KR100863503B1 - Composition for dry-film photoresist - Google Patents

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Abstract

본 발명은 인쇄회로기판(Printed circuited board) 제작시 이미지 형성재료로 사용되는 드라이필름 레지스트 조성에 관한 것으로서, 이는 바인더 폴리머, 광중합 단량체, 광중합 개시제를 포함하는 조성에 첨가제로서 폴리알킬렌글리콜을 첨가한 것으로, 폴리알킬렌글리콜 첨가로 인해 드라이필름 조액시 교반공정에서 발생된 기포를 효과적으로 제거하여 기포로 인해 발생할 수 있는 핀홀(pin hole)이나 덴트(dent) 발생을 억제하며 코팅의 균일성을 구현함으로써 드라이필름 레지스트의 품질균일화 및 안정화에 효과적임과 동시에 인쇄회로기판 제조공정중인 현상 및 박리공정에서의 현상액 및 박리액의 거품발생량을 감소시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dry film resist composition used as an image forming material in the manufacture of a printed circuited board, wherein a polyalkylene glycol is added as an additive to a composition including a binder polymer, a photopolymerization monomer, and a photopolymerization initiator. Due to the addition of polyalkylene glycol, by effectively removing the bubbles generated during the stirring process during the dry film liquid preparation by suppressing the generation of pin holes or dents that can occur due to bubbles by implementing the uniformity of the coating It is effective in uniformity and stabilization of dry film resist, and at the same time, it is possible to reduce the amount of foaming of the developer and the stripping solution in the development and stripping process of the PCB manufacturing process.

Description

드라이필름 레지스트 조성물{Composition for dry-film photoresist}Composition for dry-film photoresist

본 발명은 인쇄회로기판(Printed circuited board) 제작시 이미지 형성재료로 사용되는 드라이필름 레지스트 조성에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 바인더 폴리머, 광중합 단량체, 광중합 개시제를 포함하는 조성에 첨가제로서 폴리알킬렌글리콜을 첨가하여 드라이필름 조액시 교반공정에서 발생된 기포를 효과적으로 제거하여 기포로 인해 발생할 수 있는 핀홀(pin hole)이나 덴트(dent) 발생을 억제하며 코팅의 균일성을 구현함으로써 드라이필름 레지스트의 품질균일화 및 안정화에 효과적임과 동시에 인쇄회로기판 제조공정중인 현상 및 박리공정에서의 현상액 및 박리액의 거품발생량을 감소시킬 수 있는 드라이필름 레지스트 조성물에 관한 것이다. The present invention relates to a dry film resist composition used as an image forming material when manufacturing a printed circuited board, and more particularly, to polyalkylene glycol as an additive in a composition including a binder polymer, a photopolymerization monomer, and a photopolymerization initiator. By adding to remove the air bubbles generated in the stirring process during the dry film liquid preparation to suppress pin holes or dents that can occur due to the air bubbles and to realize uniformity of the coating film quality uniformity of the dry film resist And it relates to a dry film resist composition which is effective in stabilization and at the same time can reduce the amount of foaming of the developer and the peeling solution in the development and peeling process in the process of manufacturing a printed circuit board.

드라이 필름의 제조공정은 크게 조액, 혼합, 코팅, 건조, 권취, 슬릿팅(slitting)의 과정으로 진행된다. 이를 구체적으로 설명하면, 조액 및 혼합공정은 드라이 필름 조성에 필요한 약제를 조액한 후 일정시간 교반하여 균일한 코팅액을 만드는 과정이고, 코팅은 코터에 의하여 일정한 두께의 레지스트 막을 폴리 에스테르 필름에 도포하는 과정이며, 건조공정은 조액중 함유된 용매를 휘발시키는 공정이고, 권취공정은 건조된 코팅막을 폴리에틸렌 또는 폴리에스테르 보호필름을 라미네이션시켜 밀롤(Mill Roll) 형태로 감아주는 과정이며, 슬릿팅 공정은 밀롤 형태의 드라이필름을 소비자가 원하는 폭과 길이로 절단하여 최종 제품을 만드는 과정이다. The manufacturing process of the dry film is largely carried out in the process of crude liquid, mixing, coating, drying, winding, slitting. Specifically, the crude liquid and mixing process is a process of preparing a uniform coating liquid by preparing a drug for the dry film composition after stirring for a predetermined time, the coating is a process of applying a resist film of a constant thickness to the polyester film by a coater The drying process is a process of volatilizing the solvent contained in the crude liquid, and the winding process is a process of winding the dried coating film in the form of mill roll by laminating polyethylene or polyester protective film, and the slitting process is in the form of mill roll. Is to make the final product by cutting the dry film to the width and length that the consumer wants.

