a moving means capable of moving in the up and down direction, a ball nut 11, a screw shaft 9 screwed into the ball nut 11, and a hydraulic motor 7 for rotating the screw shaft 9 ). A pulley 31 is connected to the hydraulic motor 7, a pulley 29 is also connected to a lower end of the screw shaft 9, and a belt 33 is fastened to these pulleys 31 and 29. Therefore, when the hydraulic motor 7 rotates, the screw shaft 9 rotates, and when the rotation direction of the hydraulic motor 7 is changed, the rotation direction of the screw shaft 9 also changes. A movable block 13 is coupled to the ball nut 11, and arms 21a and 21b are coupled to the movable block 13 to move together. As shown in FIG. 1B, the screw shaft 9 is installed at the center of the lateral arm-shaped arm support frame 5 which extends in the lateral direction, and the movable block 13 is disposed inside the arm support frame 5. The ball nut 11 is raised and lowered together. The arms 21a and 21b have a pair of rod-shaped shapes, and are attached to protrude from the movable block 13. As shown in FIG. 3C, the pair of arms 21a and 21b are rotatably provided with a gripper rotation shaft 25 across the arms 21a and 21b and capable of rotating the rotation shaft 25. The reduction motor 23 is installed. In addition, a central axis 43 of the gripper 37 illustrated in FIGS. 3A and 3B is connected to the central portion 25 of the rotation shaft 25.

상기 아암지지프레임(5) 및 스크류축(9)은 바닥지지프레임(3)에 의하여 지지된다. 상기 바닥지지프레임(3)은 전면에 수직판을 갖는 박스 형상으로 형성된다. 상기 바닥지지프레임(3)의 하부에는 캐스터(1b)가 부착되어 이동가능하다. 상기 바닥지지프레임(3)에는 풋스톱퍼(35)를 구비하여 바닥에 이재기를 이동할 수 없게 일시 고 정하는 데 사용한다. 또한, 상기 아암지지프레임(5)에는 작업자가 이재기를 밀면서 이동시킬 수 있게 핸들(6)을 더 구비할 수도 있다. The arm support frame 5 and the screw shaft 9 are supported by the bottom support frame 3. The bottom support frame (3) is formed in a box shape having a vertical plate on the front. The lower portion of the bottom support frame 3 is attached to the caster (1b) is movable. The bottom support frame (3) is provided with a foot stopper (35) is used to temporarily fix the transfer machine to the floor. In addition, the arm support frame (5) may be further provided with a handle (6) so that the operator can move while pushing.

상기 이재기의 바닥지지프레임(3)에는 상기 아암(21a, 21b) 방향으로 확장되어 상기 대차 몸체(57)의 캐스터(65b) 사이로 진입될 수 있는 도킹프레임(15a, 15b)을 형성하다. 상기 도킹프레임(15a, 15b)에도 캐스터(1a)를 부착하고 캐스터(1a)가 지면에 닿게 함으로써 아암지지프레임(5) 및 그립퍼(37)에 대한 지지 기능도 수행하게 한다. The bottom support frame 3 of the transfer machine forms docking frames 15a and 15b which extend in the direction of the arms 21a and 21b to enter between the casters 65b of the bogie body 57. The casters 1a are also attached to the docking frames 15a and 15b, and the casters 1a are brought into contact with the ground to support the arm supporting frame 5 and the gripper 37.

상기 이재기의 바닥지지프레임(3)에는 상기 도킹프레임(15a, 15b) 방향으로 돌출된 정지패드(27)를 마련한다. 상기 정지패드(27)는 고무, 우레타, 실리콘 등의 충격완충소재로 성형하는 것이 바람직하다. 상기 정지패드(27)는 바닥지지프레임(3)의 전면판에 돌출길이를 조절할 수 있게 부착한다. 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 상기 정지패드(27)의 돌출 길이는 볼트(28) 및 너트(30)에 의하여 조절할 수 있게 한다. The bottom support frame 3 of the transfer machine is provided with a stop pad 27 protruding toward the docking frames 15a and 15b. The stop pad 27 is preferably molded from an impact buffer material such as rubber, urethane, or silicone. The stop pad 27 is attached to the front plate of the bottom support frame 3 to adjust the protruding length. As shown in FIGS. 1A and 1B, the protruding length of the stop pad 27 is adjustable by the bolt 28 and the nut 30.

