KR100940494B1 - 스크라이빙 휠 및 이를 포함하는 스크라이빙 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스크라이빙 휠 및 이를 포함하는 스크라이빙 장치에 관한 것으로, 휠 디스크와 회전축이 일체로 형성된 스크라이빙 휠과, 스크라이빙 휠을 지지하는 스크라이버 홀더와, 상기 스크라이버 홀더에서 스크라이빙 휠과 대향되는 방향으로 돌출 형성된 다각형상을 갖는 삽입부와, 상기 삽입부와 대응되는 형상을 갖는 삽입홈이 형성되어 상기 삽입홈과 삽입부가 결합되는 절단부를 포함하는 스크라이빙 장치가 제공된다. 이에 따라서 초음파 진동자에서 발생된 활하중을 피절단재로 원활하게 전달할 수 있어 피절단재를 정밀하고 깨끗하게 절단할 수 있고, 스크라이버 홀더의 탈부착이 용이하고 이로부터 절단 효율 및 생산성을 향상시킬 수 있다.

스크라이버 홀더, 기판 절단, 스크라이빙 장치, 초음파, 진동, 스크라이빙 휠

Description

스크라이빙 휠 및 이를 포함하는 스크라이빙 장치{scribing wheel and scribing apparatus having the same}

도 1 은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치를 나타낸 개략도이다.

도 2는 본 발명에 따른 절단부를 나타낸 정면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 절단부를 나타낸 측단면도이다.

도 4는 본 발명에 따른 절단부를 나타낸 측단면 사시도이다.

도 5a 내지 도 5d는 본 발명에 따른 스크라이버 홀더와 혼의 결합을 나타낸 예시도이다.

도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 스크라이빙 휠과 스크라이버 홀더의 결합을 나타낸 예시도이다.

도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 스크라이빙 휠의 성형을 나타낸 개략도이다.

<도면 주요부분에 대한 부호의 설명>

W : 피절단재 110 : 스테이지

120 : 지지 유닛 130 : 혼

134 : 삽입홈 150 : 초음파 진동자

152 : 부스터 200 : 스크라이버 홀더

210 : 삽입부 250a, 250b : 반체

300, 300a : 스크라이빙 휠 320 : 회전축

본 발명은 스크라이빙 휠 및 이를 포함하는 스크라이빙 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스크라이빙 휠에 회전축을 일체로 형성하여 피절단재에 수직 크랙의 형성을 더욱 깊게 하고, 스크라이빙 휠의 교체를 용이하게 할 수 있는 스크라이빙 휠 및 이를 포함하는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.

일반적으로 스크라이빙 장치는, 유리판, 실리콘 기판, 알루미나 등의 세라믹 기판에 절단 예정선을 따라 연속된 홈(groove)을 형성시키는 장치를 말하며, 스크라이빙된 피절단재는 응력이나 충격이 가해지면 간단하게 절단된다. 종래 스크라이빙 장치는 다이아몬드 소재의 스크라이빙 휠이나 스크라이빙 팁을 피절단재의 표면에 접촉시키고 정하중(靜荷重)을 가하여 피절단재에 수직 크랙을 생성하고 이와 동시에 절단 예정선을 따라 스크라이빙 휠이 이동하여 연속된 홈을 형성하게 된다. 따라서 피절단재가 두꺼워질수록 수직 크랙의 깊이가 깊게 형성되도록 정하중을 증가시키게 되는데, 가압 정하중이 일정이상 증가하게 되면 측방향 크랙이 형성되어 절단면이 균일하지 못해 제품의 품질이 저하된다. 상기와 같은 문제점을 보완하고자 피절단재의 절단 예정선을 따라 수직 하중을 순간적으로 가하여 피절단재에 활하중(活荷重)을 가하는 초음파 진동을 이용한 초음파 스크라이빙 장치가 사용된다.

