KR100920339B1 - A color filter array panel and a method of fabricating thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 색필터 기판은 절연 기판 위에 형성되어 있는 블랙 매트릭스, 블랙 매트릭스에 의해 정의되는 영역에 각각 형성되어 있는 적색, 청색, 녹색 색필터, 색필터 사이에 위치한 상기 블랙 매트릭스 위에 형성되어 있는 평탄화 패턴, 색필터 및 평탄화 패턴 위에 형성되어 있는 기준 전극을 포함하고, 평탄화 패턴은 적색, 청색 및 녹색 색필터 중의 어느 하나와 동일한 물질로 이루어진다.The color filter substrate according to the present invention includes a black matrix formed on an insulating substrate, a red, blue, green color filter formed on each of the regions defined by the black matrix, and a planarization formed on the black matrix positioned between the color filters. And a reference electrode formed on the pattern, the color filter, and the planarization pattern, wherein the planarization pattern is made of the same material as any one of the red, blue, and green color filters.

색필터기판, 평탄화Color Filter Board, Flatten

Description

색필터 기판 및 그의 형성 방법{A color filter array panel and a method of fabricating thereof}A color filter array panel and a method of fabricating

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 색필터 기판의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a color filter substrate according to a first embodiment of the present invention.

도 2a 내지 도 2c는 제1 실시예에 따른 색필터 기판을 형성하는 방법을 순서대로 도시한 도면이다.2A to 2C are diagrams sequentially illustrating a method of forming a color filter substrate according to a first embodiment.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 색필터 기판의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a color filter substrate according to a second embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4c는 제2 실시예에 따른 색필터 기판을 형성하는 방법을 순서대로 도시한 도면이다. 4A to 4C are diagrams sequentially illustrating a method of forming a color filter substrate according to a second embodiment.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※※ Explanation of code for main part of drawing ※

1 : 하부 기판 2 : 상부 기판1: lower substrate 2: upper substrate

210 : 절연 기판 230R, 230G, 230B : 적, 녹, 청색 색필터210: insulating substrate 230R, 230G, 230B: red, green, blue color filter

220 : 블랙 매트릭스 231, 232 : 평탄화 패턴220: black matrix 231, 232: planarization pattern

270 : 기준 전극 310 : 밀봉재 270: reference electrode 310: sealing material

본 발명은 색필터 기판 및 그의 형성 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a color filter substrate and a method of forming the same.                         

일반적으로 액정 표시 장치는 각 화소 전극을 온/오프(on/off)하기 위한 스위칭 소자인 박막 트랜지스터가 다수 개 형성되어 있는 하부 기판과, 색을 나타내는 적, 청, 녹색 색필터가 형성되어 있는 상부 기판 및 이들 두 기판 사이에 충진되어 있는 액정으로 이루어진다. In general, a liquid crystal display device includes a lower substrate on which a plurality of thin film transistors, which are switching elements for turning on / off each pixel electrode, and an upper portion on which red, blue, and green color filters representing colors are formed. It consists of a substrate and a liquid crystal filled between these two substrates.

하부 기판에는 화소 전극 및 박막 트랜지스터들이 형성되어 있다. 상부 기판은 절연 기판 위에 빛샘을 방지하기 위하여 블랙 매트릭스(black matrix)가 형성되어 있다. 그리고, 블랙 매트릭스에 의해 정의되는 영역에 적, 녹, 청색의 색필터가 형성되어 있으며 색필터 위에는 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indiumzinc oxide) 등과 같은 투명 도전 물질로 이루어지는 기준 전극이 형성되어 있다. Pixel electrodes and thin film transistors are formed on the lower substrate. The upper substrate has a black matrix formed on the insulating substrate to prevent light leakage. In addition, red, green, and blue color filters are formed in a region defined by a black matrix, and a reference electrode made of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indiumzinc oxide (IZO) is formed on the color filter. .

