KR100881630B1 - 패턴형성장치 및 패턴형성방법 - Google Patents

패턴형성장치 및 패턴형성방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 패턴형성장치 및 패턴형성방법에 관한 것으로, 패턴이 형성된 스탬프가 부착되는 제 1챔버; 상기 스탬프와 대향하여 배치되는 기판을 지지하는 제 2챔버; 상기 제 1챔버에 설치하되, 상기 스탬프의 중앙부에 압력을 가하여, 상기 스탬프의 중앙부부터 상기 기판과 접촉되도록 하는 가압제어부; 상기 스탬프의 중앙부와 접촉된 상기 기판이 상기 스탬프와 합착되도록 하는 승강 구동부; 및 상기 스탬프와 상기 기판이 합착된 후, 상기 스탬프의 외주부와 패턴이 형성된 기판의 외주부가 이격되도록 기체를 분사하는 이격제어부를 포함하고, 상기 가압제어부는, 상기 제 1챔버와 스탬프 사이에 배치되어 팽창 및 수축되는 가압부재를 포함한다. 본 발명은 합착된 기판과 스탬프의 이격시 패턴의 손상이나 스탬프의 손상을 방지하는 효과가 있다.
Figure R1020070088997
스탬프, 기판, 패턴, 챔버, 이격제어부

Description

패턴형성장치 및 패턴형성방법{Apparatus for forming pattern and method for forming pattern}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴형성장치를 나타낸 간략도이다.
도 2a 내지 도 2e는 도 1의 패턴형성장치에 의해 임프린트 공정이 이루어지는 동작을 나타낸 작동도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴형성방법을 나타낸 순서도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 패턴형성장치를 나타낸 간략도이다.
도 5a 내지 도 5e는 도 4의 패턴형성장치에 의해 임프린트 공정이 이루어지는 동작을 나타낸 작동도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 패턴형성방법을 나타낸 순서도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 패턴형성장치를 나타낸 간략도이다.
도 8a 내지 도 8e는 도 7의 패턴형성장치에 의해 임프린트 공정이 이루어지는 동작을 나타낸 작동도이다.
도9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 패턴형성방법을 나타낸 순서도이다.
**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**
100 : 패턴형성장치
110 : 제 1챔버
120 : 제 2챔버
130 : 가압제어부
140 : 승강 구동부
150 : 이격제어부
본 발명은 패턴형성장치 및 패턴형성방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스탬프와 기판을 합착시키고, 합착된 스탬프와 기판의 이격을 제어하는 패턴형성장치 및 패턴형성방법에 관한 것이다.
최근 들어 급속히 정보화 시대로 진입하면서 언제 어디서나 정보를 접할수 있도록, 정보를 문자 또는 영상으로 표시하여 눈으로 볼수 있게 해주는 디스플레이 기술이 더욱 중요시 되고 있다.
이러한 디스플레이 장치의 소비경향을 살펴보면, 기존의 CRT는 부피가 크고, 무거운 단점이 있어서 사용하가 편리한 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel)등의 평판 디스플레이의 수요가 급격히 늘어나고 있다.
평판 디스플레이의 제조 공정 중 투명한 유리기판 위에 컬러 필터, 화소, 박막 트랜지스터(thin film transistor)등을 형성하는 전극공정은 핵심공정으로 분류된다. 이러한 전극 공정은 사진현상(photo lithography) 기술에 의해 진행되어 왔 다.
그러나 최근에는 회로의 미세화가 진행되고, 고비용의 사진현상 기술을 대체하는 기술로 미세패턴 형성기술이 주목받고 있다. 이러한 미세패턴 형성기술은 미세패턴이 각인된 스탬프를 기판 위에 스핀코팅(spin-coating)된 고분자 소재의 감광막을 가압하여, 기판에 미세패턴을 임프린트 시키는 것이다.
일반적인 미세패턴 형성장치는 정전척과 같은 부착수단에 의해 스탬프를 부착하고, 스탬프를 기판에 접촉시킨 후, 스탬프를 가압하여, 미세패턴 형성공정을 수행한다.
그러나, 합착된 스탬프와 기판을 분리하기 위해 스탬프를 부착하여 상승시키거나, 기판을 부착하여 하강시키는 기구적인 방법을 사용하는 과정에서, 기판의 감광막과 스탬프에 각인된 미세패턴에서 발생하는 마찰력에 의해 기판과 스탬프의 분리가 원활하게 이루어지지 않는다.
이는 스탬프 및 기판의 변형 및 균열을 발생시키며, 원자재 소비 비용의 증가를 불러오는 문제점이 있다. 특히 이러한 문제점은 스탬프 및 기판의 대면적화에 따라 점차 심각해지고 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 스탬프가 기판에 대해 평행을 유지하여 기판에 접촉되며, 스탬프와 기판의 분리가 원활하도록 한 패턴형성장치 및 패턴형성방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 일 양태에 따른 패턴형성장치는 패턴이 형성된 스탬프가 부착되는 제 1챔버; 상기 스탬프와 대향하여 배치되는 기판을 지지하는 제 2챔버;상기 제 1챔버에 설치하되, 상기 스탬프의 중앙부에 압력을 가하여, 상기 스탬프의 중앙부부터 상기 기판과 접촉되도록 하는 가압제어부; 상기 스탬프의 중앙부와 접촉된 상기 기판이 상기 스탬프와 합착되도록 하는 승강 구동부; 및 상기 스탬프와 상기 기판이 합착된 후, 상기 스탬프의 외주부와 패턴이 형성된 기판의 외주부가 이격되도록 기체를 분사하는 이격제어부를 포함하고, 상기 가압제어부는, 상기 제 1챔버와 스탬프 사이에 배치되어 팽창 및 수축되는 가압부재를 포함한다.
본 발명의 다른 양태에 따른 패턴형성방법은 패턴이 형성된 스탬프를 준비하는 단계; 상기 스탬프에 대향하도록 기판을 준비하는 단계; 상기 스탬프의 중앙부에 배치된 가압부재를 팽창시킴으로써 상기 스탬프에 압력을 가하여, 상기 스탬프의 중앙부부터 상기 기판과 접촉시키는 단계; 상기 스탬프와 상기 기판을 합착시켜 상기 기판에 상기 패턴을 임프린트시키는 단계; 상기 스탬프의 외주부와 상기 패턴이 형성된 기판의 외주부가 이격되도록 기체를 분사하는 단계; 및 승강 구동부를 작동시켜 상기 스탬프와 상기 기판을 완전히 이격시키고 공정공간을 개방시키는 단계를 포함한다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 패턴형성장치를 나타낸 간략도이다.
도 1을 참조하면, 패턴형성장치(100)는 제 1챔버(110), 제 2챔버(120), 가압제어부(130), 승강 구동부(140) 및 이격제어부(150)를 포함한다.
제 1챔버(110)는 스탬프(111)의 외주부를 지지하여 스탬프(111)를 고정시키 기 위한 지지부(112)가 마련된다. 상기 지지부(112)에 의해 상기 제 1챔버(110)에 고정된 상기 스탬프(111)는 제 1챔버(110)와 결합하여 가압공간(113)을 형성하고, 상기 가압공간(113)은 상기 스탬프(111)를 가압시 상기 스탬프(111)의 이형이 자유롭도록 공간을 제공한다. 스탬프(111)는 가압에 의해 이형이 가능하며 PDMS(polydimenthylsiloxane)와 같은 실리콘 수지로 만들어질 수 있다.
제 2챔버(120)는 기판(121)을 가열하여 감광막(122)에 유동성을 주는 가열기(123)와 자외선 램프(124)를 포함한다. 상기 가열기(123)는 스탬프(111)가 기판(121)에 패턴을 임프린트(imprint) 할 수 있도록 기판(121)을 가열하여 감광막(122)의 유연성을 확보한다. 또한 상기 자외선 램프(124)는 스탬프(111)가 기판(121)을 가압하여 패턴이 형성될 수 있도록 감광막(122)에 자외선을 조사하여 감광막(122)을 경화시킨다.
