KR100863024B1 - Circuit for compensating equaliation and semiconductor memory apparatus using the same - Google Patents

Circuit for compensating equaliation and semiconductor memory apparatus using the same Download PDF

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이정우
문형욱
최원준
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Abstract

A circuit for compensating for equalization and a semiconductor memory device using the same are provided to enhance reliability thereof by ensuring an equalize timing margin according to characteristic variation or resistance of word lines. A circuit for compensating for equalization of a semiconductor memory device includes a word line detection unit(100) and an equalize signal controller(200). The word line detection unit detects the level of word lines and generates a detection signal. The equalize signal controller compensates for timing of equalization signals in response to the detection signal and outputs an equalize compensation signal. The word line detection unit outputs the detection signal by detecting a reference voltage and the level of the word line.

Description

이퀄라이즈 보정 회로 및 이를 이용한 반도체 메모리 장치{Circuit for Compensating Equaliation and Semiconductor Memory Apparatus Using the Same}Equalization Correction Circuit and Semiconductor Memory Device Using the Same

본 발명은 반도체 집적회로에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 비트라인의 이퀄라이즈 타이밍 마진을 확보하기 위한 이퀄라이즈 보정 회로 및 이를 이용한 반도체 메모리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor integrated circuit, and more particularly, to an equalization correction circuit for securing an equalization timing margin of a bit line and a semiconductor memory device using the same.

일반적으로 메모리 셀은 하나의 트랜지스터와 하나의 캐패시터로 이루어지는 복수의 메모리 셀로 이루어지며, 트랜지스터의 게이트 단자에 접속되는 워드라인(SWL)에 의해 메모리 셀을 선택하고, 선택된 메모리 셀의 전압이 비트라인에 인가되면 이를 증폭함으로써 센싱 과정이 이루어진다.In general, a memory cell includes a plurality of memory cells including one transistor and one capacitor, and the memory cell is selected by a word line SWL connected to a gate terminal of the transistor, and the voltage of the selected memory cell is applied to the bit line. When applied, the sensing process is achieved by amplifying them.

도 1은 종래의 기술에 따른 반도체 메모리 장치의 구동을 설명하기 위한 회로도이다.1 is a circuit diagram illustrating a driving of a semiconductor memory device according to the related art.

도 1 을 참조하면, 반도체 메모리 장치에서 비트라인 센스 앰프의 액티브 시 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 '로우'레벨로 디스에이블 되면 이퀄라이즈 실행부(10)의 제 1 내지 제 3 NMOS 트랜지스터(N1, N2, N3)가 턴오프되어 비트라인(BL, BLB) 이퀄라이즈가 중단된다. 이때, 워드라인(SWL)이 인에이블 되고, 제 4 NMOS 트랜지스 터(N4)가 턴온되면 선택된 셀의 전압이 비트라인(BL, BLB)에 전달되어 캐패시터에 저장되어 있던 데이터는 차지 쉐어링(Charge Sharing)이 개시된다. 셀의 전압이 비트라인(BL, BLB)에 인가되면, 센스 앰프(30)는 센싱 동작을 수행하여 데이터를 증폭시킨다. 프리차지 시 워드라인(SWL)이 디스에이블 되고, 메모리 셀(20)의 제 4 NMOS 트랜지스터(N4)가 턴오프되면, 비트라인(BL, BLB)이 플로팅 된다. 이어서, 이퀄라이즈 실행부(10)가 동작하여 이퀄라이즈 신호(BLEQ)를 '하이'레벨로 디스에이블 시켜 비트라인(BL, BLB)을 비트라인 프리차지 전압(VBLP)으로 이퀄라이즈 한다. 이때, 반도체 메모리 장치는 워드라인(SWL)의 저항 값이나 매트(MAT) 사이즈에 따른 로딩에 의해 특성이 변화하여 워드라인(SWL)이 완전히 닫히기 전에 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 입력된다. 따라서, 상기 비트라인 프리차지 전압(VBLP)이 셀에 공급되어셀에 잘못된 데이터를 저장하여 셀이 불량이 날 수 있는 문제점이 있다. Referring to FIG. 1, when the equalization signal BLEQ of the bit line sense amplifier is disabled to a 'low' level in the semiconductor memory device, the first to third NMOS transistors N1, N1, of the equalization execution unit 10 are disabled. N2 and N3 are turned off to stop equalization of the bit lines BL and BLB. At this time, when the word line SWL is enabled and the fourth NMOS transistor N4 is turned on, the voltage of the selected cell is transferred to the bit lines BL and BLB, and the data stored in the capacitor is charged sharing. Sharing) is started. When the voltage of the cell is applied to the bit lines BL and BLB, the sense amplifier 30 performs a sensing operation to amplify the data. If the word line SWL is disabled during the precharge and the fourth NMOS transistor N4 of the memory cell 20 is turned off, the bit lines BL and BLB are floated. Subsequently, the equalization execution unit 10 operates to disable the equalization signal BLEQ to a 'high' level to equalize the bit lines BL and BLB to the bit line precharge voltage VBLP. In this case, the semiconductor memory device receives an equalization signal BLEQ before the word line SWL is completely closed due to a change in characteristics due to a resistance value of the word line SWL or loading depending on the size of the mat MAT. Therefore, the bit line precharge voltage VBLP is supplied to the cell, thereby storing the wrong data in the cell, thereby causing the cell to be defective.

