KR100934430B1 - 레이저 파장 가변 장치 및 그 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (22)
- 일정한 파장 대역을 가지는 레이저 광원과;상기 레이저 광원이 제공하는 광선을 투과 회절시키고 회절된 광을 기 설정된 각도로 반사시키도록 투과형 회절부와 거울이 고정 배치되어 전체적으로 회전하는 일체형 회절부와;상기 일체형 회절부의 회전에 따라 기 설정된 광경로상 거리가 조절되면서 상기 레이저 광원과의 공진 거리를 설정하는 출력커플러와;상기 일체형 회절부를 선택 파장에 대응시켜 회전시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 출력커플러는 상기 출력커플러와 상기 레이저 광원 사이의 광경로 상 거리가 상기 일체형 회절부의 회전에 따라 선택되는 파장에 대응하도록 이동하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 청구항 2에 있어서, 상기 출력커플러와 상기 레이저 광원 사이의 광경로 상 거리는 기 설정된 수의 1/2파장을 유지하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 일제형 회절부의 투과형 회절부는 홀로그래픽 회절판(Volume Phase Holographic Grating)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 레이저 광원과 상기 일체형 회절부 사이에 배치되어 상기 레이저 광원의 광선 형상을 성형(shaping)하는 시준 렌즈부와;상기 시준 렌즈부 중 하나 이상의 렌즈 위치를 가변하는 렌즈 위치 조절부와;상기 일체형 회절부의 투과형 회절부를 회절 없이 통과하는 광선을 수집하여 그 위치와 초점 상태 정보를 수집하는 하나 이상의 검출부와;상기 검출부의 검출 결과에 따라 상기 렌즈 위치 조절부를 조절하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 청구항 5에 있어서, 상기 시준 렌즈부는 상기 레이저 광원을 평행광이 되도록 하는 시준 렌즈를 포함하며, 상기 렌즈 위치 조절부는 상기 시준 렌즈의 위치를 다차원적으로 가변하는 보이스 코일 모터(voice coil motor) 다축 구동부를 포함하 는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 청구항 5에 있어서, 상기 검출부는 상기 회절부를 회절 없이 통과하는 광선의 경로를 분리하는 빔 스플리터와 상기 분리된 각 광선의 위치와 초점을 각각 검출하는 위치 검출부와 초점 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 청구항 7에 있어서, 상기 빔 스플리터와 상기 위치 검출부 사이에 빔의 스팟을 축소하는 더블렛 렌즈를 더 포함하고, 상기 빔 스플리터와 상기 초점 검출부 사이에 기준 포커스 설정을 위한 실린더 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 레이저 광원은파장 대역이 상이한 복수의 레이저 광원과;파장 선택에 따라 대응 파장 영역을 포함하는 복수의 레이저 광원 중 하나를 선택하여 광경로 상에 위치시키는 광원 선택 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 청구항 9에 있어서, 상기 광원 선택 구동부는 복수의 레이저 광원이 원형으로 배치되며 회전 운동에 따라 원하는 레이저 광원을 선택하는 회전식 터렛(turret) 구조인 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 청구항 9에 있어서, 상기 광원 선택 구동부에 의해 선택된 레이저 광원과 접촉하여 온도를 낮추기 위한 온도조절부를 더 포함하고, 상기 온도조절부는 서모일렉트릭 쿨러(Thermo electric cooler) 소자와, 상기 서모일렉트릭 쿨러 소자의 차가운면에 배치되며 상기 레이저 광원과 접촉하는 면이 인입면취된 접촉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 일정한 파장 대역을 가지는 레이저 광원과;상기 레이저 광원의 출력광을 성형(shaping)하는 렌즈부와;상기 렌즈부를 통한 광원의 광선에서 회전에 따라 선택된 파장을 기 설정된 고정 광경로로 회절 및 반사시키도록 투과형 회절부와 거울이 고정 각도로 일체화된 일체형 회절부와;상기 고정 광경로에 배치되고, 상기 일체형 회절부의 회전에 따라 광원과의 광경로 상 길이가 기 설정된 수의 선택 파장이 유지 되도록 조절되는 출력커플러와;상기 일체형 회절부의 투과형 회절부를 회절 없이 투과한 광을 통해 출력광의 위치와 초점 중 적어도 하나에 대한 측정값을 제공하는 검출부와;상기 검출부의 측정값이 기 설정된 목표값이 되도록 상기 렌즈부의 위치를 가변하는 렌즈위치 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 청구항 12에 있어서, 상기 렌즈부는상기 레이저 광원을 평행광이 되도록 하는 시준 렌즈를 포함하고,상기 렌즈 위치 조절부에 의해 상기 시준 렌즈의 위치가 다축 방향으로 조절되는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
- 청구항 12에 있어서, 상기 검출부는 상기 회절부를 회절 없이 통과하는 광선의 경로를 분리하는 빔 스플리터와 상기 분리된 각 광선의 위치와 초점을 각각 검출하는 위치 검출부와 초점 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 장치.
