KR100885998B1 - Apparatus for obtaining image of 3-dimensional object - Google Patents
Apparatus for obtaining image of 3-dimensional object Download PDFInfo
- Publication number
- KR100885998B1 KR100885998B1 KR1020080034185A KR20080034185A KR100885998B1 KR 100885998 B1 KR100885998 B1 KR 100885998B1 KR 1020080034185 A KR1020080034185 A KR 1020080034185A KR 20080034185 A KR20080034185 A KR 20080034185A KR 100885998 B1 KR100885998 B1 KR 100885998B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- light
- projection
- concave mirror
- measurement object
- light source
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B17/00—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
- G03B17/56—Accessories
- G03B17/58—Attachments for converting cameras into reflex cameras
Abstract
Description
본 발명은 측정물체로부터 반사되는 광을 검출하여 영상을 획득하기 위한 3차원 영상획득장치에 관한 것이다. The present invention relates to a three-dimensional image acquisition device for obtaining an image by detecting the light reflected from the measurement object.
일반적으로, 영상획득장치는 고체촬상소자를 이용하여 대상물체의 영상을 획득하는 장치를 일컫는 말이며, 고체촬상소자는 반도체화하고 집적화한 촬상소자로서 고체촬상 디바이스 또는 촬상관에 대응하여 촬상판이라고도 한다. 특히, 고체촬상소자의 일종인 CCD(Charge Coupled Device)는 한때 대용량 기억장치(mass storage)에 적합한 것으로 주목을 받기도 하였으나, 실제로 대용량 기억장치로는 크게 활용되지 못하고 CCD스캐너 또는 디지털카메라나 비디오카메라의 고체촬상소자(이미지 센서)로 응용되고 있다. In general, an image acquisition device refers to an apparatus for obtaining an image of an object using a solid state image pickup device. A solid state image pickup device is a semiconductor and integrated image pickup device, which is also called an image pickup plate corresponding to a solid state image pickup device or image pickup tube. . In particular, CCD (Charge Coupled Device), which is a kind of solid-state imaging device, was once attracted attention as being suitable for mass storage, but in reality, it is not widely used as a mass storage device, but it is not used as a CCD scanner or a digital camera or video camera. It is applied as a solid state imaging device (image sensor).
이러한 고체촬상소자를 이용한 영상획득장치의 일예를 도 1을 참고하여 설명한다. An example of an image acquisition device using the solid state image pickup device will be described with reference to FIG. 1.
일반적인 영상획득장치는 도 1에 도시한다. A general image acquisition device is shown in FIG.
도 1의 영상획득장치는 모아레측정법을 이용한 예로 3차원 표면형상을 측정하기 위해 널리 사용되어 왔다. The image acquisition device of FIG. 1 has been widely used to measure three-dimensional surface shape as an example using moiré measurement.
도 1을 참고하면,측정물(7)이 놓이는 기준면(S)에서 제1간격(L L )만큼 이격된 위치에는 광을 발생하는 광원(1)이 설치되어 있고, 상기 기준면(S)과 상기 광원(1)사이에는 투영격자무늬가 새겨진 투영투영격자(3)가 배설되어 있으며, 상기 기준면(S)에 놓이는 측정물(7)에서 반사된 광이 통과하도록 상기 광원(1)과 상기 투영투영격자(7)가 이루는 영사광학계의 광축(A1)에서 소정거리 이격된 위치에는 결상렌즈(9)가 설치되어 있고, 상기 결상렌즈(9)를 통과한 광이 수광되도록 상기 결상렌즈의 일측에는 수광부(11)가 설치되어 있다.Referring to FIG. 1, a
상기 투영투영격자(3)에는 투영투영격자 이송수단(5)이 결합되어, 투영투영격자(3)를 이송하게 되어 있다.The
상기 광원(1)과 투영투영격자(3)가 이루는 영사광학계의 광축(A1)과, 결상렌즈(9)와 수광부(11)가 이루는 결상광학계의 광축(A2)은 평행하게 되어 있고, 상기 기준면(S)에서 상기 광원(1)까지의 거리와 상기 기준면(S)에서 상기 결상렌즈(9)까지의 거리는 동일하게 되어 있으며, 영사광학계의 광축(A1)과 결상광학계의 광축(A2)은 기준면에 수직을 이루고 있다.The optical axis A1 of the projection optical system formed by the
상기 광원(1)은 소형이고 경량이며 가격이 저렴한 반도체 레이저라고 불리는 레이저 다이오드나 혹은 할로겐광원으로 되어 있는 것이 바람직하다.The
상기 수광부(11)는 2차원 이미지 센서로서, CCD(charge coupled device) 카메라인 것이 바람직하다.The
상기 투영렌즈(3)와 결상렌즈(9)는 공지의 렌즈로 되어 있다.The
이와 같이 구성된 구조에서, 상기 광원(1)에서 나온 광이 상기 투영투영격자(3)를 통과하여 상기 측정물(7)에서 반사된 다음, 상기 결상렌즈(9)를 통하여 상기 수광부(11)에 도달하여 상이 맺히고, 결국 모아레 무늬를 획득하게 된다. 이때, 3, 4, 5버킷 혹은 n버킷 등의 알고리즘을 구현하기 위해서 상기 투영투영격자 이송수단(5)을 이용하여 투영투영격자를 등간격으로 이송하게 된다.In this structure, the light emitted from the
하지만 이러한 종래의 CCD카메라를 이용하여 촬상된 영상을 획득하면, 측정물체에 조사되는 광량에 따라 화면의 외각이 어둡게 표현되는 경우가 있었다. 즉, 측정물체에 빛이 조사되지 않는 구간이 발생하게 되어 그림자 영역이 발생한다. 그래서 대구경의 렌즈를 사용하여 측정물체 전체에 광을 조사할 수 있으면 되지만 가격이 비싸기 때문에 쉽게 적용하기가 어려웠다. However, when the image captured by the conventional CCD camera is obtained, the outer surface of the screen may be darkly expressed depending on the amount of light irradiated to the measurement object. That is, a section in which light is not irradiated to the measurement object is generated, thereby generating a shadow area. Therefore, the large diameter lens can be used to irradiate light to the entire measurement object, but it is difficult to apply because of the high price.
따라서, 본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결할 수 있도록 작은 구경의 렌즈를 사용하면서도 대구경렌즈를 사용한 것처럼 화면의 전체적 영상의 밝기가 밝아지고 외곽의 어두움을 없앨 수 있도록 구면의 오목거울을 사용하여 광량을 최대한 입사시킬 수 있는 오목거울을 이용한 3차원 영상획득장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to use the light of the spherical concave mirror so that the brightness of the overall image of the screen is brightened and the darkness of the outside can be eliminated, as in the case of using a large-diameter lens while using a small aperture lens to solve the above problems. To provide a three-dimensional image acquisition device using a concave mirror that can be incident as much as possible.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 영상획득장치는 측정제품으로부터 반사되는 광으로부터 영상을 획득하기 위한 영상획득장치에 있어서, 광을 출사하는 광원과, 상기 광원으로부터 출사된 광을 집광하기 위한 집광렌즈와, 상기 집광렌즈를 통해 집광되어 입사되는 광을 투과시키는 투영격자와, 상기 격자로부터의 출사광을 평행광으로 출사하는 영사렌즈와, 상기 영사렌즈의 평행광을 반사시켜 전량의 광을 상기 측정물체 방향으로 출사하는 오목거울, 및 상기 측정제품으로부터 반사된 반사광을 획득하는 CCD카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다. An image acquisition device according to the present invention for achieving the above object is an image acquisition device for acquiring an image from light reflected from a measurement product, a light source for emitting light, and for collecting the light emitted from the light source A condenser lens, a projection lattice for transmitting light incident through the condenser lens, and a projection lattice reflecting the light emitted from the grating as parallel light; and a parallel light of the projection lens to reflect all the light. And a CCD camera for acquiring reflected light reflected from the measurement product and a concave mirror exiting in the direction of the measurement object.
또한, 광원에서 나온 광을 투영격자를 통과시켜 격자무늬를 만들고, 상기 격자무늬를 측정물체에서 입사시키며, 상기 격자무늬를 결상렌즈를 통해 CCD카메라에 도달시켜 격자무늬의 영상을 획득하고, 상기 획득한 격자무늬의 영상으로 모아레 무늬를 획득하며, 상기 투영격자를 이송하면서 이동된 격자무늬들의 영상을 획득하여 다수개의 모아레 무늬를 획득한 다음, 상기 다수개의 모아레 무늬를 공지의 알고리즘에 적용시켜 측정물의 형상을 측정하는 모아레 측정장치에 있어서, 광을 측정물체에 광원을 비추기 위해 출사하는 광원과, 상기 광원으로부터 출사된 광을 집광하기 위한 집광렌즈와, 상기 집광렌즈를 통해 집광되어 입사되는 광을 투과시키는 투영격자와, 상기 격자로부터의 출사광을 평행광으로 출사하는 영사렌즈와, 상기 영사렌즈의 평행광을 반사시켜 광을 상기 측정물체 방향으로 모아주도록 출사하는 오목거울, 및 상기 광원이 투영격자를 통과하여 생긴 격자무늬가 상기 광을 모 아주도록 출사하는 오목거울에 의해 측정물체에 맺혀지고, 상기 측정물체에 맺혀진 격자무늬는 상기 측정물체의 형상에 따라 변형되며, 상기 변형된 격자무늬의 영상을 획득하는 CCD카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the light from the light source passes through the projection grid to form a lattice pattern, the lattice pattern is incident on the measurement object, the lattice pattern reaches the CCD camera through the imaging lens to obtain an image of the lattice pattern, the acquisition Acquire a moire pattern as an image of a grid pattern, obtain images of the moved grid patterns while transferring the projection grid, obtain a plurality of moire patterns, and then apply the plurality of moire patterns to a known algorithm. A moiré measuring device for measuring a shape, the moiré measuring device comprising: a light source for emitting light onto a measurement object, a light condenser for condensing light emitted from the light source, and a light condensed through the light condenser and transmitted A projection grating, a projection lens for emitting the light emitted from the grating as parallel light, and a projection lens The concave mirror reflects the light incident and emits the light toward the measurement object, and the lattice pattern generated by the light source passing through the projection grid is formed on the measurement object by the concave mirror that emits the light. The grid pattern formed on the measurement object is deformed according to the shape of the measurement object, characterized in that it comprises a CCD camera for obtaining the image of the deformed grid pattern.
또한, 오목거울은 상기 광원에서 출사되는 광이 측정물체로 모아지면서 출사되도록 하여 상기 CCD카메라에 입사되는 광량이 감소되지 않도록 하는 것을 특징으로 한다. In addition, the concave mirror is characterized in that the light emitted from the light source is emitted to collect the measurement object so that the amount of light incident on the CCD camera is not reduced.
또한, 영상획득장치는 상기 오목거울과 상기 측정제품사이에 광경로변경수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the image acquisition device is characterized in that it further comprises an optical path changing means between the concave mirror and the measurement product.
또한, 광경로변경수단은 상기 빔스플리터인 것을 특징으로 한다. In addition, the light path changing means is characterized in that the beam splitter.
또한, 광경로변경수단은 상기 빔스플리터와 반사거울인 것을 특징으로 한다. In addition, the light path changing means is characterized in that the beam splitter and the reflection mirror.
따라서, 본 발명의 장치는 영상획득을 위한 광량을 최대한 확보하고 제품 표면의 윤곽에 따른 음영을 제거하는 효과가 있으며, 또한 소구경의 오목거울을 대체하여 별도의 대구경렌즈를 교체할 필요가 없어 추가 비용이 소요되지 않아 경제적으로 구현할 수 있는 효과를 제공한다.Therefore, the device of the present invention has the effect of securing the maximum amount of light for image acquisition and removing the shadow according to the contour of the product surface, and also does not need to replace a separate large-diameter lens by replacing the small-diameter concave mirror. It does not cost money and provides an economical effect.
이하, 첨부한 도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 기술하기로 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying Figures 2 to 5 will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 영상획득장치의 구성도이다. 2 is a block diagram of an image acquisition device according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참고하면, 광을 출사하는 광원(21)과 광원(21)으로부터 출사된 광을 집광하기 위한 집광렌즈(22)와 집광렌즈(22)를 통해 집광되어 출사되는 광을 투과시키는 투영격자(23)와 투영격자로부터의 출사광을 평행광으로 출사하는 영사렌즈(24)와 영사렌즈(24)의 평행광을 반사하는 오목거울(25)과 측정물체(26)으로부터 반사된 반사광을 획득하는 CCD카메라(27)를 포함한다. Referring to FIG. 2, a projection grid for transmitting light emitted by the
도 2에서, 광원(21)으로부터 출사된 출사광은 집광렌즈(22)를 통해 집광되어 투영격자(23)로 입사된다. 여기서 투영격자(23)는 투영격자이동수단(미도시)에 의해 화살표에 표시된 방향으로 상하 이동이 가능하다. 투영격자(23)로 입사된 광은 투영격자를 통과하여 영사렌즈(24)로 출사된다. 영사렌즈(24)는 투영격자(23)로부터 입사되는 광을 입사하여 평행광으로 오목거울(25)방향으로 출사한다. 오목거울(25)은 영상렌즈(24)로부터 입사되는 평행광을 입사하여 오목한 구면에 반사시켜 측정물체(26)방향으로 반사한다. CCD카메라(27)는 측정물체(26)으로부터 반사되는 광을 입사하여 영상을 획득하게 된다. 이때, 오목거울(25)은 오목한 구면을 통해 입사되는 광을 반사하므로 보다 많은 광량을 반사시킬 수 있으며, 측정물체에 반사되는 전량의 광을 포커싱할 수 있다. In FIG. 2, the emitted light emitted from the
이는 이하 도 3a 및 도 3b를 참고하여 설명한다. This will be described below with reference to FIGS. 3A and 3B.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 적용된 오목거울의 광경로를 보여주는 도면이다. 3a and 3b is a view showing the optical path of the concave mirror applied to the present invention.
도 3a는 측정물체가 비구면인 경우에 오목거울과의 광경로를 보여주는 도면 이다. 3A is a view showing an optical path with a concave mirror when the measurement object is an aspherical surface.
도 3a를 참고하면, 오목거울(25)과 측정물체(26)이 평면상에 배치되어 있는 예로 광경로를 실선으로 표시하였다. 오목거울(25)의 구면을 통해 반사된 반사광은 측정물체(26)의 전면에 광을 입사시키므로 도 2에 설명된 CCD카메라(도 2의 참조번호 27참조)의 CCD(미도시)에는 빛이 들어오지 않는 영역이 없음을 알 수 있다. 반면, 점선으로 표시된 평면거울일 경우는 점선으로 표시된 광경로를 따라 측정물체(26)으로 진행하는데 이때, A영역이 생기는 것을 알수 있다. 즉 A영역은 CCD카메라의 CCD(미도시)에 빛이 들어오지 않는 영역을 나타낸다. 따라서, 평면거울을 사용하는 경우에 측정물체(26)으로부터 반사되는 반사광 중에 CCD로 입사되지 않는 광이 있으므로 획득된 영상의 외곽의 어두움이 발생하게 된다. Referring to FIG. 3A, an example in which the
도 3b는 측정물체가 구면인 경우에 오목거울과의 광경로를 보여주는 도면이다. 3B is a view showing an optical path with a concave mirror when the measuring object is a spherical surface.
도 3b를 참고하면, 오목거울(25)과 측정물체(26)이 평면상에 배치되어 있는 예로 광경로를 실선으로 표시하였다. 오목거울(25)의 구면을 통해 반사된 반사광은 구면의 측정물체(26)의 전면에 광을 입사시키므로 도 2에 설명된 CCD카메라(도 2의 참조번호 27참조)의 CCD(미도시)에는 빛이 들어오지 않는 영역이 없음을 알 수 있다. 반면, 점선으로 표시된 평면거울일 경우는 점선으로 표시된 광경로를 따라 측정물체(26)으로 진행하는데 이때, B영역이 생기는 것을 알수 있다. 즉 B영역은 CCD카메라의 CCD(미도시)에 빛이 들어오지 않는 영역을 나타내며, 오목거울과 평면거울에 동일한 광량을 반사시키는 경우 평면거울의 경우 B영역이 발생하므로 평면 거울에 반사된 전량의 광이 입사되지 못하나, 오목거울의 경우 반사되는 전량의 광이 측정물체 방향으로 모아주도록 입사된다. 따라서, 평면거울을 사용하는 경우에 측정물체(26)으로 부터 반사되는 반사광의 전량이 CCD로 입사되지 못하므로 획득된 영상의 전체적인 이미지가 어두워진다. Referring to FIG. 3B, the optical path is indicated by a solid line as an example in which the
또한 도 3b의 경우 측정물체(26)이 원형이므로 기준면(S)을 기준으로 오목거울(25)의 반대쪽에는 그림자 영역이 발생할 수 있으며, 오목거울(25)로부터 반사된 반사광은 기준면(S)부근에서만 약간의 그림자영역이 발생하는데 그치나, 평면거울로부터 반사된 반사광은 기준면(S)을 기준으로 평면거울의 반대쪽에는 모두가 그림자영역이 된다. 따라서, 평면거울과 오목거울의 사용여부에 따라 측정물체로부터 입사되어 CCD에 입사되는 반사광의 광량의 차이가 있음을 알 수 있다. In addition, in the case of FIG. 3B, since the
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 영상획득장치의 구성도이다. 4 is a block diagram of an image acquisition device according to another embodiment of the present invention.
도 4는 영상획득장치의 광학계의 구성에서 전술한 도 3의 구성에 빔스플리터(28)를 추가로 구성한 예이다. 4 is an example in which the
도 4를 참고하면, 도 3의 동일 구성에 대해서는 동일 기능을 수행하므로 상세한 설명을 생략하기로 한다. 도 4에 빔스플리터(28)는 영사렌즈(24)로부터의 입사되는 평행광을 투과하여 오목거울(25)로 출사한다. 그리고, 빔스플리터(28)는 오목거울(25)로부터 반사된 반사광을 측정물체(26)방향으로 반사시킨다. 여기서 빔스플리터(28)는 오목거울(25)을 통해 입사되는 전량의 광을 그대로 측정물체(26)으로 반사시키는 것으로 광경로를 변경하기 위한 것이다. Referring to FIG. 4, since the same function of FIG. 3 performs the same function, a detailed description thereof will be omitted. In FIG. 4, the
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 영상획득장치의 구성도이다. 5 is a block diagram of an image acquisition device according to another embodiment of the present invention.
도 5는 영상획득장치의 광학계의 구성에서 전술한 도 4의 구성에 빔반사거울(29)을 추가로 구성한 예이다. FIG. 5 is an example in which the
도 5를 참고하면, 도 3 및 도 4의의 동일 구성에 대해서는 동일 기능을 수행하므로 상세한 설명을 생략하기로 한다.Referring to FIG. 5, since the same function of FIGS. 3 and 4 performs the same function, detailed description thereof will be omitted.
도 5의 빔스플리터(28)는 영사렌즈(24)로부터의 입사되는 평행광을 투과하여 오목거울(25)로 출사한다. 그리고, 빔스플리터(28)는 오목거울(25)로부터 반사된 반사광을 반사거울(29)방향으로 반사시킨다. 여기서 빔스플리터(28)는 오목거울(25)을 통해 입사되는 전량의 광을 그대로 반사거울(29)로 반사시킨다. 그러면, 반사거울(29)은 빔스플리터(28)로부터 입사되는 반사광을 측정물체(26)으로 반사시키는 것으로 광경로를 변경하기 위한 것이다. The
도 1은 종래의 영상획득장치의 일예를 보여주는 구성도, 1 is a block diagram showing an example of a conventional image acquisition device;
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 영상획득장치의 구성도,2 is a block diagram of an image acquisition device according to an embodiment of the present invention;
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 적용된 오목거울의 광경로를 보여주는 도면, 3a and 3b is a view showing the optical path of the concave mirror applied to the present invention,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 영상획득장치의 구성도, 4 is a block diagram of an image acquisition device according to another embodiment of the present invention;
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 영상획득장치의 구성도. 5 is a block diagram of an image acquisition device according to another embodiment of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
21 : 광원 22 : 집광렌즈21: light source 22: condenser lens
23 : 투영격자 24 : 영사렌즈23: projection grid 24: projection lens
25 : 오목거울 26 : 측정물체25: concave mirror 26: measuring object
27 : CCD카메라 28 : 빔스플리터27: CCD camera 28: beam splitter
29 : 반사거울29 reflection mirror
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080034185A KR100885998B1 (en) | 2008-04-14 | 2008-04-14 | Apparatus for obtaining image of 3-dimensional object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080034185A KR100885998B1 (en) | 2008-04-14 | 2008-04-14 | Apparatus for obtaining image of 3-dimensional object |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100885998B1 true KR100885998B1 (en) | 2009-03-03 |
Family
ID=40697547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020080034185A KR100885998B1 (en) | 2008-04-14 | 2008-04-14 | Apparatus for obtaining image of 3-dimensional object |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100885998B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140137121A (en) * | 2013-05-22 | 2014-12-02 | 광운대학교 산학협력단 | Achromatized 2D/3D camera device and method using concave mirror |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0643893B2 (en) * | 1986-06-11 | 1994-06-08 | キヤノン株式会社 | Distance measuring device |
KR20040071532A (en) * | 2003-02-06 | 2004-08-12 | 주식회사 고영테크놀러지 | Three-dimensional image measuring apparatus |
-
2008
- 2008-04-14 KR KR1020080034185A patent/KR100885998B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0643893B2 (en) * | 1986-06-11 | 1994-06-08 | キヤノン株式会社 | Distance measuring device |
KR20040071532A (en) * | 2003-02-06 | 2004-08-12 | 주식회사 고영테크놀러지 | Three-dimensional image measuring apparatus |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140137121A (en) * | 2013-05-22 | 2014-12-02 | 광운대학교 산학협력단 | Achromatized 2D/3D camera device and method using concave mirror |
KR101654686B1 (en) | 2013-05-22 | 2016-09-06 | 광운대학교 산학협력단 | Apparatus for acquiring image information using concave mirror |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106643547B (en) | Light intensity compensation on light providing improved measurement quality | |
CN101232853B (en) | Hair removing system | |
US20160151131A1 (en) | Camera for recording surface structures, such as for dental purposes | |
KR101639227B1 (en) | Three dimensional shape measurment apparatus | |
CN112384167B (en) | Device, method and system for generating dynamic projection patterns in a camera | |
CN112469361B (en) | Apparatus, method and system for generating dynamic projection patterns in confocal cameras | |
JP2007529731A (en) | Measuring apparatus and method based on the principle of confocal microscopy | |
JP2009300268A (en) | Three-dimensional information detection device | |
JP4031306B2 (en) | 3D information detection system | |
JP2013190394A (en) | Pattern illumination apparatus and distance measuring apparatus | |
US20210368154A1 (en) | Process and apparatus for the capture of plenoptic images between arbitrary planes | |
JP2021038929A (en) | Measuring equipment, elevator system and measuring method | |
JP4355338B2 (en) | Optical inclinometer | |
KR101523336B1 (en) | apparatus for examining pattern image of semiconductor wafer | |
JP4721685B2 (en) | Shape measuring method and shape measuring apparatus | |
KR101527764B1 (en) | 3 dimension image measuring apparatus using a laser interferometer | |
KR100885998B1 (en) | Apparatus for obtaining image of 3-dimensional object | |
JP2016148569A (en) | Image measuring method and image measuring device | |
JP3726028B2 (en) | 3D shape measuring device | |
KR100950590B1 (en) | Moire measurement method using concentrate light | |
JP2004110804A (en) | Three-dimensional image photographing equipment and method | |
JP2014238299A (en) | Measurement device, calculation device, and measurement method for inspected object, and method for manufacturing articles | |
KR100946378B1 (en) | Moire measurement apparatus using cylinder lens | |
JP2014238298A (en) | Measurement device, calculation device, and measurement method for inspected object, and method for manufacturing articles | |
KR101507950B1 (en) | apparatus for examining pattern image of semiconductor wafer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |