KR100871270B1 - 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법및 장치 - Google Patents
광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법및 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (16)
- 광학 간섭계를 이용하여 샘플 시료로부터 사용 광원의 가간섭 거리 이내에서 발생한 제1 간섭 무늬 이미지 신호를 얻는 단계;상기 광학 간섭계를 이용하여 상기 제1 간섭 무늬 이미지 신호를 소정 위상만큼 위상 천이시킨 제2 간섭무늬 이미지 신호를 얻는 단계;상기 제2 간섭무늬 이미지신호와 상기 제1 간섭 무늬 이미지 신호간의 차이인 제3 간섭 무늬 이미지 신호를 구하는 단계;소정의 연산 처리를 통하여 상기 제3 간섭 무늬 이미지 신호를 90도 위상천이시킨 제4 간섭 무늬 이미지 신호를 구하는 단계; 및상기 제3 간섭무늬 이미지신호와 상기 제4 간섭무늬이미지 신호로부터 간섭무늬 패턴을 제거하여 상기 샘플 시료의 이미지 정보를 생성하는 단계를 포함하는 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 샘플 시료의 이미지 정보는 상기 샘플 시료의 표면 또는 소정 단면의 2차원 이미지 정보인 것을 특징으로 하는 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법은상기 샘플 시료의 깊이 방향을 따라서 상기 샘플 시료의 깊이를 변화시켜가면서 상기 소정 단면의 2차원 이미지 정보를 복수개 생성한 후 상기 복수개의 2차원 이미지 정보를 소정 순서로 배열하여 3차원 이미지 정보를 생성하는 단계를 더 포함하는 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 소정의 연산 처리를 통하여 상기 제3 간섭 무늬 이미지 신호를 90도 위상천이시킨 제4 간섭 무늬 이미지 신호를 생성하는 단계는상기 제3 간섭 무늬 이미지 신호를 힐버트 변환하여 상기 제3 간섭 무늬 이미지 신호에 대하여 90도 위상천이된 제4 간섭 무늬 이미지 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제3 간섭 무늬 이미지 신호는 상기 샘플 시료의 소정 단면의 2차원 이미지 정보외의 신호와 노이즈를 제거한 간섭무늬 신호인 것을 특징으로 하는 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제3 간섭무늬 이미지신호와 상기 제4 간섭무늬이미지 신호로부터 간섭무늬 패턴을 제거하여 상기 샘플 시료의 이미지 정보를 생성하는 단계는상기 제3 간섭무늬 이미지신호와 상기 제4 간섭무늬이미지 신호의 제곱합을 구하는 과정을 통하여 간섭무늬 패턴을 제거하여 상기 샘플 시료의 이미지 정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 샘플 시료의 이미지 정보는 상기 샘플 시료의 소정 라인(line)의 1차원 이미지 정보인 것을 특징으로 하는 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법은상기 샘플 시료의 소정 단면의 제1 방향을 따라서 상기 청구항 1항의 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법을 적용하여 상기 샘플 시료의 제1 이미지 정보를 생성하는 단계;상기 샘플 시료의 소정 단면의 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에 대하여 상기 청구항 1항의 상기 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법을 적용하여 상기 샘플 시료의 제2 이미지 정보를 생성하는 단계; 및상기 제1 이미지 정보와 상기 제2 이미지 정보를 소정의 순서로 배열하여 2차원 이미지 정보를 생성하는 단계를 더 포함하는 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법은상기 샘플 시료의 소정 단면의 제1 방향을 따라서 상기 청구항 1항의 상기 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법을 적용하여 상기 샘플 시료의 제1 이미지 정보를 생성하는 단계;상기 샘플 시료의 소정 단면의 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에 대하여 상기 청구항 1항의 상기 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법을 적용하여 상기 샘플 시료의 제2 이미지 정보를 생성하는 단계;상기 제1 이미지 정보와 상기 제2 이미지 정보를 소정의 순서로 배열하여 2차원 이미지 정보를 생성하는 단계; 및상기 샘플 시료의 깊이 방향을 따라서 상기 샘플 시료의 깊이를 변화시켜가면서 상기 2차원 이미지 정보를 복수개 생성한 후 상기 복수개의 2차원 이미지를 소정 순서로 배열하여 3차원 이미지 정보를 생성하는 단계를 더 포함하는 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법은 전역(Full Field) OCT 시스템에 사용되는 것을 특징으로 하는 광학 간섭계를 이용한 샘플 시료의 이미지 정보 생성 방법.
- 샘플 시료로부터 광원의 가간섭 거리 이내에서 발생한 제1 간섭 무늬 이미지 광신호와 상기 제1 간섭 무늬 이미지 광신호를 소정 위상만큼 위상 천이시킨 제2 간섭무늬 이미지 광신호를 제공하는 광학 간섭계;상기 제1 및 제2 간섭 무늬 이미지 광신호를 전기적인 신호로 변환하여 제1 간섭 무늬 이미지 신호 및 제2 간섭 무늬 이미지 신호를 검출하는 검출부; 및상기 제2 간섭무늬 이미지 신호와 상기 제1 간섭 무늬 이미지 신호간의 차이인 제3 간섭 무늬 이미지 신호를 구하고, 소정의 연산 처리를 통하여 상기 제3 간섭 무늬 이미지 신호를 90도 위상천이시킨 제4 간섭 무늬 이미지 신호를 구하고, 상기 제3 간섭무늬 이미지신호와 상기 제4 간섭무늬이미지 신호로부터 간섭무늬 패턴을 제거하여 상기 샘플 시료의 이미지 정보를 생성하는 신호 처리부를 포함하는 샘플 시료의 이미지 정보 생성 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 신호 처리부는 상기 제3 간섭 무늬 이미지 신호를 힐버트 변환하여 상기 제3 간섭 무늬 이미지 신호에 대하여 90도 위상천이된 제4 간섭 무늬 이미지 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 샘플 시료의 이미지 정보 생성 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 신호 처리부는 상기 제3 간섭무늬 이미지신호와 상기 제4 간섭무늬이미지 신호의 제곱합을 구하는 과정을 통하여 간섭무늬 패턴을 제거하여 상기 샘플 시료의 이미지 정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 샘플 시료의 이미지 정보 생성 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 검출부는 2차원 배열을 가지는 센서 어레이를 포함하고, 샘플 시료의 이미지 정보는 상기 샘플 시료의 표면 또는 소정 단면의 2차원 이미지 정보인 것을 특징으로 하는 샘플 시료의 이미지 정보 생성 장치.
- 제14항에 있어서, 상기 신호 처리부는상기 샘플 시료의 깊이 방향을 따라서 상기 샘플 시료의 깊이를 변화시켜가면서 상기 2차원 이미지 정보를 복수개 생성한 후 상기 복수개의 2차원 이미지를 소정 순서로 배열하여 3차원 이미지 정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 샘플 시료의 이미지 정보 생성 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 검출부는 1차원 배열을 가지는 센서 어레이를 포함하고, 상기 샘플 시료의 이미지 정보는 상기 샘플 시료의 소정 라인(line)의 1차원 이미지 정보인 것을 특징으로 하는 샘플 시료의 이미지 정보 생성 장치.
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