그리고 상부 기판과 하부 기판의 가장자리에 밀봉재(sealant)를 사용하여 두 기판을 고정하고, 액정이 새는 것을 방지한다. 밀봉재를 이용하여 상부 기판과 하부 기판을 접합하기 위해서는 가장 자리를 따라 밀봉재를 도포한 후 고온가압한다. A sealant is used at the edges of the upper and lower substrates to fix the two substrates and prevent liquid crystal leakage. In order to bond the upper substrate and the lower substrate using the sealing material, the sealing material is coated along the edge and then pressurized at high temperature.

색필터는 블랙 매트릭스 위에서 구분되어지며, 각각의 색필터는 1.3~1.6um의 두께를 가진다. 따라서 색필터의 두께로 인한 단차가 발생한다. 액정을 주입하여 액정 표시 장치를 형성할 경우 단차 근처에 위치하는 액정 분자의 배열이 불안하거나 액정의 연속성이 깨지는 영역이 발생하고, 이로 인하여 빛샘이 발생하게 된다. Color filters are separated on the black matrix, and each color filter has a thickness of 1.3 ~ 1.6um. Therefore, a step occurs due to the thickness of the color filter. When the liquid crystal is injected to form a liquid crystal display, a region in which the arrangement of liquid crystal molecules positioned near the step is unstable or the continuity of the liquid crystal is broken occurs, thereby causing light leakage.

이러한 빛샘은 블랙 매트릭스의 선폭을 조절하여 빛샘을 억제할 수 있으나 고휘도, 광시야각에 대한 요구가 증가되면서 블랙 매트릭스의 선폭을 조절하여 빛샘을 억제하는 것은 한계가 있다. 따라서 단차를 줄이고 고휘도, 광시야각을 얻기 위한 여러 방법이 시행되고 있다. Such light leakage can suppress light leakage by adjusting the line width of the black matrix, but there is a limit to suppressing light leakage by adjusting the line width of the black matrix as the demand for high brightness and wide viewing angle is increased. Therefore, various methods have been implemented to reduce the step difference and obtain high brightness and wide viewing angle.                         

그 중 색필터와 색필터 사이에 간격을 줄이는 방법이 있으나 정확히 패터닝하기가 어렵다. 다른 방법으로는 오버 코트층(over coat layer)을 형성하여 단차를 줄이는 방법이 있다. 그러나 오버 코트층을 형성하면 단차를 감소시켜 평탄화에는 효과가 있으나 오버 코트층을 형성하는 공정이 추가되기 때문에 수율 감소, 원가 상승, 생산성 저하등으로 인해 양산성이 떨어지는 문제점이 있다. Among them, there is a method of reducing the gap between the color filter and the color filter, but it is difficult to accurately pattern. Another method is to form an overcoat layer to reduce the step. However, when the overcoat layer is formed, the step is reduced and the planarization effect is effective, but since the process of forming the overcoat layer is added, there is a problem in that productivity is reduced due to yield reduction, cost increase, and productivity decrease.

따라서 본 발명의 목적은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로써 오버 코트층을 형성하지 않으면서 색필터로 인한 단차를 줄일 수 있는 색필터 및 색필터 기판의 형성 방법을 제공하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for forming a color filter and a color filter substrate which can reduce the step difference caused by the color filter without forming the overcoat layer as a solution to the above problems.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 색필터 기판은 절연 기판 위에 형성되어 있는 블랙 매트릭스, 블랙 매트릭스에 의해 정의되는 영역에 각각 형성되어 있는 적색, 청색, 녹색 색필터, 색필터 사이에 위치한 상기 블랙 매트릭스 위에 형성되어 있는 평탄화 패턴, 색필터 및 평탄화 패턴 위에 형성되어 있는 기준 전극을 포함하고, 평탄화 패턴은 적색, 청색 및 녹색 색필터 중의 어느 하나와 동일한 물질로 이루어진다. The color filter substrate according to the present invention for achieving the above object is a black matrix formed on an insulating substrate, the red, blue, green color filter formed in each of the regions defined by the black matrix, the color filter is located between A planarization pattern formed on the black matrix, a color filter, and a reference electrode formed on the planarization pattern, wherein the planarization pattern is made of the same material as any one of the red, blue, and green color filters.

