KR100865871B1 - 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막패턴의 롤 인쇄장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치에 관한 것으로, 정전 잠상을 이용하여 다품종 소량 생산에서도 마스크 없이 쉽게 패턴을 형성할 수 있으며, 특히 플렉시블 표시장치에 사용되는 유연발광소자, 유기태양전지 또는 유기 트랜지스터의 박막 등을 정전 분무 방식과 레이저를 이용하여 균일하고 매우 미세한 박막 패턴을 인쇄할 수 있는 장치를 제공하고자 하는 것이다.
상기와 같은 본 발명의 목적은, 대전 실린더와; 마찰을 통해 생성된 전하를 상기 대전 실린더에 대전시켜 주는 전하 대전 수단과; 상기 대전 실린더의 일측선 상에서 레이저를 주사해 주는 레이저 주사 유닛과; 상기 레이저 주사 유닛에 의해 메탈 캐소드의 표면에 형성된 정공에 액적을 주사하여 정전 잠상을 형성시켜 주는 액적 분사 수단; 그리고, 상기 정전 잠상을 기판에 옵셋 인쇄하여 박막 패턴을 형성시켜 주도록 대전 실린더의 일측에 설치되는 기판 이송 수단을; 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치에 의해 달성될 수 있다.
정전 잠상, 미세 박막 패턴, 레이저 주사 유닛
Description
본 발명은 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치에 관한 것으로, 특히 다품종 소량 생산에서 쉽게 패턴을 쉽게 형성할 수 있는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치에 관한 것이다.
일반적으로 정전 인쇄(Electrophotography 또는 Xerography)는 압력을 가하지 않고 잉크(액적)의 전사(轉寫)를 정전인력(靜電引力)을 이용하여 인쇄하는 방식으로, 현재 여러 가지 방법으로 적용되어 다양한 형태로 상용화되어 있다.
여기서, 정전 인쇄 방법에 대하여 간단히 살펴보면, 증폭 소자를 이용하여 DC 전압(약 600 ~ 700 V)이나 코로나 와이어 등을 이용하여 광도전성(Photoconductive) 물질이 코팅된 대전 실린더(또는 드럼)를 대전시키고, 대전된 대전 실린더에 극성이 다른 분말이나 액적에 의해 형성된 대전 잠상을 이용하여 기판과 같은 인쇄 대상물에 인쇄를 하게 된다.
한편, 인쇄 대상물에 있어서도 기존과 달리 최근에 와서는 종이처럼 접거나 휘어지는 형태의 유연성 기판을 이용하여 형태나 모양에 구애를 받지 않는 제품을 생산하고자 하는 연구가 많이 진행되고 있다.
그 중에서도 종이나 두루마리 형태 등 다양하게 모양을 바꾸어 사용할 수 있는 플렉시블 표시 장치, 그리고 전도성 고분자를 이용하는 유기 고분자 트랜지스터(OTFT), 구조체에 직접 코팅하는 형태로도 사용가능한 유연성 유기태양전지 등 유기분자로 제조된 유연성 기판이 특히 각광을 받고 있다. 이러한 유연성 기판의 패턴 형성 방법에는 여러 가지가 있으나 그 중에서도 진공 증착, 스핀코팅, 잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅, 롤투롤(Roll to Roll) 프린팅 등이 주를 이루고 있다.
이들 각각의 패턴 형성 방법과 그 문제점에 대하여 간단히 살펴 보면 다음과 같다.
진공 증착 코팅 방법은 고온에서 얇은 박막(두께 20 ~ 50nm)을 증착시키는 방법으로, 박막 형태의 고분자 필름과 같은 유연 기판에 적용하기가 어렵고 대면적으로 증착하는데 한계가 있으며 공정이 복잡하고 장비가 매우 비싸다.
고분자 유기EL의 경우 대부분 스핀코팅 방법을 이용하여 박막을 형성하고 있는데, 재료의 효율성과 넓은 면적에 대해서 생산의 한계가 있다. 이에, 최근에는 잉크젯 방법, 스크린 프린팅 및 롤투롤 프린팅과 같이 유연 기판 상에 프린팅하는 방법이 각광을 받고 있다.
잉크젯 방법은 노즐을 이용하여 잉크 방울(액적)을 분사하여 패턴 마스크 없이 적층이 가능하다는 큰 장점을 가진다. 그러나 이 방법은 인쇄 속도가 느리다는 문제가 있다. 이를 해결하기 위한 방안으로, 고가의 잉크젯 헤드를 여러 개 구성해야 하며 또한 잉크 방울이 유연 기판과의 접촉시 그 표면이 균일하지 않기 때문에 발광시 빛의 투과율을 저하시켜 균일하게 발광되지 못하게 된다.