가압제어부(130)는 제 1챔버(110)에 설치되며, 가압부재(131), 가압부재(131)의 부피를 조절하는 제 1압력조절펌프(132), 가압부재(131)와 제 1압력조절펌프(132)를 연결하는 제 1압력조절관(133), 제 1압력조절관(133)의 기체 유동량를 조절하는 압력조절장치(134)를 구비한다.
상기 가압부재(131)는 기판(121)과 스탬프(111)의 합착 및 합착된 기판(121)과 스탬프(111)의 이격시 부피가 팽창되어 스탬프(111)의 중앙부를 가압할 수 있도록 탄력성을 가진 재질로 이루어진다. 상기 제 1압력조절펌프(132)는 기판(121)과 스탬프(111)의 합착 및 이격시 스탬프(111)의 중앙부가 기판(121)과 합착되는 방향으로 향할 수 있도록 가압부재(131)에 기체를 제공한다.
상기 제 1압력조절관(133)은 제 1압력조절펌프(132)와 가압부재(131)를 연결하고, 상기 압력조절장치(134)는 제1 압력조절관(133)에 설치되어 흐르는 기체의 유동량을 조절한다. 상기 압력조절장치(134)는 자동압력조절장치(Auto pressure control)등으로 구성될 수 있다.
승강 구동부(140)는 제 2챔버(120)를 승강시켜 스탬프(111)와 기판(121)을 합착시키고, 상기 승강 구동부(140)는 공정종료 후에 기판(121)의 반출을 위해 제 2챔버(120)를 하강시켜 공정공간(114)을 개방한다.
상기 승강 구동부(140)는 제 1챔버(110)에 연결될 수도 있으며, 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120) 각각에 연결될 수도 있다.
이격제어부(150)는 기체를 제공하는 제 2압력조절펌프(151), 상기 제 2압력조절펌프(151)와 연결되어 상기 제 2챔버(120)내부로 상기 기체를 안내하는 제 2압력조절관(152), 상기 제 2압력조절관(152)을 통과하는 상기 기체의 흐름을 제어하는 압력조절밸브(153) 및 제 2 챔버(120)내부에 설치하되,상기 제 2압력조절관(152)을 통과한 기체를 상기 제 2챔버(120)내부에서 상기 스탬프(111)의 외주부로 분사시키는 기체분사구(154)를 포함한다.
상기 압력조절밸브(153)를 개방함으로써 상기 제 2압력조절관(152)을 통해 상기 기체를 투입하고, 상기 기체는 상기 기체분사구(154)를 통해 상기 스탬프(111)의 외주부에 상기 기체의 압력이 작용하도록 한다. 그리하여 상기 스탬프(111)의 외주부는 상기 기판(121)으로부터 먼저 이격된다. 이후 승강 구동기(140)가 제 2챔버(120)를 하강시켜 상기 공정공간(114)을 개방한다.
도 2a 내지 도 2e는 도 1의 패턴형성장치에 의해 임프린트 공정이 이루어지는 동작을 나타낸 작동도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 패턴형성방법을 나타낸 순서도이다.
우선 제 1챔버(110)의 지지부(112)에 패턴이 형성된 스탬프(111)를 지지시켜 상기 스탬프를 준비한다(S110). 상기 스탬프에 대향하도록 제 2챔버(120)에 기판(121)을 안착시킨다(S120).(도 2a 참조)
이후 가열기(123)에 의해 기판(121)이 가열되어 기판(121)의 감광막(122)에 유동성이 생긴다. 계속해서 제 2챔버(120)가 승강 구동부(140)에 의해 제 1챔버(110) 방향으로 승강하고 가압제어부(130)는 가압부재(131)의 부피를 팽창시킨다. 이때 상기 가압부재(131)는 부피 팽창으로 인해 제 1챔버(110)에 지지된 스탬프(111)는 중앙부가 기판(121)과 합착되는 방향으로 볼록하게 변형되고, 상기 스탬프(111)의 중앙부부터 상기 기판과 접촉시킨다(S130).(도 2b 참조)
이때 상기 스탬프(111)의 중앙부가 볼록하게 변형된 상기 스탬프(111)를 상기 기판(121)과 합착시키면서 상기 가압부재(131)의 부피를 수축시키면 상기 스탬프(111)의 중앙부는 상기 기판(121)과 먼저 합착이 이루어진다. 상기 스탬프(111)의 중앙부를 기판(121)과 먼저 합착시키면 기포가 바깥으로 밀려나 스탬프(111)와 기판(121)의 합착시 기포의 유입을 방지할 수 있다.
