KR100899424B1 - Organic light emitting diode display - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유기 전계 발광표시장치에 관한 것으로, 소자기판, 상기 소자기판 상에 형성되며 하부에 반사막을 포함하는 제1전극, 상기 제1전극 상에 형성되는 유기발광층, 상기 유기발광층 상에 형성되는 제2전극을 포함하는 유기 전계 발광소자; 및 상기 유기 전계 발광소자가 형성된 상기 소자기판의 전면에 형성되며, 상기 유기발광층과 대응되는 위치에 테이퍼진 패턴을 포함하는 발광 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치를 제공한다.The present invention relates to an organic light emitting display device, comprising: a device substrate, a first electrode formed on the device substrate and including a reflective film thereunder, an organic light emitting layer formed on the first electrode, and formed on the organic light emitting layer An organic electroluminescent device comprising a second electrode; And a light emitting protective layer formed on a front surface of the device substrate on which the organic light emitting diode is formed and including a tapered pattern at a position corresponding to the organic light emitting layer.
이러한, 상기 발광 보호막은 상기 유기발광층을 포함하는 유기 전계 발광소자를 외기로부터 보호함과 동시에 광을 외부로 집광함으로서 보다 양호한 광효율을 갖는 유기 전계 발광표시장치를 구현 할 수 있다.The light emitting protection layer may implement an organic light emitting display device having better light efficiency by protecting the organic light emitting diode including the organic light emitting layer from outside air and condensing light to the outside.
발광 보호막, 광 효율 Luminous protective film, light efficiency
Description
본 발명은 유기 전계 발광표시장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 테이퍼진 패턴을 포함하는 발광 보호막을 구비하는 유기 전계 발광표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device, and more particularly, to an organic light emitting display device having a light emitting protective film including a tapered pattern.
일반적으로, 평판 표시 장치(Flat Panel Display: FPD)는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display: LCD), 전계 방출 디스플레이 장치(Field Emission Display: FED), 유기 전계 발광표시장치(Organic Light Emitting Diode display: OELD) 등으로 나누어진다.In general, a flat panel display (FPD) is a liquid crystal display (LCD), a field emission display (FED), an organic light emitting diode display (OLED) ) And the like.
이러한, 평판 표시 장치 중 유기 전계 발광표시장치는, 유기물로 이루어진 유기발광층을 포함하므로 외부의 수분 등에 취약한 특성이 있다. Among the flat panel display devices, the organic light emitting display device includes an organic light emitting layer made of organic material, and thus is vulnerable to external moisture.
따라서, 외부의 수분 등으로부터 유기물 소자를 보호하기 위하여 유기 전계 발광소자가 형성된 소자기판의 가장자리부에 실런트를 도포하고 상기 실런트를 매개로 상부에 봉지기판을 합착하는 구조를 형성한다. Accordingly, in order to protect the organic device from external moisture and the like, a sealant is applied to the edge of the device substrate on which the organic light emitting device is formed, and a sealing substrate is bonded to the upper portion via the sealant.
결국, 상기 실런트를 매개로 합착된 상기 소자기판과 상기 봉지기판이 유기 전계 발광소자를 외부와 분리시키므로 상기 유기 전계 발광소자의 유기발광층을 보호할 수 있게 된다.As a result, the device substrate and the encapsulation substrate bonded through the sealant separate the organic electroluminescent device from the outside, thereby protecting the organic light emitting layer of the organic electroluminescent device.
이때, 상기 유기발광층을 더욱 보호하기 위해 상기 유기 전계 발광소자를 포함하는 소자기판 전면에 별도의 발광 보호막을 형성할 수 있다.In this case, in order to further protect the organic light emitting layer, a separate light emitting protective film may be formed on the entire surface of the device substrate including the organic light emitting device.
그런데, 이러한 발광 보호막은 상기 유기발광층을 보호하는 역할뿐만 아니라 발광 시 광효율에 영향을 미칠 수도 있다.However, the light emitting protective layer may not only serve to protect the organic light emitting layer, but may also affect light efficiency during light emission.