스크린 인쇄법은 극세사로 이루어진 스크린을 이용하여 패턴을 형성하는 인쇄법으로, 극세사의 메쉬 제작에 한계가 있기 때문에 미세 패턴과 박막의 두께를 제어하는데 어려움이 있다.
마지막으로, 롤투롤 인쇄방법은 음각 또는 양각 형태로 제판된 인쇄롤을 롤 형태로 감겨진 종이 또는 유연성 기판에 인쇄하는 방법으로, 연속 공정이 가능하기 때문에 대량 생산에 적합한 인쇄방법이다. 그러나, 롤투롤 인쇄 방법은 균일한 박막과 패턴을 형성하기 어렵다는 점과 패턴가공이 반드시 요구된다.
본 발명은 정전 잠상을 이용하여 다품종 소량 생산에서도 마스크 없이 쉽게 패턴을 형성할 수 있으며, 특히 플렉시블 표시장치에 사용되는 유연발광소자, 유기태양전지 또는 유기 트랜지스터의 박막 등을 정전 분무 방식과 레이저를 이용하여 균일하고 매우 미세한 박막 패턴을 인쇄할 수 있는 장치를 제공하고자 하는 것이다.
상기와 같은 본 발명의 목적은, 대전 실린더와; 마찰을 통해 생성된 전하를 상기 대전 실린더에 대전시켜 주는 전하 대전 수단과; 상기 대전 실린더의 일측선 상에서 레이저를 주사해 주는 레이저 주사 유닛과; 상기 레이저 주사 유닛에 의해 메탈 캐소드의 표면에 형성된 정공에 액적을 주사하여 정전 잠상을 형성시켜 주는 액적 분사 수단; 그리고, 상기 정전 잠상을 기판에 옵셋 인쇄하여 박막 패턴을 형성시켜 주도록 대전 실린더의 일측에 설치되는 기판 이송 수단을; 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치에 의해 달성될 수 있다.
특히, 상기 대전 실린더는 금속성 실린더(메탈 캐소드) 표면에 광도전성 물질이 코팅되어 레이저 빔에 반응하여 캐리어(정공)을 형성시켜 주는 것이 바람직하며, 박막 패턴을 형성한 후에 잔여 액적을 제거하기 위한 리커버리 블레이드를 더 구성하는 것이 바람직하다.
그리고, 전하 대전 수단은 구동 모터에 의해 구동되는 제 1풀리와, 상기 대전 실린더와 대전전극으로 연결되는 제 2풀리와, 상기 제 1과 제 2풀리를 연결시켜 주는 고무 벨트와, 상기 제 2풀리에 연결되어 대전 실린더에 전하를 대전시켜 주는 대전 전극을 포함할 수 있다.
특히, 제 1풀리는 금속성 소재로 이루어지고, 상기 2풀리는 플라스틱 소재로 구성하여, 음전하를 대전 실린더에 대전시켜 줄 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다. 그리고, 대전전극은 도전성 콤(Comb)에 의해 달성될 수 있다.
액적 분사 수단은 액적을 분사하는 노즐의 직경이 20~200㎛이고, 노즐에는 1~90kV 범위의 전압이 공급되는 것을 특징으로 한다.
특히, 액적은 전도성 고분자인 펜타신, P3HT, F8T2, PCBM, PVP, PHS, PMMA, PEDOT:PSS, PANi, CuPc, m-MIDATA, TPDPES:TBPAH와 고분자 유기발광 재료인 PPV 및 그 유도체, PV 및 그 유도체, PPP, PT 및 그 유도체, PF 및 그 유도체, PVK, TPDRES, PVOXD 중 적어도 하나를 포함한다.
아울러, 기판 이송 수단은 기판이 권취되는 제 1롤과, 패턴이 형성된 기판이 감기는 제 2롤과, 이들 롤 사이에서 기판을 이송시켜 주는 이송롤과, 대전 실린더와의 사이에서 기판을 가압해주는 하부 압력 롤을 더 포함하여 이루어진다.
또한, 기판은 투명전극의 ITO가 패턴된 Glass, PET, PES, PT, PI중 택일된 것을 사용하는 유연기판인 것이 바람직하다.
이상에서 본 바와 같이 본 발명은 정전 잠상을 이용하여 다품종 소량 생산에서도 쉽게 패턴을 형성할 수 있으며, 특히 플렉시블 표시장치에 사용되는 유연발광소자, 유기태양전지 또는 유기 트랜지스터의 박막 등을 정전 분무 방식으로 균일하고 매우 미세한 박막 패턴을 인쇄할 수 있다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 구성과 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.
