KR100905920B1 - Disk cleanig device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 디스크 세정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 디스크의 제작과정에서 다수의 디스크를 동시에 효과적으로 세정할 수 있는 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a disk cleaning apparatus, and more particularly, to a cleaning apparatus capable of effectively cleaning a plurality of disks at the same time in the manufacturing process of the disk.
일반적으로, 반도체 웨이퍼나 하드디스크(H.D.D)와 같은 원판형 디스크는 제작 공정의 마지막 단계에서 공정 진행 과정 중 표면에 묻어있는 이물질을 제거하기 위하여 세정액을 분사함으로서 세정작업이 보다 원활하게 실행되어지도록 한다.In general, disc-shaped discs, such as semiconductor wafers and hard disks (HDDs), can be cleaned more smoothly by injecting a cleaning liquid to remove foreign substances on the surface during the process. .
그러나, 종래 기술에서는 디스크 세정작업이 낱장 형태로 이루어지기 때문에 생산성이 낮아 작업효율을 저하시키게 되는 문제점이 있었다.However, in the prior art, since the disk cleaning operation is made in the form of a sheet, there is a problem that the productivity is low and the work efficiency is lowered.
본 발명은 상기한 종래 기술에서의 문제점을 개선하기 위해 제안된 것으로서, 다수의 디스크를 동시에 세정이 가능하도록 함과 함께 디스크 표면이 브러쉬와의 직접접촉에 의한 세정작업이 이루어질 수 있도록 하는 세정장치를 제공함으로서 세정 효율이 극대화 되어질 수 있도록 하는데 목적이 있다.The present invention has been proposed to improve the above-mentioned problems in the prior art, and a cleaning apparatus for allowing a plurality of disks to be cleaned at the same time and allowing the disk surface to be cleaned by direct contact with a brush. The purpose is to provide maximum cleaning efficiency.
상기 목적을 이루기 위한 본 발명의 과제 해결 수단은, 개별 회동이 가능한 인너샤프트와 아우터샤프트가 내부에 구성되어진 회동축 주변을 따라 다수의 디스크가 동시에 안착 가능하도록 구비되되, 선단에는 디스크의 외곽측을 지지하기 위한 지지로울러가 구성되어져 있는 지지로드가 상기 아우터샤프트에 결합되어진 상태로 일정 간격을 이루어 방사방향으로 구비되어져 있는 디스크장착 유니트; 상기 유니트에 안착된 각 디스크의 상/하면에 밀착 가능하도록 2개가 쌍을 이루어 구비된 다수의 롤브러쉬와, 상기 쌍을 이루는 롤브러쉬 상호간 간격을 제어하기 위한 브러쉬 개폐수단 및 디스크 세정을 위해 상기 각 롤브러쉬를 회전시키기 위한 브러쉬 회전수단을 구성하고 있는 본체 유니트; 상기 디스크장착 유니트 및 본체 유니트에 선택적인 동력 전달을 위해 본체 유니트 일측에서 장착 구성되어지는 복수개의 회동모터;로 이루어진 것을 특징으로 한다.The problem solving means of the present invention for achieving the above object, the inner shaft and the outer shaft capable of individual rotation is provided so that a plurality of disks can be simultaneously mounted along the periphery of the rotation shaft is configured therein, the outer end of the disk at the tip A disk mounting unit provided in a radial direction at a predetermined interval in a state in which a support rod having a support roller for supporting is coupled to the outer shaft; A plurality of roll brushes provided in pairs so as to be in close contact with the upper and lower surfaces of each disk seated in the unit, brush opening and closing means for controlling the gap between the paired roll brushes, and the disk for cleaning A main body unit constituting a brush rotating means for rotating the roll brush; And a plurality of rotating motors which are mounted at one side of the main body unit for selective power transmission to the disk mounting unit and the main body unit.
본 발명의 디스크 세정장치는 디스크장착 유니트상에 다층 형태 및 방사형태로 다수의 디스크를 동시에 세정할 수 있게 됨으로 디스크의 대량 및 연속적인 세정작업이 이루어질 수 있게 되어 작업 효율을 극대화할 수 있게 된다.The disk cleaning apparatus of the present invention is capable of simultaneously cleaning a plurality of disks in a multi-layered form and a radial form on a disk mounting unit, thereby enabling mass and continuous cleaning operations of the disks to maximize work efficiency.