이후 승강 구동부(140)를 승강시켜 상기 스탬프(111)와 상기 기판(121)을 합착시키고 상기 기판(121)에 상기 패턴을 임프린트시킨다(S140).(도 2c 참조)
또한 상기 스탬프(111)와 상기 기판(121)의 합착이 이루어짐과 동시에 자외 선을 투과하여 감광막(122)을 응고시킨다. 즉, 상기 스탬프(111)가 상기 기판(121)을 가압하여 상기 스탬프(111)의 패턴형상이 상기 감광막(122)에 임프린트되는 과정과 자외선을 조사함으로써 상기 감광막(122)이 경화되는 과정이 동시에 진행된다.
계속해서 상기 감광막(122)의 경화가 모두 이루어지면, 이격제어부(150)의 압력조절밸브(153)를 개방시키고, 상기 제 2챔버(110)내부에 위치한 상기 기체분사구(154)를 통해 상기 기체를 분사시켜 상기 스탬프(111)의 외주부에 기체의 압력이 작용하도록 공정공간(114)에 기체를 주입한다. 이에 따라 상기 공정공간(114)의 압력은 높아져 상기 스탬프(111)에 의해 상기 기판(121)에 가해지던 압력이 낮아지면서 상기 기판(121)과 합착된 스탬프(111)의 이격이 이루어진다. 이때 상기 가압부재(131)의 부피를 팽창시켜 상기 스탬프(111)의 외주부부터 이격되도록 한다(S150).(도 2d 참조)
합착된 스탬프(111)와 기판(121)의 이격이 모두 이루어지면 승강 구동기(140)에 의해 제 2챔버(120)를 하강시켜 공정공간(114)을 개방시킨다(S160).(도 2e 참조)
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 패턴형성장치에 대해 상세히 설명하도록 한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 패턴형성장치를 나타낸 간략도이다.
도 4를 참조하면, 패턴형성장치(400)는 제 1챔버(110), 제 2챔버(120), 가압제어부(130), 승강 구동부(140) 및 이격제어부(150)를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예는 일 실시예와 구성이 동일하며 이격제어부(150)의 위치가 다른 차이점을 가지므로 본 발명의 일 실시예를 참조하도록 한다.
이격제어부(150)는 기체를 제공하는 제 2압력조절펌프(151), 상기 제 2압력조절펌프(151)와 연결되어 상기 제 1챔버(110)내부로 상기 기체를 안내하는 제 2압력조절관(152), 상기 제 2압력조절관(152)을 통과하는 상기 기체의 흐름을 제어하는 압력조절밸브(153) 및 제 1챔버(110)내부에 설치하되, 상기 제 2압력조절관(152)을 통과한 기체를 상기 제 1챔버(120)내부에서 상기 기판(121)의 외주부로 분사시키는 기체분사구(154)를 포함한다.
상기 압력조절밸브(153)를 개방함으로써 상기 제 2압력조절관(152)을 통해 상기 기체를 투입하고, 상기 기체는 상기 기체분사구(154)를 통해 상기 기판(121)의 외주부에 분사시켜 상기 기체의 압력이 반향하여 상기 스탬프(111)의 외주부에 작용하도록 한다. 그리하여 상기 스탬프(111)의 외주부는 상기 기판(121)으로부터 먼저 이격된다. 이후 승강 구동기(140)가 제 2챔버(120)를 하강시켜 상기 공정공간(114)을 개방한다.
도 5a 내지 도 5e는 도 4의 패턴형성장치에 의해 임프린트 공정이 이루어지는 동작을 나타낸 작동도이고, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 패턴형성방법을 나타낸 순서도이다.