도 2는 종래의 기술에 따른 반도체 메모리 장치의 구동 타이밍도를 나타낸 것이다.2 is a driving timing diagram of a semiconductor memory device according to the related art.

도 2를 참조하면, 반도체 메모리 장치에서 일반적으로 워드라인(SWL)과 비트라인(BL, BLB) 이퀄라이즈 타이밍은 워드라인(SWL)이 완전히 오프(OFF)된 후, 비트라인(BL, BLB) 이퀄라이즈가 인에이블 되어야 한다. 그러나, 워드라인(SWL)의 저항 값이 다르고, 같은 장치에서도 워드라인(SWL)의 특성이 바뀔 수 있으며, 매트(MAT)의 사이즈에 따라서 워드라인(SWL)의 로딩이 달라 프리차지 시 워드라인(SWL)의 슬롭(Slope)이 늘어지게 된다. 따라서, 상기 워드라인(SWL)이 완전히 닫히기 전에 상기 비트라인(BL, BLB) 이퀄라이즈가 인에이블 되어 셀의 데이터 값이 바뀌어 불량 이 발생하게 된다. 즉, 프리차지 시 상기 워드라인(SWL)의 슬롭(Slope)이 늘어지게 됨에 따라, 이에 상응하는 비트라인(BL, BLB) 이퀄라이즈 타이밍을 조절해야 한다.Referring to FIG. 2, in the semiconductor memory device, in general, the equalization timing of the word line SWL and the bit lines BL and BLB is equal to the bit line BL and BLB after the word line SWL is completely turned off. Equalize must be enabled. However, since the resistance value of the word line SWL is different, the characteristics of the word line SWL may be changed in the same device, and the loading of the word line SWL varies according to the size of the mat MAT. The slope of the SWL is increased. Therefore, before the word line SWL is completely closed, the bit lines BL and BLB equalization are enabled, thereby changing the data value of the cell, thereby causing a failure. That is, as the slope of the word line SWL increases when precharging, the equalization timing of the bit lines BL and BLB should be adjusted.

종래의 기술에 따른 반도체 메모리 장치는 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 '하이'레벨에서 '로우'레벨로 디스에이블 된 후, 워드라인(SWL)이 '하이'레벨로 인에이블 된다. 상기 워드라인(SWL)이 인에이블 되면, 데이터는 차지 쉐어링(Charge Sharing)이 개시되고, 데이터가 증폭하여 비트라인(BL, BLB)에 실리게 된다. 상기 비트라인(BL, BLB)에 실린 데이터를 프리차지 하기 위하여 워드라인(SWL)이 '로우'레벨로 디스에이블 되나 워드라인(SWL)이 완전히 닫히기 전에 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 인에이블 된다. 이때, 셀에 비트라인 프리차지 전압(VBLP)이 공급되어 메모리 셀(20)에 저장된 데이터가 바뀌어 불량이 발생할 수 있다. 여기서, 비트라인 프리차지 전압(VBLP)은 코어 전압(VCORE)과 접지전압(VSS)의 중간 레벨의 전압이다. 비트라인(BL, BLB)은 워드라인(SWL)이 인에이블 된 상태 즉, 제 4 NMOS 트랜지스터(N4)가 턴온된 상태에서 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 인에이블 되어 비트라인 프리차지 전압(VBLP)으로 이퀄라이즈 된다. 따라서, 워드라인(SWL)이 저항 값이나 각 장치의 특성 변화 또는 매트 사이즈에 의한 로딩에 의해 슬롭(Slope)이 늘어질 때, 워드라인(SWL)의 완전히 닫히기 전에 비트라인(BL, BLB) 이퀄라이즈 인에이블 되어 메모리 셀(20)의 데이터 값이 바뀌어 셀이 불량이 날 수 있는 문제점이 있다.In the semiconductor memory device according to the related art, after the equalization signal BLEQ is disabled from the 'high' level to the 'low' level, the word line SWL is enabled to the 'high' level. When the word line SWL is enabled, charge sharing is started and data is amplified and loaded on the bit lines BL and BLB. In order to precharge the data on the bit lines BL and BLB, the word line SWL is disabled to a 'low' level, but the equalization signal BLEQ is enabled before the word line SWL is completely closed. In this case, the bit line precharge voltage VBLP is supplied to the cell to change data stored in the memory cell 20, thereby causing a defect. Here, the bit line precharge voltage VBLP is a voltage at an intermediate level between the core voltage VCORE and the ground voltage VSS. The bit lines BL and BLB have the equalization signal BLEQ enabled when the word line SWL is enabled, that is, while the fourth NMOS transistor N4 is turned on, thereby causing the bit line precharge voltage VBLP. Is equalized. Therefore, when the slope of the word line SWL is increased by the resistance value, the characteristic change of each device, or the loading due to the mat size, the bit line BL and BLB equalizes before the word line SWL is completely closed. There is a problem that the cell may be defective due to the rise enable and the data value of the memory cell 20 is changed.

본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 보정회로는 워드라인의 특성 변화에 따른 비트라인 이퀄라이즈 타이밍을 제어하여 신뢰성 있는 반도체 메모리 장치를 구현하는데 그 목적이 있다.The equalization correction circuit of a semiconductor memory device according to the present invention has an object to implement a reliable semiconductor memory device by controlling the bit line equalization timing according to the change of the word line characteristics.