첨부도면 도 1은 본 발명에 따른 롤 인쇄 장치의 구성을 나타내는 개략도이다.
본 발명은 음전하가 대전되는 대전 실린더(10)가 구비되어 있다. 대전 실린더(10)는 메탈 캐소드(11)의 표면에 광도전성 물질(12)이 코팅되어 있으며, 구동모터(미도시됨)에 의해 일정한 속도로 첨부도면에서와 같이 시계 방향으로 회전하도록 설치된다. 본 발명의 바람직한 구현예에서, 상기 대전 실린더(10)는 알루미늄 음극층 표면에 광도전성 물질을 코팅한 것을 사용하는 것이 바람직하다.
특히, 상기 대전 실린더(10)에는 후술하게 될 레이저 주사 유닛(30)에 의해 패턴을 생성하고 남은 잔여 액적(42)을 제거하기 위하여 리커버리 블레이드(13)를 더 구성하는 것이 더 바람직하다. 이 리커버리 블레이드(13)의 설치 위치는 상기 대전 실린더(10)의 회전 방향에서 볼 때, 후술하는 기판 이송 수단(50) 다음에 오도록 설치하는 것이 바람직하다.
상기 대전 실린더(10)는 전하 대전 수단(20)에 의해 전하가 대전된다. 상기 전하 대전 수단은 제 1과 제 2풀리(21, 22)와, 이들 풀리를 연결시켜 주는 고무 벨트(23)를 포함하여 이루어진다. 특히, 상기 제 2풀리(22)에는 대전성 콤(comb)에 의해 구현이 가능한 대전 전극(24)이 고무 벨트(23)와 접촉되도록 설치되며, 이 대전 전극(24)을 통해 상기 대전 실린더(20)를 대전시켜 주게 된다.
본 발명의 바람직한 구현예에서, 상기 제 1풀리(21)는 금속성 소재를 이용하여 제작하고, 상기 제 2풀리(22)는 플라스틱 소재를 이용하여 제작함으로써, 상기 제 1풀리(21)와 고무 벨트(23)와의 마찰(접촉)에 의해 음전하가 형성되고, 이 음전하가 상기 대전 전극(24)을 통해 대전 실린더(10)에 대전될 수 있게 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 대전 실린더(10)의 상부에는 메탈 캐소드(11)의 표면에 정전 잠상(패턴)을 형성하기 위해, 첨부도면에서와 같이 레이저 주사 유닛(30)과 상대적으로 양전하를 띄게 되는 액적 분사 수단(40)이 구비되어 있다.
레이저 주사 유닛(30)은 반사 거울(31)을 포함하여 이루어지며, 패턴 형상에 대한 데이터를 입력받아 그 패턴 형상에 맞춰 레이저 빔을 대전 실린더(10) 상에 주사하게 된다.
액적 분사 수단(40)은 일종의 주사기(시린지)로, 내부에는 전도성 고분자를 포함하여 액적(41)이 충진되어 있다. 특히, 액적(41)에 함유되는 전도성 고분자로는 펜타신, P3HT, F8T2, PCBM, PVP, PHS, PMMA, PEDOT:PSS, PANi, CuPc, m-MIDATA, TPDPES:TBPAH와 고분자 유기발광 재료인 PPV 및 그 유도체, PV 및 그 유도체, PPP, PT 및 그 유도체, PF 및 그 유도체, PVK, TPDRES, PVOXD 중 적어도 하나를 포함한다. 또한, 본 발명의 바람직한 구현예에서는 상기 액적 분사 수단(40)으로서, 출원 번호 제2007-40563호(명칭:정전 분무 방식에 의한 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치)의 액적 공급수단을 이용하는 것도 가능하다.
또한, 상기 액적 분사 수단(40)은 노즐을 통해 액적(41)을 분사하게 되는데, 이를 위한 노즐의 직경이 20~200㎛이고, 노즐에는 1~90kV 범위의 전압을 공급하여 액적(41)이 음전하를 띄게 하는 것이 바람직하다.