우선 제 1챔버(110)의 지지부(112)에 패턴이 형성된 스탬프(111)를 지지시켜 상기 스탬프를 준비한다(S210). 상기 스탬프에 대향하도록 제 2챔버(120)에 기판(121)을 안착시킨다(S220).(도 5a 참조)
이후 가열기(123)에 의해 기판(121)이 가열되어 기판(121)의 감광막(122)에 유동성이 생긴다. 계속해서 제 2챔버(120)가 승강 구동부(140)에 의해 제 1챔버(110) 방향으로 승강하고 가압제어부(130)는 가압부재(131)의 부피를 팽창시킨다. 이때 상기 가압부재(131)는 부피 팽창으로 인해 제 1챔버(110)에 지지된 스탬프(111)는 중앙부가 기판(121)과 합착되는 방향으로 볼록하게 변형되고, 상기 스탬프(111)의 중앙부부터 상기 기판과 접촉시킨다(S230).(도 5b 참조)
이때 상기 스탬프(111)의 중앙부가 볼록하게 변형된 상기 스탬프(111)를 상기 기판(121)과 합착시키면서 상기 가압부재(131)의 부피를 수축시키면 상기 스탬프(111)의 중앙부는 상기 기판(121)과 먼저 합착이 이루어진다. 상기 스탬프(111)의 중앙부를 기판(121)과 먼저 합착시키면 기포가 바깥으로 밀려나 스탬프(111)와 기판(121)의 합착시 기포의 유입을 방지할 수 있다.
이후 승강 구동부(140)를 승강시켜 상기 스탬프(111)와 상기 기판(121)을 합착시키고 상기 기판(121)에 상기 패턴을 임프린트시킨다(S240).(도 5c 참조)
또한 상기 스탬프(111)와 상기 기판(121)의 합착이 이루어짐과 동시에 자외선을 투과하여 감광막(122)을 응고시킨다. 즉, 상기 스탬프(111)가 상기 기판(121)을 가압하여 상기 스탬프(111)의 패턴형상이 상기 감광막(122)에 임프린트되는 과정과 자외선을 조사함으로써 상기 감광막(122)이 경화되는 과정이 동시에 진행된다.
계속해서 상기 감광막(122)의 경화가 모두 이루어지면, 이격제어부(150)의 압력조절밸브(153)를 개방시키고, 상기 제 1챔버(110)내부에 위치한 상기 기체분사 구(154)를 통해 상기 기체를 분사시켜 상기 기판(121)의 외주부에 기체의 압력이 작용하도록 공정공간(114)에 기체를 주입한다. 이에 따라 상기 공정공간(114)의 압력은 높아져 상기 스탬프(111)에 의해 상기 기판(121)에 가해지던 압력이 낮아지면서 상기 기판(121)과 합착된 스탬프(111)의 이격이 이루어진다. 이때 상기 가압부재(131)의 부피를 팽창시켜 상기 스탬프(111)의 외주부부터 이격되도록 한다(S250).(도 5d 참조)
합착된 스탬프(111)와 기판(121)의 이격이 모두 이루어지면 승강 구동기(140)에 의해 제 2챔버(120)를 하강시켜 공정공간(114)을 개방시킨다(S260).(도 5e 참조)
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 패턴형성장치에 대해 상세히 설명하도록 한다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 패턴형성장치를 나타낸 간략도이다.
도 7을 참조하면, 패턴형성장치(700)는 제 1챔버(110), 제 2챔버(120), 가압제어부(130), 승강 구동부(140) 및 이격제어부(150)를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예는 일 실시예와 구성이 동일하며 이격제어부(150)의 위치가 다른 차이점을 가지므로 본 발명의 일 실시예를 참조하도록 한다.