부연하자면, 초음파 스크라이빙 장치는 크게 피절단재가 위치하는 스테이지 와, 상기 스테이지 상에서 이동하는 지지 유닛과, 상기 지지 유닛에 설치된 혼과, 상기 혼의 하부에 설치된 스크라이빙 휠과, 상기 혼의 상부에 설치되어 스크라이빙 휠에 활하중을 전달하는 초음파 진동자로 구성된다. 상기 스크라이빙 휠은 혼에 고정되는 스크라이버 홀더에 설치되는 바, 상기 스크라이버 홀더는 스크라이빙 휠의 두께와 동일하거나 이보다 큰 폭을 갖는 슬롯이 형성되고 상기 슬롯에 스크라이빙 휠과 스크라이버 홀더를 관통하도록 샤프트가 설치된다. 그리고 상기 스크라이버 홀더는 혼의 하면에 고정되어 지지 유닛의 동작에 따라 스테이지 상에서 X,Y,Z축 방향으로 이동하여 스크라이빙 휠을 절단 예정선에 위치시키게 된다.

상기와 같이 스크라이빙 휠이 피절단재의 절단 예정선에 접하도록 위치되면 스테이지 상에 설치된 지지 유닛이 스크라이빙 휠을 절단 예정선을 따라 이동시킨다. 이와 함께 혼의 상부에 설치된 초음파 진동자가 작동하여 스크라이빙 휠에 활하중을 가해 피절단재에 수직 크랙을 형성하고, 피절단재에 응력이나 충격을 주어 피절단재를 절단하게 된다.

그러나, 상기와 같은 스크라이빙 장치는 초음파 진동자에서 발생되는 진동에 따라 스크라이빙 휠과 상기 스크라이빙 휠을 관통한 샤프트가 마찰하면서 스크라이빙 휠과 사프트 간에 틈새를 만들게 되고 이러한 틈새는 활하중의 전달을 방해하여 피절단재의 수직 크랙 형성을 어렵게 한다. 또한 절단 작업 중 샤프트가 부러지는 경우 절단 작업을 멈추고 부러진 샤프트 내지 스크라이버 홀더를 교체해야 하므로 그 결과 절단 효율 및 생산성이 저하된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 피절단재로 가해지는 활하중이 원활하게 전달될 수 있도록 하여 피절단재에 수직 크랙의 형성을 더욱 깊게 하고, 스크라이빙 휠의 교체를 용이하게 할 수 있는 스크라이빙 휠 및 이를 포함하는 스크라이빙 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한 스크라이빙 홀더가 혼에 삽입되어 체결될 때 스크라이빙 홀더의 수직 체결성을 향상시켜 피절단재의 측방향 스크래치를 감소시킬 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상으로는, 스크라이빙 휠을 지지하는 스크라이버 홀더와, 상기 스크라이버 홀더에서 스크라이빙 휠과 대향되는 방향으로 돌출 형성된 스크라이버 홀더의 삽입부와, 상기 삽입부와 대응되는 형상을 갖는 삽입홈이 형성되어 상기 삽입홈과 삽입부가 결합되는 절단부를 포함하는 스크라이빙 장치에 의해 달성된다.

여기서, 상기 돌출 형성된 스크라이버 홀더의 삽입부는 삽입홈에 삽입된 상태에서 혼을 관통하는 체결볼트에 의해 고정되는 것이 바람직하다.

또한 상기 스크라이버 홀더에는 타원형상을 갖는 삽입부가 형성되고, 상기 절단부에는 상기 삽입부와 대응되는 형상을 갖는 삽입홈이 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 절단부는 초음파 진동자와 부스터와 혼을 포함하고, 상기 혼의 하면에 스크라이버 홀더의 삽입부가 삽입 고정되는 삽입홈이 형성되는 것이 바람직하 다.

또한 상기 스크라이빙 휠은 디스크와 회전축이 일체로 형성되어 스크라이버 홀더에 회전 가능토촉 설치되는 것이 바람직하다.

그리고 상기 휠 디스크와 회전축은 동일한 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한 상기 휠 디스크와 회전축은 일체로 형성되는 것이 바람직하다.

한편 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 기술적 사상으로는, 휠 디스크와, 상기 휠 디스크와 일체로 형성된 회전축을 포함하는 스크라이빙 휠에 의해 달성된다.

