KR100883095B1 - 기판 고정 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치 - Google Patents

기판 고정 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100883095B1
KR100883095B1 KR1020020076644A KR20020076644A KR100883095B1 KR 100883095 B1 KR100883095 B1 KR 100883095B1 KR 1020020076644 A KR1020020076644 A KR 1020020076644A KR 20020076644 A KR20020076644 A KR 20020076644A KR 100883095 B1 KR100883095 B1 KR 100883095B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
coupling
protrusion
pieces
stage
Prior art date
Application number
KR1020020076644A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040048694A (ko
Inventor
이봉우
남효학
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020020076644A priority Critical patent/KR100883095B1/ko
Publication of KR20040048694A publication Critical patent/KR20040048694A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100883095B1 publication Critical patent/KR100883095B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133308—Support structures for LCD panels, e.g. frames or bezels
    • G02F1/133325—Assembling processes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133308—Support structures for LCD panels, e.g. frames or bezels
    • G02F1/133328—Segmented frames
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/46—Fixing elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

공정 불량을 감소시킨 기판 고정 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치가 개시되어 있다. 복수개의 스테이지 조각을 동일 평면상에서 마주보게 배치하고, 스테이지 조각들의 마주보는 결합면에 끼워 맞춤 되는 굴곡을 형성한다. 이때, 상호 결합되는 2 개의 결합면 중 하나에는 삼각형, 사각형, 사다리꼴 및 반원형 플레이트가 적어도 1 개 돌출 되어 돌출부를 형성하고, 결합면들 중 나머지 하나에는 돌출부와 결합되는 결합홈부가 형성된다. 이로써, 결합면들이 요철 결합됨에 따라 외부에서 인가된 진동 등에 의하여 스테이지 조각에 틈이 형성되도록 벌어지거나 스테이지 조각이 상호 어긋남에 따라 발생하는 기판의 공정 불량을 감소시키는 효과를 갖는다.
Figure R1020020076644
액정표시장치, 고정 스테이지

