KR100938229B1 - 탄소 나노튜브를 합성하는 장치에서의 이중 실링 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 실링 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반응 챔버내의 가스가 새어나오지 않도록 하는 이중 실링 장치에 관한 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 탄소 나노튜브를 합성하는 장치의 반응 챔버를 실링하는 이중 실링 장치는 반응 용기의 입구를 개폐하는 덮개부, 반응 용기를 감싸면서 덮개부에 결합되는 제1 결합부, 반응 용기를 감싸면서 제1 결합부에 결합하는 제2 결합부, 반응 용기를 감싸면서 덮개부와 제1 결합부 사이에 끼워지는 제1 밀폐부 및 반응 용기를 감싸면서 제1 결합부와 제2 결합부 사이에 끼워지는 제2 밀폐부를 포함한다.

실링, 밀폐, 이중 실링, 탄소 나노튜브 합성 장치

Description

탄소 나노튜브를 합성하는 장치에서의 이중 실링 장치{Apparatus having double sealing in a producing device of carbon nano-tube}

본 발명은 실링 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반응 챔버내의 가스가 새어나오지 않도록 하는 이중 실링 장치에 관한 것이다.

일반적으로 실링(Sealing)이란 물, 가스 등의 유체 또는 기체가 새어나오는 현상을 방지하는 기구를 말한다. 따라서 실링은 공간 또는 저장소에 대한 밀폐를 보조하는 역할을 하는 부재로서, 일반적인 기계, 건설뿐만 아니라 반도체 장비 등의 광범위한 영역에서 사용되고 있다.

한편, 탄소 나노튜브(Carbon nano-tube)는 탄소원자 하나가 주위의 다른 탄소원자 3개와 결합을 하여 육각형 벌집무늬를 형성한다. 탄소 나노튜브는 전기적, 열적, 기계적 특성이 종래의 소자에 비하여 현저히 뛰어나 전계방출소자, 전기화학 및 에너지 저장, 초미세 메카트로닉스 시스템, 유기 및 무기 복합소재 등 다양한 산업분야에 응용될 수 있다.

이러한 탄소 나노튜브를 합성하는 방법으로는 레이저를 이용하여 금속과 흑연 가루를 일정 비율로 섞어 만든 시편을 기화시켜 합성하는 레이저 어블레이션(ablation)법, 직경이 다른 두 개의 탄소봉에 전압을 가하여 아크방전을 일으켜 합성하는 아크방전법(Arc discharge), 기체 상태의 원료가스를 반응기 안으로 주입하여 열이나 플라즈마에 의하여 탄소 나노튜브를 성장시키는 화학기상증착법(Chemical vapor deposition; CVD), 액상 또는 기상의 탄화수소를 전이금속과 함께 가열된 반응관 안으로 공급하여 탄화수소를 분해시켜 기상상태에서 탄소 나노튜브를 생성하는 열분해법(Pyrolysis of hydrocarbon) 등이 있다.

탄소 나노튜브를 대량으로 합성하기 위하여 반응이 진행되는 반응 챔버의 크기가 갈수록 대용량화 되어 가고 있다. 반응 챔버에서 사용되는 반응가스에는 수소 계열의 가스가 포함되어, 이러한 반응 가스가 갑자기 실내로 방출되거나 또는 반응 챔버의 틈을 통해 새어 나오는 경우에는 폭발의 위험성이 상당히 높다.

따라서, 이러한 반응가스의 처리와 배기에 상당한 주의를 요한다. 하지만 반응 챔버에서의 공정온도는 상당히 높은 온도이기 때문에 반응이 수행될 때의 반응 챔버는 물론이고 이를 감싸는 밀폐 부재 등의 치수도 온도 상승분만큼 증가할 수 있다. 계속적인 온도 상승 및 온도 하강을 반복하면서 반응 챔버를 밀폐하여야 할 부분에 틈이 발생하거나, 밀폐하는 소재가 손상되어 반응 가스가 누출될 염려가 있다.