상기 공정중 조액 및 혼합공정에서는 교반장치 작동시 발생하는 기포발생을 억제하기 위하여 교반시간 및 교반속도를 조절하며 교반한 후 일정시간 방치시켜 조액상에 남아있는 기포를 제거하고 있다. 그러나 잔존 기포의 제거가 완전하게 이루어지지 않음으로 인하여 드라이필름 코팅면에 핀홀이나 덴트가 발생하는데 이러한 불량이 발생되더라도 검수가 힘들며 발견하기 어려우나, 인쇄회로기판 제조공정에서 사용할 때 불량 발생의 원인이 되어왔다. In the crude liquid and mixing process in the above process, in order to suppress the generation of bubbles generated during the operation of the stirring device, the stirring time and the stirring speed are controlled and left to stand for a certain time after stirring to remove the bubbles remaining in the crude liquid. However, due to the incomplete removal of the bubbles, pinholes or dents are generated on the dry film coating surface. Even if such defects occur, the inspection is difficult and difficult to detect, but it causes defects when used in the manufacturing process of the printed circuit board. come.

이러한 드라이필름 제조공정 중 교반과정에서 발생되는 기포에 의한 불량을 줄이기 위해서, 교반 후 방치시간을 두거나 코팅시 건조온도 및 코팅속도의 저하를 시도하고 있다. In order to reduce the defects caused by bubbles generated during the stirring process during the dry film manufacturing process, it is possible to leave the time left after stirring or to decrease the drying temperature and coating speed during coating.

그러나 이같이 조액시 기포제거를 위해서 교반시간을 증가시키고 일정시간 이상의 방치시간을 가짐에 따라 생산효율의 저하를 가져오며, 조액상의 점도에 따라 상기 조건을 일정하게 할 수 없는 단점이 있으며, 유기용매 건조시에 핀홀이나 덴트 발생을 억제하기 위해서 건조속도나 건조온도의 하향 조절이 필요하므로 생산성을 저하시킨다. 또한 이와같은 방법을 사용하더라도 완전하게 핀홀 및 덴트가 제거되지 않으므로 드라이 필름의 생산성 개선이 필요하게 되었다. However, in order to remove the air bubbles in the liquid solution as described above increases the stirring time and has a standing time over a certain time to bring down the production efficiency, there is a disadvantage that the above conditions cannot be made constant according to the viscosity of the liquid phase, organic solvent In order to suppress the generation of pinholes and dents during drying, down-regulation of the drying speed or drying temperature is required, thereby reducing productivity. In addition, even with this method, the pinholes and dents are not completely removed, and thus the productivity of the dry film is required.                         

한편, 드라이필름은 인쇄회로기판 제조공장에서 적용시 습식공정을 거치며, 미노광부위를 녹이는 현상공정이나 드라이필름을 제거하는 박리공정에서 비누화반응에 의하여 알칼리용액에 의하여 용해되어지는데, 상기 용해반응시 거품이 발생하며 거품이 과다 발생하게 되면 챔버를 넘쳐나오는 등의 문제점이 있다. On the other hand, the dry film undergoes a wet process when applied in a printed circuit board manufacturing plant, and is dissolved by an alkaline solution in a developing process of melting unexposed areas or a stripping process of removing a dry film. If bubbles are generated and bubbles are generated excessively, there are problems such as overflowing the chamber.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 거품을 억제시키는 소포제를 알칼리 용액에 0.1∼3%의 비율로 사용하고 있다. In order to solve this problem, an antifoaming agent which suppresses foam is used in an alkaline solution at a ratio of 0.1 to 3%.

그러나, 과도한 소포제를 사용하게 되면 생산비용이 상승되고 동시에 생산성이 떨어지는 문제점을 가지고 있으며, 소포제를 과다 사용할 때 드라이필름의 성분과 결합하여 물에 녹지않는 스컴(scum)이 발생하여 에칭불량이나 도금불량의 원인이 되고 있다. 따라서 현상 및 박리공정에서 거품발생량이 적어 소포제의 사용이 필요없는 드라이필름의 필요성이 증대되었다.
However, the use of excessive antifoaming agent has a problem of increasing production cost and at the same time decreasing productivity. When excessive use of the antifoaming agent is combined with the components of dry film, scum that does not dissolve in water is generated, resulting in poor etching or poor plating. Caused by. Therefore, the need for dry film that does not require the use of an antifoaming agent is increased due to the small amount of foaming in the development and peeling process.

이에 본 발명자들은 기존 드라이필름 제조공정에서 문제가 되었던 기포발생으로 인한 코팅 및 건조 후 코팅면의 핀홀이나 덴트와 같은 표면 불균일 현상을 감소시키면서 교반 후 방치시간을 줄일 수 있으므로 생산성을 향상시킬 수 있고 추후 인쇄회로기판 제조공정인 현상 및 박리공정에서의 거품발생을 줄일 수 있는 드라이필름 조성을 개발하기 위해 모색하던 중, 통상의 드라이필름 조성에 첨가제로서 폴리알킬렌글리콜을 첨가한 결과, 드라이필름 조액시 교반공정에서 발생된 기포의 효과적인 제거를 통해 기포로 인해 발생할 수 있는 핀홀이나 덴트 발생을 억제할 수 있고, 코팅의 균일성을 구현할 수 있게 되어 결국 드라이필름 레지스트의 품질균일화 및 안정화에 효과적임과 동시에 인쇄회로기판 제조공정 중인 현상 및 박리공정에서의 현상액 및 박리액의 거품발생량을 감소시킬 수 있음을 알게되어 본 발명을 완성하게 되었다. Therefore, the present inventors can improve the productivity by reducing the standing time after stirring while reducing surface unevenness such as pinholes or dents of the coated surface after coating and drying due to the bubble generation, which was a problem in the existing dry film manufacturing process, and later While seeking to develop a dry film composition that can reduce foaming in developing and peeling processes, which is a manufacturing process of a printed circuit board, the polyalkylene glycol was added as an additive to a general dry film composition, and then stirred during the preparation of dry film Effective removal of bubbles generated in the process can suppress the generation of pinholes or dents caused by bubbles, and it is possible to realize uniformity of coating, which is effective for uniformity and stabilization of quality of dry film resist and at the same time printing Phenomenon during the circuit board manufacturing process and during the peeling process And to know that it can reduce the amount of generation of bubble removing solution, thereby completing the present invention.