보다 자세하게는, 상기 광효율은 크게 내부광효율과 외부광효율로 나누어지는데, 상기 내부광효율은 인광재료를 이용하면 100%에 가까운 효율을 얻을 수 있다. In more detail, the light efficiency is largely divided into an internal light efficiency and an external light efficiency, and the internal light efficiency can obtain an efficiency close to 100% by using a phosphorescent material.
반면에, 상기 외부광효율은 유기발광층의 발광 시 내부의 적층 구조에 의해 굴절 및 회절현상으로 난반사가 발생하여 실제로 외부까지 방출되는 광은 약 20%에 불과하다. On the other hand, the external light efficiency is only about 20% of the light emitted to the outside due to diffuse reflection due to refraction and diffraction due to the internal laminated structure during the light emission of the organic light emitting layer.
따라서, 유기 전계 발광 표시장치 내부에서 소멸되는 광의 일부분만이라도 외부로 방출할 수 있다면 매우 큰 광효율 개선 효과를 얻을 수 있다.Therefore, if only a part of the light that is extinguished in the organic light emitting display can be emitted to the outside, a very large light efficiency improvement effect can be obtained.
하지만, 종래의 발광 보호막은 유기 전계 발광소자 상에 균일하게 형성되기 때문에 광효율을 개선시키는 측면에서는 한계가 있다.However, since the conventional light emitting protective film is uniformly formed on the organic EL device, there is a limit in terms of improving the light efficiency.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유기 전계 발광소자 전면에 테이퍼진 패턴을 포함하는 발광보호막을 형성하여 광효율이 향상된 유기 전계 발광표시장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an organic electroluminescent display device having improved light efficiency by forming a light emitting protective film including a tapered pattern on an entire surface of an organic electroluminescent device. have.
본 발명의 상기 목적은 소자기판, 상기 소자기판 상에 형성되며 하부에 반사막을 포함하는 제1전극, 상기 제1전극 상에 형성되는 유기발광층, 상기 유기발광층 상에 형성되는 제2전극을 포함하는 유기 전계 발광소자; 및The object of the present invention includes a device substrate, a first electrode formed on the device substrate and including a reflective film at the bottom, an organic light emitting layer formed on the first electrode, a second electrode formed on the organic light emitting layer Organic electroluminescent device; And
상기 유기 전계 발광소자가 형성된 상기 소자기판의 전면에 형성되며, 상기 유기발광층과 대응되는 위치에 테이퍼진 패턴을 포함하는 발광 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 유And a light emitting protective film formed on an entire surface of the device substrate on which the organic electroluminescent device is formed and including a tapered pattern at a position corresponding to the organic light emitting layer.
기 전계 발광표시장치에 의해 달성된다.It is achieved by an electroluminescent display device.
따라서, 본 발명의 유기 전계 발광표시장치는 테이퍼진 패턴을 포함하는 발광 보호막을 구비하여 유기발광층을 포함하는 유기 전계 발광소자를 보호함과 동시에 보다 양호한 광효율을 기대할 수 있다.Therefore, the organic electroluminescent display device of the present invention may be provided with a light emitting protective film including a tapered pattern to protect the organic electroluminescent device including the organic light emitting layer, and at the same time, better light efficiency may be expected.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시 예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다. Details of the above objects and technical configurations and the effects thereof according to the present invention will be more clearly understood by the following detailed description with reference to the drawings showing preferred embodiments of the present invention.
도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 또한, 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.In the drawings, the lengths, thicknesses, etc. of layers and regions may be exaggerated for convenience. Also, like reference numerals denote like elements throughout the specification.
< 실시 예1 ><Example 1>
도 1a 내지 도 1d는 본 발명의 실시 예1에 의한 유기 전계 발광표시장치의 제조공정을 나타내는 단면도이다.1A to 1D are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of an organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention.