마지막으로, 본 발명은 기판 이송 수단(50)을 포함하여 이루어진다. 기판 이송 수단(50)은 기판(51)이 권취되는 제 1롤(52)과, 패턴이 형성된 기판(51)이 감기는 제 2롤(53)을 포함한다. 여기서, 상기 기판(51)은 패턴 형성을 위해서 정전 잠상된 대전 실린더(10) 하부에서 이송되는데, 이때 상기 기판(51)에 액적(41)이 잘 인쇄되도록 소정의 압력을 가해 주는 하부 압력 롤(55)과, 인쇄된 기판(51)이 제대로 권취되도록 이송시켜 주는 이송롤(54)과, 그리고 기판(51) 상에 인쇄된 패턴을 건조시켜 주기 위한 건조수단(56)을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 바람직한 구현예에서, 상기 기판(51)은 투명전극의 ITO가 패턴된 Glass, PET, PES, PT, PI중 택일된 것을 사용하는 유연기판을 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명의 바람직한 구현예에서, 상기 건조수단(56)은 패턴 형성을 위해 기판상에 인쇄된 액적에 함유된 용매를 제거하기 위한 것으로, 상기 기판(51)에 열을 가해 줄 수 있도록 하는 가열롤 또는 가열램프를 사용하며, 상기 이송롤(54)과 하부 압력 롤(55) 사이에 설치하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 건조수단(56)은 외부의 먼지나 수분 또는 산소와 같이 외부 환경에 따라 인쇄에 영향을 줄 수 있는 경우 이를 방지하기 위하여 아르곤이나 질소와 같은 불활성 가스가 충진된 글로브 박스 내에서 건조 작업이 이루어지게 하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명에 따른 작용 효과를 설명하면 다음과 같다.
미세 박막 패턴을 생성하기 위해서는 우선, 대전 실린더(10)에 음전하를 대전시키게 된다. 이를 위하여, 미도시된 구동 모터를 구동하여 제 1풀리(21)를 회전시키게 되면 금속성인 제 1풀리(21)가 양전하로 대전이 되며, 여기에 접촉되어 회전하는 고무 벨트(23)는 음전하로 대전된다.
고무 벨트(23)의 회전으로 음전하는 제 2풀리(22) 쪽으로 이동이 되면서, 이 고무 벨트(23)와 접촉된 대전 전극(24)을 통해 대전 실린더(10)의 메탈 캐소드(11) 표면이 음전하로 대전이 된다.
이 상태에서, 형성하고자 하는 패턴의 형태에 맞게 레이저 주사 유닛(30)으로부터 레이저 빔이 주사되고, 레이저 빔은 반사 거울(31)에 반사되어 대전 실린더(10)의 표면에 닿게 된다. 이에 따라, 대전 실린더(10)의 표면, 바람직하기로는 메탈 캐소드(11)에 코팅된 광전도성 물질(12)은 레이저 빔의 파장에 반응하여 캐리 어(전자/정공)을 발생시키게 된다.
캐리어 중에서 정공은 대전 실린더(10)의 표면에 대전된 음전하와 결합을 하게 되고 나머지 전자는 알루미늄으로 이루어진 메탈 캐소드(11)의 표면, 즉 대전 실린더(10) 내로 흡수되는 형태가 된다. 이로 인하여, 레이저 빔에 의해 주사된 패턴은 빔이 주사되지 않은 음극에 비해 상대적으로 양전하를 띠게 된다.
한편, 레이저 주사 유닛(30)의 주사와 함께 액적 분사 수단(40)으로부터는 액적(41)이 공급이 되며, 이 액적(41)이 상술한 바와 같이 상대적으로 양전하를 띠는 부분에 달라 붙으면서 원하는 패턴(정전 잠상)을 형성하게 된다.
이렇게 형성된 패턴은 대전 실린더(10)가 회전하면서 그 하부에서 기판 이송 수단(50)에 의해 이송되는 기판(51)에 닿게 되고, 이와 동시에 하부 압력 롤(55)에 의해 기판(51) 상에 원하는 패턴이 인쇄된다.
제 1롤(52)에 권취되었던 기판(51)은 이송롤(54)에 의해 제 2롤(52)에 감기는 동안, 첨부도면 도 2에서와 같이, 상기 대전 실린더(10)와 하부 압력롤(55)에 의해 소정의 압력을 받게 되는데, 이때 액적(41)이 기판(51)에 인쇄되면서 미세 박막 패턴이 형성된다.
마지막으로, 건조수단(56)이 기판(51)에 형성된 미세 박막 패턴을 형성하기 위해 인쇄된 액적(41)에 함유된 용매를 제거하게 된다. 이때, 상기 건조수단(56)은 첨부도면에서는 미도시되었으나 불활성 가스(예를 들어, 질소나 아르곤)가 충진된 글로브 박스 안에서 기판(51)을 건조시켜 주는 것이 바람직하다.
