KR100932705B1 - Dielectric waveguide filter and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유전체 공진기를 이용한 TE 모드 유전체 도파관 필터의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 (a) 직육면체형의 유전체 공진기의 한 면 또는 대향된 두 면의 일정 영역에 비전도성 물질을 도포하여 마스킹 영역을 형성하는 단계, (b) 상기 직육면체형의 유전체 공진기의 상기 마스킹 영역을 제외한 외면에 전도성 물질을 도포하여 전도층을 형성하는 단계 및 (c) 둘 이상의 상기 전도층이 형성된 유전체 공진기를 상기 마스킹 영역이 서로 맞닿도록 결합시켜 열처리하는 단계를 포함하여 제조되는 특징이 있다. The present invention relates to a method for manufacturing a TE mode dielectric waveguide filter using a dielectric resonator, and more particularly, to (a) a masking region by applying a non-conductive material to a predetermined region of one side or two opposite sides of a rectangular dielectric resonator. (B) applying a conductive material to an outer surface of the rectangular dielectric resonator except for the masking region to form a conductive layer, and (c) forming a conductive resonator in which two or more of the conductive layers are formed. There is a feature that is produced, including the step of heat treatment by bonding to abut each other.
본 발명의 제조방법은 리세스 구조를 갖지 않고, 유전체 필터의 내부에 존재하는 금속막이 인덕티브 커플링 기능을 수행하며, 단순 열처리에 의해 원하는 필터제작이 가능하므로, 높은 내충격성을 가지며, 제작이 용이하고, 가공공차로 인한 특성의 변동이 작으며, 복잡한 금형을 사용하지 않고 트리밍(trimming) 단계가 불필요하여 제조 단가를 낮출 수 있는 효과가 있다.The manufacturing method of the present invention does not have a recess structure, the metal film present inside the dielectric filter performs an inductive coupling function, and since the desired filter can be manufactured by simple heat treatment, it has a high impact resistance and is easy to manufacture. It is easy, there is little variation in characteristics due to processing tolerances, and there is an effect that the manufacturing cost can be lowered because a trimming step is unnecessary without using a complicated mold.
유전체 필터, 공진기, 도파관, TE 모드 Dielectric Filters, Resonators, Waveguides, TE Mode
Description
본 발명은 유전체 공진기를 이용한 TE 모드 유전체 도파관 필터의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a TE mode dielectric waveguide filter using a dielectric resonator.
본 발명은 유전체 필터에 관한 것으로, 특히 인덕티브 커플링 기능을 하는 금속막에 의해 내충격성이 개선된 수 와트(W) 내지 수백 와트(W)의 대전력용 통신기기에 사용되는 TE 모드 유전체 도파관 필터의 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to dielectric filters, in particular TE mode dielectric waveguides used in high power communication devices of several watts (W) to several hundred watts (W) whose impact resistance is improved by a metal film having an inductive coupling function. It relates to a method for producing a filter.
통신기기의 송신부 및 수신부에는 유전체 대역통과 필터인 수신필터와 송신필터가 사용된다. 유전체 필터는 안테나로부터 들어오는 신호로부터 필요한 신호만을 통과시키는 수신필터와 안테나로 송신하고자 하는 신호만을 통과시키는 송신필터에 활용될 수 있다. 현재, 이동통신용 장비에 흔히 사용되는 고주파 필터는 대전력용과 소전력용으로 구분된다. 대전력용은 금속 캐비티(cavity) 도파관을 이용한 금속 캐비티 필터가 주로 사용되고, 소전력용은 유전체 필터, 표면탄성파 필터 등이 사용되고 있다.In the transmitter and receiver of a communication device, a reception filter and a transmission filter, which are dielectric bandpass filters, are used. The dielectric filter may be used in a reception filter for passing only a necessary signal from a signal coming from the antenna and a transmission filter for passing only a signal to be transmitted to the antenna. Currently, high frequency filters commonly used in mobile communication equipment are classified into high power and low power. For large power, a metal cavity filter using a metal cavity waveguide is mainly used, and for small power, a dielectric filter, a surface acoustic wave filter, and the like are used.