여기서 적색, 청색, 녹색 색필터 및 평탄화 패턴은 동일한 두께를 가지며, 평탄화 패턴은 청색 색필터로 형성하는 것이 바람직하다. 그리고 평탄화 패턴의 상부 가장자리는 단이 형성되어 있다. Here, the red, blue, green color filter and the planarization pattern have the same thickness, and the planarization pattern is preferably formed by the blue color filter. The top edge of the planarization pattern is formed with a stage.

이와 같은 색필터 기판을 형성하는 방법은 절연 기판 위에 블랙 매트릭스을 형성하는 단계, 블랙 매트릭스 위에 적색 색필터를 형성하는 단계, 블랙 매트릭스 위에 녹색 색필터를 형성하는 단계, 블랙 매트릭스 위에 청색 색필터를 형성하는 단계, 색필터 위에 기준 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 적색 색필터를 형성하는 단계, 녹색 색필터를 형성하는 단계 및 청색 색필터를 형성하는 단계 중의 어느 한 단계에서 색필터 사이의 영역을 채우는 평탄화 패턴을 함께 형성한다. Such a method of forming a color filter substrate includes forming a black matrix on an insulating substrate, forming a red color filter on a black matrix, forming a green color filter on a black matrix, and forming a blue color filter on a black matrix. Filling a region between the color filters in any one of the steps of: forming a reference electrode over the color filter, forming a red color filter, forming a green color filter, and forming a blue color filter. The planarization pattern is formed together.

평탄화 패턴을 함께 형성하는 단계에서는 슬릿을 포함하는 차광 패턴이 형성되어 있는 광마스크를 사용하며, 노광시 상기 슬릿은 상기 평탄화 패턴과 상기 색필터의 경계에 배치되는 것이 바람직하다. 그리고 평탄화 패턴은 상기 청색 색필터를 형성하는 단계에서 함께 형성하는 것이 바람직하다. In forming the planarization pattern together, an optical mask having a light shielding pattern including slits is used, and the slits are disposed at a boundary between the planarization pattern and the color filter during exposure. In addition, the planarization pattern may be formed together at the step of forming the blue color filter.

이하 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우 뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification. When a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be "on" another part, this includes not only the other part being "on top" but also another part in the middle. On the contrary, when a part is "just above" another part, there is no other part in the middle.

이제 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면과 함께 상세히 설명한다. Embodiments according to the present invention will now be described in detail with the accompanying drawings.                     

[제1 실시예][First Embodiment]

도 1은 본 발명에 따른 색필터 기판의 단면도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 투명한 절연 기판(210) 위에 블랙 매트릭스(220)가 형성되어 있다. 1 is a cross-sectional view of a color filter substrate according to the present invention. As illustrated in FIG. 1, the black matrix 220 is formed on the transparent insulating substrate 210.

그리고 블랙 매트릭스(220)에 의해 정의되는 영역에 적색(230R), 녹색(230G), 청색(230B)의 색필터가 형성되어 있다. 색필터는 세로방향으로 동일한 색이 배열되어 있고, 가로 방향으로는 적색, 녹색, 청색 색필터가 교대로 배열되어 있다. A color filter of red 230R, green 230G, and blue 230B is formed in a region defined by the black matrix 220. Color filters are arranged in the same color in the vertical direction, and red, green, and blue color filters are alternately arranged in the horizontal direction.

각각의 색필터(230R, 230G, 230B)는 블랙 매트릭스(220) 위에서 구분되며, 색필터와 색필터 사이에 위치한 블랙 매트릭스(220) 위에는 평탄화 패턴(231)이 형성되어 있다. 평탄화 패턴(231)은 청색 색필터(230B)와 동일한 물질로 형성되어 있다. 색필터(230R, 230G, 230B) 위에 ITO 또는 IZO 등과 같이 투명한 도전 금속으로 기준 전극(270)이 형성되어 있다. Each color filter 230R, 230G, 230B is divided on the black matrix 220, and a planarization pattern 231 is formed on the black matrix 220 positioned between the color filter and the color filter. The planarization pattern 231 is formed of the same material as the blue color filter 230B. The reference electrode 270 is formed of a transparent conductive metal such as ITO or IZO on the color filters 230R, 230G, and 230B.