따라서, 본 발명의 목적은 기존 드라이필름 제조공정에서 문제가 되었던 기포발생으로 인한 코팅 및 건조후 코팅면의 핀홀이나 덴트와 같은 표면불균일 현상을 감소시키고 기포제거를 위한 교반후 방치시간을 줄임으로써 생산성을 향상시킬 수 있으며 동시에 추후 인쇄회로기판 제조공정인 현상 및 박리공정에서의 거품발생을 줄여 과도한 소포제의 사용이 필요없는 드라이필름 레지스트 조성물을 제공하는 데 있다. Therefore, an object of the present invention is to reduce the surface unevenness such as pinholes or dents of the coated surface after drying and foaming, which was a problem in the existing dry film manufacturing process, and to reduce productivity by reducing the standing time after stirring to remove bubbles The present invention provides a dry film resist composition which can improve the efficiency and at the same time reduce the generation of bubbles in the development and peeling process, which is a printed circuit board manufacturing process in the future.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 드라이필름 레지스트 조성물은 바인더 폴리머, 광중합단량체, 광중합개시제를 포함하는 것으로서, 여기에 프로필렌글리콜 또는 에틸렌글리콜의 단독 중합체 또는 이들의 공중합체로서 분자량 100∼1300인 폴리알킬렌글리콜을 더 포함하는 것임을 그 특징으로 한다.
The dry film resist composition of the present invention for achieving the above object comprises a binder polymer, a photopolymerization monomer, a photopolymerization initiator, a propylene glycol or a homopolymer of ethylene glycol or a copolymer thereof having a molecular weight of 100 to 1300 It is characterized in that it further comprises a polyalkylene glycol.

이와같은 본 발명을 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.The present invention will be described in more detail as follows.

본 발명은 인쇄회로기판 제조공정에서 사용되고 있는 드라이필름 레지스트의 조성물에 관한 것으로서, 일반적으로 드라이필름 레지스트는 바인더폴리머, 광중합단량체, 광개시제 및 기타 첨가제를 주성분으로 하는 조성에 첨가제로서 폴리알킬 렌글리콜을 더 포함하는 조성에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a composition of a dry film resist used in a printed circuit board manufacturing process. In general, a dry film resist further comprises polyalkylene glycol as an additive in a composition mainly comprising a binder polymer, a photopolymer, a photoinitiator, and other additives. It relates to the composition to contain.

바인더 폴리머는 메타크릴계 공중합체로서 메타크릴계 단량체, 예를들어 메틸메타크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, 프로필메타크릴레이트, 부틸메타크릴레이트, 헥실메타크릴레이트, 에틸헥실 메타크릴레이트, 시클로헥실메타크릴레이트, 벤질메타크릴레이트, 디메틸아미노에틸메타크릴레이트, 하이드록시에틸메타크릴레이트, 하이드록시프로필메타크릴레이트 및 글리시딜메타크릴레이트 중에서 선택된 것으로서, 이들을 공중합시켜 사용한다. The binder polymer is a methacryl-based copolymer as a methacryl-based monomer such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, butyl methacrylate, hexyl methacrylate, ethylhexyl methacrylate, cyclohexyl It is selected from methacrylate, benzyl methacrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl methacrylate and glycidyl methacrylate, and these are used by copolymerizing them.

또한, 메타크릴계 공중합체는 필요시 에틸렌성 불포화 카르복시산, 예를들어 아크릴산, 메타크릴산, 크로토닉산, 말레인산, 푸마르산, 이타콘산, 무수물, 반에스터된 고분자, 또는 기타 고분자, 예를들어 아크릴아미드, 메타크릴아미드, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, 스티렌, α-메틸스티렌, 비닐아세테이트, 알킬비닐 에테르와 공중합하여 사용할 수 있으며, 이들 중 아크릴산과 메타크릴산이 특히 바람직하며 우수한 물성을 나타낸다. 약알칼리 현상형 포토레지스트 수지의 경우 에틸렌성 불포화 카르복실산의 양은 15∼30중량%로(산가 100∼200mg/KOH/g) 사용하는 것이 바람직하다.In addition, the methacrylic copolymers may be, if necessary, ethylenically unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, anhydrides, semi-esterified polymers, or other polymers such as acrylics. It can be used by copolymerizing with amide, methacrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile, styrene, α-methylstyrene, vinyl acetate, alkylvinyl ether, of which acrylic acid and methacrylic acid are particularly preferred and exhibit excellent physical properties. In the case of the weak alkali developing photoresist resin, the amount of ethylenically unsaturated carboxylic acid is preferably used in an amount of 15 to 30% by weight (acid value of 100 to 200 mg / KOH / g).