Description

기판 고정 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치{APPARATUS FOR FIXING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR PROCESSING THE SUBSTRATE USING THE SAME}
도 1은 본 발명에 의한 기판 고정 장치의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 돌출부 및 결합홈부를 도시한 개념도이다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 돌출부 및 결합홈부를 도시한 개념도이다.
도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 돌출부 및 결합홈부를 도시한 개념도이다.
도 5는 본 발명의 제 4 실시예에 의한 돌출부 및 결합홈부를 도시한 개념도이다.
도 6은 본 발명의 제 5 실시예에 의한 돌출부 및 결합홈부를 도시한 개념도이다.
도 7은 본 발명의 제 6 실시예에 의한 돌출부 및 결합홈부를 도시한 개념도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 의하여 기판 고정 장치가 베이스 기판에 고정된 것을 도시한 분해 사시도이다.
도 9는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 기판 가공 장치의 개념도이다.
도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 기판 가공 장치의 개념도이다.
본 발명은 기판 고정 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치에 관한 것이다.
널리 알려진 액정표시장치(Liquid Crystal Display device, LCD)는 액정(Liquid Crystal, LC)으로 정보를 표시하는 대표적인 평판 디스플레이 장치(plat panel display device)이다. 액정표시장치는 저소비전력 특성, 동일 스크린 사이즈를 갖는 다른 표시장치, 예를 들면, CRT 장치(Cathode Ray Tube type device) 등에 비하여 부피 및 무게가 매우 작은 장점을 갖는다.
이와 같이 다양한 장점을 갖는 액정표시장치를 제조하기 위해서는 매우 복잡하면서 정밀한 제조 공정을 필요로 한다.
구체적으로, 액정표시장치를 제조하기 위해서는 서로 다른 전원이 인가되는 무수히 많은 제 1 전극(first electrode)들을 포함하는 제 1 기판(first substrate), 제 1 기판의 제 1 전극에 대응하여 컬러필터(color filter)가 형성되고, 레퍼런스 전원(reference voltage)이 인가된 제 2 전극(second electrode)을 포함하는 제 2 기판(second substrate)을 제조하는 과정, 제 1 기판 및 제 2 기판에 각각 배향막(orientation film)을 형성하는 과정, 제 1 기판 및 제 2 기판에 형성된 배향막에 배향홈(orientation groove)을 형성하는 과정, 제 1 기판에 스페이 서(spacer)를 형성하는 과정, 조립된 제 1 기판 및 제 2 기판 사이에 액정을 주입하는 과정 및 제 1 기판 및 제 2 기판 사이에 주입된 액정의 셀 갭(cell gap)을 조절하는 핫 프레스(hot press) 과정 등을 필요로 한다.
이때, 배향막 형성 과정, 배향홈 형성 과정, 스페이서 형성 과정 및 핫 프레스 과정은 모두 1 매의 제 1 기판 또는 제 2 기판을 기판 고정 장치에 고정시킨 후 진행된다.
최근, 양산성을 고려하여 제 1 기판 또는 제 2 기판의 사이즈가 증가되고 있다. 이에 따라, 제 1 기판 또는 제 2 기판을 지지하는 기판 고정 장치의 사이즈 또한 증가되고 있는 실정이다.
그러나, 종래 기판 고정 장치는 사이즈가 커질수록 단판 형태로 제작하기 어려운 문제점을 갖는다. 이와 같은 문제점을 극복하기 위해서, 종래 기판 고정 장치는 복수개의 조각으로 분할된 조각들을 제작한 후, 이들을 다시 조립하여 제작된다. 이때, 복수개로 분할된 기판 고정 장치들의 경계면은 직선 형태를 갖으며, 서로 단순 밀착된 구조를 갖는다.
그러나, 복수개의 조각으로 분할한 후 조립되는 방식으로 제작된 기판 고정 장치는 잦은 이동 및 진동에 따라 조각의 경계면이 벌어지거나 경계면이 어긋나는 등의 문제점을 갖는다.
기판 고정 장치의 경계면이 벌어지거나 경계면이 어긋날 경우, 기판 고정 장치에 안착된 제 1 기판 또는 제 2 기판의 평탄도가 저하되어 배향막 형성 공정에서는 배향막의 두께가 불 균일한 불량, 배향홈 형성 공정에서는 부분적으로 배향홈이 형성되지 않는 불량, 스페이서 형성 공정, 특히, 기둥 형상의 스페이서의 경우 스페이서의 높이가 불 균일한 불량, 셀 갭 형성 공정에서는 샐 갭이 부분적으로 불 균일한 불량 등을 발생시킨다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 제 1 목적은 기판을 이송 또는 외부에서 가해진 진동에 의하여 경계면이 벌어지거나 어긋나 기판에 발생하는 공정 불량을 감소시킨 기판 고정 장치를 제공한다.
또한, 본 발명의 제 2 목적은 기판을 이송 또는 외부에서 가해진 진동에 의하여 경계면이 벌어지거나 어긋나 기판에 발생하는 공정 불량을 감소시킨 기판 가공 장치를 제공한다.
이와 같은 본 발명의 제 1 목적을 구현하기 위하여, 본 발명은 적어도 2 개의 조각으로 구성되며, 상호 마주보는 결합면들이 맞닿도록 조립되어 액정표시장치용 기판을 지지하는 스테이지 조각들을 포함하며, 스테이지 조각들의 결합면들은 상호 요철 결합하기 위해 굴곡진 기판 고정 장치를 제공한다.