먼저, 도 1a를 참조하면, 소자기판(10) 상에 다수개의 유기 전계 발광소자가 형성된다. First, referring to FIG. 1A, a plurality of organic EL devices are formed on the
이때, 상기 소자기판(10)은 유리 기판 또는 플라스틱 기판과 같은 절연체로 형성될 수 있다. In this case, the
이러한, 상기 소자기판(10) 상에 형성되는 유기 전계 발광소자는 하부에 반사막(미도시)을 포함하는 제1전극(20)과 상기 제1전극(20) 상에 형성되는 유기발광층(21) 및 상기 유기발광층(21) 상에 형성되는 제2전극(22)을 포함하는 수동형 유기 전계 발광소자일 수 있다. 이때, 상기 유기발광층(21)과 제1전극(20) 사이에는 정공 주입층 및 정공 수송층이 형성될 수 있으며, 상기 유기발광층(21)과 제2전극(22) 사이에는 전자 수송층 및 전자 주입층이 형성될 수도 있다. The organic electroluminescent device formed on the
또한, 상기 유기 전계 발광소자는 박막트랜지스터를 포함하는 능동형 유기 전계 발광소자일 수도 있는데, 일반적인 능동형 유기 전계 발광소자는 도 4를 참조한 이하의 상세한 설명에 의해 이해될 수 있다.In addition, the organic electroluminescent device may be an active organic electroluminescent device including a thin film transistor, and a general active organic electroluminescent device may be understood by the following detailed description with reference to FIG. 4.
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도 4는 유기 전계 발광소자의 단면도 일부이다.4 is a partial cross-sectional view of an organic EL device.
먼저, 도 4를 참조하면, 기판(10) 상에 버퍼층(미도시)이 형성될 수 있다. 상기 버퍼층(미도시)은 상기 기판(10)에서 발생하는 수분 또는 불순물의 확산을 방지하는 역할을 한다. First, referring to FIG. 4, a buffer layer (not shown) may be formed on the
이어서, 상기 버퍼층(미도시) 상에 비정질 실리콘을 형성하는데, 상기 비정질 실리콘층은 스퍼터링 장치와 같은 물리적 기상 증착법(Physical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 또는 LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 장치와 같은 화학적 기상 증착법(Chemical Vapor Deposition)을 이용하여 형성할 수 있다. Subsequently, amorphous silicon is formed on the buffer layer (not shown), wherein the amorphous silicon layer is formed by physical vapor deposition (Pspma) or plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) or low pressure chemical vapor deposition (LPCVD), such as a sputtering apparatus. It can be formed using a chemical vapor deposition (Chemical Vapor Deposition) device.
또한, 상기 비정질 실리콘층을 형성할 때, 또는 형성한 후에 탈수소 처리하여 수소의 농도를 낮추는 공정을 진행할 수 있다.In addition, when the amorphous silicon layer is formed, or after the formation of the dehydrogenation process may be carried out to lower the concentration of hydrogen.
이어서, 상기 비정질 실리콘층은 결정화하여 다결정 실리콘층으로 형성한다. 상기 비정질 실리콘층을 결정화하는 방법에는 ELA(Excimer Laser Annealing), SLS(Sequential Lateral Solidification), MIC(Metal Induced Crystallization) MILC(Metal Induced Later Crystallization) 또는 SGS(Super Grained Silicon) 등을 사용할 수 있다.Subsequently, the amorphous silicon layer is crystallized to form a polycrystalline silicon layer. The method of crystallizing the amorphous silicon layer may include Excimer Laser Annealing (ELA), Sequential Lateral Solidification (SLS), Metal Induced Crystallization (MIC), Metal Induced Later Crystallization (MILC), or Super Grained Silicon (SGS).
이어서, 상기 다결정 실리콘층을 패터닝하여 일정 패턴의 반도체층(110)을 형성한다. Subsequently, the polycrystalline silicon layer is patterned to form a
이어서, 상기 반도체층(110)이 형성된 기판 전면에 게이트 절연막(120)을 형 성하여 하부에 형성된 소자들을 보호하고, 상기 게이트 절연막(120) 상부에 형성될 소자들과 전기적으로 절연시킨다. Subsequently, the
이어서, 상기 게이트 절연막(120) 상에는 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(Al alloy), 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금(Mo alloy) 중 어느 하나로 게이트 메탈층을 증착한다. Subsequently, a gate metal layer is deposited on the
이어서, 상기 게이트 메탈층을 패터닝하여 반도체층(110)의 일정영역에 대응되는 게이트 전극(130)을 형성한다.Subsequently, the gate metal layer is patterned to form a
이어서, 상기 게이트 전극(130)을 마스크로 사용하여 N형 또는 P형 불순물 중 어느 하나를 주입하는 공정을 진행하여 상기 반도체층(110)에 소스/드레인(110a, 110b) 영역 및 채널영역(110c)을 형성한다. 이때, 상기 반도체층(110)이 소스/드레인 영역(110a, 110b)과 채널 영역(110c)으로 나누어지는 것은 상기 불순물 주입 공정에 의해 불순물이 주입된 영역은 소스/드레인 영역(110a, 110b)으로 정의되고, 상기 게이트 전극(130)에 의해 불순물이 주입되지 못하는 영역은 박막트랜지스터 구동 시 채널이 형성되는 채널영역(110c)으로 정의되기 때문이다.Subsequently, using the
이어서, 상기 기판 전면에는 층간 절연막(140)을 형성하는데, 상기 층간 절연막(140)은 하부에 형성된 소자들을 보호하며, 상기 층간 절연막(140) 상부에 형성될 소자들과 전기적으로 절연시킨다. Subsequently, an
이때, 상기 버퍼층(미도시), 게이트 절연막(120) 및 층간 절연막(140)은 SiO2 또는 SiNx로 형성될 수 있으며, 이들로 구성된 복수의 층으로도 이루어질 수 있다. In this case, the buffer layer (not shown), the
이어서, 상기 층간 절연막(140)과 게이트 절연막(120)을 관통하여 반도체층(110)의 소스/드레인 영역(110a, 110b) 일부가 노출되도록 콘택 홀을 각각 형성한다.Subsequently, contact holes are formed to penetrate the
이어서, 상기 층간 절연막(140) 상에 상기 콘택 홀을 통하여 반도체층(110)의 소스/드레인 영역(110a, 110b)과 연결되는 일정패턴의 소스/드레인 전극(150a, 150b)을 형성하여 박막트랜지스터를 형성한다.Subsequently, a thin film transistor is formed on the
상기 소스/드레인 전극(150a, 150b)은 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(Al alloy), 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금(Mo alloy) 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.The source /
다음으로, 상기 기판 전면에 박막트랜지스터 보호막(160)을 형성하는데, 상기 박막트랜지스터 보호막(160)은 SiO2 또는 SiNx와 이들의 복수 층으로 이루어질 수 있다.Next, the thin film
이어서, 상기 박막트랜지스터 보호막(160) 상에는 평탄화막(170)을 형성하는데, 상기 평탄화막(170)은 유기막으로 형성될 수 있으며, 상기 기판상의 단차를 완화하기 위하여 아크릴, BCB(benzocyclobutene) 및 폴리이미드로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 사용할 수 있다. Subsequently, a
이어서, 상기 박막트랜지스터 보호막(160) 및 평탄화막(170)의 일정영역을 식각하여 상기 소스/드레인 전극(150a, 150b) 중 어느 하나를 노출시키는 비아 홀를 형성한다. Subsequently, a region of the thin film
이어서, 상기 평탄화막(170) 상에 제1전극(20)을 형성한다. 상기 제1전 극(20)은 상기 비아홀을 통해 노출된 소스/드레인 전극(150a, 150b) 중 어느 하나와 연결된다. 상기 제1전극(20)은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 투명전극으로 형성된다.Subsequently, a
이때, 제1전극(20)의 하부에는 빛을 반사시키는 반사막(미도시)을 포함하여 전면발광형 유기 전계 발광소자를 제공할 수 있다. 상기 반사막은 Pt, Au, Ir, Cr, Mg, Ag, Al 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 어느 하나로 이루어지며 상기 제1전극(20)과 적층된 구조이다.In this case, the bottom of the
이어서, 상기 기판 전면에 상기 제1전극(20)의 일정 영역을 노출시키는 개구부를 구비하는 화소 정의막(25)을 형성한다. 상기 화소 정의막(25)은 BCB (benzocyclobutene), 아크릴계 고분자 및 폴리이미드로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 물질일 수 있다. Subsequently, a
이어서, 상기 개구부로 노출된 제1전극(20) 상에는 유기발광층(21)을 형성하고, 상기 기판 상부 전면에 제2전극(22)을 형성하여 유기 전계 발광소자를 구현한다. 이때, 상기 유기발광층(21)과 제1전극(20) 사이에는 정공 주입층 및 정공 수송층이 형성될 수 있으며, 상기 유기발광층(21)과 제2전극(22) 사이에는 전자 수송층 및 전자 주입층이 형성될 수도 있다.Subsequently, the organic
상기에서 박막트랜지스터는 탑 게이트 전극 구조만을 설명하고 있지만, 이에 한정되지 않고 공지된 기술인 버텀 게이트 전극 구조의 박막트랜지스터를 적용할 수 있다.Although the thin film transistor has only a top gate electrode structure described above, a thin film transistor having a bottom gate electrode structure, which is a well-known technology, may be applied.
다음으로, 도 1b를 참조하면, 상기와 같은 유기 전계 발광소자가 형성된 소 자기판(10) 전면에 발광 보호막(23)을 형성한다. 상기 발광 보호막(23)은 유기발광층(21)을 포함하는 상기 유기 전계 발광소자를 외기로부터 보호하기 위한 것이다.Next, referring to FIG. 1B, a light emitting
상기 발광 보호막(23)은 유기물, 물기물 중 투명한 물질로 형성할 수 있으나, 일반적으로 SiNx, SiO2 및 Al203 중 어느 하나로 형성할 수 있으며, 10Å 내지 5000Å 의 두께로 형성할 수 있다. The light emitting
이때, 10Å 이하로 형성하면 외기로부터 유기 전계 발광소자를 보호하는 보호막 효과가 저하되며, 5000Å 이상으로 형성할 경우 광 효율 및 박막형성 공정시간이 저하될 수 있다.In this case, the protective film effect to protect the organic electroluminescent device from the outside air is lowered when formed below 10 kW, and the light efficiency and the thin film formation process time may be lowered when formed above 5000 kW.
다음으로, 도 1c를 참조하면, 상기 발광 보호막(23)에 습식 또는 건식 식각공정을 진행하여 상기 유기발광층(21)에 대응되는 위치에 사다리꼴 형태의 테이퍼진 패턴(23a)을 형성한다.Next, referring to FIG. 1C, a wet or dry etching process may be performed on the light emitting
상기 습식 식각 방법으로는 발광 보호막(23) 상에 노광 및 현상공정을 거쳐 일정패턴의 감광막(미도시)을 형성한 후 노즐에 의해 식각액이 분사되는 스프레이 방식을 이용하여 상기 발광 보호막(23)을 식각한다. 이때, 상기 분사 압력을 조절하여 역테이퍼 형태의 테이퍼진 패턴(23a)을 형성할 수 있다.In the wet etching method, a photosensitive film (not shown) having a predetermined pattern is formed on the light emitting
이러한, 상기 발광 보호막(23)의 상세한 설명은 도 2를 참조한 이하의 상세한 설명에 의해 이해될 것이다.Such a detailed description of the light emitting
