KR101163045B1 - Word-line Driving Circuit and a Method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명의 워드라인 구동 회로는 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간에서 워드라인을 소정 시간 비활성화하는 것을 특징으로 한다.The word line driver circuit of the present invention is characterized in that the word line is deactivated for a predetermined time in the sense amplification section of the bit line sense amplifier.

Description

워드라인 구동 회로 및 방법{Word-line Driving Circuit and a Method thereof}Word-line driving circuit and method

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 워드라인 구동 회를 포함하는 반도체 메모리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a semiconductor memory device including a word line driving circuit.

도 1은 일반적인 비트라인 센스앰프의 개략적인 회로도이다.1 is a schematic circuit diagram of a general bit line sense amplifier.

비트라인 센스앰프(1)는 비트라인(BL) 및 비트바라인(BLB)과 연결된다. 워드라인(WL)이 활성화 되기 전, 비트라인(BL) 및 비트바라인(BLB)은 프리차지 전압으로 프리차지된다. 프리차지 동작이 중단되고 워드라인(WL)이 활성화되면 저장 커패시터(C) 및 비트라인(BL) 사이에 차지 쉐어링(Charge Sharing)이 일어난다. 차지 쉐어링이 일어나면 비트라인(BL)은 저장 커패시터(C)에 저장되어있던 전하량에 따라 전압이 상승 또는 하락한다. 이후 비트라인 센스앰프(1)가 활성화되면 비트라인 센스앰프(1)는 비트라인(BL) 및 비트바라인(BLB)의 전압 차이를 증폭하여 비트 라인(BL) 및 비트바라인(BLB)을 하이(High) 및 로우(Low) 레벨 또는 로우 레벨 및 하이 레벨로 변경한다. 비트라인 센스앰프(1)가 활성화되어 비트라인 센스앰프(1)가 증폭을 통해 비트 라인(BL) 및 비트바라인(BLB)을 하이(High) 및 로우(Low) 레벨 또는 로우 레벨 및 하이 레벨로 변경하는 것을 감지 증폭이라고 하고, 비트라인 센스앰프(1)가 활성화되는 시점부터 비트라인 센스앰프(1)가 비트 라인(BL) 및 비트바라인(BLB)을 하이(High) 및 로우(Low) 레벨 또는 로우 레벨 및 하이 레벨로 변경하는 시점 까지를 감지 증폭 구간이라고 한다. The bit line sense amplifier 1 is connected to the bit line BL and the bit bar line BLB. Before the word line WL is activated, the bit line BL and the bit bar line BLB are precharged with a precharge voltage. When the precharge operation is stopped and the word line WL is activated, charge sharing occurs between the storage capacitor C and the bit line BL. When charge sharing occurs, the voltage of the bit line BL increases or decreases according to the amount of charge stored in the storage capacitor C. Thereafter, when the bit line sense amplifier 1 is activated, the bit line sense amplifier 1 amplifies the voltage difference between the bit line BL and the bit bar line BLB to divide the bit line BL and the bit bar line BLB. Change to high and low levels or low and high levels. The bit line sense amplifier 1 is activated so that the bit line sense amplifier 1 amplifies the bit line BL and the bit bar line BLB to a high and low level or a low level and a high level. The change to is referred to as sensing amplification, and the bit line sense amplifier 1 sets the bit line BL and the bit bar line BLB high and low from the time when the bit line sense amplifier 1 is activated. ) Or the point of changing to a low level and a high level is called a sensing amplification period.

도 1에서 도시된 바와 같이 비트라인 센스앰프(1)는 비트라인(BL) 및 비트바라인(BLB)과 연결되어있다. 비트라인(BL) 및 비트바라인(BLB)의 전압 레벨은 프리차지 전압으로 서로 같은 레벨이었다가 차지 쉐어링 이후 전압 레벨이 미세하게 차이가 나게 되고, 비트라인 센스앰프(1)는 이 미세한 차이의 전압 레벨을 감지 증폭한다. 따라서 이 미세한 차이의 전압 레벨을 정상적으로 감지 증폭하기 위해서, 비트라인 센스앰프(1)에서 바라보는 비트라인(BL) 측의 임피던스 및 비트바라인(BLB) 측의 임피던스는 서로 동일하게 설계되어야 한다. 하지만 차지 쉐어링 이후 비트라인 센스앰프(1)가 활성화되는 시점에서 비트라인(BL) 측 및 비트바라인(BLB) 측의 임피던스는 서로 차이가 있다. 양 측의 커패시턴스 값을 비교해보면, 비트바라인(BLB) 측의 커패시턴스 값은 비트바라인(BLB)의 라인 커패시턴스 값(BL capacitance, Cb)이고, 이와 달리 비트라인(BL) 측의 커패시턴스 값은 비트라인(BL)의 라인 커패시턴스 값(BL capacitance, Cb) 및 워드라인(WL)이 활성화 됨에 따라 보이는 저장 커패시터(C)의 셀 커패시턴스 값(Cell capacitance, Cs)의 합(Cb+Cs)이다. 즉 비트라인(BL)측 커패시턴스 값은 Ctotal_bl = Cb + Cs 이고 비트바라인(BLB) 측 커패시턴스 값은 Ctotal_blb = Cb 이다. 이에 따라 비트라인 센스앰프(1)에서 비교하는 양 측 임피던스가 Cs 만큼 미스매치된다. 이러한 미스매치는 비트라인 센스앰프(1)의 센싱 민감도를 저하시키고, 비트라인 센스앰프(1)의 오프셋(Offset)을 유발시키는 등 센싱 마진을 작게 한다. 예를 들어 비트라인 센스앰프(1)의 최저 비교 전압(delta V, ΔV) 값이 200mV인 경우 위에서 언급한 미스매치되는 커패시턴스 값(Cs)에 따른 오프셋 전압의 크기는 30mV가량이다. 비트라인 센스앰프(1)의 최저 비교 전압(ΔV)은 센싱 민감도를 결정하는 데 매우 핵심적인 요소이므로 미스매치되는 커패시턴스 값(Cs)에 따라 생성되는 오프셋 전압은 비트라인 센스앰프(1)의 오작동을 유발할 수 있다. 반도체 메모리 장치가 미세화되면서 비트라인 센스앰프(1) 양단간의 임피던스 미스매치(Cb+Cs : Cb) 비율은 더 커지고 있는 추세이며, 반도체 메모리 장치가 저전력화되면서 비트라인 센스앰프(1)의 최저 비교 전압(ΔV)의 크기가 작아지고 있는 추세이기 때문에 임피던스 미스매치에 따른 비트라인 센스앰프(1)의 센싱 마진 저하도 심해지고 있다.As shown in FIG. 1, the bit line sense amplifier 1 is connected to a bit line BL and a bit bar line BLB. The voltage level of the bit line BL and the bit bar line BLB is the same level as the precharge voltage, and the voltage levels are slightly different after the charge sharing, and the bit line sense amplifier 1 Detect and amplify voltage levels. Therefore, in order to normally sense and amplify this minute difference voltage level, the impedance on the bit line BL side and the impedance on the bit bar line BLB side viewed from the bit line sense amplifier 1 should be designed to be the same. However, when the bit line sense amplifier 1 is activated after charge sharing, the impedances of the bit line BL side and the bit bar line BLB side are different from each other. Comparing the capacitance values of both sides, the capacitance value of the bit bar line (BLB) is the line capacitance value (BL capacitance, Cb) of the bit bar line (BLB), whereas the capacitance value of the bit line (BL) side is It is the sum Cb + Cs of the cell capacitance value Cs of the storage capacitor C which is seen as the line capacitance value BL capacitance Cb of the bit line BL and the word line WL are activated. That is, the capacitance value of the bit line BL side is Ctotal_bl = Cb + Cs, and the capacitance value of the bit bar line BLB side is Ctotal_blb = Cb. Accordingly, both impedances compared by the bit line sense amplifier 1 are mismatched by Cs. This mismatch lowers the sensing sensitivity of the bit line sense amplifier 1 and reduces the sensing margin such as causing an offset of the bit line sense amplifier 1. For example, when the lowest comparison voltages delta V and ΔV of the bit line sense amplifier 1 are 200 mV, the offset voltage according to the mismatched capacitance value Cs mentioned above is about 30 mV. Since the lowest comparison voltage ΔV of the bit line sense amplifier 1 is a very important factor in determining the sensing sensitivity, the offset voltage generated according to the mismatched capacitance value Cs is a malfunction of the bit line sense amplifier 1. May cause. As the semiconductor memory device becomes smaller, the ratio of impedance mismatches (Cb + Cs: Cb) between both ends of the bit line sense amplifier 1 is increasing, and as the semiconductor memory device becomes lower power, the lowest comparison of the bit line sense amplifier 1 is achieved. Since the magnitude of the voltage DELTA V decreases, the sensing margin of the bit line sense amplifier 1 decreases due to impedance mismatch.

도 2는 종래 기술에 따른 워드라인 구동 회로의 회로도이다. 도 2에 도시된 워드라인 구동 회로는 인버터(IV), 제 1 피모스 트랜지스터(P1), 제 1 엔모스 트랜지스터(N1) 및 제 2 엔모스 트랜지스터(N2)를 포함하여 구성된다. 도 2에 도시된 워드라인 구동 회로는 메인 워드라인 선택 신호(MWLB)가 활성화되고, 서브 워드라인 선택 신호(FXB)가 활성화되면 활성화되는 제 1 피모스 트랜지스터(P1)를 통해 서브 워드라인 활성 신호(SWL)를 활성화하여 생성하고, 메인 워드라인 선택 신호(MWLB)가 비활성화되거나 서브 워드라인 선택 신호(FXB)가 비활성화되면 제 1 엔모스 트랜지스터(N1) 및 제 2 엔모스 트랜지스터(N2) 중 하나 이상을 통해 서브 워드라인 활성 신호(SWL)를 비활성화하여 생성한다. 도 2에 도시된 워드라인 구동 회로에 인가되는 신호들(FXB, MWLB)에 따른 서브 워드라인 활성 신호(SWL)의 활성화 및 비트라인 센스앰프의 증폭 동작은 이후 도 4a의 파형도와 함께 설명된다.2 is a circuit diagram of a word line driving circuit according to the prior art. The word line driver circuit shown in FIG. 2 includes an inverter IV, a first PMOS transistor P1, a first NMOS transistor N1, and a second NMOS transistor N2. In the word line driving circuit shown in FIG. 2, the sub word line activation signal is activated through the first PMOS transistor P1 which is activated when the main word line selection signal MWLB is activated and the sub word line selection signal FXB is activated. When the main word line select signal MWLB is deactivated or the sub word line select signal FXB is deactivated, one of the first NMOS transistor N1 and the second NMOS transistor N2 is generated. In this manner, the sub word line activation signal SWL is inactivated and generated. The activation of the sub word line activation signal SWL and the amplification of the bit line sense amplifier according to the signals FXB and MWLB applied to the word line driving circuit shown in FIG. 2 will be described with reference to the waveform diagram of FIG. 4A.

본 발명은 비트라인 센스 앰프가 높은 센싱 마진을 갖도록 하는 워드라인 구동 회로를 제공하는 데 그 기술적 과제가 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has a technical problem to provide a word line driving circuit for allowing a bit line sense amplifier to have a high sensing margin.

본 발명의 일 실시예에 따른 워드라인 구동 회로는 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간에서 워드라인을 소정 시간 비활성화한다. The word line driver circuit according to an embodiment of the present invention deactivates the word line for a predetermined time in the sense amplification section of the bit line sense amplifier.

또한 본 발명의 일 실시예에 따른 워드라인 구동 회로는 서브 워드라인 선택 신호 및 조절 신호에 응답하여 파형 조절 신호를 생성하는 파형 결정 신호 생성부 및 메인 워드라인 선택 신호, 파형 조절 신호 및 서브 워드라인 선택 신호에 응답하여 서브 워드라인 활성 신호를 생성하는 서브 워드라인 활성 신호 생성부를 포함하고, 상기 파형 조절 신호는 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간에서 소정 시간 비활성화되는 것을 특징으로 한다.In addition, the word line driving circuit according to an embodiment of the present invention includes a waveform determination signal generator and a main word line selection signal, a waveform adjustment signal, and a sub word line that generate a waveform adjustment signal in response to the sub word line selection signal and the adjustment signal. And a sub word line active signal generator configured to generate a sub word line active signal in response to a selection signal, wherein the waveform control signal is deactivated for a predetermined time in the sense amplification section of the bit line sense amplifier.

또한 본 발명의 일 실시예에 따른 워드라인 구동 방법은 액티브 커맨드에 응답하여 워드라인을 활성화하는 단계, 소정 구간 동안 상기 워드라인을 비활성화 하는 단계, 프리차지 커맨드 입력 전까지 상기 워드라인을 활성화 하는 단계를 포함한다.In addition, the word line driving method according to an embodiment of the present invention includes the steps of activating a word line in response to an active command, deactivating the word line for a predetermined period, and activating the word line until a precharge command is input. Include.

본 발명은 비트라인 센스앰프에서 보이는 양단의 임피던스 미스매치를 보완함으로써 센싱 마진(margin)이 향상되는 효과를 창출한다. The present invention creates an effect of improving the sensing margin by compensating for impedance mismatches at both ends of the bit line sense amplifier.

또한 본 발명은 유닛 매트 사이즈(Unit MAT Size)가 커지게 되어 반도체 메모리 장치의 필요 면적을 감소시키는 효과를 창출한다. In addition, according to the present invention, the unit mat size increases, thereby creating an effect of reducing a required area of the semiconductor memory device.

또한 본 발명은 비트라인 센스앰프의 전체 센싱 시간을 감소하여 반도체 메모리장치를 고속 동작할 수 있도록 하는 효과를 창출한다.In addition, the present invention reduces the overall sensing time of the bit line sense amplifier to create an effect that allows the semiconductor memory device to operate at high speed.

도 1은 일반적인 비트라인 센스앰프의 개략적인 회로도,
도 2는 종래 기술에 따른 워드라인 구동 회로의 회로도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 워드라인 구동 회로의 회로도,
도 4a는 도 2 에서 도시된 종래 기술에 따른 워드라인 구동 회로에 입출력되는 신호들의 파형도,
도 4b는 도 3 에서 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 워드라인 구동 회로에 입출력되는 신호들의 파형도이다.
1 is a schematic circuit diagram of a general bit line sense amplifier;
2 is a circuit diagram of a word line driving circuit according to the prior art;
3 is a circuit diagram of a word line driving circuit according to an embodiment of the present invention;
4A is a waveform diagram of signals input and output to a word line driver circuit according to the related art shown in FIG.
FIG. 4B is a waveform diagram of signals input and output to a word line driver circuit according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 3.

본 발명의 일 실시예에 따른 워드라인 구동 회로는 상기 비트라인(BL)에 대한 차지 쉐어링 이후, 상기 비트라인 센스앰프가 활성화되어 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)에 대한 감지 증폭을 하는 구간에서 상기 워드라인을 소정 시간 비활성화 함으로써, 상기 비트라인 센스앰프에서 보이는 상기 비트라인(BL) 측 임피던스 및 상기 비트바라인(BLB) 측 임피던스를 동일하게 유지할 수 있다. 이에 따라 임피던스 미스매치에 따른 상기 비트라인 센스앰프의 센싱 민감도 하락을 방지할 수 있다. 상기 워드라인의 비활성화 구간에서, 상기 비트라인(BL)과 상기 저장 커패시터(C)의 연결이 차단되기 때문에 상기 비트라인(BL) 측의 커패시턴스 값은 Cb 가 되어 상기 비트바라인(BLB) 측의 커패시턴스 값, Cb와 같아진다. 상기 워드라인이 비활성화되는 시간은 상기 비트라인 센스앰프의 센싱 민감도 및 상기 비트라인 센스앰프에서 보이는 상기 비트라인(BL) 측 임피던스와 상기 비트바라인(BLB) 측 임피던스의 차이를 감안하여 결정하는 것이 바람직하다. 특히 상기 비트라인 센스앰프가 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)의 전압 차이가 상기 최저 비교 전압(ΔV)보다 큰 것을 감지하고, 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)을 감지 증폭을 시작하는 구간에서 상기 워드라인을 비활성화 하는 것이 상기 비트라인 센스앰프의 센싱 민감도 하락을 방지하는 데에 바람직하다. 상기 비트라인 센스앰프에 의해 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)이 충분히 증폭된 이후에는 상기 워드라인이 활성화되어 다시 임피던스 미스매치가 발생하더라도 상기 비트라인 센스앰프의 동작에 대한 영향이 크지 않기 때문이다. In the word line driving circuit according to an embodiment of the present invention, after the charge sharing for the bit line BL, the bit line sense amplifier is activated to sense the bit line BL and the bit bar line BLB. By deactivating the word line for a predetermined time period during the amplification, the bit line BL side impedance and the bit bar line BLB side impedance seen in the bit line sense amplifier may be kept the same. Accordingly, the sensing sensitivity of the bit line sense amplifier may be prevented from falling due to impedance mismatch. In the deactivation period of the word line, since the connection between the bit line BL and the storage capacitor C is cut off, the capacitance value of the bit line BL side becomes Cb and thus the side of the bit bar line BLB side. It is equal to the capacitance value, Cb. The time at which the word line is deactivated is determined in consideration of the sensing sensitivity of the bit line sense amplifier and the difference between the bit line BL side impedance and the bit bar line BLB side impedance seen in the bit line sense amplifier. desirable. In particular, the bit line sense amplifier senses that the voltage difference between the bit line BL and the bit bar line BLB is greater than the minimum comparison voltage ΔV, and the bit line BL and the bit bar line It is preferable to deactivate the word line in the period where the BLB) starts to be sensed and amplified, to prevent the sensing sensitivity of the bit line sense amplifier from falling. After the bit line BL and the bit bar line BLB are sufficiently amplified by the bit line sense amplifier, the word line is activated, and thus an influence on the operation of the bit line sense amplifier occurs even if an impedance mismatch occurs again. Because this is not big.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 워드라인 구동 회로의 회로도이다. 3 is a circuit diagram of a word line driver circuit according to an embodiment of the present invention.

상기 워드라인 구동 회로는 파형 결정 신호 생성부(100) 및 서브 워드라인 신호 생성부(200)를 포함한다. The word line driver circuit includes a waveform determination signal generator 100 and a sub wordline signal generator 200.

상기 파형 결정 신호 생성부(100)는 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB) 및 조절 신호(CTRL)에 응답하여 파형 결정 신호(FX1)를 생성한다. 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB)는 반도체 메모리 장치의 파이엑스 드라이버에서 출력된 신호로서, 특정 서브 워드라인을 선택하여 활성화하는 것을 관장하는 신호이다.The waveform determination signal generator 100 generates a waveform determination signal FX1 in response to the sub word line selection signal FXB and the adjustment signal CTRL. The sub word line selection signal FXB is a signal output from a PIX driver of a semiconductor memory device and is a signal for selecting and activating a specific sub word line.

상기 서브 워드라인 신호 생성부(200)는 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB), 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB) 및 상기 파형 결정 신호(FX1)에 응답하여 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)를 생성한다. The sub wordline signal generator 200 may respond to the main wordline selection signal MWLB, the subwordline selection signal FXB, and the waveform determination signal FX1 in response to the subwordline activation signal SWL. Create

도 3에 도시된 상기 워드라인 구동 회로는 상기 파형 결정 신호(FX1)를 조절하여 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)를 상기 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간에서 소정 시간 비활성화하도록 실시된 예이다. The word line driving circuit illustrated in FIG. 3 is an example in which the sub word line activation signal SWL is deactivated for a predetermined time in the sense amplification section of the bit line sense amplifier by adjusting the waveform determination signal FX1.

언급한 것처럼, 도 3에 도시된 상기 워드라인 구동 회로는 상기 파형 결정 신호(FX1)를 조절함으로써 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)의 파형을 조절하기 때문에, 상기 서브 워드라인 신호 생성부(200)는 도 2에 도시된 종래 기술에 따른 워드라인 구동 회로의 해당 부분과 동일하게 구성될 수 있다. 상기 서브 워드라인 신호 생성부(200)는 도 2처럼 제 1 피모스 트랜지스터(P1)와 제 1 및 제 2 엔모스 트랜지스터(N1, N2)를 포함하여 구성될 수 있다. 상기 제 1 피모스 트랜지스터(P1)는 상기 제 1 엔모스 트랜지스터(N1)와 직렬 연결된 구성으로, 상기 파형 결정 신호(FX1)의 출력 단 및 접지 단 사이에 연결된다. 상기 제 1 피모스 트랜지스터(P1) 및 상기 제 1 엔모스 트랜지스터(N1)는 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB)를 공통으로 입력받는다. 상기 제 2 엔모스 트랜지스터(N2)는 상기 제 1 피모스 트랜지스터(P1) 및 상기 제 1 엔모스 트랜지스터(N1)가 연결된 노드인 제 1 노드(n1) 및 접지 단 사이에 연결되어 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB)를 입력받는다. 상기 서브 워드라인 신호 생성부(200)는 상기 제 1 노드(n1)를 통해 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)를 출력한다. 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB)는 반도체 메모리 장치의 어드레스 디코더로부터 출력된 신호로서, 특정 메인 워드라인을 활성화하는 것을 관장하는 신호이다. As mentioned above, since the word line driving circuit shown in FIG. 3 adjusts the waveform of the sub word line activation signal SWL by adjusting the waveform determination signal FX1, the sub word line signal generator 200 ) May be configured identically to the corresponding part of the word line driving circuit according to the prior art shown in FIG. The sub word line signal generator 200 may include a first PMOS transistor P1 and first and second NMOS transistors N1 and N2 as shown in FIG. 2. The first PMOS transistor P1 is connected in series with the first NMOS transistor N1 and is connected between the output terminal and the ground terminal of the waveform determination signal FX1. The first PMOS transistor P1 and the first NMOS transistor N1 receive the main word line selection signal MWLB in common. The second NMOS transistor N2 is connected between the first node n1, which is a node to which the first PMOS transistor P1 and the first NMOS transistor N1 are connected, and a ground terminal, so as to be connected to the sub word line. The selection signal FXB is input. The sub word line signal generator 200 outputs the sub word line activation signal SWL through the first node n1. The main word line selection signal MWLB is a signal output from an address decoder of a semiconductor memory device and is a signal for activating a specific main word line.

상기 서브 워드라인 신호 생성부(200)는 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB)가 로우(Low) 레벨로서 활성화되고 상기 파형 결정 신호(FX1)가 하이(High) 레벨로서 활성화되면, 상기 제 1 피모스 트랜지스터(P1)가 턴온(turn-on)되어 상기 파형 결정 신호(FX1) 출력 단으로부터 상기 제 1 피모스 트랜지스터(P1)를 통해 상기 제 1 노드(n1)로 차지 동작을 수행한다. 이에 따라 상기 제 1 노드(n1)는 하이 레벨로 상승하고 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)가 하이 레벨로 활성화되어 출력된다. 이 때 상기 제 1 엔모스 트랜지스터(N1)는 로우 레벨의 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB)를 입력받아 턴오프(turn-off)되고 상기 제 2 엔모스 트랜지스터(N2)는 로우 레벨로 활성화 된 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB)를 입력받아 턴오프(turn-off)된다. The sub word line signal generator 200 may activate the first word line when the main word line selection signal MWLB is activated as a low level and the waveform determination signal FX1 is activated as a high level. The MOS transistor P1 is turned on to perform a charge operation from the output terminal of the waveform determination signal FX1 to the first node n1 through the first PMOS transistor P1. Accordingly, the first node n1 rises to a high level, and the sub word line activation signal SWL is activated to a high level and output. In this case, the first NMOS transistor N1 is turned off by receiving the main word line selection signal MWLB having a low level and the second NMOS transistor N2 is activated at a low level. The sub word line selection signal FXB is turned on and turned off.

또한 상기 서브 워드라인 신호 생성부(200)는 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB)가 로우 레벨로서 활성화되고 상기 파형 결정 신호(FX1)가 로우 레벨로서 비활성화되면, 상기 제 1 피모스 트랜지스터(P1)가 턴온(turn-on)되어 상기 제 1 노드(n1)로부터 상기 제 1 피모스 트랜지스터(P1)를 통해 상기 파형 결정 신호(FX1) 출력 단으로 디스차지 동작을 수행한다. 이에 따라 상기 제 1 노드(n1)는 로우 레벨로 하강하고 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)가 로우 레벨로 비활성화되어 출력된다. 이 때 상기 제 1 엔모스 트랜지스터(N1)는 로우 레벨의 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB)를 입력받아 턴오프(turn-off)되고 상기 제 2 엔모스 트랜지스터(N2)는 로우 레벨로 활성화 된 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB)를 입력받아 턴오프(turn-off)된다. In addition, when the main word line selection signal MWLB is activated at a low level and the waveform determination signal FX1 is deactivated at a low level, the sub word line signal generator 200 may activate the first PMOS transistor P1. Is turned on to perform a discharge operation from the first node n1 to the output terminal of the waveform determination signal FX1 through the first PMOS transistor P1. Accordingly, the first node n1 drops to a low level and the sub word line activation signal SWL is deactivated to a low level and output. In this case, the first NMOS transistor N1 is turned off by receiving the main word line selection signal MWLB having a low level and the second NMOS transistor N2 is activated at a low level. The sub word line selection signal FXB is turned on and turned off.

또한 상기 서브 워드라인 신호 생성부(200)는 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB)가 하이 레벨로서 비활성화되면, 상기 제 1 피모스 트랜지스터(P1)가 턴오프되고 상기 제 1 엔모스 트랜지스터(N1)가 턴온되어 상기 제 1 노드(n1)로부터 상기 제 1 엔모스 트랜지스터(N1)를 거쳐 상기 접지 단으로 디스차지 동작을 수행한다. 이에 따라 상기 제 1 노드(n1)는 로우 레벨로 하강하고 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)는 로우 레벨로 비활성화되어 출력된다. In addition, when the main word line selection signal MWLB is inactivated as a high level, the sub word line signal generator 200 may turn off the first PMOS transistor P1 and the first NMOS transistor N1. Is turned on to perform a discharge operation from the first node n1 to the ground terminal via the first NMOS transistor N1. Accordingly, the first node n1 drops to a low level and the sub word line activation signal SWL is deactivated to a low level and output.

위와 같은 동작들을 정리하면, 상기 서브 워드라인 신호 생성부(200)는 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB)가 활성화되면 상기 파형 결정 신호(FX1)에 따라 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)를 활성화 또는 비활성화하여 생성한다. 즉, 도 3에 도시된 상기 워드라인 구동 회로는 상기 파형 결정 신호(FX1)를 조절함으로써 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)를 조절할 수 있다. In summary, when the main word line selection signal MWLB is activated, the sub word line signal generator 200 activates the sub word line activation signal SWL according to the waveform determination signal FX1. Or create it by deactivating it. That is, the word line driving circuit illustrated in FIG. 3 may adjust the sub word line activation signal SWL by adjusting the waveform determination signal FX1.

위에서 언급한 것처럼, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 워드라인 구동 회로는 상기 비트라인 센스앰프가 활성화되어 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)에 대한 감지 증폭을 하는 구간에서 상기 워드라인을 소정 시간 비활성화 한다. 여기서 상기 워드라인 구동 회로는 상기 파형 결정 신호 생성부(100)를 통해 상기 파형 결정 신호(FX1)를 조절함으로써 상기 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간에서 상기 워드라인을 비활성화할 수 있다. 상기 파형 결정 신호 생성부(100)는 도 3에 도시된 것처럼, 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB) 및 조절 신호(CTRL)를 입력받아 파형 결정 신호(FX1)를 생성하는 노어 게이트(NR)를 포함하여 구성될 수 있다. 상기 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간에서 활성화되는 신호를 상기 조절 신호(CTRL)로서 사용함으로써, 상기 파형 결정 신호 생성부(100)는 상기 파형 결정 신호(FX1)를 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB)가 활성화 되는 구간 중 상기 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간에서 비활성화되고, 나머지 구간에서 활성화되도록 생성할 수 있다. 위에서 언급한 것처럼 상기 조절 신호(CTRL)는 상기 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간에서 활성화되는 신호를 사용하는 것이 바람직하다. 오버 드라이브 신호(도 4a, 도 4b 참조)는 상기 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간에서 활성화되는 신호이기 때문에 상기 오버 드라이브 신호는 상기 조절 신호(CTRL)로서 사용되기에 적합하다. 상기 오버 드라이브 신호는 반도체 메모리 장치에서, 상기 비트라인 센스앰프의 초반 감지 증폭 속도를 높이기 위해 사용되는 오버 드라이브 동작을 관장하는 신호이다. 오버 드라이브 동작은 일반적으로 코어 전압(Vcore) 레벨로 증폭되는 비트라인 쌍을 일시적으로 상기 코어 전압보다 높은 전원 전압(VDD) 레벨로 증폭함으로써 상기 비트라인 센스앰프의 초반 감지 증폭 속도를 높이는 동작이다. As mentioned above, in the word line driving circuit according to an embodiment of the present invention, the bit line sense amplifier is activated to sense and amplify the bit line BL and the bit bar line BLB. Deactivate the word line for a predetermined time. The word line driver circuit may deactivate the word line in the sense amplification period of the bit line sense amplifier by adjusting the waveform determination signal FX1 through the waveform determination signal generator 100. As illustrated in FIG. 3, the waveform determination signal generator 100 receives the sub word line selection signal FXB and the adjustment signal CTRL to generate a NOR gate NR for generating a waveform determination signal FX1. It can be configured to include. By using the signal activated in the sense amplification section of the bit line sense amplifier as the control signal CTRL, the waveform determination signal generator 100 uses the waveform determination signal FX1 as the sub word line selection signal FXB. ) May be deactivated in the sense amplification section of the bit line sense amplifier and activated in the remaining section. As mentioned above, the control signal CTRL may preferably use a signal activated in the sense amplification period of the bit line sense amplifier. Since the overdrive signal (see FIGS. 4A and 4B) is a signal activated in the sense amplification section of the bit line sense amplifier, the overdrive signal is suitable to be used as the control signal CTRL. The overdrive signal is a signal that controls the overdrive operation used to increase the initial sense amplification speed of the bit line sense amplifier in the semiconductor memory device. The overdrive operation is to increase the initial sense amplification speed of the bit line sense amplifier by temporarily amplifying a pair of bit lines amplified to a core voltage level (Vcore) to a power supply voltage (VDD) level higher than the core voltage.

도 4a는 도 2 에서 도시된 종래 기술에 따른 상기 워드라인 구동 회로에 입출력되는 신호들의 파형도이고, 도 4b는 도 3 에서 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 워드라인 구동 회로에 입출력되는 신호들의 파형도이다. FIG. 4A is a waveform diagram of signals input and output to the wordline driver circuit according to the related art shown in FIG. 2, and FIG. 4B is input and output to the wordline driver circuit according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 3. A waveform diagram of the signals.

종래기술에 따른 상기 워드라인 구동 회로를 포함하는 반도체 메모리 장치에서, 액티브 커맨드(ACT)가 입력되면 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)에 대한 프리차지 동작이 종료된다. 또한 상기 액티브 커맨드(ACT)에 의해 생성되는 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB) 및 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB)가 동시에 활성화됨에 따라 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)이 활성화된다. 이에 따라 도 2에 도시된 종래 기술에 따른 상기 워드라인 구동 회로는 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)를 활성화한다. 상기 워드라인 활성 신호(SWL)가 활성화되면, 상기 비트라인(BL)은 차지 쉐어링(a)을 통해 전압 레벨이 변경된다. 도 4a는 상기 비트라인(BL)이 차지 쉐어링(a)을 통해 전압이 상승하는 것으로 예시되었다. 차지 쉐어링(a)이 끝나면, 센스앰프 인에이블 신호(SAN)가 활성화된다. 상기 센스앰프 인에이블 신호(SAN)는 상기 비트라인 센스앰프를 활성화하도록 관장하는 신호이다. 상기 센스앰프 인에이블 신호(SAN)가 활성화되면, 상기 비트라인 센스앰프는 활성화되어 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)의 전압을 증폭한다(b). 상기 센스 앰프 인에이블 신호(SAN)가 활성화 되는 구간의 초반에, 상기 오버 드라이브 신호(ovd)가 활성화된다. 상기 오버 드라이브 신호(ovd)가 활성화됨에 따라 상기 비트라인 센스앰프는 감지 증폭 동작이 가속화된다. 이후 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB) 및 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB)가 비활성화된다. 이에 따라 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)가 비활성화되어 상기 워드라인이 비활성화된다. 상기 센스앰프 인에이블 신호(SAN)이 비활성화되면 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)에 대한 증폭 동작이 끝나게 되고 프리차지 커맨드(PCG)에 의해 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)에 대한 프리차지 동작이 수행된다. 도 4a에는 상기 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간(b)에서 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)가 활성화 되어있음이 도시되어있다. 위에서 설명한 것처럼, 상기 워드라인 활성 신호(SWL)가 활성화 된 구간에서는 상기 비트라인 센스앰프에서 보이는 상기 비트라인(BL) 측 임피던스 및 상기 비트바라인(BLB) 측 임피던스가 미스매치되어 상기 비트라인 센스앰프가 오동작할 수 있다. 특히 상기 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간(b)에서 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)의 전압 차이는 크지 않기 때문에, 상기 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간(b)에서 임피던스 미스매칭이 끼치는 악효과는 상기 감지 증폭 구간(b) 이후의 악효과보다 상대적으로 더 크다. In the semiconductor memory device including the word line driver circuit according to the related art, when the active command ACT is input, the precharge operation on the bit line BL and the bit bar line BLB is terminated. The sub word line activation signal SWL is activated as the main word line selection signal MWLB and the sub word line selection signal FXB generated by the active command ACT are simultaneously activated. Accordingly, the word line driving circuit according to the related art shown in FIG. 2 activates the sub word line activation signal SWL. When the word line activation signal SWL is activated, the bit line BL is changed in voltage level through charge sharing a. 4A illustrates that the bit line BL increases in voltage through charge sharing a. After the charge sharing (a) is finished, the sense amplifier enable signal SAN is activated. The sense amplifier enable signal SAN is a signal that manages to activate the bit line sense amplifier. When the sense amplifier enable signal SAN is activated, the bit line sense amplifier is activated to amplify the voltages of the bit line BL and the bit bar line BLB (b). The overdrive signal ovd is activated at the beginning of the period in which the sense amplifier enable signal SAN is activated. As the overdrive signal ovd is activated, the bit line sense amplifier accelerates the sense amplification operation. Thereafter, the main word line selection signal MWLB and the sub word line selection signal FXB are deactivated. Accordingly, the sub word line activation signal SWL is inactivated to deactivate the word line. When the sense amplifier enable signal SAN is deactivated, an amplification operation for the bit line BL and the bit bar line BLB is ended, and the bit line BL and the bit are precharged by a precharge command PCG. A precharge operation on the BLB is performed. FIG. 4A shows that the sub word line activation signal SWL is activated in the sense amplification section b of the bit line sense amplifier. As described above, in the period in which the word line activation signal SWL is activated, the bit line BL side impedance and the bit bar line BLB side impedance seen by the bit line sense amplifier are mismatched, thereby causing the bit line sense. The amplifier may malfunction. In particular, since the voltage difference between the bit line BL and the bit bar line BLB is not large in the sense amplification period b of the bit line sense amplifier, the impedance in the sense amplification period b of the bit line sense amplifier is not large. The adverse effect of mismatching is relatively larger than the adverse effect after the sensing amplification section (b).

도 4b를 참조하면, 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB) 및 상기 조절 신호(CTRL)인 상기 오버 드라이브 신호(ovd)의 조합에서 생성된 상기 파형 조절 신호(FX1)가 도시되어있다. 상기 액티브 커맨드(ACT)가 입력되면, 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)에 대한 프리차지 동작이 종료된다. 또한 상기 액티브 커맨드(ACT)에 의해 생성되는 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB) 및 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB)가 동시에 활성화된다. 또한 상기 파형 결정 신호 생성부(100)에 의해 상기 파형 조절 신호(FX1)가 생성된다. 이에 따라 도 4에 도시된 것처럼, 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB) 및 상기 파형 조절 신호(FX1)에 의해 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)가 활성화된다. 상기 워드라인 활성 신호(SWL)가 활성화되면, 상기 비트라인(BL)은 차지 쉐어링(c)을 통해 전압 레벨이 변경된다. 도 4b는 도 4a처럼 상기 비트라인(BL)이 차지 쉐어링(c)을 통해 전압이 상승하는 것으로 예시되었다. 차지 쉐어링(c)이 끝나면, 센스앰프 인에이블 신호(SAN)가 활성화된다. 또한 상기 오버 드라이브 신호(ovd)가 활성화된다. 이 구간에서 상기 파형 조절 신호(FX1)에 의해 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)는 소정 구간 비활성화된다. 상기 비트라인 센스앰프는 활성화되어 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)의 전압을 증폭한다(d). 상기 오버 드라이브 신호(ovd)가 활성화됨에 따라 상기 비트라인 센스앰프는 감지 증폭 동작이 가속화된다. 이후 상기 오버 드라이브 신호(ovd)가 비활성화되면 상기 파형 조절 신호(FX1)에 의해 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)가 다시 활성화된다. 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)는 상기 메인 워드라인 선택 신호(MWLB) 및 상기 서브 워드라인 선택 신호(FXB)가 비활성화 되어 상기 파형 조절 신호(FX1)가 비활성화 되는 시점까지 활성화 상태를 유지한다. 상기 메인 워드라인 활성 신호(SWL)가 비활성화 되면, 이어서 상기 센스앰프 인에이블 신호(SAN)가 비활성화되고, 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)에 대한 증폭 동작이 종료된다. 상기 프리차지 커맨드(PCG)가 입력되면 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)에 대한 프리차지 동작이 수행된다. 도 4b에는 상기 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간(d)에서 상기 서브 워드라인 활성 신호(SWL)가 비활성화 되어있음이 도시되어있다. 이에 따라 상기 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간(d)에서 상기 비트라인 센스앰프에서 보이는 상기 비트라인(BL) 측 임피던스 및 상기 비트바라인(BLB) 측 임피던스는 서로 매칭된다. Referring to FIG. 4B, the waveform control signal FX1 generated from a combination of the sub word line selection signal FXB and the overdrive signal ovd, which is the control signal CTRL, is illustrated. When the active command ACT is input, the precharge operation on the bit line BL and the bit bar line BLB is terminated. In addition, the main word line selection signal MWLB and the sub word line selection signal FXB generated by the active command ACT are simultaneously activated. In addition, the waveform determination signal generator 100 generates the waveform adjustment signal FX1. Accordingly, as shown in FIG. 4, the sub word line activation signal SWL is activated by the sub word line selection signal FXB and the waveform control signal FX1. When the word line activation signal SWL is activated, the voltage level of the bit line BL is changed through charge sharing c. 4B illustrates that the bit line BL increases in voltage through the charge sharing c as shown in FIG. 4A. After the charge sharing c is completed, the sense amplifier enable signal SAN is activated. The overdrive signal ovd is also activated. In this section, the sub word line activation signal SWL is inactivated by the waveform control signal FX1 in a predetermined section. The bit line sense amplifier is activated to amplify the voltages of the bit line BL and the bit bar line BLB (d). As the overdrive signal ovd is activated, the bit line sense amplifier accelerates the sense amplification operation. Subsequently, when the overdrive signal ovd is deactivated, the sub word line activation signal SWL is activated again by the waveform control signal FX1. The sub word line activation signal SWL remains activated until the main word line selection signal MWLB and the sub word line selection signal FXB are inactivated to deactivate the waveform control signal FX1. When the main word line activation signal SWL is deactivated, the sense amplifier enable signal SAN is subsequently deactivated, and the amplification operation for the bit line BL and the bit bar line BLB is terminated. When the precharge command PCG is input, a precharge operation on the bit line BL and the bit bar line BLB is performed. FIG. 4B shows that the sub word line activation signal SWL is inactivated in the sense amplification period d of the bit line sense amplifier. Accordingly, in the sense amplification period d of the bit line sense amplifier, the bit line BL side impedance and the bit bar line BLB side impedance seen in the bit line sense amplifier match each other.

본 발명의 일 실시예에 따른 상기 워드라인 구동 회로는 상기 비트라인 센스앰프에서 보이는 양단의 임피던스 미스매치를 일시적으로 보완함으로써 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간에서 센싱 마진(margin)이 종래 기술대비 향상되는 효과를 창출한다. 상기 센싱 마진이 향상되면 종래 기술 대비 상기 최저 비교 전압(ΔV)을 더 낮출 수 있게 되고, 이에 따라 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)의 길이에 의해 결정되는 커패시턴스 값인 Cb에 대한 마진이 더 커질 수 있으므로 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)의 길이가 더 길어질 수 있다. 상기 비트라인(BL) 및 상기 비트바라인(BLB)의 길이가 더 길어지면 유닛 매트 사이즈(Unit MAT Size)가 커지게 되고, 이는 반도체 메모리 장치의 면적 감소에 강점으로 적용된다.The word line driving circuit according to an embodiment of the present invention temporarily improves the sensing margin in the sense amplification section of the bit line sense amplifier by temporarily supplementing impedance mismatches at both ends of the bit line sense amplifier. To create an effect. When the sensing margin is improved, the lowest comparison voltage ΔV can be lowered compared to the prior art, and thus, Cb, which is a capacitance value determined by the length of the bit line BL and the bit bar line BLB, can be reduced. Since the margin may be larger, the length of the bit line BL and the bit bar line BLB may be longer. As the length of the bit line BL and the bit bar line BLB becomes longer, a unit mat size increases, which is an advantage in reducing the area of a semiconductor memory device.

또한 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 워드라인 구동 회로는 향상된 센싱 마진을 통해 상기 비트라인 센스앰프의 전체 센싱 시간을 감소시킬 수 있고, 이러한 점은 반도체 메모리 장치의 고속 동작에 강점으로 적용된다. In addition, the word line driving circuit according to an embodiment of the present invention can reduce the overall sensing time of the bit line sense amplifier through an improved sensing margin, which is an advantage in high speed operation of a semiconductor memory device.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.As those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features, the embodiments described above should be understood as illustrative and not restrictive in all aspects. Should be. The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention. do.

1: 비트라인 센스앰프 100: 파형 결정 신호 생성부
200: 서브 워드라인 활성 신호 생성부
1: bit line sense amplifier 100: waveform determination signal generator
200: sub word line active signal generator

Claims (14)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 서브 워드라인 선택 신호 및 조절 신호에 응답하여 파형 조절 신호를 생성하는 파형 결정 신호 생성부; 및
메인 워드라인 선택 신호, 파형 조절 신호 및 서브 워드라인 선택 신호에 응답하여 서브 워드라인 활성 신호를 생성하는 서브 워드라인 활성 신호 생성부를 포함하고,
상기 파형 조절 신호는 비트라인 센스앰프의 감지 증폭 구간에서 소정 시간 비활성화되는 것을 특징으로 하는 워드라인 구동 회로
A waveform determination signal generator configured to generate a waveform adjustment signal in response to the sub word line selection signal and the adjustment signal; And
A sub word line activation signal generator configured to generate a sub word line activation signal in response to the main word line selection signal, the waveform control signal, and the sub word line selection signal,
The waveform control signal is a word line driver circuit, characterized in that for a predetermined time in the sense amplification period of the bit line sense amplifier.
청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 6 was abandoned when the registration fee was paid. 제 5 항에 있어서,
상기 조절 신호는 오버 드라이브 신호인 것을 특징으로 하는 워드라인 구동 회로.
The method of claim 5, wherein
And said control signal is an overdrive signal.
청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 7 was abandoned upon payment of a set-up fee. 제 5 항에 있어서,
상기 서브 워드라인 활성 신호 생성부는 상기 메인 워드라인 선택 신호가 활성화되면 상기 파형 조절 신호에 따라 상기 서브 워드라인 활성 신호를 활성화하여 생성하는 것을 특징으로 하는 워드라인 구동 회로.
The method of claim 5, wherein
And the sub word line activation signal generation unit activates and generates the sub word line activation signal according to the waveform control signal when the main word line selection signal is activated.
청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 8 was abandoned when the registration fee was paid. 제 7 항에 있어서,
상기 서브 워드라인 활성 신호 생성부는 상기 서브 워드라인 선택 신호에 따라 상기 서브 워드라인 활성 신호를 비활성화하여 생성하는 것을 특징으로 하는 워드라인 구동 회로.
The method of claim 7, wherein
And the sub word line activation signal generator is configured to deactivate the sub word line activation signal according to the sub word line selection signal.
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