여기서, 상기 휠 디스크와 회전축은 동일한 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한 상기 휠 디스크와 회전축은 일체로 성형되는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면에 따라 보다 상세히 설명한다. 하기의 설명에서 도면상의 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

도 1 은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치를 나타낸 개략도이며, 도 2는 본 발명에 따른 절단부를 나타낸 정면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 절단부를 나타낸 측단면도이며, 도 4는 본 발명에 따른 절단부를 나타낸 측단면 사시도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 스크라이빙 장치는 크게 피절단재(W)가 위치하는 스테이지(110)와, 상기 스테이지(110) 상에서 이동하는 지지 유닛(120)과, 상기 지지 유 닛(120)에 설치되어 피절단재에 활하중을 가하는 절단부(100)로 구성된다.

상기 스테이지(110)의 상면은 피절단재(W)가 위치하는 경우 그 평탄도가 유지되도록 평탄도가 조정된 상태이고, 수평 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 그리고, 상기 스테이지(110) 상에서 스테이지(110)의 이동방향과 교차하는 방향 및 수직 방향으로 이동하는 지지 유닛(120)은, 스테이지(110)의 이동방향과 교차하는 방향으로 이동하는 이동블록(122)과, 상기 이동블록(122)에 설치된 서버 모터(124)와, 상기 서버 모터(124)와 연결된 스크류 축(126)과, 상기 스크류 축(126)과 치합되어 스크류 축(126)을 따라 이동하는 브라켓(128) 및 상기 브라켓(128)에 마련된 혼 홀더(160)로 구성된다.

상기 지지 유닛(120)은 스테이지(100) 상에서 이동블록(122)이 스테이지(110)의 이동방향과 교차하는 방항으로 이동하고, 서버 모터(124)의 회전에 따라 브라켓(128)이 혼 홀더(160)와 일체로 스크류 축(126)을 따라 수직으로 이동하게 된다. 즉, 상기 스테이지(110)가 Y축 방향으로 이동하는 경우 이동블록(122)은 X축 방향으로 이동하고, 이와 함께 스크류 축(126)을 따라 브라켓(128)이 Z축 방향으로 이동하게 된다. 또한 상기 스테이지(110)에 안착된 피절단재(W)를 회전시킬 수 있도록 상기 피절단재(W)와 스테이지(110) 사이에 회전판(미도시)이 설치된다.

그러나, 상기 스테이지(110)와 지지 유닛(120)의 이동은 이에 한정되지 않고 다양하게 실시될 수 있다. 예를 들어, 피절단재(W)가 안착된 스테이지(110)는 고정된 상태에서 지지 유닛(120)이 X,Y,Z축 방향으로 이동될 수도 있을 것이며, 피절단재(W)가 안착된 스테이지(110)가 X,Y축 방향으로 이동하고 지지 유닛(120)이 Z축 방향으로 이동할 수도 있을 것이다. 또한 상기 피절단재(W)가 회전되지 않고 후술되는 스크라이빙 휠(140)이 설치된 혼(130)이 회전하여 스크라이빙 휠(140)의 절단 방향을 변경할 수도 있을 것이다.

상기 지지 유닛(120)에 설치되어 피절단재(W)에 활하중을 가하는 절단부(100)는 크게 스크라이빙 휠(300)과, 수직 진동을 생성하는 초음파 진동자(150)와, 상하부 각각에 초음파 진동자(150)와 스크라이빙 휠(300)이 설치되고 초음파 진동자(150)에서 생성된 진동을 증폭시켜 스크라이빙 휠(300)에 전달하는 부스터(152) 및 혼(130)으로 구성된다.

상기 스크라이빙 휠(300)은 초경 소결합금 또는 다이아몬드 재질 등으로 이루어져 스크라이빙 휠(300)의 가장자리를 일정한 각도로 연마한 약 2~3mm사이의 원형 디스크 형상을 갖는다. 또한 상기 스크라이빙 휠(300)에 수직 진동을 가하는 초음파 진동자(150)는 전기 에너지를 물리적 운동 에너지로 변환시킬 수 있도록 그 내부에 전류가 공급되는 고정자(미도시)와, 상기 고정자의 하부에서 상하로 이동하도록 설치된 가동자(미도시)로 구성되어 전류가 공급되면 고정자에 추력이 형성되어 가동자를 상하로 이동시켜 수직 진동을 생성하게 된다. 여기서 상기 초음파 진동자는 전기적 에너지가 공급되면 전기 에너지를 물리적 에너지로 변환시키는 압전소자를 포함하는 압전 진동자일 수도 있다.