본 발명에 따른 이퀄라이즈 보정회로는 워드라인의 레벨을 감지하여 감지신호를 생성하는 워드라인 감지부, 및 상기 감지 신호에 응답하여 이퀄라이즈 신호의 타이밍을 보정하여 이퀄라이즈 보상 신호를 출력하는 이퀄라이즈 신호 제어부를 포함한다.An equalization correction circuit according to the present invention includes a word line detection unit for generating a detection signal by detecting a level of a word line, and an equalization outputting an equalization compensation signal by correcting a timing of the equalization signal in response to the detection signal. It includes a signal controller.

본 발명에 따른 반도체 메모리 장치는 워드라인 인에이블 시 선택되는 메모리 셀,In an embodiment, a semiconductor memory device includes a memory cell selected at a word line enable state,

상기 메모리 셀에 연결되는 비트라인 쌍,A bit line pair connected to the memory cell,

상기 비트라인 쌍의 데이터를 증폭시키는 센스 앰프, 및A sense amplifier for amplifying the data of the bit line pair, and

상기 워드라인의 레벨에 따라 상기 비트라인 쌍을 이퀄라이즈 하는 타이밍을 조절하는 이퀄라이즈부를 포함한다.And an equalization unit for adjusting a timing for equalizing the bit line pairs according to the level of the word line.

본 발명에 따른 이퀄라이즈 보정회로 및 이를 이용한 반도체 메모리 장치는 워드라인의 저항 값이나 특성 변화에 따른 이퀄라이즈 타이밍 마진을 확보하여, 신뢰성 있는 반도체 메모리 장치를 구현할 수 있는 효과가 있다.The equalization correction circuit and the semiconductor memory device using the same according to the present invention secure an equalization timing margin according to a change in a resistance value or a characteristic of a word line, thereby implementing a reliable semiconductor memory device.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 보정회로를 나타낸 것이다.3 shows an equalization correction circuit of a semiconductor memory device according to the present invention.

종래의 반도체 메모리 장치는 DRAM(Dynamic Random Access Memory)에서 사용하는 워드라인(Sub Word Line 이하, SWL)의 저항 값이나 각 장치의 특성, 또는 매트(MAT) 사이즈 등에 따라 워드라인(SWL)의 디스에이블 타이밍이 바뀌어 워드라인(SWL)이 완전히 오프 되기 전에 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 인에이블 되어 비트라인(BL, BLB)을 프리차지 전압(VBLP)으로 이퀄라이즈 시킨다. 이때, 셀의 데이터가 페일(fail)이 나는 문제점이 발생되었다. 본 발명에서는 워드라인(SWL)과 비트라인(BL, BLB) 이퀄라이즈 타이밍을 조절하기 위하여 워드라인(SWL)의 슬롭(Slope)에 따른 저항 값을 감지하여 그에 따른 이퀄라이즈 신호(BLEQ)의 인에이블 타이밍을 지연시킬 수 있도록 하였다. Conventional semiconductor memory devices have a display of word lines (SWL) according to resistance values of word lines (SWLs) used in DRAM (Dynamic Random Access Memory), characteristics of each device, or mat size. The equalization signal BLEQ is enabled before the word timing SWL is completely turned off to equalize the bit lines BL and BLB to the precharge voltage VBLP. In this case, a problem occurs that data of a cell fails. In the present invention, in order to adjust the equalization timing of the word line SWL and the bit lines BL and BLB, the resistance value according to the slope of the word line SWL is sensed and thus the equalization signal BLEQ is detected. It is possible to delay the timing of the Able.

도 3을 참조하면, 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 제어 회로는 기준 전압(Vref)과 워드라인 전압(SWL_V)을 비교하여 워드라인 감지 신호(SWL_DET)를 출력하는 워드라인 감지부(100), 및 상기 워드라인 감지 신호(SWL_DET)와 이퀄라이즈 신호(BLEQ)를 입력받아 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)를 출력하는 이퀄라이즈 신호 제어부(200)를 포함한다.Referring to FIG. 3, the equalization control circuit of the semiconductor memory device may include a word line detector 100 configured to output a word line detection signal SWL_DET by comparing the reference voltage Vref and the word line voltage SWL_V, and the The equalization signal controller 200 receives the word line detection signal SWL_DET and the equalization signal BLEQ and outputs an equalization compensation signal BLEQ_C.

상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)는 도 1에서 도시한 바와 같이, 센스 앰프(30)에 연결된 비트라인(BL,BLB)의 이퀄라이즈 동작을 수행하기 위한 이퀄라이져(10)에 입력된다.As shown in FIG. 1, the equalization compensation signal BLEQ_C is input to the equalizer 10 for performing an equalization operation of the bit lines BL and BLB connected to the sense amplifier 30.

도 4는 도 3에 도시한 워드라인 감지부를 나타낸 것이다.4 illustrates the word line detector illustrated in FIG. 3.