금속 캐비티 필터는 대전력을 송신 및 수신할 수 있고, 송신 및 수신 대역의 삽입손실이 작으며, 저지대역의 감쇄특성이 우수하다. 하지만, 금속 캐비티 필터는 그 크기가 상대적으로 커서, 수십 ~ 수백W(Watt)의 대전력용 통신기기에 주로 응용되고 있다. 따라서, 유전체 도파관 필터를 상기 필터로 이용하면 수W ~ 수백W의 대전력용 통신기기에서 상기 금속 캐비티 필터보다 부품의 크기를 현저하게 줄일 수 있다.The metal cavity filter can transmit and receive large power, has low insertion loss in the transmission and reception bands, and has excellent attenuation characteristics in the stopband. However, the metal cavity filter is relatively large in size, and is mainly applied to high power communication devices of tens to hundreds of watts (Watt). Therefore, when the dielectric waveguide filter is used as the filter, it is possible to significantly reduce the size of the component than the metal cavity filter in the high-power communication device of several W to several hundred W.
도 1은 종래의 TE 모드 유전체 도파관 필터를 나타내는 사시도이다. 도시된 바와 같이, 유전체 필터(10)는 복수개의 리세스된 홈(20)이 양측에 형성되어 있다. 상기 구조는 외부로부터 충격을 받으면 홈(20)에 응력이 집중된다. 응력집중은 유전체 필터를 제조하는 과정이나 상기 필터를 이용하여 모듈을 제작하는 과정에서 그 부분이 파괴되는 등의 손상을 가져올 수 있다. 1 is a perspective view showing a conventional TE mode dielectric waveguide filter. As shown, the
또한, 유전체 필터의 길이 방향에 수직한 다수의 수직홈이 측면에 형성된(리세스 구조의) 형태는 구조의 물리적 특성상 내충격성이 낮아 제조공정 중에 발생하는 충돌이나 외부 기계에 의한 압력에 의해 쉽게 파손되는 단점이 있고, 복잡하고 정밀한 금형을 사용하여 제조되는 단점이 있고, 필터의 특성이 리세스 구조의 물리적 형태에 의해 민감하게 변화하기 때문에 가공공차에 의한 필터의 특성변화가 심하고, 이를 수정하기 위한 반복적인 트리밍(trimming) 작업이 수행되어야 하는 단점이 있다.In addition, the shape (recess structure) formed on the side of a plurality of vertical grooves perpendicular to the longitudinal direction of the dielectric filter has a low impact resistance due to the physical characteristics of the structure, easily damaged by a collision caused during the manufacturing process or pressure by an external machine. There are disadvantages, which are manufactured by using complicated and precise molds, and because the characteristics of the filter are sensitively changed by the physical shape of the recess structure, the characteristics of the filter are severely changed due to processing tolerances. The disadvantage is that repetitive trimming operations must be performed.
상술한 문제점들을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 리세스 구조를 사용하지 않아 높은 내충격성 및 생산성을 갖는 TE 모드 유전체 도파관 필터의 제조방법을 제공하는 것이다. An object of the present invention for solving the above problems is to provide a method of manufacturing a TE mode dielectric waveguide filter having high impact resistance and productivity without using a recess structure.
본 발명의 다른 목적은 복수개의 유전체 공진기를 결합함으로써 특정 필터 특성을 갖게 되는 TE 모드 유전체 도파관 필터의 제조방법 및 본 발명의 제조방법을 이용하여 제조된 TE 모드 유전체 도파관 필터를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method for producing a TE mode dielectric waveguide filter having specific filter characteristics by combining a plurality of dielectric resonators and a TE mode dielectric waveguide filter manufactured using the method of the present invention.
본 발명의 유전체 공진기를 이용한 TE 모드 유전체 도파관 필터의 제조방법에 있어서, (a) 직육면체형의 유전체 공진기의 한 면 또는 대향된 두 면의 일정 영역에 비전도성 물질을 도포하여 마스킹 영역을 형성하는 단계; (b) 상기 직육면체형의 유전체 공진기의 상기 마스킹 영역을 제외한 외면에 전도성 물질을 도포하여 전도층을 형성하는 단계; 및 (c) 둘 이상의 상기 전도층이 형성된 유전체 공진기를 상기 마스킹 영역이 서로 맞닿도록 결합시켜 열처리하는 단계를 포함하여 제조되는 특징을 갖는다.In the method of manufacturing a TE mode dielectric waveguide filter using the dielectric resonator of the present invention, (a) forming a masking region by applying a non-conductive material to a predetermined region of one surface or two opposite surfaces of a rectangular dielectric resonator; ; (b) applying a conductive material to an outer surface of the rectangular dielectric resonator except for the masking region to form a conductive layer; And (c) heat treating the dielectric resonator having the two or more conductive layers formed thereon by coupling the masking regions to be in contact with each other.
상기 (a)단계의 상기 마스킹 영역의 형상은 상기 마스킹 영역이 형성된 유전체 공진기의 가로축 또는 세로축과 동일한 한 변의 길이를 갖는 직사각형인 것이 바람직하다.The shape of the masking region of step (a) is preferably a rectangle having the same length of one side as the horizontal axis or the vertical axis of the dielectric resonator in which the masking region is formed.
상기 (c)단계의 상기 결합은 지르코니아 클램프 가압장치로 수행되는 것이 바람직하다. 맞닿도록 결합된 상기 마스킹 영역이 가압장치에 의한 상기 결합이 이루어진 상태에서 상기 열처리에 의해 소결되어 상기 둘 이상의 유전체 공진기가 물리적 결합강도를 갖게 되는 것이 바람직하며, 상기 열처리는 500 내지 800 ℃의 온도의 산화 분위기에서 수행되는 것이 바람직하다.The coupling of step (c) is preferably performed by a zirconia clamp pressurizing device. Preferably, the masking region coupled to abut is sintered by the heat treatment in the state where the coupling is performed by the press device so that the two or more dielectric resonators have a physical bond strength, and the heat treatment is performed at a temperature of 500 to 800 ° C. It is preferably carried out in an oxidizing atmosphere.
상기 마스킹 영역과 같은 면에 형성되어 상기 열처리 시 서로 맞닿은 전도층이 소결되어 형성된 전도막이 인덕티브 커플링 기능을 하는 특징이 있다.The conductive film formed on the same surface as the masking region and formed by sintering the conductive layers in contact with each other during the heat treatment has an inductive coupling function.
상기 (a)단계의 비전도성 물질은 BaO, TiO2, ZnO계 산화물 또는 이들의 복합 산화물을 포함하는 것이 바람직하다. The non-conductive material of step (a) preferably includes BaO, TiO 2 , ZnO-based oxides or complex oxides thereof.
본 발명의 제조방법은 리세스 구조를 갖지 않고, 유전체 필터 내부에 존재하는 금속막이 인덕티브 커플링 기능을 수행하며, 단순 열처리에 의해 원하는 필터의 설계가 가능하므로, 높은 내충격성을 가지며, 제작 및 대량 생산이 용이하고, 가공공차로 인한 특성의 변동이 작으며, 복잡한 금형을 사용하지 않고 트리밍(trimming) 단계가 불필요하여 제조 단가를 낮출 수 있는 효과가 있다. 또한 본 발명의 제조방법으로 제조된 TE 모드 유전체 도파관 필터는 높은 내충격성을 가지며, 시뮬레이션 필터 특성과 제조된 필터 특성이 매우 유사한 장점이 있으며, 필터 특성을 손쉽게 조절할 수 있는 장점이 있다. The manufacturing method of the present invention does not have a recess structure, the metal film present inside the dielectric filter performs an inductive coupling function, and the desired filter can be designed by simple heat treatment, and thus has a high impact resistance. It is easy to mass-produce, there is little variation in characteristics due to processing tolerances, and there is an effect that the manufacturing cost can be lowered because a trimming step is unnecessary without using a complicated mold. In addition, the TE mode dielectric waveguide filter manufactured by the manufacturing method of the present invention has a high impact resistance, the simulation filter characteristics and the manufactured filter characteristics are very similar advantages, there is an advantage that can easily adjust the filter characteristics.
이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 TE 모드 유전체 도파관 필터 및 그 제조방법을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 도면들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 제시되는 도면들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 또한 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다. Hereinafter, a TE mode dielectric waveguide filter and a method of manufacturing the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The drawings introduced below are provided by way of example so that the spirit of the invention to those skilled in the art can fully convey. Accordingly, the present invention is not limited to the drawings presented below and may be embodied in other forms. Also, like reference numerals denote like elements throughout the specification.
이때, 사용되는 기술 용어 및 과학 용어에 있어서 다른 정의가 없다면, 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 가지며, 하기의 설명 및 첨부 도면에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 설명은 생략한다. At this time, if there is no other definition in the technical terms and scientific terms used, it has a meaning commonly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs, the gist of the present invention in the following description and the accompanying drawings Descriptions of well-known functions and configurations that may be unnecessarily blurred are omitted.
도 2는 본 발명의 제조방법을 도시한 일예로, 도 2를 기반으로 본 발명의 핵심 특징을 설명하고자 한다. Figure 2 is an example showing the manufacturing method of the present invention, it will be described the core features of the present invention based on FIG.
도 2(a) 내지 2(e)에 도시된 바와 같이 본 발명의 유전체 공진기를 이용한 TE 모드 유전체 도파관 필터의 제조방법은 직육면체형의 유전체 공진기(110)의 한 면 또는 대향된 두 면의 일정 영역에 비전도성 물질을 도포하여 마스킹 영역(120, 130, 140)을 형성한 후(도 2(a)), 상기 마스킹 영역(120, 130, 140)을 제외한 외면에 전도성 물질을 도포하여 전도층(210, 220)을 형성한다. 이때, 본 발명의 특성상 유전체 도파관 필터의 양 단부를 형성하는 유전체 공진기는 도 2(a)의 왼쪽에 도시된 도면과 같이 직육면체형의 유전체 공진기(110)의 한 면의 일정영역에 마스킹 영역(120)을 형성하는 것이 바람직하며, 유전체 도파관 필터의 양 단부를 형성하지 않는 유전체 공진기는 도 2(a)의 오른쪽에 도시된 도면과 같이 직육면체형의 유전체 공진기(110)의 대향된 두면의 일정영역에 각각 마스킹 영역(130, 140)을 형성하는 것이 바람직하다. 또한 대향된 두면의 일정영역에 각각 마스킹 영역(130, 140)이 형성된 경우, 두 마스킹 영역(130, 140)은 동일한 위치에 동일한 크기로 형성되는 것이 바람직하다. As shown in FIGS. 2 (a) to 2 (e), a method of manufacturing a TE mode dielectric waveguide filter using the dielectric resonator of the present invention includes a region of one surface or two opposite surfaces of a rectangular-shaped
도 2(a)에서 상기 마스킹 영역(130, 140)의 형태는 상기 마스킹 영역이 형성된 면의 가로축 또는 세로축과 동일한 한 변의 길이를 갖는 직사각형인 것이 바람직하며, 상기 마스킹 영역이 형성된 면의 중심이 서로 일치하도록 제조하여, 대칭성을 갖도록 하는 것이 바람직하다. In FIG. 2A, the
상기 마스킹영역에 사용되는 비전도성 물질은 BaO, TiO2, ZnO계 산화물 또는 이들의 복합산화물을 주원료로 하고, 유전체 공진기간의 물리적 결합강도를 갖기 위해 상기 주원료를 이용하여 제조한 소량의 접합제를 함께 사용하는 것이 바람직하며, 상기 전도층에 사용되는 전도성 물질은 은을 사용하는 것이 바람직하다.The non-conductive material used in the masking region is made of BaO, TiO 2 , ZnO-based oxide or a composite oxide thereof as a main raw material, and a small amount of a binder prepared using the main raw material to have a physical bonding strength of the dielectric resonance period. It is preferable to use together, and it is preferable to use silver as the conductive material used for the conductive layer.
