KR100930071B1 - Polarization dependent loss reference device and manufacturing method - Google Patents

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Abstract

본 발명은 편광의존손실 기준 소자 및 그 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 광섬유의 광학 원리를 이용하여 기판 및 상기 기판에 부착된 광섬유의 클래딩을 일정량 연마하고 그 위에 금속을 코팅함으로써, 손쉽게 특정 기준값을 갖는 편광의존손실 기준 소자를 제조할 수 있으며, 편광의존손실 측정기의 정상 작동 여부 판단 및 그 교정을 수행하는데 요구되는 편광의존손실 기준 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a polarization dependent loss reference device and a method for manufacturing the same, and more particularly, by using a principle of optical fiber, polishing a certain amount of cladding of a substrate and an optical fiber attached to the substrate and coating a metal thereon, thereby easily specifying The present invention relates to a polarization dependent loss reference device having a reference value, and to a polarization dependent loss reference device required for determining whether a polarization dependent loss measuring device is normally operated and performing a calibration thereof.

이를 위해, for teeth,

상부에 소정 깊이 및 곡률반경을 갖는 홈이 형성된 기판;A substrate on which a groove having a predetermined depth and a radius of curvature is formed;

상기 기판의 홈에 부착되며, 클래딩이 소정 깊이만큼 연마된 광섬유;An optical fiber attached to a groove of the substrate and whose cladding is polished to a predetermined depth;

상기 기판 및 광섬유 상에 형성되어 상기 광섬유를 진행하는 빛의 에바네슨트파에 편광의존손실을 유도하는 금속층;A metal layer formed on the substrate and the optical fiber to induce a polarization dependent loss of an evanescent wave of light traveling through the optical fiber;

을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 편광의존손실 기준 소자를 제공한다.It provides a polarization dependent loss reference element, characterized in that configured to include.

편광의존손실, 편광의존손실 측정기, 에바네슨트파, 오일 드롭 테스트, Polarization dependent loss, PDL, PDL reference device, PDL reference material, PDL meter, Evanescent wave, Oil drop test.  Polarization dependent loss, polarization dependent loss meter, evanescent wave, oil drop test, Polarization dependent loss, PDL, PDL reference device, PDL reference material, PDL meter, Evanescent wave, Oil drop test.

Description

편광의존손실 기준 소자 및 그 제조방법 {Device For Polarization Dependent Loss Reference And Method Thereof}Polarization dependent loss reference device and manufacturing method {Device For Polarization Dependent Loss Reference And Method Thereof}

본 발명은 편광의존손실 측정의 기준을 제공하고 편광의존손실 측정기의 올바른 작동 여부를 파악하기 위한 편광의존손실 기준 소자 및 그 제조방법에 대한 것이다.The present invention relates to a polarization dependent loss reference device and a method of manufacturing the same to provide a criterion for measuring the polarization dependent loss and to determine whether the polarization dependent loss measuring device is properly operated.

일반적으로, 초고속 광대역 광통신 분야에서 광통신 소자의 편광의존손실(Polarization dependent loss)은 광전송 신호의 비트오율(bit error rate)을 증가시켜 통신의 품질을 저하시키는 주요한 요인이다.In general, polarization dependent loss of an optical communication device in the field of ultra-high speed broadband optical communication is a major factor that decreases the communication quality by increasing the bit error rate of the optical transmission signal.

따라서, 광통신 장치에 사용되는 모든 광통신 소자들은 편광의존손실이 일정량 이하(규격 이하)가 되도록 관리되어야 하며, 이를 판단하기 위한 편광의존손실 측정기가 현재 사용되고 있다.Therefore, all optical communication elements used in the optical communication device should be managed so that the polarization dependent loss is equal to or less than a predetermined amount (below the specification), and the polarization dependent loss measuring device for determining this is currently used.

상기와 같은 목적의 편광의존손실 측정기가 광통신 소자의 편광의존손실을 올바르게 측정하고 있는지 여부를 확인하기 위하여, 특정값의 편광의존손실을 갖는 편광의존손실 기준 소자의 개발이 요구되나, 현재 이러한 소자 개발이 국내에서 상용화되지 않아 편광의존손실 측정기의 정상 작동 여부를 파악하는데 많은 문제점이 있었다.In order to confirm whether the polarization dependent loss measuring instrument for the above purpose is measuring the polarization dependent loss of the optical communication device correctly, it is required to develop a polarization dependent loss reference device having a polarization dependent loss of a specific value. Since it is not commercially available in Korea, there are many problems in determining whether the polarization dependent loss measuring device operates normally.