도 4를 참조하면, 워드라인 감지부(100)는 차동 증폭형으로서, 커런트 미러 구조를 가진 제 3 내지 제 4 PMOS 트랜지스터(P3, P4), 차동 입력 구조를 가진 제 7 및 제 8 NMOS 트랜지스터(N7, N8), 차동 증폭형 워드라인 감지부(100)를 인에이블 시키기 위한 제 9 NMOS 트랜지스터(N9), 및 워드라인 전압(SWL_V)을 분배하기 위한 제 1 내지 제 4 저항(R1~R4)을 포함한다. 상기 제 3 PMOS 트랜지스터(P3)는 제 4 PMOS 트랜지스터(P4)의 게이트와 연결된 게이트, 펌핑 전압(VPP)단과 연결된 소오스, 및 드레인을 포함한다. 상기 제 4 PMOS 트랜지스터(P4)는 서로 공통 연결된 게이트와 드레인, 및 펌핑 전압(VPP)단과 연결된 소오스를 포함한다. 상기 제 7 NMOS 트랜지스터(N7)는 기준 전압(Vref)과 연결된 게이트, 제 3 PMOS 트랜지스터(P3)의 드레인과 연결된 드레인 및 소오스를 포함한다. 상기 제 8 NMOS 트랜지스터(N8)는 제 2 노드(S2)와 연결된 게이트, 상기 제 1 노드(S1)와 연결된 드레인, 및 상기 제 7 NMOS 트랜지스터(N7)의 소오스와 연결된 소오스를 포함한다. 상기 제 9 NMOS 트랜지스터(N9)는 인에이블 신호(EN)를 입력받는 게이트, 상기 제 8 NMOS 트랜지스터(N8)의 소오스와 연결된 드레인, 및 접지전압(VSS)단과 연결된 소오스를 포함한다. 상기 제 1 내지 4 저항(R1~R4)은 워드라인 전압(SWL_V)단과 접지전압(VSS)단 사이에 서로 직렬로 연결된다. 여기서, 펌핑 전압(VPP)는 펌핑 전압 생성회로에서 출력된 전압으로, 전원전압(VDD)보다 높은 전위를 가진 전압이다. 또한 제 1 내지 제 4 저항(R1~R4)은 워드라인 전압(SWL_V)을 접지전압(VSS)에서 펌핑 전압(VPP)까지 가변시킬 수 있다.Referring to FIG. 4, the word line detector 100 is a differential amplification type, and includes third to fourth PMOS transistors P3 and P4 having a current mirror structure, and seventh and eighth NMOS transistors having a differential input structure. N7 and N8, a ninth NMOS transistor N9 for enabling the differential amplified word line detector 100, and first to fourth resistors R1 to R4 for distributing the word line voltage SWL_V. It includes. The third PMOS transistor P3 includes a gate connected to the gate of the fourth PMOS transistor P4, a source connected to the pumping voltage VPP terminal, and a drain. The fourth PMOS transistor P4 includes a gate and a drain which are commonly connected to each other, and a source connected to the pumping voltage VPP. The seventh NMOS transistor N7 includes a gate connected to the reference voltage Vref, a drain connected to the drain of the third PMOS transistor P3, and a source. The eighth NMOS transistor N8 includes a gate connected to the second node S2, a drain connected to the first node S1, and a source connected to the source of the seventh NMOS transistor N7. The ninth NMOS transistor N9 includes a gate configured to receive an enable signal EN, a drain connected to the source of the eighth NMOS transistor N8, and a source connected to the ground voltage VSS terminal. The first to fourth resistors R1 to R4 are connected in series between a word line voltage SWL_V terminal and a ground voltage VSS terminal. Here, the pumping voltage VPP is a voltage output from the pumping voltage generating circuit and is a voltage having a potential higher than the power supply voltage VDD. In addition, the first to fourth resistors R1 to R4 may vary the word line voltage SWL_V from the ground voltage VSS to the pumping voltage VPP.

상기 인에이블 신호(EN)가 인에이블 되면, 상기 워드라인 감지부(100)가 동작을 하고 상기 기준 전압(Vref)과 워드라인 전압(SWL_V)을 비교하여 워드라인 감지 신호(SWL_DET)를 생성한다. When the enable signal EN is enabled, the word line detector 100 operates to generate a word line detection signal SWL_DET by comparing the reference voltage Vref with the word line voltage SWL_V. .

상기 기준 전압(Vref)이 상기 워드라인 전압(SWL_V)을 저항으로 분배한 분배전압(VA)보다 큰 경우, 상기 워드라인 감지 신호(SWL_DET)는 '하이'레벨이 된다. 상기 기준 전압(Vref)이 상기 분배 전압(VA)보다 작은 경우, 상기 워드라인 감지 신호(SWL_DET)는 '로우'레벨이 된다. When the reference voltage Vref is greater than the divided voltage VA obtained by dividing the word line voltage SWL_V into a resistor, the word line detection signal SWL_DET is at a 'high' level. When the reference voltage Vref is smaller than the division voltage VA, the word line detection signal SWL_DET is at a low level.

도 5는 도 3에 도시한 이퀄라이즈 신호 제어부를 나타낸 것이다.FIG. 5 illustrates the equalized signal controller shown in FIG. 3.

도 5를 참조하면, 이퀄라이즈 신호 제어부(200)는 워드라인 감지 신호(SWL_DET) 및, 이퀄라이즈 신호(BLEQ)에 응답하여 타이밍 마진을 확보한 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)를 출력한다.Referring to FIG. 5, the equalization signal controller 200 outputs a word line detection signal SWL_DET and an equalization compensation signal BLEQ_C having a timing margin in response to the equalization signal BLEQ.

상기 이퀄라이즈 신호 제어부(200)는 워드라인 감지 신호(SWL_DET)와 이퀄라이즈 신호(BLEQ)에 응답하여 이퀄라이즈 조합 신호(BLEQB)를 출력하는 신호조합부(201), 및 상기 이퀄라이즈 조합 신호(BLEQB)를 지연기(202)의 지연시간만큼 지연 시킨 지연 신호(BLEQD)와 상기 이퀄라이즈 조합 신호(BLEQB)에 응답하여 상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)를 출력하는 출력부(203)를 포함한다.The equalization signal controller 200 may include a signal combination unit 201 for outputting an equalization combination signal BLEQB in response to a word line detection signal SWL_DET and an equalization signal BLEQ, and the equalization combination signal ( And an output unit 203 for outputting the equalization compensation signal BLEQ_C in response to the delayed signal BLEQD, which delays the BLEQB by the delay time of the delay unit 202, and the equalized combination signal BLEQB. .

상기 신호조합부(201)는 상기 워드라인 감지 신호(SWL_DET)와 상기 이퀄라이즈 신호(BLEQ)를 입력받아 이퀄라이즈 조합 신호(BLEQB)를 출력하는 낸드게이트(ND)를 포함한다. The signal combination unit 201 includes a NAND gate ND that receives the word line detection signal SWL_DET and the equalization signal BLEQ and outputs an equalization combination signal BLEQB.

상기 출력부(203)는 상기 이퀄라이즈 조합 신호(BLEQB)와 상기 지연 신 호(BLEQD)를 입력받아 상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)를 출력하는 노아게이트(NR)를 포함한다.The output unit 203 includes a noar gate NR for receiving the equalization combination signal BLEQB and the delay signal BLEQD and outputting the equalization compensation signal BLEQ_C.

상기 이퀄라이즈 신호 제어부(200)는 상기 워드라인 감지 신호(SWL_DET)가 '하이'레벨이고, 상기 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 '하이'레벨인 경우, 상기 이퀄라이즈 조합 신호(BLEQB)는 '로우'레벨이 되고, 상기 '로우'레벨의 이퀄라이즈 조합 신호(BLEQB)와 상기 '로우'레벨의 지연 신호(BLEQD)를 입력받아 '하이'레벨의 상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)를 출력한다.When the word line detection signal SWL_DET is at the 'high' level and the equalization signal BLEQ is at the 'high' level, the equalization signal controller 200 is set to 'low'. A 'low' level equalization combination signal BLEQB and a 'low' level delay signal BLEQD are input to output the equalization compensation signal BLEQ_C at a 'high' level.

또한, 상기 워드라인 감지 신호(SWL_DET)가 '하이'레벨이고, 상기 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 '로우'레벨인 경우, 상기 이퀄라이즈 조합 신호(BLEQB)는 '하이'레벨이 되고, 상기 '하이'레벨의 이퀄라이즈 조합 신호(BLEQB)와 상기 지연 신호(BLEQD)를 입력받아 상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)는 '로우'레벨이 된다. Further, when the word line detection signal SWL_DET is at the 'high' level and the equalization signal BLEQ is at the 'low' level, the equalization combination signal BLEQB is at the 'high' level, and the ' The equalization compensation signal BLEQ_C is input to the 'low' level by receiving the equalized combination signal BLEQB and the delay signal BLEQD having the high level.

상기 이퀄라이즈 신호 제어부(200)는 상기 워드라인 감지 신호(SWL_DET) 또는 상기 이퀄라이즈 신호(BLEQ) 중 어느 하나라도 '로우'레벨을 가지면, 상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)는 '로우'레벨이 된다. 한편, 상기 워드라인 감지 신호(SWL_DET) 및 상기 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 '하이'레벨을 가질 때, 상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)는 '하이'레벨이 된다.When the equalization signal controller 200 has a low level, either the word line detection signal SWL_DET or the equalizing signal BLEQ, the equalization compensation signal BLEQ_C has a low level. do. Meanwhile, when the word line detection signal SWL_DET and the equalization signal BLEQ have a 'high' level, the equalization compensation signal BLEQ_C becomes a 'high' level.

도 6은 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 보정회로의 타이밍도를 나타낸 것이다. 6 is a timing diagram of an equalization correction circuit of the semiconductor memory device according to the present invention.