그리고 상기 초음파 진동자(150)의 하부에는 순차적으로 부스터(152) 및 혼(130)이 설치되는데, 상기 부스터(152)는 초음파 진동자(150) 상부에서 하부로 관통하는 제 1 체결볼트(150a)에 고정되고, 상기 부스터(152)의 하면과 혼(130)의 상면 각각에는 나사산이 형성된 체결홀(132a)이 형성된다. 그리고 상기 체결홀(132a)의 나사산과 치합하는 제 2 체결볼트(130a)에 의해 부스터(152)와 혼(130)이 체결된다. 상기 혼(130)은 대략 원기둥의 형상을 갖고 그 하면에 스크라이빙 휠(300)이 구비된 스크라이버 홀더(200)가 설치된다. 이에 따라서, 상기 초음파 진동자(150)에서 생성된 진동을 스크라이빙 휠(300)에 증폭시켜 전달한다. 또한 상기 혼(130)은 지지 유닛(120)의 브라켓(128)에 마련된 혼 홀더(160)와 결합하여 지지 유닛(120)과 동일하게 이동하게 된다.

상기 스크라이빙 휠(300)을 회전 가능하게 지지하는 스크라이버 홀더(200)에는 혼(130)에 삽입 고정될 수 있도록 삽입부(210)가 형성된다. 상기 삽입부(210)는 스크라이버 홀더(200)로부터 돌출된 다각형상을 갖고, 상기 혼(130)에는 상기 삽입부(210)와 대응되는 형상을 갖도록 함몰된 삽입홈(134)이 형성된다. 그리고, 상기 스크라이버 홀더(200)의 삽입부(210)가 혼(130)의 삽입홈(134)에 삽입된 상태에서 혼(130)을 관통하는 제 3 체결볼트(201)에 의해 고정된다.

부연하자면, 상기 혼(130)의 내부에는 중공홀(132)이 형성되고, 상기 혼(130)의 하면에는 스크라이버(200)의 삽입부(210)에 대응되는 형상을 갖는 삽입홈(134)이 형성된다. 그리고, 상기 스크라이버 홀더(200)의 삽입부(210)에는 제 3 체결볼트(201)와 치합되는 나사산이 형성된 체결홈(212)이 형성된다. 이에 따라서, 상기 혼(130)의 중공홀(132)에 위치한 제 3 체결볼트(201)가 삽입홈(134)으로 노출되고 노출된 제 3 체결볼트(201)가 스크라이버 홀더(200)의 삽입부(210)에 형성된 체결홀(212)과 나사 결합되어 고정된다. 특히 상기 스크라이빙 홀더(200)에 형성된 삽입부(210)와 혼(130)에 형성된 삽입홈(134)이 초음파 진동자(150)의 진동방향과 동일한 방향으로 수직하게 형성됨으로써 스크라이버 홀더(200)와 혼(130)의 수직 체결성이 향상되고 이로부터 피절단재(W)의 수평방향 크랙의 형성을 감소할 수 있다.

여기서, 상기 스크라이버 홀더(200)에 형성된 삽입부(210)의 형상은 도 5a 내지 도 5d에 도시된 바와 같이, 사각 형상, 육각 형상, 팔각 형상과, 타원 형상 및 별 형상을 포함하거나 이와 유사한 형상이 될 수 있으며, 특히 상기 혼(130)에 형성된 삽입홈(134a) 즉, 도면에 도시된 바와 같이, 삽입부(210a)의 형상이 사각 형상을 갖는 경우 혼(130)에 형성된 삽입홈(134a)의 형상은 사각 형상을 갖는다. 또한 삽입부(210b)의 형상이 팔각 형상을 갖는 경우 삽입홈(134b) 형상은 팔각 형상을 갖는다. 또한 삽입부(210c)의 형상이 타원 형상을 갖는 경우 삽입홈(134c) 형상은 타원 형상을 갖는다. 또한 삽입부(210d)의 형상이 별 형상을 갖는 경우 삽입홈(134d) 형상은 별 형상을 갖는다.