도 2a는 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 검사시스템의 포토마스크 대차를 부분 단면하여 도시한 정면도이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 포토마스크 대차에 대한 측면도이며, 도 2c는 도 2a에 도시된 포토마스크 대차에 대한 평면도이다.FIG. 2A is a front view partially showing a photomask bogie of an LCD photomask inspection system according to the present invention, FIG. 2B is a side view of the photomask bogie shown in FIG. 2A, and FIG. 2C is shown in FIG. 2A Top view of a photomask bogie.

2a 내지 도 2c를 참조하면, 본 발명에 따른 포토마스크 대차(55)는 몸체(57) 상면에 케이스(61)가 마련되고 케이스(61) 내부에는 포토마스크(41)가 수용되며, 몸체(57) 하면에는 4개의 캐스터(65a, 65b)가 마련되어 밀면서 이동 가능하도록 구성된다. 상기 포토마스크 대차(55)의 4개의 캐스터(65a, 65b)는 상기 이재기의 도킹프레임(15a, 15b)이 캐스터(65a, 65b) 사이로 진입할 수 있도록, 캐스터 홀더(77) 높이를 충분히 크게 한다. 또한, 상기 캐스터(65a, 65b) 중 일부(도면에서는 65a)에는 풋스토퍼(67)를 구비한다. 2A to 2C, the photomask trolley 55 according to the present invention has a case 61 provided on an upper surface of the body 57, a photomask 41 is accommodated inside the case 61, and a body 57. Four casters (65a, 65b) is provided on the lower surface is configured to be movable while pushing. The four casters 65a, 65b of the photomask trolley 55 make the caster holder 77 large enough to allow the docking frames 15a, 15b of the transfer machine to enter between the casters 65a, 65b. . A part of the casters 65a and 65b (65a in the drawing) is provided with a foot stopper 67.

본 발명의 특징 중 하나는 상기 이재기의 바닥지지프레임(3)에 상기 아암(21a, 21b) 방향으로 확장되어 상기 대차 몸체(57)의 캐스터(65b) 사이로 진입될 수 있는 도킹프레임(15a, 15b)을 형성함과 동시에, 상기 대차 몸체(57) 하부에는 상기 도킹프레임(15a, 15b)을 상기 그립퍼의 중심축(43)이 측방향으로 상기 포토마스크(41)의 측방향 중심과 일치하도록 안내하는 측면가이드롤러(75)를 구비한 데 있다. 이를 위하여 상기 측면가이드롤러(75)의 측방향 폭은 상기 도킹프레임(15a, 15b)의 측방향 외측폭과 일치시키고, 상기 그립퍼 회전축(25)은 상기 도킹프레임(15a, 15b)의 측방향 중심에 오도록 설치한다. 뿐만 아니라, 상기 케이스(61)의 측방향 중심도 상기 측면가이드롤러(75)들의 측방향 이격 중심과 일치하도록 배치한다. 이렇게 함으로써, 케이스(61) 내부에 포토마스크(41)가 그 측방향 중심이 케이스의 측방향 중심과 일치하도록 최초에 적치된다면, 상기 이재기의 도킹프레임(15a, 15b)을 상기 포토프레임 대차(55)의 측면가이드롤러(75)들 사이로 진입시키는 것만 으로, 그립퍼의 중심축(43)과 포토마스크(41)의 측방향 중심에 일치하게 된다. One of the features of the present invention is a docking frame (15a, 15b) that can be extended between the casters (65b) of the bogie body 57 extends in the direction of the arms (21a, 21b) to the bottom support frame (3) of the transfer machine At the same time, guide the docking frame (15a, 15b) in the lower portion of the bogie body 57 so that the center axis 43 of the gripper laterally coincide with the lateral center of the photomask 41 The side guide roller 75 is to be provided. To this end, the lateral width of the side guide roller 75 is equal to the lateral outer width of the docking frame (15a, 15b), the gripper rotation axis 25 is the lateral center of the docking frame (15a, 15b) Install it to In addition, the lateral center of the case 61 is disposed to coincide with the lateral separation center of the side guide rollers 75. By doing so, if the photomask 41 is initially placed in the case 61 so that the lateral center thereof coincides with the lateral center of the case, the docking frames 15a and 15b of the transfer machine are placed on the photoframe bogie 55 By only entering between the side guide rollers (75) of the), the center of the gripper 43 and the lateral center of the photomask 41 to coincide.

