KR100894524B1 - The gonio cage to operate to the manual - Google Patents

The gonio cage to operate to the manual Download PDF

Info

Publication number
KR100894524B1
KR100894524B1 KR1020080114938A KR20080114938A KR100894524B1 KR 100894524 B1 KR100894524 B1 KR 100894524B1 KR 1020080114938 A KR1020080114938 A KR 1020080114938A KR 20080114938 A KR20080114938 A KR 20080114938A KR 100894524 B1 KR100894524 B1 KR 100894524B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
coupled
rotation
nut
fixing part
arm
Prior art date
Application number
KR1020080114938A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이대봉
Original Assignee
이대봉
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이대봉 filed Critical 이대봉
Priority to KR1020080114938A priority Critical patent/KR100894524B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100894524B1 publication Critical patent/KR100894524B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/04—Measuring microscopes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/08—Optical projection comparators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21—Polarisation-affecting properties
    • G01N21/211—Ellipsometry

Abstract

A manual angle measuring device is provided to arrange an optical system combined in a cage at the desired angle by precisely rotating and transferring the cage with a precision fixing unit. A manual angle measuring device comprises a support unit(20) consisting of a horizontal support(22) having a securing part(21) and a vertical support(23), a body including a plate(31) which is combined in the securing part of the horizontal support and the vertical support and has a through hole and a rotation-stop groove, a rotation arm(40) which is combined to the through hole of the body via a shaft, and a fixing unit(50) which is combined with the rotation arm and fitted to the rotation-stop groove in order to hold the rotation arm.

Description

수동 측각대{The gonio cage to operate to the manual}Gonio cage to operate to the manual}

본 발명은 수동 측각대에 관한 것으로, 보다 상세하게는 회전고정부에 구성된 고정수단과 정밀고정부에 의해 광학계가 결합되는 케이지의 정밀한 회전이송을 할 수 있을 뿐만 아니라, 광학모듈의 조건을 사용자의 임의로 변경하여 사용할 수 있기 때문에 값비싼 광학기계의 구입 없이도 실험이나 연구에 필요한 응용실험을 효과적으로 할 수 있는 수동 측각대에 관한 것이다.The present invention relates to a manual side stand, and more particularly, it is possible not only to precisely move the cage coupled to the optical system by the fixing means and the precision fixing means configured in the rotation fixing part, but also to determine the conditions of the optical module. Since it can be arbitrarily changed, the present invention relates to a passive side stand that can effectively perform application experiments required for experiments or research without purchasing expensive optical instruments.

근래 들어서, 반도체 제조 프로세스 또는, LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel)로 대표되는 FPD(Flat Panel Display) 제조 프로세스 등과 같이 정밀을 요하는 곳에서는, 기판의 대형화나 고정밀화 및 미세화에 수반하여, 불량의 막대한 손해의 가능성이나 미세한 이상에 대한 관리의 필요성이 대두 되었으며, 이에 따른 검사의 중요성이 더욱 더 높아지고 있는 실정이다.In recent years, where precision is required, such as a semiconductor manufacturing process or a flat panel display (FPD) manufacturing process represented by a liquid crystal display (LCD) or a plasma display panel (PDP), it is necessary to increase the size, high precision, and miniaturization of a substrate. As a result, the possibility of enormous damage of defects or the necessity of management of minute abnormalities has emerged, and the importance of inspection is increasing accordingly.

이에 관한 측정장비로 엘립소미터(ellipsometer)가 주로 사용되었으며, 이하에서는 종래에 사용되던 광학기계중에 하나인 엘립소미터에 대해 간단히 설명한다.An ellipsometer is mainly used as a measuring device for this. Hereinafter, an ellipsometer, which is one of the conventional optical machines, will be briefly described.

도 1은 종래의 엘립소미터를 도시한 걔략도이다.1 is a schematic diagram showing a conventional ellipsometer.

먼저, 종래의 엘립소미터는 기판(109)의 박막(190a)의 막두께를 측정하기위한 투광용광학계(1)와, 상기 투광용광학계(1)로부터 나오는 받아들이는 수광용광학계(2)가 구성되는데, 상기 투광용광학계(1)에는 통상의 광원(101)과, 콜리메이트렌즈(102) 및 편광자(103), 이상자(104), 집광렌즈(105) 등이 구성되어 있으며, 상기 수광용광학계(2)에도 통상의 수광렌즈(106)와 검광자(107) 및 관측을 위한 1차원CCD(108)가 구성되어 있다.First, in the conventional ellipsometer, a light transmitting optical system 1 for measuring the film thickness of the thin film 190a of the substrate 109 and a light receiving optical system 2 coming out from the light transmitting optical system 1 are provided. The light-transmitting optical system 1 includes a conventional light source 101, a collimated lens 102, a polarizer 103, an idealized character 104, a condenser lens 105, and the like. The optical system 2 also includes a normal light receiving lens 106, an analyzer 107, and a one-dimensional CCD 108 for observation.

그리고, 수광용광학계(2)로부터 얻어지는 일련의 수광량 데이터는 연산수단(110)으로 보내져 측정대상이 되는 박막(109a)의 막두께를 구할 수 있도록 되어 있었다.The series of received light quantity data obtained from the light receiving optical system 2 was sent to the calculating means 110 to obtain the film thickness of the thin film 109a to be measured.

그러나, 상기와 같이 구성된 종래의 엘립소미터는 획일화된 광학기로 정해진 투광용광학계와 수광용광학계가 설치되어 있고, 이에 따른 광확모듈이 정해져 있기 때문에 조건에 따른 응용실험이 불가능하였으며, 장비 자체가 고가이기 때문에 각각의 실험에 대해서 조건에 맞는 실험을 하기 위해서는 각각의 조건에 알맞은 장비를 별도로 구입하여 사용해야만 하는 문제점이 있었다.However, the conventional ellipsometer configured as described above is equipped with a light transmitting optical system and a light receiving optical system, which are determined as uniform optics. Since it is expensive, in order to perform experiments for each experiment, there is a problem that a separate equipment for each condition must be purchased and used separately.

또한, 투광용광학계와 수광용광학계가 일정한 각도 단위로 조절되도록 되어 있기 때문에 사용자가 원하는 정확한 조절이 불가능하였으며, 그리고, 모터를 이용하여 투광용광학계와 수광용광학계를 조절하는 것은 장비구입에 따른 비용이 더 추가될 뿐만 아니라, 구성이 복잡하여 유지보수비용이 많이 발생되는 문제점이 있었다.In addition, since the optical system for receiving light and the optical system for receiving light were adjusted to a certain angle unit, accurate adjustments desired by the user were not possible, and the use of a motor to control the optical system for light and the optical system for receiving light was the cost of equipment purchase. In addition to this further, there was a problem that the configuration is complicated and the maintenance cost is high.

따라서, 각각의 조건에 맞춰 실험이나 연구를 할 수 있도록 하는 저렴한 측정장비가 요구되는 실정이다.Therefore, there is a need for an inexpensive measuring device that can perform experiments or research according to each condition.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 수동 측각대는 보드에 결합되는 안착부가 형성된 가로받침대와, 상기 가로받침대에 결합되는 세로받침대로 구성된 받침대부와; 상기 가로받침대의 안착부와 세로받침대에 결합고정되는 플레이트로 형성되되, 상기 플레이트에는 관통홀과 원형상의 회전걸림턱홈이 형성되며, 상기 회전걸림턱홈의 하부는 플레이트의 밑면까지 연장형성된 몸체와; 샤프트에 의해 상기 몸체의 관통홀을 중심으로 결합되어 회전하는 회전암과, 상기 회전암에 결합된채로 회전걸림턱홈에 끼워져 회전암을 고정시키는 고정수단으로 구성되되, 상기 고정수단은 몸체의 회전걸림턱홈에 끼워지는 제1너트와 회전암에 결합된 채로 제1너트에 결합되어 제1너트를 조이는 제1조절볼트로 구성된 제1고정수단과, 몸체의 회전걸림턱홈에 끼워지는 제2너트와 상기 제2너트를 조이는 제2조절볼트가 결합되는 핸들홀더로 구성된 제2고정수단으로 구성되며, 상기 핸들홀더에는 회전암을 미세이동시키는 정밀조절부가 구성된 회전고정부와; 하부가 상기 몸체에 결합되고, 상부가 상기 샤프트에 결합되어 회전고정부를 지지하는 브라케트와; 일측이 상기 회전고정부의 끝단에 결합되고, 타측에는 케이지가 장착되는 결합부가 구성된 케이지블럭으로 이루어진다.Manual side stand of the present invention for achieving the above object is a pedestal portion consisting of a horizontal support and a vertical support coupled to the horizontal support is formed on the mounting portion coupled to the board; It is formed of a plate that is fixed to the seating portion and the longitudinal support of the horizontal support, the plate is formed with a through hole and a circular rotating locking jaw groove, the lower portion of the rotating locking jaw groove is formed to extend to the bottom of the plate; Rotating arm coupled to rotate through the through hole of the body by the shaft and the rotating means is coupled to the rotating locking jaw groove while being coupled to the rotating arm fixed means for fixing the rotating arm, the fixing means is the rotation of the body A first fixing means composed of a first adjusting bolt coupled to the first nut and tightened to the first nut while being coupled to the first nut fitted to the jaw groove, and the second nut fitted to the rotating locking jaw groove of the body; A second fixing means comprising a handle holder coupled to a second adjusting bolt for tightening a second nut, and the handle holder includes a rotation fixing part including a precision adjusting unit for finely moving the rotating arm; A lower bracket coupled to the body and an upper bracket coupled to the shaft to support the rotation fixing unit; One side is coupled to the end of the rotation fixing portion, the other side is made of a cage block consisting of a coupling portion is mounted cage.

본 발명의 수동 측각대를 이용하면, 회전고정부의 회전에 따라 회전암에 결합된 케이지를 원하는 위치에 손쉽게 위치시켜 고정할 수 있을 뿐만 아니라, 회전고정부의 고정수단에 구성된 정밀고정부에 의해 케이지의 정밀한 회전이송을 할 수 있어 상기 케이지에 결합되는 현미경이나 투광용광학계 및 수광용광학계를 사용자가 원하는 임의의 각으로 손쉽게 위치시킬 수 있는 장점이 있다.By using the manual side stand of the present invention, the cage coupled to the rotary arm can be easily fixed to a desired position and fixed according to the rotation of the rotary fixing unit, and by the precision fixing unit configured in the fixing unit of the rotary fixing unit. Since the cage can be precisely rotated and moved, the microscope or the light transmitting optical system and the light receiving optical system coupled to the cage can be easily positioned at any angle desired by the user.

또한, 상기 케이지에 결합되는 현미경이나 투상용광학계 및 수광용광학계의 교체 및 간격 조절 등으로 광학모듈의 조건을 변경하여 사용할 수 있기 때문에 값비싼 광학기계의 별도 구입 없이도 실험이나 연구에 필요한 응용실험을 효과적으로 할 수 있는 유용한 발명이다.In addition, it can be used by changing the conditions of the optical module by changing the microscope and the projection optical system and the light receiving optical system coupled to the cage, so that the application experiments required for the experiment or research without the purchase of expensive optical equipment It is a useful invention that can be effectively done.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 구성을 살펴보면 다음과 같 다.Looking at the configuration of the present invention for solving the above problems are as follows.

도 2는 본 발명의 수동 측각대를 도시한 분리사시도이고, 도 3, 4는 본 발명의 수동 측각대를 도시한 사시도이며, 도 5는 본 발명의 수동 측각대를 도시한 정면도로서 같이 설명한다.Figure 2 is an exploded perspective view showing a passive side stand of the present invention, Figures 3 and 4 are perspective views showing the manual side stand of the present invention, Figure 5 will be described as a front view showing a passive side stand of the present invention. .

본 발명에 따른 수동 측각대(100)는 수동으로 회전각을 조절하여 사용함으로써 각각의 조건에 맞는 응용실험이나 연구를 하는데 쓰이는 것으로, 보드(10)와, 받침대부(20)와, 몸체(30)와, 회전고정부(60)와, 브라케트(70)와, 케이지블럭(80)으로 구성된다.The manual side stand 100 according to the present invention is used to perform an application experiment or research for each condition by manually adjusting the rotation angle, the board 10, the pedestal 20 and the body 30 ), The rotation fixing part 60, the bracket 70, and the cage block 80.

먼저, 보드(10)는 측정실험의 받침판으로 쓰이는 것으로, 통상적으로 편평한 정반 등에 위치시켜 사용되며, 다수의 결합공(11)이 등간격으로 관통 형성되어 있다.First, the board 10 is used as a base plate of the measurement experiment, it is usually used to be placed on a flat plate, etc., a plurality of coupling holes 11 are formed through at equal intervals.

또한, 받침대부(20)는 보드(10)에 각각 볼트 결합되는 가로받침대(22)와 세로받침대(23)로 구성되는 것으로, 상기 가로받침대(22)에는 안착부(21)가 구성되어 있다In addition, the pedestal 20 is composed of a horizontal support 22 and a vertical support 23, which are each bolted to the board 10, the mounting portion 21 is configured in the horizontal support 22.

그리고, 상기 가로받침대(22)는 몸체(30)의 양쪽을 지지할 수 있도록 보드(10)의 양측으로 결합되는 것이 바람직하다.In addition, the horizontal support 22 is preferably coupled to both sides of the board 10 to support both sides of the body (30).

또한, 몸체(30)는 상기 가로받침대(22)의 안착부(21)와 세로받침대(23)에 볼트로 결합고정되는 플레이트(31)를 형성한 것으로, 상기 플레이트(31)에는 관통된 결합공(31a)이 다수로 형성되어 있으며, 플레이트(31)의 하부 양측이 가로받침대(22)의 안착부(21)에 안착되도록 돌출형성되어 있다.In addition, the body 30 forms a plate 31 which is bolted to the seating portion 21 and the vertical support 23 of the horizontal support 22, the plate 31 through the coupling hole 31a is formed in plural, and the lower sides of the plate 31 are protruded to be seated on the seating portion 21 of the horizontal support 22.

그리고, 상기 플레이트(31)의 상부는 호형상으로 형성되어 각도가 표시되어 있으며, 상기 호형상의 중심점으로는 샤프트(41)가 결합되는 관통홀(32)이 형성되어 있고, 플레이트(31)의 후면에는 회전걸림턱홈(33)이 형성되어 있다.In addition, the upper portion of the plate 31 is formed in an arc shape and the angle is indicated, and a through hole 32 to which the shaft 41 is coupled is formed at the center point of the arc shape, Rotating jaw groove 33 is formed on the back.

여기서, 상기 회전걸림턱홈(33)은 플레이트(31)의 후면 가장자리를 따라 원형상으로 형성되는 것으로, 회전걸림턱홈(33)의 하부가 플레이트(31)의 밑면까지 연장형성되어 회전걸림턱홈(33)이 외부로 노출되어 진 것에 특징이 있다.Here, the rotary locking jaw groove 33 is formed in a circular shape along the rear edge of the plate 31, the lower portion of the rotary locking jaw groove 33 is formed to extend to the bottom of the plate 31, the rotary locking jaw groove 33 ) Is characterized by being exposed to the outside.

또한, 회전고정부(60)는 회전암(40)과 회전암(40)을 고정시키는 고정수단(50)으로 구성된다.In addition, the rotation fixing part 60 is composed of a fixing means 50 for fixing the rotary arm 40 and the rotary arm 40.

먼저, 상기 회전암(40)은 상기 몸체(30)의 관통홀(32)에 결합된 샤프트(61)에 결합되는 것으로, 몸체(30)의 관통홀(32)을 중심으로 회전되도록 되어 있다.First, the rotary arm 40 is coupled to the shaft 61 coupled to the through hole 32 of the body 30, and is rotated about the through hole 32 of the body 30.

그리고, 상기 고정수단(50)은 상기 회전암(40)에 결합된채로 회전걸림턱홈(33)에 끼워져 회전암(40)을 고정시키도록 되어 있는 것으로, 실험이나 연구의 조건에 따라서 1개 또는 2개로 구성할 수 있으며, 이때에는 2개로 구성된 상기 회전고정부(60)의 회전암(40)이 서로 겹치는 범위가 최소화 되도록 회전암(40)의 마주보는 측면을 대칭되게 가공함으로써 회전고정부(60)에 구성된 회전암(40)의 회전범위각(α)을 30°~ 180°로 하는 것이 바람직하다.And, the fixing means 50 is to be fitted to the rotary locking jaw groove 33 while being coupled to the rotary arm 40 to fix the rotary arm 40, one or according to the conditions of the experiment or research It can be configured as two, in this case by rotating the fixing side (symmetrically) by processing the opposite sides of the rotary arm 40 to minimize the overlapping range of the rotary arm 40 of the two consisting of the rotary fixing (60) ( It is preferable to set the rotation range angle (alpha) of the rotation arm 40 comprised in 60 to 30 degrees-180 degrees.

아울러, 상기 회전고정부(60)에 구성된 고정수단(50)은 몸체(30)의 회전걸림턱홈(33)에 끼워지는 제1너트(51)와, 회전암(40)에 결합된 채로 제1너트(51)에 결합되어 제1너트(51)를 조이는 제1조절볼트(52)로 구성된 제1고정수단(53)으로 제작할 수 있다.In addition, the fixing means 50 configured on the rotation fixing part 60 has a first nut 51 fitted into the rotation catching jaw groove 33 of the body 30 and a first arm while being coupled to the rotating arm 40. It is coupled to the nut 51 can be produced by the first fixing means (53) consisting of a first adjusting bolt 52 for tightening the first nut (51).

그리고, 상기 고정수단(50)에는 제1고정수단(53) 이외에 제2고정수단(59)이 더 포함되어 구성되는 것이 바람직하며, 상기 제2고정수단(59)은 몸체(30)의 회전걸림턱홈(33)에 끼워지는 제2너트(56)와, 상기 제2너트(56)를 조이는 제2조절볼트(57)가 결합되는 핸들홀더(58)로 구성된다. 아울러, 상기 핸들홀더(58)에는 회전암(40)을 미세이동시키는 정밀조절부(90)가 더 포함되어 구성되는 것에 특징이 있다. In addition, the fixing means 50 is preferably configured to further include a second fixing means 59 in addition to the first fixing means 53, the second fixing means 59 is caught by the rotation of the body 30 The second nut 56 fitted into the jaw groove 33 and the handle holder 58 to which the second adjusting bolt 57 to tighten the second nut 56 are coupled. In addition, the handle holder 58 is characterized in that it further comprises a precision adjusting unit 90 for finely moving the rotary arm 40.

여기서, 상기 정밀조절부(90)는 상기 회전고정부(60)의 회전암(40)에 결합되어진 볼(91)이 구성된 너트가이드(92)와, 상기 너트가이드(92)에 결합되는 조절축스크루(93)와, 상기 조절축스크루(93)에 결합된 채로 핸들홀더(58)에 결합되어 조절축스크루(93)를 회전시킴으로써 회전암(40)을 미세이동시키는 미세조절다이얼(94)로 이루어진 것에 특징이 있다.Here, the precision control unit 90 is a nut guide 92 is composed of a ball 91 is coupled to the rotary arm 40 of the rotation fixing part 60, the control shaft coupled to the nut guide 92 The screw 93 and the fine adjustment dial 94 which is coupled to the handle holder 58 while being coupled to the control shaft screw 93 to finely move the rotary arm 40 by rotating the control shaft screw 93. It is characterized by what has been done.

또한, 브라케트(70)는 ㄴ자 형상으로 형성되어 회전고정부(60)를 지지결합하는 것으로, 하부가 상기 몸체(30)의 후면에 결합되고, 상부가 상기 샤프트(61)에 결합된다.In addition, the bracket 70 is formed in a b-shape to support the rotation fixing part 60, the lower portion is coupled to the rear of the body 30, the upper portion is coupled to the shaft 61.

또한, 케이지블럭(80)은 일측이 상기 회전고정부(60)의 끝단에 결합되고, 타측으로는 통상의 케이지(C)가 장착되는 결합부(81)가 구성된다.In addition, one side of the cage block 80 is coupled to the end of the rotation fixing part 60, the other side is composed of a coupling portion 81 is mounted a conventional cage (C).

여기서, 상기 케이지(C)는 통상의 투광용광학계(C1)나, 수광용광학계(C2) 등이 결합되는 프레임과 같은 것으로, 상기 투광용광학계(C1)와, 수광용광학계(C2)는 실험이나 연구의 조건에 따라 다양하게 변경하여 설치할 수 있다.Here, the cage (C) is the same as a frame in which a conventional optical optical system (C1), a light receiving optical system (C2), etc. are combined, the optical system (C1) and the light receiving optical system (C2) is an experiment. However, it can be installed in various ways depending on the conditions of the study.

상기와 같은 구성에 따른 본 발명의 작용을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the present invention according to the configuration as described above are as follows.

본 발명의 수동 측각대(100)의 결합방법을 살펴보면, 먼저, 가로받침대(22)의 안착부(21)에 몸체(30)의 하부 양측 안착시켜 볼트결합한 후, 세로받침대(23)를 가로받침대(22)에 볼트결합시키고, 몸체(30)와 세로받침대(23)를 볼트결합시킴으로써 받침대부(20)와 몸체(30)의 조립을 완료한 다음, 몸체(30)가 조립된 받침대부(20)를 보드(10)와 볼트결합시킴으로써 보드(10)와 받침대부(20) 및 몸체(30)의 조립을 완료한다.Looking at the coupling method of the manual side stand 100 of the present invention, first, the lower both sides of the body 30 is seated on the seating portion 21 of the horizontal support 22, and then bolted together, the vertical support 23 is a horizontal support Bolted to the (22), by completing the assembly of the pedestal 20 and the body 30 by bolting the body 30 and the vertical support 23, then the pedestal 20, the body 30 is assembled ) By assembling the board 10 and the board 10 to complete the assembly of the board 10, the pedestal 20 and the body 30.

이 후, 회전암(40)과 고정수단(50)이 결합된 회전고정부(60)에 케이지블럭(80)을 결합시키고, 몸체(30)의 관통홀(32)에 샤프트(61)를 끼운 다음, 상기 샤프트(61)에 회전고정부(60)를 결합한 다음, 브라케트(70)를 샤프트(61)에 결합시킴과 동시에 몸체(30)에 볼트결합하여 회전고정부(60)를 지지고정시킨다.Thereafter, the cage block 80 is coupled to the rotation fixing part 60 to which the rotary arm 40 and the fixing means 50 are coupled, and the shaft 61 is inserted into the through hole 32 of the body 30. Next, the rotation fixing part 60 is coupled to the shaft 61, and then the bracket 70 is coupled to the shaft 61 and bolted to the body 30 at the same time to support the rotation fixing part 60. Let's do it.

여기서, 상기 고정수단(50)의 제1, 2고정수단(53, 59)에 구성된 제1, 2너트(51, 56)는 몸체(30)의 밑면까지 연장형성되어 외부로 개방된 회전걸림턱홈(33)에 의해 회전암(40)을 아래방향으로 위치시킨 상태에서 용이한 결합을 이룰 수 있게 된다.Here, the first and second nuts (51, 56) configured in the first and second fixing means (53, 59) of the fixing means 50 is formed to extend to the bottom of the body 30, the rotation locking jaw groove opened to the outside By 33, the engagement can be easily achieved in the state in which the rotary arm 40 is positioned downward.

그 후에는, 보드(10)에 형성된 결합공(11)에 고니오메타와 같은 통상적인 이동수단(1)을 장착하고, 그 위에 측정대상물(미도시)을 올려 놓을 수 있다.After that, a conventional moving means 1 such as a goniometer can be mounted in the coupling hole 11 formed in the board 10, and a measurement object (not shown) can be placed thereon.

그리고, 실험이나 연구에 필요한 광학모듈을 맞출 수 있도록 케이지(C)에 현미경(미도시)이나, 투광용광학계(C1) 및 수광용광학계(C2)를 적절히 장착한 후, 케이지(C)를 케이지블럭(80)에 결합시킴으로써 본 발명의 수동 측각대(100)를 사용할 수 있게 된다.Then, the microscope (not shown) or the light transmitting optical system (C1) and the light receiving optical system (C2) are appropriately mounted on the cage (C) so that the optical module necessary for the experiment or research can be fitted, and then the cage (C) is caged. Coupling to the block 80 enables the use of the passive side stand 100 of the present invention.

이하에서는 본 발명의 수동 측각대의 사용방법을 설명한다. Hereinafter, a method of using the manual side stand of the present invention.

먼저, 측정대상물을 이동수단(1)에 올려 놓은 후, 케이지(C)에 장착되는 투광용광학계(C1)와 수광용광학계(C2)의 정해진 초점에 맞도록 이동수단(1)을 조작한다.First, the measurement object is placed on the moving means 1, and then the moving means 1 is manipulated to fit a predetermined focus of the light transmitting optical system C1 and the light receiving optical system C2 mounted on the cage C.

그 후에는, 실험에 필요한 투광용광학계(C1)와 수광용광학계(C2)를 광학모듈에 맞게 케이지에 장착한 후, 상기 케이지(C)를 케이지블럭(80)에 구성된 결합부(81)에 장착한다. 이때의 상기 케이지(C)와 케이블럭(80)의 결합은 볼트결합과 같은 이용한 통상의 결합방법으로 용이하게 할 수 있다.Thereafter, the light transmitting optical system C1 and the light receiving optical system C2 required for the experiment are mounted in a cage according to the optical module, and then the cage C is attached to the coupling portion 81 formed in the cage block 80. Mount it. At this time, the coupling of the cage (C) and the cable rack 80 can be facilitated by using a conventional coupling method such as bolt coupling.

이와 같이 본 발명을 사용할 수 있도록 측정대상물의 설치와 광학계(C1, C2)가 장착된 케이지(C)의 설치를 완료한 후에는, 회전고정부(60)에 구성된 회전암(40)과 고정수단(50)을 손으로 회전조작함으로써 용이한 사용을 할 수 있다.Thus, after the installation of the measurement object and the installation of the cage (C) with the optical system (C1, C2) is mounted so that the present invention can be used, the rotary arm 40 and the fixing means configured in the rotation fixing part 60 Easy operation can be achieved by rotating the 50 by hand.

회전고정부(60)의 회전조작법을 보다 상세히 설명하면, 먼저, 회전고정부(60)의 고정수단(50)에 구성된 제1, 2조절볼트(52, 57)를 반시계 방향으로 회전시켜 제1, 2너트(51, 56)가 몸체(30)에 구성된 회전걸림턱홈(33)을 조이는 것을 해제시킨 상태에서 회전암(40)을 몸체(30)에 결합된 샤프트(61)를 중심으로 회전시켜 원하는 위치로 놓은 다음, 상기 제2조절볼트(57)를 시계방향으로 회전시켜 제2너트(56)가 회전걸림턱홈(33)을 조이도록 함으로써 회전암(40)을 원하는 위치에 대략적으로 고정시킨다.The rotation operation method of the rotation fixing part 60 will be described in more detail. First, the first and second adjusting bolts 52 and 57 of the fixing means 50 of the rotation fixing part 60 are rotated counterclockwise. The rotary arm 40 rotates about the shaft 61 coupled to the body 30 in a state in which the first and second nuts 51 and 56 release the tightening of the rotation locking jaw groove 33 formed in the body 30. To the desired position, and then rotate the second adjustment bolt 57 clockwise so that the second nut 56 tightens the rotation catching jaw groove 33 to fix the rotation arm 40 to the desired position. Let's do it.

그 후에는, 상기 제2조절볼트(57)가 구성된 제2고정수단(59)의 정밀조절부(90)를 조작하여 광학계(C1, C2)를 정확한 위치로 이동시킨 다음, 제1조절볼 트(52)를 시계방향으로 회전시켜 제1너트(51)가 회전걸림턱홈(33)을 조이도록 함으로써, 회전고정부(60)의 회전고정설치를 완료한다.After that, the optical control unit C1 and C2 are moved to the correct position by operating the precision adjusting unit 90 of the second fixing unit 59 in which the second adjusting bolt 57 is configured. By rotating 52 in a clockwise direction so that the first nut 51 tightens the rotation catching jaw groove 33, the rotation fixing installation of the rotation fixing unit 60 is completed.

여기서, 상기 정밀조절부(90)는 제2고정수단(59)의 핸들홀더(58)와 회전암 사이에 결합되는 것으로, 정밀조절부(90)의 구성품인 미세조절다이얼(94)을 시계 또는 반시계방향으로 회전시킴으로써 회전이송하는 조절축스크루(93)와 상기 조절축스크루(93)가 결합되어 있는 볼(91)이 구성된 너트가이드(92)에 의해 회전암(40)을 조금씩 회전이동시키는 작동을 한다.Here, the precision control unit 90 is coupled between the handle holder 58 and the rotary arm of the second fixing means 59, clock or fine adjustment dial 94, which is a component of the precision control unit 90 Rotate the rotary arm 40 little by little by means of a nut guide 92 composed of a control shaft screw 93 which rotates by rotating in a counterclockwise direction and a ball 91 to which the control shaft screw 93 is coupled. It works.

또한, 상기 케이지(C)에 장착되는 광학계(C1, C2)는 현미경등 다양하게 사용할 수 있으며, 이처럼 현미경으로 사용할 때에는 회전고정부(60)를 2개의 구성이 아닌, 하나의 구성으로하여 사용할 수도 있다.In addition, the optical system (C1, C2) mounted on the cage (C) can be used in a variety of microscopes, such as when using a microscope, the rotation fixing part 60 may be used in one configuration, not two. have.

아울러, 본 발명에서는 특정 실시 예를 한정하여 설명하였지만, 이는 이에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 벗어나지 않고 다양한 변화와 변형이 가능할 것이며, 이러한 변화는 모두 본 특허의 권리범위에 속하게 됨은 첨부된 청구범위를 통해 알 수 있을 것이다.In addition, the present invention has been described with a limited specific embodiment, which is not limited thereto, and various changes and modifications may be made without departing from the gist of the present invention, and all such changes belong to the scope of the patent. It will be understood from the claims.

도 1은 종래의 엘립소미터를 도시한 걔략도.1 is a schematic diagram showing a conventional ellipsometer.

도 2는 본 발명의 수동 측각대를 도시한 분리사시도.Figure 2 is an exploded perspective view showing a passive side stand of the present invention.

도 3, 4는 본 발명의 수동 측각대를 도시한 사시도.3 and 4 are perspective views showing the passive side stand of the present invention.

도 5는 본 발명의 수동 측각대를 도시한 정면도.5 is a front view showing a passive side stand of the present invention.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

C : 케이지 1 : 이동수단C: cage 1: vehicle

10 : 보드 11, 31a : 결합공10: board 11, 31a: coupling hole

20 : 받침대부 21 : 안착부20: pedestal portion 21: seating portion

22 : 가로받침대 23 : 세로받침대22: horizontal support 23: vertical support

30 : 몸체 31 : 플레이트30: body 31: plate

32 : 관통홀 33 : 회전걸림턱홈32: through hole 33: rotary locking jaw groove

40 : 회전암 50 : 고정수단40: rotation arm 50: fixing means

51, 56 : 제1, 2너트 52, 57 : 제1, 2조절볼트51, 56: 1st, 2nd nut 52, 57: 1st, 2nd adjusting bolt

53, 59 : 제 1, 2고정수단 58 : 핸들홀더53, 59: 1st, 2nd fixing means 58: Handle holder

60 : 회전고정부 70 : 브라케트60: rotation fixation 70: bracket

80 : 케이지블럭 81 : 결합부80: cage block 81: coupling portion

90 : 정밀조절부 91 : 볼90: precision control unit 91: ball

92 : 너트가이드 93 : 조절축스크루92: nut guide 93: adjusting shaft screw

94 : 미세조절다이얼 100 : 수동 측각대94: fine adjustment dial 100: manual side stand

Claims (5)

보드(10)에 결합되는 안착부(21)가 형성된 가로받침대(22)와, 상기 가로받침대(22)에 결합되는 세로받침대(23)로 구성된 받침대부(20);A pedestal portion 20 consisting of a horizontal support 22 having a seating portion 21 coupled to the board 10 and a vertical support 23 coupled to the horizontal support 22; 상기 가로받침대(22)의 안착부(21)와 세로받침대(23)에 결합고정되는 플레이트(31)로 형성되되, 상기 플레이트(31)에는 관통홀(32)과 원형상의 회전걸림턱홈(33)이 형성되며, 상기 회전걸림턱홈(33)의 하부는 플레이트(31)의 밑면까지 연장형성된 몸체(30);It is formed of a plate 31 which is fixed to the seating portion 21 and the vertical support 23 of the horizontal support 22, the plate 31 has a through hole 32 and a circular locking engaging groove 33 Is formed, the lower portion of the rotary locking jaw groove 33 is formed to extend to the bottom surface of the plate 31; 샤프트(61)에 의해 상기 몸체(30)의 관통홀(32)을 중심으로 결합되어 회전하는 회전암(40)과, 상기 회전암(40)에 결합된채로 회전걸림턱홈(33)에 끼워져 회전암(40)을 고정시키는 고정수단(50)으로 구성되되, 상기 고정수단(50)은 몸체(30)의 회전걸림턱홈(33)에 끼워지는 제1너트(51)와 회전암에 결합된 채로 제1너트(51)에 결합되어 제1너트(51)를 조이는 제1조절볼트(52)로 구성된 제1고정수단(53)과, 몸체(30)의 회전걸림턱홈(33)에 끼워지는 제2너트(56)와 상기 제2너트(56)를 조이는 제2조절볼트(57)가 결합되는 핸들홀더(58)로 구성된 제2고정수단(59)으로 구성되며, 상기 핸들홀더(58)에는 회전암(40)을 미세이동시키는 정밀조절부(90)가 구성된 회전고정부(60);Rotating arm 40 coupled and rotated about the through-hole 32 of the body 30 by the shaft 61, and is inserted into the rotary locking jaw groove 33 while being coupled to the rotary arm 40 to rotate It is composed of a fixing means 50 for fixing the arm 40, the fixing means 50 is coupled to the first nut 51 and the rotary arm fitted in the rotary locking jaw groove 33 of the body 30 The first fixing means (53) consisting of a first adjusting bolt 52 is coupled to the first nut (51) and tightens the first nut (51), and the first fitting means (53) to be fitted into the rotating engaging jaw groove (33) of the body (30). It consists of a second fixing means (59) consisting of a handle holder (58) to which the second nut (56) and the second adjusting bolt (57) for tightening the second nut (56), the handle holder (58) A rotation fixing part 60 configured with a fine adjustment unit 90 for finely moving the rotary arm 40; 하부가 상기 몸체(30)에 결합되고, 상부가 상기 샤프트(61)에 결합되어 회전고정부(60)를 지지하는 ㄴ자 형상의 브라케트(70);A bracket having a C shape having a lower portion coupled to the body 30 and an upper portion coupled to the shaft 61 to support the rotation fixing part 60; 일측이 상기 회전고정부(60)의 끝단에 결합되고, 타측에는 케이지(C)가 장착되는 결합부(81)가 구성된 케이지블럭(80)으로 이루어진 것에 특징이 있는 수동 측각대.One side is coupled to the end of the rotation fixing part (60), the other side is a passive side stand characterized in that consisting of a cage block (80) consisting of a coupling portion 81 is mounted on the cage (C). 제 1항에 있어서, 상기 회전암(40)과 고정수단(50)으로 구성된 회전고정부(60)는 2개로 구성된 것에 특징이 있는 수동 측각대.The manual side stand according to claim 1, wherein the rotation fixing part (60) consisting of the rotating arm (40) and the fixing means (50) is composed of two pieces. 제2항에 있어서, 2개로 구성된 상기 회전고정부(60)의 회전암(40)은 겹치는 범위를 최소화하여 회전고정부(60)의 회전범위각(α)이 30°~ 180°로 되도록 마주하는 측면을 대칭되게 가공한 것에 특징이 있는 수동 측각대.According to claim 2, wherein the rotating arm 40 of the rotation fixing part 60 consisting of two to minimize the overlapping range facing the rotation range angle (α) of the rotation fixing part 60 to 30 ° ~ 180 ° Manual side stand characterized by the symmetrical processing of the side. 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 정밀조절부(90)는 상기 회전고정부(60)의 회전암(40)에 결합되어진 볼(91)이 구성된 너트가이드(92)와, 상기 너트가이드(92)에 결합되는 조절축스크루(93)와, 상기 조절축스크루(93)에 결합된 채로 핸들홀더(58)에 결합되어 조절축스크루(93)를 회전시킴으로써 회전암(40)을 미세이동시키는 미세조절다이얼(94)로 이루어진 것에 특징이 있는 수동 측각대.According to claim 1, wherein the precision control unit 90 is a nut guide 92 is composed of a ball 91 coupled to the rotary arm 40 of the rotation fixing part 60, and the nut guide 92 Fine adjustment dial to finely move the rotary arm 40 by rotating the adjustment shaft screw 93 is coupled to the control shaft screw 93 and the handle holder 58 while being coupled to the control shaft screw 93, Manual side stand characterized by consisting of (94).
KR1020080114938A 2008-11-19 2008-11-19 The gonio cage to operate to the manual KR100894524B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080114938A KR100894524B1 (en) 2008-11-19 2008-11-19 The gonio cage to operate to the manual

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080114938A KR100894524B1 (en) 2008-11-19 2008-11-19 The gonio cage to operate to the manual

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100894524B1 true KR100894524B1 (en) 2009-04-22

Family

ID=40758053

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080114938A KR100894524B1 (en) 2008-11-19 2008-11-19 The gonio cage to operate to the manual

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100894524B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102818509A (en) * 2012-08-09 2012-12-12 嘉兴优太太阳能有限公司 High-precision square annular measuring device for accuracy degree of photovoltaic tracking system

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980058994A (en) * 1996-12-30 1998-10-07 박병재 Jig of bending state of shift lever
KR20080062229A (en) * 2006-12-29 2008-07-03 평화오일씰공업주식회사 Jig for hardness measuring device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980058994A (en) * 1996-12-30 1998-10-07 박병재 Jig of bending state of shift lever
KR20080062229A (en) * 2006-12-29 2008-07-03 평화오일씰공업주식회사 Jig for hardness measuring device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102818509A (en) * 2012-08-09 2012-12-12 嘉兴优太太阳能有限公司 High-precision square annular measuring device for accuracy degree of photovoltaic tracking system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6957794B2 (en) Anti-vibration and anti-tilt structure
US8836940B2 (en) Test apparatus for liquid crystal display
US8248468B2 (en) Support stand and imaging measurement device using the same
JP2006337471A (en) Support device and microscope having the same
KR20180126106A (en) Position alignment device for camera module inspection apparatus
KR100894524B1 (en) The gonio cage to operate to the manual
US5986753A (en) Wafer holding and orienting fixture for optical profilometry
JP4500879B1 (en) Manual stage with tilting function and tilting stage
CN110594546B (en) Camera adjustment mechanism and detection equipment
JP5678742B2 (en) Display device
JP4625826B2 (en) Probe unit
JP2002365637A (en) Liquid crystal alignment layer evaluating device
KR100822023B1 (en) Panel Supporting Mechanism And Inspection Apparatus
KR20070063796A (en) Lens position regulating apparatus and glass inspection system using the same
KR100930368B1 (en) Measuring system for optical lens and method for evaluating lens characteristics using same
US7397554B1 (en) Apparatus and method for examining a disk-shaped sample on an X-Y-theta stage
US7746465B2 (en) Sample holder for an optical element
US9296092B2 (en) Testing fixture for liquid crystal display module
JP7281148B2 (en) Optical axis adjustment unit, optical device, optical axis adjustment system, and optical axis adjustment method
JP2009230023A (en) Mechanism for adjusting camera for substrate inspection apparatus
JP2008076283A (en) Method for adjusting optical axis of substrate inspection device, and optical axis adjusting sample
US10642170B2 (en) Angle adjustment tool, angle adjustment system for liquid crystal panel and line defect analysis method
CN219015604U (en) Optical performance detection device
JP2004294271A (en) Apparatus and method for inspecting flat panel display device
CN220490379U (en) Detection tool for cam divider

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130429

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140403

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160113

Year of fee payment: 7

R401 Registration of restoration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160404

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170817

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180920

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190812

Year of fee payment: 11