그러므로, 반응 챔버를 신뢰성 있게 밀폐하는 실링 구조와 반응 챔버에서 반응 가스의 미세한 분출이라도 감지할 수 있는 감지 수단이 필요하다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출된 것으로서, 밀폐하려는 저장소에 있는 가스의 누출을 이중으로 막는 이중 실링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한 밀폐된 저장소에서 누출되는 가스를 감지하는 수단을 제공하여 가스 등의 누출에 의한 안전사고를 예방할 수 있는 이중 실링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 탄소 나노튜브를 합성하는 장치의 반응 챔버를 실링하는 이중 실링 장치는 반응 용기의 입구를 개폐하는 덮개부; 상기 반응 용기를 감싸면서 상기 덮개부에 결합되는 제1 결합부; 상기 반응 용기를 감싸면서 상기 제1 결합부에 결합하는 제2 결합부; 상기 반응 용기를 감싸면서 상기 덮개부와 상기 제1 결합부 사이에 끼워지는 제1 밀폐부; 및 상기 반응 용기를 감싸면서 상기 제1 결합부와 상기 제2 결합부 사이에 끼워지는 제2 밀폐부를 포함한다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있 다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

본 발명에 따를 경우, 밀폐하려는 반응 용기 내부의 가스누출을 이중으로 막아 반응 용기 내부의 가스가 누출되는 위험을 줄일 수 있다. 이와 함께, 가스 누출시에 감지하는 수단과 작업자에게 가스 누출을 알려주는 수단을 제공하여 가스 누출에 의한 안전 사고를 미연에 예방할 수 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이중 실링 장치의 단면도를 보여주며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이중 실링 장치의 사시도를 보여준다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이중 실링 장치는 덮개부(100), 제1 결합부(200), 제2 결합부(300), 제1 밀폐부(400) 및 제2 밀폐부(500)를 포함할 수 있다.

덮개부(100)는 반응 용기(150)의 입구를 일차적으로 덮는 역할을 한다. 덮개부(100)는 반응 용기(150)의 출입구에 장착되어 반응 용기의 마개 역할을 한다. 덮개부(100)는 석영(Quartz) 또는 세라믹 등과 같은 내열성 재질로 이루어 질 수 있으며, 덮개부(100) 중에서 반응 챔버와 직접적으로 맞닿은 부분에서는 석영 또는 세라믹 등의 내열성 재질로 이루어지고, 그 외 부분에서는 금속 등의 재질로 이루어질 수도 있다.

여기서, 반응 용기(150)는 탄소 나노튜브의 합성이 수행되는 공간을 제공한다. 반응 용기(150)는 석영(Quartz) 또는 그라파이트(Graphite) 등과 같이 내열성 재질로 이루어진다. 반응 용기(150)에서는 공급된 반응가스가 촉매와 반응을 하여 탄소 나노튜브가 합성된다.

제1 결합부(200)는 덮개부(100)에 결합하여 제1 밀폐부(400)를 지지한다. 제1 결합부(200)는 반응 용기(150)를 감싸면서 덮개부(100)와 나사 결합 또는 볼트 너트 등의 공지의 결합 수단(210)에 의하여 결합될 수 있다. 다만, 제1 결합부(200), 덮개부(100) 및 반응 용기(150)가 만나는 지점에 홈(230)이 형성되고, 여기에 제1 밀폐부(400)가 위치하는 공간을 제공할 수 있다.

제1 결합부(200)는 제2 결합부(300)와 결합하여 제2 밀폐부(500)를 지지한다. 따라서 제1 결합부(200)는 제1 밀폐부(400)와 제2 밀폐부(500)를 지지하는 역 할을 한다. 제1 결합부(200)는 제2 결합부(300)와 나사 결합 또는 볼트 너트 등의 공지의 결합 수단(220)에 의하여 결합될 수 있다. 따라서, 전체적으로는 덮개부(100), 제1 결합부(200), 제2 결합부(300) 순서대로 결합 수단에 의하여 결합될 수 있다. 예를 들어, 덮개부(100)와 제1 결합부(200)를 결합하는 수단을 제1 결합 수단(210)이라 칭하고, 제1 결합부(200)와 제2 결합부(300)를 결합하는 수단을 제2 결합 수단(220)이라 할 수 있다.

제2 결합부(300)는 제1 결합부(200)와 결합하여 제2 밀폐부(500)를 지지한다. 제2 결합부(300)는 공지의 제2 결합 수단(220)에 의하여 제1 결합부(200)와 결합될 수 있다. 제2 결합부(300)는 반응 용기(150)를 감싸면서 제2 밀폐부(500)와 함께 반응 용기(150) 외부로 누출되는 가스를 차단하는 역할을 한다.