상기와 같이 단면에 마스킹 영역(120)이 형성되고 외면에 전도층(210)이 형성된 유전체 공진기(310) 및 대향되는 두면에 마스킹 영역(130, 140)이 형성되고 외면에 전도층(220)이 형성된 유전체 공진기(320)를 배열 및 열처리하여 원하는 필터 특성을 갖는 TE 모드 유전체 도파관 필터를 제조할 수 있다. As described above, the
바람직하게는, 도 2(c)에 도시된 바와 같이 상기 단면에 마스킹 영역(120)이 형성된 유전체 공진기(310)가 TE 모드 유전체 도파관 필터의 양 단부를 형성하고, 필터의 특성에 따라 하나 이상의 상기 대향되는 두면에 마스킹 영역(130, 140)이 형성된 유전체 공진기(320)를 상기 마스킹 영역이 서로 맞닿도록 배열한 후, 압력을 가하여 유전체 도파관 필터를 위한 구조체를 제조한다. Preferably, as shown in FIG. 2C, the
이때, 상기 단면에 마스킹 영역(120)이 형성된 유전체 공진기(310) 두 개만을 이용하여 상기 마스킹 영역이 서로 맞닿도록 배열하여 유전체 도파관 필터를 위한 구조체(400)를 제조할 수 있으며, 유전체 도파관 필터를 위한 구조체를 형성하는 상기 유전체 공진기(310, 320)의 수는 필터의 특성에 의해 결정되는 것이 바람직하다. In this case, using only two
상기 구조체(400)를 결합시키기 위해 도 2(c)와 같이 마스킹 영역이 서로 맞닿은 면에 압력을 가할 수 있으며, 이를 위해 지르코니아(zirconia) 클램프와 같은 죄는 기구를 사용할 수 있다. In order to couple the
상기 구조체(400)를 지르코니아(zirconia) 클램프와 같은 가압장치에 의해 결합된 상태로 500 내지 800 ℃의 온도의 산화 분위기(공기 중)에서 열처리하여, 상기 (c)단계에 의해 서로 맞닿은 마스킹 영역을 형성하고 있는 세라믹 물질들(비전도성 물질)이 소결되며 높은 물리적 결합 강도를 갖는 TE 모드 유전체 도파관 필터(500)를 얻을 수 있다. The
이때, 상기 (c)단계에 의해 서로 맞닿은 마스킹 영역은 상기 구조체에 높은 물리적 결합강도를 제공함과 동시에, 도 5(e)에 도시된 바와 같이 유전체 필터 내부에 금속막(510, 520, 530, 540)을 형성하게 되므로, 상기 (c)단계에 의해 서로 맞닿은 전도층이 상기 열처리에 의해 소결되며 인덕티브 커플링 기능을 갖는 금속 막(510, 520, 530, 540)이 형성되게 된다. At this time, the masking areas which are in contact with each other by the step (c) provide a high physical bonding strength to the structure and at the same time, as shown in (e) of FIG. ), The conductive layers contacted with each other by the step (c) are sintered by the heat treatment, and the
본 발명의 제조방법을 통해 제조된 TE 모드 유전체 도파관 필터의 내충격성을 비교하기 위해 종래의 리세스 구조를 갖는 유전체 도파관 필터(이하 리세스 구조 필터) 및 본 발명의 TE 모드 유전체 도파관 필터의 자유낙하 시험을 수행하였다. In order to compare the impact resistance of the TE mode dielectric waveguide filter manufactured by the manufacturing method of the present invention, free fall of the dielectric waveguide filter (hereinafter referred to as a recess structure filter) having a conventional recess structure and the TE mode dielectric waveguide filter of the present invention The test was performed.
자유낙하 시험은 1m의 높이에서 목재 바닥으로 시편(본 발명의 TE 모드 유전체 도파관 필터 또는 리세스 구조 필터)을 자유낙하 시켜 파손율을 측정한 것이다. 이때, 단일한 시편 당 3회의 자유낙하 시험을 실시하였으며, 본 발명의 TE 모드 유전체 도파관 필터 50개(50개의 시편) 및 리세스 구조 필터 50개(50개의 시편)를 각각 시험하여 파손율(크랙의 발생률)을 측정하였고, 하기의 표 1에 결과를 정리하였다. The free fall test measures the failure rate by freely dropping a specimen (TE mode dielectric waveguide filter or recess structure filter of the present invention) onto a wooden floor at a height of 1 m. At this time, three free fall tests were performed per single specimen, and 50 TE mode dielectric waveguide filters (50 specimens) and 50 recess structure filters (50 specimens) of the present invention were tested, respectively. Incidence rate) was measured and the results are summarized in Table 1 below.