그리고, 본 발명의 드라이필름 레지스트 조성물에 있어서 광중합 단량체는 통상의 드라이필름 레지스트 조성에서와 같이 다관능성 단량체 또는 일관능성 단량체를 사용할 수 있으며, 일관능성 단량체는 메타크릴레이트 및 아크릴레이트 유도체와 메타크릴로일옥시에틸산 포스페이트, 프탈산 유도체의 메타크릴레이트, 메틸올 메타크릴아미드 등이 있으며, 다관능성 단량체의 경우는 디메타크릴레이트 및 디아크릴레이트 유도체와 트리, 테트라 메타크릴레이트 및 아크릴레이트 유도체 등이 있다. In the dry film resist composition of the present invention, the photopolymerizable monomer may be a polyfunctional monomer or a monofunctional monomer as in the conventional dry film resist composition, and the monofunctional monomer is a methacrylate, an acrylate derivative, or a methacrylate. Monooxyethyl phosphate, methacrylate of phthalic acid derivatives, methylol methacrylamide, and the like. In the case of polyfunctional monomers, dimethacrylate and diacrylate derivatives, tri, tetra methacrylate and acrylate derivatives, etc. have.

이같은 광중합 단량체의 함량은 바인더 폴리머 고형분 100중량부에 대하여 10∼80중량부인 바, 만일 그 함량이 10중량부 미만이면 레지스트의 유연성이 저하되고 현상속도가 느려지며 80중량부 초과면 용액의 점도 및 저온 흐름성(cold flow)이 증가하며 박리속도가 느려진다. The content of such a photopolymerization monomer is 10 to 80 parts by weight based on 100 parts by weight of the binder polymer solids. If the content is less than 10 parts by weight, the flexibility of the resist decreases, the development speed is slowed, and the content of the solution is greater than 80 parts by weight. Cold flow increases and peeling rate is slowed.

본 발명 조성물에 있어서 광중합 개시제는 통상의 드라이필름 레지스트 조성에서와 같이 벤조인 메틸 에테르, 벤조인 에틸 에테르, 벤조인 이소프로필 에테르, 벤조인 부틸 에테르, 벤조인 페닐 에테르, 벤질 디페닐 디설파이드, 벤질 디메틸 케탈, 안트라퀴논, 나프토퀴논, 벤조페논, 피발론 에틸 에테르, 디클로로 아세토페논, 헥사아릴-이미다졸의 다이머, 트리브로모페닐설폰, 트리브로모메틸페닐설폰 등을 들 수 있다. 이같은 광개시제의 첨가량은 바인더 폴리머와 광중합 단량체의 합 100중량부에 대하여 1 내지 20중량부이다. In the composition of the present invention, the photopolymerization initiator may be selected from benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin butyl ether, benzoin phenyl ether, benzyl diphenyl disulfide, benzyl dimethyl, as in a conventional dry film resist composition. Ketal, anthraquinone, naphthoquinone, benzophenone, pivalon ethyl ether, dichloro acetophenone, hexaaryl-imidazole dimer, tribromophenyl sulfone, tribromomethylphenyl sulfone and the like. The amount of such photoinitiator added is 1 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the sum of the binder polymer and the photopolymerization monomer.

그밖에 발색관련 조제, 광중합억제제 및 가소제와 같은 첨가제를 포함할 수 있음은 물론이다. Other additives such as color-related preparations, photopolymerization inhibitors and plasticizers, of course.

한편, 본 발명에서는 드라이필름 레지스트 제조시의 핀홀 및 덴트 발생을 최소화하고 추후 현상 및 박리공정에서의 거품발생을 억제하기 위하여 특징적으로, 알콜류를 기본으로 하고 여기에 알킬옥사이드, 예를들어 에틸렌옥사이드, 프로필렌 옥사이드, 부틸렌 옥사이드를 부가중합시켜 형성된 폴리알킬렌글리콜을 첨가한다. Meanwhile, in the present invention, in order to minimize the generation of pinholes and dents in the manufacture of dry film resists, and to suppress the occurrence of bubbles in the later development and peeling process, it is characteristically based on alcohols and includes alkyl oxides such as ethylene oxide, Polyalkylene glycol formed by addition polymerization of propylene oxide and butylene oxide is added.

본 발명의 폴리알킬렌글리콜은 프로필렌글리콜 또는 에틸렌글리콜의 단독 중합체 또는 이들의 공중합체로서 분자량이 100∼1300인 것이 바람직하다.The polyalkylene glycol of the present invention preferably has a molecular weight of 100 to 1300 as a homopolymer of propylene glycol or ethylene glycol or a copolymer thereof.

이같은 폴리알킬렌글리콜을 레지스트 조성물 중 0.01∼10중량%로 사용하는 것이 바람직한 바, 만일 그 함량이 10중량%를 초과할 경우 드라이필름의 회로구현성이 떨어지는 문제가 있다.It is preferable to use such polyalkylene glycol at 0.01 to 10% by weight in the resist composition. If the content exceeds 10% by weight, there is a problem in that the circuit implementation of the dry film is inferior.