본 발명의 다른 특징은 상기 이재기의 상기 바닥지지프레임(3)에 상기 도킹프레임(15a, 15b) 방향으로 돌출된 정지패드(27)를 마련함과 동시에, 상기 대차 몸체(57)의 도킹프레임진입측 하부에도 도킹프레임(15a, 15b)의 진입 도중 상기 정지패드(27)와 접촉하여 더이상의 진행을 막는 정지판(79)을 마련하여, 상기 도킹프레임(15a, 15b)이 대차 몸체(57) 하부로 진입 깊이를 미리 설정할 수 있도록 한 데 있다. 이 때 도킹프레임(15a, 15b)의 대차 몸체(57)로의 진입 깊이는 상기 정지패드(27)의 돌출길이로 조절한다. 상기 정지패드(27)의 돌출길이를, 도킹프레임(15a, 15b)이 대차 몸체(57) 하부에 완전히 진입하여 정지될 때, 이재기의 그립퍼 회전축이 케이스(61)에 적치되는 포토마스크(41)의 도킹프레임 방향 중심에 오도록 조절하면, 작업자는 도킹프레임(15a, 15b)을 대차 몸체(57) 하부에 정지될 때까지 진입시키는 것만으로도 그립퍼 중심축(43)과 포토마스크(41)의 도킹프레임 방향 중심을 일치시킬 수 있게 된다. Another feature of the present invention is to provide a stop pad 27 protruding in the direction of the docking frame (15a, 15b) to the bottom support frame (3) of the transfer machine, the docking frame entry side of the bogie body (57) In the lower part of the docking frame (15a, 15b) is provided with a stop plate (79) that contacts the stop pad (27) to prevent further progression during entry of the docking frame (15a, 15b), the docking frame (15a, 15b) is lower than the bogie body (57) The depth of entry can be set in advance. At this time, the depth of entry of the docking frame (15a, 15b) to the trolley body (57) is adjusted by the protruding length of the stop pad (27). When the docking frames 15a and 15b completely enter the lower portion of the trolley body 57 and stop the protruding length of the stop pad 27, the photomask 41 in which the gripper rotation shaft of the transfer machine is placed on the case 61. When adjusted to the center of the docking frame direction of the operator, the docking of the gripper central axis 43 and the photomask 41 only by entering the docking frame (15a, 15b) until it stops below the bogie body 57 It is possible to match the center of the frame direction.

도 3a는 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 검사시스템의 그립퍼에 대한 평면도이고, 도 3b는 도 3a에 도시된 그립퍼의 정면도이며, 도 3c는 도 3a에 도시된 그립퍼를 도 1a 및 도 1b에 도시된 이재기에 조립한 상태를 보여주는 평면도이다.Figure 3a is a plan view of the gripper of the photomask inspection system for the LCD according to the present invention, Figure 3b is a front view of the gripper shown in Figure 3a, Figure 3c shows the gripper shown in Figure 3a in Figures 1a and 1b It is the top view which shows the state assembled to the transfer machine.