이렇게 상기 삽입부(210)와 삽입홈(134)이 다각형상 내지 타원형상을 갖는 이유는, 스크라이빙 휠(300)의 회전 방향과 스크라이빙 가공시 절단부(100) 또는 피절단재(W)의 진행 방향이 동일 방향으로 정렬되도록 함으로써, 절단부(100)에서 스크라이버 홀더(200)를 분리하고 난 후에 다시 조립하게 될 때 스크라이빙 휠(300)의 회전 방향과 절단부(100)의 진행 방향이 동일하게 유지되어 스크라이버 홀더(200)의 탈부착을 용이토록 하기 위함이다. 경우에 따라서는 상기 돌출 형성된 삽입부가 절단부에 형성되고 상기 함몰 형성된 삽입홈이 스크라이버 홀더에 형성될 수도 있을 것이다.

도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 스크라이빙 휠과 스크라이버 홀더의 결합을 나타낸 예시도이다. 상기 스크라이빙 휠(300)을 지지하는 스크라이버 홀더(200)에는, 스크라이빙 휠(300)의 두께와 동일하거나 이보다 큰 폭을 갖는 슬롯(204)이 형성되고, 상기 슬롯(204)에 스크라이빙 휠(300)과 스크라이버 홀더(200)를 관통하도록 샤프트(230)가 설치된다. 즉, 상기 스크라이빙 휠은 앞서 설명한 바와 같이 초경 소결합금 또는 다이아몬드 재질 등으로 이루어져 스크라이빙 휠(140)의 가장자리를 일정한 각도로 연마한 약 2~3mm사이의 원형 디스크 형상을 갖고, 상기 원형 디스크의 중심에는 샤프트(230)가 관통되는 관통홀(302)이 형성된다.

또한 상기 스크라이버 홀더(200)에는 샤프트(230)가 관통되는 지지홀(232)이 형성되고, 상기 지지홀(232)을 차폐하는 고정판(240)이 스크라이버 홀더(200)의 일측에서 제4체결볼트(260)에 의해 고정된다. 상기 고정판(240)에는 제4체결볼트(260)의 외경에 부합하는 홀(242)이 형성되고, 상기 스크라이버 홀더(200)의 일측에는 제4체결볼트(260)와 치합하는 나사산이 형성된 체결홀(252)이 마련된다.

여기서, 상기 스크라이빙 휠은 휠 디스크와 일체로 회전축이 형성될 수도 있다. 즉 도 6b에 나타난 바와 같이, 상기 스크라이빙 휠(300a)은 휠 디스크(310)와 일체로 회전축(320)이 형성되고, 상기 스크라이버 홀더(200)는 좌우 반체(250a, 250b)로 구성되어 상기 좌우 반체(250a, 250b) 결합 시 스크라이빙 휠(300a)이 위치할 수 있도록 슬롯이 형성되고, 상기 슬롯(204)에는 스크라이빙 휠(300a)의 회전축(320)이 삽입되는 지지홀(232b)가 형성된다. 또한 상기 좌우 반체(250a, 250b)는 제4체결볼트(260)에 의해 고정될 수 있도록 동일한 축 중심을 갖는 체결홀(252b, 252c)이 각각 형성된다.

여기서 상기 스크라이빙 휠은 회전축과 일체로 성형되는 것이 바람직한 바, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 성형 몰드(400)에 다이아몬드와 금속 분말을 믹싱(mixing)한 파우더를 넣고 스크라이빙 휠의 반체에 해당하는 형상이 각각 음각(412, 422)된 상펀치(410)와 하펀치(420)를 유압프레스로 가압 성형하고, 이를 소결하여 휠 디스크와 회전축이 일체로 형성된 스크라이빙 휠(300a)을 제조할 수 있다.