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 오일 드롭 테스트(oil drop test)를 이용하여 광섬유의 연마 정도를 결정한 후 그 위에 금속을 코팅함으로써 특정값의 편광의존손실을 갖는 기준 소자를 제공하여, 편광의존손실 장치의 정상 작동 여부를 판단하고 다양한 광통신 연구 개발에 사용되도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above, by determining the degree of polishing of the optical fiber using an oil drop test (oil drop test) to provide a reference device having a specific value of the polarization dependent loss by coating a metal thereon. The purpose of this is to determine whether the polarization dependent loss device is normally operated and to be used in various optical communication research and development.

상기와 같은 본 발명 평광의존손실 기준 소자는,The flat light loss loss reference device of the present invention as described above,

상부에 소정 깊이 및 곡률반경을 갖는 홈이 형성된 기판;A substrate on which a groove having a predetermined depth and a radius of curvature is formed;

상기 기판의 홈에 부착되며, 클래딩이 소정량 연마된 광섬유;An optical fiber attached to a groove of the substrate and having a predetermined amount of cladding polished;

상기 기판 및 광섬유 상에 형성되어 상기 광섬유를 진행하는 빛의 에바네슨트파에 편광의존손실을 유도하는 금속층;A metal layer formed on the substrate and the optical fiber to induce a polarization dependent loss of an evanescent wave of light traveling through the optical fiber;

을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Characterized in that comprises a.

특히, 상기 기판 상부에 형성된 홈의 깊이는,In particular, the depth of the groove formed on the substrate,

상기 기판의 홈에 부착되는 광섬유 클래딩 반경과 코어의 반경을 더한 값에 3 ㎛ 내지 5 ㎛ 을 더한 값인 것을 특징으로 한다.The optical fiber cladding radius attached to the groove of the substrate and the radius of the core are added to 3 μm to 5 μm.

또한, 상기 광섬유 클래딩의 연마량은, 상기 편광의존손실 기준 소자가 특정 편광의존손실값을 갖도록 오일 드롭 테스트에 의하여 결정되는 것을 특징으로 한 다.In addition, the polishing amount of the optical fiber cladding is characterized by the oil drop test so that the polarization dependent loss reference element has a specific polarization dependent loss value.

또한, 상기 오일은 상기 광섬유의 유효굴절률보다 큰 굴절률을 갖는 것을 특징으로 한다.In addition, the oil is characterized in that it has a refractive index larger than the effective refractive index of the optical fiber.

또한, 상기 금속층은 은(Ag), 금(Au), 알루미늄(Al) 중 어느 하나로 구성되며, 그 두께는 100 nm 내지 500 nm 인 것을 특징으로 한다.In addition, the metal layer is composed of any one of silver (Ag), gold (Au), aluminum (Al), the thickness is characterized in that the 100 nm to 500 nm.

또한, 상기 금속층 상에 형성되는 유전체 보호층 또는 에폭시층을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, it characterized in that it further comprises a dielectric protective layer or an epoxy layer formed on the metal layer.

한편, 본 발명의 또 다른 태양인 편광의존손실 기준소자 제조 방법은,On the other hand, another method of manufacturing a polarization dependent loss reference device of the present invention,

(a) 기판 상에 소정 깊이 및 곡률반경을 갖는 홈을 형성하는 단계;(a) forming a groove having a predetermined depth and a radius of curvature on the substrate;

(b) 상기 기판 상의 홈에 광섬유 클래딩을 부착시키는 단계;(b) attaching an optical fiber cladding to the groove on the substrate;

(c) 상기 광섬유 클래딩 및 기판의 표면을 소정량 연마하는 단계;(c) polishing a predetermined amount of surfaces of the optical fiber cladding and the substrate;

(d) 상기 연마된 기판 및 광섬유 클래딩 상에 상기 광섬유를 진행하는 빛의 에바네슨트파에 편광의존손실을 유도하는 금속층을 형성하는 단계;(d) forming a metal layer on the polished substrate and the optical fiber cladding to induce a polarization dependent loss in an evanescent wave of light traveling through the optical fiber;

를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Characterized in that comprises a.