도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 그립퍼(37)는 중심부에 중심축(27)이 마 련되고, 지지판 하면에는 레일역할을 하는 가이드(49) 4개가 서로 직각을 이루면서 상기 중심축(43) 방향의 진행방향을 갖도록 마련된다. 상기 4개의 가이드(49)에는 각각 가동판이 슬라이드 가능하게 결합되고, 각 가동판에는 포토마스크(41)를 파지할 수 있는 핑거(39)가 형성되어 각 가동판이 동시에 그립퍼 중심축(43) 방향으로 진행하면 상기 핑거(39)로 포토마스크(41)의 측면을 파지할 수 있다. 상기 중심축(43) 하단에는 2개의 날개(51)가 회전가능하게 설치되고, 각 날개(51)에는 서로 직각 방향으로 날개(51)의 일측을 끌어당기거나 밀수 있는 에어 실린더(47)가 설치되는데, 이때 상기 에어 실린더(47)의 축은 날개(51)에, 상기 에어 실린더(47)의 몸체는 지지판에 부착된다. 상기 2개의 날개(51) 선단에는 상기 가동판과 상기 날개(51)를 연결하는 링크(53)가 힌지 결합된다. 도 3b에 도시된 바와 같이, 상술한 구조에 의하여 상기 에어실린더(47)가 신장한 후 수축할 때 상기 핑거(39)가 상기 가이드(49) 길이 방향으로 진행하면서 포토마스크(41)의 측면을 파지한다. As shown in FIGS. 3A and 3B, the gripper 37 has a central axis 27 formed at a central portion thereof, and four guides 49 serving as rails are formed at right angles to the lower surface of the support plate. 43) is provided to have a traveling direction of the direction. Movable plates are slidably coupled to the four guides 49, respectively, and each movable plate is provided with a finger 39 for gripping a photomask 41 so that each movable plate is simultaneously in the direction of the gripper central axis 43. As it proceeds, the side of the photomask 41 may be gripped by the finger 39. Two blades 51 are rotatably installed at the lower end of the central shaft 43, and air blades 47 are installed at each blade 51 to pull or push one side of the blade 51 in a direction perpendicular to each other. In this case, the shaft of the air cylinder 47 is attached to the wing 51, the body of the air cylinder 47 is attached to the support plate. Links 53 connecting the movable plate and the blade 51 are hinged to the tip of the two blades 51. As shown in FIG. 3B, when the air cylinder 47 is extended and contracted according to the above-described structure, the finger 39 moves in the longitudinal direction of the guide 49 to extend the side surface of the photomask 41. Gripping.

도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 그립퍼(47)의 중심축(43)은 이재기의 그립퍼 회전축(25) 중심부에 결합되며, 그립퍼 회전축(25)에는 그립퍼(37) 회전 수단으로 감속모터(23)가 부착된다. 상기 그립퍼 회전축(25)은 아암(21a, 21b)과 함께 승강하며, 상기 중심축(43)이 상기 케이스(61)에 적재된 포토마스크(41)의 중심과 일치하고, 핑거(39)의 높이가 상기 포토마스크(41)의 높이와 일치할 경우 상기 에어실린더(47)의 축을 수축시키는 것만으로도 포토마스크(41)를 파지할 수 있게 된다. As shown in Figure 3c, the center axis 43 of the gripper 47 is coupled to the center of the gripper rotary shaft 25 of the transfer machine, the reduction motor 23 to the gripper rotary shaft 25 by the gripper 37 rotation means Is attached. The gripper rotating shaft 25 is elevated together with the arms 21a and 21b, and the central shaft 43 coincides with the center of the photomask 41 loaded on the case 61, and the height of the finger 39 is increased. When the same as the height of the photomask 41, it is possible to grip the photomask 41 only by shrinking the axis of the air cylinder 47.

도 3b를 참조하면, 본 발명의 또 다른 특징은 상기 그립퍼(37)의 중심축(43) 하단에 그립퍼(37)의 핑거(39)가 포토마스크(41)의 높이와 일치할 때 상기 스크류축(9) 회전 정지신호를 출력하는 근접센서(45)를 부착한 데 있음을 알 수 있다. 상기 스크류축(9) 회전 정지는 상기 근접센서(45)의 출력에 의하여 상기 유압모터(7)를 정지시켜 달성한다. 상기 근접센서(45)의 감지 범위를 핑거(39) 높이와 포토마스크(41) 높이를 일치시킬 수 있는 높이로 미리 설정해 놓으면, 핑거(39)의 하강 높이를 언제나 그립퍼 핑거(39)가 포토마스크(41)를 파지할 수 있는 높이가 되게 할 수 있다. Referring to FIG. 3B, another feature of the present invention is that the screw shaft when the finger 39 of the gripper 37 coincides with the height of the photomask 41 at the bottom of the center axis 43 of the gripper 37. (9) It can be seen that the proximity sensor 45 for outputting the rotation stop signal is attached. The stop of rotation of the screw shaft 9 is achieved by stopping the hydraulic motor 7 by the output of the proximity sensor 45. When the detection range of the proximity sensor 45 is set in advance to a height that can match the height of the finger 39 and the height of the photomask 41, the falling height of the finger 39 is always the gripper finger 39. (41) can be made high enough to hold.