드라이필름 레지스트 조성에 첨가된 폴리알킬렌글리콜은 교반공정에서 발생한 기포를 효과적으로 제거함으로써 교반공정의 효율성을 증대시킴과 동시에 기포제거를 위한 조액후 방치시간을 줄일 수 있으며 기포에 의한 품질저하를 막을 수 있다. The polyalkylene glycol added to the dry film resist composition effectively removes the bubbles generated during the stirring process, thereby increasing the efficiency of the stirring process and reducing the standing time after the preparation for removing the bubbles, and preventing the quality degradation caused by the bubbles. have.

또한, 건조공정에서 유기용매 제거시 레벨링제 역할을 수행하여 코팅면에서 생길 수 있는 핀홀이나 덴트의 양을 급격히 감소시켜 코팅표면의 평활도 및 균일한 조도를 구현할 수 있어 드라이필름의 품질향상에 기여할 수 있다. In addition, by removing the organic solvent in the drying process, it can play a role as a leveling agent to drastically reduce the amount of pinholes or dents that can occur on the coating surface, thereby realizing the smoothness and uniform roughness of the coating surface, thereby contributing to the improvement of dry film quality. have.

뿐만 아니라, 인쇄회로기판 제조공정 중 드라이필름의 현상 및 박리공정에서 발생할 수 있는 거품의 양을 감소시켜 소포제의 사용량을 줄일 수 있으며, 이는 생산성의 향상 및 원가절감, 소포제 과다 사용으로 인한 수질 오염을 방지할 수 있는 장점을 가짐과 동시에 소포제와 드라이필름의 결합으로 인한 스컴발생을 줄일 수 있다.
In addition, the amount of defoamer used can be reduced by reducing the amount of foam that can occur in the development and peeling process of dry film during the manufacturing process of printed circuit boards, which can improve productivity, reduce costs, and contaminate water quality due to excessive use of defoamer. It has the advantage of preventing and reduces the occurrence of scum due to the combination of the antifoaming agent and the dry film.

이하, 본 발명을 실시예에 의거 상세히 설명하면 다음과 같은 바, 본 발명이 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples, but the present invention is not limited by the Examples.

실시예 1∼6 및 비교예 1∼2Examples 1-6 and Comparative Examples 1-2

다음 표 1에 나타낸 포토레지스트 조성을 갖는 드라이필름 포토레지스트를 조액한 다음 1시간 동안 교반한 후 30분 방치한 다음 코팅바를 이용하여 PET 필름상에 코팅을 실시하였고, 80℃ 오븐에서 60초간 건조시킨 후 표면의 20cm×20cm 평면에서 0.5mm 이상의 덴트나 핀홀의 개수를 측정하였다. Next, a dry film photoresist having a photoresist composition shown in Table 1 was prepared, stirred for 1 hour, left for 30 minutes, and then coated on a PET film using a coating bar, and dried at 80 ° C. in an oven for 60 seconds. The number of dents or pinholes of 0.5 mm or more in the 20 cm x 20 cm plane of the surface was measured.

이같은 측정결과를 다음 표 2에 나타내었으며, 이로부터 폴리알킬렌글리콜의 첨가에 따라 덴트와 핀홀 개수가 감소함을 알 수 있으며 첨가량에 따라 우수한 표면물성을 나타냄을 알 수 있다. The measurement results are shown in Table 2 below. From this, it can be seen that the number of dents and pinholes decreases with the addition of polyalkylene glycol, and the surface properties are excellent depending on the amount added.

실 시 예Example 비교예Comparative example 1One 22 33 44 55 66 1One 22 고분자 결합제Polymer binder 고분자 결합제 APolymer Binder A 4545 4545 4545 4545 4545 4545 4545 4545 광 개 시 제Photoinitiator 벤조페논Benzophenone 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 4,4'-(비스디에틸아미노)벤조페논4,4 '-(bisdiethylamino) benzophenone 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 루코 크리스탈 바이올렛Luco Crystal Violet 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 톨루엔술폰산 1수화물Toluenesulfonic Acid Monohydrate 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 다이아몬드 그린 GHDiamond Green GH 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 광중합성 단량체Photopolymerizable monomer 9G9G 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 APG-400APG-400 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 BPE-500BPE-500 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 용매menstruum 메틸에틸케톤Methyl ethyl ketone 13.013.0 13.013.0 13.013.0 13.013.0 13.013.0 13.013.0 13.013.0 13.013.0 폴리알킬렌글리콜Polyalkylene glycol 분자량 570∼630, 에틸렌옥사이드:프로필렌 옥사이드 1:1인 공중합체Copolymer having molecular weight of 570-630, ethylene oxide: propylene oxide 1: 1 0.10.1 0.50.5 1.01.0 3.03.0 55 1010 -- 2020 (주) 루코 크리스탈 바이올렛:4,4,4-Tris(dimethyl amino)triphenyl methane , TCI사 제품 다이아몬드 그린 G: Diamond Green, TCI사 제품 9G: polyethylene glycol #400 dimethacrylate, 미원사 제품 APG-400:Polypropylene glycol #400 diacrylate, 미원사 제품 BPE-500: 2,2-bis[methacryloxypolyethoxy)phenyl]propane, 미원사 제품Luco Crystal Violet: 4,4,4-Tris (dimethyl amino) triphenyl methane, made by TCI Diamond Green G: Diamond Green, made by TCI 9G: polyethylene glycol # 400 dimethacrylate, manufactured by Miwon APG-400: Polypropylene glycol # 400 diacrylate, from micro yarn BPE-500: 2,2-bis [methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane, from micro yarn