부연하자면 상기 스크라이빙 휠(300a)을 성형하기 위해 다이아몬드와 금속 분말을 믹싱하게 되는데, 상기 금속 분말로는 Fe, Cu, Co, Ni, W, WC, Sn, CuSn, Ag, P등 철계 및 비철계 금속의 1종 또는 2종이상이 사용될 수 있고, 그리고 그 크기가 수∼수백㎛인 생분말 상태와 생분말을 수백㎛의 구형(球形)으로 형성한 그래뉼 상태로 사용가능하다. 상기 생분말이란 별도의 처리를 행하지 않은 원래의 분말을 의미하는 것으로서, 통상적으로 사용되고 있는 용어이다. 또한, 본 발명에서 사용될 수 있는 상펀치(410)와 하펀치(420)를 포함하는 성형 몰드(400)는 특별히 한정되는 것은 아니며, 다이아몬드 절삭 공구 제조분야에서 사용되는 것이라면 어느 것이나 사용가능하다. 상기와 같이 스크라이빙 휠(300a)이 성형되면 분말의 입자가 서로 부착하여 굳어지도록 소결 처리하게 된다.

상기와 같이 스크라이빙 휠이 회전축과 일체로 형성되면 휠 디스크와 회전축 간에 틈새가 없어 초음파 진동자에서 발생된 활하중을 피절단재로 원활하게 전달할 수 있고, 스크라이버 홀더와 혼의 수직 체결성이 향상되어 피절단재의 수평방향 크랙 형성을 감소시킬 수 있다.

한편, 본 발명은 상술한 실시예로서만 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 것도 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것으로 보아야 한다.

본 발명에 의한 스크라이빙 휠 및 이를 포함하는 스크라이빙 장치에 의하면, 휠 디스크와 회전축이 일체로 형성됨으로써 스크라이빙 가공시 휠 디스크와 회전축 간에 틈새가 없어 초음파 진동자에서 발생된 활하중을 피절단재로 원활하게 전달할 수 있고, 스크라이빙 홀더와 혼의 수직 체결성이 향상되어 피절단재의 수평방향 크랙의 형성을 감소시킬 수 있어 이로부터 피절단재를 정밀하고 깨끗하게 절단할 수 있다.

또한 스크라이버 홀더의 삽입부와 절단부의 삽입홈이 다각형상 내지 타원형상을 갖게 됨으로써, 스크라이빙 휠의 회전 방향과 스크라이빙 가공시 절단부 또는 피절단재의 진행 방향이 동일하게 유지되어 절단부에서 스크라이버 홀더를 분리하고 난 후에 다시 조립하게 될 때 스크라이버 홀더의 탈부착이 용이하고 이로부터 절단 효율 및 생산성을 향상시킬 수 있다.

Claims (10)

1. 스크라이빙 휠을 지지하는 스크라이버 홀더와,

   상기 스크라이버 홀더에서 스크라이빙 휠과 대향되는 방향으로 돌출 형성된 스크라이버 홀더의 삽입부와,

   상기 삽입부와 대응되는 형상을 갖는 삽입홈이 형성되어 상기 삽입홈과 삽입부가 결합되는 절단부를 포함하고,

   상기 돌출 형성된 스크라이버 홀더의 삽입부에는 나사선이 형성된 체결홈이 형성되며,

   상기 절단부의 일부분을 관통하는 체결볼트가 상기 나사산이 형성된 체결홈에 체결되어 상기 절단부에 상기 스크라이버 홀더가 고정되는 스크라이빙 장치.
2. 삭제
3. 청구항 1 에 있어서,

   상기 스크라이버 홀더에는 타원형상을 갖는 삽입부가 형성되고,

   상기 절단부에는 상기 삽입부와 대응되는 형상을 갖는 삽입홈이 형성되는 스크라이빙 장치.
4. 청구항 1 또는 청구항 3 에 있어서,

   상기 절단부는

   초음파 진동자와 부스터와 혼을 포함하고, 상기 혼의 하면에 스크라이버 홀 더의 삽입부가 삽입 고정되는 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
5. 청구항 1 에 있어서,

   상기 스크라이빙 휠은 디스크와 회전축이 일체로 형성되어 스크라이버 홀더에 회전 가능토록 설치되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
6. 청구항 5 에 있어서,

   상기 휠 디스크와 회전축은 동일한 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
7. 청구항 5 또는 6 에 있어서,

   상기 휠 디스크와 회전축은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
8. 삭제
9. 삭제
10. 삭제

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