KR100905519B1 - 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의결함 위치 정합성을 제공하는 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 라인 스캔 카메라 및 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널들의 결함 위치 정합성을 높일 수 있는 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법에 관한 것이다.
본 발명인 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법은,
라인스캔카메라에서 전송한 1 프레임의 이미지를 획득하는 1프레임이미지획득단계(S100)와;
상기 획득된 1프레임의 이미지를 이미지 버퍼에 저장하는 이미지버퍼저장단계(S110)와;
X좌표계산부에서 상기 이미지 버퍼에 저장된 1 라인 이미지를 획득하는 1라인이미지획득단계(S120)와;
상기 획득된 1 라인 이미지에서 액티브 영역(active area)를 추출하는 제1액티브에어리어추출단계(S130)와;
상기 추출된 액티브 영역(active area)이 주기성이 있는 패턴을 가지고 있는지를 판단하는 제1주기성패턴유무판단단계(S140)와;
상기 판단 결과 주기성이 있는 패턴을 가지고 있을 경우에 액티브 영 역(active area)이 시작되는 화소의 위치를 계산하는 액티브에어리어시작화소위치계산단계(S150)와;
상기 액티브 영역(active area)이 시작되는 화소의 위치가 기준 위치로부터 몇 화소가 떨어져 있는지를 계산하여 계산된 화소 수에 화소의 해상도를 곱하여 X 방향으로 이동한 거리를 계산하는 X축엔코더값계산단계(S160)와;
좌표테이블데이터베이스의 이미지 라인별 좌표 테이블에 해당 라인의 X 좌표를 갱신하는 X좌표갱신단계(S170)와;
Y좌표계산부에서 상기 이미지 버퍼에 저장된 1 블록의 이미지를 획득하는 1블록이미지획득단계(S200)와;
상기 획득된 1 블록의 이미지에서 액티브 영역(active area)을 추출하는 제2액티브에어리어추출단계(S210)와;
상기 추출된 액티브 영역(active area)이 주기성이 있는 패턴을 가지고 있는지를 판단하는 제2주기성패턴유무판단단계(S220)와;
상기 판단 결과 주기성이 있는 패턴을 가지고 있을 경우에 액티브 영역(active area)의 픽셀이 반복되는 화소 위치들을 추출하는 픽셀반복화소위치추출단계(S230)와;
각각의 픽셀별로 포함된 이미지 라인 수와 픽셀의 Y길이를 가지고 각 라인의 좌표를 계산하는 라인좌표계산단계(S240)와;
좌표테이블데이터베이스의 이미지 라인별 좌표 테이블에 각 라인의 Y 좌표를 갱신하는 Y좌표갱신단계(S250);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명을 통해 라인 스캔 카메라 및 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널들의 결함 위치 정합성을 높일 수 있게 된다.
엘시디, PDP, 좌표, 정합성, 라인 스캔, FPD.
Description
본 발명은 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 라인 스캔 카메라 및 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널들의 결함 위치 정합성을 높일 수 있는 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법에 관한 것이다.
일반적인 디스플레이 패널에 나타날 수 있는 생산공정 중 일반적인 결함은 픽셀의 색이 불량하거나 픽셀 자체가 이상이 있을 때, 드물게 긁힘 등의 파손이 있을 때 발생된다.
종래의 엔코더란 일정거리 혹은 회전(각도)만큼 펄스를 발생시켜 펄스를 카운팅하여 이동거리를 알 수 있는 장치이며, 컨베이어상에서 패널을 이동시키게 되 는데 이때 컨베이어를 움직이는 롤러장치들은 등속을 유지하게 되지만 상기 컨베이어상에서 움직이는 패널들은 등속을 유지할 수가 없었다.
즉, 등속이 아니므로 불량의 위치를 정밀하게 계산하는 것은 불가능할 수 밖에 없었으며 컨베이어가 움직일 경우에 위 아래로 발생하는 진동에 의해 상기 엔코더를 장착하여 위치를 계산하고 싶어도 컨베이어에 장착된 엔코더는 진동에 의해 Glass가 엔코더에서 떨어지는 순간 회전할 수 없게 되어 이동거리를 정확하게 알 수 없었다.
다시 말하자면, 컨베이어 상에서 이동하는 FPD Glass 혹은 기타 패널들에 대한 광학 검사장비를 구성할 때 가장 큰 문제점 중에서 한가지는 검출된 결함의 위치의 정합성이다.
스테이지 또는 그에 상응하는 정밀한 시스템을 이용해서 검사 타겟의 이동 속도 또는 위치를 정밀하게 제어 가능한 경우에는 결함을 검출한 곳의 위치를 모션 컨트롤러로부터 획득할 수 있다.
하지만 컨베이어는 그 목적이 일반적으로 물류를 이동시키는 것이 목적이기 때문에 검사 타겟의 정보를 획득할 수 없었다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 감안하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 라인 스캔 카메라 및 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널들의 결함 위치 정합성을 높일 수 있도록 하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여,
본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법은,
라인스캔카메라에서 전송한 1 프레임의 이미지를 획득하는 1프레임이미지획득단계(S100)와;
상기 획득된 1프레임의 이미지를 이미지 버퍼에 저장하는 이미지버퍼저장단계(S110)와;
X좌표계산부에서 상기 이미지 버퍼에 저장된 1 라인 이미지를 획득하는 1라인이미지획득단계(S120)와;
상기 획득된 1 라인 이미지에서 액티브 영역(active area)를 추출하는 제1액티브에어리어추출단계(S130)와;
상기 추출된 액티브 영역(active area)이 주기성이 있는 패턴을 가지고 있는지를 판단하는 제1주기성패턴유무판단단계(S140)와;
상기 판단 결과 주기성이 있는 패턴을 가지고 있을 경우에 액티브 영역(active area)이 시작되는 화소의 위치를 계산하는 액티브에어리어시작화소위치계산단계(S150)와;
상기 액티브 영역(active area)이 시작되는 화소의 위치가 기준 위치로부터 몇 화소가 떨어져 있는지를 계산하여 계산된 화소 수에 화소의 해상도를 곱하여 X 방향으로 이동한 거리를 계산하는 X축엔코더값계산단계(S160)와;
좌표테이블데이터베이스의 이미지 라인별 좌표 테이블에 해당 라인의 X 좌표를 갱신하는 X좌표갱신단계(S170)와;
Y좌표계산부에서 상기 이미지 버퍼에 저장된 1 블록의 이미지를 획득하는 1블록이미지획득단계(S200)와;
상기 획득된 1 블록의 이미지에서 액티브 영역(active area)을 추출하는 제2액티브에어리어추출단계(S210)와;
상기 추출된 액티브 영역(active area)이 주기성이 있는 패턴을 가지고 있는지를 판단하는 제2주기성패턴유무판단단계(S220)와;
상기 판단 결과 주기성이 있는 패턴을 가지고 있을 경우에 액티브 영역(active area)의 픽셀이 반복되는 화소 위치들을 추출하는 픽셀반복화소위치추출단계(S230)와;
각각의 픽셀별로 포함된 이미지 라인 수와 픽셀의 Y길이를 가지고 각 라인의 좌표를 계산하는 라인좌표계산단계(S240)와;
좌표테이블데이터베이스의 이미지 라인별 좌표 테이블에 각 라인의 Y 좌표를 갱신하는 Y좌표갱신단계(S250);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이상의 구성 및 작용을 지니는 본 발명에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법은,
라인 스캔 카메라 및 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널들의 결함 위치 정합성을 높일 수 있게 된다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법은,
라인스캔카메라에서 전송한 1 프레임의 이미지를 획득하는 1프레임이미지획득단계(S100)와;
상기 획득된 1프레임의 이미지를 이미지 버퍼에 저장하는 이미지버퍼저장단계(S110)와;
X좌표계산부에서 상기 이미지 버퍼에 저장된 1 라인 이미지를 획득하는 1라인이미지획득단계(S120)와;
상기 획득된 1 라인 이미지에서 액티브 영역(active area)를 추출하는 제1액티브에어리어추출단계(S130)와;
상기 추출된 액티브 영역(active area)이 주기성이 있는 패턴을 가지고 있는 지를 판단하는 제1주기성패턴유무판단단계(S140)와;
상기 판단 결과 주기성이 있는 패턴을 가지고 있을 경우에 액티브 영역(active area)이 시작되는 화소의 위치를 계산하는 액티브에어리어시작화소위치계산단계(S150)와;
상기 액티브 영역(active area)이 시작되는 화소의 위치가 기준 위치로부터 몇 화소가 떨어져 있는지를 계산하여 계산된 화소 수에 화소의 해상도를 곱하여 X 방향으로 이동한 거리를 계산하는 X축엔코더값계산단계(S160)와;
좌표테이블데이터베이스의 이미지 라인별 좌표 테이블에 해당 라인의 X 좌표를 갱신하는 X좌표갱신단계(S170)와;
Y좌표계산부에서 상기 이미지 버퍼에 저장된 1 블록의 이미지를 획득하는 1블록이미지획득단계(S200)와;
상기 획득된 1 블록의 이미지에서 액티브 영역(active area)을 추출하는 제2액티브에어리어추출단계(S210)와;
상기 추출된 액티브 영역(active area)이 주기성이 있는 패턴을 가지고 있는지를 판단하는 제2주기성패턴유무판단단계(S220)와;
상기 판단 결과 주기성이 있는 패턴을 가지고 있을 경우에 액티브 영역(active area)의 픽셀이 반복되는 화소 위치들을 추출하는 픽셀반복화소위치추출단계(S230)와;
각각의 픽셀별로 포함된 이미지 라인 수와 픽셀의 Y길이를 가지고 각 라인의 좌표를 계산하는 라인좌표계산단계(S240)와;
좌표테이블데이터베이스의 이미지 라인별 좌표 테이블에 각 라인의 Y 좌표를 갱신하는 Y좌표갱신단계(S250);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 라인좌표계산단계(S240)는,
픽셀의 Y길이를 픽셀 1개 영역에 포함된 이미지 라인 수로 나누어 계산된 결과값을 이동거리로 산출하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 의한 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법의 실시예를 통해 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 일반적인 TFT LCD 글래스의 예시도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명을 이루기 위한 기본 조건은 검사 타겟에는 꼭 TFT LCD Pixel 같은 반복되는 패턴이 존재해야 한다는 점이다.
즉, 도 1은 1개의 TFT LCD Glass의 예로서 6개의 TFT LCD Panel을 갖고 있다.
이 경우 TFT LCD Panel 영역에는 LCD Pixel들이 반복적으로 배치되어 있는 영역이 존재한다.
이곳을 액티브 영역(500, active area)라고 하며, 나머지 영역에는 패턴이 존재하지 않거나 비규칙적인 패턴이 존재하게 된다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법을 제공하도록 라인스캔카메라와의 위치 예시를 나타낸 위치 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법의 라인스캔카메라를 통해 이미징되는 영역에 대한 예시도이다.
도 2와 같이 검사 타겟이 화살표 방향으로 움직일 때 가장 좌측에 놓여 있는 라인스캔카메라와의 위치 예시이며, 상기의 경우에 라인스캔카메라는 검사 타겟이 전혀 존재하지 않는 허공(400, air)과 PAD area (600, 패턴이 없거나 불규칙적으로 놓여 있는 곳) 그리고 Active area를 촬영하게 된다.
도 2를 구체적으로 나타내면 도 3과 같으며 도 3의 좌측 도면은 상기 라인스캔카메라가 이미징하는 영역을 분류한 것이며, 도 3의 우측 도면은 라인스캔카메라에서 획득된 이미지의 획은 이미지를 순차적으로 나열할 때 1개의 라인 이미지에 어떤 영역들이 포함되는지를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법의 라인스캔카메라를 통해 이미징되는 영역 중 비쥬얼 엔코더에서 사용하는 영역을 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법의 라인스캔카메라를 통해 이미징되는 영역 중 비쥬얼 엔코더로 전달되는 이미지 예시도이다.
도 4에 도시한 바와 같이 본 발명에서는 PAD area와 active area의 일부 이미지를 이용하게 된다.
구간의 크기는 라인스캔카메라의 사양(FOV) 또는 시스템에 따라서 다를 수 있지만 기본 개념은 동일하다.