실 시 예Example 비교예Comparative example 1One 22 33 44 55 66 1One 22 덴트갯수Number of dents 2525 1010 99 77 55 55 3030 33

또한 현상후 거품발생 정도를 비교하기 위하여 300㎖ 현상액(탄산나트륨 1중량% 수용액)에 0.5㎡ 상기 조성의 드라이필름을 녹인 후 30초간 공기주입한 다음 거품의 높이를 비교하였으며, 그 결과는 다음 표 3과 같다. Also, in order to compare the degree of foaming after development, 0.5 m 2 of a dry film of the above composition was dissolved in 300 ml developer (1 wt% aqueous solution of sodium carbonate), followed by air injection for 30 seconds, and then the heights of the bubbles were compared. Same as

표 3의 결과로부터 폴리알킬렌글리콜의 첨가량 증가에 따라 거품발생은 적음을 알 수 있다. From the results in Table 3, it can be seen that there is little foaming with increasing amount of polyalkylene glycol.

실 시 예Example 비교예Comparative example 1One 22 33 44 55 66 1One 22 거품높이(mm)Foam height (mm) 150150 110110 9595 8080 7575 7575 200200 5050

그러나, 상기 표 2 및 3의 결과와 무관하게 폴리알킬렌글리콜의 함량이 과다할 경우(비교예 2)에는 드라이필름의 회로구현성이 떨어지는 문제가 있을 수 있으므로 그 함량의 최대치는 10중량%인 것이 바람직하다.However, irrespective of the results of Tables 2 and 3, when the content of polyalkylene glycol is excessive (Comparative Example 2), there may be a problem that the circuit implementation of the dry film is inferior, so the maximum content thereof is 10% by weight. It is preferable.

실시예 7∼11 및 비교예 3∼4Examples 7-11 and Comparative Examples 3-4

본 예들은 폴리알킬렌글리콜의 분자량에 따른 효과를 파악하기 위한 것으로서, 다음 표 4에 나타낸 포토레지스트 조성을 갖는 드라이필름 포토레지스트를 조액한 후 1시간 동안 교반하여 30분 방치한 다음 코팅바를 이용하여 코팅을 실시하였고, 80℃ 오븐에서 60초간 건조시킨 후 표면의 20cm×20cm 평면에서 0.5mm 이상의 덴트나 핀홀의 개수를 측정하였다. These examples are to determine the effect of the molecular weight of the polyalkylene glycol, after preparing a dry film photoresist having a photoresist composition shown in Table 4 and then stirred for 1 hour and left for 30 minutes and then coated using a coating bar After drying in an oven at 80 ° C. for 60 seconds, the number of dents or pinholes of 0.5 mm or more was measured in a 20 cm × 20 cm plane of the surface.

측정결과를 다음 표 5에 나타내었는 바, 이로써 폴리알킬렌글리콜의 분자량이 증가함에 따라 덴트와 핀홀의 개수가 감소함을 알 수 있다. 그러나, 폴리알킬렌 글리콜의 분자량이 지나치게 커지면(1300이상) 불량부위가 증가함을 알 수 있는 데 이는 분자량이 커짐에 따라 기존 드라이필름과의 상용성이 떨어지므로 발생되거나, 용매의 용해성이 떨어짐에 따라 발생되는 것이다. The measurement results are shown in Table 5, whereby the number of dents and pinholes decreases as the molecular weight of the polyalkylene glycol increases. However, when the molecular weight of the polyalkylene glycol is excessively large (1300 or more), it can be seen that the defective site increases, which is caused by the incompatibility with the existing dry film as the molecular weight increases, or the solubility of the solvent is inferior. It happens accordingly.

실 시 예Example 비교예Comparative example 77 88 99 1010 1111 33 44 고분자 결합제Polymer binder 고분자 결합제 APolymer Binder A 4545 4545 4545 4545 4545 4545 4545 광 개 시 제Photoinitiator 벤조페논Benzophenone 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 4,4'-(비스디에틸아미노)벤조페논4,4 '-(bisdiethylamino) benzophenone 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 루코 크리스탈 바이올렛Luco Crystal Violet 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 톨루엔술폰산 1수화물Toluenesulfonic Acid Monohydrate 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 다이아몬드 그린 GHDiamond Green GH 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 광중합성 단량체Photopolymerizable monomer 9G9G 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 APG-400APG-400 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 BPE-500BPE-500 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 용매menstruum 메틸에틸케톤Methyl ethyl ketone 13.013.0 13.013.0 13.013.0 13.013.0 13.013.0 13.013.0 13.013.0 폴리알킬렌글리콜Polyalkylene glycol 에틸렌옥사이드:프로필렌 옥사이드 1:1인 공중합체, 총 함량 중 0.5중량%로 투입Ethylene oxide: Copolymer with propylene oxide 1: 1, 0.5 wt% of the total content 190∼210190-210 285∼315285-315 380∼420380-420 570∼630570-630 950∼1050950-1050 50~10050-100 1300~15001300-1500 루코 크리스탈 바이올렛:4,4,4-Tris(dimethyl amino)triphenyl methane , TCI사 제품 다이아몬드 그린 G: Diamond Green, TCI사 제품 9G: polyethylene glycol #400 dimethacrylate, 미원사 제품 APG-400:Polypropylene glycol #400 diacrylate, 미원사 제품 BPE-500: 2,2-bis[methacryloxypolyethoxy)phenyl]propane, 미원사 제품Luco Crystal Violet: 4,4,4-Tris (dimethyl amino) triphenyl methane, manufactured by TCI Diamond Green G: Diamond Green, manufactured by TCI 9G: polyethylene glycol # 400 dimethacrylate, manufactured by MIGA APG-400: Polypropylene glycol # 400 diacrylate, microfiber product BPE-500: 2,2-bis [methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane, microfiber product

실 시 예Example 비교예Comparative example 77 88 99 1010 1111 33 44 덴트갯수Number of dents 2020 1515 1212 1010 88 2525 3232

또한 현상후 거품발생 정도를 비교하기 위하여 300㎖ 현상액(탄산나트륨 1중량% 수용액)에 0.5㎡ 상기 조성의 드라이필름을 녹인 후 30초간 공기주입한 다음 거품의 높이를 비교하였으며, 그 결과는 다음 표 6과 같다. Also, in order to compare the degree of foaming after development, 0.5 m 2 of a dry film of the composition was dissolved in a 300 ml developer (1 wt% aqueous solution of sodium carbonate), and then injected with air for 30 seconds, and then the heights of the bubbles were compared. Same as

실 시 예Example 비교예Comparative example 77 88 99 1010 1111 33 44 거품높이(mm)Foam height (mm) 8585 9090 9595 110110 120120 7070 130130

표 6의 결과로부터 폴리알킬렌글리콜의 분자량이 작을수록 거품발생이 적음을 알 수 있다. 그러나, 분자량이 너무 작을 경우에는 드라이필름 제조공정 중 건조공정에서 용매와 함께 승화될 문제가 있을 수 있으므로 분자량의 최소치는 100인 것이 바람직하다.From the results in Table 6, it can be seen that the smaller the molecular weight of the polyalkylene glycol, the less foaming occurs. However, when the molecular weight is too small, the minimum value of the molecular weight is preferably 100 because there may be a problem of sublimation with the solvent in the drying step of the dry film manufacturing process.

이같은 결과는 폴리알킬렌글리콜의 분자량이 증가함에 따라 지용성이 강해지므로 인하여 조액시에는 분자량이 큰 고분자가 유리하나, 현상공정중의 알칼리수용액상에서는 수용성이 강한 분자량이 작은 고분자가 유리하기 때문으로 파악된다. This result is due to the fact that as the molecular weight of polyalkylene glycol increases, solubility becomes stronger, polymer having a large molecular weight is advantageous in the crude liquid, but polymer having a small molecular weight with high water solubility is advantageous in the alkaline aqueous solution during the developing process. .

실시예 12∼16Examples 12-16

본 실시예에서는 폴리알킬렌글리콜을 구성하는 단량체의 비율에 따른 효과를 파악하기 위한 것으로서, 다음 표 7에 나타낸 포토레지스트 조성을 갖는 드라이필름 포토레지스트를 조액한 후 1시간 동안 교반하여 30분 방치한 다음 코팅바를 이용하여 코팅을 실시하였고, 80℃ 오븐에서 60초간 건조시킨 후 표면의 20cm×20cm 평면에서 0.5mm 이상의 덴트나 핀홀의 개수를 측정하였다. 상기 측정결과를 다음 표 8에 나타내었는 바, 이로써 폴리알킬렌글리콜의 단량체가 에틸렌글리콜:프로필렌글리콜=50:50인 경우 가장 우수한 표면물성을 나타냄을 알 수 있다.In this embodiment, to determine the effect according to the ratio of the monomer constituting the polyalkylene glycol, after preparing a dry film photoresist having a photoresist composition shown in Table 7 and left for 30 minutes by stirring for 1 hour The coating was performed using a coating bar, and dried in an oven at 80 ° C. for 60 seconds, and the number of dents or pinholes of 0.5 mm or more was measured in a 20 cm × 20 cm plane. The measurement results are shown in the following Table 8, whereby it can be seen that the best surface properties when the monomer of the polyalkylene glycol is ethylene glycol: propylene glycol = 50: 50.

실 시 예Example 1212 1313 1414 1515 1616 고분자 결합제Polymer binder 고분자 결합제 APolymer Binder A 4545 4545 4545 4545 4545 광 개 시 제Photoinitiator 벤조페논Benzophenone 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 4,4'-(비스디에틸아미노)벤조페논4,4 '-(bisdiethylamino) benzophenone 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 루코 크리스탈 바이올렛Luco Crystal Violet 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 3.03.0 톨루엔술폰산 1수화물Toluenesulfonic Acid Monohydrate 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 다이아몬드 그린 GHDiamond Green GH 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 1.01.0 광중합성 단량체Photopolymerizable monomer 9G9G 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 APG-400APG-400 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 BPE-500BPE-500 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5 용매menstruum 메틸에틸케톤Methyl ethyl ketone 13.013.0 13.013.0 13.013.0 13.013.0 13.013.0 폴리알킬렌글리콜Polyalkylene glycol 분자량 570∼630, 총 함량 중 0.5중량%로 투입Molecular weight 570 ~ 630, 0.5 wt% of total content 에틸렌글리콜:프로필렌글리콜Ethylene Glycol: Propylene Glycol 100:0100: 0 80:2080:20 50:5050:50 20:8020:80 0:1000: 100

실 시 예Example 1212 1313 1414 1515 1616 덴트갯수Number of dents 1717 1515 1010 1414 1515

또한 현상후 거품발생 정도를 비교하기 위하여 300㎖ 현상액(탄산나트륨 1중량% 수용액)에 0.5㎡ 상기 조성의 드라이필름을 녹인 후 30초간 공기주입한 다음 거품의 높이를 비교하였으며, 그 결과는 다음 표 9와 같다. Also, in order to compare the degree of foaming after development, 0.5 m 2 of a dry film of the composition was dissolved in 300 ml developer (1 wt% aqueous solution of sodium carbonate), followed by air injection for 30 seconds, and then the heights of the bubbles were compared. Same as

표 9의 결과로부터 폴리알킬렌글리콜을 구성하는 단량체가 에틸렌글리콜:프로필렌글리콜 50:50인 경우 거품발생이 적음을 알 수 있었다.From the results in Table 9, it was found that when the monomer constituting the polyalkylene glycol is ethylene glycol: propylene glycol 50:50, there is little foaming.

실 시 예Example 1212 1313 1414 1515 1616 거품높이(mm)Foam height (mm) 115115 120120 9595 105105 100100

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따라 통상의 드라이필름 레지 스트 조성에 첨가제로서 프로필렌글리콜 또는 에틸렌글리콜 단독 중합체 및 이들의 공중합체이며 분자량 100∼1300인 폴리알킬렌글리콜을 더 첨가한 경우, 조액시 교반공정에서 발생한 기포를 효과적으로 제거함으로써 교반공정의 효율성을 증대시킴과 동시에 기포제거를 위한 조액후 방치시간을 줄일 수 있으며 기포에 의한 품질저하를 막을 수 있고, 또한 건조공정에서 유기용매 제거시 레벨링제 역할을 수행하여 코팅면에서 생길 수 있는 핀홀이나 덴트의 양을 급격히 감소시켜 코팅표면의 평활도 및 균일한 조도를 구현할 수 있어 드라이필름의 품질향상에 기여할 수 있으며, 추후 인쇄회로기판 제조공정 중 드라이필름의 현상 및 박리공정에서 발생할 수 있는 거품의 양을 감소시켜 소포제의 사용량을 줄일 수 있는 바, 이는 생산성의 향상 및 원가절감, 소포제 과다 사용으로 인한 수질 오염을 방지할 수 있는 장점을 가짐과 동시에 소포제와 드라이필름의 결합으로 인한 스컴발생을 줄일 수 있다. As described in detail above, when a propylene glycol or ethylene glycol homopolymer and a copolymer thereof and polyalkylene glycol having a molecular weight of 100 to 1300 are further added to the conventional dry film resist composition according to the present invention, By effectively removing bubbles generated during the stirring process, the efficiency of the stirring process can be increased, and the standing time after preparation for removing bubbles can be reduced, and the deterioration of quality due to the bubbles can be prevented. It can play a role to reduce the amount of pinholes or dents that can occur on the coating surface, thereby realizing the smoothness and uniformity of the coating surface, which can contribute to the improvement of dry film quality. The amount of foam that can occur during film development and peeling It can reduce the amount of antifoaming agent, which can improve productivity, reduce cost, and prevent water pollution due to excessive use of antifoaming agent, and reduce scum caused by the combination of antifoaming agent and dry film. .

Claims (2)

바인더 폴리머, 광중합 단량체, 광중합개시제 및 첨가제를 포함하는 드라이필름 레지스트 조성물에 있어서,In a dry film resist composition comprising a binder polymer, a photopolymerization monomer, a photopolymerization initiator and an additive, 프로필렌글리콜 또는 에틸렌글리콜의 단독 중합체 또는 이들의 공중합체로서 분자량 100∼1300인 폴리알킬렌글리콜을 더 포함하는 것임을 특징으로 하는 드라이필름 레지스트 조성물.A dry film resist composition characterized by further comprising polyalkylene glycol having a molecular weight of 100 to 1300 as a homopolymer of propylene glycol or ethylene glycol or a copolymer thereof. 제 1 항에 있어서, 폴리알킬렌글리콜은 전체 드라이필름 조성 중 0.01∼10중량%로 포함되는 것임을 특징으로 하는 드라이필름 레지스트 조성물.The dry film resist composition of claim 1, wherein the polyalkylene glycol is contained in an amount of 0.01 to 10% by weight based on the total dry film composition.
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