특히, 디스크와 롤브러쉬가 동시에 회동되어지면서 세정작업이 이루어지게 됨으로 상/하 전체면에 대한 고른 세정이 동시에 이루어질 수 있게 되며, 롤브러쉬가 2개가 쌍을 이루는 개폐 구동방식을 이루기 때문에 작업 신뢰성을 향상시킬 수 있게 된다.In particular, since the disk and the roll brush are rotated at the same time, the cleaning operation is performed, so that evenly cleaning the entire upper and lower surfaces can be performed at the same time. It can be improved.
또한, 회동축 내에는 2개의 샤프트가 개별 구동 방식의 구성을 이루고 있기 때문에 장치의 크기를 임펙트하게 설계할 수 있는 이점을 갖게 된다In addition, since the two shafts constitute a separate drive system in the rotational shaft, the size of the device can be impacted.
이하, 본 발명의 목적을 이루기 위한 구체적인 실시예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 실시 예에 따른 디스크 세정장치의 개략적인 구성은 구동 본체를 이루며 도 1에 도시된 형태의 본체 유니트(100)와, 다수의 디스크(1)가 안착 되어질 수 있도록 도 2에 도시된 형태의 디스크장착 유니트(10), 그리고 동력 전달부로서 도 5에 나타내어진 바와 같이 모터하우징(200) 내에 장착 되어진 브러쉬 회동모터(101)와 유니트 회동모터(102) 그리고 디스크 회동모터(103) 등 3개의 구동모터로 이루어져 있다.A schematic structure of the disk cleaning apparatus according to the present embodiment constitutes a driving main body, and the disk of the type shown in FIG. 2 so that the
먼저, 본체 유니트(100)의 구성을 도 1a 내지 1d를 통해 살펴보면 수직방향으로 장착된 회동축(110,110a)에는 다수의 롤브러쉬(20)가 동력을 전달받아 회동 가능하게 연결 설치되어져 있으며, 상기 각 회동축(110,110a) 상단에는 상호간에 타이밍 벨트(111)에 의해 연결 되어진 벨트풀리(112)로 구성되어져 있는데, 그중 메인 회동축(110)에는 동력전달부의 브러쉬 회동모터(101)로 부터 선택적인 동력전달이 이루어진 후 다른 서브 회동축(110a)으로 회동력이 전달되어질 수 있도록 커플링(114)이 장착되어져 있다.First, looking at the configuration of the
그리고 일측에는 쌍을 이루는 롤브러쉬(20)의 개폐수단을 이루고 있는 제1개폐로드(21)와 제2개폐로드(22)가 쌍을 이루어 구비되는 것으로 구성되어 있다.And one side is composed of the first opening and closing
상기 롤브러쉬(20)의 동작에 관련한 구체적인 구성은 하기에서 보다 상세히 설명키로 한다. 미설명 부호 113는 타이밍 벨트(111)의 장력을 조절하는 아이들기어를 나타낸다.A detailed configuration related to the operation of the
그리고 세정작업이 이루어질 다수의 디스크(1)가 층상으로 장착 되어지게 되는 디스크장착 유니트(10)는 도 2a 내지 도 2d에 도시된 바와 같이 중앙의 회동축(11)을 중심으로 하여 그 주변을 따라 다수의 지지로드(12)가 방사방향으로 구비됨과 함께 각 지지로드(12)의 선단에는 양측의 디스크(1)를 외측에서 지지하기 위한 지지로울러(14)가 장착되어져 있으며, 지지로드(12)는 후단이 스프링(13)에 의해 탄성 지지되는 가운데 전후방향으로 직선운동이 가능하도록 로드가이드(15)에 의해 안내되어도록 구비되었고, 지지로드(12)의 후단을 선택적으로 가압하기 위한 가압캠(17)이 회동축(11)상에 편심 형태로 장착 구비되되, 지지로드(12)의 후단에는 가압캠(17)과의 접촉을 위한 안내로울러(16)가 구성되어져 있다.In addition, the
특히, 상기 회동축(11) 인너샤프트(11a)와 아우터샤프트(11b)가 각각 구성되어져 있는데, 인너샤프트(11a)는 각 측에서 메인구동로울러(3)가 일체로 결합되어져 있어 함께 회동이 이루어지고, 메인구동로울러(3) 외측에는 서브로울러(2)가 구성되어 회동력을 전달받음으로 서브로울러(2)와 접촉 되어진 디스크(1)를 회전 구동 시키도록 구성되었다. 상기 가압캠(17)은 위치가 고정된 상태를 이루는 가운데 디스크장착 유니트(10)의 회동시 가압캠(17)의 돌출 가압부위를 경유할때 지지로드(12)가 외측으로 밀리게 된다.In particular, the
그리고, 회동축(11)의 일단에는 인너샤프트(11a)와 아우터샤프트(11b)에 회 동력 전달을 위한 2개의 마그네트 커플링{디스크 회동 커플링(4), 유니트 회동 커플링(4')}이 쌍을 이루며 구비되어져 있는데, 양측간에는 동력전달벨트(6)에 의해 연결된 구동풀리(5,5')가 각각 구성되어져 있어서, 유니트 구동모터(102) 또는 디스크 구동모터(103)로 부터 선택적인 동력 전달이 이루어질 수 있도록 되었다. Then, at one end of the
한편, 본 발명 장치의 롤브러쉬(20)는 브러쉬 회전수단에 의해 브러쉬 회동모터(101)로 부터의 회전동력이 전달되어짐과 함께, 브러쉬 개폐수단에 의해 쌍을 이루는 롤브러쉬(20) 상호간에 개폐 구동이 이루어지게 된다.On the other hand, the
그중 브러쉬 회전수단은 도 7의 상세도에 도시된 바와 같이 롤브러쉬(20)의 일단에 각 브러쉬 회동축(110,110a)으로 부터 회동력을 전달받기 위한 마그네트기어(30)가 장착되어져 있으며, 상기 마그네트기어(30)와 브러쉬 회동축(110,110a)간 접촉부위에는 베벨기어부(31)가 형성되어져 있어 상호간에 동력전달이 가능한 구조를 이루도록 한 것이다. 또한, 롤브러쉬(20)는 액상 물질의 투과가 가능하도록 다공질의 PVA재질로 이루어져 있는데, 일단에는 외부로 부터 세정액(물, 비누물 등) 유입을 위한 유입관(34)이 로타리조인트(35)를 통해 연결 구성되어져 있으며, 내부에는 상기 유입관(34)을 통해 유입된 세정액이 유동되어질 수 있도록 유동공간(36)이 형성되어져 있음을 확인할 수 있다. 미설명 부호 32는 베어링이고, 33은 브러쉬부의 이탈을 방지하기 위한 고정너트를 나타낸다.Among them, the brush rotating means is equipped with a
그리고 브러쉬 개폐수단은 도 6에 도시된 바와 같이 쌍을 이루는 각각의 롤브러쉬(20)의 일단이 제1,2개폐로드(21,22)에 각각 결합구(21',22')에 의해 고정 되어져 있으며, 제1,2개폐로드(21,22)가 일정 간격범위 이내에서 상호 반대방향으 로 직선 유동 가능하도록 각각의 일단부에는 상호 대향되는 부위에는 랙기어부(21a,22a)가 형성된 브라켓(23,24)이 결합 구성됨과 함께 양측 랙기어부(21a,22a) 사이에서 상호간에 치합 관계에 의해 유동력을 전달하기 위해 피니언기어(25)가 고정 설치되어져 있다.And as for the brush opening and closing means, one end of each
상기 제1개폐로드(21)에 직선 유동력을 전달하기 위해 연결 구성된 로드 구동부재(26)로 이루어지되, 로드 구동부재(26)는 실린더 또는 모터가 사용되어질 수 있게 되며, 구동봉(26') 선단은 일측 브라켓(23)과 결합 구성됨으로 제1개폐로드(21)는 구동부재(26)의 동작에 의해 직접 유동이 이루어지고, 제2개폐로드(22)는 피니언기어(25)를 통해 반대방향으로의 유동력이 전달되어질 수 있게 된다.The
이와 같은 구성을 이루고 있는 본 발명 디스크 세정장치의 동작에 따른 작용효과를 살펴보기로 한다.The effect of the operation of the disk cleaning apparatus of the present invention having such a configuration will be described.
먼저, 본체 유니트(100)에 디스크장착 유니트(10)를 결합시킨 상태에서 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이 디스크장착 유니트(10)상에 세정작업이 이루어지게 될 다수의 디스크(1)를 안착시키게 된다.First, in the state in which the
즉, 이때에는 유니트 회동모터(102)의 동작에 의해 모터축과 연결되어진 유니트 회동커플링(4')과 풀리(5,5')를 통해 회동축(11)으로의 동력 전달이 이루어지며, 이에 따라 회동축(11) 내의 아우터샤프트(11b)가 일방향으로 서서히 회동되어지게 된다.That is, in this case, power is transmitted to the
이때, 디스크(1)를 외측에서 지지하게 될 지지로울러(14)를 지지하는 지지로드(12)가 회동축(11)에 편심 형태로 고정 설치되어져 있는 가압캠(17)의 외측 돌출 부위와 만나면서 외측으로 밀려나게 됨으로 해당 부위에 디스크(1)를 안착 시킬 수 있게 된다.(도 2c, 도 3, 도 4 참조)At this time, the
그리고, 디스크장착 유니트(10)가 계속적으로 회동되어짐에 따라 상기에서 안착되어진 디스크(1)는 본체 유니트(100) 내부로 인입 되어지면서 롤브러쉬(20)에 의한 세정작업이 이루어지게 되며, 이를 위해서는 상,하 쌍을 이루고 있는 롤브러쉬(20)의 개폐동작에 의해 도 6에서와 같이 디스크(1)의 상/하면에 밀착되어진 상태에서 세정작업이 이루어지게 된다.In addition, as the
즉, 롤브러쉬(20)의 개폐동작은 실린더 형태의 로드구동부재(26)의 구동에 의해 브라켓(23)으로 결합되어진 제1개폐로드(21)가 일방향으로 직선운동 하게 되면, 양측 브라켓(23,24)의 랙기어부(21a,22a)와 피니언기어(25)를 매개로 하여 연결되어진 제2개폐로드(22)가 반대방향으로 직선운동 함으로서 양측에서 결합구(21',22')에 의해 고정 되어진 롤브러쉬(20) 쌍이 상호 근접되어지는 방향으로 유동 되면서 디스크(1)면에 말착된 상태를 이루게 된다.That is, the opening and closing operation of the
이와 같이, 롤브러쉬(20)의 밀착이 이루어진 상태에서 도 5b에서와 같이 브러쉬 회동모터(101)와 디스크 회동모터(103)가 함께 구동되어지면서 각각 디스크 회동 커플링(4)과 커플링(114)을 통해 동력전달이 이루어짐으로서 롤브러쉬(20)와 디스크(1)의 동시 회전동작이 이루어지게 된다.As such, the
특히, 상기에서 안착되어진 상태의 디스크(1)는 디스크 회동모터(103)로 부터 동력을 전달받은 인너샤프트(11a)가 회동되어짐에 의해, 메인구동로울러(3)가 서브구동로울러(2)와 연동 되어지게 됨으로 디스크(1)로의 회전력이 전달되어지게 되는 것이다.(도 2d 참조)In particular, the
그리고, 롤브러쉬(20)는 브러쉬 회동모터(101)의 모터축과 커플링(114)이 연결된 상태에서 모터로 부터 전달되는 동력은 도 1에서와 같이 메인회동축(110)으로 부터 타이밍 벨트(111)로 연결된 벨트풀리(112)를 통해 다수의 서브회동축(110a)으로 각각 전달되어 동시에 구동되어지게 된다.Then, the
즉, 각 롤브러쉬(20)의 일단에 장착된 마그네트 기어(30)는 베벨기어부(31)로 인해 해당되는 각 회동축(110,110a)과 연동되어지면서 회동축(110,110a)의 회동력이 전달되어 롤브러쉬(20)의 회동이 이루어지면서 디스크(1)면에 대한 세정이 이루어지게 되는데, 이와 동시에 세정액 유입관(34)을 통해 세정액이 외부로 부터 유입되면 내부의 유동공간(36)을 통해 안내되어진 후 브러쉬의 미세 통공을 통해 외부로 누출되어지면서 세정효과를 극대화 할 수 있게 된다.That is, the
따라서, 디스크장착 유니트(10)에 장착된 상태에 디스크(1)는 이러한 유니트(10) 회전 동작에 의해 본체 유니트(100) 내에 위치된 상태에서 디스크(1)와 롤브러쉬(20)의 동시 회전에 따라 상/하 전체 면에 대한 고른 세정이 이루어질 수 있게 됨을 알 수 있다.Therefore, the
그리고, 세정이 완료된 디스크(1)는 다시 디스크장착 유니트(10)가 회전되어짐에 따라 처음 안착이 이루어졌던 위치에 이르게 되면 가압캠(17)과의 작용으로 인해 지지로드(12)가 밀려나면서 디스크(1)의 회수가 가능한 상태를 이루게 되고, 이후 또 다른 디스크를 해당 위치에 안착시키는 작업의 반복 과정을 통해 디스크에 대한 대량 세정작업이 연속적으로 이루어질 수 있게 되는 것이다.Then, when the
도 1은 본 발명 세정장치의 본체 유니트 구성을 나타낸 것으로서,1 shows a configuration of a main unit of the washing apparatus of the present invention,
1a는 외관 평면 구조도.1a is a plan view of the exterior.
1b는 내부 평단면 구조도.1b is an internal planar cross-sectional structure diagram.
1c는 외관 저면 구조도.1c is an appearance bottom structure.
1d는 내부 측단면 구조도.1d is an internal side cross-sectional structure diagram.
도 2는 본 발명 세정장치의 디스크장착 유니트를 나타낸 것으로서,Figure 2 shows a disk mounting unit of the cleaning device of the present invention,
2a는 측면 구조도.2a is a side structure diagram.
2b는 샤프트부 내부 구조 상세도.2b is a detailed view of the internal structure of the shaft portion.
2c는 내부 구성을 나타낸 측면 구조도.2c is a side view showing the internal configuration.
2d는 내부 구성을 나타낸 정단면 구조도.2d is a front sectional structural diagram showing an internal configuration.
도 3은 본 발명 세정장치의 결합상태 평면 구조도.3 is a plan view of the bonded state of the cleaning device of the present invention.
도 4는 본 발명 장치의 결합상태 내부 구조를 나타낸 평단면도.Figure 4 is a plan sectional view showing the internal structure of the bonded state of the device of the present invention.
도 5는 본 발명 장치의 구동모터 연결상태를 나타낸 것으로서,5 is a view illustrating a driving motor connection state of the apparatus of the present invention.
5a는 전체 정면 구조도.5a is an overall front structural view.
5b는 부분 측면 구조도.5b is a partial side structure diagram.
도 6은 본 발명 장치의 롤브러쉬 개폐장치를 나타낸 것으로서,.Figure 6 shows a roll brush opening and closing device of the present invention ,.
6a는 장치구성 개략도.6a is a schematic diagram of a device configuration.
6b는 롤브러쉬 오픈상태도.6b is a roll brush open state.
6c는 롤브러쉬 크로스 상태도.6c is a roll brush cross state.
도 7은 본 발명 롤브러쉬 상세 구조도.Figure 7 is a detailed structural view of the roll brush of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
1 : 디스크 2 : 서브구동로울러1: Disc 2: Sub Drive Roller
3 : 메인구동로울러 4 : 디스크 회동 커플링3: Main drive roller 4: Disc rotation coupling
4': 유니트 회동 커플링 5 : 디스크 구동풀리4 ': unit pivot coupling 5: disc drive pulley
5': 유니트 구동풀리 6 : 동력전달벨트5 ': Unit drive pulley 6: Power transmission belt
10 : 디스크장착 유니트 11 : 회동축10: disc mounting unit 11: rotating shaft
11a: 인너샤프트 11b: 아우터샤프트11a:
12 : 지지로드 13 : 스프링12: support rod 13: spring
14 : 지지로울러 15 : 로드 가이드14: support roller 15: road guide
16 : 안내로울러 17 : 가압캠16: guide roller 17: pressurized cam
20 : 롤브러쉬 21 : 제1개폐로드20: roll brush 21: the first opening and closing rod
22 : 제2개폐로드 21a,22a: 랙기어부22: second opening and closing
23,24 : 브라켓 25 : 피니언기어23,24 Bracket 25: Pinion gear
26 : 로드구동부재 30 : 마그네트 기어26: rod drive member 30: magnet gear
31 : 베벨기어부 32 : 베어링31: Bevel gear part 32: Bearing
33 : 고정너트 34 : 세정액 유입관33: fixing nut 34: cleaning liquid inlet pipe
35 : 로타리조인트 36 : 유동공간35: rotary joint 36: fluid space
100 : 본체 유니트 101 ; 브러쉬 회동모터100:
102 : 유니트 회동모터 103 : 디스크 회동모터102: unit rotation motor 103: disk rotation motor
110,110a: 회동축 111 : 타이밍 벨트110, 110a: rotation shaft 111: timing belt
112 : 벨트풀리 113 : 아이들기어 112: belt pulley 113: children gear
114 : 커플링 200 : 모터하우징114: coupling 200: motor housing
Claims (6)
Priority Applications (1)
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KR1020080015279A KR100905920B1 (en) | 2008-02-20 | 2008-02-20 | Disk cleanig device |
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KR1020080015279A KR100905920B1 (en) | 2008-02-20 | 2008-02-20 | Disk cleanig device |
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