이격제어부(150)는 기체를 제공하는 제 2압력조절펌프(151), 상기 제 2압력조절펌프(151)와 연결되어 상기 제 1챔버(120) 내부홈으로 상기 기체를 안내하는 제 2압력조절관(152), 상기 제 2압력조절관(152)을 통과하는 상기 기체의 흐름을 제어하는 압력조절밸브(153) 및 제 1챔버(110) 내부홈에 설치하되, 상기 제 2압력조절관(152)을 통과한 기체를 상기 제 1챔버(120) 내부홈에서 상기 스탬프(111)의 외주부로 분사시키는 기체분사구(154)를 포함한다.
상기 압력조절밸브(153)를 개방함으로써 상기 제 2압력조절관(152)을 통해 상기 기체를 투입하고, 상기 기체는 상기 기체분사구(154)를 통해 상기 스탬프(111)의 외주부에 상기 기체의 압력이 작용하도록 한다. 그리하여 상기 스탬프(111)의 외주부는 상기 기판(121)으로부터 먼저 이격된다. 이후 승강 구동기(140)가 제 2챔버(120)를 하강시켜 상기 공정공간(114)을 개방한다.
도 8a 내지 도 8e는 도 7의 패턴형성장치에 의해 임프린트 공정이 이루어지는 동작을 나타낸 작동도이고, 도9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 패턴형성방법을 나타낸 순서도이다.
우선 제 1챔버(110)의 지지부(112)에 패턴이 형성된 스탬프(111)를 지지시켜 상기 스탬프를 준비한다(S310). 상기 스탬프에 대향하도록 제 2챔버(120)에 기판(121)을 안착시킨다(S320).(도 8a 참조)
이후 가열기(123)에 의해 기판(121)이 가열되어 기판(121)의 감광막(122)에 유동성이 생긴다. 계속해서 제 2챔버(120)가 승강 구동부(140)에 의해 제 1챔버(110) 방향으로 승강하고 가압제어부(130)는 가압부재(131)의 부피를 팽창시킨다. 이때 상기 가압부재(131)는 부피 팽창으로 인해 제 1챔버(110)에 지지된 스탬프(111)는 중앙부가 기판(121)과 합착되는 방향으로 볼록하게 변형되고, 상기 스탬프(111)의 중앙부부터 상기 기판과 접촉시킨다(S330).(도 8b 참조)
이때 상기 스탬프(111)의 중앙부가 볼록하게 변형된 상기 스탬프(111)를 상기 기판(121)과 합착시키면서 상기 가압부재(131)의 부피를 수축시키면 상기 스탬프(111)의 중앙부는 상기 기판(121)과 먼저 합착이 이루어진다. 상기 스탬프(111)의 중앙부를 기판(121)과 먼저 합착시키면 기포가 바깥으로 밀려나 스탬프(111)와 기판(121)의 합착시 기포의 유입을 방지할 수 있다.
이후 승강 구동부(140)를 승강시켜 상기 스탬프(111)와 상기 기판(121)을 합착시키고 상기 기판(121)에 상기 패턴을 임프린트시킨다(S340).(도 8c 참조)
또한 상기 스탬프(111)와 상기 기판(121)의 합착이 이루어짐과 동시에 자외선을 투과하여 감광막(122)을 응고시킨다. 즉, 상기 스탬프(111)가 상기 기판(121)을 가압하여 상기 스탬프(111)의 패턴형상이 상기 감광막(122)에 임프린트되는 과정과 자외선을 조사함으로써 상기 감광막(122)이 경화되는 과정이 동시에 진행된다.