다음으로, 도 1d를 참조하면, 상기 소자기판(10)의 가장자리부에 실런트(24)를 도포하고 상부에 봉지기판(30)을 정렬한 후 가압하는 접합공정을 진행하여 상기 소자기판(10)과 봉지기판(30)을 접합시킨다.Next, referring to FIG. 1D, the
따라서, 상기 봉지기판(30)과 상기 소자기판(20)은 밀봉되어 그 내부공간에 수용된 상기 유기 전계 발광소자는 외기로부터 보호 될 수 있다. 상기 봉지기판(30)은 유리, 또는 플라스틱 등으로 형성될 수 있다.Therefore, the
이때, 상기 실런트(24)는 에폭시와 같은 UV 경화제 또는 열경화제가 사용될 수 있으며, 폴리머 비드 또는 실리카 파티클 등의 스페이서(spacer)를 함유할 수도 있다. In this case, the
상기 봉지기판(30)은 흡습제(미도시)를 포함 할 수도 있는데, 상기 흡습제는 BaO, GaO, 제올라이트(Zeolite), CaO, 메탈 옥사드(metal oxide) 계열로 이루어진 군에서 선택되는 1종의 물질로 형성된 것을 이용할 수 있으며, 투명흡습제인 PNPL을 사용할 수도 있다.The encapsulating
도 2는 본 발명의 실시 예1에 의한 유기 전계 발광 표시장치의 발광을 나타내는 단면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating light emission of an organic light emitting display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 상기 발광 보호막(23)은 사다리꼴 형태의 테이퍼진 패턴(23a)으로 형성되는데, 상기 테이퍼(a)는 상기 발광 보호막(23)의 두께 또는 유기발광층(21)의 특성에 따라 90° 내지 180°사이에서 조절할 수 있다.Referring to FIG. 2, the light emitting
따라서, 상기 유기발광층(21)에서 발광한 광이 회절 및 굴절에 의해 사방으로 퍼지게 되어도 상기 발광 보호막(23)의 테이퍼진 패턴(23a)에 의해, 도면과 같이 불규칙하게 발광하는 광을 외부로 집광하여 광효율을 향상시킬 수 있다. Therefore, even if the light emitted from the organic
결국, 상기 사다리꼴 형태의 테이퍼진 패턴(23a)을 포함하는 발광 보호막(23)은 유기발광층(21)를 포함하는 유기 전계 발광소자를 보호함과 동시에 종래 기술에 의한 균일한 형태의 발광 보호막보다 양호한 광효율을 얻을 수 있다. As a result, the light emitting
< 실시 예2 ><Example 2>
도 3은 본 발명의 실시 예2에 의한 유기 전계 발광표시장치의 발광을 나타내는 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating light emission of an organic light emitting display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.
본 발명에 의한 실시 예2는 테이퍼진 패턴(23a)을 포함하는 발광 보호막(23)을 제외한 구성이 실시 예1과 중복됨으로 상기 테이퍼진 패턴(23a)을 포함하는 발광 보호막(23) 이외의 상세한 설명은 중복을 피하기 위하여 생략한다.According to the second embodiment of the present invention, since the configuration except for the light emitting
도 3을 참조하면, 소자기판(10) 상에 다수개의 유기 전계 발광소자가 형성된다.Referring to FIG. 3, a plurality of organic electroluminescent devices are formed on the
상기와 같은 유기 전계 발광소자가 형성된 소자기판(10) 전면에 발광 보호막(23)을 형성한다. 상기 발광 보호막(23)은 유기발광층(21)을 포함하는 유기 전계 발광소자를 외기로부터 보호하기 위한 것이다.A light emitting
상기 발광 보호막(23)은 유기물, 물기물 중 투명한 물질로 형성할 수 있으나, 일반적으로 SiNx, SiO2 및 Al203 중 어느 하나로 형성할 수 있으며, 10 Å 내지 5000 Å 의 두께로 형성할 수 있다. The light emitting
이때, 10 Å 이하로 형성하면 외기로부터 유기 전계 발광소자를 보호하는 보호막 효과가 저하되며, 5000 Å 이상으로 형성할 경우 광 효율 및 박막형성 공정시간이 저하될 수 있다.In this case, when the protective film is formed at 10 kW or less, the protective film effect of protecting the organic EL device from external air is reduced.
다음으로, 상기 발광 보호막(23)에 습식 또는 건식 식각공정을 진행하여 상 기 유기발광층(21) 상에 대응되는 위치에 삼각형 형태의 테이퍼진 패턴(23a)을 형성한다.Next, a wet or dry etching process is performed on the light emitting
상기 건식 식각 방법으로는 상기 발광 보호막(23) 상에 감광막(미도시)을 도포한 후 하프 톤 마스크를 이용하여 일정패턴으로 노광 및 현상한 후 건식식각을 진행하면 상기 감광막의 일정패턴이 하부의 발광 보호막(23)에 전사되어 삼각형 패턴이 형성할 수 있다.In the dry etching method, a photoresist (not shown) is coated on the light-emitting
이때, 상기 삼각형 형태의 테이퍼진 패턴(23a)은 하나 또는 다수개로 형성되는데, 상기 발광 보호막(23)의 두께 또는 유기발광층(21)의 특성에 따라 테이퍼(a)를 90° 내지 180°사이에서 조절할 수 있다. In this case, one or more of the triangular
보다 자세하게는, 상기 유기발광층(21)에서 발광한 광은 광의 회절 및 굴절로 인해 사방으로 퍼지게 된다.More specifically, the light emitted from the organic
이때, 상기 발광 보호막(23)이 삼각형 형태의 테이퍼진 패턴(23a)으로 형성되기 때문에 도면과 같이 불규칙하게 발광하는 광을 외부로 집광하여 광효율을 향상시킬 수 있다.In this case, since the light emitting
따라서, 상기 하나 또는 다수개의 삼각형 형태의 테이퍼진 패턴(23a)을 포함하는 발광 보호막(23)은 유기발광층(21)을 포함하는 유기 전계 발광소자를 보호함과 동시에 종래기술에 의한 균일한 형태의 발광 보호막보다 양호한 광효율을 얻을 수 있다.Accordingly, the light emitting
이상의 본 발명에 의한 실시 예1 및 실시 예2에서는 발광 보호막의 패턴을 사다리꼴 및 삼각형 패턴을 중심으로 설명하였지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 광효율을 향상시킬 수 있는 패턴을 구비하는 발광 보호막 전반에 걸쳐서 적용될 수 있다.In Example 1 and Example 2 according to the present invention described above, the pattern of the light emitting protective film has been described centering on the trapezoidal and triangular patterns, but the present invention is not limited thereto, and the overall light emitting protective film having a pattern capable of improving light efficiency may be used. Can be applied across.
따라서, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Therefore, it will be understood by those skilled in the art that the present invention may be variously modified and changed without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below.
도 1a 내지 도 1d는 본 발명의 실시 예1에 의한 유기 전계 발광표시장치의 제조공정을 나타내는 단면도이다.1A to 1D are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of an organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 실시 예1에 의한 유기 전계 발광 표시장치의 발광을 나타내는 단면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating light emission of an organic light emitting display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 실시 예2에 의한 유기 전계 발광표시장치의 발광을 나타내는 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating light emission of an organic light emitting display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 4는 유기 전계 발광소자의 단면도 일부이다.4 is a partial cross-sectional view of an organic EL device.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
10: 소자기판 20: 제1전극10: device substrate 20: first electrode
21: 유기발광층 22: 제2전극21: organic light emitting layer 22: second electrode
23: 발광 보호막 23a: 테이퍼진 패턴23: light emitting
30: 봉지기판 110: 반도체층 30: sealing substrate 110: semiconductor layer
110a, 110b: 소스/드레인 영역 110c: 채널영역 110a, 110b: source /
120: 게이트 절연막 130: 게이트 전극120: gate insulating film 130: gate electrode
140: 층간 절연막 150a, 150b: 소스/드레인 전극 140:
160: 박막 트랜지스터 보호막 170: 평탄화막160: thin film transistor protective film 170: planarization film
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