제1 밀폐부(400)는 덮개부(100)와 제1 결합부(200) 사이에 위치하여 반응 용기(150)로부터 유출되는 가스를 일차적으로 차단하는 역할을 한다. 제1 밀폐부(400)는 예를 들어, 오-링 또는 개스킷 등의 탄성력 또는 복원력을 가지는 부재로 이루어질 수 있다. 제1 밀폐부(400)는 유지 보수를 위한 조립을 간편하게 하기 위하여 덮개부(100)와 제1 결합부(200) 사에에 위치한다. 따라서, 덮개부(100)와 제1 결합부(200)를 결합하는 결합력의 정도에 따라 제1 밀폐부(400)는 반응 용기(150)에 대한 밀폐력이 달라질 수 있다. 다만, 덮개부(100)와 제1 결합부(200)를 너무 강하게 결합시키면 이로 인하여 제1 밀폐부(400)에 높은 응력이 적용되어 제1 밀폐부(400)가 파손될 여지가 있을 수 있다. 따라서, 결합하는 결합력은 실험적 또는 이론적인 계산 결과에 바탕을 두고 조절될 수 있다.

제2 밀폐부(500)는 제1 결합부(200)와 제2 결합부(300) 사이에 위치하여 반응 용기(150)로부터 유출되는 가스를 이차적으로 차단하는 역할을 한다. 제2 밀폐부(500)는 예를 들어, 오-링 또는 개스킷 등의 탄성력 또는 복원력을 가지는 부재로 이루어질 수 있다. 제2 밀폐부(500)는 제1 결합부와 제2 결합부 사에에 위치하여 유지 보수를 위한 조립 및 분해가 간편하게 될 수 있도록 한다.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 일 실시예에 따른 이중 실링 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저 이중 실링 장치를 반응 용기(150)에 장착한다. 제2 결합부(300), 제1 결합부(200), 덮개부(100)를 연속적으로 반응 용기(150)에 끼워 넣고, 제2 결합부(300)와 제1 결합부(200) 사이의 홈(330)에는 제2 밀폐부(500)를, 제1 결합부(200)와 덮개부(100) 사이의 홈(230)에는 제1 밀폐부(400)를 장착한다. 상기의 구성요소가 끼워지면 덮개부(100)와 제1 결합부(200)를 제1 결합 수단(210)에 의해 결합하고, 제1 결합부(200)와 제2 결합부(300)를 제2 결합 수단(220)에 의하여 결합한다. 각 결합에 의하여 그 사이에 끼워지는 제1 밀폐부(400)와 제2 밀폐부(500)가 반응용기와 맞닿으면서 밀폐되어 반응 용기(150)와 외부와의 가스 교류를 차단한다.

상기와 같이, 이중 실링 장치는 제1 밀폐부(400)와 제2 밀폐부(500)의 작용으로 인하여 가스 누출을 일차와 이차로 나누어 차단함으로써 하나로 차단하는 방식에 비하여 신뢰성 및 안정성이 높아질 수 있다. 이와 함께, 각 구성 요소의 조립과 분해를 간편하게 하여, 가스가 누출되는 경우에도 쉽게 제1 밀폐부(400)와 제2 밀폐부(500)를 분해하여 교체할 수 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이중 실링 장치의 단면도를 보여준다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이중 실링 장치는 덮개부(100), 제1 결합부(270), 제2 결합부(300), 제1 밀폐부(400), 제2 밀폐부(500) 및 경보기(600)를 포함할 수 있다.

덮개부(100), 제2 결합부(300), 제1 밀폐부(400) 및 제2 밀폐부(500)에 대해서는 이미 상세히 설명하였으므로 생략하며, 제1 결합부(270)에 대하여 상세히 설명하도록 한다.

제1 결합부(270)는 공간부(240), 측정부(250) 및 가스주입기(260)를 포함할 수 있다.