도 6을 참조하면, 상기 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 디스에이블 된 후, 워드라인(SWL)이 인에이블 된다. 그러나, 종래의 경우에는 상기 워드라인(SWL)이 완전히 닫히기 전에 상기 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 인에이블 되어 셀이 페일(fail)이 날 수 있었다. 이를 보정해주기 위하여 기준 전압(Vref)과 워드라인 전압(SWL_V)을 비교하여 상기 워드라인 전압(SWL_V)이 기준 전압(Vref)보다 높아질 때, 상기 워드라인 감지 신호(SWL_DET)는 '하이'레벨에서 '로우'레벨로 천이한다. 상기 이퀄라이즈 신호(BLEQ)와 상기 워드라인 감지 신호(SWL_DET)를 논리 조합하여 상기 이퀄라이즈 조합 신호(BLEQB)를 출력한다. 상기 이퀄라이즈 조합 신호(BLEQB)는 상기 워드라인 감지 신호(SWL_DET)와 상기 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 '하이'레벨인 경우, '로우'레벨이 되고, 어느 하나라도 '로우'레벨인 경우는 '하이'레벨이 된다. 상기 지연 신호(BLEQD)는 상기 이퀄라이즈 조합 신호(BLEQB)를 소정 값 지연시킨 신호이다. 상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)는 상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQB)가 '하이'레벨로 천이할 때, '로우'레벨로 천이하고, 상기 지연 신호(BLEQD)가 '로우'레벨로 천이할 때, '하이'레벨로 천이하는 신호이다.Referring to FIG. 6, after the equalization signal BLEQ is disabled, the word line SWL is enabled. However, in the conventional case, the equalization signal BLEQ is enabled before the word line SWL is completely closed, thereby causing a cell to fail. To correct this, when the word line voltage SWL_V is higher than the reference voltage Vref by comparing the reference voltage Vref and the word line voltage SWL_V, the word line detection signal SWL_DET is at the 'high' level. Transition to the 'low' level. The equalization signal BLEQ is output by logically combining the equalization signal BLEQ and the word line detection signal SWL_DET. The equalization combination signal BLEQB becomes a 'low' level when the word line detection signal SWL_DET and the equalization signal BLEQ are at a 'high' level, and when any one is at a 'low' level. Becomes a 'high' level. The delay signal BLEQD is a signal obtained by delaying the equalization combined signal BLEQB by a predetermined value. The equalization compensation signal BLEQ_C transitions to a low level when the equalization compensation signal BLEQB transitions to a high level, and when the delay signal BLEQD transitions to a low level. , Is a signal to transition to the 'high' level.

따라서, 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 보정 회로는 상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)가 '로우'레벨로 디스에이블 되면, 상기 워드라인(SWL)이 '하이'레벨로 인에이블 되고, 상기 워드라인(SWL)이 '로우'레벨로 디스에이블 된 후, 상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEA_C)는 '하이'레벨로 인에이블 된다. 즉, 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 보정 회로는 상기 워드라인 전압(SWL_V)의 레벨을 감지해서 소정 값 지연시킨 만큼의 마진을 확보하여 비트라인(BL, BLB) 이퀄라이즈 시점을 상기 워드라인(SWL)이 완전히 닫힌 후 동작 시킴으로써, 셀의 데이터가 불량이 나는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, in the equalization correction circuit of the semiconductor memory device according to the present invention, when the equalization compensation signal BLEQ_C is disabled at the 'low' level, the word line SWL is enabled at the 'high' level. After the word line SWL is disabled at the 'low' level, the equalization compensation signal BLA_C is enabled at the 'high' level. That is, the equalization correction circuit of the semiconductor memory device senses the level of the word line voltage SWL_V and secures a margin equal to a predetermined value delay, so that the equalization time of the bit lines BL and BLB is set to the word line SWL. By operating after this is completely closed, the data of the cell can be prevented from being bad.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 이퀄라이즈 보정 회로를 적용한 반도체 메모리장치의 구동 회로도를 나타낸 것이다.7 is a driving circuit diagram of a semiconductor memory device to which an equalization correction circuit according to an embodiment of the present invention is applied.

도 7을 참조하면, 반도체 메모리 장치는 워드라인(SWL)이 인에이블 시 선택되는 메모리 셀(20), 상기 메모리 셀(20) 선택시 셀 정보를 차지 쉐어링(Charge Sharing)하여 비트라인(BL, BLB)에 싣고, 상기 비트라인(BL,BLB)의 데이터를 증폭시키는 센스 앰프(30), 및 상기 워드라인(SWL)의 레벨에 따라 상기 비트라인(BL, BLB)을 균등화(equalization)하는 타이밍을 조절하여 이퀄라이즈 하는 이퀄라이져부(40)를 포함한다.Referring to FIG. 7, the semiconductor memory device may charge-share the memory cell 20 selected when the word line SWL is enabled and the cell information when the memory cell 20 is selected. The timing of equalizing the bit lines BL and BLB according to the level of the sense amplifier 30 loaded on the BLB and amplifying the data of the bit lines BL and BLB and the word line SWL. Equalizer 40 to equalize by adjusting the.

상기 이퀄라이져부(40)는 상기 기준 전압(Vref)과 워드라인(SWL)의 레벨을 비교하여 감지 신호(SWL_DET)를 생성하는 워드라인 감지부(100), 상기 감지신호(SWL_DET)에 응답하여 상기 이퀄라이즈 신호(BLEQ)의 인에이블 타이밍을 지연시켜 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)를 출력하는 이퀄라이즈 신호 제어부(200), 및 상기 이퀄라이즈 보상신호(BLEQ_C)를 입력받아 이퀄라이즈 하는 이퀄라이즈 실행부(10)를 포함한다.The equalizer 40 compares the level of the reference voltage Vref with the level of the word line SWL to generate a detection signal SWL_DET, and responds to the detection signal SWL_DET. An equalization signal controller 200 which outputs an equalization compensation signal BLEQ_C by delaying the enable timing of the equalization signal BLEQ, and an equalization execution unit that receives and equalizes the equalization compensation signal BLEQ_C. (10).

워드라인(SWL)이 인에이블 되면 메모리 셀(20)이 선택되고, 상기 메모리 셀(20)에 저장되어 있는 정보가 차지 쉐어링(Charge Sharing)되어 비트라인(BL, BLB)에 실리게 된다. 이때, 센스 앰프(30)는 구동하여 비트라인(BL, BLB)의 데이터를 증폭시킨다. 이어서, 상기 워드라인(SWL)이 디스에이블 되면 메모리 셀(20)이 닫히게 된다. 그러나, 셀(20)이 닫히기 전에 상기 워드라인(SWL)의 저항값이나 로딩에 의해 상기 워드라인(SWL)이 슬롭(Slope)이 완만하게 되어 상기 워드라인(SWL) 이 닫히기 전에 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 인에이블 될 수 있다. 따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 상기 워드라인(SWL)이 디스에이블 될 시, 상기 워드라인 감지부(100)는 상기 기준 전압(Vref)과 상기 워드라인 전압(SWL_V)을 비교하여 상기 감지 신호(SWL_DET)를 생성한다. 상기 기준 전압(Vref)이 상기 워드라인 전압(SWL_V)보다 높을 경우, 상기 감지 신호(SWL_DET)를 인에이블 시키고, 상기 기준 전압(Vref)이 상기 워드라인 전압(SWL_V)보다 낮을 경우, 상기 감지 신호를 디스에이블 시킨다. 상기 감지 신호(SWL_DET)는 이퀄라이즈 신호 제어부(200)에 입력된다. 상기 이퀄라이즈 신호 제어부(200)는 상기 감지 신호(SWL_DET) 또는 이퀄라이즈 신호(BLEQ)가 디스에이블 되면, 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ)를 디스에이블 시키고, 상기 감지 신호(SWL_DET) 및 이퀄라이즈 신호(BLEQ)를 인에이블 시켜, 상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)를 소정 시간 지연시켜 인에이블 시킨다. 상기 이퀄라이즈 실행부(10)는 상기 이퀄라이즈 보상 신호(BLEQ_C)를 입력받아 비트라인(BL, BLB)을 이퀄라이즈 한다.When the word line SWL is enabled, the memory cell 20 is selected, and information stored in the memory cell 20 is charged shared to be loaded on the bit lines BL and BLB. At this time, the sense amplifier 30 is driven to amplify the data of the bit lines BL and BLB. Subsequently, when the word line SWL is disabled, the memory cell 20 is closed. However, the slope of the word line SWL becomes smooth due to the resistance value or loading of the word line SWL before the cell 20 is closed, so that the equalization signal before the word line SWL is closed. BLEQ) may be enabled. Therefore, when the word line SWL is disabled to solve the above problem, the word line detector 100 compares the reference voltage Vref with the word line voltage SWL_V to detect the detected word line SWL. Generate the signal SWL_DET. When the reference voltage Vref is higher than the word line voltage SWL_V, the sensing signal SWL_DET is enabled, and when the reference voltage Vref is lower than the word line voltage SWL_V, the detection signal. Disable The sensing signal SWL_DET is input to the equalized signal controller 200. The equalization signal controller 200 disables the equalization compensation signal BLEQ when the detection signal SWL_DET or the equalization signal BLEQ is disabled, and the detection signal SWL_DET and the equalization signal ( BLEQ is enabled, and the equalization compensation signal BLEQ_C is delayed for a predetermined time to be enabled. The equalization execution unit 10 receives the equalization compensation signal BLEQ_C and equalizes the bit lines BL and BLB.

따라서, 반도체 메모리 장치는 워드라인(SWL)이 인에이블 되고, 메모리 셀(20)의 셀정보가 비트라인(BL, BLB)에 실려 센스 앰프(30)에 의해 증폭된 후, 상기 워드라인(SWL)이 디스에이블 될 시, 상기 워드라인(SWL)의 전위 레벨을 감지하여 이퀄라이즈 하는 타이밍을 보정하여 보다 신뢰성 있는 반도체 메모리 장치를 구현할 수 있다.Therefore, in the semiconductor memory device, the word line SWL is enabled, the cell information of the memory cell 20 is loaded on the bit lines BL and BLB and amplified by the sense amplifier 30, and then the word line SWL is used. ) Is disabled, it is possible to implement a more reliable semiconductor memory device by correcting the timing of equalizing by detecting the potential level of the word line (SWL).

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.As those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features, the embodiments described above should be understood as illustrative and not restrictive in all respects. Should be. The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention. do.

도 1은 종래의 기술에 다른 반도체 메모리 장치의 구동을 위한 회로도,1 is a circuit diagram for driving a semiconductor memory device according to the prior art;

도 2는 종래의 기술에 따른 반도체 메모리 장치의 구동 타이밍도,2 is a driving timing diagram of a semiconductor memory device according to the related art;

도 3은 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 보정 회로의 블록도,3 is a block diagram of an equalization correction circuit of a semiconductor memory device according to the present invention;

도 4는 도 3에 도시한 워드라인 감지부의 회로도,4 is a circuit diagram of a word line detector of FIG. 3;

도 5는 도 3에 도시한 이퀄라이즈 신호 제어부의 회로도, 및5 is a circuit diagram of an equalization signal controller shown in FIG. 3, and

도 6은 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 보정 회로의 타이밍도이다.6 is a timing diagram of an equalization correction circuit of the semiconductor memory device according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

10 : 이퀄라이즈 실행부 20 : 메모리 셀10: equalization execution unit 20: memory cell

30 : 센스 앰프 40 : 이퀄라이즈부30: sense amplifier 40: equalizing unit

100 : 워드라인 감지부 200 : 이퀄라이즈 신호 제어부 100: word line detector 200: equalized signal controller

Claims (10)

워드라인의 레벨을 감지하여 감지 신호를 생성하는 워드라인 감지부, 및 A word line detector for detecting a level of the word line and generating a detection signal; 상기 감지 신호에 응답하여 이퀄라이즈 신호의 타이밍을 보정하여 이퀄라이즈 보상 신호를 출력하는 이퀄라이즈 신호 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 보정 회로.And an equalization signal controller configured to output an equalization compensation signal by correcting a timing of the equalization signal in response to the sensed signal. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 워드라인 감지부는,The word line detector, 기준전압과 상기 워드라인의 레벨의 감지하여 감지 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 보정 회로.And detecting a reference voltage and a level of the word line and outputting a sensed signal. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 이퀄라이즈 신호 제어부는,The equalized signal controller, 상기 감지 신호 또는 상기 이퀄라이즈 신호 중 어느 하나라도 디스에이블 되면, 상기 이퀄라이즈 보상 신호를 디스에이블 시키고,When any one of the detection signal or the equalization signal is disabled, the equalization compensation signal is disabled, 상기 감지 신호 및 상기 이퀄라이즈 신호가 인에이블 되면, 상기 이퀄라이즈 보상 신호를 인에이블 시키는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 보정회로.And when the sensing signal and the equalizing signal are enabled, enabling the equalization compensation signal. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 이퀄라이즈 신호 제어부는,The equalized signal controller, 상기 감지 신호 및 상기 이퀄라이즈 신호가 인에이블 되면 상기 감지신호의 인에이블 타이밍부터 소정 시간 지연된 후 인에이블 되는 상기 이퀄라이즈 보상신호를 출력하는 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 보정 회로.And outputting the equalization compensation signal which is enabled after a predetermined time delay from the enable timing of the detection signal when the detection signal and the equalization signal are enabled. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 이퀄라이즈 신호 제어부는,The equalized signal controller, 상기 감지 신호와 상기 이퀄라이즈 신호를 입력받아 이퀄라이즈 조합 신호를 생성하는 신호 조합부, 및A signal combination unit configured to receive the detected signal and the equalized signal and generate an equalized combination signal; 상기 이퀄라이즈 조합 신호가 소정 시간 지연된 지연 신호를 입력받아 상기 이퀄라이즈 보상 신호를 출력하는 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 이퀄라이즈 보정 회로.And an output unit configured to receive a delay signal having a predetermined time delay and output the equalization compensation signal. 워드라인 인에이블 시 선택되는 메모리 셀,A memory cell selected at word line enable, 상기 메모리 셀에 연결되는 비트라인 쌍,A bit line pair connected to the memory cell, 상기 비트라인 쌍의 데이터를 증폭시키는 센스 앰프, 및A sense amplifier for amplifying the data of the bit line pair, and 상기 워드라인의 레벨에 따라 상기 비트라인 쌍을 이퀄라이즈하는 타이밍을 조절하는 이퀄라이져부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And an equalizer unit for adjusting timing of equalizing the pair of bit lines according to the level of the word line. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 이퀄라이져부는,The equalizer part, 상기 워드라인 디스에이블 시 이퀄라이즈 신호를 소정 시간 지연하여 이퀄라이즈 하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And equalizing the equalized signal by a predetermined time delay when the word line is disabled. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 이퀄라이져부는,The equalizer part, 상기 기준 전압과 워드라인의 레벨을 비교하여 감지 신호를 출력하는 워드라인 감지부, 및A word line detector for outputting a detection signal by comparing the reference voltage with a level of the word line; 상기 감지신호에 응답하여 상기 이퀄라이즈 신호를 상기 소정 시간 지연 시켜 이퀄라이즈 보상 신호를 출력하는 이퀄라이즈 신호 제어부, 및An equalization signal controller for outputting an equalization compensation signal by delaying the equalization signal by the predetermined time in response to the detection signal; 상기 이퀄라이즈 보상 신호를 입력받아 상기 비트라인 쌍을 이퀄라이즈 하는 이퀄라이즈 실행부를 포함하는 반도체 메모리 장치. And an equalization execution unit configured to receive the equalization compensation signal and equalize the bit line pair. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 워드라인 감지부는,The word line detector, 상기 기준 전압이 상기 워드라인 전압보다 높을 경우, 상기 감지 신호를 인에이블 시키고,If the reference voltage is higher than the word line voltage, enable the detection signal, 상기 기준 전압이 상기 워드라인 전압보다 낮을 경우, 상기 감지 신호를 디스에이블 시키는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And disabling the sensing signal when the reference voltage is lower than the word line voltage. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 이퀄라이즈 신호 제어부는,The equalized signal controller, 상기 감지신호 및 상기 이퀄라이즈 신호가 인에이블 되면 상기 감지 신호가 인에이블 되는 타이밍부터 소정 시간 지연되어 인에이블 되는 상기 이퀄라이즈 보상 신호를 출력하는 것을 특징을 하는 반도체 메모리 장치.And when the detection signal and the equalization signal are enabled, output the equalization compensation signal that is enabled after a predetermined time delay from the timing at which the detection signal is enabled.
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