상기와 같이 일부 영역만을 사용하는 이유는 위치를 알기 위해서는 전체 영역의 이미지가 필요하지도 않을 뿐더러 전체 이미지를 비쥬얼 엔코더(Visual encoder)로 전송하는 경우 고속의 데이터 전송률을 요구하기 때문이다.
상기 라인스캔카메라는 상기 영역의 이미지를 Visual Encoder로 실시간으로 전송한다.
시스템에 따라서 라인스캔카메라 및 Visual Encoder는 동일한 하드웨어 상에 있을 수도 있고 서로 독립된 하드웨어에 있을 수도 있다.
또한 스캔 이미지 전체는 결함 검출 장치로 실시간으로 전송된다.
도 5는 Visual Encoder로 전송된 이미지의 예시이며, 라인스캔카메라가 2개의 허공(400)에서 이미징을 시작해서 2개의 Panel이 있는 Glass를 이미징하고 다시 허공을 이미징한 것을 알 수 있다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법을 제공하는 시스템 블록도이다.
도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 방법을 제공하기 위한 시스템은 하기 와 같다.
검사 대상 패널의 라인을 스캔하는 라인스캔카메라(200)와;
상기 라인스캔카메라에서 스캔한 이미지를 획득하여 이미지 버퍼에 저장하는 이미지획득부(110)와,
상기 이미지 버퍼에 저장되어 있는 이미지를 1라인씩 획득하여 각 이미지가 X 방향으로 얼마만큼 이동하였는지를 계산하는 X좌표계산부(120)와,
상기 이미지 버퍼로부터 여러 라인의 이미지를 한번에 획득하여 이미지 내의 각 라인의 Y 좌표를 계산하는 Y좌표계산부(130)와,
상기 X좌표계산부 및 Y좌표계산부에서 계산된 각 이미지 라인의 X, Y 좌표를 저장하고 관리하는 좌표테이블데이터베이스(140)를 포함하여 구성되는 비쥬얼엔코더(100);로 구성되며, 상기 비쥬얼엔코더에서 획득된 좌표값을 전송받아 해당 좌표값을 토대로 결함 위치를 검출하는 결함검출장치(300)가 부수적으로 구성될 수도 있다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 7에 도시한 바와 같이, 본 발명인 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법은,
라인스캔카메라에서 전송한 1 프레임의 이미지를 획득하는 1프레임이미지획득단계(S100)와;
상기 획득된 1프레임의 이미지를 이미지 버퍼에 저장하는 이미지버퍼저장단계(S110)와;
X좌표계산부에서 상기 이미지 버퍼에 저장된 1 라인 이미지를 획득하는 1라인이미지획득단계(S120)와;
상기 획득된 1 라인 이미지에서 active area를 추출하는 제1액티브에어리어 추출단계(S130)와;
상기 추출된 active area가 주기성이 있는 패턴을 가지고 있는지를 판단하는 제1주기성패턴유무판단단계(S140)와;
상기 판단 결과 주기성이 있는 패턴을 가지고 있을 경우에 active area가 시작되는 화소의 위치를 계산하는 액티브에어리어시작화소위치계산단계(S150)와;
상기 active area가 시작되는 화소의 위치가 기준 위치로부터 몇 화소가 떨어져 있는지를 계산하여 계산된 화소 수에 화소의 해상도를 곱하여 X 방향으로 이동한 거리를 계산하는 X축엔코더값계산단계(S160)와;
좌표테이블데이터베이스의 이미지 라인별 좌표 테이블에 해당 라인의 X 좌표를 갱신하는 X좌표갱신단계(S170)와;
Y좌표계산부에서 상기 이미지 버퍼에 저장된 1 블록의 이미지를 획득하는 1블록이미지획득단계(S200)와;
상기 획득된 1 블록의 이미지에서 active area를 추출하는 제2액티브에어리어추출단계(S210)와;
상기 추출된 active area가 주기성이 있는 패턴을 가지고 있는지를 판단하는 제2주기성패턴유무판단단계(S220)와;
상기 판단 결과 주기성이 있는 패턴을 가지고 있을 경우에 active area의 픽셀이 반복되는 화소 위치들을 추출하는 픽셀반복화소위치추출단계(S230)와;
각각의 픽셀별로 포함된 이미지 라인 수와 픽셀의 Y길이를 가지고 각 라인의 좌표를 계산하는 라인좌표계산단계(S240)와;
좌표테이블데이터베이스의 이미지 라인별 좌표 테이블에 각 라인의 Y 좌표를 갱신하는 Y좌표갱신단계(S250);를 포함하여 이루어진다.
도 6 내지 도 7을 참조하여 구체적으로 설명하자면 아래와 같다.
라인스캔카메라(200)에서 전송한 1 프레임의 이미지를 이미지획득부(110)에서 획득(S100)하여 이미지 버퍼에 저장(S110)하게 된다.
상기 이미지 획득에 있어서 가장 중요한 점은 이미지획득부로 전달되는 이미지를 1라인도 놓쳐서는 안된다는 점이다.
상기 단계를 거친 후 X좌표계산부(120)에서 상기 이미지 버퍼에 저장된 1 라인 이미지를 획득(S120)하게 된다.
즉, 상기 X좌표계산부는 이미지로부터 X좌표를 계산하는 역할을 수행하게 되는데 기본적으로 이미지 버퍼에 저장되어 있는 이미지를 1라인씩 획득하여 각 이미지가 X 방향으로 얼마만큼 이동하였는가를 계산하는 것이다.
이때, 상기 획득된 1 라인 이미지에서 active area를 추출(S130)하여 상기 추출된 active area가 주기성이 있는 패턴을 가지고 있는지를 판단(S140)하게 되는 것이다.
active area를 찾는 방식은 일반적으로 이미지 프로세싱 알고리즘을 사용해서 이미지 상에서 주기성이 있는 패턴이 있는지 찾는 것을 의미한다.
도 8에 도시한 바와 같이 1라인 이미지를 이미지 버퍼에서 획득했다고 가정하자면, 도 8의 X 방향 Intensity Profile은 도 9와 같다.
즉, 도 9는 1 라인의 Intensity Profile이다.
상기한 정보를 이용하여 active area가 존재하는지를 확인하게 되는 것이다.
상기 판단 결과 주기성이 있는 패턴을 가지고 있을 경우에 active area가 시작되는 화소의 위치를 계산(S150)하게 된다.
예를 들어 설명하자면, 통상적으로 LCD Pixel의 크기는 알고 있으므로 원본 이미지(1 라인)와 LCD Pixel의 크기만큼 왼쪽으로 쉬프트한 이미지의 차이미지를 계산할 수 있다.
그러면 active area는 LCD Pixel 만큼 쉬프트를 하더라도 거의 동일하기 때문에 그 차이미지의 Intensity가 다른 영역에 비해서 상대적으로 '0'에 가깝게 될 것이다.
즉, 반복이 안되는 영역에서는 active area에 비해서 차이미지의 Intensity가 크게 나타나므로 상기 영역을 찾으면 active area가 시작되는 화소의 위치를 찾을 수 있는 것이다.
다시 말하자면, 상기 액티브 영역(active area)이 시작되는 화소의 위치가 기준 위치로부터 몇 화소가 떨어져 있는지를 계산하여 계산된 화소 수에 화소의 해상도를 곱하여 X 방향으로 이동한 거리를 계산(S160)하게 되는 것이다.
하기의 표1을 예를 들어 설명하자면, 라인(1400, 1401, 1402, 1403)들은 모두 액티브 영역이 시작되는 위치를 가지고 계산을 하게 되는데, 다만 첫번째 라인(1400) 액티브 영역의 시작점(기준 위치)가 '0'이고, 다음 라인들(1401, 1402, 1403)은 상기 시작점을 기준으로 위치 결정을 하게 되는 것이다.
예를 들어, 1400번째 라인이 첫번째 액티브 영역이라고 한다면 상기 라인의 X 좌표는 '0'이 된다.
그리고, 1401번째 라인은 액티브 영역의 시작점이 1400번째 라인과 동일하므로 역시 '0'이 된다.
그리고, 1402번째 라인은 1400번째 라인의 액티브 영역 시작점보다 '10㎛'만큼 떨어진 위치부터 시작점이 되고, 1403번째 라인은 1400번째 라인의 액티브 영역 시작점보다 '20㎛'만큼 떨어진 위치부터 시작점이 되는 것이다.
하기의 표 1를 참조하여 구체적으로 설명하도록 하겠다.
표 1
| 라인 번호 | 화소 | 화소 차이 | 위치(㎛) | 비고 |
| 1400 | 145 | 0 | 0 | 기준 위치 |
| 1401 | 145 | 0 | 0 | |
| 1402 | 146 | 1 | 10 | |
| 1403 | 147 | 2 | 20 |
첫번째로 찾은 active area가 145번째 화소라고 하고 화소의 해상도를 10㎛라고 한다면, 상기 표 1과 같이 위치가 계산되며, 상기 계산된 값이 X축 엔코더 값이 되는 것이다.
상기 단계를 거친 후 도 12에 도시한 바와 같이 좌표테이블데이터베이스(140)의 이미지 라인별 좌표 테이블에 해당 라인의 X 좌표를 갱신(S170)함으로써 X 좌표를 계산하게 되는 것이다.
예를 들어 라인 번호 100번의 경우 갱신된 값이 10을 의미하는 것이다.
상기 X 좌표의 계산이 종료되면 Y좌표계산부(130)에서 상기 이미지 버퍼에 저장된 1 블록의 이미지를 획득(S200)하게 된다.
X좌표계산부와는 달리 Y좌표계산부는 이미지 버퍼에서 여러 라인의 이미지 (여러 라인의 이미지를 블록이라 정의하도록 한다.)를 한번에 획득하여 이미지 내의 각 라인의 Y좌표를 계산하는 것이다.
상기 획득된 1 블록의 이미지에서 active area를 추출(S210)하여 상기 추출된 active area가 주기성이 있는 패턴을 가지고 있는지를 판단(S220)하게 된다.
이때, active area를 찾는 방식은 X좌표계산부와 그 원리가 동일하다.
한편, 해당 영역에 대하여 X좌표계산부가 이미 active area의 존재 여부를 계산하였다면 굳이 다시 계산할 필요는 없다.
상기 판단 결과 주기성이 있는 패턴을 가지고 있을 경우에(active area가 찾아지면) active area의 Y 방향으로 반복되는 픽셀의 화소 위치들을 추출(S230)하게 된다.
도 10에 도시한 바와 같이 Y좌표계산부에서 획득된 이미지의 경우 화살표 방향으로 Intensity Profile을 추출하면 도 11과 같다.
도 11은 X축은 시간의 흐름에 따른 것이고, Y축은 Intensity를 표현한 것이다.
즉, 도 10의 가로 방향으로 흰 줄이 6개(a 내지 f) 있는데, 각각의 흰 줄에서 발생하는 피크치를 나타낸 것이 도 11이라 할 수 있다.
도 11의 상단부에 표기된 숫자는 피크(Peak)간 거리를 나타낸다.
상기 반복되는 픽셀의 화소 위치들을 추출한 후 각각의 픽셀별로 포함된 이미지 라인 수와 픽셀의 Y길이를 가지고 각 라인의 좌표를 계산(S240)하게 된다.
즉, 도 11을 참조하여 구체적으로 설명하자면, LCD Pixel의 Y 방향 크기가 210㎛라고 한다면 첫번째 LCD Pixel을 이미징하는 동안 획득한 21개의 라인이미지들은 10㎛(210㎛/21라인)씩 이동하면서 획득되었다고 할 수 있다.
그리고 두번째 LCD Pixel을 이미징하는 동안 획득한 23개의 라인이미지들은 9.13㎛(210㎛/23라인)씩 이동하면서 획득되었다고 할 수 있다.
같은 방식으로 4번째 LCD Pixel의 19개의 라인 이미지는 11.05㎛(210㎛/19라인)씩 이동하면서 획득되었다고 할 수 있다.
상기 단계를 거친 후 최종적으로 좌표테이블데이터베이스의 이미지 라인별 좌표 테이블에 각 라인의 Y 좌표를 갱신(S250)하게 되는 것이다.
한편, 도 12는 좌표테이블데이터베이스에 저장되는 좌표 테이블 예시를 나타낸 것으로서 좌표 테이블은 이미지 라인의 X,Y 좌표가 어떻게 되는지를 기록하는 곳이다.
상기 테이블 내용은 결함검출장치(300)에 전송되어 결함위치를 또는 전체 이미지의 특정 위치의 좌표를 계산하는데 사용되는 것이다.
다음은 결함 위치를 찾는 방법을 설명하도록 하겠다.
X축의 경우에는 상기 표 1를 참조하여 설명하도록 한다.
가정조건
1. 결함이 발견된 곳의 라인 번호는 1403번 라인
2. 결함이 발견된 화소 위치는 415번째 화소
3. 해상도는 10㎛
상기와 같은 가정조건에서 1403번 라인의 Active Area 시작 위치(147번째 화 소)에서 결함이 발견된 화소의 위치(415번째 화소)까지의 화소 차이는 268화소(415-147=268)이다.
따라서, 해상도 10㎛을 곱하게 되면 그 거리는 2680㎛(268x10=2680)가 된다.
또한, X축 기준 위치(1400번 라인)에서 1403번 라인까지 20㎛가 떨어져 있으므로 결함의 X축 좌표는 2700(2680+20=2700)㎛(좌표의 단위)라고 할 수 있다.
한편, Y축의 경우에는 하기와 같다.
가정조건
1. LCD Pixel 1개의 Y축 길이는 210㎛
2. LCD Pixel 1개가 21개의 라인(1400번째부터 1421번까지)으로 이미징이 되었슴.
3. 1400번 라인은 Y축 기준위치(Active Area가 시작되는 곳)로부터 3000㎛가 떨어져 있슴.
4. 결함은 1415번 라인에서 검출이 되었음.
상기와 같은 가정조건에서 1400번 내지 1421번 라인 사이에 21개 라인은 약 10㎛(210/21=10)씩 이동할 때마다 획득되었다고 할 수 있다.
그리고, 결함은 1415번 라인에서 발견되었으므로 1400번 라인에서 15라인 떨어진 곳이고 즉, 거리로는 150㎛(10x15=150) 떨어진 곳이다.
또한, 1400번 라인은 기준 위치에서 3000㎛ 떨어진 곳이므로 결함의 Y좌표는 3150㎛이라 할 수 있다.
한편, LCD Panel과 Panel간 또는 Glass Edge부터 LCD Panel까지에서 획득한 이미지의 좌표는 Active Area만큼 정확하게 계산할 수가 없다.
하지만 해당 영역의 길이(타겟의 디자인으로부터 획득)를 알고 있다면 그 안에서 획득한 이미지 라인수로 나눠서 대략적인 각 라인의 위치를 산출할 수도 있을 것이다.
이상에서와 같은 내용의 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시된 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구 범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
본 발명인 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법은,
라인 스캔 카메라 및 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널들의 결함 위치 정합성을 높일 수 있게 되어 디스플레이 패널 검사 분야에 널리 유용하게 활용될 것이다.
도 1은 일반적인 TFT LCD 글래스의 예시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법을 제공하도록 라인스캔카메라와의 위치 예시를 나타낸 위치 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법의 라인스캔카메라를 통해 이미징되는 영역에 대한 예시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법의 라인스캔카메라를 통해 이미징되는 영역 중 비쥬얼 엔코더에서 사용하는 영역을 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법의 라인스캔카메라를 통해 이미징되는 영역 중 비쥬얼 엔코더로 전달되는 이미지 예시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법을 제공하는 시스템 블록도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에 서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법 중 1개의 라인 이미지 예를 나타낸 예시도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법 중 X 방향 Intensity Profile 예를 나타낸 예시도이다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법의 Y좌표계산부의 이미지 예를 나타낸 예시도이다.
도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법 중 Y 방향 Intensity Profile 예를 나타낸 예시도이다.
도 12는 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법 중 좌표테이블데이터베이스에 저장된 좌표 테이블 예시도이다.
도 13은 본 발명의 일실시예에 따른 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법 중 결함의 Y 좌표를 계산하는 예를 간략하게 설명한 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 비쥬얼 엔코더
110 : 이미지획득부
120 : X좌표계산부
130 : Y좌표계산부
140 : 좌표테이블데이터베이스
200 : 라인스캔카메라
300 : 결함검출장치
400 : 허공(air)
500 : 액티브 영역(active area)
600 : 패드 영역(PAD area)
Claims (2)
- 라인스캔카메라에서 전송한 1 프레임의 이미지를 획득하는 1프레임이미지획득단계(S100)와;상기 획득된 1프레임의 이미지를 이미지 버퍼에 저장하는 이미지버퍼저장단계(S110)와;X좌표계산부에서 상기 이미지 버퍼에 저장된 1 라인 이미지를 획득하는 1라인이미지획득단계(S120)와;상기 획득된 1 라인 이미지에서 액티브 영역(active area)를 추출하는 제1액티브에어리어추출단계(S130)와;상기 추출된 액티브 영역(active area)이 주기성이 있는 패턴을 가지고 있는지를 판단하는 제1주기성패턴유무판단단계(S140)와;상기 판단 결과 주기성이 있는 패턴을 가지고 있을 경우에 액티브 영역(active area)이 시작되는 화소의 위치를 계산하는 액티브에어리어시작화소위치계산단계(S150)와;상기 액티브 영역(active area)이 시작되는 화소의 위치가 기준 위치로부터 몇 화소가 떨어져 있는지를 계산하여 계산된 화소 수에 화소의 해상도를 곱하여 X 방향으로 이동한 거리를 계산하는 X축엔코더값계산단계(S160)와;좌표테이블데이터베이스의 이미지 라인별 좌표 테이블에 해당 라인의 X 좌표를 갱신하는 X좌표갱신단계(S170)와;Y좌표계산부에서 상기 이미지 버퍼에 저장된 1 블록의 이미지를 획득하는 1블록이미지획득단계(S200)와;상기 획득된 1 블록의 이미지에서 액티브 영역(active area)을 추출하는 제2액티브에어리어추출단계(S210)와;상기 추출된 액티브 영역(active area)이 주기성이 있는 패턴을 가지고 있는지를 판단하는 제2주기성패턴유무판단단계(S220)와;상기 판단 결과 주기성이 있는 패턴을 가지고 있을 경우에 액티브 영역(active area)의 픽셀이 반복되는 화소 위치들을 추출하는 픽셀반복화소위치추출단계(S230)와;각각의 픽셀별로 포함된 이미지 라인 수와 픽셀의 Y길이를 가지고 각 라인의 좌표를 계산하는 라인좌표계산단계(S240)와;좌표테이블데이터베이스의 이미지 라인별 좌표 테이블에 각 라인의 Y 좌표를 갱신하는 Y좌표갱신단계(S250);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 라인좌표계산단계(S240)는,픽셀의 Y길이를 픽셀 1개 영역에 포함된 이미지 라인 수로 나누어 계산된 결 과값을 이동거리로 산출하는 것을 특징으로 하는 비쥬얼 엔코더를 이용하여 컨베이어상에서 이동하는 패널의 결함 위치 정합성을 제공하는 방법.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101205968B1 (ko) | 2011-06-30 | 2012-11-28 | 와이즈플래닛(주) | 잉크젯 프린터와 에어리어 카메라를 이용한 비쥬얼 엔코더 시스템 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0274852A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 欠陥周期の測定方法 |
| JP2000121573A (ja) | 1998-10-16 | 2000-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像処理方法及びその装置 |
| JP2002164393A (ja) | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Sony Corp | 半導体ウエハのプローバ用マーキング装置 |
| JP2005147911A (ja) | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Seiko Epson Corp | 表示パネルの画素評価方法及びその装置 |
-
2009
- 2009-03-11 KR KR1020090020881A patent/KR100905519B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0274852A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 欠陥周期の測定方法 |
| JP2000121573A (ja) | 1998-10-16 | 2000-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像処理方法及びその装置 |
| JP2002164393A (ja) | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Sony Corp | 半導体ウエハのプローバ用マーキング装置 |
| JP2005147911A (ja) | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Seiko Epson Corp | 表示パネルの画素評価方法及びその装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101205968B1 (ko) | 2011-06-30 | 2012-11-28 | 와이즈플래닛(주) | 잉크젯 프린터와 에어리어 카메라를 이용한 비쥬얼 엔코더 시스템 |
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