제1 결합부(270)는 반응 용기(150)를 둘러싸고, 덮개부(100)와 제2 결합부(300) 사이에 위치한다. 제1 결합부(270)는 덮개부(100)와 연결되면서 제2 결합부(300)에 연결되면서 제1 결합수단(210; 도1 참조)과 제2 결합수단(220; 도2 참조)에 의하여 고정된다. 제1 결합부(270)는 제1 밀폐부(400)와 제2 밀폐부(500)를 지지하는데, 제1 밀폐부(400)와 제2 밀폐부(500)의 가스 누출을 감지할 수 있는 감지 수단을 구비할 수 있다.

이와 같이 제1 밀폐부(400)와 제2 밀폐부(500)의 가스 누출을 감지하기 위하여 제1 결합부(270)는 공간부(240), 측정부(250) 및 가스 주입기(260)를 포함할 수 있다.

공간부(240)는 질소 또는 아르곤 등의 비활성 가스가 차지하는 공간을 제공 한다. 공간부(240)는 제1 밀폐부(400) 또는 제2 밀폐부(500)가 손상되어 가스가 누출되더라도 공간부에 잔류하는 비활성 가스에 의해 갑작스런 폭발 또는 안전 사고를 방지하는 역할을 할 수 있다. 공간부(240)는 가스가 임시적으로 머무를 수 있는 완충 공간을 제공한다. 공간부(240) 또한 제1 밀폐부(400)와 제2 밀폐부(500)에 의하여 밀폐된 공간이며, 상기 밀폐된 공간에 반응 용기(150) 또는 외부의 대기압보다 상대적으로 높은 압력으로 가스를 충진할 수 있다. 상대적으로 높은 압력이 충진된 공간부(240)에서는 제1 밀폐부(400) 또는 제2 밀폐부(500)가 손상되어 가스가 누출되는 경우에 공간부(240)에 잔류하는 고압의 가스가 누출될 수 있다. 다만, 공간부(240)의 가스는 비활성 가스이므로 누출되더라도 안전 사고의 위험이 적으므로, 가스의 누출에 대하여 안정성을 확보할 수 있다.

측정부(250)는 공간부(240)의 압력을 측정한다. 측정부(250)는 공간부(240)에 가스의 압력을 시간적으로 감지하여 압력의 변화를 관측할 수 있다. 측정부(250)는 밀폐되어 있는 동안에는 공간부(240)의 압력이 일정하게 유지되지만, 제1 밀폐부(400) 또는 제2 밀폐부(500)가 손상되어 가스가 누출될 수 있는 상황에서는 공간부(240)의 압력이 갑자기 변동됨을 감지할 수 있다. 따라서 측정부(250)는 시간에 따른 공간부 압력 변화가 소정의 기준값보다 커지거나, 밀폐시의 압력보다 가스 누출될 때의 압력이 10% 이상의 변동이 있을 때에는 제1 밀폐부(400) 또는 제2 밀폐부(500)가 손상된 것으로 감지할 수 있다.

측정부(250)는 공간부(240)의 압력 변화를 감지하여 제1 밀폐부(400) 또는 제2 밀폐부(500)의 손상에 의한 가스 누출을 감지할 수 있다. 예를 들어, 상대적으 로 반응 용기(150)의 압력보다 공간부(240)의 압력을 높인다면, 제1 밀폐부의 손상으로 인한 가스 누출시에는 공간부(240)의 잔류 가스가 반응 용기(150)로 새어나가 공간부의 압력이 낮아질 수 있다. 이 때, 측정부(250)는 공간부의 압력이 갑자기 낮아짐을 감지하여 가스 누출을 감지할 수 있다.

가스 주입기(260)는 공간부(240)로 질소 또는 아르곤 등의 비활성 가스를 공급하는 역할을 한다. 가스 주입기(260)는 덮개부(100), 제1 결합부(270), 제2 결합부(300), 제1 밀폐부(400), 제2 밀폐부(500) 등의 조립에 의하여 이중 실링 장치를 반응 용기에 장착한 경우에 최종적으로 제1 결합부(270)의 공간부(240)에 비활성 가스를 공급하여 공간부(240)의 압력을 일정한 압력으로 설정할 수 있다.