이러한 색필터 기판을 형성하는 방법을 도 2a 내지 도 2b를 참조하여 상세히 설명한다. A method of forming such a color filter substrate will be described in detail with reference to FIGS. 2A to 2B.

도 2a에 도시한 바와 같이, 투명한 절연 기판(210) 위에 블랙 매트릭스(220)를 형성한다. 블랙 매트릭스(220)는 이후에 형성되는 색필터 사이의 빛샘을 방지하기 위한 것으로 크롬 등의 금속으로 형성하는 것이 일반적이나 흑색 안료를 혼합한 유기 물질로 형성할 수도 있다. As shown in FIG. 2A, the black matrix 220 is formed on the transparent insulating substrate 210. The black matrix 220 is to prevent light leakage between the color filters to be formed later. The black matrix 220 is generally formed of a metal such as chromium, but may be formed of an organic material mixed with black pigment.

도 2b에 도시한 바와 같이, 블랙 매트릭스(220)에 의해 정의되는 영역에 적색 안료가 혼합되어 있는 감광층을 도포한 후 패터닝하여 적색 색필터(230R)를 형 성한다. 그리고 동일한 공정으로 녹색 색필터(230G)를 형성한다. As shown in FIG. 2B, a red color filter 230R is formed by coating and patterning a photosensitive layer in which a red pigment is mixed in a region defined by the black matrix 220. The green color filter 230G is formed in the same process.

녹색 색필터(230G)는 적색 색필터(230R)을 형성할 때 사용한 광마스크를 이동하여 형성하거나, 적색 색필터(230R)와 다른 차광 패턴을 가지는 광마스크를 사용할 수 있다. The green color filter 230G may be formed by moving the optical mask used to form the red color filter 230R, or may use an optical mask having a light shielding pattern different from that of the red color filter 230R.

도 2c에 도시한 바와 같이, 적색 및 녹색 색필터(230R, 230G) 위에 청색 안료가 혼합되어 있는 감광층(PR)을 도포한 후 패터닝하여 청색 색필터(230B) 및 평탄화 패턴(231)을 형성한다. As illustrated in FIG. 2C, the photoresist layer PR including the blue pigment is mixed on the red and green color filters 230R and 230G, and then patterned to form the blue color filter 230B and the planarization pattern 231. do.

여기서 평탄화 패턴(231)은 각각의 색필터(230R, 230G, 230B)가 구분되어 지는 블랙 매트릭스(220) 위에 형성하여 색필터와 색필터 사이에 존재하는 갭을 메우며, 이로 인해 빛샘을 감소시킨다.The planarization pattern 231 is formed on the black matrix 220 where the color filters 230R, 230G, and 230B are divided to fill the gap between the color filter and the color filter, thereby reducing light leakage.

이후, 색필터(230R, 230G, 230B) 위에 ITO 또는 IZO 등과 같이 투명한 도전 금속을 증착하여 기준 전극(270)을 형성한다.(도 1 참조) Thereafter, a transparent conductive metal such as ITO or IZO is deposited on the color filters 230R, 230G, and 230B to form the reference electrode 270 (see FIG. 1).

[제2 실시예]Second Embodiment

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 색필터 기판의 단면도이고, 도 4a 내지 도 4c는 제2 실시예를 형성하기 위한 방법을 순서대로 도시한 도면이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 제2 실시예의 평탄화 패턴(232)은 평탄화 패턴(232)의 상부 가장자리에 단이 형성되어 있다. 3 is a cross-sectional view of a color filter substrate according to a second embodiment of the present invention, and FIGS. 4A to 4C are diagrams sequentially showing a method for forming the second embodiment. As shown in FIG. 3, the flattening pattern 232 of the second embodiment has a stage formed at an upper edge of the flattening pattern 232.

이처럼 단이 형성되어 있는 평탄화 패턴(232)을 형성하는 방법은 다음과 같다.As described above, the method of forming the flattening pattern 232 having the stage formed thereon is as follows.

먼저, 도 4a에 도시한 바와 같이, 투명한 절연 기판(210) 위에 블랙 매트릭 스(220)를 형성한다. 블랙 매트릭스(220)를 형성한 후, 녹색 및 적색 색필터를 형성한다. 이는 제1 실시예와 동일한 공정으로 형성한다. First, as shown in FIG. 4A, the black matrix 220 is formed on the transparent insulating substrate 210. After the black matrix 220 is formed, green and red color filters are formed. This is formed in the same process as in the first embodiment.