도 4a는 상술한 그립퍼(37)가 조립된 이재기를 포토마스크 대차에 도킹한 상태를 부분 단면하여 도시한 정면도이고, 도 4b는 도 4a에 도시된 도킹 상태에서 그립퍼를 하강하여 포코마스크를 파지하는 방법을 보여 주는 사용 상태도이다.4A is a front cross-sectional view partially showing a state in which the above-described gripper 37 is docked to the photomask trolley, and FIG. 4B is a gripper lowered in the docking state shown in FIG. 4A to grip the poco mask. A state diagram showing how to do it.

도 4a 및 도 4b를 참조하여 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 검사시스템을 사용하여 그립퍼(37)와 포토마스크(41)를 자동 센터링하는 방법을 설명하면 다음과 같다.4A and 4B, a method of automatically centering the gripper 37 and the photomask 41 using the photomask inspection system for an LCD according to the present invention will be described below.

도 4a에 도시된 바와 같이, 작업자는 이재기 핸들(6)을 잡고, 이재기를 포토마스크(41)가 적치된 대차 하부로 도킹프레임(15a, 15b)을 정지될 때까지 밀어 넣는다. 이 때 상기 대차의 풋스토퍼(67)는 정지상태로 놓는다. 그러면, 상기 그립퍼의 중 심축(43)과 포토마스크(41)의 측방향 중심 및 도킹프레임(15a, 15b) 방향 중심이 자동으로 일치된다.As shown in FIG. 4A, the worker grasps the transfer handle 6 and pushes the transfer into the lower portion of the trolley where the photomask 41 is placed until the docking frames 15a and 15b are stopped. At this time, the trolley foot stopper 67 is placed in a stopped state. Then, the center axis 43 of the gripper and the lateral center of the photomask 41 and the centers of the docking frames 15a and 15b are automatically coincident with each other.

이상태에서 도 4b에 도시된 바와 같이, 유압모터(7)를 돌려 그립퍼를 하강시키면, 핑거(39)가 포토마스크(41)와 높이가 일치하는 지점에서 상기 근접센서(45)가 유압모터(7) 정지신호를 콘트롤러(도면에 미도시)에 출력하고, 콘트롤러는 유압모터(7)를 정지시킨다. 상기 콘트롤러는 공지공용의 PLC 또는 마이콤 등을 사용하여 구현될 수 있는 일반적인 콘트롤러를 그대로 채용할 수 있으므로 도면 및 부연설명을 생략하였다. 핑거(39)와 포토마스크(41)의 높이가 일치된 상태에서 콘트롤러는 상기 그립퍼의 에어실린더(47)를 수축시켜 핑거(41)가 포토마스크(41) 방향으로 진행하게 한다. 이렇게 함으로써, 작업자에 의한 센터링이나 높이 조절 없이 신속하게 포토마스크(41)를 파지할 수 있게 되는 것이다. In this state, as shown in FIG. 4B, when the gripper is lowered by turning the hydraulic motor 7, the proximity sensor 45 is the hydraulic motor 7 at the point where the finger 39 coincides with the photomask 41. ) A stop signal is output to the controller (not shown), and the controller stops the hydraulic motor 7. Since the controller may employ a general controller that can be implemented using a publicly known PLC or a microcomputer, a detailed description thereof is omitted. In the state where the height of the finger 39 and the photomask 41 coincide, the controller contracts the air cylinder 47 of the gripper so that the finger 41 moves toward the photomask 41. By doing so, the photomask 41 can be gripped quickly without centering or height adjustment by the operator.

도 1a는 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 검사시스템의 이재기를 부분 단면하여 도시한 정면도이다.Figure 1a is a front view showing a partial cross-sectional view of the transfer machine of the photomask inspection system for the LCD according to the present invention.

도 1b는 도 1a에 도시된 이재기의 평면도이다.1B is a plan view of the transfer machine shown in FIG. 1A.

도 2a는 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 검사시스템의 포토마스크 대차를 부분 단면하여 도시한 정면도이다. Figure 2a is a front view showing a partial cross-sectional view of the photomask bogie of the photomask inspection system for the LCD according to the invention.

도 2b는 도 2a에 도시된 포토마스크 대차에 대한 측면도이다.FIG. 2B is a side view of the photomask bogie shown in FIG. 2A.

도 2c는 도 2a에 도시된 포토마스크 대차에 대한 평면도이다.FIG. 2C is a plan view of the photomask bogie shown in FIG. 2A.

도 3a는 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 검사시스템의 그립퍼에 대한 평면도이다. Figure 3a is a plan view of the gripper of the photomask inspection system for the LCD according to the present invention.

도 3b는 도 3a에 도시된 그립퍼의 정면도이다.FIG. 3B is an exact view of the gripper shown in FIG. 3A.

도 3c는 도 3a에 도시된 그립퍼를 도 1a 및 도 1b에 도시된 이재기에 조립한 상태를 보여주는 평면도이다.3C is a plan view illustrating a state in which the gripper illustrated in FIG. 3A is assembled to the transfer device illustrated in FIGS. 1A and 1B.

도 4a는 그립퍼가 조립된 이재기를 포토마스크 대차에 도킹한 상태를 부분 단면하여 도시한 정면도이다.4A is a front view partially showing a state in which a gripper is assembled with a transfer machine docked to a photomask trolley.

도 4b는 도 4a에 도시된 도킹 상태에서 그립퍼를 하강하여 포코마스크를 파지하는 방법을 보여 주는 사용 상태도이다.FIG. 4B is a use state diagram illustrating a method of gripping a poco mask by lowering a gripper in the docking state illustrated in FIG. 4A.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *               Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1a, 1b : 캐스터 3 : 바닥지지프레임1a, 1b: caster 3: floor support frame

5 : 아암지지프레임 7 : 유압모터5: Arm Support Frame 7: Hydraulic Motor

8 : 유압모터박스 9 : 스크류축8: hydraulic motor box 9: screw shaft

11 : 볼너트 13 : 가동블록11: Ball nut 13: Moving block

15a, 15b : 도킹프레임 17 : 레일15a, 15b: docking frame 17: rail

19 : 슬라이더 21a, 21b : 아암19: slider 21a, 21b: arm

23 : 감속모터 25 : 그립퍼 지지축23: reduction motor 25: gripper support shaft

27 : 정지패드 28 : 볼트27: stop pad 28: bolt

29 : 풀리 30 : 너트29: Pulley 30: Nut

31 : 풀리 33 : 벨트31: Pulley 33: Belt

35 : 풋스톱퍼 37 : 그립퍼35: foot stopper 37: gripper

39 : 핑거 41 : 포토마스크39: finger 41: photomask

43 : 그립퍼 중심축 45 : 근접 센서43: gripper center axis 45: proximity sensor

47 : 에어실린더 49 : 가이드47: air cylinder 49: guide

51 : 날개 53 : 링크51: Wing 53: Link

55 : 포토마스크 대차 57 : 대차몸체55: photomask balance 57: the body of the balance

59 : 핸들 61 : 케이스59: handle 61: case

63 : 서포터 65a, 65b : 캐스터63: supporter 65a, 65b: caster

67 : 풋스톱퍼 69 : 브라켓67: Foot Stopper 69: Bracket

71 : 상면가이드롤러 73 : 브라켓71: Top guide roller 73: Bracket

75 : 측면가이드롤러 77 : 캐스터홀더75: side guide roller 77: caster holder

79 : 정지판 79: stop plate

Claims (2)

몸체(57) 상면에는 케이스(61)가 마련되고 케이스(61) 내부에는 포토마스크(41)가 수용되며, 몸체(57) 하면에는 4개의 캐스터(65a, 65b)가 마련되어 밀면서 이동 가능한 포토마스크 대차(55); 하부에는 캐스터(1b)가 부착된 바닥지지프레임(3)이 이동 가능하게 마련되며, 상기 바닥지지프레임(3)에는 수직방향으로 스크류축(5)이 설치되고, 상기 스크류축(5)에는 스크류축(5)의 회전에 의하여 승강하는 아암(21a)이 결합된 이재기; 및 상기 이재기의 아암(21a)에 중심축(43)에 의하여 결합되어 승강하며, 상기 중심축(43)이 상기 케이스(61)에 적재된 포토마스크(41)의 중심과 일치하고, 핑거(39)의 높이가 상기 포토마스크(41)의 높이와 일치할 경우 포토마스크(41)를 파지할 수 있는 그립퍼(37);로 구성되되,A case 61 is provided on an upper surface of the body 57, a photomask 41 is accommodated inside the case 61, and four casters 65a and 65b are provided on a lower surface of the body 57 to move and move the photomask. 55; The bottom support frame (3) having a caster (1b) attached to the lower portion is provided to be movable, the bottom support frame (3) is provided with a screw shaft (5) in the vertical direction, the screw shaft (5) screw A transfer machine to which an arm 21a that is lifted and lowered by the rotation of the shaft 5 is coupled; And coupled to the arm 21a of the transfer machine by a central axis 43, the lift, the central axis 43 coincides with the center of the photomask 41 mounted on the case 61, the finger 39 When the height of the) coincides with the height of the photomask 41, the gripper 37 that can hold the photomask 41; 상기 이재기의 바닥지지프레임(3)에는 상기 아암(21a, 21b) 방향으로 확장되어 상기 대차 몸체(57)의 캐스터(65b) 사이로 진입될 수 있는 도킹프레임(15a, 15b)이 형성되고, 상기 대차 몸체(57) 하부에는 상기 도킹프레임(15a, 15b)을 상기 그립퍼의 중심축(43)이 측방향으로 상기 포토마스크(41)의 측방향 중심과 일치하도록 안내하는 측면가이드롤러(75)가 마련되며,The bottom support frame (3) of the transfer machine is formed with docking frames (15a, 15b) extending in the direction of the arms (21a, 21b) to enter between the casters (65b) of the bogie body 57, the bogie A side guide roller 75 is provided below the body 57 to guide the docking frames 15a and 15b so that the center axis 43 of the gripper is laterally aligned with the lateral center of the photomask 41. , 상기 이재기의 상기 바닥지지프레임(3)에는 상기 도킹프레임(15a, 15b) 방향으로 돌출되어 상기 도킹프레임(15a, 15b)의 대차 몸체(57) 하부로의 진입 깊이를 조절할 수 있는 정지패드(27)가 마련되고, 상기 대차 몸체(57)의 도킹프레임진입측 하부에는 도킹프레임(15a, 15b)의 진입 도중 상기 정지패드(27)와 접촉시 진행을 막 는 정지판(79)이 마련되며, The stop pad 27 protruding in the direction of the docking frames 15a and 15b to the bottom support frame 3 of the transfer machine to adjust the depth of entry of the docking frames 15a and 15b to the lower portion of the bogie body 57. ) Is provided, and a stop plate 79 is provided below the docking frame entrance side of the bogie body 57 to prevent progress when contacting the stop pad 27 during entry of the docking frames 15a and 15b. 상기 그립퍼(37)의 중심축(43) 하단에는 그립퍼(37)의 핑거(39)가 포토마스크(41)의 높이와 일치할 때 스크류축(9) 회전 정지신호를 출력하는 근접센서(45)가 부착된 것;을 특징으로 하는 그립퍼의 자동 센터링이 가능한 엘씨디용 포토마스크 검사시스템.Proximity sensor 45 outputs a stop signal for rotating the screw shaft 9 when the finger 39 of the gripper 37 coincides with the height of the photomask 41 at the lower end of the center axis 43 of the gripper 37. Photomask inspection system for the automatic centering of the gripper, characterized in that the attached. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 정지패드(27)는 그 돌출 길이를 볼트(28) 및 너트(30)에 의하여 조절할 수 있게 상기 바닥지지프레임(3)에 부착된 것을 특징으로 하는 그립퍼의 자동 센터링이 가능한 엘씨디용 포토마스크 검사시스템.The stop pad 27 is an LCD photomask inspection capable of automatic centering of the gripper, characterized in that attached to the bottom support frame 3 to adjust the protruding length by the bolt 28 and the nut 30 system.
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