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- 결정된 광 경로에 따라 일정한 파장대역의 레이저광을 출력하는 레이저 광원부를 배치하는 단계와;상기 레이저 광원부가 제공하는 광선을 투과형 회절부와 거울이 일체화된 일체형 회절부에 제공하고, 상기 일체형 회절부를 회전시켜 기 설정된 광경로를 유지하면서 원하는 파장을 선택하는 단계와;상기 일체형 회절부의 회전에 따라 상기 일체형 회절부에 후속배치된 출력커플러의 위치를 가변하는 단계와;상기 출력커플러와 기 설정된 광경로 출력 지점에 배치된 핀홀을 통해 상기 레이저 광원에서 출력된 파장 중 선택된 파장만 공진되면서 상기 핀홀을 통해 출력되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 방법.
- 청구항 18에 있어서, 상기 출력커플러의 위치를 가변하는 단계는 상기 일체형 회절부의 회절에 연동하여 상기 레이저 광원과 상기 출력커플러 사이의 광경로상 거리가 기 설정된 수의 선택 파장으로 유지 되도록 상기 출력커플러의 위치를 광경로에 따라 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 방 법.
- 청구항 18에 있어서, 상기 파장을 선택하는 단계는상기 투과형 회절부의 격자 배치 각도를 기준으로 상기 투과형 회절부의 입사광 입사각도에 대칭되는 회절 각도로 출력되는 광선이 상기 핀홀에 수렴하도록 광 경로를 결정하는 거울을 고정 각도로 배치하는 단계와;원하는 파장을 선택하여 상기 격자의 간격을 고려한 광선의 상기 투과형 회절부 입사각을 구하는 단계와;상기 입사각이 되도록 상기 투과형 회절부와 거울을 일체로 회전시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 방법.
- 청구항 18에 있어서, 상기 파장을 선택하는 단계에서, 상기 일체형 회절부의 투과형 회절부를 회절 없이 투과하는 광의 위치와 초점을 검출하여 목표 상태가 되도록 상기 레이저 광원부와 상기 일체형 회절부 사이에 배치된 시준 렌즈의 위치를 조절하는 자동 보상 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 방법.
- 청구항 21에 있어서, 상기 자동 보상 단계는 상기 투과형 회절부를 회절 없이 투과하는 광을 분할하여 일측광을 기준 초점 상태로 구성한 실린더 렌즈를 통과한 광의 초점을 복수 검출 소자로 이루어진 초점 검출 센서를 통해 측정하고, 상기 분할된 타측광을 복수의 검출 소자에 맞추어 스팟 크기를 줄이도록 구성한 더블렛 렌즈를 통과한 광의 위치를 복수의 검출 소자로 이루어진 위치 검출 센서를 통해 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 파장 가변 방법.
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KR1020090022344A KR100934430B1 (ko) | 2009-03-16 | 2009-03-16 | 레이저 파장 가변 장치 및 그 방법 |
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KR101338309B1 (ko) | 2012-03-20 | 2013-12-09 | 연세대학교 산학협력단 | 외부 공진기 레이저 시스템 |
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KR20050062677A (ko) * | 2003-12-19 | 2005-06-27 | 학교법인 영남학원 | 회절격자와 평행거울로 구성된 고효율 파장 선택 장치 |
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