특히, 상기 (a) 단계의 기판 상의 홈의 깊이는, In particular, the depth of the groove on the substrate of step (a),

상기 기판의 홈에 부착되는 광섬유 클래딩 반경과 코어의 반경을 더한 값에 3 ㎛ 내지 5 ㎛을 더한 값인 것을 특징으로 한다.The optical fiber cladding radius attached to the groove of the substrate and the radius of the core are added to 3 μm to 5 μm.

또한, 상기 (d) 단계의 금속층은,In addition, the metal layer of the step (d),

은(Ag), 금(Au), 알루미늄(Al) 중 어느 하나로 구성되며, 100 nm 내지 500 nm의 두께로 형성하는 것을 특징으로 한다.It is composed of any one of silver (Ag), gold (Au), aluminum (Al), characterized in that formed to a thickness of 100 nm to 500 nm.

또한, 상기 (c) 단계의 연마량은, In addition, the polishing amount of the step (c),

상기 기준 소자가 특정 편광의존손실값을 갖도록 오일 드롭 테스트에 의하여 결정되는 것을 특징으로 한다.The reference element is characterized by the oil drop test to have a specific polarization dependent loss value.

상기와 같은 본 발명 편광의존손실 기준 소자 및 그 제조방법에 의하면,According to the present invention polarization dependent loss reference element as described above and a manufacturing method thereof,

첫째 손쉽게 특정 기준값을 갖는 편광의존손실 기준 소자를 제조할 수 있으며,First, it is easy to manufacture a polarization dependent loss reference device having a specific reference value.

둘째, 오일 드롭 테스트를 이용하여 연마된 정도를 파악함으로써 상기 기준값을 자유롭게 조절할 수 있고,Second, the reference value can be freely adjusted by grasping the degree of grinding using the oil drop test,

셋째, 상기 편광의존손실 기준 소자를 이용하여 편광의존손실 측정기의 정상 작동 여부의 판단 및 그 교정을 수행할 수 있으며,Third, by using the polarization dependent loss reference element, it is possible to determine whether the polarization dependent loss measuring device is normally operated and to perform calibration thereof.

넷째, 다양한 종류의 광통신 연구 개발 시 편광의존손실과 관련된 모의 실험에 상기 소자를 사용하여 실험할 수 있으므로, 상당한 상업적·경제적 효과가 기대된다.Fourth, since the device can be used for simulation of polarization dependent loss in various types of optical communication research and development, considerable commercial and economic effects are expected.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, “포함하다” 또는 “가 지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들의 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. A singular expression includes a plural expression unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms “comprise” or “having” are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more. It is to be understood that it does not exclude in advance the possibility of the presence or addition of other features or numbers, steps, operations, components, components or combinations thereof.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 편광의존손실 기준 소자의 제조방법에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a polarization dependent loss reference device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1에 도시된 바와 같이, 광섬유(200)를 부착하기 위한 기판(substrate, 100)을 제조한다. 상기 기판(100)은 재킷(피복선, 202)을 벗긴 광섬유(200)를 심을 수 있도록 홈(103)을 포함하여 구성되며, 부착되는 광섬유가 휘어져서 상기 광섬유의 일정 부분만이 연마될 수 있도록 소정의 곡률 반경(radius of curvature, 106)을 갖도록 제작된다. As shown in FIG. 1, a substrate 100 for attaching the optical fiber 200 is manufactured. The substrate 100 includes a groove 103 to plant the optical fiber 200 stripped of the jacket (coated line 202), and the predetermined optical fiber is bent so that only a portion of the optical fiber can be polished. It is designed to have a radius of curvature (106) of.

이때, 상기 기판(100)의 재질은 광섬유 클래딩(201)과 비슷한 강도를 가짐으로써, 하기에서 설명할 광섬유 클래딩(201) 연마시 클래딩(201)과 유사한 연마율로 연마될 수 있는 재질이어야 한다.In this case, the material of the substrate 100 should have a strength similar to that of the optical fiber cladding 201, so that the substrate 100 may be polished at a polishing rate similar to that of the cladding 201 when the optical fiber cladding 201 will be described below.

또한, 기판(100)의 홈의 깊이(107)는 기판(100)에 광섬유(200)를 부착시킨 상태에서 광섬유 클래딩(201)이 기판의 표면 위로 일정부분 나오도록(300) 하는 것이 바람직하며, 이때 나오는 정도는 광섬유 코어와 클래딩의 경계면이 기판 표면 아래로 3 ㎛ 내지 5 ㎛들어가도록 하는 정도가 바람직하다. 더욱 바람직한 실시 예로서, 광섬유의 직경이 0.125 mm 인 경우, 홈의 깊이는 70 ㎛ 내지 72 ㎛ 정도가 되도록 할 수 있다. In addition, the depth 107 of the groove of the substrate 100 is preferably such that the optical fiber cladding 201 comes out a predetermined portion over the surface of the substrate in a state where the optical fiber 200 is attached to the substrate 100, In this case, it is preferable that the interface between the optical fiber core and the cladding is 3 탆 to 5 탆 below the substrate surface. In a more preferred embodiment, when the diameter of the optical fiber is 0.125 mm, the depth of the groove can be about 70 ㎛ to 72 ㎛.

또한, 상기 기판(100)의 가로(101) 및 세로(102)길이는 부착될 광섬유(200)의 크기를 고려하여 결정하며, 상기 기판의 두께(105)는 형성되는 홈의 깊이(107)를 고려하여 결정한다.In addition, the length 101 and the length 102 of the substrate 100 are determined in consideration of the size of the optical fiber 200 to be attached, and the thickness 105 of the substrate determines the depth 107 of the groove to be formed. Decide by considering.

일 실시 예로서, 상기 기판(100)은 실리콘 산화물(SiO2) 재질로 구성되며, 가로(101) 2cm, 세로(102) 1 cm, 두께(105) 0.5 cm, 홈의 폭(104) 0.13 mm, 곡률 반경(106) 25 cm 를 갖도록 제작될 수 있다.In one embodiment, the substrate 100 is made of a silicon oxide (SiO 2 ) material, the horizontal 101 2cm, vertical 102 1cm, thickness 105 0.5cm, groove width 104 0.13 mm , The radius of curvature 106 can be manufactured to have a 25 cm.

상기와 같은 방법으로 기판(100)을 제조한 후, 도 2에 도시된 바와 같이 제작된 기판의 홈(103)에 광섬유(200)를 부착한다. 또한, 도 3에 도시된 바와 같이 부착된 광섬유의 윗 부분이 기판보다 약간 더 나오도록(300) 홈의 깊이(107)를 설정한다.After manufacturing the substrate 100 in the same manner as above, the optical fiber 200 is attached to the groove 103 of the substrate as shown in FIG. Also, as shown in FIG. 3, the depth 107 of the groove is set such that the upper portion of the attached optical fiber is slightly larger than the substrate 300.

광섬유를 부착한 다음, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 기판(100)의 상부 및 부착된 광섬유 클래딩(201)의 상부를 일정량 연마한다. 연마 진행 후 광섬유의 클래딩 표면에는 타원형 연마면(400)이 나타나게 된다. After attaching the optical fiber, as shown in FIG. 4, the upper portion of the substrate 100 and the upper portion of the attached optical fiber cladding 201 are polished to a certain amount. After polishing, an oval polishing surface 400 appears on the cladding surface of the optical fiber.

이하, 도 5를 참조하여 상기 연마량에 대하여 설명한다. Hereinafter, the polishing amount will be described with reference to FIG. 5.

연마의 정도는 광섬유의 유효굴절률보다 큰 굴절률을 갖는 오일(500)을 연마표면에 떨어뜨려 광섬유(200)를 투과한 빛(502)의 손실을 측정하여 결정한다(오일 드롭 테스트, oil drop test). 바람직한 실시 예로서, 일반 통신용 단일모드 광섬유에 대하여 굴절률(nd)이 1.464 인 오일(500)을 사용하며, 상기 오일 드롭 테스트에 의한 광손실이 1 내지 10 dB 이 되도록 상기 광섬유 클래딩(201) 및 기판(100) 의 표면을 연마한다. 이때, 오일 드롭 테스트에 의한 광손실값을 측정하며 연마량을 결정함으로써, 특정 기준값을 갖는 편광의존손실 기준 소자를 제조할 수 있다.The degree of polishing is determined by dropping oil 500 having a refractive index greater than the effective refractive index of the optical fiber on the polishing surface and measuring the loss of light 502 transmitted through the optical fiber 200 (oil drop test). . According to a preferred embodiment, the optical fiber cladding 201 and the oil 500 have a refractive index n d of 1.464 for a general communication single mode optical fiber, and the optical loss due to the oil drop test is 1 to 10 dB. The surface of the substrate 100 is polished. At this time, by measuring the light loss value by the oil drop test and determining the polishing amount, it is possible to manufacture a polarization dependent loss reference device having a specific reference value.

이하, 도 6를 참조하여 연마가 끝난 광섬유 기판 표면의 금속 코팅에 대하여 설명한다.Hereinafter, with reference to FIG. 6, the metal coating of the polished optical fiber substrate surface is demonstrated.

먼저, 기판(100) 상부 및 광섬유 클래딩(201) 상부에 금속을 일정 두께로 코팅한다. 이때 코팅되는 금속의 두께는 광섬유를 진행하는 빛의 에바네슨트파(evanescent wave)가 금속 바깥으로 퍼지지 않을 정도로 두꺼워야 하며, 바람직한 실시 예로서 은(Ag), 금(Au), 알루미늄(Al) 중 어느 하나의 금속을 100nm 내지 500nm의 두께로 코팅할 수 있다.First, a metal is coated on the substrate 100 and the optical fiber cladding 201 to a predetermined thickness. In this case, the thickness of the metal to be coated should be so thick that the evanescent wave of light traveling through the optical fiber does not spread out of the metal, and in a preferred embodiment, silver (Ag), gold (Au), or aluminum (Al) may be used. Either metal may be coated with a thickness of 100 nm to 500 nm.

이후, 상기 금속층에 사용하는 금속 원소에 따라 필요시 금속층이 산화되거나 다른 원자 또는 분자들이 침투하여 특성이 변하는 것을 막기 위한 유전체 보호층을 코팅하거나 외부 환경과의 접촉을 차단할 수 있는 에폭시(epoxy) 등의 차폐 물질을 상기 코팅면 위에 형성할 수 있다(602). 바람직한 실시예로서, 상기 유전체 보호층으로 실리콘 산화물을 코팅하거나 상기 에폭시로서 토르 실(tor seal)을 사용한다.After that, depending on the metal element used in the metal layer, if necessary, a coating of a dielectric protective layer for preventing the metal layer from being oxidized or other atoms or molecules penetrating the properties thereof, or an epoxy that can block contact with the external environment. A shielding material of may be formed on the coating surface (602). In a preferred embodiment, silicon oxide is coated with the dielectric protective layer or a tor seal is used as the epoxy.

상기와 같은 과정을 통해 형성된 편광의존손실 기준 소자로 입사된 빛(702)은, 도 7에 도시된 바와 같이 코팅면에 나란하게 진동하는 편광 성분(TE)은 금속의 전자와 상호작용이 없으므로 손실이 거의 없이 투과하고, 코팅면에 수직하게 진동하는 편광 성분(TM)은 금속의 전자들과 상호작용하여 열을 발생시키므로 손실이 발생한다. 따라서, 광섬유를 투과한 빛은 두 편광 성분 사이에 서로 다른 손실을 겪 게 되고, 그 결과 편광의존손실이 나타나게 된다. The light 702 incident to the polarization dependent loss reference element formed through the above process is lost because the polarization component (TE) oscillating side by side on the coating surface as shown in FIG. The polarization component TM, which transmits with little or no oscillation perpendicular to the coating surface, generates heat because it interacts with the electrons of the metal to generate heat. Therefore, the light transmitted through the optical fiber suffers a different loss between the two polarization components, resulting in a polarization dependent loss.

본 발명에 따른 소자의 편광의존손실은 연마한 깊이에 비례하여, 즉 코팅면과 광섬유 코어 사이의 거리에 반비례하여 증가한다. 상기 연마한 깊이에 비례하여 오일 드롭 테스트에 의한 광손실이 증가하므로, 결국 도 7에 도시된 바와 같이 오일 드롭 테스트에 의한 광손실에 비례하여 편광의존손실이 증가하며, 이를 이용하여 원하는 기준값(편광의존손실값)을 갖는 편광의존손실 기준 소자를 제작할 수 있다.The polarization dependent loss of the device according to the invention increases in proportion to the polished depth, ie in inverse proportion to the distance between the coating surface and the optical fiber core. Since the optical loss due to the oil drop test is increased in proportion to the polished depth, the polarization dependent loss is increased in proportion to the optical loss due to the oil drop test as shown in FIG. 7. Polarization dependent loss reference element having a dependent loss value) can be manufactured.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다. While the invention has been shown and described with respect to certain preferred embodiments, the invention is not limited to these embodiments, and those of ordinary skill in the art claim the invention as claimed in the appended claims. It includes all the various forms of embodiments that can be implemented without departing from the spirit.

도 1은 본 발명에 따른 기판의 형상을 나타낸 도면으로서, 상측의 도면은 위에서, 하측의 도면은 옆에서 본 모양을 나타낸 도면,1 is a view showing the shape of the substrate according to the present invention, the upper view is a view from above, the lower view is a view seen from the side,

도 2는 기판에 광섬유가 부착됨을 나타낸 도면,2 is a view showing that the optical fiber is attached to the substrate,

도 3은 기판에 부착된 광섬유 및 일정부분 돌출됨을 나타낸 도면,3 is a view showing a portion of the optical fiber attached to the substrate and protrudes,

도 4는 연마 후의 기판과 광섬유를 나타낸 도면,4 is a view showing a substrate and an optical fiber after polishing;

도 5는 특정 편광의존손실값을 갖는 기준 소자를 제조하기 위하여 오일 드롭 테스트를 수행하는 도면,5 is an oil drop test performed to manufacture a reference device having a specific polarization dependent loss value;

도 6은 연마한 기판 및 광섬유 상에 금속층 및 실리콘 산화물층을 형성한 도면,6 is a view illustrating a metal layer and a silicon oxide layer formed on a polished substrate and an optical fiber;

도 7은 편광된 빛 중 코팅면에 수직하게 진동하는 편광 성분이 손실됨을 나타낸 도면,7 is a view showing that the polarization component vibrating perpendicular to the coating surface of the polarized light is lost,

도 8은 오일 드롭 테스트에 의한 광손실 값에 따른 편광의존손실의 변화를 나타낸 도면이다. 8 is a view showing a change in polarization dependent loss according to the light loss value by the oil drop test.

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명><Description of Signs of Major Parts of Drawings>

100 : 기판 101 : 기판의 가로길이100: substrate 101: the width of the substrate

102: 기판의 세로길이 103 : 형성된 홈102: longitudinal length of the substrate 103: formed groove

104 : 홈의 폭 105 : 기판의 두께104: width of the groove 105: thickness of the substrate

106 : 곡률반경 107 : 홈의 두께106: radius of curvature 107: thickness of the groove

200 : 광섬유 201 : 클래딩200: optical fiber 201: cladding

202 : 재킷 203 : 코어202: jacket 203: core

300 : 클래딩이 일정 부분 돌출된 부분300: part where the cladding protrudes a certain part

400 : 연마된 클래딩 부분400: polished cladding portion

500 : 오일 502 : 광섬유를 통과하는 빛500: oil 502: light passing through the optical fiber

600 : 금속층 602 : 실리콘 산화물층 또는 에폭시층600: metal layer 602: silicon oxide layer or epoxy layer

700 : 광섬유를 통과하는 빛의 전기장 세기 분포700: electric field intensity distribution of light passing through the optical fiber

702 : 빛의 편광 중 코팅 면에 수직하게 진동하는 성분702: component vibrates perpendicular to the coating surface during polarization of light

Claims (10)

상부에 소정 깊이 및 곡률반경을 갖는 홈이 형성된 기판;A substrate on which a groove having a predetermined depth and a radius of curvature is formed; 상기 기판의 홈에 부착되며, 클래딩이 소정량 연마된 광섬유;An optical fiber attached to a groove of the substrate and having a predetermined amount of cladding polished; 상기 기판 및 광섬유 상에 형성되어 상기 광섬유를 진행하는 빛의 에바네슨트파에 편광의존손실을 유도하는 금속층;A metal layer formed on the substrate and the optical fiber to induce a polarization dependent loss of an evanescent wave of light traveling through the optical fiber; 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 편광의존손실 기준 소자.Polarization dependent loss reference device, characterized in that comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 기판 상부에 형성된 홈의 깊이는,The depth of the groove formed on the substrate, 상기 기판의 홈에 부착되는 광섬유 클래딩 반경과 코어의 반경을 더한 값에 3 ㎛ 내지 5 ㎛ 을 더한 값인 것을 특징으로 하는 편광의존손실 기준 소자.The polarization-dependent loss reference device, characterized in that the addition of the radius of the optical fiber cladding attached to the groove of the substrate and the radius of the core plus 3 ㎛ to 5 ㎛. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 광섬유 클래딩의 연마량은, 상기 편광의존손실 기준 소자가 특정 편광의존손실값을 갖도록 오일 드롭 테스트에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 편광의존손실 기준 소자.The polishing amount of the optical fiber cladding is a polarization dependent loss reference device, characterized in that determined by the oil drop test so that the polarization dependent loss reference device has a specific polarization dependent loss value. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 오일은 상기 광섬유의 유효굴절률보다 큰 굴절률을 갖는 것을 특징으로 하는 편광의존손실 기준 소자.And the oil has a refractive index greater than the effective refractive index of the optical fiber. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 금속층은 은(Ag), 금(Au), 알루미늄(Al) 중 어느 하나로 구성되며, 그 두께는 100 nm 내지 500 nm 인 것을 특징으로 하는 편광의존손실 기준 소자.The metal layer is composed of any one of silver (Ag), gold (Au), aluminum (Al), the thickness of the polarization dependent loss reference device, characterized in that the thickness of 100 nm to 500 nm. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 금속층 상에 형성되는 유전체 보호층 또는 에폭시층을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 편광의존손실 기준 소자.A polarization dependent loss reference device, characterized in that it further comprises a dielectric protective layer or an epoxy layer formed on the metal layer. (a) 기판 상에 소정 깊이 및 곡률반경을 갖는 홈을 형성하는 단계;(a) forming a groove having a predetermined depth and a radius of curvature on the substrate; (b) 상기 기판 상의 홈에 광섬유 클래딩을 부착시키는 단계;(b) attaching an optical fiber cladding to the groove on the substrate; (c) 상기 광섬유 클래딩 및 기판의 표면을 소정량 연마하는 단계;(c) polishing a predetermined amount of surfaces of the optical fiber cladding and the substrate; (d) 상기 연마된 기판 및 광섬유 클래딩 상에 상기 광섬유를 진행하는 빛의 에바네슨트파에 편광의존손실을 유도하는 금속층을 형성하는 단계;(d) forming a metal layer on the polished substrate and the optical fiber cladding to induce a polarization dependent loss in an evanescent wave of light traveling through the optical fiber; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 편광의존손실 기준 소자 제조방법Polarization dependent loss reference device manufacturing method characterized in that it comprises a 청구항 7에 있어서,The method according to claim 7, 상기 (a) 단계의 기판 상의 홈의 깊이는, The depth of the groove on the substrate of step (a), 상기 기판의 홈에 부착되는 광섬유 클래딩 반경과 코어의 반경을 더한 값에 3 ㎛ 내지 5 ㎛을 더한 값인 것을 특징으로 하는 편광의존손실 기준 소자 제조방법.The method of manufacturing a polarization dependent loss reference device, characterized in that the value of the optical fiber cladding radius attached to the groove of the substrate and the radius of the core plus 3 ㎛ to 5 ㎛. 청구항 7 또는 청구항 8에 있어서,The method according to claim 7 or 8, 상기 (d) 단계의 금속층은,The metal layer of step (d), 은(Ag), 금(Au), 알루미늄(Al) 중 어느 하나로 구성되며, 100 nm 내지 500 nm의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 편광의존손실 기준 소자 제조방법.Comprising one of silver (Ag), gold (Au), aluminum (Al), the polarization dependent loss reference device manufacturing method characterized in that it is formed to a thickness of 100 nm to 500 nm. 청구항 9에 있어서,The method according to claim 9, 상기 (c) 단계의 연마량은, Polishing amount of step (c) is, 상기 기준 소자가 특정 편광의존손실값을 갖도록 오일 드롭 테스트에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 편광의존손실 기준 소자 제조방법.Method of manufacturing a polarization dependent loss reference device, characterized in that determined by the oil drop test so that the reference device has a specific polarization dependent loss value.
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US5525466A (en) 1991-06-07 1996-06-11 Ciba Corning Diagnostics Corp. Multiple output referencing system for evanescent wave sensor
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KR20030089676A (en) * 2003-11-04 2003-11-22 김광택 In-line fiber-optic tunnable attenuator

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