또한, 본 발명의 제 2 목적을 구현하기 위하여, 본 발명은 적어도 2 개의 조각으로 구성되며, 상호 마주보는 결합면들이 맞닿도록 조립되어 액정표시장치용 기판을 지지하는 스테이지 조각들을 상호 요철 결합하기 위해 굴곡된 결합면들을 갖는 기판 고정 장치 및 액정표시장치용 기판을 가공하는 기판 가공 유닛을 포함하 기판 가공 장치를 제공한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명에 의한 기판 고정 장치의 평면도이다.
도 1을 참조하면, 기판 고정 장치(100)는 적어도 2 개의 스테이지 조각들로 구성된다. 도 1에는 일실시예로 4 개로 분할된 스테이지 조각(110,120,130,140)들이 도시되어 있다. 4 개로 분할된 스테이지 조각(110,120,130,140)들은 4 개의 측면, 바닥면 및 바닥면과 마주보는 기판 안착면을 갖는다.
도 1에는 제 1 스테이지 조각(110)들의 4 개의 측면(111,113,115,117), 바닥면(118) 및 기판 안착면(119)이 도시되어 있다. 또한, 도 1에는 제 2 스테이지 조각(120)들의 4 개의 측면(121,123,125,127), 바닥면(128) 및 기판 안착면(129)이 도시되어 있다. 또한, 도 1에는 제 3 스테이지 조각(130)들의 4 개의 측면(131,133,135,137), 바닥면(138) 및 기판 안착면(139)이 도시되어 있다. 또한, 도 1에는 제 4 스테이지 조각(140)들의 4 개의 측면(141,143,145,147), 바닥면(148) 및 기판 안착면(149)이 도시되어 있다.
제 1 스테이지 조각(110) 내지 제 4 스테이지 조각(140) 중 인접한 2 개의 측면, 예를 들면, 도면부호 115와 125, 도면부호 117과 137, 도면부호 127과 147, 도면부호 135와 145는 마주보는 제 1 내지 제 4 스테이지 조각(110,120,130,140)과 결합하기 위한 결합면이다.
이하, 본 발명에서는 제 1 스테이지 조각(110)의 결합면(115)과 제 2 스테이지 조각(120)의 결합면(125)을 일실시예로 설명하기로 한다.
이때, 제 1 스테이지 조각(110)의 결합면(115)과 제 2 스테이지 조각(120)의 결합면(125)은 상호 요철 결합하기 위하여 굴곡을 갖는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 제 1 스테이지 조각(110)에 형성된 결합면(115) 및 제 2 스테이지 조각(120)에 형성된 결합면(125)을 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 이하, 제 1 스테이지 조각(110)의 결합면(115)을 제 1 결합면이라 정의하기로 하며, 도면부호 115를 부여하기로 하며, 제 2 스테이지 조각(120)의 결합면(125)을 제 2 결합면이라 정의하기로 하며, 도면부호 125를 부여하기로 한다.
도 1을 참조하면, 1 결합면(115)에는 적어도 1 개의 돌출부(115a)가 형성되고, 제 1 결합면(115)과 마주보는 제 2 결합면(125)에는 돌출부(115a)와 결합되는 결합홈부(125a)가 형성된다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 돌출부 및 결합홈부를 도시한 개념도이다.
도 2를 참조하면, 구체적으로, 돌출부(115a)는 제 1 스테이지 조각(110)의 제 1 결합면(115)으로부터 삼각 플레이트 형태로 돌출 된다.
반면, 제 2 스테이지 조각(120)의 제 2 결합면(125)에 형성된 결합홈부(125a)는 제 2 결합면(125)으로부터 제 1 스테이지 조각(110)의 돌출부(115a)와 결합되도록 함몰된 삼각홈이다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 돌출부 및 결합홈부를 도시한 개념도이다. 도 3을 참조하면, 돌출부(115b)는 제 1 스테이지 조각(110)에 형성된 제 1 결합면(115)으로부터 사각 플레이트 형태로 돌출 된다.
반면, 결합홈부(125b)는 제 1 스테이지 조각(110)과 마주보는 제 2 스테이지 조각(120)에 형성된 제 2 결합면(125)으로부터 돌출부(115a)와 꼭맞게 형성된 사각홈이다.
도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 돌출부 및 결합홈부를 도시한 개념도이다. 도 4를 참조하면, 돌출부(115c)는 제 1 스테이지 조각(110)에 형성된 제 1 결합면(115)으로부터 사다리꼴 플레이트 형태로 돌출 된다.
반면, 결합홈부(125c)는 제 1 스테이지 조각(110)과 마주보는 제 2 스테이지 조각(120)에 형성된 제 2 결합면(125)으로부터 돌출부(115c)와 꼭맞게 형성된 사다리꼴 형태의 홈이다.
도 5는 본 발명의 제 4 실시예에 의한 돌출부 및 결합홈부를 도시한 개념도이다. 도 5를 참조하면, 돌출부(115d)는 제 1 스테이지 조각(110)에 형성된 제 1 결합면(115)으로부터 반원 플레이트 형태로 돌출 된다.
반면, 결합홈부(125d)는 제 1 스테이지 조각(110)과 마주보는 제 2 스테이지 조각(120)에 형성된 제 2 결합면(125)으로부터 돌출부(125d)와 꼭맞게 형성된 반원 홈이다.
도 6은 본 발명의 제 5 실시예에 의한 돌출부 및 결합홈부를 도시한 개념도이다. 도 6을 참조하면, 제 1 스테이지 조각(110)의 제 1 결합면(115)에는 돌출부(115a,115b,115c,115d)들이 형성된다. 돌출부(115a,115b,115c,115d)들은 도 2 내지 도 5에 도시된 삼각 플레이트, 사각 플레이트, 반원 플레이트 및 사다리꼴 플레이트 형태가 복합적으로 돌출 된다. 즉, 제 1 결합면(115)에 형성된 돌출부(115a,115b,115c,115d)는 서로 다른 형태로 제작이 가능하다.
반면, 결합홈부(125a,125b,125c,125d)는 제 2 스테이지 조각(120)에 형성된 제 2 결합면(125)으로부터 돌출부(115a,115b,115c,115d)와 꼭맞게 형성된 홈이다. 이때, 결합홈부(125a,125b,125c,125d)는 서로 다른 형태를 갖는 돌출부(115a,115b,115c,115d)에 끼워 맞춤 되는 형상으로 제작된다.