(표 1)Table 1
상기의 표 1의 결과에서 알 수 있듯이 종래의 방법에 의한 유전체 필터의 손상율은 22%에 달하였으나, 본 발명에 의한 TE 모드 유전체 도파관 필터의 손상율은 4%로 현저하게 감소하였다. 이는 리세스 구조를 갖지 않는 본 발명의 특징에 의해 높은 내충격성(내구성)을 갖게 되는 것이다. 또한 상기의 자유낙하 시험 결과를 통해 (c)단계에 의해 서로 맞닿은 마스킹 영역을 형성하는 세라믹 물질들이 소결되며 높은 물리적 결합 강도를 갖는 TE 모드 유전체 도파관 필터가 얻어짐을 알 수 있다. As can be seen from the results of Table 1, the damage rate of the dielectric filter according to the conventional method reached 22%, but the damage rate of the TE mode dielectric waveguide filter according to the present invention was significantly reduced to 4%. This is to have a high impact resistance (durability) by the feature of the present invention having no recess structure. In addition, it can be seen from the above free fall test results that the ceramic materials forming the masking regions which are in contact with each other by step (c) are sintered to obtain a TE mode dielectric waveguide filter having a high physical bond strength.
본 발명의 제조방법은 상술한 바와 같이 높은 내충격성을 갖는 TE 모드 유전체 도파관 필터를 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 리세스 구조를 갖지 않고, 유전체 필터 내부에 존재하는 금속막이 인덕티브 커플링 기능을 수행하는 TE 모드 유전체 도파관 필터가 제조되므로, 제작 및 대량 생산이 용이하고, 가공공차로 인한 특성의 변동이 작아 시뮬레이션 특성과 제조된 필터의 특성이 매우 유사한 장점이 있으며, 복잡한 금형을 사용하지 않고 트리밍(trimming) 단계가 불필요하여 제조 단가를 낮출 수 있는 장점을 갖게 되며, 필터의 특성에 따라 다수의 직육면체형의 유전체 공진기를 결합시킨 후, 단순 열처리에 의해 원하는 필터 제작이 가능하므로, 필터 특성을 손쉽게 조절할 수 있는 장점을 갖게 된다.The manufacturing method of the present invention can not only obtain a TE mode dielectric waveguide filter having a high impact resistance as described above, but also have a recess structure, and the metal film existing inside the dielectric filter performs an inductive coupling function. Since TE-mode dielectric waveguide filters are manufactured, it is easy to manufacture and mass-produce, and because the variation of the characteristics due to processing tolerances is small, the characteristics of the simulation filter and the manufactured filter are very similar, and trimming is performed without using complicated molds. Since the step is unnecessary, the manufacturing cost can be reduced, and after combining a plurality of rectangular parallelepiped dielectric resonators according to the characteristics of the filter, a desired filter can be manufactured by simple heat treatment, so that the filter characteristics can be easily adjusted. You have the advantage.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 결합수단과 같이 특정된 사항들과 한정된 실시 예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. In the present invention as described above has been described by the specific matters and specific embodiments and the drawings, such as a specific coupling means is provided only to help a more general understanding of the present invention, the present invention is limited to the above embodiments However, various modifications and variations are possible to those skilled in the art to which the present invention pertains.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구 범위뿐 아니라 이 특허청구 범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Accordingly, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and all of the equivalents and equivalents of the claims, as well as the appended claims, will fall within the scope of the present invention. .
도 1은 종래의 리세스 구조를 갖는 유전체 필터의 구조를 도시한 사시도이며, 1 is a perspective view showing the structure of a dielectric filter having a conventional recess structure,
도 2는 본 발명의 제조방법을 도시한 공정도이다. 2 is a process chart showing the manufacturing method of the present invention.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
110 : 직육면체형의 유전체 공진기 120, 130, 140 : 마스킹 영역110: rectangular parallelepiped
210, 220 : 전도층 510, 520, 530, 540 : 금속막210, 220:
Claims (8)
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