경보기(600)는 제1 결합부(270)의 측정부(250)에 연결되어 가스 누출이 감지될 때 작업자에게 알리는 역할을 한다. 경보기(600)는 작업자에게 경보음 등의 소리뿐만 아니라 진동 또는 유무선 네트워크에 의한 가스 누출 정보를 전달할 수 있다. 경보기(600)는 제1 밀폐부(400)의 손상 또는 제2 밀폐부(500)의 손상에 의한 가스 누출을 구분하기 위하여 각각의 가스 누출에 따라 작업자에게 알려주는 정보 또는 신호를 달리할 수도 있다.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 다른 실시예에 따른 이중 실링 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 반응 용기(150)에 제2 결합부(300), 제2 밀폐부(500), 제1 결합부(270), 제1 밀폐부(400), 덮개부(100)를 연속적으로 장착한다. 제1 밀폐부(400)와 제2 밀폐부(500)에 의하여 반응 용기를 이중으로 밀폐한 상황에서, 가스 주입기(260)를 통하여 제1 결합부(270)의 공간부(240)로 반응성이 없는 가스를 주입한다. 일정한 압력에 도달되면, 이중 실링 장치의 장착이 완성되어 반응 용기(150)에서 탄소 나노튜브의 합성을 수행할 수 있다.

반응 용기(150)에서의 계속적인 반응 수행을 하면서, 제1 밀폐부(400) 또는 제2 밀폐부(500) 중의 하나가 손상되는 경우에는 가스가 누출 될 수 있다. 제1 밀폐부(400)가 손상되는 경우에는 반응 용기(150)와 제1 결합부(270)의 공간부(240) 사이가 연결되어 제1 결합부(270)의 공간부(240) 압력이 변화될 수 있다. 예를 들어, 상대적으로 반응 용기(150)의 압력보다 공간부(240)의 압력을 높인다면, 공간부(240)의 잔류 가스가 반응 용기로 새어나가 공간부(240)의 압력이 낮아질 수 있다. 이 때, 측정부(250)는 공간부(240)의 압력이 갑자기 낮아짐을 감지하여 가스 누출을 감지할 수 있다. 상기 가스 누출을 감지하면, 경보기(600)를 통하여 작업자에게 알림으로써 신속하게 가스 누출에 대하여 조치를 취할 수 있어 안전 사고 방지 및 가스 누출에 의한 공정 불량을 방지할 수 있다.

또는 제2 밀폐부(500)가 손상되는 경우에는 반응 용기(150)의 외부와 제1 결합부(270)의 공간부(240)가 연결되어 공간부(240)의 압력이 변화될 수 있다. 외부의 대기압이 공간부(240)의 압력보다 낮은 경우에는 공간부(240)를 통하여 외부로 가스가 누출되어 공간부(240)의 압력이 낮아질 수 있다. 이 때, 측정부(250)에 의하여 압력이 낮아짐을 감지할 수 있고, 이를 통하여 가스 누출을 감지하여 경보기(600)를 통하여 작업자에게 알릴 수 있다.

이상과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 이중 실링 장치는 밀폐부의 손상 에 의하여 가스 누출이 발생하는지를 실시간으로 검출할 수 있고, 이중으로 밀폐부를 둠으로써 하나의 밀폐부에서 가스 누출이 발생하더라도 폭발 등의 안전 사고를 예방할 수 있다. 이와 함께, 경보기를 통하여 가스 누출을 알림으로써 작업자가 언제든지 가스 누출을 인식할 수 있고, 이중의 밀폐부 사이에 완충 영역을 둠으로써 가스 누출의 감지뿐만 아니라 갑작스런 가스 누출에 있어서도 안전을 확보할 수 있다.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이중 실링 장치에서의 측정부에서 측정되는 압력 패턴을 보여준다.

도 4a는 제1 결합부(270)에 있는 공간부(240)의 압력을 측정부(250)에 의하여 시간에 따라 측정한 결과로서, 시간 t 에서의 압력이 현저히 낮아지는 것을 볼 수 있다. 따라서 공간부(240)의 압력이 높은 상태에서 제1 밀폐부(400) 또는 제2 밀폐부(500)를 통하여 가스가 누출되는 경우에는 공간부(240)에 잔류하는 가스가 새어나감으로써 압력이 낮아지게 된다. 특히, 시간이 지남에 따라 압력이 거의 영으로 하강하여 외부의 대기압과 동일하게 되는 것은 외부와의 밀폐를 유지하는 제2 밀폐부가 손상되었다는 것을 보여준다. 따라서, 측정부에서 도 4a와 같은 압력 패턴이 측정되면 이는 제2 밀폐부가 손상된 것을 감지할 수 있으며, 경보기(600)를 통하여 작업자에게 알릴 수 있다.

