KR100931302B1 - 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로유체분배기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 적은수의 제어 유로를 이용하여 다수개의 유체 유로를 선택적으로 제어할 수 있어, uTAS(Micro Total Analysis System)와 같은 집적화된 시스템에서 집적도를 높일 수 있는 마이크로 유체분배기에 대한 것이다.
그 기술적 구성은 미세유체가 유입되어 이동하는 다수개의 유로로 이루어진 유로부; 상기 유로로 유입된 미세유체의 이동여부를 제어하기 위한 압력이 인가되는 2 이상의 제어 유로; 상기 각 제어 유로 상에 마련되어 상기 압력에 의해 상기 유로내의 미세 유체의 흐름을 제어하는 서로 다른 임계압력을 가지는 3개 이상의 밸브;를 포함하되 상기 각 제어 유로상의 밸브는 상기 다수개의 유로 중 특정 유로를 선택할 수 있도록 배열되는 것을 특징으로 한다.
위와 같은 기술적 구성을 통해 본 발명의 마이크로 유체분배기는 집적도를 높일 수 있으며 외부 장비의 단순화를 이룰 수 있어 성능 및 가격면에서 경쟁력을 가질 수 있는 효과가 있다.
유체 밸브, 유체분배기

Description

서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기{HIGH RADIX MICROFLUIDIC MULTIPLEXER USING VALVES OF DIFFERENT OPERATING PRESSURE}
본 발명은 미세 유체가 흐르는 유로와 각 유로에 마련된 밸브를 이용하여 각 유로를 선택적으로 개폐하여 미세 유체를 분배하는 마이크로 유체분배기에 관한 것으로, 각 밸브의 개폐를 제어하기 위해 각 밸브에 연결된 제어 유로에 일정한 압력을 인가하여 각 밸브를 개폐하고 이를 통해 미세 유체를 분배하는 장치에 관한 것이다.
질병 진단이나 생화학 실험에서는 다량의 시료를 고속 처리하는 고속처리기술(HTS: High Throughput Screening)이 중요하다. 이를 위해서는 마이크로칩 상에서 특정유체를 원하는 곳으로 분배하는 유체분배기(Fluidic Multiplexer)에 대한 연구가 필수적이다. 유체분배기의 핵심성능은 최소한의 제어라인(Control Line)을 이용하여 다수의 유로를 제어하는 것인데, 특히 우수한 재현성을 보이는 유압 유체분배기의 경우, 제어라인으로 유압을 전달하는 제어 유로를 사용하게 되는데, 밸브 의 수가 늘어남에 따라서 제어 유로와 이를 외부를 연결하는 포트의 수가 모두 늘어나는 문제점을 가지고 있다. 포트 수의 증가는 칩이 집적도를 낮추고, 칩과 외부장비와의 접속 불량률을 높이고, 칩과 연결되는 외부장비의 복잡도를 높이는 문제점을 가지고 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브가 임계압력을 기준으로 순차적으로 배열된 적은수의 제어 유로를 이용하여 다수개의 유체 유로를 제어할 수 있는 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 임계압력이 다른 두 종류의 밸브가 설치된 제어 유로 N개로 유로를 단속하여 3 N /2개의 유체 유로를 제어할 수 있는 고효율 3진 유체분배기를 제안한다. 더 나아가서, 본 발명은 임계압력이 다른 V개 종류의 밸브가 설치된 제어 유로 N개를 사용할 경우, (V+1) N /2개의 유체 유로를 제어할 수 있어 더 높은 효율을 가진 유체분배기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브들이 설치된 한 쌍의 제어 유 로가 임계압력이 다른 V개 밸브의 종류로, (V+1)개의 미소 유로를 개별적으로 제어할 수 있도록 이루어지며, 유체가 이동하는 다수의 유체 유로와, 상기 유체 유로를 개폐하기 위한 임계압력이 전달되는 제어 유로와, 상기 제어 유로에 마련된 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브와, 각 밸브에는 상기 유체 유로 및 상기 제어 유로 간에 형성된 박막이 포함되고, 단위 유체분배기는 각 밸브를 임계압력을 기준으로 각각 오름차순과 내림차순으로 배열한 한 쌍의 제어 유로를 이용하여 유체 유로를 제어할 수 있고, 다단 유체분배기는 다수의 단위 유체분배기를 직렬 및 병렬로 연결하여 제어 가능한 유체 유로의 수를 확장할 수 있도록 이루어진다.
이상에서 설명한 바와 같이 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명은 서로 다른 임계압력을 가지는 제어 유로 1쌍을 이용한 단위 유체분배기로 다수개의 유체 유로를 선택적으로 제어할 수 있으며, 다단 유체분배기는 상기 단위 유체분배기를 직렬 및 병렬로 연결하여 제어할 수 있는 유체 유로의 수를 기하급수적으로 증가시킬 수 있고, 제어 유로의 수를 감소로 인해 uTAS(Micro Analysis System)와 같은 집적화된 시스템에서 집적도를 높이고 외부 장비의 단순화를 가져올 수 있어, 성능 및 가격 면에서 경쟁력을 가질 수 있는 효과를 거둘 수 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 미세유체가 유입되어 이동하는 다수개의 유로로 이루어진 유로부; 상기 유로로 유입된 미세유체의 이동여부를 제어하기 위한 압력이 인가되는 2 이상의 제어 유로; 상기 각 제어 유로 상에 마련되어 상기 압력에 의해 상기 유로내의 미세 유체의 흐름을 제어하는 서로 다른 임계압력을 가지는 3개 이상의 밸브를 포함하되 상기 각 제어 유로상의 밸브는 상기 다수개의 유로 중 특정 유로를 선택할 수 있도록 배열되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 각 제어 유로마다 3개 이상의 밸브가 마련되고, 같은 제어 유로 상에 마련된 밸브들은 서로 다른 임계압력을 가지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 각 제어 유로 상에 마련된 밸브는 다수개의 유로 중 특정유로를 선택할 수 있도록 임계압력을 기준으로 순차적으로 배열되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 쌍을 이루는 각 제어 유로에 마련되는 밸브는 임계압력을 기준으로 어느 한 제어 유로는 오름차순으로, 다른 제어 유로는 내림차순으로 배열되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 각 유로 상에 마련되는 밸브는 각 유로별로 쌍을 이루어 이동 재배치 할 수 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 밸브는 상기 유로부의 각 유로와 제어 유로가 교차되는 부분에 마련되고, 상기 밸브의 면적을 달리하여 각 밸브의 임계압력을 조절하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 밸브의 임계압력은 상기 교차되는 지점에서의 각 밸브를 이루는 박막의 두께를 달리하여 조절하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 밸브의 면적 또는 박막의 두께를 조절하기 위해 상기 밸브가 마련된 각 제어 유로의 면적 또는 박막의 두께를 연속적으로 증가 또는 감소하도록 조절하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 밸브의 임계압력은 상기 교차되는 지점에서의 각 유로의 수직방향의 깊이를 달리하여 조절하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 밸브의 임계압력은 상기 교차되는 지점에서 각 밸브를 이루는 막의 물성을 달리하여 조절하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 각 제어 유로에는 상기 다수개의 유로 중 특정 유로를 선택하기 위해 서로 다른 일정한 압력을 인가하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 각 제어 유로에는 상기 다수개의 유로 중 특정 유로를 선택하기 위해 일정한 압력을 인가/해제하되, 인가/해제의 펄스폭을 각각 서로 달리하여 인가하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 각 제어 유로에는 상기 다수개의 유로 중 특정 유로를 선택하기 위해 일정한 압력을 인가/해제하되, 각각 서로 다른 주기로 인가/해제하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 유체분배기를 직병렬로 연결하여, 임계압력이 다른 V개 종류의 밸브가 설치된 제어 유로 N개를 이용하여, (V+1)N/2개의 유체 유로를 제어하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 예시도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기를 개략적으로 도시한 평면도 및 단면도이다. 도면에서 도시하고 있는 바와 같이, 본 발명에 의한 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기(1)는 유입부(70)를 통하여 유체를 입력한다.
그리고 나서, 유로의 면적을 변화시켜 유체 유로에 설치된 제1 제어 유로(31)로 일정 압력을 가하면, 상기 제1 제어 유로(31)상에 마련된 임계압력이 저압인 저압 밸브(11) 및 임계압력이 고압인 고압 밸브(13)로 압력이 인가된다.
인가된 압력에 따라 저압 밸브(11) 및 고압 밸브(13)가 선택적으로 개폐될 수 있는데 그 이유는, 동일한 압력이 상기 제1 제어 유로(31)에 인가되더라도, 상기 저압 밸브(11)의 면적이 상기 고압 밸브(13)의 면적보다 상대적으로 크기 때문에, 동일한 압력을 주었을 때, 각 밸브를 이루는 면적에 가해지는 힘은 상기 고압 밸브(13)보다 상기 저압 밸브(11)에 상대적으로 큰 힘이 가해진다.
따라서 저압 밸브(11)는 상대적으로 적은 임계압력에도 동작하며 저압 밸브(11)가 동작함에 따라 저압 밸브(11)가 설치된 유로는 폐쇄된다. 또한, 고압 밸브(13)가 동작하는 경우 동일 제어 유로(31)에 설치된 저압 밸브(11)도 동작하여 두 밸브가 설치된 유로가 모두 폐쇄된다.
본 발명의 실시예에서는 상기 제1 제어 유로(31)의 폭이 50μm 이고, 상기 저압 밸브(11)의 폭 및 길이가 120μm 이며, 상기 고압 밸브(13)의 폭 및 길이가 150μm 이기 때문에, 도면에서 도시된 바와 같이, 동일한 압력이 인가되는 경우에도 폭 및 길이에 따른 박막의 면적이 달라 밸브의 임계압력이 각각 다르게 된다.
그리고, 상기 폭 및 길이를 조절하여 저압 밸브(11) 및 고압 밸브(13)의 임계압력을 이산적으로 변화시킬 수 있으며, 상기 임계압력에 따라 제1 배출부(51), 또는 제2 배출부(52) 또는 제3 배출부(53)가 선택되게 된다.
예를 들면, 인가 압력이 낮은 경우에는 상기 고압 밸브(13)가 작동되지 않고, 이에 따라 제1 배출부(51)와 제2 배출부(52)으로만 유체가 출력되게 되며, 인가 압력이 높은 경우에는 저압 밸브(11) 및 고압 밸브(13)가 모두 작동하여 제1 배출부(51)로만 유체가 출력된다.
도 2는 본 발명에 따른 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기의 실시예를 도시한 평면도 및 단면도이다. 도면에서 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기(1)는 제1 제어 유로(31)와, 상기 고압 밸브(13)와, 저압 밸브(11)가 미세 유로의 폭이 선형적으로 증가시켜 밸브를 구성하는 박막의 면적이 증가하도록 이루어진다.
그리고, 본 발명의 실시예에서는 제1 제어 유로(31)가 50μm 에서 그 폭이 선형적으로 증가하는데, 150μm 의 폭을 가지는 저압 밸브(11)까지 그 폭이 단차지게 형성되지 않고, 선형적으로 증가하도록 형성된다.
여기서, 상기 제1 제어 유로(31)와, 저압 밸브(11)와, 고압 밸브(13)의 폭은 각각의 밸브의 임계압력에 따라 변경가능하다.
도 3은 본 발명에 따른 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기에 임계압력을 기준으로 출구를 선택하는 실시예를 도시한 평면도 및 단면도이다. 도면에서 도시하고 있는 바와 같이, 본 발명에 의한 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 상기 제1 제어 유로(31)에 임계압력을 기준으로 내림차순으로 형성된다.
즉, 제1 제어 유로(31)의 폭이 가장 작고, 그 다음으로 고압 밸브(13)가 120μm의 폭과 길이를 가지며 형성되고, 그 다음으로 저압 밸브(11)가 150μm의 폭과 길이를 가지며 형성되며, 이에 따라 유입구(70)로부터 유체가 유입되고, 인가 압력이 약하게 입력되는 경우에는 상기 저압 밸브(11)가 설치된 유로(53)가 폐쇄되어 그 유로(53)으로는 유체가 출력되지 않는다.
반대로, 상기 유입구(70)로부터 유체가 유입되고, 인가 압력이 강하게 입력되는 경우에는 상기 저압 밸브(11) 및 고압 밸브(13)로 입력된 유체가 출력되지 못하도록 상기 고압 밸브(13) 및 저압 밸브(11)가 폐쇄될 수 있다.
여기서, 상기 제1 제어 유로(31)와, 저압 밸브(11)와, 고압 밸브(13)의 폭은 각각의 밸브의 개폐 압력에 따라 변경가능하다.
한편, 본 발명에 의한 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기(1)의 상기 제2 제어 유로(33)에는 각 밸브가 입력된 임계압력을 기준으 로 오름차순으로 형성된다.
즉, 제2 제어 유로(33)의 폭이 가장 작고, 그 다음으로 고압 밸브(13)가 120μm의 폭과 길이를 가지며 형성되고, 그 다음으로 저압 밸브(11)가 150μm의 폭과 길이를 가지며 형성되며, 이에 따라 유입구(70)로부터 유체가 유입되고, 인가 압력이 약하게 입력되는 경우에는 상기 고압 밸브(13)로 입력된 유체가 출력되도록 상기 고압 밸브(13) 및 밸브가 없는 유로(53)가 개방될 수 있다.
반대로, 상기 유입구(70)로부터 유체가 유입되고, 인가 압력이 강하게 입력되는 경우에는 상기 저압 밸브(11) 및 고압 밸브(13)로 입력된 유체가 출력되지 못하도록 상기 고압 밸브(13) 및 저압 밸브(11)가 폐쇄될 수 있다.
여기서, 상기 제1 제어 유로(31)와, 저압 밸브(11)와, 고압 밸브(13)의 폭은 각각의 밸브의 개폐 압력에 따라 변경가능하다.
덧붙여서, 본 실시예에 따른 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기(1)는 임의로 배출부를 선택할 수 있도록 이루어진다.
도 4 내지 도 5내지 도 6은 본 발명에 따른 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기의 배출부를 제어하는 실시예를 도시한 평면도이다. 도면에서 도시하고 있는 바와 같이, 본 발명에 의한 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기(1)는 배출구를 제어하도록 이루어진다.
여기서, 임계압력이 다른 두 종류의 밸브를 한 쌍의 제어 유로에 설치하여, 3 개의 배출구(51, 52, 53)를 제어하는데, 한 쌍의 제어 유로(31, 33)에 압력을 선 택적으로 인가하여 3 개의 배출구(51, 52, 53) 중 임의로 하나를 선택할 수 있도록 이루어진다.
도 4와 같이, 제 1 제어 유로(31)에 높은 압력을 인가하여 상기 제 1 제어 유로(31)에 연결된 저압 밸브(11)와 고압 밸브(13)를 모두 닫고 제 2 제어 유로(33)에는 압력을 인가하지 않아 상기 제 2 제어 유로(33)에 연결된 저압 밸브(11)와 고압 밸브(13)를 모두 열면, 제 1 배출구(51)를 선택할 수 있다.
도 5와 같이, 제 1 제어 유로(31)에 낮은 압력을 인가하여 상기 제 1 제어 유로(31)에 연결된 저압 밸브(11)만을 닫고 제 2 제어 유로(33)에는 낮은 압력을 인가하여 상기 제 2 제어 유로(33)에 연결된 저압 밸브(11)만을 닫아, 제 2 배출구(52)를 선택할 수 있다.
도 6과 같이, 제 1 제어 유로(31)에 압력을 인가하지 않아 상기 제 1 제어 유로(31)에 연결된 저압 밸브(11)와 고압 밸브(13)를 모두 열고 제 2 제어 유로(33)에는 높은 압력을 인가하여 상기 제 2 제어 유로(33)에 연결된 저압 밸브(11)와 고압 밸브(13)를 모두 닫으면, 제 3 배출구(53)를 선택할 수 있다.
도 7은 본 발명에 따른 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기의 배출부를 제어하는 일 실시예를 도시한 평면도이다. 도면에서 도시하고 있는 바와 같이, 본 발명에 의한 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기(1)는 다수개의 제어 유로(31, 33, 35, 37)를 가진다.
그리고, 다수개의 제어 유로(31, 33, 35, 37)에 인가되는 압력에 따라, 9 개의 배출구(51, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59) 중 하나를 선택할 수 있도록 이루 어진다. 예를 들면, 제1 제어 유로(31)에 높은 압력을 인가하여 상기 제 1 제어유로(31)에 연결된 고압 밸브와 저압밸브를 모두 닫고 제 2 제어 유로(33)에 압력을 인가하지 않아 제 1 배출구(51), 제 2 배출구(52), 제 3 배출구(53)만을 연다. 그리고 제3 제어 유로(35)에 낮은 압력을 인가하여 상기 제 3 제어유로(35)에 연결된 저압 밸브만을 닫고 제 4 제어 유로(37)에 낮은 압력을 인가하여 제 4 제어유로(37)에 연결된 저압 밸브만을 닫아 제 2 배출구(52),제 5배출구(55), 제 8 배출구(58)만 연다. 이때 동시에 열리는 배출구인 제 2 배출구(52)만 선택되어 유입구(70)의 유체가 제 2 배출구(52)로만 흐르게 된다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이 같은 특정 실시 예에만 한정되지 않으며 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 특허 청구 범위 내에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경이 가능할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기를 개략적으로 도시한 평면도 및 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기의 실시예를 도시한 평면도 및 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기에 임계압력을 기준으로 출구를 선택하는 실시예를 도시한 평면도 및 단면도.
도 4 내지 도 5내지 도 6은 본 발명에 따른 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기의 배출부를 제어하는 실시예를 도시한 평면도.
도 7은 본 발명에 따른 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기의 배출부를 제어하는 일 실시예를 도시한 평면도.
<도면의 주요 부분에 대한 도면 부호의 간단한 설명>
1: 서로 다른 임계압력을 가지는 밸브를 이용한 마이크로 유체분배기
11: 저압 밸브 13: 고압 밸브
31: 제1 제어 유로 33: 제2 제어 유로
35: 제3 제어 유로 37: 제4 제어 유로
51: 제1 배출부 52: 제2 배출부
53: 제3 배출부 54: 제4 배출부
55: 제5 배출부 56: 제6 배출부
57: 제7 배출부 58: 제8 배출부
59: 제9 배출부 70: 유입부

Claims (14)

  1. 미세유체가 유입되어 이동하는 다수개의 유로로 이루어진 유로부;
    상기 유로로 유입된 미세유체의 이동여부를 제어하기 위한 압력이 인가되는 2 이상의 제어 유로;
    상기 각 제어 유로 상에 마련되어 상기 압력에 의해 상기 유로내의 미세 유체의 흐름을 제어하는 서로 다른 임계압력을 가지는 3개 이상의 밸브;를 포함하되
    상기 각 제어 유로 상의 밸브는 상기 압력에 따라 선택적으로 개폐 동작하여 상기 다수개의 유로 중 적어도 하나 이상의 유로를 개방시킬 수 있도록 배열되는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체분배기.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 각 제어 유로마다 3개 이상의 밸브가 마련되고, 같은 제어 유로 상에 마련된 밸브들은 서로 다른 임계압력을 가지는 것을 특징으로 마이크로 유체분배기.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 각 제어 유로 상에 마련된 밸브는 다수개의 유로 중 적어도 하나 이상의 유로를 개방시킬 수 있도록 임계압력을 기준으로 순차적으로 배열되는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체분배기.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어 유로는 적어도 하나 이상의 쌍을 이루며 상기 유로부의 모든 유로를 거치도록 배열되고,
    상기 쌍을 이루는 각 제어 유로에 마련되는 밸브는 임계압력을 기준으로 어느 한 제어 유로는 오름차순으로, 다른 제어 유로는 내림차순으로 배열되는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체분배기.
  5. 청구항 4항에 있어서,
    상기 각 유로 상에 마련되는 밸브는 각 유로별로 쌍을 이루어 이동 재배치 할 수 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체분배기.
  6. 청구항 1항에 있어서,
    상기 밸브는 상기 유로부의 각 유로와 제어 유로가 교차되는 부분에 마련되고,
    상기 각 밸브를 이루는 박막의 면적을 달리하여 각 밸브의 임계압력을 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체분배기.
  7. 청구항 1항에 있어서,
    상기 밸브는 상기 유로부의 각 유로와 제어 유로가 교차되는 부분에 마련되고,
    상기 밸브의 임계압력은 상기 교차되는 지점에서의 각 밸브를 이루는 박막의 두께를 달리하여 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체분배기.
  8. 청구항 6 내지 청구항 7에 있어서,
    상기 밸브의 면적 또는 막두께를 조절하기 위해 상기 밸브가 마련된 각 제어 유로의 면적 또는 막두께를 연속적으로 증가 또는 감소하도록 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체분배기.
  9. 청구항 1항에 있어서,
    상기 밸브는 상기 유로부의 각 유로와 제어 유로가 교차되는 부분에 마련되고,
    상기 밸브의 임계압력은 상기 교차되는 지점에서의 각 유로의 수직방향의 깊이를 달리하여 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체분배기.
  10. 삭제
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 각 제어 유로에는 상기 다수개의 유로 중 적어도 하나 이상의 유로를 개방시키기 위해 서로 다른 일정한 압력을 다수의 제어유로에 인가하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체분배기.
  12. 삭제
  13. 청구항 1에 있어서,
    상기 각 제어 유로에는 상기 다수개의 유로 중 적어도 하나 이상의 유로를 개방시키기 위해 일정한 압력을 인가/해제하되, 각각 서로 다른 주기로 인가/해제하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체분배기.
  14. 청구항 1에 있어서,
    상기 유체분배기를 직병렬로 연결하여, 임계압력이 다른 V개 종류의 밸브가 설치된 제어 유로 N개를 이용하여, (V+1) N /2개의 유체 유로를 제어하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체분배기.
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