또한, 대전 실린더(10)가 계속 회전함에 따라, 기판(51)에 인쇄되지 않고 대 전 실린더(10) 표면에 붙어 있던 잔여 액적(42)은 리커버리 블레이드(13)에 의해 제거가 되고, 대전 실린더(10)는 상술한 바와 같이 새로 대전되면서 미세 박막 패턴을 다시 형성하게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 롤 인쇄 장치의 구성을 나타내는 개략도.
도 2는 본 발명에 따른 박막 패턴을 설명하기 위한 요부 확대도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 대전 실린더 11 : 메탈 캐소드
12 : 광도전성 물질 13 : 리커버리 블레이드
20 : 전하 대전 수단 21 : 제 1풀리
22 : 제 2풀리 23 : 고무 벨트
24 : 대전 전극 30 : 레이저 주사 유닛
31 : 반사 거울 40 : 액적 분사 수단
41, 42 : 액적 50 : 기판 이송 수단
51 : 기판 52 : 제 1롤
53 : 제 2롤 54 : 이송롤
55 : 하부 압력롤 56 : 건조수단
Claims (14)
- 대전 실린더와;마찰을 통해 생성된 전하를 상기 대전 실린더에 대전시켜 주는 전하 대전 수단과;상기 대전 실린더의 일측선 상에서 레이저를 주사해 주는 레이저 주사 유닛과;상기 레이저 주사 유닛에 의해 대전 실린더 표면에 형성된 정공에 액적을 주사하여 정전 잠상을 형성시켜 주는 액적 분사 수단; 그리고,상기 정전 잠상을 기판에 옵셋 인쇄하여 박막 패턴을 형성시켜 주도록 대전 실린더의 일측에 설치되는 기판 이송 수단을; 포함하여 이루어지고,상기 기판 이송 수단은 기판이 권취되는 제 1롤과, 패턴이 형성된 기판이 감기는 제 2롤과, 이들 롤 사이에서 기판을 이송시켜 주는 이송롤과, 대전 실린더와의 사이에서 기판을 가압해주는 하부 압력 롤과, 기판상에 인쇄된 액적 내에 함유된 용매를 제거하기 위한 건조수단을 포함하여 이루어지며,상기 전하 대전 수단은 구동 모터에 의해 구동되는 제 1풀리와, 상기 대전 실린더와 대전전극으로 연결되는 제 2풀리와, 이들 풀리들을 연결시켜 주는 고무 벨트와, 상기 제 2풀리에 연결되어 대전 실린더에 전하를 대전시켜 주는 대전 전극을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 대전 실린더는 메탈 캐소드의 표면에 광도전성 물질이 코팅되어 레이저 빔에 반응하여 캐리어를 형성하는 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 대전 실린더의 금속은 음극으로서 접지된 알루미늄 음극층인 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미 세박막 패턴의 롤 인쇄장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 대전 실린더는 박막 패턴을 형성한 후에 잔여 액적을 제거하기 위한 리커버리 블레이드가 더 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 상기 전하 대전 수단은 음전하를 대전 실린더에 대전시키는 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1풀리는 금속성 소재로 이루어지고, 상기 2풀리는 플라스틱 소재로 이루어진 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 대전전극은 도전성 콤(Comb)인 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 액적 분사 수단은 액적을 분사하는 노즐의 직경이 20~200㎛이고, 노즐에는 1~90kV 범위의 전압이 공급되는 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 액적은 전도성 고분자인 펜타신, P3HT, F8T2, PCBM, PVP, PHS, PMMA, PEDOT:PSS, PANi, CuPc, m-MIDATA, TPDPES:TBPAH와 고분자 유기발광 재료인 PPV 및 그 유도체, PV 및 그 유도체, PPP, PT 및 그 유도체, PF 및 그 유도체, PVK, TPDRES, PVOXD 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 투명전극의 ITO가 패턴된 Glass, PET, PES, PT, PI중 택일된 것을 사용하는 유연기판인 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 건조수단은 가열롤 또는 가열램프인 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치.
- 제 13 항에 있어서, 상기 건조수단은 아르곤 또는 질소 등의 불활성 가스가 충진된 글로브 박스를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막 패턴의 롤 인쇄장치.
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| KR1020070075405A KR100865871B1 (ko) | 2007-07-27 | 2007-07-27 | 정전 분무 방식과 레이저를 이용한 유연 전자소자 미세박막패턴의 롤 인쇄장치 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013168973A1 (ko) * | 2012-05-07 | 2013-11-14 | 주식회사 엘지화학 | 잉크젯 프린팅법에 의해 형성된 투명 전도성 고분자 전극, 이를 포함하는 표시장치 및 그 제조방법 |
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2007
- 2007-07-27 KR KR1020070075405A patent/KR100865871B1/ko not_active IP Right Cessation
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