계속해서 상기 감광막(122)의 경화가 모두 이루어지면, 이격제어부(150)의 압력조절밸브(153)를 개방시키고, 상기 제 2챔버(120) 내부홈에 위치한 기체분사구(154)에서 상기 기체를 분사시켜 상기 스탬프(111)의 외주부에 기체의 압력이 작용하도록 공정공간(114)에 기체를 주입한다. 이에 따라 상기 공정공간(114)의 압력은 높아져 상기 스탬프(111)에 의해 상기 기판(121)에 가해지던 압력이 낮아지면서 상기 기판(121)과 합착된 스탬프(111)의 이격이 이루어진다. 이때 상기 가압부재(131)의 부피를 팽창시켜 상기 스탬프(111)의 외주부부터 이격되도록 한다(S350).(도 8d 참조)
합착된 스탬프(111)와 기판(121)의 이격이 모두 이루어지면 승강 구동기(140)에 의해 제 2챔버(120)를 하강시켜 공정공간(114)을 개방시킨다(S360).(도 8e 참조)
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에어 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 진술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명은 스탬프가 기판에 대해 평행을 유지하여 기판에 접촉하며, 합착된 스탬프와 기판의 분리가 원활히 이루어져 제품 생산시 불량율을 최소화시켜 원자재 소비 비용을 줄이며, 제품 생산 효율이 증대되는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 패턴이 형성된 스탬프가 부착되는 제 1챔버;
    상기 스탬프와 대향하여 배치되는 기판을 지지하는 제 2챔버;
    상기 제 1챔버에 설치하되, 상기 스탬프의 중앙부에 압력을 가하여, 상기 스탬프의 중앙부부터 상기 기판과 접촉되도록 하는 가압제어부;
    상기 스탬프의 중앙부와 접촉된 상기 기판이 상기 스탬프와 합착되도록 하는 승강 구동부; 및
    상기 스탬프와 상기 기판이 합착된 후, 상기 스탬프의 외주부와 패턴이 형성된 기판의 외주부가 이격되도록 기체를 분사하는 이격제어부를 포함하고,
    상기 가압제어부는, 상기 제 1챔버와 스탬프 사이에 배치되어 팽창 및 수축되는 가압부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 이격제어부는
    상기 기체를 제공하는 압력조절펌프;
    상기 압력조절펌프와 연결되어 상기 제 2챔버 내부로 상기 기체를 안내하는 압력 조절관;
    상기 압력조절관을 통과하는 상기 기체의 흐름을 제어하는 압력조절밸브; 및
    상기 제 2챔버 내부에 설치하되, 상기 압력조절관을 통과한 상기 기체를 상기 스탬프의 외주부에 분사시켜 상기 기체의 압력이 상기 스탬프의 외주부에 작용 하여 상기 스탬프의 외주부를 밀어올리도록 하는 기체분사구를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 이격제어부는
    상기 기체를 제공하는 압력조절펌프;
    상기 압력조절펌프와 연결되어 상기 제 1챔버 내부로 상기 기체를 안내하는 압력조절관;
    상기 압력조절관을 통과하는 상기 기체의 흐름을 제어하는 압력조절밸브; 및
    상기 제 1챔버 내부에 설치하되, 상기 압력조절관을 통과한 상기 기체를 상기 기판의 외주부에 분사시켜 상기 기체의 압력이 반향하여 상기 스탬프의 외주부에 작용하여 상기 스탬프의 외주부를 밀어올리도록 하는 기체분사구를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 이격제어부는
    상기 기체를 제공하는 압력조절펌프;
    상기 압력조절펌프와 연결되어 상기 제 1챔버의 내부홈으로 상기 기체를 안내하는 압력조절관;
    상기 압력조절관을 통과하는 상기 기체의 흐름을 제어하는 압력조절밸브; 및
    상기 제 1챔버 내부홈에 설치하되, 상기 압력조절관을 통과한 상기 기체를 상기 스탬프의 외주부에 분사시켜 상기 기체의 압력이 상기 스탬프의 외주부에 작용하여 상기 스탬프의 외주부를 밀어올리도록 하는 기체분사구를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성장치.
  5. 패턴이 형성된 스탬프를 준비하는 단계;
    상기 스탬프에 대향하도록 기판을 준비하는 단계;
    상기 스탬프의 중앙부에 배치된 가압부재를 팽창시킴으로써 상기 스탬프에 압력을 가하여, 상기 스탬프의 중앙부부터 상기 기판과 접촉시키는 단계;
    상기 스탬프와 상기 기판을 합착시켜 상기 기판에 상기 패턴을 임프린트시키는 단계;
    상기 스탬프의 외주부와 상기 패턴이 형성된 기판의 외주부가 이격되도록 기체를 분사하는 단계; 및
    승강 구동부를 작동시켜 상기 스탬프와 상기 기판을 완전히 이격시키고 공정공간을 개방시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
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