도 4b에 도시한 바와 같이, 적색 및 녹색 색필터(230R, 230G) 위에 청색 안료가 혼합되어 있는 감광층(PR)을 도포한 후 슬릿(S)을 포함하는 차광 패턴을 가지는 광마스크(MP)를 배치한다. As shown in FIG. 4B, the photomask MP having the light shielding pattern including the slit S is applied after applying the photosensitive layer PR mixed with the blue pigment on the red and green color filters 230R and 230G. Place it.

도 4c에 도시한 바와 같이, 광마스크(MP)를 통해 감광층을 노광한 후, 현상하여 상부 가장자리에 단이 형성되어 있는 평탄화 패턴(232)을 형성한다. 슬릿(S)은 감광층(MP)의 노광량을 적게 하므로 현상시 감광층(MP)이 일부만 제거되도록 한다. 즉, 제1 실시예의 평탄화 패턴(231)을 형성할 경우 평탄화 패턴(232)과 색필터(230R, 230G, 230B)가 접촉되는 경계부에서 차광 패턴의 미스 얼라인으로 인해 갭이 형성될 수 있다. 그러나 슬릿을 형성하면 경계부에서의 노광량을 적게하여 갭이 형성되는 것을 방지할 수 있으므로 공정 마진을 증가시킨다.As shown in FIG. 4C, the photosensitive layer is exposed through the photomask MP, and then developed to form a planarization pattern 232 having a stage formed at an upper edge thereof. Since the slit S reduces the exposure amount of the photosensitive layer MP, only part of the photosensitive layer MP is removed during development. That is, when the planarization pattern 231 of the first embodiment is formed, a gap may be formed due to the misalignment of the light blocking pattern at the boundary portion where the planarization pattern 232 and the color filters 230R, 230G, and 230B are in contact with each other. However, forming the slit increases the process margin because the amount of exposure at the boundary can be reduced to prevent the formation of gaps.

이후, 색필터(230R, 230G, 230B) 위에 ITO 또는 IZO 등과 같이 투명한 도전 금속을 증착하여 기준 전극(270)을 형성한다.(도 3 참조)Thereafter, a transparent conductive metal such as ITO or IZO is deposited on the color filters 230R, 230G, and 230B to form the reference electrode 270 (see FIG. 3).

본 발명에 따른 색필터 기판을 포함하는 액정 표시 장치에 빛이 입사되면, 입사된 빛이 액정을 통과하여 블랙 매트릭스(220)에 전달된다. 블랙 매트릭스(220)에 입사된 빛은 반사되나 반사된 빛은 평탄화 패턴(231)에 일정량이 흡수되므로 반사되는 빛이 감소되고, 빛샘을 감소시킨다. When light is incident on the liquid crystal display including the color filter substrate according to the present invention, the incident light passes through the liquid crystal and is transmitted to the black matrix 220. The light incident on the black matrix 220 is reflected, but the reflected light is absorbed by the planarization pattern 231 so that the reflected light is reduced and light leakage is reduced.

평탄화 패턴(231, 232)을 형성하는 색필터는 적색, 녹색, 청색 중 어느 하나로 형성할 수 있으나, 광흡수율이 좋은 청색 색필터로 하는 것이 바람직하다. The color filter forming the planarization patterns 231 and 232 may be formed of any one of red, green, and blue, but is preferably a blue color filter having good light absorption.                     

기술된 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구 범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리 범위에 속하는 것이다. Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail as described above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of the present invention.

이상 기술된 바와 같이 본 발명에 따르면 색필터와 색필터 사이의 갭에 평탄화 패턴을 형성하여 색필터로 인한 단차를 줄인다. 따라서 색필터의 단차로 인해 발생될 수 있는 빛샘을 방지할 수 있다. As described above, according to the present invention, a flattening pattern is formed in the gap between the color filter and the color filter to reduce the step caused by the color filter. Therefore, it is possible to prevent light leakage that may occur due to the step of the color filter.

