KR100897295B1 - Bulk bias voltage generator of semiconductor memory apparatus - Google Patents

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Abstract

개시된 본 발명은 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로로서, 입력 전압과 기준 전압을 비교하여 인에이블 신호를 생성하는 감지부, 내부 전압과 내부 기준 전압을 비교하여 내부 전압 인에이블 신호를 생성하는 내부 전압 감지부, 상기 인에이블 신호와 상기 내부 전압 인에이블 신호를 입력받아 주기가 가변되는 내부 전압 발진 신호를 생성하는 내부 전압 발진부, 및 상기 내부 전압 발진 신호에 응답하여 상기 내부 전압을 생성하기 위한 내부 전압 펌프부를 포함하며, 상기 내부 전압 발진부는 복수의 발진 신호 생성부를 구비함으로써, 상기 입력 전압의 레벨에 따라 정량적인 주기 차이를 갖는 상기 내부 전압 발진 신호의 경로를 선택적으로 제공한다.Disclosed is a bulk bias voltage generation circuit of a semiconductor memory device, comprising: a detector configured to generate an enable signal by comparing an input voltage and a reference voltage, and an internal voltage enable signal by comparing an internal voltage and an internal reference voltage A voltage detector, an internal voltage oscillator configured to receive the enable signal and the internal voltage enable signal and generate an internal voltage oscillation signal having a variable period, and an internal to generate the internal voltage in response to the internal voltage oscillation signal And a voltage pump unit, wherein the internal voltage oscillator includes a plurality of oscillation signal generators to selectively provide a path of the internal voltage oscillation signal having a quantitative periodic difference according to the level of the input voltage.

벌크 바이어스 전압(Vbb), 승압 전압(Vpp), 외부 전압(Vdd), 래치업, 펌프 Bulk Bias Voltage (Vbb), Step-Up Voltage (Vpp), External Voltage (Vdd), Latch-Up, Pump

Description

반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로{Bulk Bias Voltage Generator of Semiconductor Memory Apparatus}Bulk Bias Voltage Generator Circuit of Semiconductor Memory Device {Bulk Bias Voltage Generator of Semiconductor Memory Apparatus}

본 발명은 반도체 메모리 장치로서, 보다 구체적으로는 벌크 바이어스 전압 펌프의 사이즈를 줄이고, 벌크 바이어스 전압을 안정화 시키기 위한 벌크 바이어스 전압 생성 회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a bulk bias voltage generation circuit for reducing the size of a bulk bias voltage pump and stabilizing the bulk bias voltage.

반도체 메모리 장치에서는 외부 전압(VDD)의 변화에 영향을 받지 않고, 전력 소모를 줄이기 위하여 내부에서 따로 안정적인 전압을 만들어 사용한다. 이러한 내부 전압은 벌크 바이어스 전압(Vbb), 승압 전압(Vpp), 코어 전압(Vcore)등등 여러 종류가 있다. 상기 벌크 바이어스 전압(Vbb)은 그라운드 전압 보다 낮은 마이너스(-) 전압으로 셀(Cell)의 벌크 바이어스로 사용된다. 상기 벌크 바어어스 전압(Vbb)은 셀 트랜지스터의 문턱 전압(Vth)을 상승시켜 누설 전류(Leakage Current)를 줄일 수가 있다. 그러나, 벌크 바이어스 전압(Vbb)을 사용하는 경우, 상기 벌크 바이어스 전압(Vbb)이 불안정하여 래치업(latch-up)이 발생하는 위험성이 있다. In a semiconductor memory device, a stable voltage is internally used to reduce power consumption without being affected by a change in the external voltage VDD. These internal voltages are of various types such as bulk bias voltage (Vbb), boosted voltage (Vpp), core voltage (Vcore). The bulk bias voltage Vbb is used as the bulk bias of the cell with a negative voltage lower than the ground voltage. The bulk bias voltage Vbb may increase the threshold voltage Vth of the cell transistor to reduce the leakage current. However, when the bulk bias voltage Vbb is used, there is a risk that the bulk bias voltage Vbb is unstable and latch-up occurs.

여기서, 코어 전압(Vcore)은 외부 전압(Vdd)을 변압하여 생성되며, 일반적으 로 정상 동작 시 상기 외부 전압(Vdd)보다 약간 낮은 값을 갖는다. 상기 코어 전압(Vcore)은 주로 비트 라인 센스 앰프 증폭 회로에 사용된다. 상기 승압 전압(Vpp)은 외부 전압(Vdd)을 승압하여 생성되며, 외부 전압(Vdd)보다 높은 전압 레벨의 값을 갖는다. 상기 승압 전압(Vpp)은 셀(cell) 트랜지스터의 문턱 전압(Vt)의 손실을 보상하기 위하여 사용되거나 상기 셀 트랜지스터의 게이트를 제어하기 위한 워드라인 구동 회로, 비트라인 절연 트랜지스터의 게이트를 조절하기 위하여 사용된다.Here, the core voltage Vcore is generated by transforming the external voltage Vdd, and generally has a value slightly lower than the external voltage Vdd in normal operation. The core voltage Vcore is mainly used for a bit line sense amplifier amplification circuit. The boosted voltage Vpp is generated by boosting the external voltage Vdd and has a voltage level higher than the external voltage Vdd. The boost voltage Vpp is used to compensate for the loss of the threshold voltage Vt of a cell transistor or to control a gate of a bit line isolation transistor or a word line driving circuit for controlling a gate of the cell transistor. Used.

도 1은 일반적인 래치업 구조의 회로도이고, 도 2는 일반적인 CMOS의 동작원리를 나타낸 회로도이다.1 is a circuit diagram of a general latch-up structure, and FIG. 2 is a circuit diagram showing an operation principle of a general CMOS.

도 1을 참조하면, 초기 승압 전압인 승압 전압(Vpp)의 공급 능력이 부족하여 상기 승압 전압(Vpp)이 외부 전압(Vdd)보다 낮아질 경우, 상기 제 1 바이폴라 트랜지스터(BJT1)가 턴온되어, 벌크 바이어스 전압(Vbb)이 상승하게 된다. 이 후, 상승된 상기 벌크 바이어스 전압(Vbb)에 의해 상기 제 2 바이폴라 트랜지스터(BJT2)는 턴온된다. 상기와 같은 동작으로 인하여 상기 승압 전압(Vpp)은 접지(VSS)단으로의 전압 드랍(drop)이 가속화되고, 상기 벌크 바이어스 전압(Vbb)은 급격히 상승하여 래치업을 발생시킨다. 이러한 경우, 상기 제 1 및 제 2 바이폴라 트랜지스터(BJT1,BJT2) 자체에 전류가 흘러서 상기 제 1 및 제 2 바이폴라 트랜지스터(BJT1,BJT2)는 파괴될 수 있다. 이러한 래치업(latch-up)은 반도체 메모리 장치에 외부가 인가되는 초기에 외부 전압(Vdd)이 낮아서 벌크 바이어스 전압 펌프와 승압 전압 펌프의 구동력이 약한 경우 많이 발생한다. Referring to FIG. 1, when the voltage boosting voltage Vpp becomes lower than the external voltage Vdd due to insufficient supply capability of the voltage boosting voltage Vpp, which is an initial voltage boosting voltage, the first bipolar transistor BJT1 is turned on and bulk. The bias voltage Vbb is increased. Thereafter, the second bipolar transistor BJT2 is turned on by the elevated bulk bias voltage Vbb. Due to the operation as described above, the voltage drop of the boosted voltage Vpp is accelerated to the ground VSS terminal, and the bulk bias voltage Vbb rapidly rises to generate a latchup. In this case, current flows through the first and second bipolar transistors BJT1 and BJT2 itself, and the first and second bipolar transistors BJT1 and BJT2 may be destroyed. Such a latch-up occurs frequently when the external voltage Vdd is low when the external memory is applied to the semiconductor memory device, and thus the driving force of the bulk bias voltage pump and the boost voltage pump is weak.

도 2를 참조하면, 반도체 메모리 장치에 외부 전압(Vdd)이 인가되는 초기에 낮은 외부 전압(Vdd)이 인가됨으로 인해 벌크 바이어스 전압 펌프(Vbb Pump)의 구동력이 부족하게 된다. 이때, 만일 셀 영역의 N-Well의 외부가 승압 전압(Vpp)이고, P-Well의 외부가 벌크 바이어스 전압(Vbb)인 경우, 상기 벌크 바이어스 전압(Vbb)과 상기 승압 전압(Vpp) 사이에 존재하는 커플링 캐패시턴스(Coupling Capacitance)가 매우 크므로, 구동력이 약한 벌크 바이어스 전압(Vbb)의 전위가 승압 전압(Vpp)의 전위에 대응하게 상승하게 된다. 이때, 상기 제 2 바이폴라 트랜지스터(BJT2)가 턴온되면서 래치업이 발생한다.Referring to FIG. 2, a low external voltage Vdd is initially applied to the semiconductor memory device so that the driving force of the bulk bias voltage pump Vbb pump is insufficient. At this time, if the outside of the N-Well of the cell region is the boosted voltage Vpp and the outside of the P-Well is the bulk bias voltage Vbb, between the bulk bias voltage Vbb and the boosted voltage Vpp. Since the existing coupling capacitance is very large, the potential of the bulk bias voltage Vbb having a weak driving force rises corresponding to the potential of the boosted voltage Vpp. At this time, as the second bipolar transistor BJT2 is turned on, latch-up occurs.

도 3은 종래의 기술에 따른 벌크 바이어스 전압 생성 회로의 블록도이다.3 is a block diagram of a bulk bias voltage generation circuit according to the prior art.

도 3을 참조하면, 종래의 기술에 따른 벌크 바이어스 전압 생성 회로는 벌크 바이어스 기준 전압(Vbbref)과 벌크 바이어스 전압(Vbb)의 레벨을 비교하여 벌크 바이어스 감지 신호(Vbb_VA)를 출력하는 차동 증폭기 형태의 디텍터(10), 상기 벌크 바이어스 감지 신호(Vbb_VA)에 응답하여 발진하여 펄스 형태의 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 출력하는 발진기(20), 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 입력받아 승압 동작을 수행하기 위한 펌프(30)를 포함한다.Referring to FIG. 3, the bulk bias voltage generation circuit according to the related art is a differential amplifier type that outputs a bulk bias detection signal Vbb_VA by comparing the levels of the bulk bias reference voltage Vbbref and the bulk bias voltage Vbb. A detector 10, an oscillator 20 which oscillates in response to the bulk bias detection signal Vbb_VA and outputs a bulk bias oscillation signal Vbbosc in the form of a pulse, and receives the bulk bias oscillation signal Vbbosc to perform a boost operation. A pump 30 for performing.

상기 발진기(20)는 루프를 형성하는 홀수 개의 인버터를 구비하여 펄스 형태의 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 출력한다.The oscillator 20 includes an odd number of inverters forming a loop to output a bulk bias oscillation signal Vbbosc in the form of a pulse.

상기 펌프(30)는 일반적으로 공지된 모드 펌프 회로를 사용해도 무관하며, 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)에 따라 승압 동작을 수행하여 안정적인 상기 벌크 바이어스 전압(Vbb)을 생성한다.The pump 30 may generally use a well-known mode pump circuit, and performs a boost operation according to the bulk bias oscillation signal Vbbosc to generate the stable bulk bias voltage Vbb.

종래의 기술에 따른 벌크 바이어스 전압 생성 회로는 상기 벌크 바이어스 기준 전압(Vbbref)보다 상기 벌크 바이어스 전압(Vbb)이 높을 경우(즉, 래치업이 발생할 경우), 상기 벌크 바이어스 감지 신호(Vbb_VA)는 로우 레벨로 인에이블 되어, 일정한 펄스 폭을 갖는 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 출력한다. 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)는 한번 발진할 때마다 한번씩의 승압 동작을 수행하여 벌크 바이어스 전압(Vbb)을 안정화시킨다. According to the prior art, the bulk bias voltage generation circuit may have the bulk bias detection signal Vbb_VA low when the bulk bias voltage Vbb is higher than the bulk bias reference voltage Vbbref (that is, when latchup occurs). Level enabled, outputs a bulk bias oscillation signal Vbbosc having a constant pulse width. The bulk bias oscillation signal Vbbosc stabilizes the bulk bias voltage Vbb by performing a boost operation once every oscillation.

종래의 기술에 따른 벌크 바이어스 전압 생성 회로가 정상 동작하는 동안 생기는 벌크 바이어스 전압(Vbb)의 전류 소모는 그 양이 매우 작다. 즉, 벌크 바이어스 전압(vbb)을 생성하기 위한 상기 펌프(30)의 사이즈는 매우 작다. 상기 펌프(30)의 사이즈는 반도체 메모리 장치의 동작 상 필요한 전류의 양보다는 초기 외부 전압(Vdd)이 인가될 경우 래치업이 발생하기 않게 하는 전류 량을 기준으로 설계된다. 상기 펌프(30)의 사이즈를 작게 할 경우, 외부 전압(Vdd)이 인가되는 초기의 상황에 래치업이 발생하기 때문에 반도체 메모리 장치의 동작 상의 상기 펌프(30)의 사이즈 보다 더 큰 면적의 펌프를 구비해야 하는 문제점이 발생한다. 또한, 벌크 바이어스 전압 생성 회로는 한번의 승압 동작을 수행할 때마다 전류가 너무 많이 승압되기 때문에 상기 벌크 바이어스 전압(Vbb)값이 안정적이지 못한 문제점이 발생한다.The current consumption of the bulk bias voltage Vbb generated during the normal operation of the bulk bias voltage generation circuit according to the prior art is very small. That is, the size of the pump 30 for generating the bulk bias voltage vbb is very small. The size of the pump 30 is designed based on the amount of current so that latch-up does not occur when an initial external voltage Vdd is applied, rather than the amount of current required for operation of the semiconductor memory device. When the size of the pump 30 is reduced, a latch-up occurs in an initial situation in which an external voltage Vdd is applied, so that a pump having a larger area than that of the pump 30 in operation of the semiconductor memory device is used. The problem which should be provided arises. In addition, the bulk bias voltage generation circuit has a problem that the bulk bias voltage Vbb value is not stable because the current is boosted too much each time a boost operation is performed.

본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로는 파워 업 초기의 래치업을 방지하고, 내부 전압[벌크 바이어스 전압(Vbb)]을 안정화 시키는데 그 목적이 있다.The bulk bias voltage generation circuit of the semiconductor memory device according to the present invention has an object to prevent latch-up at the initial stage of power-up and to stabilize an internal voltage (bulk bias voltage Vbb).

본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로는 입력 전압과 기준 전압을 비교하여 인에이블 신호를 생성하는 감지부, 벌크 바이어스 전압과 벌크 바이어스 기준 전압을 비교하여 벌크 바이어스 인에이블 신호를 생성하는 벌크 바이어스 전압 감지부, 상기 인에이블 신호와 상기 벌크 바이어스 인에이블 신호를 입력받아 주기가 가변되는 벌크 바이어스 발진 신호를 생성하는 벌크 바이어스 발진부, 및 상기 벌크 바이어스 발진 신호에 응답하여 상기 벌크 바이어스 전압을 생성하기 위한 벌크 바이어스 펌프부를 포함하며, 상기 내부 전압 발진부는 복수의 발진 신호 생성부를 구비함으로써, 상기 입력 전압의 레벨에 따라 정량적인 주기 차이를 갖는 상기 내부 전압 발진 신호의 경로를 선택적으로 제공한다. A bulk bias voltage generation circuit of a semiconductor memory device according to the present invention includes a detector for generating an enable signal by comparing an input voltage and a reference voltage, and generating a bulk bias enable signal by comparing the bulk bias voltage and the bulk bias reference voltage. A bulk bias voltage detector, a bulk bias oscillator configured to receive the enable signal and the bulk bias enable signal and generate a bulk bias oscillation signal having a variable period, and generate the bulk bias voltage in response to the bulk bias oscillation signal And a bulk bias pump unit, wherein the internal voltage oscillator includes a plurality of oscillation signal generators to selectively provide a path of the internal voltage oscillation signal having a quantitative periodic difference according to the level of the input voltage.

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본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로는 작은 사이즈의 펌프를 사용하여 파워 업 초기에 펌핑 주기를 짧게 하고, 정상 동작 시 펌핑 주기를 길게 하여 래치업을 방지함으로써, 안정적인 내부 전압[벌크 바이어스 전압(Vbb)]을 생성하는 효과가 있다.The bulk bias voltage generation circuit of the semiconductor memory device according to the present invention uses a small pump to shorten the pumping period at the beginning of power-up and to prevent the latch-up by lengthening the pumping period in normal operation, thereby providing stable internal voltage [bulk]. Bias voltage Vbb].

도 4는 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로다.4 is a bulk bias voltage generation circuit of a semiconductor memory device according to the present invention.

종래의 벌크 바이어스 전압 생성 회로는 벌크 바이어스 전압의 전류 소모가 적기 때문에 사이즈가 작은 펌프를 사용하여 승압 동작을 수행한다. 펌프의 사이즈가 작은 경우, 파워 업 초기에 외부 전압(Vdd)이나 승압 전압(Vpp)을 인가할 경우, 래치업이 발생할 수 있다. 상기 펌프의 사이즈를 동작 시 필요한 전류의 양보다는 파워 업 초기에 래치업이 발생하기 않게 하기 위한 전류의 양을 기준으로 설계를 하기 때문에 동작 상 필요한 펌프의 크기보다 큰 펌프를 구비하여야 한다. 또한, 한 번 승압 동작을 수행할 때마다 너무 많이 승압이 되기 때문에 내부 전압[벌크 바이어스 전압(Vbb)]의 값이 불안정한 문제점이 발생하였다. 본 발명에서는 상기 승압 전압(Vpp)이나 상기 외부 전압(Vdd)의 레벨이 낮은 경우(즉, 래치업이 발생할 수 있는 경우), 펌핑 주기를 짧게 하여 승압 횟수를 증가 시켜 더 많은 양의 전류가 생성되도록 하고, 상기 승압 전압이나 상기 외부 전압의 레벨이 높아져 정상 동작을 수행하는 경우, 펌핑 주기를 길게 하여 승압 횟수를 감소시켜 적은 양의 전류가 생성되도록 회로를 구현하였다.In the conventional bulk bias voltage generation circuit, since the current consumption of the bulk bias voltage is small, the boosting operation is performed using a small pump. When the size of the pump is small, when the external voltage Vdd or the boosted voltage Vpp is applied at the initial stage of power-up, latch-up may occur. Since the size of the pump is designed based on the amount of current so that latch-up does not occur at the initial stage of power-up rather than the amount of current required for operation, a pump larger than the size of the pump required for operation should be provided. In addition, since the voltage is increased too much each time the voltage boosting operation is performed, the problem of the value of the internal voltage (bulk bias voltage Vbb) is unstable. In the present invention, when the level of the boosted voltage Vpp or the external voltage Vdd is low (that is, when latchup may occur), the pumping period is shortened to increase the number of boosting times, thereby generating a larger amount of current. In the case of performing the normal operation by increasing the level of the boosted voltage or the external voltage, the circuit is implemented such that a small amount of current is generated by reducing the number of boosting times by lengthening the pumping period.

도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 내부 벌크 바이어스 전압 생성 회로는 승압 전압(Vpp)과 승압 기준 전압(Vppref)을 비교하여 승압 인에이블 신호(Vppen)를 생성하는 승압 전압 감지부(100), 외부 전압(Vdd)과 외부 기준 전압(Vddref)을 비교하여 외부 인에이블 신호(Vdden)를 생성하는 외부 전압 감지부(200), 벌크 바이어스 전압(Vbb)과 벌크 바이어스 기준 전압(Vbbref)을 비교하여 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)를 생성하는 벌크 바이어스 전압 감지부(300), 상기 승압 인에이블 신호(Vppen), 상기 외부 인에이블 신호(Vdden), 및 상기 벌크 바이어스 신호(Vbben)를 입력받아 주기가 가변되는 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 생성하는 벌크 바이어스 발진부(400), 및 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)에 응답하여 상기 벌크 바이어스 전압(Vbb)을 생성하기 위한 벌크 바이어스 펌프부(500)를 포함한다.Referring to FIG. 4, the internal bulk bias voltage generation circuit according to the present invention includes a boosted voltage sensing unit 100 configured to generate a boosted enable signal Vppen by comparing the boosted voltage Vpp and the boosted reference voltage Vppref. By comparing the external voltage detector 200 generating the external enable signal Vdden by comparing the external voltage Vdd and the external reference voltage Vddref, the bulk bias voltage Vbb and the bulk bias reference voltage Vbbref. Receiving a bulk bias voltage detector 300 for generating a bulk bias enable signal Vbben, the boost enable signal Vppen, the external enable signal Vdden, and the bulk bias signal Vbben. A bulk bias oscillator 400 for generating a bulk bias oscillation signal Vbbosc, and a bulk bias for generating the bulk bias voltage Vbb in response to the bulk bias oscillation signal Vbbosc. It includes a pump unit 500.

여기서, 승압 기준 전압(Vppref), 외부 기준 전압(Vddref), 벌크 바이어스 기준 전압(Vbb)라 함은 각각의 승압 전압(Vpp), 외부 전압(Vdd), 벌크 바이어스 전압(Vbb)이 래치업이 발생할 수 있는 전위의 기준이 되는 전압을 말한다. 즉, 승압 전압(Vpp), 외부 전압(Vdd), 벌크 바이어스 전압(Vbb)은 승압 기준 전압(Vppref), 외부 기준 전압(Vddref), 벌크 바이어스 기준 전압(Vbb) 이하의 전압이라면 래치업이 발생한다. 반대로 승압 전압(Vpp), 외부 전압(Vdd), 벌크 바이어스 전압(Vbb)은 승압 기준 전압(Vppref), 외부 기준 전압(Vddref), 벌크 바이어스 기준 전압(Vbb) 이상의 전압이라면, 정상 동작을 수행한다.Here, the boosted reference voltage Vppref, the external reference voltage Vddref, and the bulk bias reference voltage Vbb refer to the boosted voltage Vpp, the external voltage Vdd, and the bulk bias voltage Vbb. It refers to the voltage that is the reference of potential that can occur. That is, if the boosted voltage Vpp, the external voltage Vdd, and the bulk bias voltage Vbb are voltages lower than the boosted reference voltage Vppref, the external reference voltage Vddref, and the bulk bias reference voltage Vbb, a latch-up occurs. do. On the contrary, if the boosted voltage Vpp, the external voltage Vdd, and the bulk bias voltage Vbb are higher than the boosted reference voltage Vppref, the external reference voltage Vddref, and the bulk bias reference voltage Vbb, normal operation is performed. .

상기 승압 전압 감지부(100), 상기 외부 전압 감지부(200), 및 상기 벌크 바 이어스 전압 감지부(300)는 차동 증폭형의 동일한 구성을 가진 감지부로서, 승압 전압(Vpp), 벌크 바이어스 전압(Vbb), 외부 전압(Vdd)을 각각 입력받아 각각의 기준 전압(Vppref,Vbbref,Vddref)과 비교하여 출력 신호(Vppen,Vbben,Vdden)를 출력한다.The boosted voltage detector 100, the external voltage detector 200, and the bulk bias voltage detector 300 are detectors having the same configuration as that of the differential amplification type, and are boosted voltage (Vpp) and bulk bias. The voltage Vbb and the external voltage Vdd are respectively input and compared with the respective reference voltages Vppref, Vbbref and Vddref to output the output signals Vppen, Vbben and Vdden.

상기 벌크 바이어스 발진부(400)는 상기 출력 신호(Vppen,Vbben,Vdden)에 응답하여 낮은 승압 전압(Vpp)과 낮은 외부 전압(Vdd)를 가질 경우, 펌핑 주기가 짧은 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 출력하고, 정상 동작 시에는 펌핑 주기가 긴 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 출력한다.When the bulk bias oscillator 400 has a low boost voltage Vpp and a low external voltage Vdd in response to the output signals Vppen, Vbben, and Vdden, the bulk bias oscillation signal Vbbosc has a short pumping period. In the normal operation, the bulk bias oscillation signal Vbbosc outputs a long pumping period.

상기 벌크 바이어스 펌프부(500)는 일반적으로 공지된 모든 펌프 회로를 사용하여도 무관하며, 펌핑 주기가 빠를 경우, 더 많은 양의 전류를 생성하고, 펌핑 주기가 느릴 경우, 적은 양의 전류를 생성한다.The bulk bias pump unit 500 may generally use all known pump circuits, and generates a larger amount of current when the pumping cycle is fast and generates a smaller amount of current when the pumping cycle is slow. do.

도 5는 도 4에 도시한 승압 전압 감지부(100), 외부 전압 감지부(200), 벌크 바이어스 전압 감지부(300)의 회로도이다.FIG. 5 is a circuit diagram of the boosted voltage detector 100, the external voltage detector 200, and the bulk bias voltage detector 300 shown in FIG. 4.

상기 승압 전압 감지부(100), 외부 전압 감지부(200), 벌크 바이어스 전압 감지부(300)는 입력 전압(Vpp,Vbb,Vdd)과 상기 입력 전압(Vpp,Vbb,Vdd)에 각각 대응하는 기준 전압(Vppref,Vbbref,Vddref)만 다를 뿐, 동일한 구성을 가진다.The boosted voltage detector 100, the external voltage detector 200, and the bulk bias voltage detector 300 correspond to input voltages Vpp, Vbb and Vdd and the input voltages Vpp, Vbb and Vdd, respectively. Only the reference voltages Vppref, Vbbref, and Vddref are different and have the same configuration.

예를 들어, 상기 승압 전압 감지부(100)를 설명하기로 한다.For example, the boosted voltage detector 100 will be described.

도 5 를 참조하면, 상기 승압 전압 감지부(100)는 상기 승압 전압(Vpp)의 변화에 대응하게 승압 분배 전압(Vpp_Level)를 출력하는 승압 전압 분배부(110), 및 상기 승압 분배 전압(Vpp_Level)와 기준 승압 전압(Vppref)의 전위 레벨을 비교하 여 승압 인에이블 신호(Vppen)를 출력하는 승압 전압 비교부(120)를 포함한다.Referring to FIG. 5, the boosted voltage detector 100 outputs a boosted voltage division unit Vpp_Level in response to a change in the boosted voltage Vpp, and the boosted voltage divider Vpp_Level. ) And a boosted voltage comparison unit 120 for comparing the potential level of the reference boosted voltage Vppref and outputting a boosted enable signal Vppen.

상기 승압 전압 분배부(110)는 승압 전압(Vpp)단과 접지(VSS)단 사이에 서로 직렬 연결된 복수의 저항 소자(R1~R4)를 구비한다. 상기 복수의 저항 소자는 전압을 분배하기 위해 복수 개의 저항 소자를 구비할 수 있지만, 본 발명에서는 예를 들어, 4 개의 저항 소자(R1~R4)를 사용하여 설명하기로 한다.The boosted voltage divider 110 includes a plurality of resistors R1 to R4 connected in series between a boosted voltage Vpp terminal and a ground VSS terminal. The plurality of resistive elements may include a plurality of resistive elements for distributing voltage, but the present invention will be described using, for example, four resistive elements R1 to R4.

상기 승압 분배 전압(Vpp_level)는 상기 복수의 저항 소자(R1~R4)를 이등분한 노드(Vppnode)에서 출력되며, 상기 승압 전압(Vpp)의 변화에 대응하게 전압 레벨이 변경되는 신호이다.The boosted divided voltage Vpp_level is output from a node Vppnode that is divided into the plurality of resistors R1 to R4, and is a signal whose voltage level is changed in response to a change in the boosted voltage Vpp.

상기 승압 전압 비교부(120)는 일반적인 차동 증폭형 형태의 비교부로서, 상기 승압 분배 전압(Vpp_level)에 응답하여 활성화되는 제 1 NMOS 트랜지스터(NM1), 상기 승압 분배 전압(Vpp_level) 및 상기 승압 기준 전압(Vppref)을 각각입력받는 제 2 및 제 3 NMOS 트랜지스터(NM2,NM3), 및 커런트 미러 형태의 제 1 및 제 2 PMOS 트랜지스터(PM1,PM2)를 포함한다.The boosted voltage comparator 120 is a general differential amplification type comparator, and includes a first NMOS transistor NM1, the boosted divided voltage Vpp_level and the boosted reference that are activated in response to the boosted divided voltage Vpp_level. Second and third NMOS transistors NM2 and NM3 that receive a voltage Vppref, respectively, and first and second PMOS transistors PM1 and PM2 in the form of current mirrors.

상기 제 1 NMOS 트랜지스터(NM1)는 상기 승압 분배 전압(Vpp_level)를 입력받는 게이트, 제 1 노드(N1)와 연결된 드레인, 접지(VSS)단과 연결된 소오스를 포함한다. 상기 제 2 NMOS 트랜지스터(NM2)는 상기 승압 분배 전압(Vpp_level)를 입력받는 게이트, 제 2 노드(N2)와 연결된 드레인, 및 상기 제 1 노드(N1)와 연결된 소오스를 포함한다. 상기 제 3 NMOS 트랜지스터(NM3)는 상기 승압 기준 전압(Vppref)을 입력받는 게이트, 제 3 노드(N3)와 연결된 드레인, 및 상기 제 1 노드(N1)와 연결된 소오스를 포함한다. 상기 제 1 PMOS 트랜지스터(PM1)는 상기 제 3 노드(N3)와 연결된 게이트, 외부전압(VDD)단과 연결된 소오스, 및 상기 제 2 노드(N2)와 연결된 드레인을 포함한다. 상기 제 2 PMOS 트랜지스터(PM2)는 상기 제 3 노드(N3)와 공통 연결된 게이트와 드레인, 및 외부전압(VDD)단과 연결된 소오스를 포함한다. 상기 제 2 노드(N2)는 상기 승압 인에이블 신호(Vppen)를 출력한다. The first NMOS transistor NM1 includes a gate configured to receive the boosted distribution voltage Vpp_level, a drain connected to the first node N1, and a source connected to the ground VSS terminal. The second NMOS transistor NM2 includes a gate configured to receive the boosted distribution voltage Vpp_level, a drain connected to the second node N2, and a source connected to the first node N1. The third NMOS transistor NM3 includes a gate receiving the boosted reference voltage Vppref, a drain connected to the third node N3, and a source connected to the first node N1. The first PMOS transistor PM1 includes a gate connected to the third node N3, a source connected to an external voltage VDD terminal, and a drain connected to the second node N2. The second PMOS transistor PM2 includes a gate and a drain commonly connected to the third node N3, and a source connected to an external voltage VDD terminal. The second node N2 outputs the boost enable signal Vppen.

보다 구체적으로 설명하면, 예를 들어, 래치업이 발생할 수 있는 승압 전압(Vpp)을 2.8V라 가정하면, 상기 승압 기준 전압(Vppref)을 1.4V로 설계를 한다. 상기 승압 전압이 2.8V 이하이면, 상기 승압 기준 전압(Vppref)의 전위 레벨의 높기 때문에 상기 승압 인에이블 신호(Vppen)는 하이 레벨이 되고, 상기 승압 전압이 2.8V 이상이면, 상기 승압 분배 전압(Vpp_level)의 전위 레벨이 더 높기 때문에 상기 승압 인에이블 신호(Vppen)는 로우 레벨이 된다.More specifically, for example, assuming a boost voltage Vpp at which latchup may occur is 2.8V, the boost reference voltage Vppref is designed to be 1.4V. When the boosted voltage is 2.8 V or less, the boost enable signal Vppen becomes a high level because the potential level of the boosted reference voltage Vppref is high. When the boosted voltage is 2.8V or more, the boosted divided voltage ( The boost enable signal Vppen goes low because the potential level of Vpp_level is higher.

상기 외부 전압 감지부(200)는 외부 분배 전압(Vdd_level)의 전위 레벨이 외부 기준 전압(Vddref)보다 낮은 경우, 상기 외부 인에이블 신호(Vdden)는 하이 레벨이 되고, 상기 외부 분배 전압(Vdd_level)의 전위 레벨이 상기 외부 기준 전압(Vddref)보다 높은 경우, 상기 외부 인에이블 신호(Vdden)는 로우 레벨이 된다.When the potential level of the external divided voltage Vdd_level is lower than the external reference voltage Vddref, the external enable signal Vdden becomes a high level and the external divided voltage Vdd_level. When the potential level of is higher than the external reference voltage Vddref, the external enable signal Vdden becomes a low level.

상기 벌크 바이어스 전압 감지부(300)는 벌크 바이어스 분배 전압(Vbb_level)의 전위 레벨이 벌크 바이어스 기준 전압(Vbbref)보다 낮은 경우, 상기 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)는 하이 레벨이 되고, 상기 벌크 바이어스 분배 전압(Vbb_level)의 전위 레벨이 상기 벌크 바이어스 기준 전압(Vbbref)보다 높은 경우, 상기 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)는 로우 레벨이 된다.When the potential level of the bulk bias distribution voltage Vbb_level is lower than the bulk bias reference voltage Vbbref, the bulk bias voltage detection unit 300 becomes the high level and the bulk bias When the potential level of the division voltage Vbb_level is higher than the bulk bias reference voltage Vbbref, the bulk bias enable signal Vbben becomes a low level.

도 6은 도 4에 도시한 벌크 바이어스 발진부의 블록도이다.6 is a block diagram of a bulk bias oscillator shown in FIG. 4.

도 6을 참조하면, 상기 벌크 바이어스 발진부(400)는 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)와 펄스 발진 신호(Pulse_osc)에 응답하여 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 출력하는 제 1 펄스 발생부(410), 외부 전압 인에이블 신호(Vdden), 승압 인에이블 신호(Vppen), 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)에 응답하여 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)에 대해 소정 시간 지연 여부를 제어하여 상기 펄스 발진 신호(Pulse_osc)로서 출력하는 제 2 펄스 발생부(420)를 포함한다.Referring to FIG. 6, the bulk bias oscillator 400 outputs a bulk bias oscillation signal Vbbosc in response to a bulk bias enable signal Vbben and a pulse oscillation signal Pulse_osc. In response to an external voltage enable signal Vdden, a boost enable signal Vppen, and the bulk bias oscillation signal Vbbosc, the pulse oscillation signal is controlled by controlling whether the bulk bias oscillation signal Vbbosc is delayed for a predetermined time. A second pulse generator 420 output as (Pulse_osc) is included.

상기 벌크 바이어스 발진부(400)는 상기 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)가 인에이블 되고, 상기 외부 인에이블 신호(Vdden)와 상기 승압 인에이블 신호(Vppen) 중 어느 하나라도 인에이블 되면, 상기 제 1 펄스 발생부(410)와 상기 제 2 펄스 발생부(420) 상호 간의 루프가 형성되어 주기가 짧은 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 생성한다. 상기 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)가 인에이블 되고, 상기 외부 인에이블 신호(Vdden)와 상기 승압 인에이블 신호(Vppen)가 디스에이블 되면, 상기 제 1 펄스 발생부(410)와 상기 제 2 펄스 발생부(420) 상호 간의 루프가 형성되어 상기 소정 시간 지연 시킨 주기를 갖는 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 생성한다.When the bulk bias oscillator 400 is enabled, the bulk bias enable signal Vbben is enabled and any one of the external enable signal Vdden and the boost enable signal Vppen is enabled. A loop is formed between the pulse generator 410 and the second pulse generator 420 to generate the bulk bias oscillation signal Vbbosc having a short period. When the bulk bias enable signal Vbben is enabled and the external enable signal Vdden and the boost enable signal Vppen are disabled, the first pulse generator 410 and the second pulse are disabled. Loops are formed between the generators 420 to generate the bulk bias oscillation signal Vbbosc having a period of the predetermined time delay.

도 7은 도 6에 도시한 벌크 바이어스 발진부의 회로도이다.FIG. 7 is a circuit diagram of the bulk bias oscillator shown in FIG. 6.

도 7을 참조하면, 상기 제 1 펄스 발생부(410)는 상기 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)와 상기 펄스 발진 신호(Pulse_osc)를 입력받는 제 1 노아 게이트(NR1), 상기 제 1 노아 게이트(NR1)의 출력 신호를 입력받는 제 1 인버터(IV1), 상기 제 1 인버터(IV1)의 출력을 입력받고, 출력단과 입력단이 서로 직렬 연결된 인버터 체인을 형성하는 제 2 내지 제 4 인버터(IV2~IV4), 및 상기 제 1 내지 제 4 인버터(IV1~IV4)의 출력 단에 각각 연결된 제 13 내지 제 17 저항(R13~R17)을 포함한다.Referring to FIG. 7, the first pulse generator 410 may include a first NOR gate NR1 and the first NOR gate that receive the bulk bias enable signal Vbben and the pulse oscillation signal Pulse_osc. Second to fourth inverters IV2 to IV4 that receive an output signal of NR1 and a first inverter IV1 and an output of the first inverter IV1, and form an inverter chain in which an output terminal and an input terminal are connected in series. ) And thirteenth to seventeenth resistors R13 to R17 connected to output terminals of the first to fourth inverters IV1 to IV4, respectively.

상기 제 1 펄스 발생부(410)는 상기 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)가 하이 레벨로 디스에이블 되면, 상기 펄스 발진 신호(Pulse_osc)에 상관없이 항상 로우 레벨의 신호를 발진 출력 노드(oscout)로 출력한다. 상기 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)가 로우 레벨로 인에이블 되면, 상기 펄스 발진 신호(Pulse_osc)에 의해 출력 레벨이 제어되고, 상기 발진 출력 노드(oscout)의 레벨도 바뀌게 된다. 상기 펄스 발진 신호(Pulse_osc)가 하이 레벨인 경우, 상기 발진 출력 노드(oscout)의 레벨은 로우 레벨이 되고, 상기 펄스 발진 신호(Pulse_osc)가 로우 레벨인 경우, 상기 발진 출력 노드(oscput)의 레벨은 하이 레벨이 된다.When the bulk bias enable signal Vbben is disabled at a high level, the first pulse generator 410 always sends a low level signal to the oscillation output node oscout regardless of the pulse oscillation signal Pulse_osc. Output When the bulk bias enable signal Vbben is enabled at a low level, the output level is controlled by the pulse oscillation signal Pulse_osc, and the level of the oscillation output node oscout is also changed. When the pulse oscillation signal Pulse_osc is high level, the level of the oscillation output node oscout becomes a low level, and when the pulse oscillation signal Pulse_osc is low level, the level of the oscillation output node oscput Becomes the high level.

상기 제 2 펄스 발생부(420)는 외부 인에이블 신호(Vdden) 및 승압 인에이블 신호(Vppen)에 응답하여 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)의 지연 여부를 제어하는 펄스 제어 신호(PulseCTRL)를 출력하는 펄스 제어부(421), 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)의 반전 신호와 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)에 응답하여 펄스 신호(Pulse)를 출력하는 펄스부(422), 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)와 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)에 응답하여 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)에 대해 소정 시간의 지연 여부를 제어하여 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)를 출력하는 펄스 지연부(423), 및 상기 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)와 상기 펄스 신호(Pulse)를 논리 조합하여 상기 펄스 발진 신호(Pulse_osc)를 출력하는 신호 조 합부(424)를 포함한다. The second pulse generator 420 outputs a pulse control signal PulseCTRL for controlling whether the bulk bias oscillation signal Vbbosc is delayed in response to an external enable signal Vdden and a boost enable signal Vppen. The pulse controller 421 outputs a pulse signal Pulse in response to the inverted signal of the pulse control signal PulseCTRL and the bulk bias oscillation signal Vbbosc, and the pulse control signal PulseCTRL. And a pulse delay unit 423 for outputting a pulse delay signal DLY_Pulse by controlling whether the bulk bias oscillation signal Vbbosc has a predetermined time delay in response to the bulk bias oscillation signal Vbbosc, and the pulse delay. And a signal combiner 424 for outputting the pulse oscillation signal Pulse_osc by logically combining the signal DLY_Pulse and the pulse signal Pulse.

상기 펄스 제어부(421)는 상기 외부 인에이블 신호(Vdden) 및 승압 인에이블 신호(Vppen)를 입력받는 제 2 노아게이트(NR2), 상기 제 2 노아 게이트(NR2)의 출력 신호를 반전시켜 펄스 제어 신호(PulseCTRL)를 출력하는 제 5 인버터(IV5)를 포함한다. The pulse controller 421 inverts the output signals of the second NOR gate NR2 and the second NOR gate NR2 that receive the external enable signal Vdden and the boost enable signal Vppen to control pulses. And a fifth inverter IV5 for outputting the signal PulseCTRL.

상기 펄스 제어부(421)는 상기 외부 인에이블 신호(Vdden) 및 상기 승압 인에이블 신호(Vppen) 중 어느 하나라도 하이 레벨의 신호를 가지면, 하이 레벨의 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)를 출력하고, 상기 외부 인에이블 신호(Vdden) 및 상기 승압 인에이블 신호(Vppen)가 모두 로우 레벨의 신호를 가지면, 로우 레벨의 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)를 출력한다.The pulse controller 421 outputs the high level pulse control signal PulseCTRL when any one of the external enable signal Vdden and the boost enable signal Vppen has a high level signal. When both the external enable signal Vdden and the boost enable signal Vppen have a low level signal, the pulse control signal PulseCTRL at a low level is output.

상기 펄스부(422)는 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)의 반전 신호와 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 입력받는 제 3 노아 게이트(NR3)를 포함한다. 상기 펄스부(422)는 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)가 하이 레벨이면, 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)에 의해 상기 펄스 신호(Pulse)의 레벨이 결정되고, 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)가 로우 레벨이면, 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)에 상관 없이 로우 레벨의 상기 펄스 신호(Pulse)를 출력한다. 제 3 노아 게이트(NR3)는 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)가 하이 레벨이면, 인버터의 역할을 수행하여, 상기 하이 레벨의 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)가 인가되면, 로우 레벨의 펄스 신호(Pulse)를 출력하고, 상기 로우 레벨의 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)가 인가되면, 하이 레벨의 펄스 신호(Pulse)를 출력한다.The pulse unit 422 includes a third NOR gate NR3 that receives an inverted signal of the pulse control signal PulseCTRL and the bulk bias oscillation signal Vbbosc. When the pulse control signal PulseCTRL is at a high level, the pulse unit 422 determines the level of the pulse signal Pulse by the bulk bias oscillation signal Vbbosc, and the pulse control signal PulseCTRL is low. If the level is low, the pulse signal Pulse having a low level is output regardless of the bulk bias oscillation signal Vbbosc. When the pulse control signal PulseCTRL is at a high level, the third NOR gate NR3 serves as an inverter, and when the high level bulk bias oscillation signal Vbbosc is applied, the pulse signal of a low level is pulsed. When the low-level bulk bias oscillation signal Vbbosc is applied, the high-level pulse signal Pulse is output.

상기 펄스 지연부(423)는 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)와 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 입력받는 제 4 노아 게이트(N4), 상기 제 4 노아 게이트(NR4)의 출력 신호를 입력받는 제 7 인버터(IV7), 상기 제 7 인버터(IV7)와 직렬 연결된 제 8 인버터(IV8), 및 상기 제 7 및 제 8 인버터(IV7,IV8)의 출력단에 각각 연결된 저항(R18~R19)을 포함한다.The pulse delay unit 423 receives a fourth NOR gate N4 that receives the pulse control signal PulseCTRL and the bulk bias oscillation signal Vbbosc and an output signal of the fourth NOR gate NR4. A seventh inverter IV7, an eighth inverter IV8 connected in series with the seventh inverter IV7, and resistors R18 to R19 respectively connected to output terminals of the seventh and eighth inverters IV7 and IV8. .

상기 펄스 지연부(423)는 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)와 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)가 모두 로우 레벨인 경우, 로우 레벨의 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)를 출력하고, 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)와 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc) 중 어느 하나라도 하이 레벨을 가지면, 하이 레벨의 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)를 출력한다. The pulse delay unit 423 outputs a low level pulse delay signal DLY_Pulse when both the pulse control signal PulseCTRL and the bulk bias oscillation signal Vbbosc are at a low level, and outputs the pulse control signal PulseCTRL. ) And the bulk bias oscillation signal Vbbosc output a high level pulse delay signal DLY_Pulse.

상기 신호 조합부(424)는 상기 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)와 상기 펄스 신호(Pulse)를 입력받는 제 5 노아 게이트(NR5)를 포함한다. The signal combination unit 424 includes a fifth NOR gate NR5 for receiving the pulse delay signal DLY_Pulse and the pulse signal Pulse.

상기 신호 조합부(424)는 상기 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)와 상기 펄스 신호(Pulse) 중 어느 하나라도 하이 레벨을 가지면, 상기 로우 레벨의 펄스 발진 신호(Pulse_osc)를 출력하고, 상기 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)와 상기 펄스 신호(Pulse)가 모두 로우 레벨을 가지면, 상기 하이 레벨의 펄스 발진 신호(Pulse_osc)를 출력한다.The signal combination unit 424 outputs the low level pulse oscillation signal Pulse_osc when any one of the pulse delay signal DLY_Pulse and the pulse signal Pulse has a high level, and outputs the pulse delay signal ( When both the DLY_Pulse and the pulse signal Pulse have a low level, the pulse oscillation signal Pulse_osc of the high level is output.

상기 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)는 로우 레벨로 인에이블 되는 신호이고, 상기 외부 인에이블 신호(Vdden)와 상기 승압 인에이블 신호(Vppen)는 하이 레벨로 인에이블 되는 신호이다.The bulk bias enable signal Vbben is a low level enable signal, and the external enable signal Vdden and the boost enable signal Vppen are high level enable signals.

상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)는 상기 제 1 펄스 발생부(410)와 상기 제 2 펄스 발생부(420)의 지연 양에 의해 펄스 폭이 결정된다. 상기 제 1 펄스 발생부(410)는 래치업이 발생할 경우(상기 펌펑 전압(Vpp)와 외부 전압(Vdd)이 낮아진 경우)의 주기를 결정하고, 상기 제 2 펄스 발생부(420)는 정상 동작 시[상기 승압 전압(Vpp)와 외부 전압(Vdd)가 높아진 경우]에 상기 제 1 펄스 발생부(410)의 상기 주기를 소정 시간 지연 시켜 주기를 결정한다.The pulse width of the bulk bias oscillation signal Vbbosc is determined by the amount of delay between the first pulse generator 410 and the second pulse generator 420. The first pulse generator 410 determines a period when a latchup occurs (when the pump voltage Vpp and the external voltage Vdd are low), and the second pulse generator 420 operates normally. At a time (when the boosted voltage Vpp and the external voltage Vdd become high), the cycle of the first pulse generator 410 is delayed for a predetermined time is determined.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)가 하이 레벨이고, 상기 외부 인에이블 신호(Vdden)와 상기 승압 인에이블 신호(Vppen)중 어느 하나라도 하이 레벨인 경우, 상기 발진 출력 노드(oscout)의 신호는 로우 레벨이 된다. 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)는 하이 레벨이 된다. 상기 펄스부(422)는 상기 하이 레벨의 제어 신호(PulseCTRL)와 상기 로우 레벨의 발진 출력 노드(oscout)의 신호를 입력받아 하이 레벨의 펄스 신호(Pulse)를 출력한다. 상기 하이 레벨의 펄스 신호(Pulse)를 입력받는 상기 신호 조합부(424)는 상기 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)에 상관없이 로우 레벨의 펄스 발진 신호(Pulse_osc)를 출력한다. 이 때, 상기 제 1 노아 게이트(NR)는 상기 펄스 발진 신호(Pulse-osc)에 상관없이 항상 동일한 출력을 가진다. More specifically, when the bulk bias enable signal Vbben is at a high level and any one of the external enable signal Vdden and the boost enable signal Vppen is at a high level, the oscillation output node. The signal at (oscout) goes low. The pulse control signal PulseCTRL becomes high level. The pulse unit 422 receives the high level control signal PulseCTRL and the signal of the low level oscillation output node oscout, and outputs a high level pulse signal Pulse. The signal combination unit 424 receiving the high level pulse signal Pulse outputs a low level pulse oscillation signal Pulse_osc regardless of the pulse delay signal DLY_Pulse. In this case, the first NOR gate NR always has the same output regardless of the pulse oscillation signal Pulse-osc.

상기와 같이 외부 전압 인에이블 신호(Vdden)와 승압 전압 인에이블 신호(Vppen) 중 어느 하나라도 하이 레벨인 상태에서 상기 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)가 로우 레벨로 인에이블 되면, 상기 제 1 노아 게이트(NR1)는 하이 레벨의 신호를 출력하고, 상기 발진 출력 노드(oscout)는 하이 레벨이 된다. 상기 하 이 레벨의 발진 출력 노드(oscout)의 신호를 입력받는 상기 펄스부(422)는 로우 레벨의 상기 펄스 신호(Pulse)를 출력하고, 로우 레벨로 고정된 상기 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)와 상기 로우 레벨의 상기 펄스 신호(Pulse)를 입력받는 상기 신호 조합부(424)는 하이 레벨의 상기 펄스 발진 신호(Pulse_osc)를 출력한다. 상기 하이 레벨의 펄스 발진 신호(Pulse_osc)는 상기 제 1 노아 게이트(NR1)로 피드백 되어 루프를 형성하게 된다. 상기 하이 레벨의 펄스 발진 신호(Pulse_osc)를 입력받는 제 1 노아 게이트(NR1)는 로우 레벨의 신호를 출력하고, 상기 제 1 내지 제 4 인버터(IV1~IV4)를 경유하여 상기 제 1 펄스 발생부(410)는 로우 레벨의 신호를 상기 발진 출력 노드(oscout)로 출력한다. 상기 펄스부(422)는 로우 레벨의 발진 출력 노드(oscout)의 신호를 입력받아 상기 로우 레벨의 펄스 신호(Pulse)를 출력한다. 상기 신호 조합부(424)는 상기 로우 레벨의 펄스 신호(Pulse)와 상기 로우 레벨의 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)를 입력받아 로우 레벨의 펄스 발진 신호(Pulse_osc)를 출력한다. 상기 로우 레벨의 펄스 발진 신호(Pulse_osc)는 상기 제 1 노아 게이트(NR1)로 피드백 된다. 상기 벌크 바이어스 펄스 신호(Pulse)는 상기 발진 출력 노드(oscout)에서 출력된다. 상기 벌크 바이어스 발진부(400)는 상기 제 1 펄스 발생부(410), 상기 펄스부(422), 및 상기 신호 조합부(424)를 경유하여 다시 상기 제 1 펄스 발생부(410)에 입력되는 루프를 형성하여 펄스를 발생시키고, 제 1 펄스 발생부(410)의 지연 값에 의해 주기가 결정되는 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 출력한다.As described above, when the bulk bias enable signal Vbben is enabled at a low level while any one of an external voltage enable signal Vdden and a boosted voltage enable signal Vppen is at a high level, the first NOR is enabled. The gate NR1 outputs a high level signal, and the oscillation output node oscout is at a high level. The pulse unit 422 receiving the signal of the oscillation output node oscout of the high level outputs the pulse signal Pulse of a low level, and the pulse delay signal DLY_Pulse fixed to a low level and the The signal combination unit 424 receiving the low level pulse signal Pulse outputs the high level pulse oscillation signal Pulse_osc. The high level pulse oscillation signal Pulse_osc is fed back to the first NOR gate NR1 to form a loop. The first NOR gate NR1 receiving the high level pulse oscillation signal Pulse_osc outputs a low level signal and passes the first to fourth inverters IV1 to IV4 to generate the first pulse generator. 410 outputs a low level signal to the oscillation output node oscout. The pulse unit 422 receives a signal of a low level oscillation output node oscout and outputs a low level pulse signal Pulse. The signal combination unit 424 receives the low level pulse signal Pulse and the low level pulse delay signal DLY_Pulse and outputs a low level pulse oscillation signal Pulse_osc. The low level pulse oscillation signal Pulse_osc is fed back to the first NOR gate NR1. The bulk bias pulse signal Pulse is output at the oscillation output node oscout. The bulk bias oscillator 400 is looped back to the first pulse generator 410 via the first pulse generator 410, the pulse unit 422, and the signal combination unit 424. And generate a pulse, and output the bulk bias oscillation signal Vbbosc whose period is determined by the delay value of the first pulse generator 410.

상기 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)가 로우 레벨로 인에이블 되고, 상 기 외부 인에이블 신호(Vdden)와 상기 승압 인에이블 신호(Vppen)가 로우 레벨로 디스에이블 되면, 상기 펄스 제어부(421)는 로우 레벨의 상기 펄스 제어 신호(PulseCTRL)를 출력한다. 상기 펄스부(422)는 상기 발진 출력 노드(oscout)의 신호에 상관없이 로우 레벨의 펄스 신호(Pulse)를 출력하고, 상기 펄스 발진 신호(Pulse_osc)는 상기 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)에 의해 레벨이 결정된다. 상기 발진 출력 노드(oscout)의 신호가 하이 레벨인 경우, 상기 제 4 노아 게이트(NR4)는 인버터의 역할을 수행하므로 로우 레벨의 신호를 출력하고, 상기 제 7 및 제 8 인버터(IV7,IV8)와 제 17 및 제 18 저항(R17,R18)을 경유하여 로우 레벨의 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)를 출력한다. 상기 펄스 발진 신호(Pulse_osc)는 하이 레벨이 된다. 상기 하이 레벨의 펄스 발진 신호(Pulse_osc)는 상기 제 1 노아 게이트(NR1)로 피드백 된다. 상기 제 1 노아 게이트(NR1)는 로우 레벨의 신호를 출력하고, 상기 제 1 펄스 발생부(410)는 상기 제 1 내지 제 4 인버터(IV1~IV4)를 경유한 상기 펄스 출력 노드(oscout)의 신호를 로우 레벨로 출력한다. 상기 로우 레벨의 펄스 출력 노드(oscout)의 신호를 입력받는 제 4 노아 게이트(NR4)는 하이 레벨의 신호를 출력하고, 상기 제 7 및 제 8 인버터(IV7,IV8)와 제 17 및 제 18 저항(R17,R18)을 경유하여, 상기 하이 레벨의 펄스 지연 신호(DLY_Pulse)를 출력한다. 따라서, 상기 펄스 발진 신호(Pulse_osc)는 로우 레벨이 된다. 상기 로우 레벨의 펄스 발진 신호(Pulse_osc)는 상기 제 1 노아 게이트(NR1)로 피드백 된다. 상기 벌크 바이어스 발진부(400)는 상기 제 1 펄스 발생부(410), 상기 펄스 지연부(422), 상기 신호 조합부(424)를 경유하여 상기 제 1 펄스 발생부(410)로 입력되는 루프를 형성하여 펄스를 발생시킨다. 상기 벌크 바이어스 발진부(400)는 상기 제 1 펄스 발생부(410)의 지연 값에 추가로 상기 펄스 지연부(422)의 지연 값에 의해 주기가 결정되는 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)를 출력한다.When the bulk bias enable signal Vbben is enabled at the low level and the external enable signal Vdden and the boost enable signal Vppen are disabled at the low level, the pulse controller 421 The pulse control signal PulseCTRL at a low level is output. The pulse unit 422 outputs a low level pulse signal Pulse regardless of the signal of the oscillation output node oscout, and the pulse oscillation signal Pulse_osc is leveled by the pulse delay signal DLY_Pulse. Is determined. When the signal of the oscillation output node oscout is at a high level, the fourth NOR gate NR4 plays a role of an inverter and outputs a low level signal, and the seventh and eighth inverters IV7 and IV8. And a low level pulse delay signal DLY_Pulse through the 17th and 18th resistors R17 and R18. The pulse oscillation signal Pulse_osc becomes a high level. The high level pulse oscillation signal Pulse_osc is fed back to the first NOR gate NR1. The first NOR gate NR1 outputs a low level signal, and the first pulse generator 410 is configured to control the pulse output node oscout via the first to fourth inverters IV1 to IV4. Output the signal at a low level. The fourth NOR gate NR4, which receives the signal of the low level pulse output node oscout, outputs a high level signal, and the seventh and eighth inverters IV7 and IV8 and the seventeenth and eighteenth resistors. The high-level pulse delay signal DLY_Pulse is output via (R17, R18). Therefore, the pulse oscillation signal Pulse_osc is at a low level. The low level pulse oscillation signal Pulse_osc is fed back to the first NOR gate NR1. The bulk bias oscillator 400 receives a loop input to the first pulse generator 410 via the first pulse generator 410, the pulse delay unit 422, and the signal combination unit 424. To generate a pulse. The bulk bias oscillator 400 outputs the bulk bias oscillation signal Vbbosc whose period is determined by the delay value of the pulse delay unit 422 in addition to the delay value of the first pulse generator 410. .

도 8은 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로의 타이밍도이다.8 is a timing diagram of a bulk bias voltage generation circuit of a semiconductor memory device according to the present invention.

도 8을 참조하면, 상기 벌크 바이어스 전압 생성 회로는 상기 벌크 바이어스 전압(Vbb)이 상승하여 상기 벌크 바이어스 기준 전압(Vbbref)보다 높고 상기 승압 전압(Vpp)과 상기 외부 전압(Vdd)가 래치업이 발생할 위험성이 있는 경우, 상기 벌크 바이어스 인에이블 신호(Vbben)는 로우 레벨로 인에이블 되고, 상기 외부 인에이블 신호(Vdden), 상기 승압 인에이블 신호(Vppen)는 하이 레벨로 인에이블 된다. 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)는 짧은 주기를 갖는다. 이어서, 상기 승압 전압(Vpp)과 외부 전압(Vdd)이 상기 승압 기준 전압(Vppref)과 상기 외부 기준 전압(Vdd)보다 레벨이 높아져 정상 동작을 수행할 경우, 상기 승압 인에이블 신호(Vppen)와 상기 외부 인에이블 신호(Vdden)가 로우 레벨로 디스에이블 되면, 상기 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)는 긴 주기를 갖는다.Referring to FIG. 8, in the bulk bias voltage generation circuit, the bulk bias voltage Vbb is increased to be higher than the bulk bias reference voltage Vbbref, and the boost voltage Vpp and the external voltage Vdd are latched up. If there is a risk of occurrence, the bulk bias enable signal Vbben is enabled at a low level, and the external enable signal Vdden and the boost enable signal Vppen are enabled at a high level. The bulk bias oscillation signal Vbbosc has a short period. Subsequently, when the boosted voltage Vpp and the external voltage Vdd are higher than the boosted reference voltage Vppref and the external reference voltage Vdd to perform a normal operation, the boosted enable signal Vppen and When the external enable signal Vdden is disabled at a low level, the bulk bias oscillation signal Vbbosc has a long period.

이상에서는 승압 전압 감지부(100), 외부 전압 감지부(200), 및 벌크 바이어스 전압 감지부(300)를 사용하여 전압(Vbb,Vpp,Vdd) 변화를 감지하고, 감지된 신호를 이용하여 주기를 가변시켜 상기 벌크 바이어스 전압(Vbb)을 생성하였다. 그러나, 벌크 바이어스 전압 생성 회로는 상기 벌크 바이어스 전압 감지부(300)를 포함하고, 승압 전압 감지부(100) 및 외부 전압 감지부(200)를 독립적으로 사용하여도 무관하다. 상기와 같은 경우, 도 7에 도시한 펄스 제어부(421)는 제거하여야 하며, 주기를 결정하는 제어 신호는 각각 승압 전압 인에이블 신호(Vppen) 및 외부 전압 인에이블 신호(Vdden)가 된다.In the above description, the voltage Vbb, Vpp, and Vdd are changed using the boosted voltage detector 100, the external voltage detector 200, and the bulk bias voltage detector 300, and the cycle is detected using the detected signal. Was changed to generate the bulk bias voltage (Vbb). However, the bulk bias voltage generation circuit may include the bulk bias voltage detector 300 and may independently use the boosted voltage detector 100 and the external voltage detector 200. In this case, the pulse controller 421 shown in FIG. 7 should be removed, and the control signal for determining the period becomes the boosted voltage enable signal Vppen and the external voltage enable signal Vdden, respectively.

본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로는 상기 외부 전압(Vdd)이나 상기 승압 전압(Vpp)이 낮아져 래치업이 발생할 경우, 상기 제 1 펄스 발생부(410)만을 사용하여 짧은 주기의 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)가 출력 되도록 하여 펌핑을 빠르게 하고, 상기 외부 전압(Vdd)이나 승압 전압(Vpp)이 높아져 래치업이 발생하지 않을 경우, 상기 제 1 펄스 발생부(410)에 추가적으로 상기 제 2 펄스 발생부(420)를 사용하여 긴 주기의 벌크 바이어스 발진 신호(Vbbosc)가 출력되도록 하여 펌핑을 느리게 한다. 즉, 벌크 바이어스 펌프의 구동력이 클 필요가 있는 로우 레벨의 외부 전압(Vdd) 및 로우 레벨의 승압 전압(Vpp)에서는 펌핑을 빠르게 수행하여 충분한 양의 전류를 생성하고, 전류 소모가 거의 필요가 없는 정상 동작의 영역에서는 핌핑을 천천히 하여 안정적인 벌크 바이어스 전압(Vbb)을 생성할 수 있는 효과가 있다.The bulk bias voltage generation circuit of the semiconductor memory device according to the present invention uses a short period of time using only the first pulse generator 410 when the latch up occurs because the external voltage Vdd or the boost voltage Vpp is low. When the bulk bias oscillation signal Vbbosc is output, the pumping is quick, and when the external voltage Vdd or the boost voltage Vpp is increased and no latchup occurs, the first pulse generator 410 is additionally provided. The second pulse generator 420 is used to output the bulk bias oscillation signal Vbbosc of a long period, thereby slowing pumping. That is, at low level external voltage (Vdd) and low level boost voltage (Vpp) where the driving force of the bulk bias pump needs to be large, pumping is performed quickly to generate a sufficient amount of current, and requires little current consumption. In the region of normal operation, there is an effect that can generate a stable bulk bias voltage (Vbb) by slowing the pimping.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해 석되어야 한다.As those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features, the embodiments described above should be understood as illustrative and not restrictive in all aspects. Should be. The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are included in the scope of the present invention. Should be.

도 1은 일반적인 래치업 구조의 회로도,1 is a circuit diagram of a general latch up structure;

도 2는 일반적인 CMOS 동작 원리의 회로도,2 is a circuit diagram of a general CMOS operating principle;

도 3은 종래의 기술에 따른 벌크 바이어스 전압 생성 회로의 블록도,3 is a block diagram of a bulk bias voltage generation circuit according to the prior art,

도 4는 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로의 블록도,4 is a block diagram of a bulk bias voltage generation circuit of a semiconductor memory device according to the present invention;

도 5는 도 4에 도시한 승압 전압 감지부, 외부 전압 감지부, 벌크 바이어스 감지부의 회로도,5 is a circuit diagram of a boosted voltage detector, an external voltage detector, and a bulk bias detector shown in FIG. 4;

도 6은 도 4에 도시한 벌크 바이어스 발진부의 블록도,6 is a block diagram of a bulk bias oscillator shown in FIG. 4;

도 7은 도 6에 도시한 벌크 바이어스 발진부의 회로도, 및7 is a circuit diagram of the bulk bias oscillator shown in FIG. 6, and

도 8은 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로의 동작을 나타내는 전압 파형도이다.8 is a voltage waveform diagram illustrating an operation of a bulk bias voltage generation circuit of a semiconductor memory device according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100 : 승압 전압 감지부 110 : 승압 전압 분배부 120 : 승압 전압 비교부100: boosted voltage detection unit 110: boosted voltage divider 120: boosted voltage comparison unit

200 : 외부 전압 감지부 210 : 외부 전압 분배부 220 : 외부 전압 비교부200: external voltage detector 210: external voltage divider 220: external voltage comparator

300 : 벌크 바이어스 전압 감지부 310 : 벌크 바이어스 전압 분배부300: bulk bias voltage detector 310: bulk bias voltage divider

320 : 벌크 바이어스 전압 비교부 400 : 벌크 바이어스 발진부320: bulk bias voltage comparison unit 400: bulk bias oscillation unit

410 : 제 1 펄스 발생부 420 : 제 2 펄스 발생부410: first pulse generator 420: second pulse generator

Claims (14)

입력 전압과 기준 전압을 비교하여 인에이블 신호를 생성하는 감지부,A detector for generating an enable signal by comparing an input voltage and a reference voltage, 내부 전압과 내부 기준 전압을 비교하여 내부 전압 인에이블 신호를 생성하는 내부 전압 감지부,An internal voltage detector configured to compare an internal voltage and an internal reference voltage to generate an internal voltage enable signal; 상기 인에이블 신호와 상기 내부 전압 인에이블 신호를 입력받아 주기가 가변되는 내부 전압 발진 신호를 생성하는 내부 전압 발진부, 및An internal voltage oscillator configured to receive the enable signal and the internal voltage enable signal and generate an internal voltage oscillation signal having a variable period; 상기 내부 전압 발진 신호에 응답하여 상기 내부 전압을 생성하기 위한 내부 전압 펌프부를 포함하며,An internal voltage pump unit configured to generate the internal voltage in response to the internal voltage oscillation signal, 상기 내부 전압 발진부는 복수의 발진 신호 생성부를 구비함으로써, 상기 입력 전압의 레벨에 따라 정량적인 주기 차이를 갖는 상기 내부 전압 발진 신호의 경로를 선택적으로 제공하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성회로.The internal voltage oscillator includes a plurality of oscillation signal generators, thereby selectively providing a path of the internal voltage oscillation signal having a quantitative period difference according to the level of the input voltage. Generating circuit. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 감지부는,The detection unit, 상기 입력 전압을 분배하여 분배 전압을 출력하는 입력 전압 분배부, 및An input voltage divider for dividing the input voltage to output a divided voltage; 상기 분배 전압과 상기 기준 전압의 전위 레벨을 비교하여 상기 인에이블 신호를 출력하는 입력 전압 비교부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.And an input voltage comparator configured to compare the divided voltage and the potential level of the reference voltage to output the enable signal. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 내부 전압 감지부는,The internal voltage detector, 상기 내부 전압을 분배하여 내부 분배 전압을 출력하는 내부 전압 분배부, 및An internal voltage divider for dividing the internal voltage to output an internal divided voltage; and 상기 내부 분배 전압과 상기 내부 기준 전압의 전위 레벨을 비교하여 상기 내부 전압 인에이블 신호를 출력하는 내부 전압 비교부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.And an internal voltage comparator configured to compare the internal division voltage and the potential level of the internal reference voltage to output the internal voltage enable signal. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 내부 전압 발진부는,The internal voltage oscillator, 상기 내부 전압 인에이블 신호와 펄스 발진 신호에 응답하여 상기 내부 전압 발진 신호를 출력하는 제 1 발진 신호 생성부, 및 A first oscillation signal generator for outputting the internal voltage oscillation signal in response to the internal voltage enable signal and the pulse oscillation signal; 상기 인에이블 신호와 상기 내부 전압 발진 신호에 응답하여 상기 내부 발진 신호에 대해 소정 시간의 지연 여부를 제어하여 상기 펄스 발진 신호로서 출력하는 제 2 발진 신호 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.And a second oscillation signal generation unit configured to control whether or not a predetermined time delay is delayed with respect to the internal oscillation signal in response to the enable signal and the internal voltage oscillation signal, and output the pulse oscillation signal. Bulk bias voltage generation circuit. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제 2 발진 신호 생성부는,The second oscillation signal generator, 상기 인에이블 신호와 상기 내부 전압 발진 신호에 응답하여 펄스 신호를 출력하는 펄스부,A pulse unit outputting a pulse signal in response to the enable signal and the internal voltage oscillation signal; 상기 인에이블 신호와 상기 내부 전압 발진 신호에 응답하여 상기 내부 전압 발진 신호에 대해 상기 소정 시간 지연 여부를 제어하여 펄스 지연 신호로서 출력하는 펄스 지연부, 및A pulse delay unit configured to control whether or not the predetermined time delay with respect to the internal voltage oscillation signal in response to the enable signal and the internal voltage oscillation signal, and output the pulse delay signal; 상기 펄스 신호와 상기 펄스 지연 신호를 논리 조합하여 상기 펄스 발진 신호를 출력하기 위한 신호 조합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.And a signal combiner for logically combining the pulse signal and the pulse delay signal to output the pulse oscillation signal. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 펄스부는,The pulse unit, 상기 인에이블 신호가 인에이블 되면, 상기 내부 전압 발진 신호에 응답하여 상기 펄스 신호의 레벨을 제어하고,When the enable signal is enabled, the level of the pulse signal is controlled in response to the internal voltage oscillation signal, 상기 인에이블 신호가 디스에이블 되면, 상기 내부 전압 발진 신호에 상관없이 상기 펄스 신호를 인에이블 시키는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.And disabling the pulse signal regardless of the internal voltage oscillation signal when the enable signal is disabled. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 펄스 지연부는,The pulse delay unit, 상기 인에이블 신호가 인에이블 되면, 상기 내부 전압 발진 신호에 상관없이 상기 펄스 지연 신호를 디스에이블 시키고,When the enable signal is enabled, the pulse delay signal is disabled regardless of the internal voltage oscillation signal. 상기 인에이블 신호가 디스에이블 되면, 상기 내부 전압 발진 신호에 응답하여 상기 펄스 지연 신호의 레벨을 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장 치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.And if the enable signal is disabled, controlling the level of the pulse delay signal in response to the internal voltage oscillation signal. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 신호 조합부는,The signal combination unit, 상기 펄스 지연 신호가 디스에이블 되면, 상기 펄스 신호에 응답하여 상기 펄스 발진 신호의 레벨을 제어하고,When the pulse delay signal is disabled, the level of the pulse oscillation signal is controlled in response to the pulse signal, 상기 펄스 신호가 디스에이블 되면, 상기 펄스 지연 신호에 응답하여 상기 펄스 발진 신호의 레벨을 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.And if the pulse signal is disabled, controlling the level of the pulse oscillation signal in response to the pulse delay signal. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 8, 상기 입력 전압은,The input voltage is, 승압 전압인 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.A bulk bias voltage generation circuit of a semiconductor memory device, characterized in that the boost voltage. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 8, 상기 입력 전압은,The input voltage is, 외부 전압인 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.A bulk bias voltage generation circuit of a semiconductor memory device, characterized in that the external voltage. 제 1 항 내지 제 8 항에 있어서,The method according to claim 1, wherein 상기 내부 전압은,The internal voltage is, 벌크 바이어스 전압인 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.A bulk bias voltage generation circuit of a semiconductor memory device, characterized in that it is a bulk bias voltage. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 감지부는,The detection unit, 승압 전압과 승압 기준 전압을 비교하여 승압 인에이블 신호를 생성하는 승압 감지부인 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.And a boost sensing unit configured to generate a boost enable signal by comparing the boosted voltage to the boosted reference voltage. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 감지부는,The detection unit, 외부 전압과 외부 기준 전압을 비교하여 외부 인에이블 신호를 생성하는 외부 전압 감지부인 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.A bulk bias voltage generation circuit of a semiconductor memory device, characterized in that the external voltage sensing unit for generating an external enable signal by comparing an external voltage and an external reference voltage. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 감지부는,The detection unit, 승압 전압과 승압 기준 전압을 비교하여 승압 인에이블 신호를 생성하는 승 압 감지부, 및A boost detector configured to compare the boost voltage and the boost reference voltage to generate a boost enable signal; and 외부 전압과 외부 기준 전압을 비교하여 외부 인에이블 신호를 생성하는 외부 전압 감지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 벌크 바이어스 전압 생성 회로.And an external voltage detector configured to compare an external voltage with an external reference voltage to generate an external enable signal.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980034255A (en) * 1996-11-06 1998-08-05 김영환 Back Bias Voltage Generator
KR20020010825A (en) * 2000-07-31 2002-02-06 박종섭 Substrate voltage generator of semiconductor device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980034255A (en) * 1996-11-06 1998-08-05 김영환 Back Bias Voltage Generator
KR20020010825A (en) * 2000-07-31 2002-02-06 박종섭 Substrate voltage generator of semiconductor device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8446211B2 (en) 2011-04-27 2013-05-21 SK Hynix Inc. Internal voltage generation circuit
KR101792737B1 (en) 2011-12-21 2017-11-03 에스케이하이닉스 주식회사 Pumping voltage generator and semiconductor device using the same

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