도 4b는 제1 결합부(270)에 있는 공간부(240)의 압력을 측정부(250)에 의하여 시간에 따라 측정한 결과로서, 시간 t에서부터의 측정된 압력이 낮아짐을 알 수 있다. 하지만 측정된 압력은 대기압으로 낮아지지 아니하고 일정한 압력으로 수렴 하게 되는데 이는 반응 용기를 일차적으로 밀폐하는 제1 밀폐부(400)가 손상되었음을 나타낸다. 다만, 반응 용기(150)의 압력이 공간부(240)의 압력보다 높은 경우에는 시간 t에서부터의 압력이 높아질 수도 있다. 따라서 공간부(240)의 압력이 높아지거나 낮아지는 것으로 제1 밀폐부(400)가 손상되어 반응 용기(150)의 가스가 누출됨을 알 수 있다. 제1 밀폐부(400)의 가스 누출에 대하여도 경보기(600)를 통하여 경보음을 울려 작업자에게 알릴 수 있다.

상기와 같이, 제1 밀폐부(400)와 제2 밀폐부(500)에 대한 가스 누출을 감지할 수 있게 함으로써 가스 누출 초기에 가스 누출을 감지하여 안전 사고를 미연에 방지할 수 있고, 경보기(600)를 통하여 가스 누출을 알림으로써 작업자에게 가스 누출에 대한 정보를 용이하게 전달할 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이중 실링 장치의 단면도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이중 실링 장치의 사시도이다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이중 실링 장치의 단면도이다.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이중 실링 장치에서의 측정부에서 측정되는 압력 패턴을 보여주는 도면이다.

*도면의 주요 부분에 대한 설명*

100: 덮개부 200: 제1 결합부

300: 제2 결합부 400: 제1 밀폐부

500: 제2 밀폐부 600: 경보기

Claims (6)

1. 탄소 나노튜브 합성 장치의 반응 챔버를 실링하는 이중 실링 장치에 있어서,

   반응 용기에 장착되어 상기 반응 용기의 입구를 덮고, 상기 반응 용기의 입구를 개폐하는 덮개부;

   상기 반응 용기를 감싸면서 상기 덮개부에 결합되는 제1 결합부;

   상기 반응 용기를 감싸면서 상기 제1 결합부에 결합되는 제2 결합부;

   상기 반응 용기를 감싸면서 상기 덮개부와 상기 제1 결합부 사이에 끼워지는 제1 밀폐부; 및

   상기 반응 용기를 감싸면서 상기 제1 결합부와 상기 제2 결합부 사이에 끼워지는 제2 밀폐부를 포함하며,

   상기 제 1 밀폐부와 제 2 밀폐부는 각각 실링 역할을 수행하는, 이중 실링 장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 제1 결합부는

   상기 제1 밀폐부에서 새어 나온 가스가 머무를 수 있는 공간부; 및

   상기 공간부의 압력을 측정하는 측정부를 포함하는, 이중 실링 장치.
3. 제 2항에 있어서, 상기 제1 결합부는

   상기 제1 밀폐부 또는 제2 밀폐부에서 가스누출이 있는 경우에 상기 측정부에 의해 측정된 상기 공간부의 압력이 낮아지는 것을 감지하여 상기 가스누출을 감지하는, 이중 실링 장치.
4. 제 2항에 있어서, 상기 측정부는

   상기 공간부의 압력이 기준값 이상으로 변동되는 경우 상기 제1 밀폐부 또는 제2 밀폐부가 손상되었음을 감지하는, 이중 실링 장치.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 제1 밀폐부 또는 제2 밀폐부에 가스누출이 감지되는 경우에 작업자에게 상기 가스누출을 알려주는 경보기를 더 포함하는, 이중 실링 장치.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 덮개부와 상기 제1 결합부를 결합하는 제1 결합 수단; 및

   상기 제1 결합부와 상기 제2 결합부를 결합하는 제2 결합 수단을 포함하는, 이중 실링 장치.

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