또한, 평탄화 패턴을 형성할 때 슬릿이 형성되어 있는 차광 패턴을 사용하면, 더욱 확실하게 갭이 형성되지 않도록 방지할 수 있다.
In addition, when the light shielding pattern in which the slit is formed is used when forming the flattening pattern, it is possible to prevent the gap from being formed more reliably.

Claims (7)

절연 기판 위에 형성되어 있는 블랙 매트릭스, A black matrix formed on an insulating substrate, 상기 블랙 매트릭스에 의해 정의되는 영역에 각각 형성되어 있는 적색, 청색, 녹색 색필터,Red, blue, and green color filters respectively formed in the area defined by the black matrix, 상기 색필터 사이에 위치한 상기 블랙 매트릭스 위에 형성되어 있는 평탄화 패턴,A planarization pattern formed on the black matrix positioned between the color filters; 상기 색필터 및 상기 평탄화 패턴 위에 형성되어 있는 기준 전극A reference electrode formed on the color filter and the planarization pattern 을 포함하고,Including, 상기 평탄화 패턴은 상기 적색, 청색 및 녹색 색필터 중의 어느 하나와 동일한 물질로 이루어며, 상기 평탄화 패턴의 상부 가장자리는 단이 형성되어 있는 색필터 기판. The flattening pattern may be formed of the same material as any one of the red, blue, and green color filters, and an upper edge of the flattening pattern may have a stage. 제1항에서,In claim 1, 상기 평탄화 패턴은 상기 청색 색필터로 이루어져 있는 색필터 기판.And the planarization pattern is formed of the blue color filter. 제1항에서,In claim 1, 상기 적색, 청색, 녹색 색필터 및 상기 평탄화 패턴은 동일한 두께를 가지는 색필터 기판.The red, blue, green color filter and the planarization pattern have the same thickness. 삭제delete 절연 기판 위에 블랙 매트릭스을 형성하는 단계,Forming a black matrix on the insulating substrate, 상기 블랙 매트릭스 위에 적색 색필터를 형성하는 단계,Forming a red color filter on the black matrix, 상기 블랙 매트릭스 위에 녹색 색필터를 형성하는 단계,Forming a green color filter on the black matrix, 상기 블랙 매트릭스 위에 청색 색필터를 형성하는 단계,Forming a blue color filter on the black matrix, 상기 색필터 위에 기준 전극을 형성하는 단계를 포함하고, Forming a reference electrode on the color filter; 상기 적색 색필터를 형성하는 단계, Forming the red color filter, 상기 녹색 색필터를 형성하는 단계 및 상기 청색 색필터를 형성하는 단계 중의 어느 한 단계에서 상기 색필터 사이의 영역을 채우는 평탄화 패턴을 함께 형성하는 단계를 포함하고,Forming a flattening pattern that fills an area between the color filters in any one of forming the green color filter and forming the blue color filter; 상기 평탄화 패턴을 함께 형성하는 단계에서는 슬릿을 포함하는 차광 패턴이 형성되어 있는 광마스크를 사용하며, 노광시 상기 슬릿은 상기 평탄화 패턴과 상기 색필터의 경계에 배치되는 색필터 기판의 형성 방법. The forming of the planarization pattern together uses a photomask in which a light shielding pattern including a slit is formed, and during exposure, the slit is disposed at a boundary between the planarization pattern and the color filter. 삭제delete 제5항에서,In claim 5, 상기 평탄화 패턴은 상기 청색 색필터를 형성하는 단계에서 함께 형성하는 색필터 기판의 형성 방법.And the planarization pattern is formed together in the forming of the blue color filter.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH06308478A (en) * 1993-04-23 1994-11-04 Toppan Printing Co Ltd Color filter for liquid crystal display
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Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR940012002A (en) * 1992-11-12 1994-06-22 이헌조 Manufacturing method of color filter of liquid crystal display device
JPH06308478A (en) * 1993-04-23 1994-11-04 Toppan Printing Co Ltd Color filter for liquid crystal display
JPH06331815A (en) * 1993-05-25 1994-12-02 Toppan Printing Co Ltd Color filter

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