도 7은 본 발명의 제 6 실시예에 의한 돌출부 및 결합홈부를 도시한 개념도이다. 도 7을 참조하면, 돌출부(115e,115f)는 제 1 스테이지 조각(110)에 형성된 제 1 결합면(115)으로부터 삼각 플레이트, 사각 플레이트, 반원 플레이트 및 사다리꼴 플레이트 등의 형태로 제작될 수 있다. 이때, 중요한 것은 돌출부(115e,115f)의 크기가 서로 같거나 다르다는 것이다.
반면, 결합홈부(125e,125f)는 제 2 스테이지 조각(120)에 형성된 제 2 결합면(120)으로부터 돌출부(115e,115f)와 꼭맞게 형성된 홈이다. 이때, 결합홈부(125e,125f)는 서로 다른 형태를 갖는 돌출부(115e,115f)에 끼워 맞춤 되는 형상으로 제작된다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 의하여 기판 고정 장치가 베이스 기판에 고정된 것을 도시한 분해 사시도이다.
도 8을 참조하면, 제 1 스테이지 조각(110) 내지 제 4 스테이지 조각(140)으로 구성된 기판 고정 장치(100)는 다시 베이스 기판(150)에 고정된다. 베이스 기판(150)은 기판과 닮은꼴로 기판과 동일한 사이즈를 갖거나 기판보다 큰 사이즈 를 갖는다. 베이스 기판(150)과 기판 고정 장치(100)는 진공압에 의하여 고정되거나 나사 등과 같은 고정 부재에 의하여 고정된다.
도 9는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 기판 가공 장치의 개념도이다.
도 9를 참조하면, 기판 가공 장치(200)는 전체적으로 보아 기판 고정 장치(100) 및 기판 가공 유닛(210)으로 구성된다.
기판 고정 장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 제 1 내지 제 4 스테이지 조각(110,120,130,140)들로 구성된다. 도 1을 참조하면, 상호 마주보는 제 1 스테이지 조각(110)의 제 1 결합면(115)에는 적어도 1 개의 돌출부(115a)가 형성되고, 제 1 결합면(115)과 마주보는 제 2 스테이지 조각(120)의 제 2 결합면(125)에는 돌출부(115a)와 결합되는 결합홈부(125a)가 형성된다.
이때, 돌출부(115a)는 제 1 결합면(115)으로부터 삼각 플레이트, 사각 플레이트, 사다리꼴 플레이트 및 반원형 플레이트로 적어도 1 개가 돌출 되며, 결합홈부(125a)는 제 2 결합면(125a)에 돌출부(115a)와 결합하는 삼각홈, 사각홈, 사다리꼴 홈 및 반원형 홈 형상으로 형성된다.
기판 가공 유닛(210)은 도 9에 도시된 바와 같이 배향막 형성 유닛이다. 배향막 형성 유닛(210)은 배향막 공급 유닛(212) 및 배향막 도포 유닛(214)으로 구성된다.
배향막 공급 유닛(212)은 기판 고정 장치(100)의 상면에 고정된 기판(10)의 상면으로 폴리이미드 재질의 배향물질(212a)을 공급한다.
배향막 도포 유닛(214)은 배향막 공급 유닛(212)의 상면에 배향물질(212a)을 얇은 필름 형태로 도포한다. 이를 구현하기 위해서 배향막 도포 유닛(214)은 밑면의 일부가 슬릿(slit) 형상으로 개구되고, 상면에는 배향물질이 공급되는 배향물질 공급구를 갖는다.
도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 기판 가공 장치의 개념도이다.
도 10을 참조하면, 기판 가공 장치(200)는 전체적으로 보아 기판 고정 장치(100) 및 기판 가공 유닛(220)으로 구성된다.
기판 고정 장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 제 1 내지 제 4 스테이지 조각(110,120,130,140)들로 구성된다. 도 1을 참조하면, 상호 마주보는 제 1 스테이지 조각(110)의 제 1 결합면(115)에는 적어도 1 개의 돌출부(115a)가 형성되고, 제 1 결합면(115)과 마주보는 제 2 스테이지 조각(120)의 제 2 결합면(125)에는 돌출부(115a)와 결합되는 결합홈부(125a)가 형성된다.
이때, 돌출부(115a)는 제 1 결합면(115)으로부터 삼각 플레이트, 사각 플레이트, 사다리꼴 플레이트 및 반원형 플레이트로 적어도 1 개가 돌출 되며, 결합홈부(125a)는 제 2 결합면(125a)에 돌출부(115a)와 결합하는 삼각홈, 사각홈, 사다리꼴 홈 및 반원형 홈 형상으로 형성된다.
기판 가공 유닛(220)은 도 10에 도시된 바와 같이 러빙 유닛이다. 러빙 유닛(220)은 러빙 롤러(222), 러빙천(224) 및 러빙 롤러 구동 장치(228)로 구성된다.
날줄과 씨줄로 짜여진 러빙천(224)에는 파일(pile;226)이 심어진다. 파일(226)은 폴리이미드 재질 등으로 형성된 배향막(212a)의 표면과 마찰되면서 배 향막(212a)의 표면에 액정을 배향하기 위한 그루브(groove) 형태의 배향홈을 형성한다.
러빙천(224)은 러빙 롤러(222)의 표면에 부착된 후 러빙 롤러 구동 장치(228)에 의하여 고속 회전된다. 고속 회전하는 러빙 롤러(222)에 부착된 러빙천(224)의 파일(226)은 배향막(212a)과 접촉하면서 배향막(212a)의 표면에 배향홈을 형성한다.
이외에도 기판 가공 장치는 매우 다양한 유닛, 예를 들면, 액정의 셀 갭을 유지하기 위한 핫 프레스 유닛, 스페이서 형성 유닛 등이 있다.
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 기판이 안착되는 기판 고정 장치의 구조를 변경하여 외부의 진동 등에 의하여 기판 고정 장치가 벌어지거나 기판 고정 장치가 어긋남에 따라 발생하는 공정 불량을 극복하는 효과를 갖는다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (10)

  1. 적어도 2 개의 조각으로 구성되며, 상호 마주보는 결합면들이 맞닿도록 조립되어 액정표시장치용 기판 가공 시 상기 액정표시장치용 기판을 지지하는 스테이지 조각들을 포함하며,
    상기 스테이지 조각들의 상기 결합면들은 상호 요철 결합하기 위해 굴곡진 것을 특징으로 하는 기판 고정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상호 마주보는 상기 결합면들 중 어느 하나인 제 1 결합면으로부터는 적어도 1 개가 돌출된 돌출부가 형성되고, 상기 제 1 결합면과 마주보는 제 2 결합면에는 상기 돌출부와 맞춤 결합되는 결합홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 고정 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 돌출부는 삼각형, 사각형, 사다리꼴, 다각형 및 반원형으로 구성된 그룹으로부터 선택된 형상인 것을 특징으로 하는 기판 고정 장치.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 돌출부는 복수개로, 상기 돌출부들은 서로 다른 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 고정 장치.
  5. 제 2 항에 있어서, 상기 돌출부는 복수개로, 상기 돌출부들은 서로 다른 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 고정 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 스테이지 조각들은 베이스 몸체에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 고정 장치.
  7. 적어도 2 개의 조각으로 구성되며, 상호 마주보는 결합면들이 맞닿도록 조립되어 액정표시장치용 기판 가공 시 상기 액정표시장치용 기판을 지지하는 스테이지 조각들을 상호 요철 결합하기 위해 굴곡된 상기 결합면들을 갖는 기판 고정 장치; 및
    상기 액정표시장치용 기판을 가공하는 기판 가공 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 기판 고정 장치는 상호 마주보는 상기 결합면들 중 어느 하나인 제 1 결합면으로부터는 적어도 1 개가 돌출된 돌출부가 형성되고, 상기 제 1 결합면과 마주보는 제 2 결합면에는 상기 돌출부와 맞춤 결합되는 결합홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 기판 가공 유닛은 상기 액정표시장치용 기판에 배향막을 형성하기 위한 배향막 형성 장치인 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
  10. 제 7 항에 있어서, 상기 기판 가공 유닛은 상기 액정표시장치용 기판에 형성된 배향막에 배향홈을 형성하는 배향홈 형성 장치인 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
KR1020020076644A 2002-12-04 2002-12-04 기판 고정 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치 KR100883095B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020076644A KR100883095B1 (ko) 2002-12-04 2002-12-04 기판 고정 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020076644A KR100883095B1 (ko) 2002-12-04 2002-12-04 기판 고정 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040048694A KR20040048694A (ko) 2004-06-10
KR100883095B1 true KR100883095B1 (ko) 2009-02-11

Family

ID=37343425

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020076644A KR100883095B1 (ko) 2002-12-04 2002-12-04 기판 고정 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100883095B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980060582U (ko) * 1997-03-13 1998-11-05 최충열 중량물 받침대
KR100217441B1 (ko) * 1991-08-12 1999-10-01 진 비. 쿠로우스키 하부 중심선에 한지핀이 설치된 측면 가요성의 컨베이어 체인
KR20020076165A (ko) * 2001-03-26 2002-10-09 닛뽄덴끼 가부시끼가이샤 표시 패널의 지지 프레임 제조 방법, 표시 패널의 지지프레임, 및 표시 장치
KR20020083984A (ko) * 2002-10-02 2002-11-04 주식회사 해광 유격 방지용 델타패널

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100217441B1 (ko) * 1991-08-12 1999-10-01 진 비. 쿠로우스키 하부 중심선에 한지핀이 설치된 측면 가요성의 컨베이어 체인
KR19980060582U (ko) * 1997-03-13 1998-11-05 최충열 중량물 받침대
KR20020076165A (ko) * 2001-03-26 2002-10-09 닛뽄덴끼 가부시끼가이샤 표시 패널의 지지 프레임 제조 방법, 표시 패널의 지지프레임, 및 표시 장치
KR20020083984A (ko) * 2002-10-02 2002-11-04 주식회사 해광 유격 방지용 델타패널

Also Published As

Publication number Publication date
KR20040048694A (ko) 2004-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7288427B2 (ja) タイル張り状ディスプレイとその製造方法
US8189167B2 (en) Mask holder for irradiating UV-rays
US20100112739A1 (en) Liquid crystal display device and method for manufacturing the same
US9785019B2 (en) Pixel strucuture and curved display
US20070109466A1 (en) Liquid crystal display device and fabrication method thereof
JP2006293360A (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
US20060215105A1 (en) Liquid crystal display device with photo spacers
TWI537640B (zh) 液晶顯示面板
WO2016123827A1 (zh) 液晶显示面板及液晶显示装置
WO2016173149A1 (zh) 液晶显示面板及液晶显示器
US20080002136A1 (en) Liquid crystal display device and method for manufacturing the same
US20060290857A1 (en) Liquid crystal display device and method for fabricating the same
US6686982B1 (en) Reflection type liquid crystal display device in which oblique moiré fringe is not easily viewed and which is superior in display quality
JP2004185015A (ja) 液晶表示装置の製造方法
KR100883095B1 (ko) 기판 고정 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치
US7679706B2 (en) LCD and fabricating method with common electrode on top substrate having at least two apertures disposed to face about midway of pixel electrode on bottom substrate
JP2008260143A (ja) スクリーン印刷装置、スクリーン印刷方法、及び前記装置或いは前記方法を用いて製造された液晶パネル
US7701544B2 (en) Liquid crystal display device and method of fabricating the same
US20060285056A1 (en) Wide viewing angle liquid crystal display and the method for achieving wide viewing angle effect
KR101681923B1 (ko) 액정표시장치 및 그의 제조방법
US20040183991A1 (en) Liquid crystal display panel and method for manufacturing the same
KR101087510B1 (ko) 액정표시패널 및 그 제조방법
JPH09243982A (ja) 基板貼り合わせ装置および液晶セルの製造方法
CN111983853B (zh) 一种隔垫物、液晶显示面板及液晶显示装置
US20080117369A1 (en) Liquid crystal display panel with step-shaped spacers located at thin film transistor substrate thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120116

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee